JPH10282464A - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置及びその製造方法Info
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- JPH10282464A JPH10282464A JP9110286A JP11028697A JPH10282464A JP H10282464 A JPH10282464 A JP H10282464A JP 9110286 A JP9110286 A JP 9110286A JP 11028697 A JP11028697 A JP 11028697A JP H10282464 A JPH10282464 A JP H10282464A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶表示装置の額縁縮小化、表示部外周辺の遮
光のため、偏光板が液晶表示装置の端部まで貼るように
なっても、偏光板貼り付け位置が目視で確認出来、かつ
偏光板貼り付け精度も上げ、偏光板貼り付け不良の流出
を防ぐ液晶表示装置及びその製造方法の提供。 【解決手段】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、薄膜トランジスタや配線をパターン形成するフォト
リソグラフィ工程により配線と同じ導電性金属によって
形成した、対向電極基板と導通をとるための、トランス
ファパッドを、偏光板位置合わせ用マークとして用い、
偏光板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所に
も液晶表示電極基板に形成した偏光板位置合わせ用マー
クに対応する位置に、マークを、フォトリソグラフィ工
程で形成し、これらの位置合わせマークを合わせること
により液晶表示電極基板と偏光板を貼り合わせる。
光のため、偏光板が液晶表示装置の端部まで貼るように
なっても、偏光板貼り付け位置が目視で確認出来、かつ
偏光板貼り付け精度も上げ、偏光板貼り付け不良の流出
を防ぐ液晶表示装置及びその製造方法の提供。 【解決手段】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、薄膜トランジスタや配線をパターン形成するフォト
リソグラフィ工程により配線と同じ導電性金属によって
形成した、対向電極基板と導通をとるための、トランス
ファパッドを、偏光板位置合わせ用マークとして用い、
偏光板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所に
も液晶表示電極基板に形成した偏光板位置合わせ用マー
クに対応する位置に、マークを、フォトリソグラフィ工
程で形成し、これらの位置合わせマークを合わせること
により液晶表示電極基板と偏光板を貼り合わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に関
し、特に偏光板を用いた液晶表示装置及びその製造方法
に関する。
し、特に偏光板を用いた液晶表示装置及びその製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液晶表示装置において、偏光板の
貼り合わせは、偏光板貼り付け位置精度確認用マーカを
設けることにより、偏光板の貼り合わせ位置精度を確認
していた。
貼り合わせは、偏光板貼り付け位置精度確認用マーカを
設けることにより、偏光板の貼り合わせ位置精度を確認
していた。
【０００３】液晶表示装置の従来技術として、まず特開
平５−２１６０２１号公報の記載内容を参照して以下に
説明する。なお、上記公報には、表示領域外のブラック
マトリクスからのもれ光を無くし表示品質低下を防ぐと
ともに偏光板貼り付け位置精度確認を目視にてできるよ
うにした液晶表示装置として、ブラックマトリクスの外
側に偏光板貼り付け位置確認用マーカを設けた構成が提
案されている。図３は、上記公報に提案される液晶表示
装置の平面図である。
平５−２１６０２１号公報の記載内容を参照して以下に
説明する。なお、上記公報には、表示領域外のブラック
マトリクスからのもれ光を無くし表示品質低下を防ぐと
ともに偏光板貼り付け位置精度確認を目視にてできるよ
うにした液晶表示装置として、ブラックマトリクスの外
側に偏光板貼り付け位置確認用マーカを設けた構成が提
案されている。図３は、上記公報に提案される液晶表示
装置の平面図である。
【０００４】図３を参照すると、液晶表示装置のカラー
フィルタ側ブラックマトリクス２４の外側、４隅に、１
ｍｍ×０．５ｍｍの形状の偏光板貼り位置確認用マーカ
２６をクロム膜で形成してある。偏光板２５の貼り付け
位置精度は偏光板２５の端が、このマーカ２６の範囲内
に入っていることを、目視にて確認することで位置確認
が可能となる。
フィルタ側ブラックマトリクス２４の外側、４隅に、１
ｍｍ×０．５ｍｍの形状の偏光板貼り位置確認用マーカ
２６をクロム膜で形成してある。偏光板２５の貼り付け
位置精度は偏光板２５の端が、このマーカ２６の範囲内
に入っていることを、目視にて確認することで位置確認
が可能となる。
【０００５】しかしながら、近時、液晶表示装置の額縁
縮小化、表示部外周辺の遮光のため、偏光板が液晶表示
装置の端部まで貼る（達する）ようになっている。この
ため、従来の偏光板貼り付け位置精度確認用マーカを設
けることはできず、貼り付け位置が目視で確認できなく
なり、規格内に入っているかどうか判断できなくなる。
縮小化、表示部外周辺の遮光のため、偏光板が液晶表示
装置の端部まで貼る（達する）ようになっている。この
ため、従来の偏光板貼り付け位置精度確認用マーカを設
けることはできず、貼り付け位置が目視で確認できなく
なり、規格内に入っているかどうか判断できなくなる。
【０００６】現在の偏光板貼り付け精度は、偏光板貼り
付け装置の実力、偏光板のでき上がり精度、液晶表示装
置の外形寸法でき上がり精度（偏光板貼り付け装置は液
晶表示装置の外形を基準としている）の積み上げとな
り、結果として±０．５ｍｍ程度であるが、常時、貼り
付け位置を確認することによって、規格範囲内に入れて
いた。
付け装置の実力、偏光板のでき上がり精度、液晶表示装
置の外形寸法でき上がり精度（偏光板貼り付け装置は液
晶表示装置の外形を基準としている）の積み上げとな
り、結果として±０．５ｍｍ程度であるが、常時、貼り
付け位置を確認することによって、規格範囲内に入れて
いた。
【０００７】しかし、偏光板が液晶表示装置の端部まで
貼られる場合には、偏光板位置確認用マーカが存在しな
いため、偏光板貼り付け精度の悪い液晶表示装置ができ
てしまっても、直ちに、これを確認することができず、
偏光板貼り付け不良の液晶表示装置が流出し、歩留りの
