JPH10268125A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH10268125A JPH10268125A JP7422997A JP7422997A JPH10268125A JP H10268125 A JPH10268125 A JP H10268125A JP 7422997 A JP7422997 A JP 7422997A JP 7422997 A JP7422997 A JP 7422997A JP H10268125 A JPH10268125 A JP H10268125A
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- electrolysis
- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ミセル電解法により作製されるカラーフィル
タにおいて、電解時の基板の下部の膜厚が、上部、中部
と比べて１０００〜２０００オングストローム程度薄く
なる傾向が生じ、この差は分光スペクトルを測定する
と、ΔＥで５〜１０の差に相当する。この面内での膜厚
差の小さいカラーフィルタを提供する。 【解決手段】 ミセル電解時に、アノード１１とカソー
ド１２の間に、撥水性の化学繊維や不織布、あるいはイ
オン交換膜などのセパレータ１３を置いて、アノード１
１とカソード１２を分離する。また、ミセル電解により
成膜する直前に、カソード１２に、飽和カロメル電極に
対して＋０．１ｖから＋０．６ｖの電圧を印加する。
タにおいて、電解時の基板の下部の膜厚が、上部、中部
と比べて１０００〜２０００オングストローム程度薄く
なる傾向が生じ、この差は分光スペクトルを測定する
と、ΔＥで５〜１０の差に相当する。この面内での膜厚
差の小さいカラーフィルタを提供する。 【解決手段】 ミセル電解時に、アノード１１とカソー
ド１２の間に、撥水性の化学繊維や不織布、あるいはイ
オン交換膜などのセパレータ１３を置いて、アノード１
１とカソード１２を分離する。また、ミセル電解により
成膜する直前に、カソード１２に、飽和カロメル電極に
対して＋０．１ｖから＋０．６ｖの電圧を印加する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶テレビ・パー
ソナルコンピューター用ディスプレイ等に用いられる、
アクティブマトリックスおよび単純マトリックスカラー
液晶パネルに用いるカラーフィルタの製造方法に関す
る。
ソナルコンピューター用ディスプレイ等に用いられる、
アクティブマトリックスおよび単純マトリックスカラー
液晶パネルに用いるカラーフィルタの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒子お
よびＩＴＯ微粒子を、電荷により荷電する界面活性剤お
よび支持電解質を基本成分とし、顔料粒子を界面活性剤
で取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を調整し、こ
のミセルを電解により破壊して導電体上に顔料粒子及び
ＩＴＯ微粒子を析出させ、導電性のある顔料薄膜を形成
するという薄膜形成方法を用いて、Ｒｅｄ・Ｇｒｅｅｎ
・Ｂｌｕｅ３原色からなるカラーフィルタを製造し、こ
れを液晶パネル用の電極下付け方式のカラーフィルタと
して使用することを本出願人は先に提案している（特開
平２−２４６０３号公報、特開平６−１８７１６号公
報、特開平６−５９１１７号公報）。
よびＩＴＯ微粒子を、電荷により荷電する界面活性剤お
よび支持電解質を基本成分とし、顔料粒子を界面活性剤
で取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を調整し、こ
のミセルを電解により破壊して導電体上に顔料粒子及び
ＩＴＯ微粒子を析出させ、導電性のある顔料薄膜を形成
するという薄膜形成方法を用いて、Ｒｅｄ・Ｇｒｅｅｎ
・Ｂｌｕｅ３原色からなるカラーフィルタを製造し、こ
れを液晶パネル用の電極下付け方式のカラーフィルタと
して使用することを本出願人は先に提案している（特開
平２−２４６０３号公報、特開平６−１８７１６号公
報、特開平６−５９１１７号公報）。
【０００３】本法を用いたカラーフィルタの作製方法で
は、通常、ミセル電解法により顔料薄膜を形成する電極
としてＩＴＯを使用し、これをミセル電解液中に浸漬し
