JPH10270454A - 半導体製造システムの温度制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を
向上させ、小型化を図った半導体製造システムの温度制
御装置。 【解決手段】温度調節用に専門的に設けられている第１
の熱電対３が使用不能になった場合においても、ヒータ
２の温度を継続して測定し、しかもこの測定温度信号を
温度調節に使用できるように、温度調節器８Ａが使用で
きる熱電対を切り替えることができるように切替回路１
１を設けた。つまり、この切替回路１１は、第１の熱電
対３と第２の熱電対６とから測定温度信号を取り込み、
通常は、第１の熱電対３からの温度測定信号を温度調節
器８Ａに与えるように温度調節器８からの制御によって
動作し、温度調節器８Ａからの判断によって第１の熱電
対３の異常が検知されると、第２の熱電対６からの測定
温度信号を温度調節器８に与えるように動作する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造システ
ムの温度制御装置に関し、ヒータを備えた加熱炉内に設
置した反応管の加熱のための温度制御に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、従来の半導体製造システムの温
度制御装置の構成を示す縦断面図である。この図５にお
いて、温度制御装置は、加熱炉として例えば電気炉１に
は、ヒータ２及びこのヒータ２の温度を測定するための
第１の熱電対３が備えられている。また、電気炉１に
は、石英等からなる反応管４が納められており、この反
応管４の近傍には反応管４の温度を測定するための第３
の熱電対５が設けられている。この反応管４の温度が目
標値となるように、第１の熱電対３によってヒータ２の
温度を測定しつつヒータ２に供給する電力を温度調節器
８が調節する。

【０００３】一般に、半導体製造装置は、安全性の向上
を目的として電気炉１の温度制御を行う温度調節器８と
は、完全に独立した構成の過温保護器９を備えており、
これによって電気炉１の異常温度を検知できるように第
２の熱電対６によって温度を測定し、正常範囲を超えた
温度を検知すると、温度調節器８の機能を一切介さずに
ヒータ２への供給電力をオフにするように構成されてい
る。

【０００４】上述の図５の温度制御装置においては、温
度制御に使用する熱電対が、断線、劣化などによって使
用不能又は性能劣化が発生した場合に温度制御が不可能
となることがある。

【０００５】そこで、別の従来例として、図６に示すよ
うな温度制御装置の構成を採ることができる。すなわ
ち、上述の問題を解決するためにヒータ２の温度を測定
するための第１の熱電対３の近傍に予備の熱電対１０を
設ける構成である。これによって、第１の熱電対３に異
常が発生して使用不能になっても、この予備の熱電対１
０を使用して温度調節器８が温度制御を継続することが
できる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように予備の熱電対１０を設けることは、電気炉１の構
造を複雑にさせることとなり、温度制御装置の製造工数
が増大すると共に部品コストや装置コストを高めること
となる。また、熱電対は、高温になるにしたがい、内部
の熱（温）接点などがいたみ変質し易くなり、これによ
って寄生熱起電力が発生し易くなり温度誤差が増加する
こともある。

【０００７】このようなことから、温度制御管理に関す
る機能性が高く信頼性を向上させ、小型化を図った半導
体製造システムの温度制御装置の実現が要請されてい
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そこで、第１の発明は、
反応管を加熱する加熱炉を備え、この加熱炉にはヒータ
と、このヒータの温度を測定しヒータの温度調節用に使
用する第１の温度センサ（たとえば熱電対）と、ヒータ
の異常加熱を検知するための第２の温度センサとを備
え、第１の温度センサを使用しヒータの温度を測定し、
この測定温度からヒータへの電力供給を制御し発熱状態
を制御すると共に第２の温度センサを使用し測定したヒ
ータの温度が異常に高温になったときにヒータへの電力
供給を強制的に停止させる半導体製造システムの温度制
御装置において、以下の特徴的な構成で上述の課題を解
決した。

【０００９】すなわち、第１の発明は、第１の温度セン
サ及び第２の温度センサからの測定温度信号から判断
し、いずれかの温度センサが故障であると認識したとき
に、他方の温度センサからの測定温度信号を使用してヒ
ータへの電力供給の制御を継続する制御手段を備えた。

【００１０】このように構成することで、ヒータの温度
調節用に設けられた温度センサ又はヒータの異常加熱検
知用の温度センサのいずれかが故障しても、他方の温度
センサを使用して稼働を中断することなく継続してヒー
タに対する温度調節制御と異常加熱検知とを行うことが
できる。