低下を招くことになるという問題があった。
貼られる場合には、偏光板位置確認用マーカが存在しな
いため、偏光板貼り付け精度の悪い液晶表示装置ができ
てしまっても、直ちに、これを確認することができず、
偏光板貼り付け不良の液晶表示装置が流出し、歩留りの
低下を招くことになるという問題があった。
【０００８】また、偏光板に位置合わせマークを形成し
て位置合わせを行うという方法も従来より提案されてい
る。この種の従来の製造方法について、特開昭６２−２
８７２２１号公報の記載内容を参照して以下に説明す
る。図４は、上記公報に提案される製造方法を説明する
ための図である。
て位置合わせを行うという方法も従来より提案されてい
る。この種の従来の製造方法について、特開昭６２−２
８７２２１号公報の記載内容を参照して以下に説明す
る。図４は、上記公報に提案される製造方法を説明する
ための図である。
【０００９】図４を参照すると、液晶セル３０にはセル
パターン形成と同時に位置合わせマーク３２を印刷によ
り形成し、一方偏光板３３にはパターン３４を形成する
と同時に位置合わせマーク３５を印刷により形成する。
そして、液晶セル３０と偏光板３３を貼り合わせる時、
両者の位置合わせマークが一致するように貼り合わせる
と液晶セルと偏光板の位置精度が高くなるというもので
ある。
パターン形成と同時に位置合わせマーク３２を印刷によ
り形成し、一方偏光板３３にはパターン３４を形成する
と同時に位置合わせマーク３５を印刷により形成する。
そして、液晶セル３０と偏光板３３を貼り合わせる時、
両者の位置合わせマークが一致するように貼り合わせる
と液晶セルと偏光板の位置精度が高くなるというもので
ある。
【００１０】しかしながら、この従来の製造方法におい
ては、両者の位置合わせマークが印刷により形成されて
おり、一般に、印刷は±０．５ｍｍ程度のバラツキがあ
り、結局、貼り合わせ精度は両者の二乗和である±０．
８ｍｍ程度になってしまい、期待した貼り付け精度が得
られない。
ては、両者の位置合わせマークが印刷により形成されて
おり、一般に、印刷は±０．５ｍｍ程度のバラツキがあ
り、結局、貼り合わせ精度は両者の二乗和である±０．
８ｍｍ程度になってしまい、期待した貼り付け精度が得
られない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
の液晶表示装置においては、額縁縮小化、及び表示部外
周辺の遮光のために、偏光板が液晶表示装置の端部まで
貼られるようになってきている。このため、偏光板貼り
付け位置精度確認用マーカを設けることができず、偏光
板貼り付け位置が目視で確認できず、偏光板貼り付け位
置が規格内に入っているかどうか判断できなくなる。そ
の結果として、偏光板貼り付け不良の液晶表示装置が製
造されるという問題点を有している。
の液晶表示装置においては、額縁縮小化、及び表示部外
周辺の遮光のために、偏光板が液晶表示装置の端部まで
貼られるようになってきている。このため、偏光板貼り
付け位置精度確認用マーカを設けることができず、偏光
板貼り付け位置が目視で確認できず、偏光板貼り付け位
置が規格内に入っているかどうか判断できなくなる。そ
の結果として、偏光板貼り付け不良の液晶表示装置が製
造されるという問題点を有している。
【００１２】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、液晶表示装置の
額縁縮小化、表示部外周辺の遮光のため、偏光板が液晶
表示装置の端部まで貼るようになっても、貼り付け位置
を目視で確認可能とし、且つ、偏光板貼り付け精度を向
上させて偏光板貼り付け不良の流出を防ぎ、歩留り及び
生産性を向上する液晶表示装置及びその製造方法を提供
することにある。
てなされたものであって、その目的は、液晶表示装置の
額縁縮小化、表示部外周辺の遮光のため、偏光板が液晶
表示装置の端部まで貼るようになっても、貼り付け位置
を目視で確認可能とし、且つ、偏光板貼り付け精度を向
上させて偏光板貼り付け不良の流出を防ぎ、歩留り及び
生産性を向上する液晶表示装置及びその製造方法を提供
することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の液晶表示装置は、薄膜トランジスタ形成側
の液晶表示電極基板の４つのコーナー部のうちの少なく
とも１カ所において、導電性部材によって形成された、
対向電極基板と導通をとるための、トランスファパッド
を、偏光板位置合わせ用マークとして用い、前記液晶表
示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナー部の
少なくとも１ヶ所において、前記液晶表示電極基板に形
成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置にマー
クを設け、これらの位置合わせ用のマークを合わせるこ
とにより、前記液晶表示電極基板と偏光板とを貼り合わ
せてなる、ことを特徴とする。
め、本発明の液晶表示装置は、薄膜トランジスタ形成側
の液晶表示電極基板の４つのコーナー部のうちの少なく
とも１カ所において、導電性部材によって形成された、
対向電極基板と導通をとるための、トランスファパッド
を、偏光板位置合わせ用マークとして用い、前記液晶表
示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナー部の
少なくとも１ヶ所において、前記液晶表示電極基板に形
成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置にマー
クを設け、これらの位置合わせ用のマークを合わせるこ
とにより、前記液晶表示電極基板と偏光板とを貼り合わ
せてなる、ことを特徴とする。
【００１４】本発明の液晶表示装置においては、薄膜ト
ランジスタ形成側の液晶表示電極基板の４つのコーナー
部のうちの少なくとも１カ所において、導電性部材によ
って形成された偏光板位置合わせ用マークを備え、前記
液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナ
ー部の少なくとも１ヶ所において、前記液晶表示電極基
板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置
にマークを設け、これらの位置合わせ用のマークを合わ
せることにより、前記液晶表示電極基板と偏光板とを貼
り合わせてなる、ことを特徴とする。
ランジスタ形成側の液晶表示電極基板の４つのコーナー
部のうちの少なくとも１カ所において、導電性部材によ
って形成された偏光板位置合わせ用マークを備え、前記
液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナ
ー部の少なくとも１ヶ所において、前記液晶表示電極基
板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置
にマークを設け、これらの位置合わせ用のマークを合わ
せることにより、前記液晶表示電極基板と偏光板とを貼
り合わせてなる、ことを特徴とする。
【００１５】また、本発明の液晶表示装置の製造方法
は、薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基板の４つ
のコーナー部のうちの少なくとも１カ所において、薄膜
トランジスタや配線をパターン形成するフォトリソグラ
フィ工程により配線と同じ導電性金属によって形成し
た、対向電極基板と導通をとるための、トランスファパ
ッドを、偏光板位置合わせ用マークとして用い、前記液
晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナー
部のうちの少なくとも１カ所にも、前記液晶表示電極基
板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置
に、マークを、フォトリソグラフィ工程で形成し、これ
らの位置合わせマークを合わせることにより前記液晶表
示電極基板と前記偏光板を貼り合わせる、ことを特徴と
する。
は、薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基板の４つ
のコーナー部のうちの少なくとも１カ所において、薄膜
トランジスタや配線をパターン形成するフォトリソグラ
フィ工程により配線と同じ導電性金属によって形成し
た、対向電極基板と導通をとるための、トランスファパ
ッドを、偏光板位置合わせ用マークとして用い、前記液
晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナー
部のうちの少なくとも１カ所にも、前記液晶表示電極基
板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置
に、マークを、フォトリソグラフィ工程で形成し、これ
らの位置合わせマークを合わせることにより前記液晶表
示電極基板と前記偏光板を貼り合わせる、ことを特徴と
する。
【００１６】本発明の液晶表示装置の製造方法は、薄膜
トランジスタ形成側の液晶表示電極基板の４つのコーナ
ー部のうち少なくとも１カ所において、薄膜トランジス
タや配線を微細にパターン化するフォトリソグラフィ工
程により配線と同じ導電性金属によって形成した、対向
電極基板と導通をとるための、トランスファパッドを、
偏光板位置合わせ用マークとして用い、前記液晶表示電
極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナー部のうち
少なくとも一カ所にも、前記液晶表示電極基板に形成し
た偏光板位置合わせ用マークに対応する位置に、マーク
を、着色インクを印刷ローラーなどで形成し、これらの
位置合わせマークを合わせることにより前記液晶表示電
極基板と前記偏光板を貼り合わせる、ことを特徴とす
る。
トランジスタ形成側の液晶表示電極基板の４つのコーナ
ー部のうち少なくとも１カ所において、薄膜トランジス
タや配線を微細にパターン化するフォトリソグラフィ工
程により配線と同じ導電性金属によって形成した、対向
電極基板と導通をとるための、トランスファパッドを、
偏光板位置合わせ用マークとして用い、前記液晶表示電
極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコーナー部のうち
少なくとも一カ所にも、前記液晶表示電極基板に形成し
た偏光板位置合わせ用マークに対応する位置に、マーク
を、着色インクを印刷ローラーなどで形成し、これらの
位置合わせマークを合わせることにより前記液晶表示電
極基板と前記偏光板を貼り合わせる、ことを特徴とす
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明は、その好ましい実施の形態におい
て、薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基板のコー
ナー部４カ所（１カ所以上）に、薄膜トランジスタや配
線を微細にパターン化するフォトリソグラフィ工程で、
配線と同じ導電性金属（クロム、アルミ等）によって形
成した対向電極基板と導通をとるためのトランスファパ
ッドを偏光板位置合わせ用マークとして活用するか、あ
るいは新規に位置合わせ用マークを有し、液晶表示電極
基板に貼り合わせる偏光板のコーナー部４カ所（１カ所
以上）にも、フォトリソグラフィ工程か、着色インクを
印刷ローラで印刷で形成したマークを、液晶表示電極基
板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置
に有し、それぞれの位置合わせマークを合わせることに
より、液晶表示電極基板と偏光板を貼り合わせるように
したものである。
に説明する。本発明は、その好ましい実施の形態におい
て、薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基板のコー
ナー部４カ所（１カ所以上）に、薄膜トランジスタや配
線を微細にパターン化するフォトリソグラフィ工程で、
配線と同じ導電性金属（クロム、アルミ等）によって形
成した対向電極基板と導通をとるためのトランスファパ
ッドを偏光板位置合わせ用マークとして活用するか、あ
るいは新規に位置合わせ用マークを有し、液晶表示電極
基板に貼り合わせる偏光板のコーナー部４カ所（１カ所
以上）にも、フォトリソグラフィ工程か、着色インクを
印刷ローラで印刷で形成したマークを、液晶表示電極基
板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する位置
に有し、それぞれの位置合わせマークを合わせることに
より、液晶表示電極基板と偏光板を貼り合わせるように
したものである。
【００１８】本発明の実施の形態においては、対向電極
基板には、偏光板位置合わせ用マークに対応する位置に
位置合わせマークである開口部を備え、前記液晶表示電
極基板におけるトランスファパッドの開口部、もしくは
新たに設けたマークの開口部を通して、前記偏光板の前
記マークとの位置合わせが目視でチェック可能としてい
る。
基板には、偏光板位置合わせ用マークに対応する位置に
位置合わせマークである開口部を備え、前記液晶表示電
極基板におけるトランスファパッドの開口部、もしくは
新たに設けたマークの開口部を通して、前記偏光板の前
記マークとの位置合わせが目視でチェック可能としてい
る。
【００１９】また、本発明の実施の形態においては、例
えば対向電極基板の位置合わせマークに目盛を設けるよ
