JPH10270511A - ウエハー・プローブテスト方法及びウエハー又はダイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】オープン・ショートテストや目視チェック等の
従来の方法では、パッド・プローブ間の接触の確認が不
十分であり、そのために、安定的に異常を発見すること
ができず、保全管理が不安定になり易かった。 【解決手段】ウエハーテストを行う際に、プローブ・パ
ッド間の接触抵抗を測定して、接触状態を把握し、プロ
ーブの保全管理、データ補正等を行うようにした。ま
た、並列給電用のプローブ対、及び該プローブ対の電源
側の両配線間に跨がるスイッチを設け、該スイッチを開
路にして接触抵抗を測定し、閉路にしてウエハーテスト
を行うようにした。また、ウエハー又はダイス上に接触
抵抗測定用のパッド及び内部配線を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路等
のウエハー・プローブテスト方法、及びウエハー又はダ
イスに関し、特に通常のウエハーテストの前の予備的テ
ストに特徴のあるウエハー・プローブテスト方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウエハー工程において、プローブ
テストを行う場合、ウエハー位置設定後プローブテスト
を開始する前にオープン・ショートテストと称する一種
の導通試験を行っている。

【０００３】上記テストは微小な電圧又は電流を、例え
ば集積回路の特定端子と、電源端子又は接地端子間に印
加して両者間の導通を調べ、プローブが端子（パッド）
に電気的に接続されているかどうかを確認するために行
うものである。

【０００４】また、プローブとパッドの機械的な接触具
合については、プローブを当てることによってパッドに
生ずるプロープ跡（傷痕）を目視により調べる方法が一
般的に行われている。

【０００５】上記のオープン・ショートテストや目視チ
ェックで異常が発見された場合、プローブ自体に破損等
の異常があれば、それを取り替える、位置合わせにずれ
があれば、それに補正を加える等の対応処置を講じ、プ
ローブテストの正常化を図っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のような従来のオ
ープン・ショートテストでは、端子（パッド）間の導通
を回路の内部を通して大まかに調べるだけであるため、
パッド・プローブ間に大きい接触抵抗を生じている場合
でも、それを見分けることができなかった。

【０００７】因みに、０．３Ω〜数Ωというような異常
に大きい接触抵抗を生じている場合でも、それを確実に
検出することはできなかった。

【０００８】また、プローブ跡の目視による接触評価で
は、プローブがパッドのどの位置に接触しているかは確
認できるものの、接触の程度を十分に判断することはで
きない。

【０００９】上記のように、従来の方法では、パッド・
プローブ間の接触の確認が不十分であり、そのために、
安定的に異常を発見することができず、保全管理が不安
定になり易かった。また、接触抵抗が測定データに大き
い影響を与えるような場合、データを補正する手段がな
かった。

【００１０】本発明は上記問題点を解消したウエハー・
プローブテスト方法、及びその方法の実施に適したウエ
ハー又はダイスを提供しようとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、ウエハープロ
ーバーを用いてウエハーテストを行う際に、プローブ・
パッド間の接触抵抗を測定して、両者間の接触状態を把
握し、プローブの保全管理、位置合わせの補正、測定デ
ータの補正等を行うようにしたものである。

【００１２】また、上記方法の一実施態様として、並列
給電用のプローブ対、及び該プローブ対の電源側の両配
線間に跨がるスイッチを設け、該スイッチを開路にして
接触抵抗を測定し、閉路にしてウエハーテストを行うよ
うにした。また、ウエハー又はダイス上に、接触抵抗測
定用のパッド及び内部配線を設けた。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１、図２及び図３は、それぞれ
本発明のウエハー・プローブテスト方法における接触抵
抗測定の実施例の説明図である。

【００１４】これらの図において、１、２、３はそれぞ
れプローブ、４はプローブ対、５及び６はウエハー又は
ダイス上に設けられたパッド、７及び８は内部配線、９
はスイッチ、１０はプローブ対４の電源側配線を示す。