【００１１】また、第２の発明は、反応管を加熱する加
熱炉にヒータを備え、この加熱炉の内側には反応管の温
度を測定するための第１の温度センサと、反応管の異常
加熱を検知するための第２の温度センサとを備え、第１
の温度センサを使用し反応管の温度を測定し、この測定
温度からヒータへの電力供給を制御すると共に第２の温
度センサを使用し測定した反応管の温度が異常に高温に
なったときにヒータへの電力供給を強制的に停止させる
半導体製造システムの温度制御装置において、以下の特
徴的な構成で上述の課題を解決した。

【００１２】すなわち、第２の発明は、第１の温度セン
サ及び第２の温度センサからの測定温度信号から判断
し、いずれかの温度センサが故障であると認識したとき
に、他方の温度センサからの測定温度信号を使用してヒ
ータへの電力供給の制御を継続する制御手段を備えた。

【００１３】このように構成することで、反応管の温度
調節用に設けられた温度センサ又は反応管の異常加熱検
知用の温度センサのいずれかが故障しても、他方の温度
センサを使用して稼働を中断することなく継続してヒー
タに対する温度調節制御と異常加熱検知とを行うことが
できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に本発明の好適な実施の形態を
図面を用いて説明する。

【００１５】「第１の実施の形態」：本第１の実施の形
態においては、電気炉内の温度を制御する温度調節器
と、電気炉内の異常温度を検知する過温保護器とを備え
た半導体製造システム（たとえば、ＣＶＤシステム）の
温度制御装置において、温度制御に使用する温度センサ
が断線又は劣化などによって使用不能又は性能悪化が発
生した場合に、この温度センサを温度調節器とは独立し
た構成である過温保護器の温度センサへ自動的に切り替
えて温度制御を行うように構成する。

【００１６】また、通常、ヒータ近傍に取り付けられる
過温保護器の温度センサを、反応管近傍にも取り付ける
ように構成する。

【００１７】図１は、本第１の実施の形態の半導体製造
装置の温度制御装置の構成図である。この図１におい
て、電気炉１の中には、ヒータ２の温度を測定するため
の第１の熱電対３と、第３の熱電対５と、第２の熱電対
６とが内蔵されており、第１の熱電対３は温度調節用に
設けられており、第３の熱電対５は、反応管４の温度を
測定するように設けられており、第２の熱電対６は、ヒ
ータ２の異常加熱による異常温度を測定するように設け
られている。すなわち、第１の熱電対３と第２の熱電対
６とは、ヒータ２の温度を測定するために設けられてお
り、両方の熱電対は比較的近傍に設置されている。

【００１８】そこで、本第１の実施の形態においては、
温度調節用に専門的に設けられている第１の熱電対３が
使用不能になった場合においても、ヒータ２の温度を継
続して測定し、しかもこの測定温度信号を温度調節に使
用できるように、温度調節器８Ａが使用できる熱電対を
切り替えることができるように切替回路１１を設けた。
つまり、この切替回路１１は、第１の熱電対３と第２の
熱電対６とから測定温度信号を取り込み、通常は、第１
の熱電対３からの温度測定信号を温度調節器８Ａに与え
るように温度調節器８からの制御によって動作し、温度
調節器８Ａからの判断によって第１の熱電対３の異常が
検知されると、第２の熱電対６からの測定温度信号を温
度調節器８に与えるように動作する。なお、第２の熱電
対６からの測定温度信号は、従来と同様に過温保護器９
に与えているので、異常に高い温度が検出されるとヒー
タ２に対する電力供給を電力供給制御回路１２によって
オフさせる。

【００１９】この切替回路１１は、図示のように機能的
には、温度調節器８Ａからの制御信号によって切替スイ
ッチ（たとえば、リレー回路構成）が択一的に切り替え
られれば良いのであるから、回路構成は非常に簡単であ
る。

【００２０】温度調節器８Ａは、反応管４の温度を測定
するための第３の熱電対５から測定温度信号を取り込み
従来と同様に反応管４の温度が目標の温度になるように
ヒータ２に対する電力供給制御を電力供給制御回路１２
によって行うと共に、特徴的には、切替回路１１からの
第１の熱電対３の測定温度信号を監視し、第１の熱電対
３から正常な測定温度信号を検出できなくなると、第１
の熱電対３に異常が起きていると判断して、切替回路１
１に対して切替支持を与える。すなわち、切替回路１１
に対して切替制御信号を与え、取り込む測定温度信号を
第１の熱電対３から第２の熱電対６に切り替えるように
させる。これによって、切替回路１１から第２の熱電対
６からの測定温度信号が温度調節器８Ａに与えられる。
この温度調節器８Ａは、第２の熱電対６からの測定温度
信号を受信し、ヒータ２の温度を監視することができ
る。