うにしてもよい。この場合、偏光板のズレ量が目視で簡
単に読みとることができるという利点を有する。
えば対向電極基板の位置合わせマークに目盛を設けるよ
うにしてもよい。この場合、偏光板のズレ量が目視で簡
単に読みとることができるという利点を有する。
【００２０】
【実施例】上記した本発明の実施の形態をさらに詳細に
説明すべく、本発明の実施例について図面を参照して以
下に説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施例の液晶
表示装置を説明するための分解斜視図、図１（ｂ）は、
本発明の一実施例における液晶表示電極基板と対向電極
基板の周辺部を示す拡大平面図、図１（ｃ）は、本発明
の一実施例における偏光板の位置合わせマークの拡大
図、図１（ｄ）、図１（ｅ）は、本発明の一実施例にお
ける偏光板貼り合わせ後の液晶表示装置の拡大図を示
す。
説明すべく、本発明の実施例について図面を参照して以
下に説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施例の液晶
表示装置を説明するための分解斜視図、図１（ｂ）は、
本発明の一実施例における液晶表示電極基板と対向電極
基板の周辺部を示す拡大平面図、図１（ｃ）は、本発明
の一実施例における偏光板の位置合わせマークの拡大
図、図１（ｄ）、図１（ｅ）は、本発明の一実施例にお
ける偏光板貼り合わせ後の液晶表示装置の拡大図を示
す。
【００２１】図１（ａ）を参照して、本実施例におい
て、液晶表示装置の基板１１は、液晶表示電極基板１７
と、対向電極基板１８と、から成る。
て、液晶表示装置の基板１１は、液晶表示電極基板１７
と、対向電極基板１８と、から成る。
【００２２】このうち、まず、液晶表示電極基板１１の
製造方法についてその概略を説明すると、アモルファス
・シリコン半導体膜を成膜するプラズマＣＶＤや、金属
膜あるいは絶縁膜を成膜するスパッタなどで薄膜を順次
形成して、薄膜トランジスタ（ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｔ
ｒａｎｓｉｓｔｏｒ；ＴＦＴ）や配線になるように微細
にパターン化する工程が繰り返される、いわゆるフォト
リソグラフィ工程を含む。
製造方法についてその概略を説明すると、アモルファス
・シリコン半導体膜を成膜するプラズマＣＶＤや、金属
膜あるいは絶縁膜を成膜するスパッタなどで薄膜を順次
形成して、薄膜トランジスタ（ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｔ
ｒａｎｓｉｓｔｏｒ；ＴＦＴ）や配線になるように微細
にパターン化する工程が繰り返される、いわゆるフォト
リソグラフィ工程を含む。
【００２３】フォトリソグラフィ工程は、まず必要な膜
をガラス基板全体に形成し、その上にフォトレジストを
塗布したのちに乾燥させ、必要なパターンを形成したフ
ォトマスクを重ねて露光する。現像して残ったフォトレ
ジストのパターンをマスクとして、膜の不要な所をエッ
チングしてパターニングする。エッチングは数ミクロン
の精度で膜の不要な部分を切り去ってパターン化するも
のであり、このエッチングとしては、液体薬品による化
学的ウェットエッチングの他に、ある種のガスを放電さ
せ、できたイオンガスの衝突やイオンガスの化学反応に
よって削り取っていくドライエッチングが用いられる。
をガラス基板全体に形成し、その上にフォトレジストを
塗布したのちに乾燥させ、必要なパターンを形成したフ
ォトマスクを重ねて露光する。現像して残ったフォトレ
ジストのパターンをマスクとして、膜の不要な所をエッ
チングしてパターニングする。エッチングは数ミクロン
の精度で膜の不要な部分を切り去ってパターン化するも
のであり、このエッチングとしては、液体薬品による化
学的ウェットエッチングの他に、ある種のガスを放電さ
せ、できたイオンガスの衝突やイオンガスの化学反応に
よって削り取っていくドライエッチングが用いられる。
【００２４】このあと、フォトレジスト膜を剥離する。
そして洗浄のあと次の膜を形成しパターン化を繰り返す
ことで電極膜を製作する。
そして洗浄のあと次の膜を形成しパターン化を繰り返す
ことで電極膜を製作する。
【００２５】対向電極基板１８も同様にフォトリソグラ
フィ工程で電極膜（ブラックマトリクス膜）を製作す
る。
フィ工程で電極膜（ブラックマトリクス膜）を製作す
る。
【００２６】次に液晶表示電極基板１１と対向電極基板
１８の二つの基板の重ね合わせは、両者の間に、不図示
のシール材を介して接着し、その重ね合わせはそれぞれ
の基板に設けた重ね合わせマークを、機械がカメラ等で
読みとって調整しているため、数ミクロン程度の精度で
重ね合わせている。
１８の二つの基板の重ね合わせは、両者の間に、不図示
のシール材を介して接着し、その重ね合わせはそれぞれ
の基板に設けた重ね合わせマークを、機械がカメラ等で
読みとって調整しているため、数ミクロン程度の精度で
重ね合わせている。
【００２７】そして重ね合わせた後の周辺部には、液晶
表示電極基板１７と対向電極基板１８の導通を取るため
のトランスファパッドを配置している。このトランスフ
ァパッドは、材料として例えばクロム、アルミニウム等
よりなり、前述のフォトリソグラフィ工程で形成してい
る。
表示電極基板１７と対向電極基板１８の導通を取るため
のトランスファパッドを配置している。このトランスフ
ァパッドは、材料として例えばクロム、アルミニウム等
よりなり、前述のフォトリソグラフィ工程で形成してい
る。
【００２８】また、対向電極基板１１周辺部には、マー
ク１３のような、ブラックマトリクス１６のない開口部
（すなわち開口窓）が設けられている。この開口部は、
トランスファ材の位置を確認するために設けたものであ
り、フォトリソグラフィ工程で形成している。
ク１３のような、ブラックマトリクス１６のない開口部
（すなわち開口窓）が設けられている。この開口部は、
トランスファ材の位置を確認するために設けたものであ
り、フォトリソグラフィ工程で形成している。
【００２９】この開口部（開口窓）のサイズは、トラン
スファパッド材の塗布時の大きさが０．５ｍｍ程度であ
るため（トランスファパッドには導通をとるための材料
として銀を塗布している）、０．５ｍｍ□となってい
る。しかも、この開口部は、フォトリソグラフィ工程で
形成しているため、数ミクロン（μｍ）の精度で配置で
きる。
スファパッド材の塗布時の大きさが０．５ｍｍ程度であ
るため（トランスファパッドには導通をとるための材料
として銀を塗布している）、０．５ｍｍ□となってい
る。しかも、この開口部は、フォトリソグラフィ工程で
形成しているため、数ミクロン（μｍ）の精度で配置で
きる。
【００３０】本実施例では、もともと存在するトランス
ファパッドの開口部を利用しているが、新たにマークを