た後白金板電極をカソード（−極）とし、ＩＴＯ電極を
アノード（＋極）として、電極間に０．４Ｖから０．８
Ｖ程度の電圧を印加すると該界面活性剤の酸化還元反応
によりミセル破壊反応が進行し、顔料粒子がＩＴＯ電極
上に形成される。
は、通常、ミセル電解法により顔料薄膜を形成する電極
としてＩＴＯを使用し、これをミセル電解液中に浸漬し
た後白金板電極をカソード（−極）とし、ＩＴＯ電極を
アノード（＋極）として、電極間に０．４Ｖから０．８
Ｖ程度の電圧を印加すると該界面活性剤の酸化還元反応
によりミセル破壊反応が進行し、顔料粒子がＩＴＯ電極
上に形成される。
【０００４】また、カラーフィルタの電極パターンとし
て、一般的にＲｅｄ・Ｇｒｅｅｎ・Ｂｌｕｅがストライ
プ状に繰り返される電極パターンを使用した場合、例え
ば、１色目としてＢｌｕｅ、２色目としてＧｒｅｅｎ、
３色目としてＲｅｄを順番に形成していく。一般的な電
極下付け方式のカラーフィルタの電極パターンを、図４
に示す。一般的な電極下付け方式のカラーフィルタの電
極パターンは、ガラス基板２１上に、ＩＴＯ（透明導電
膜）２２がフォトリソ法により形成され、この電極パタ
ーンに重なるようにＲｅｄ・Ｇｒｅｅｎ・Ｂｌｕｅの顔
料膜が形成される。この際形成したい電極パターンを選
択して通電する方法と、フォトレジストを用いて、あら
かじめ形成したい電極パターンのみ選択的に穴開けをし
ておく方法をなどがある。さらに各電極間には通常ブラ
ックマトリックス２３が形成されている。
て、一般的にＲｅｄ・Ｇｒｅｅｎ・Ｂｌｕｅがストライ
プ状に繰り返される電極パターンを使用した場合、例え
ば、１色目としてＢｌｕｅ、２色目としてＧｒｅｅｎ、
３色目としてＲｅｄを順番に形成していく。一般的な電
極下付け方式のカラーフィルタの電極パターンを、図４
に示す。一般的な電極下付け方式のカラーフィルタの電
極パターンは、ガラス基板２１上に、ＩＴＯ（透明導電
膜）２２がフォトリソ法により形成され、この電極パタ
ーンに重なるようにＲｅｄ・Ｇｒｅｅｎ・Ｂｌｕｅの顔
料膜が形成される。この際形成したい電極パターンを選
択して通電する方法と、フォトレジストを用いて、あら
かじめ形成したい電極パターンのみ選択的に穴開けをし
ておく方法をなどがある。さらに各電極間には通常ブラ
ックマトリックス２３が形成されている。
【０００５】また、本カラーフィルタは、顔料粒子とＩ
ＴＯ微粒子を共析することを特徴としており、その効果
としてカラーフィルタの導電化がなされ、その結果カラ
ーフィルタ上に液晶駆動用の電極を形成することなく、
またパネルの電気光学特性を低下させることなく、高歩
留りのカラーフィルタの製造ができることを最大の特色
としている。
ＴＯ微粒子を共析することを特徴としており、その効果
としてカラーフィルタの導電化がなされ、その結果カラ
ーフィルタ上に液晶駆動用の電極を形成することなく、
またパネルの電気光学特性を低下させることなく、高歩
留りのカラーフィルタの製造ができることを最大の特色
としている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本方法
によりカラーフィルタを形成した場合、以下のような課
題が生じていた。すなわち、電解時の基板の下部の膜厚
が上部、中部と比べてやや薄くなる傾向が生じている。
その差は膜厚で１０００〜２０００オングストローム程
度で、外観上は肉眼では判別しにくいレベルであるが、
分光スペクトルを測定してみるとその差は明らかであ
り、ΔＥで最大５〜１０程度の差となっている。
によりカラーフィルタを形成した場合、以下のような課
題が生じていた。すなわち、電解時の基板の下部の膜厚
が上部、中部と比べてやや薄くなる傾向が生じている。
その差は膜厚で１０００〜２０００オングストローム程
度で、外観上は肉眼では判別しにくいレベルであるが、
分光スペクトルを測定してみるとその差は明らかであ
り、ΔＥで最大５〜１０程度の差となっている。
【０００７】そこで、本発明の目的とするところは、従
来方法では基板下部の膜厚が薄くなり、色調差が生じる
という現象が改善でき、ΔＥで５〜１０の色調差が、５
以下に低減でき、結果として面内での色調差のばらつき
の少ないカラーフィルタを提供することにある。
来方法では基板下部の膜厚が薄くなり、色調差が生じる
という現象が改善でき、ΔＥで５〜１０の色調差が、５
以下に低減でき、結果として面内での色調差のばらつき