【００２１】このようにして、第１の熱電対３が故障し
て使用不能になったとしても、この異常を温度調節器８
Ａが認識し、切替回路１１に対して切替制御信号を与
え、第２の熱電対６からの測定温度信号を温度調節器８
Ａに与えさせ、温度調節器８Ａにおいて中断することな
くヒータ２の温度監視を続けることができる。

【００２２】また、温度調節用の第１の熱電対３ａだけ
が故障している場合は、その近傍に配置されている過温
保護用の第２の熱電対６ａだけを切り替えれば良いので
あって、他の正常な温度調節用の第１の熱電対３ｂ、３
ｃ、３ｄを切り替える必要がないので、正常な第１の熱
電対を有効に使用することができる。

【００２３】（本発明の第１の実施の形態の効果）：
以上の本発明の第１の実施の形態によれば、切替回路１
１を設け、温度調節器８Ａを改良して、切替回路１１に
第１の熱電対３の測定温度信号と第２の熱電対６の測定
温度信号とを取り込むように構成したことで、ヒータ２
の温度調節用の第１の熱電対３が使用不能になったとき
には自動的に温度調節器８Ａが判断して、切り替え制御
を行い、第２の熱電対６からの測定温度信号を温度調節
用に使用することができるので、従来に比べて非常に機
能的でしかも信頼性の高い温度制御装置を実現すること
ができる。また、切替回路１１を新たに設け、温度調節
器を少し改良するだけであるので、非常に簡単な構成で
実現することができる。

【００２４】「第２の実施の形態」：上述の第１の実施
の形態においてはヒータ２の温度を監視するための第１
の熱電対３の近傍に異常温度検知用の第２の熱電対６を
配置している例で、第１の熱電対３が使用不能の場合
に、近傍の第２の熱電対６を使用して温度調節用の測定
温度信号を得るように構成したが、本第３の実施の形態
は、反応管４の温度を監視している第３の熱電対５に対
して、第２の熱電対６を反応管４の異常温度を検知する
ために第３の熱電対５の近傍に配置し、しかも、第３の
熱電対５が温度調節器８Ａで使用不能と判断すると、切
替制御信号を生成して第２の熱電対で測定した測定温度
信号を使用してヒータ２の温度調節を行う。

【００２５】そこで、図２は、本第２の実施の形態の半
導体製造システムの温度制御装置の構成図である。この
図２に示すように、切替回路１１Ａを配置し、切替回路
１１Ａで選択した測定温度データを温度調節器８Ａに与
え、第３の熱電対５が使用不能と判断されると、切替制
御信号を生成し切替回路１１Ａに与える。切替回路１１
Ａは、第３の熱電対５からの測定温度信号を取り込むと
共に第２の熱電対６からの測定温度信号も取り込み、温
度調節器８Ａからの制御信号によって択一的に選択し温
度調節器８Ａに与える。

【００２６】すなわち、温度調節器８Ａは、通常は、第
３の熱電対５からの測定温度信号を切替回路１１Ａから
取り込み、第３の熱電対５が故障であると判断すると、
切替制御信号を与えて、切替回路１１Ａから第２の熱電
対６からの測定温度信号を取り込む。

【００２７】（本発明の第２の実施の形態の効果）：
以上の本発明の第２の実施の形態によれば、反応管４の
温度を測定するための第３の熱電対５が故障になった場
合に、切り替えを行い反応管４の異常温度を検出するた
めの第２の熱電対６から測定温度信号を取り込むことが
できるので、第３の熱電対５の故障によって中断するこ
となくヒータ２に対する温度調節を行うことができる。

【００２８】「第３の実施の形態」：上述の実施の形態
においては、半導体製造システムの温度制御装置の温度
調節器８Ａと過温保護器９とを備えている。しかし、本
第３の実施の形態においては、更に機能を高めそして装
置の小型化を図る。そこで、温度調節器８Ａと過温保護
器９とを一体化することで更に装置の小型化を図る。