配置してもよいことは勿論である。
ファパッドの開口部を利用しているが、新たにマークを
配置してもよいことは勿論である。
【００３１】これに対して、液晶表示電極基板１１に貼
り合わせる偏光板１４には、接着面と反対の表面側に、
フォトリソグラフィ工程かあるいは着色インクを印刷ロ
ーラで印刷で形成したマーク１５を新たに配置する。こ
のマーク１５を例えば１．０ｍｍ□でつくる。
り合わせる偏光板１４には、接着面と反対の表面側に、
フォトリソグラフィ工程かあるいは着色インクを印刷ロ
ーラで印刷で形成したマーク１５を新たに配置する。こ
のマーク１５を例えば１．０ｍｍ□でつくる。
【００３２】そして図１（ｄ）に示すように、偏光板１
４を貼り合わせたとき、この２つのマーク１３、１５の
中心が、正確に偏光板を貼ることができていれば、一致
する。もし貼り付けたあと、偏光板貼りが０．５ｍｍ以
上ズレていれば、図１（ｅ）に示すように、マーク１３
がマーク１５よりも外側になるため、空白部１９ができ
て目視で容易に確認できる。
４を貼り合わせたとき、この２つのマーク１３、１５の
中心が、正確に偏光板を貼ることができていれば、一致
する。もし貼り付けたあと、偏光板貼りが０．５ｍｍ以
上ズレていれば、図１（ｅ）に示すように、マーク１３
がマーク１５よりも外側になるため、空白部１９ができ
て目視で容易に確認できる。
【００３３】すなわち、本実施例において、目視検査を
する際は、周辺部を見て、空白部が有るか無いかをチェ
ックするだけでよい。これにより偏光板貼りが規格値の
０．５ｍｍ以上ズレていて不良であることがわかる。す
なわち、本実施例においては、貼り合わせ精度を±０．
５ｍｍ以下で貼り合わせることができる。
する際は、周辺部を見て、空白部が有るか無いかをチェ
ックするだけでよい。これにより偏光板貼りが規格値の
０．５ｍｍ以上ズレていて不良であることがわかる。す
なわち、本実施例においては、貼り合わせ精度を±０．
５ｍｍ以下で貼り合わせることができる。
【００３４】図２は、本発明の第２の実施例を説明する
ための図であり、図２（ａ）は、本発明の第２の実施例
の液晶表示装置の構成を説明するための分解斜視図、図
２（ｂ）は、本発明の第２の実施例における液晶表示電
極基板と対向電極基板の周辺部を示す拡大平面図、図２
（ｃ）は、本発明の一実施例における偏光板の位置合わ
せマークの拡大図、図２（ｄ）、図２（ｅ）は、本発明
の一実施例における偏光板貼り合わせ後の液晶表示装置
の拡大図を示す。
ための図であり、図２（ａ）は、本発明の第２の実施例
の液晶表示装置の構成を説明するための分解斜視図、図
２（ｂ）は、本発明の第２の実施例における液晶表示電
極基板と対向電極基板の周辺部を示す拡大平面図、図２
（ｃ）は、本発明の一実施例における偏光板の位置合わ
せマークの拡大図、図２（ｄ）、図２（ｅ）は、本発明
の一実施例における偏光板貼り合わせ後の液晶表示装置
の拡大図を示す。
【００３５】図２（ｂ）を参照して、マーク４３のよう
に、マークに目盛りを入れる。これにより、偏光板４４
のズレ量が目視で簡単に読みとれるため、偏光板貼りの
設備にそのズレ量を直ちにフィードバックすることがで
きる。偏光板ズレ調整によるプロセスの停止している時
間が短縮する。
に、マークに目盛りを入れる。これにより、偏光板４４
のズレ量が目視で簡単に読みとれるため、偏光板貼りの
設備にそのズレ量を直ちにフィードバックすることがで
きる。偏光板ズレ調整によるプロセスの停止している時
間が短縮する。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶表示装置の額縁縮小化、表示部外周辺の遮光のた
め、偏光板が液晶表示装置の端部まで貼るようになって
も、偏光板に位置合わせマークを設ければ、表示電極基
板の位置合わせマークと偏光板の位置合わせマークを合
わせることにより、貼り付け位置を目視で確認すること
を可能とし、偏光板貼り付け精度を向上する、という効
果を奏する。このため、偏光板貼り付け不良の流出を防
ぐことができる。
液晶表示装置の額縁縮小化、表示部外周辺の遮光のた
め、偏光板が液晶表示装置の端部まで貼るようになって
も、偏光板に位置合わせマークを設ければ、表示電極基
板の位置合わせマークと偏光板の位置合わせマークを合
わせることにより、貼り付け位置を目視で確認すること
を可能とし、偏光板貼り付け精度を向上する、という効
果を奏する。このため、偏光板貼り付け不良の流出を防
ぐことができる。
【図１】本発明の第１の実施例の液晶表示装置の構造を
示す図であり、（ａ）は組立を示す斜視図、（ｂ）は液
晶電極基板の周辺部拡大図、（ｃ）は偏光板位置合わせ
マーク拡大図、（ｄ）は位置合わせマークが正常に重な
った時の周辺部拡大図、（ｅ）は位置合わせマークが異
常に重なった時の周辺部拡大図である。
示す図であり、（ａ）は組立を示す斜視図、（ｂ）は液
晶電極基板の周辺部拡大図、（ｃ）は偏光板位置合わせ
マーク拡大図、（ｄ）は位置合わせマークが正常に重な
った時の周辺部拡大図、（ｅ）は位置合わせマークが異
常に重なった時の周辺部拡大図である。
【図２】本発明の第２の実施例の液晶表示装置の構造を
示す図であり、（ａ）は組立を示す斜視図、（ｂ）は液
晶電極基板の周辺部拡大図、（ｃ）は偏光板位置合わせ
マーク拡大図、（ｄ）は位置合わせマークが正常に重な
った時の周辺部拡大図、（ｅ）は位置合わせマークが異
常に重なった時の周辺部拡大図である。
示す図であり、（ａ）は組立を示す斜視図、（ｂ）は液
晶電極基板の周辺部拡大図、（ｃ）は偏光板位置合わせ
マーク拡大図、（ｄ）は位置合わせマークが正常に重な
った時の周辺部拡大図、（ｅ）は位置合わせマークが異
常に重なった時の周辺部拡大図である。
【図３】従来技術の液晶表示装置の平面図である。
【図４】従来技術の液晶表示装置の構造を示す図であ
る。
る。
１１、４１ 液晶表示装置 １２、４２ 表示部 １３、４３ 対向電極基板の位置合わせマーク １４、２５、３３、４４ 偏光板 １５、４５ 偏光板側の位置合わせマーク １６、２４、４６ ブラックマトリクス １７、４７ 液晶表示電極基板 １８、４８ 対向電極基板 １９、４９ 位置合わせ異常時にできる空白部 ２１ ＴＦＴ基板 ２２ 対向基板 ２３ シール ２６ 偏光板貼り位置精度確認用マーカ ３０ 液晶セル ３１、３４ パターン ３２ 液晶セル側の位置合わせマーク ３５ 偏光板側の位置合わせマーク
Claims (9)
- 【請求項１】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、導電性部材によって形成された、対向電極基板と導
通をとるための、トランスファパッドを、偏光板位置合
わせ用マークとして用い、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部の少なくとも１ヶ所において、前記液晶表示電