の少ないカラーフィルタを提供することにある。
【０００８】ミセル電解法の電極反応のメカニズムを図
５〜図７を使用して、いかにして本発明により課題を解
決できるかについて詳細に説明する。
５〜図７を使用して、いかにして本発明により課題を解
決できるかについて詳細に説明する。
【０００９】ミセル電解液中には、アノード１１とカ
ソード１２にはさまれて、酸化還元基をもった界面活性
剤（例えばＦＰＥＧ）が疎水性物質（有機顔料粒子・Ｉ
ＴＯ微粒子）を取り込んだ、ミセル化した顔料粒子１６
が存在している（図５）。
ソード１２にはさまれて、酸化還元基をもった界面活性
剤（例えばＦＰＥＧ）が疎水性物質（有機顔料粒子・Ｉ
ＴＯ微粒子）を取り込んだ、ミセル化した顔料粒子１６
が存在している（図５）。
【００１０】電解によりアノード１１側（ＩＴＯ電
極）では界面活性剤ＦＰＥＧが酸化され、ＦＰＥＧ＋
１８になると同時に、顔料粒子を取り込んだミセル１６
が破壊されて顔料粒子１７がＩＴＯ電極上に析出する
（図６）。
極）では界面活性剤ＦＰＥＧが酸化され、ＦＰＥＧ＋
１８になると同時に、顔料粒子を取り込んだミセル１６
が破壊されて顔料粒子１７がＩＴＯ電極上に析出する
（図６）。
【００１１】アノード１１側で酸化されてできたＦＰ
ＥＧ＋ １８は、電気的にカソード１２側にすぐさま引
き寄せられ、カソード１２上で還元されてＦＰＥＧ１９
に戻り、カソード近傍でＦＰＥＧがミセル（空ミセル）
２０を形成する（図７）。
ＥＧ＋ １８は、電気的にカソード１２側にすぐさま引
き寄せられ、カソード１２上で還元されてＦＰＥＧ１９
に戻り、カソード近傍でＦＰＥＧがミセル（空ミセル）
２０を形成する（図７）。
【００１２】この工程が繰り返されることにより、電
極上に顔料膜が形成されていく。
極上に顔料膜が形成されていく。
【００１３】この反応を式にあらわすと、次式で示され
る。
る。
【００１４】 ＜Ａｎｏｄｅ＞ ＦＰＥＧ → ＦＰＥＧ＋ ＋ ｅ− ＜Ｃａｔｈｏｄｅ＞ ＦＰＥＧ＋ ＋ ｅ− → ＦＰＥＧ そこで、本発明の作用は、第１の方法においてセパレー
タによりアノードとカソードを分離することにより、上
記メカニズムので形成した空ミセルのアノードへの拡
散を遅らせること、及び、第２の方法により、カソード
上で形成した空ミセルを逆の電解をかけることにより、
拡散する前に破壊することにより課題を解決する。
タによりアノードとカソードを分離することにより、上
記メカニズムので形成した空ミセルのアノードへの拡
散を遅らせること、及び、第２の方法により、カソード
上で形成した空ミセルを逆の電解をかけることにより、
拡散する前に破壊することにより課題を解決する。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造方法は、第１の方法として、水に不溶性もしくは
難溶性の顔料粒子及びＩＴＯ微粒子、および末端にフェ
ロセン誘導体を導入した界面活性剤、および支持電解質
を基本成分とし、顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を界面活性
剤で取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を調整し、
該ミセルを電解により破壊して導電体上に顔料粒子及び
ＩＴＯ微粒子を析出させ、顔料薄膜を形成するカラーフ
ィルタの製造方法において、電解により顔料薄膜を形成
する工程に使用するカソード対極を、顔料粒子及びＩＴ
Ｏ微粒子を析出させるアノードとの間にセパレータを設
置することにより、分離することを特徴とする。また、
セパレータとして、撥水性の化学繊維・不織布、あるい
はイオン交換膜を用いることを特徴とする。
の製造方法は、第１の方法として、水に不溶性もしくは
難溶性の顔料粒子及びＩＴＯ微粒子、および末端にフェ
ロセン誘導体を導入した界面活性剤、および支持電解質
を基本成分とし、顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を界面活性
剤で取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を調整し、
該ミセルを電解により破壊して導電体上に顔料粒子及び
ＩＴＯ微粒子を析出させ、顔料薄膜を形成するカラーフ
ィルタの製造方法において、電解により顔料薄膜を形成
する工程に使用するカソード対極を、顔料粒子及びＩＴ