【００２９】図３は、本第３の実施の形態の半導体製造
システムの温度制御装置の構成図である。この図３にお
いて、温度制御装置は、主に、電気炉１と、反応管４
と、温度調節・過温保護コントローラ７とから構成され
ており、電気炉１内には、ヒータ２とこのヒータ２に対
する電力供給制御回路１２とヒータ２の温度調節を目的
として温度測定を行う第１の熱電対３とヒータ２の過温
保護のために温度測定を行う第２の熱電対６とが設置さ
れている。なお、ヒータ２の各部の温度を測定するため
に第１の熱電対３と第２の熱電対６とはそれぞれ複数配
置されている。また、反応管４の温度を測定するための
第３の熱電対５が反応管４の近傍に縦方向に複数配置さ
れている。

【００３０】温度調節・過温保護コントローラ７は、温
度調節用の第１の熱電対３からの測定温度信号と、過温
保護用の第２の熱電対６からの測定温度信号と、反応管
４の温度を監視するための第３の熱電対５からの測定温
度信号とを取り込み、ヒータ２及び反応管４の温度調節
とヒータ２の過温保護動作とを行う。この温度調節・過
温保護コントローラ７は、具体的には、温度調節用の第
１の熱電対３からの測定温度信号を監視し、ヒータ２の
温度を最適な温度にさせるようにヒータ２に対する電力
供給制御を電力供給制御回路１２へ行わせる。また、反
応管４の温度を監視するための第３の熱電対５からの測
定温度信号も監視し、反応管４の温度が最適な温度にな
るようにヒータ２に対する電力供給制御を電力供給制御
回路１２へ行わせる。更に、過温保護用の第２の熱電対
６からの測定温度信号も監視し、所定の温度よりも高く
なった場合にヒータ加熱温度異常と判断してヒータ２に
対する電力供給を強制的にオフさせる制御を行う。

【００３１】そして、温度調節・過温保護コントローラ
７は、特徴的には、測定温度信号から第１の熱電対３が
故障であると判断すると、第１の熱電対３を温度調節用
に使用することをやめ、代わりに過温保護用の第２の熱
電対６からの測定温度信号を温度調節用の測定温度信号
として使用し、ヒータ２への電力供給制御を行う。

【００３２】また、温度調節・過温保護コントローラ７
は、たとえば、温度調節用の第１の熱電対３ａが故障し
たときに、その近傍に配置されている第２の熱電対６ａ
を使用するように選択を切り替えれば良いのであって、
その他の正常な温度調節用の第１の熱電対３ｂ、３ｃ、
３ｄは切り替える必要がない。このため正常な第１の熱
電対と第２の熱電対６とを有効に使用することができ
る。

【００３３】さらに、異常発生直前の熱電対の測定温度
と、切替時における正常な熱電対の測定温度との間に大
きな差がある場合があり、これが温度制御性能の悪化の
原因となりかねない。そこで、熱電対の異常が発生し、
一方の正常な熱電対の測定温度を使用する際には、以下
のような演算によって補正値を求める必要がある。すな
わち、 補正値＝（異常発生直前の熱電対の測定温度）−（切替
時の正常な熱電対の測定温度） である。

【００３４】そして、切替時以降、この補正値を正常な
熱電対の測定温度に加えることによって、温度制御性能
が悪化することなく、異常発生以前と同等の温度制御が
可能となる。

【００３５】図４は、本第３の実施の形態の半導体製造
システムの温度制御装置の温度調節・過温保護コントロ
ーラ７の具体的な構成図である。この図４において、温
度調節・過温保護コントローラ７は、主に、ＣＰＵ４１
と、Ａ／Ｄコンバータ４２、４３と、チャネル切替回路
４４、４５と、設定値回路４６ａ〜４６ｄと、比較回路
４７ａ〜４７ｎとから構成されている。

【００３６】チャネル切替回路４４は、過温保護用の熱
電対６ａ〜６ｄからの測定温度信号を取り込むと共にそ
れぞれの熱電対に対応した異常温度を判定するための基
準となる設定温度値を設定出力している設定値回路４６
ａ〜４６ｄからの設定値とを取り込み、ＣＰＵ４１から
の命令によってチャネルごとに選択しＡ／Ｄコンバータ
４２に与える。Ａ／Ｄコンバータ４２は、チャネル切替
回路４４から与えられる過温保護用の熱電対６ａ〜６ｄ
からの測定温度信号と温度設定値とをＡ／Ｄ（アナログ
／デジタル）変換してデジタル測定温度データをＣＰＵ
４１に与える。

【００３７】チャネル切替回路４５は、ヒータの温度調
節用の第１の熱電対３ａ〜３ｄと反応管の温度調節のた
めの第３の熱電対５ａ〜５ｄとの測定温度信号を取り込
み、ＣＰＵ４１からの命令によって一つずつ選択しＡ／
Ｄコンバータ４３に与える。Ａ／Ｄコンバータ４３は、
チャネル切替回路４５から与えられる測定温度信号をＡ
／Ｄ変換してデジタル測定温度データをＣＰＵ４１に与
える。

【００３８】ＣＰＵ４１は、マイクロプロセッサやプロ
グラムＲＯＭやワークＲＡＭやインタフェース回路など
から構成され、Ａ／Ｄコンバータ４２からのデジタル測
定温度データを取り込み、過温保護用の第２の熱電対６
ａ〜６ｄの温度を認識する。また、ＣＰＵ４１は、Ａ／
Ｄコンバータ４３からのデジタル測定温度データも取り
込み、ヒータ２の温度調節用の第１の熱電対３ａ〜３ｄ
の温度と、反応管４の温度調節のための第３の熱電対５
ａ〜５ｄの温度とを認識する。これらの温度が最適値に
なっていない場合は、ヒータ２に対する電力供給を制御
するための制御信号を生成し電力供給制御回路１２に与
えるため出力する。さらに、ＣＰＵ４１は、比較回路４
７ａ〜４７ｄのいずれかから異常温度アラーム信号を与
えられると、ヒータ２の電力供給を強制的にオフさせる
ための制御信号を発生し電力供給制御回路１２に与え
る。これによって、過温保護用の第２の熱電対６ａ〜６
ｄのいずれかに過温異常が発生すると、ヒータ２に対す
る電力供給を強制的にオフさせヒータ２の異常加熱を防
止することができる。

【００３９】更に、ＣＰＵ４１は、第１の熱電対３ａ〜
３ｄのいずれかが故障であると判断すると、その第１の
熱電対の近傍に配置されている第２の熱電対６ａ〜６ｄ
のいずれかからの測定温度信号を使用して電力供給制御
回路１２に対する電力供給の制御を継続する。たとえ
ば、第１の熱電対３ａが故障したのであれば、第２の熱
電対６ａを使用してヒータ２に対する電力供給の制御を
継続する。

【００４０】比較回路４７ａ〜４７ｄは、過温保護用の
第２の熱電対６ａ〜６ｄのそれぞれに対して設定値温度
を超えているか否かを比較する。この比較で過温保護用
の第２の熱電対６ａ〜６ｄの温度が設定値を超えている
場合は、異常温度アラーム信号を生成して出力すると共
にこの異常温度アラーム信号を電力供給制御回路１２に
与えて、電力供給停止の制御を行う。設定値回路４６ａ
〜４６ｄは、それぞれ過温保護用の第２の熱電対６ａ〜
６ｄに対応した異常温度を判定するための設定値を設定
出力しチャネル切替回路４４と比較回路４７ａ〜４７ｄ
とに与えている回路である。

【００４１】（動作）：上述の図４の動作を説明する。
まず、ヒータ２の温度調節用の第１の熱電対３ａ〜３ｄ
からの測定温度信号と、反応管４の温度調節用の第３の
熱電対５ａ〜５ｄからの測定温度信号と、ヒータ２の過
温保護用の第２の熱電対６ａ〜６ｄからの測定温度信号
とは同時期に温度調節・過温保護コントローラ７に与え
られる。そして、第１の熱電対〜第３の熱電対までのそ
れぞれの測定温度をＣＰＵ４１が認識する。ここで、Ｃ
ＰＵ４１は、たとえば、第１の熱電対３ｂが故障してい
る場合は、第２の熱電対６ｂを使用してヒータ２に対す
る電力供給の制御を継続する。また、第２の熱電対６ｃ
が故障している場合は、第１の熱電対３ｃを使用して過
温保護のための電力供給の制御を行う。また、ヒータ２
に対する電力供給の制御は、第３の熱電対５ａ〜５ｄか
らの測定温度信号によっても行われる。