極基板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する
位置に、マークを設け、これらの位置合わせ用のマーク
を合わせることにより、前記液晶表示電極基板と偏光板
とを貼り合わせてなる、ことを特徴とする液晶表示装
置。 - 【請求項２】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、導電性部材によって形成された偏光板位置合わせ用
マークを備え、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部の少なくとも１ヶ所において、前記液晶表示電
極基板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する
位置にマークを設け、これらの位置合わせ用のマークを
合わせることにより、前記液晶表示電極基板と偏光板と
を貼り合わせてなる、ことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項３】前記液晶表示電極基板の４つのコーナー部
のうちの少なくとも１カ所に設けられる偏光板位置合わ
せ用マークがフォトリソグラフィ工程で形成され、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部のうち少なくとも一カ所に形成される前記マー
クが、フォトリソフラフィ工程または着色インクを印刷
ローラーなどで形成されている、 ことを特徴とする請求項１又は２記載の液晶表示装置。 - 【請求項４】請求項１又は２記載の液晶表示装置におい
て、 前記対向電極基板には、前記偏光板位置合わせ用マーク
に対応する位置に位置合わせマークである開口部を備
え、前記液晶表示電極基板における、請求項１記載の前
記トランスファパッドの開口部もしくは請求項２記載の
マークの開口部を通して、前記偏光板の前記マークとの
位置合わせが目視でチェック可能とした、ことを特徴と
する液晶表示装置。 - 【請求項５】前記対向電極基板の位置合わせマークに目
盛を設けたことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装
置。 - 【請求項６】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、薄膜トランジスタや配線をパターン形成するフォト
リソグラフィ工程により配線と同じ導電性金属によって
形成した、対向電極基板と導通をとるための、トランス
ファパッドを、偏光板位置合わせ用マークとして用い、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部のうちの少なくとも１カ所にも、前記液晶表示
電極基板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応す
る位置に、マークを、フォトリソグラフィ工程で形成
し、これらの位置合わせマークを合わせることにより前
記液晶表示電極基板と前記偏光板を貼り合わせる、こと
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項７】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうち少なくとも１カ所におい
て、薄膜トランジスタや配線を微細にパターン化するフ
ォトリソグラフィ工程により配線と同じ導電性金属によ
って形成した、対向電極基板と導通をとるための、トラ
ンスファパッドを、偏光板位置合わせ用マークとして用
い、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部のうち少なくとも一カ所にも、前記液晶表示電
極基板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する
位置に、マークを、着色インクを印刷ローラーなどで形
成し、 これらの位置合わせマークを合わせることにより前記液
晶表示電極基板と前記偏光板を貼り合わせる、ことを特
徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項８】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、薄膜トランジスタや配線を微細にパターン化するフ
ォトリソグラフィ工程で、配線と同じ導電性金属によっ
て偏光板位置合わせ用マークを形成し、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部のうち少なくとも１カ所において、前記液晶表
示電極基板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応
する位置に、フォトリソグラフィ工程でマークを形成
し、 これらの位置合わせマークを合わせることにより、前記
液晶表示電極基板と前記偏光板を貼り合わせることを特
徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項９】薄膜トランジスタ形成側の液晶表示電極基
板の４つのコーナー部のうちの少なくとも１カ所におい
て、薄膜トランジスタや配線を微細にパターン化するフ
ォトリソグラフィ工程で、配線と同じ導電性金属によっ
て偏光板位置合わせ用マークを形成し、 前記液晶表示電極基板に貼り合わせる偏光板の４つのコ
ーナー部のうち少なくとも一カ所にも、前記液晶表示電
極基板に形成した偏光板位置合わせ用マークに対応する
位置に、マークを、着色インクを印刷ローラーなどで形
成し、 これらの位置合わせマークを合わせることにより前記液
晶表示電極基板と前記偏光板を貼り合わせる、ことを特
徴とする液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9110286A JP3022395B2 (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9110286A JP3022395B2 (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10282464A true JPH10282464A (ja) | 1998-10-23 |
| JP3022395B2 JP3022395B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=14531854
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9110286A Expired - Fee Related JP3022395B2 (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3022395B2 (ja) |