Ｏ微粒子を析出させるアノードとの間にセパレータを設
置することにより、分離することを特徴とする。また、
セパレータとして、撥水性の化学繊維・不織布、あるい
はイオン交換膜を用いることを特徴とする。
【００１６】さらに第２の方法として、水に不溶性もし
くは難溶性の顔料粒子及びＩＴＯ微粒子、および末端に
フェロセン誘導体を導入した界面活性剤、および支持電
解質を基本成分とし、顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を界面
活性剤で取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を調整
し、該ミセルを電解により破壊して導電体上に顔料粒子
及びＩＴＯ微粒子を析出させ、顔料薄膜を形成するカラ
ーフィルタの製造方法において、該顔料ミセルコロイド
水溶液中で電解により顔料薄膜を形成する工程の直前
に、電解時に印加する極性とは逆の正の極性の電解を対
極に印加することを特徴とする。また、電解により顔料
薄膜を形成する工程の前に、対極に印加する電解の条件
を、飽和カロメル電極に対して＋０．１Ｖから＋０．６
Ｖの範囲とすることを特徴とする。また、対極に逆の電
解を印加する際に、顔料ミセルコロイド水溶液を循環し
て攪拌することを特徴とする。
くは難溶性の顔料粒子及びＩＴＯ微粒子、および末端に
フェロセン誘導体を導入した界面活性剤、および支持電
解質を基本成分とし、顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を界面
活性剤で取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を調整
し、該ミセルを電解により破壊して導電体上に顔料粒子
及びＩＴＯ微粒子を析出させ、顔料薄膜を形成するカラ
ーフィルタの製造方法において、該顔料ミセルコロイド
水溶液中で電解により顔料薄膜を形成する工程の直前
に、電解時に印加する極性とは逆の正の極性の電解を対
極に印加することを特徴とする。また、電解により顔料
薄膜を形成する工程の前に、対極に印加する電解の条件
を、飽和カロメル電極に対して＋０．１Ｖから＋０．６
Ｖの範囲とすることを特徴とする。また、対極に逆の電
解を印加する際に、顔料ミセルコロイド水溶液を循環し
て攪拌することを特徴とする。
【００１７】さらに第３の方法として、第２の方法にお
いて、第１の方法のセパレータで、アノードとカソード
を分離することを特徴とする。
いて、第１の方法のセパレータで、アノードとカソード
を分離することを特徴とする。
【００１８】なお、ここで、セパレータとして使用する
ものの材質は、鋭意研究の結果、撥水性の化学繊維・不
織布、あるいはイオン交換膜など界面活性剤のミセルが
分離、濾過、もしくは吸着することにより拡散を遅らせ
ることができるものなら何でもよい。例えば界面活性剤
としてＦＰＥＧ（フェロセニルＰＥＧ）を用いた場合、
その空ミセルのミセルの大きさは、およそ直径３．８±
０．３ｎｍであることが知られており、イオン交換膜は
このサイズを参考にすればよい。
ものの材質は、鋭意研究の結果、撥水性の化学繊維・不
織布、あるいはイオン交換膜など界面活性剤のミセルが
分離、濾過、もしくは吸着することにより拡散を遅らせ
ることができるものなら何でもよい。例えば界面活性剤
としてＦＰＥＧ（フェロセニルＰＥＧ）を用いた場合、
その空ミセルのミセルの大きさは、およそ直径３．８±
０．３ｎｍであることが知られており、イオン交換膜は
このサイズを参考にすればよい。
【００１９】また、逆の電解の電解条件に関して、鋭意
研究の結果、飽和カロメル電極に対して＋０．１Ｖから
＋０．６Ｖの範囲とする場合に最も効果が認められるこ
とが分かった。
研究の結果、飽和カロメル電極に対して＋０．１Ｖから
＋０．６Ｖの範囲とする場合に最も効果が認められるこ
とが分かった。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例に基づき、
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００２１】（実施例１）本発明の第１の実施例を図１
に基づき、詳細に説明する。
に基づき、詳細に説明する。
【００２２】アノード１１として３００ｍｍ×３７０ｍ
ｍガラス基板上に、１０インチパネル用のカラーフィル