【００１５】図１は、大型のパッドを利用して接触抵抗
を測定する場合の実施例である。大型のパッド５に、ウ
エハーテスト用のプローブ１と接触抵抗測定用の補助プ
ローブ２を当て、ウエハープローバーに接続されたＩＣ
テスターにより、両プローブ間の抵抗（各プローブ・パ
ッド間接触抵抗の和）を測定する。

【００１６】図２は、接触抵抗測定用のパッド及び内部
配線を用いて接触抵抗を測定する場合の実施例である。
ウエハーテストに用いる端子パッド５の側に、接触抵抗
測定用のパッド６と、これら両パッドを接続する内部配
線７とを、他の内部配線と同時に製作工程で設けてお
く。

【００１７】上記パッド５及び６に、それぞれプローブ
１及び２を当て、図１の場合と同様にして抵抗を測定す
る。

【００１８】図３は、２本のプローブを並列に並べたプ
ロープ対４を利用して接触抵抗を測定する場合の実施例
である。プローブテストにおいては、大きい電流をとる
端子（パッド）に給電するには、電流容量の点から複数
のプロープを並列に並べて給電する方法がよくとられる
が、そのような場合の例である。

【００１９】図３において、二つのパッド５及び内部配
線８はそれぞれ本来の回路の一部である。２本のプロー
ブ３よりなるプロープ対４の電源側（ウエハープローバ
ー本体内）の配線１０の間には図のようにスイッチ９が
設けられており、同スイッチ９はリレーで切り換えられ
るように構成されている。

【００２０】両プローブ３をそれぞれパッド５に当てて
測定を行うが、スイッチ９を回路にした状態で、上記と
同様な接触抵抗の測定を行うことができ、また、同スイ
ッチを閉路とすることにより本来の並列給電によるウエ
ハーテストを行うことができる。

【００２１】本実施例の場合は、プローブ対４の一方の
プロープが補助プローブの役目をすることになるので、
図１や図２の実施例の場合のように、補助プローブを特
に準備する必要はなくなる。

【００２２】上記実施例のような方法でプローブ・パッ
ド間の接触抵抗の測定し、抵抗値に異常がなければウエ
ハーテストを進め、異常があれば必要な対応を行う。

【００２３】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、ウエ
ハープローバーを用いてウエハーテストを行う際に、プ
ローブ・パッド間の接触抵抗を測定するようにしたの
で、その測定データから両者間の接触状態の異常を的確
に把握することができ、プローブの保全管理その他の必
要な対応を安定的に行うことができる。

【００２４】また、測定しようとするパッドが小さい場
合、接触抵抗測定用のパッド、内部配線を設けることに
より、測定が容易となる。

【００２５】また、並列給電用のプローブ対を用い、該
プローブ対の電源側に両配線間に跨がるスイッチを設け
た場合、該スイッチを開路にして接触抵抗を測定し、閉
路にしてウエハーテストを行うことができ、この場合は
接触抵抗測定用の補助プローブを用意する必要がなくな
る。

【００２６】また、本発明では接触抵抗のデータを得る
ので、そのデータをウエハー・プロープテストの測定デ
ータの補正に利用することも可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の説明図である。

【図２】本発明の別の実施例の説明図である。

【図３】同じく本発明の別の実施例の説明図である。

【符号の説明】

１，２，３：プローブ ４：プローブ対 ５，６：パッド ７，８：内部配線 ９：スイッチ １０：電源側配線

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハープローバーを用いてウエハーテ
   ストを行う際に、プローブ・パッド間の接触抵抗を測定
   して、両者間の接触状態を把握し、プローブの保全管
   理、位置合わせの補正、測定データの補正等を行うこと
   を特徴とするウエハー・プローブテスト方法。
2. 【請求項２】 並列給電用のプローブ対、及び該プロー
   ブ対の電源側の両配線間に跨がるスイッチを設け、該ス
   イッチを開路にして接触抵抗を測定し、閉路にしてウエ
   ハーテストを行うことを特徴とする請求項１のウエハー
   ・プローブテスト方法。
3. 【請求項３】 ウエハー又はダイス上に接触抵抗測定用
   のパッド及び内部配線を設けたことを特徴とするウエハ
   ー又はダイス。