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6307613B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-10-23 | Nec Corporation | Liquid crystal display panel with plurality of alignment marks within the wiring layer |
| JP2005257807A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Advanced Display Inc | カラーフィルタ基板の製造方法およびカラーフィルタ基板の検査方法 |
| JPWO2004109377A1 (ja) * | 2003-06-06 | 2006-07-20 | 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 | アレイ基板およびアレイ基板の検査方法 |
| JP2006295438A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Audio Technica Corp | 狭指向性マイクロホン用音響管の製造方法 |
| KR100923055B1 (ko) * | 2003-03-28 | 2009-10-22 | 삼성전자주식회사 | 편광판용 얼라인 마크를 갖는 액정표시장치 |
| KR100930495B1 (ko) * | 2003-03-24 | 2009-12-09 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치 |
| US7719637B2 (en) | 2005-06-27 | 2010-05-18 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
| JP2010271691A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-12-02 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 液晶表示装置 |
| US8134654B2 (en) | 2008-08-20 | 2012-03-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display and method for manufacturing the same |
| CN104570468A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-04-29 | 友达光电股份有限公司 | 显示装置 |
| CN105182572A (zh) * | 2015-07-23 | 2015-12-23 | 友达光电股份有限公司 | 偏光片的设置方法与应用该偏光片的显示面板 |
| CN105572939A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-05-11 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的对位组立方法 |
| CN105974638A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-09-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及显示装置 |
| CN106873223A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-06-20 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板组件 |
| CN107589570A (zh) * | 2017-09-25 | 2018-01-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种膜片及其对位方法、显示模组 |
| CN107632444A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-01-26 | 上海天马微电子有限公司 | 异形显示面板及其制造方法及显示装置 |
| TWI614555B (zh) * | 2015-12-22 | 2018-02-11 | 友達光電股份有限公司 | 液晶顯示面板 |
| CN107976875A (zh) * | 2016-10-24 | 2018-05-01 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种基片对准装置及对准方法 |
| CN109445172A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-08 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 无边框液晶显示面板及显示装置 |
| CN109633949A (zh) * | 2019-02-15 | 2019-04-16 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 偏光片贴附机及其对位方法 |
| CN110297352A (zh) * | 2018-03-23 | 2019-10-01 | 夏普株式会社 | 图像显示面板和图像显示装置 |
-
1997
- 1997-04-11 JP JP9110286A patent/JP3022395B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100356124B1 (ko) * | 1998-11-05 | 2002-10-19 | 닛폰 덴키(주) | 액정 디스플레이 패널 |
| US6307613B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-10-23 | Nec Corporation | Liquid crystal display panel with plurality of alignment marks within the wiring layer |
| KR100930495B1 (ko) * | 2003-03-24 | 2009-12-09 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치 |