タパターンのＩＴＯ電極を１００μｍピッチで縦ストラ
イプ状にパターニングしたものを用いた。カソード１２
として、２７０ｍｍ×３００ｍｍチタン板上に白金をス
パッタした厚さ約１ｍｍの金属板を使用した。このカソ
ード１２のまわりにセパレータ１３として撥水性繊維
（商標名パイレン９００）を電極板に密着するように貼
った。
ｍガラス基板上に、１０インチパネル用のカラーフィル
タパターンのＩＴＯ電極を１００μｍピッチで縦ストラ
イプ状にパターニングしたものを用いた。カソード１２
として、２７０ｍｍ×３００ｍｍチタン板上に白金をス
パッタした厚さ約１ｍｍの金属板を使用した。このカソ
ード１２のまわりにセパレータ１３として撥水性繊維
（商標名パイレン９００）を電極板に密着するように貼
った。
【００２３】電解液１４として以下の組成のミセル電解
液を使用した。なお溶媒は純水であり、これらを超音波
ホモジナイザーにより９０分（５００ｍｌ当たり）コロ
イド分散し電解液とした。
液を使用した。なお溶媒は純水であり、これらを超音波
ホモジナイザーにより９０分（５００ｍｌ当たり）コロ
イド分散し電解液とした。
【００２４】 Ｂｌｕｅ電解液 有機顔料（大日精化製） ６ｇ／リットル （フタロシアニン系(青)：アゾ系（黄）顔料＝９：１混合物） 導電性微粒子 ＩＴＯ微粉末（住友金属鉱山製） １８ｇ／リットル 界面活性剤 フェロセニルＰＥＧ（同仁化学製）３．７ｇ／リットル 支持電解質 臭化リチウム（関東化学製） １０ｇ／リットル Ｇｒｅｅｎ電解液 有機顔料（ＢＡＳＦ製） ６ｇ／リットル （フタロシアニングリーン系（緑）：アゾ系（黄）顔料＝８：２混合物） 導電性微粒子 ＩＴＯ微粉末（住友金属鉱山製） １８ｇ／リットル 界面活性剤 フェロセニルＰＥＧ（同仁化学製）３．８ｇ／リットル 支持電解質 臭化リチウム（関東化学製） １ｇ／リットル Ｒｅｄ電解液 有機顔料（大日精化製） ６ｇ／リットル （アントラキノン系(赤)：アゾ系（黄）顔料＝９：１混合物） 導電性微粒子 ＩＴＯ微粉末（住友金属鉱山製） １８ｇ／リットル 界面活性剤 フェロセニルＰＥＧ（同仁化学製）３．７ｇ／リットル 支持電解質 臭化リチウム（関東化学製） １０ｇ／リットル 界面活性剤のフェロセニルＰＥＧは、レドックス反応性
をもつ界面活性剤であり、顔料粒子の表面に吸着し、コ
ロイド分散化させるとともに、電解により、アノード電
極基板表面に顔料粒子を析出させる性質を持つ。
をもつ界面活性剤であり、顔料粒子の表面に吸着し、コ
ロイド分散化させるとともに、電解により、アノード電
極基板表面に顔料粒子を析出させる性質を持つ。
【００２５】電解槽１５にミセル電解液１４を入れ、こ
の中に、アノードＩＴＯ付きガラス基板１１とセパレー
タ１３を貼り付けたカソード（Ｐｔ／Ｔｉ板）１２を浸
漬した。この時電極間の距離は２０ｍｍとした。この状
態で直流電源で電極間にＢｌｕｅの成膜電位として、
０．４ｖの電圧を１５分間印加した。
の中に、アノードＩＴＯ付きガラス基板１１とセパレー
タ１３を貼り付けたカソード（Ｐｔ／Ｔｉ板）１２を浸
漬した。この時電極間の距離は２０ｍｍとした。この状
態で直流電源で電極間にＢｌｕｅの成膜電位として、
０．４ｖの電圧を１５分間印加した。
【００２６】なお成膜電圧は、Ｂｌｕｅが０．４ｖ・１
５分、Ｇｒｅｅｎが０．６ｖ・１８分、Ｒｅｄが０．６
ｖ・１５分とした。
５分、Ｇｒｅｅｎが０．６ｖ・１８分、Ｒｅｄが０．６
ｖ・１５分とした。
【００２７】本実施例により作製したカラーフィルタ
は、面内の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差も０．
１μｍ以下であった。
は、面内の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差も０．
１μｍ以下であった。
【００２８】（比較例１）上記実施例１におけるカソー
ド１２に貼り付けたセパレータ１３を取り除いた状態
で、実施例１と同様の工程でカラーフィルタを作製した
ところ、面内の色調差はΔＥで最大１０あり、膜厚差も
最大０．２５μｍであった。
ド１２に貼り付けたセパレータ１３を取り除いた状態
で、実施例１と同様の工程でカラーフィルタを作製した
ところ、面内の色調差はΔＥで最大１０あり、膜厚差も
最大０．２５μｍであった。
【００２９】（実施例２）上記実施例１において、セパ
レータとして使用したパイレンの代わりに、商標名サラ