【００４２】（本発明の第３の実施の形態の効果）：
以上の本発明の第３の実施の形態によれば、第１の熱電
対３ａ〜３ｄのいずれが故障して使用できなくなって
も、第２の熱電対６ａ〜６ｄのいずれかを使用して温度
調節のためのヒータ２への電力供給制御を行うことを継
続できる。また、逆に第２の熱電対６ａ〜６ｄのいずれ
が故障して使用できなくなっても、第１の熱電対３ａ〜
３ｄのいずれかを使用して過温保護のための電力供給停
止の制御を行う。このようにして、温度制御装置の温度
制御を管理する上での機能性を高くすることができ、し
かも稼働を停止させることなく信頼性を向上させ、簡単
な構成で小型化を図ることができる。

【００４３】（他の実施の形態）：（１）なお、上述の
第１実施の形態及び第２の実施の形態においては、切替
回路１１又は１１Ａをヒータ２側又は反応管４の一方に
配置したが、両方に設けることも好ましい。

【００４４】（２）また、上述の第３の実施の形態にお
いては、第１の熱電対３が故障になった場合に、第２の
熱電対６を使用するように構成したが、他の構成とし
て、反応管４の近傍にも過温保護用の第４の熱電対を設
け、反応管４の温度調節用の第３の熱電対５が故障であ
ると判断した場合に、代わりに過温保護用の第４の熱電
対を使用して反応管４の温度調節用の測定温度信号を得
るように構成することも好ましい。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように本発明は、ヒータの温
度調節用に使用する第１の温度センサ及びヒータの異常
加熱を検知するための第２の温度センサからの測定温度
信号から判断し、いずれかの温度センサが故障であると
認識したときに、他方の温度センサからの測定温度信号
を使用してヒータへの電力供給の制御を継続すること
で、装置の温度制御を管理する上での機能性を高くする
ことができ、しかも稼働を停止させることなく信頼性を
向上させ、簡単な構成で小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の半導体製造システ
ムの温度制御装置の構成図である。

【図２】第２の実施の形態の半導体製造システムの温度
制御装置の構成図である。

【図３】第３の実施の形態の半導体製造システムの温度
制御装置の構成図である。

【図４】第３の実施の形態の半導体製造システムの温度
制御装置の温度調節・過温保護コントローラ７の具体的
な構成図である。

【図５】従来の半導体製造システムの温度制御装置の構
成を示す縦断面図である。

【図６】別の従来例の半導体製造システムの温度制御装
置の構成を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１…電気炉（加熱炉）、２…ヒータ、３…第１の熱電
対、４…反応管、５…第３の熱電対、６…第２の熱電
対、７…温度調節・過温保護コントローラ、８Ａ…温度
調節器、９…過温保護器、１１、１１Ａ…切替回路、１
２…電力供給制御回路。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 反応管を加熱する加熱炉を備え、この加
   熱炉にはヒータと、このヒータの温度を測定しヒータの
   温度調節用に使用する第１の温度センサと、上記ヒータ
   の異常加熱を検知するための第２の温度センサとを備
   え、上記第１の温度センサを使用し上記ヒータの温度を
   測定し、この測定温度から上記ヒータへの電力供給を制
   御し発熱状態を制御すると共に上記第２の温度センサを
   使用し測定した上記ヒータの温度が異常に高温になった
   ときに上記ヒータへの電力供給を強制的に停止させる半
   導体製造システムの温度制御装置において、 上記第１の温度センサ及び上記第２の温度センサからの
   測定温度信号から判断し、いずれかの上記温度センサが
   故障であると認識したときに、他方の上記温度センサか
   らの測定温度信号を使用して上記ヒータへの電力供給の
   制御を継続する制御手段を備えたことを特徴とする半導
   体製造システムの温度制御装置。
2. 【請求項２】 反応管を加熱する加熱炉にヒータを備
   え、この加熱炉の内側には上記反応管の温度を測定する
   ための第１の温度センサと、上記反応管の異常加熱を検
   知するための第２の温度センサとを備え、上記第１の温
   度センサを使用し上記反応管の温度を測定し、この測定
   温度から上記ヒータへの電力供給を制御すると共に上記
   第２の温度センサを使用し測定した上記反応管の温度が
   異常に高温になったときに上記ヒータへの電力供給を強
   制的に停止させる半導体製造システムの温度制御装置に
   おいて、 上記第１の温度センサ及び上記第２の温度センサからの
   測定温度信号から判断し、いずれかの上記温度センサが
   故障であると認識したときに、他方の上記温度センサか
   らの測定温度信号を使用して上記ヒータへの電力供給の
   制御を継続する制御手段を備えたことを特徴とする半導
   体製造システムの温度制御装置。