| KR100923055B1 (ko) * | 2003-03-28 | 2009-10-22 | 삼성전자주식회사 | 편광판용 얼라인 마크를 갖는 액정표시장치 |
| JPWO2004109377A1 (ja) * | 2003-06-06 | 2006-07-20 | 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 | アレイ基板およびアレイ基板の検査方法 |
| JP2005257807A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Advanced Display Inc | カラーフィルタ基板の製造方法およびカラーフィルタ基板の検査方法 |
| JP2006295438A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Audio Technica Corp | 狭指向性マイクロホン用音響管の製造方法 |
| US8436966B2 (en) | 2005-06-27 | 2013-05-07 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
| US7719637B2 (en) | 2005-06-27 | 2010-05-18 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
| KR101183374B1 (ko) * | 2005-06-27 | 2012-09-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
| US8134654B2 (en) | 2008-08-20 | 2012-03-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display and method for manufacturing the same |
| JP2010271691A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-12-02 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 液晶表示装置 |
| CN104570468A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-04-29 | 友达光电股份有限公司 | 显示装置 |
| US10310318B2 (en) * | 2014-12-11 | 2019-06-04 | Au Optronics Corporation | Display apparatus |
| US20160170246A1 (en) * | 2014-12-11 | 2016-06-16 | Au Optronics Corporation | Display apparatus |
| US20170322447A1 (en) * | 2014-12-11 | 2017-11-09 | Au Optronics Corporation | Display apparatus |
| CN105182572A (zh) * | 2015-07-23 | 2015-12-23 | 友达光电股份有限公司 | 偏光片的设置方法与应用该偏光片的显示面板 |
| TWI614555B (zh) * | 2015-12-22 | 2018-02-11 | 友達光電股份有限公司 | 液晶顯示面板 |
| CN105572939A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-05-11 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的对位组立方法 |
| CN105974638A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-09-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及显示装置 |
| CN107976875A (zh) * | 2016-10-24 | 2018-05-01 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种基片对准装置及对准方法 |
| CN107976875B (zh) * | 2016-10-24 | 2020-09-29 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种基片对准装置及对准方法 |
| CN106873223A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-06-20 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板组件 |
| CN107589570A (zh) * | 2017-09-25 | 2018-01-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种膜片及其对位方法、显示模组 |
| CN107632444A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-01-26 | 上海天马微电子有限公司 | 异形显示面板及其制造方法及显示装置 |
| CN110297352A (zh) * | 2018-03-23 | 2019-10-01 | 夏普株式会社 | 图像显示面板和图像显示装置 |
| CN109445172A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-08 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 无边框液晶显示面板及显示装置 |
| CN109633949A (zh) * | 2019-02-15 | 2019-04-16 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 偏光片贴附机及其对位方法 |
| CN109633949B (zh) * | 2019-02-15 | 2021-07-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 偏光片贴附机及其对位方法 |
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