ン９００を使用し、同様の工程でカラーフィルタを作製
したところ、実施例１と同様、面内の色調差はΔＥで５
であり、膜厚差も０．１μｍであった。
レータとして使用したパイレンの代わりに、商標名サラ
ン９００を使用し、同様の工程でカラーフィルタを作製
したところ、実施例１と同様、面内の色調差はΔＥで５
であり、膜厚差も０．１μｍであった。
【００３０】（実施例３）上記実施例１において、セパ
レータとして使用したパイレンの代わりに、フッ素系ア
ニオン交換膜（商標名トフレックス）を使用し、同様の
工程でカラーフィルタを作製したところ、実施例１と同
様、面内の色調差はΔＥで５であり、膜厚差も０．１μ
ｍであった。
レータとして使用したパイレンの代わりに、フッ素系ア
ニオン交換膜（商標名トフレックス）を使用し、同様の
工程でカラーフィルタを作製したところ、実施例１と同
様、面内の色調差はΔＥで５であり、膜厚差も０．１μ
ｍであった。
【００３１】（実施例４）実施例１と同様に、アノード
１１として３００ｍｍ×３７０ｍｍガラス基板上に、１
０インチパネル用のカラーフィルタパターンのＩＴＯ電
極を１００μｍピッチで縦ストライプ状にパターニング
したものを用いた。カソード１２として、２７０ｍｍ×
３００ｍｍチタン板上に白金をスパッタした厚さ約１ｍ
ｍの金属板を使用した。電解槽１５にミセル電解液１４
を入れ、この中に、アノードＩＴＯ付きガラス基板１１
とカソード（Ｐｔ／Ｔｉ板）１２を浸漬した。この時電
極間の距離は２０ｍｍとした。ここまでの製造方法は従
来のミセル電解法と同じである。この状態の電解槽の構
成図を図３に示す。この状態で、直流電源で成膜時とは
逆の電位、すなわちＰｔ／Ｔｉカソード１２側に対し、
ＩＴＯ電極アノード１１側に−０．６ｖの電位を６０秒
間印加した。その後電位を反転させて、実施例１と同様
の各成膜電位で成膜したところ、実施例１と同様、面内
の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差も０．１μｍ以
下であった。図２にカソードに対するアノードへの印加
電圧パターンをグラフ化した図を示す。図２は、最初の
１分間はカソード１２に対しアノード１１へは−０．６
ｖに電圧を印加し、次に電位を反転させて、カソード１
２に対しアノード１１へは＋０．６ｖに電圧を印加し、
１５分間成膜を行なったことを示している（電圧は２極
間の電位差で表示）。なお、アノード１１へ＋０．６ｖ
印加した場合、飽和カロメル電極基準ではアノード１１
へは＋０．４ｖ程度の電圧が印加されている。
１１として３００ｍｍ×３７０ｍｍガラス基板上に、１
０インチパネル用のカラーフィルタパターンのＩＴＯ電
極を１００μｍピッチで縦ストライプ状にパターニング
したものを用いた。カソード１２として、２７０ｍｍ×
３００ｍｍチタン板上に白金をスパッタした厚さ約１ｍ
ｍの金属板を使用した。電解槽１５にミセル電解液１４
を入れ、この中に、アノードＩＴＯ付きガラス基板１１
とカソード（Ｐｔ／Ｔｉ板）１２を浸漬した。この時電
極間の距離は２０ｍｍとした。ここまでの製造方法は従
来のミセル電解法と同じである。この状態の電解槽の構
成図を図３に示す。この状態で、直流電源で成膜時とは
逆の電位、すなわちＰｔ／Ｔｉカソード１２側に対し、
ＩＴＯ電極アノード１１側に−０．６ｖの電位を６０秒
間印加した。その後電位を反転させて、実施例１と同様
の各成膜電位で成膜したところ、実施例１と同様、面内
の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差も０．１μｍ以
下であった。図２にカソードに対するアノードへの印加
電圧パターンをグラフ化した図を示す。図２は、最初の
１分間はカソード１２に対しアノード１１へは−０．６
ｖに電圧を印加し、次に電位を反転させて、カソード１
２に対しアノード１１へは＋０．６ｖに電圧を印加し、
１５分間成膜を行なったことを示している（電圧は２極
間の電位差で表示）。なお、アノード１１へ＋０．６ｖ
印加した場合、飽和カロメル電極基準ではアノード１１
へは＋０．４ｖ程度の電圧が印加されている。
【００３２】（実施例５）実施例４において、逆電位の
条件を、Ｐｔ／Ｔｉカソード１２側に対し、ＩＴＯ電極
アノード１１側に−０．４ｖの電位を１２０秒間印加
し、その後電位を反転させて、実施例１と同様の各成膜
電位で成膜したところ、実施例１と同様、面内の色調差
はΔＥで５以下であり、膜厚差も０．１μｍ以下であっ
た。なお、アノード１１へ＋０．４ｖ印加した場合、飽
和カロメル電極基準ではアノード１１へは＋０．２ｖ程
度の電圧が印加されている。
条件を、Ｐｔ／Ｔｉカソード１２側に対し、ＩＴＯ電極
アノード１１側に−０．４ｖの電位を１２０秒間印加
し、その後電位を反転させて、実施例１と同様の各成膜
電位で成膜したところ、実施例１と同様、面内の色調差
はΔＥで５以下であり、膜厚差も０．１μｍ以下であっ
た。なお、アノード１１へ＋０．４ｖ印加した場合、飽
和カロメル電極基準ではアノード１１へは＋０．２ｖ程
度の電圧が印加されている。
【００３３】（実施例６）実施例４において、カソード
１２のまわりに、実施例１で用いた、セパレータ１３の
撥水性繊維（商標名パイレン９００）を電極板に密着す
るように貼り、その他の工程は実施例４と同様に、直流
電源で成膜時とは逆の電位、すなわちＰｔ／Ｔｉカソー
ド１２側に対し、ＩＴＯ電極アノード１１側に−０．６
ｖの電位を６０秒間印加し、その後電位を反転させて、
実施例１と同様の各成膜電位で成膜したところ、実施例
１と同様、面内の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差
も０．１μｍ以下であった。なお、アノード１１へ＋
０．６ｖ印加した場合、飽和カロメル電極基準ではアノ
ード１１へは＋０．４ｖ程度の電圧が印加されている。
１２のまわりに、実施例１で用いた、セパレータ１３の
撥水性繊維（商標名パイレン９００）を電極板に密着す
るように貼り、その他の工程は実施例４と同様に、直流
電源で成膜時とは逆の電位、すなわちＰｔ／Ｔｉカソー
ド１２側に対し、ＩＴＯ電極アノード１１側に−０．６
ｖの電位を６０秒間印加し、その後電位を反転させて、
実施例１と同様の各成膜電位で成膜したところ、実施例
１と同様、面内の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差
も０．１μｍ以下であった。なお、アノード１１へ＋
０．６ｖ印加した場合、飽和カロメル電極基準ではアノ
ード１１へは＋０．４ｖ程度の電圧が印加されている。
【００３４】（実施例７）実施例５において、カソード
１２のまわりに、実施例２で用いた、セパレータ１３の
撥水性繊維（商標名サラン９００）を電極板に密着する
ように貼り、その他の工程は実施例５と同様に、直流電
源で成膜時とは逆の電位、すなわちＰｔ／Ｔｉカソード
１２側に対し、ＩＴＯ電極アノード１１側に−０．４ｖ
の電位を１２０秒間印加し、その後電位を反転させて、
実施例１と同様の各成膜電位で成膜したところ、実施例
１と同様、面内の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差
も０．１μｍ以下であった。なお、アノード１１へ＋
０．４ｖ印加した場合、飽和カロメル電極基準ではアノ
ード１１へは＋０．２ｖ程度の電圧が印加されている。
１２のまわりに、実施例２で用いた、セパレータ１３の
撥水性繊維（商標名サラン９００）を電極板に密着する
ように貼り、その他の工程は実施例５と同様に、直流電
源で成膜時とは逆の電位、すなわちＰｔ／Ｔｉカソード
１２側に対し、ＩＴＯ電極アノード１１側に−０．４ｖ
の電位を１２０秒間印加し、その後電位を反転させて、
実施例１と同様の各成膜電位で成膜したところ、実施例
１と同様、面内の色調差はΔＥで５以下であり、膜厚差
も０．１μｍ以下であった。なお、アノード１１へ＋
０．４ｖ印加した場合、飽和カロメル電極基準ではアノ
ード１１へは＋０．２ｖ程度の電圧が印加されている。
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の構成の一
例を示す図。
例を示す図。
【図２】本発明のカラーフィルタの製造方法の電圧印加
パターンの一例を示す図。
パターンの一例を示す図。
【図３】実施例４のミセルカラーフィルタの製造方法の
構成を示す図。
構成を示す図。
【図４】一般的な電極下付けカラーフィルタの電極パタ
ーンを示す図。
ーンを示す図。
【図５】ミセル電解法の電極反応のメカニズムを示す
図。
図。
【図６】ミセル電解法の電極反応のメカニズムを示す
図。
図。
【図７】ミセル電解法の電極反応のメカニズムを示す
図。
図。
１１ アノード（ＩＴＯ電極付きガラス基板） １２ カソード（Ｐｔ／Ｔｉ板） １３ セパレータ １４ ミセル電解液 １５ 電解槽 １６ ミセル化した顔料粒子 １７ 析出した顔料粒子 １８ 酸化された界面活性剤（ＦＰＥＧ＋ ） １９ 還元された界面活性剤（ＦＰＥＧ） ２０ ミセル化した界面活性剤（空ミセル） ２１ ガラス基板 ２２ ＩＴＯ電極 ２３ ブラックマトリックス
Claims (6)
- 【請求項１】 水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒子及
びＩＴＯ微粒子、および末端にフェロセン誘導体を導入
した界面活性剤、および支持電解質を基本成分とし、顔
料粒子及びＩＴＯ微粒子を界面活性剤で取り囲んだ顔料
のミセルコロイド水溶液を調整し、該ミセルを電解によ
り破壊して導電体上に顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を析出
させ、顔料薄膜を形成するカラーフィルタの製造方法に
おいて、電解により顔料薄膜を形成する工程に使用する
カソード対極を、顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を析出させ
るアノードとの間にセパレータを設置して、分離するこ
とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項２】 前記セパレータとして、撥水性の化学繊
維または不織布、あるいはイオン交換膜を用いることを
特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項３】 水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒子及
びＩＴＯ微粒子、および末端にフェロセン誘導体を導入
した界面活性剤、および支持電解質を基本成分とし、顔
料粒子及びＩＴＯ微粒子を界面活性剤で取り囲んだ顔料
のミセルコロイド水溶液を調整し、該ミセルを電解によ
り破壊して導電体上に顔料粒子及びＩＴＯ微粒子を析出
させ、顔料薄膜を形成するカラーフィルタの製造方法に
おいて、前記顔料ミセルコロイド水溶液中で電解により
顔料薄膜を形成する工程の直前に、電解時に印加する極
性とは逆の正の極性の電解を、対極に印加することを特
徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項４】 前記電解により顔料薄膜を形成する工程
の前に対極に印加する電解の条件を、飽和カロメル電極
に対して＋０．１Ｖから＋０．６Ｖの範囲とすることを
特徴とする請求項３記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項５】 前記電解により顔料薄膜を形成する工程
の前に対極に逆の電解を印加する際に、前記顔料ミセル
コロイド水溶液を循環して攪拌することを特徴とする請
求項３または４記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項６】 前記請求項１または２記載のセパレータ
で、アノードとカソードを分離することを特徴とする請
求項３ないし５のいずれか記載のカラーフィルタの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7422997A JPH10268125A (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7422997A JPH10268125A (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10268125A true JPH10268125A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13541147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7422997A Withdrawn JPH10268125A (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10268125A (ja) |
-
1997
- 1997-03-26 JP JP7422997A patent/JPH10268125A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |