JPH10261932A - 弾性表面波フィルタ及び弾性表面波フィルタの構成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 弾性表面波フィルタの特性を制御する際のイ
ンピーダンス変化を最小限に押さえつつ、所望の周波数
特性が得られる弾性表面波フィルタ及びその構成方法を
提供する。 【解決手段】 圧電性基板上に、第１の極性を有するよ
うに接続された第１の電極指と第２の極性を有するよう
に接続された第２の電極指とが交互に配設された第１の
領域１０１ａと、少なくとも１本の第１の電極指と３本
の第２の電極指とからなる偶数本の電極指を単位として
周期的に配設された第２の領域１０１ｂ、または、少な
くとも１本の第１の電極指と２本の第２の電極指とから
なる奇数本の電極指を単位として周期的に配設された第
２の領域１０１ｃとを有するインターディジタル変換器
を配設する。第２の領域１０１ｂは第１の領域１０１で
励振される弾性表面波に対して反射器としてのみ動作す
るとともに容量成分を付加することになり、ＩＤＴ１０
０、２００を構成する電極指の対数や開口長を変えるこ
となくインピーダンスを低減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば携帯電話の
ような移動通信機器等に用いられる弾性表面波フィルタ
及びその構成方法に関する。また本発明は例えば弾性表
面波フィルタなどの弾性表面波装置に関し、特にインタ
ーディジタル変換器と反射器とを備えた共振子型弾性表
面波フィルタに関する。また本発明はインターディジタ
ル変換器と反射器により構成される共振子型フィルタの
インターディジタル変換器の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、移動通信分野の発展はめざまし
く、様々なシステムが開発されている。これらのシステ
ムで用いられている通信機器の小型化に伴い、使用され
る電子部品も小型化が求められている。

【０００３】弾性表面波フィルタは小型、軽量、高信頼
性、優れた帯域外減衰特性等の特徴を有しているため、
近年移動通信分野で盛んに使われている。また、フィル
タ特性が通信機器の性能を決定するため、優れた周波数
特性を有する弾性表面波フィルタは今や移動通信機器の
キーデバイスとなっている。

【０００４】しかしながら、弾性表面波フィルタは電気
信号を弾性表面波という機械的なエネルギーに一度変換
した後に再び電気信号に変換するといった動作原理によ
り、挿入損失が大きいという問題があり、低損失化が求
められている移動体通信機器用フィルタに使えるような
低損失化を実現するためには様々な方式が検討されてい
る。例えば一方向性のフィルタや、複数のインターディ
ジタル変換器（ΙｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ：ＩＤＴ）を組み合わせたＩＩＤＴ方式、共
振特性を利用した共振子型フィルタや１ポート型共振子
を梯子状に組み合わせたラダー型弾性表面波フィルタ等
がある。

【０００５】これら方式の中でも、共振特性を利用した
共振子型弾性表面波フィルタは、低損失で小型化に優
れ、移動体通信用弾性表面波フィルタの主流となってい
る。

【０００６】このような弾性表面波フィルタは、用いら
れる通信システム、放送システムなどに応じて周波数特
性を制御する必要がある。近年では、例えば送信帯域と
受信帯域が近接するなど、システムの高度化に伴って複
雑な周波数特性の制御を行うことが要求されている。

【０００７】従来、共振子型弾性表面波フィルタはイン
ターディジタル変換器による弾性表面波の反射も積極的
に利用するため、ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ Ｄｉｇｉｔａｌ
Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ：インターディジタル変換器）
は２本で極性が単位周期をなすソリッド電極（シングル
電極）で構成されており、周波数特性等の特性制御はイ
ンターディジタル変換器やグレーティング状の反射器
（Ｇｒ）を構成する電極指の本数や配設ピッチ及び電極
指を構成する導体薄膜の膜厚によって制御されていた。

【０００８】しかしながら、例えば共振子型弾性表面波
フィルタの基本特性は、このフィルタを構成するインタ
ーディジタル変換器の周波数特性と反射器の反射特性に
支配されることになるため、従来の構造では複雑な特性
制御を行うことができないという問題がある。

【０００９】特に小型化、軽量化が求められている移動
体通信用途の弾性表面波フィルタでは、インターディジ
タル変換器や反射器の本数には自ずと制限があり、従来
構造では特性制御できる範囲も限られてしまうという問
題がある。

【００１０】また、弾性表面波フィルタは受動部品であ
るため、外部回路のインピーダンスの制限を受けるた
め、従来のようにインターディジタル変換器の電極指の
対数や反射器の反射特性を制御する方法では弾性表面波
フィルタ自体のインピーダンスが変化してしまうため特
性制御には限界があった。

【００１１】また、フィルタ特性を変えずに弾性表面波
フィルタのインピーダンスを制御するために、従来はイ
ンターディジタル変換器の開口長を変えて制御してい
た。しかしながら、従来のようにインターディジタル変
換器の開口長を変化させることにより、外部回路との整
合をとる方法は小型化が求められる移動体通信用弾性表
面波フィルタでは、弾性表面波装置の素子サイズの制限
を受けたり、開口長の増減に伴う電極指の抵抗分の変化
に伴う挿入損失の劣化や、横モード等の不必要なモード
によるスプリアスが発生して弾性表面波装置の特性に悪
影響を及ぼすことがあり、システム要求に対して十分に
対応することができる手法ではなかった。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものであり、弾性表面波
フィルタの特性を制御する際のインピーダンス変化を最
小限に押さえつつ、所望の周波数特性が得られる弾性表
面波フィルタ及びその構成方法を提供することを目的と
している。また本発明の弾性表面波フィルタは、低損失
で良好な帯域外減衰特性を有するとともに、複雑なシス
テム要求に柔軟に対応することができる弾性表面波フィ
ルタを提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、本発明の弾性表面波フィルタ及び弾性表面波フ
ィルタの構成方法は以下のような構成を採用したもので
ある。

【００１４】請求項１に係る本願発明の弾性表面波フィ
ルタは、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成され、
ソリッド電極からなる第１の領域とスプリット電極から
なる第２の領域とを有するインターディジタル変換器と
を具備する。

【００１５】請求項２では、インターディジタル変換器
を有する共振子型フィルタを複数接続してなる弾性表面
波フィルタであって、前記共振子型フィルタのうち少な
くとも１つの共振子型フィルタが、ソリッド電極からな
る第１の領域とスプリット電極からなる第２の領域とを
有するインターディジタル変換器を有することを特徴と
する、弾性表面波フィルタが提供される。

【００１６】請求項３では、ソリッド電極からなる第１
の領域とスプリット電極からなる第２の領域とを有する
インターディジタル変換器における、ソリッド電極の中
心周波数をｆｏ１、スプリット電極の中心周波数をｆｏ
２としたとき、 ２×（ｆｏ２×０．９５）≦ｆｏ１≦２×（ｆｏ２×
１．０１） の関係になるように、スプリット電極を形成したことを
特徴とする、請求項１乃至請求項２に記載の弾性表面波
フィルタが提供される。

【００１７】請求項４では、ソリッド電極からなる第１
の領域とスプリット電極からなる第２の領域とを有する
インターディジタル変換器における、スプリット電極を
構成する電極指の本数の総和がソリッド電極を構成する
電極指の本数の総和以下であることを特徴とする、請求
項１乃至請求項２に記載の弾性表面波フィルタが提供さ
れる。

【００１８】請求項５では、圧電性基板上にソリッド電
極からなる第１の領域とスプリット電極からなる第２の
領域とを有するインターディジタル変換器を形成してな
る弾性表面波フィルタにおいて、要求特性に応じて前記
第１の領域と前記第２の領域との割合を変えたことを特
徴とする、弾性表面波フィルタの構成方法が提供され
る。

【００１９】請求項６では、請求項５の方法により製造
されたことを特徴とする、弾性表面波フィルタが提供さ
れる。

【００２０】ここで、インターディジタル変換器（ＩＤ
Ｔ）とは、例えば金属製薄膜の櫛歯状電極を互いに対向
噛み合わせ配置したものである。通常、金属製薄膜のグ
レーティング状の反射器（Ｇｒ）がインターディジタル
変換器より励振される弾性表面波の伝搬方向に沿ってΙ
ＤＴを挟むように２ヶ配置される。また、ソリッド電極
とは、インターディジタル変換器を構成している電極指
の極性が、交流電圧などの信号が印加されたときに互い
違いになるように配設されている電極をいう。また、ス
プリット電極とは、信号が印加されたときに、同極性の
電極指２本を１つのぺアーとして、このぺアーの極性が
互い違いになるように配設された電極をいう。この弾性
表面波フィルタでは、このようなインターディジタル変
換器と反射器との組を複数個圧電性基板上に配設するよ
うにしてもよい。また、このとき同一の圧電性基板上に
配設される複数の組のうち少なくとも１つの組のインタ
ーディジタル変換器をソリッド電極からなる第１の領域
とスプリット電極からなる第２の領域とを有するように
構成するようにしてもよい。第１の領域と第２の領域と
は、互いに隣接するように構成可能であり、また一方が
他方を挟むように構成することも可能である。

【００２１】ソリッド電極は電極自体で弾性表面波を反
射するため、低損失化に不可欠な電極構造である。一方
スプリット電極は、電極内において反射波がキャンセル
される構造であるため弾性表面波フィルタの低損失化に
は寄与することはない。特に、設定された中心周波数よ
り若干外れた不必要な周波数に相当する波長の弾性表面
波に対しては、ソリッド電極では不必要にもかかわらず
低損失化に寄与してしまうことになるが、スプリット電
極では全く寄与しないため、本発明では、従来の構造に
比べて、通過帯域近傍での減衰特性は急峻なものとな
る。

【００２２】また特に、スプリット電極の中心周波数を
ソリッド電極の中心周波数の１／２近傍に設定すること
により、スプリット電極を構成する電極指の幅及び電極
指の配設ピッチはスプリット電極を形成する電極指の幅
および電極指の配設ピッチと等しくなる。このことによ
り、ソリッド電極から励振された弾性表面波にとっては
反射器として作用し、弾性表面波フィルタの低損失化に
寄与するが、スプリット電極から励振される弾性表面波
は先に述べたようにスプリット電極内で打ち消されるた
めに、スプリット電極から励振された波長の弾性表面波
の反射波による悪影響を回避することができる。

【００２３】また上記の説明のように、スプリット電極
はそれを構成する電極指の配設ピッチに応じた周波数の
弾性表面波に対しては反射器として作用する。通常の反
射器ではこの反射器を構成する電極はすべて同一極性と
なるのに対し、スプリット電極の場合には、同一極性の
電極指２本をぺアーとし、ぺアー間で極性が異なってい
る構造上、この極性の異なる電極指ぺアー間に、通常の
反射器では持ち得ない容量を有することとなる。すなわ
ち、ソリッド電極の一部をスプリット電極に置き換えた
場合には、弾性表面波フィルタの容量を変えることなく
励振源を変えることができるし、またソリッド電極で構
成されている弾性表面波フィルタにスプリット電極を付
加した場合には、励振源を変えることなく弾性表面波フ
ィルタの容量を変えることができる。このように本発明
の弾性表面波フィルタおよびその構成方法によれば、弾
性表面波フィルタの損失や、チップサイズを犠牲にする
ことなく、システムの要求する複雑な周波数特性に柔軟
に対応することができる。

【００２４】また、本発明の弾性表面波フィルタは、圧
電性基板と、前記圧電性基板上に配設され、第１の弾性
表面波を励振する第１の領域と、前記第１の弾性表面波
を反射する第２の領域とを有するインターディジタル変
換器とを具備したことを特徴とする。すなわち本発明の
弾性表面波フィルタは、圧電性基板と、前記圧電性基板
上に配設され、信号が入力されたとき第１の弾性表面波
を励振する第１の領域と、前記信号が入力されたとき前
記第１の弾性表面波を反射する第２の領域とを有するイ
ンターディジタル変換器とを具備するものである。１個
のインターディジタル変換器内には、複数の第１の領域
または複数の第２の領域が存在していてもよい。

【００２５】前記インターディジタル変換器の前記第２
の領域は、隣接配置される電極指間で容量が形成される
部分を有するようにしてもよい。

【００２６】また、前記インターディジタル変換器の第
２の領域は、同一極性の電極指が３本以上並ぶように構
成するようにしてもよい。つまり、前記インターディジ
タル変換器の第２の領域は、前記電気信号が入力された
とき同一極性の電極指が３本以上並ぶような配置で構成
するようにしてもよい。例えば、前記インターディジタ
ル変換器の前記第１の領域は、第１の極性を有するよう
に接続された第１の電極指と、第２の極性を有するよう
に接続された第２の電極指とを交互に配設して構成し、
前記第２の領域を少なくとも１本の前記第１の電極指と
３本の前記第２の電極指とからなる偶数本を単位として
周期的に配設するようにしてもよい。つまり本発明の弾
性表面波フィルタは、圧電性基板と、前記圧電性基板上
に配設され、第１の極性を有するように接続された第１
の電極指と第２の極性を有するように接続された第２の
電極指とが交互に配設された第１の領域と、前記第１の
電極指と前記第２の電極指とが少なくとも１本の前記第
１の電極指と２本の前記第２の電極指とからなる奇数本
の電極指を単位として周期的に配設された第２の領域と
を有するインターディジタル変換器とを具備するように
してもよい。また、圧電牲基板上に形成した金属製薄膜
の櫛歯状電極を互いに交差させてなるインターディジタ
ル変換器を単数もしくは複数個有し、金属製薄膜のグレ
ーティング状の反射器（Ｇｒ）が前記インターディジタ
ル変換器により励振される弾性表面波の伝搬方向に沿っ
て前記インターディジタル変換器を挟むように配置して
なる共振子型の弾性表面波フィルタであって、前記イン
ターディジタル変換器を構成する電極指はすべて前記イ
ンターディジタル変換器により励振される弾性表面波の
１／４波長の幅とピッチで配置されている電極（以後ソ
リッド電極と呼ぶ）で構成されており、かつ、少なくと
も１ヶの前記インターディジタル変換器内で、このイン
ターディジタル変換器を構成している前記電極指の極性
が２本で単位周期をなす第１の領域と、４本以上で偶数
本の前記電極指で単位周期をなす第２の領域とを備える
ようにしてもよい。このとき、４本以上の偶数本の電極
指で単位周期をなす第２の領域が、同一極性の電極指２
本と、異なる極性の電極指２本の計４本の電極指で単位
周期を構成すると、設定した周波数の半分の周波数で励
振するスプリット電極となってしまい、励振源の数が減
ってしまう。このため、インターディジタル変換器の第
２の領域の構成は、例えば４本の電極指で１周期を構成
する場合には、一方のバスバーに接続された電極指１本
と他方のバスバーに接続された電極指３本とによりソリ
ッドに構成するようにすればよい。

【００２７】また、前記インターディジタル変換器の第
２の領域は、前記電気信号が入力されたとき互いに打ち
消し合うような２つの弾性表面波を励振するように構成
するようにしてもよい。例えば、前記インターディジタ
ル変換器の前記第１の領域は、第１の極性を有するよう
に接続された第１の電極指と第２の極性を有するように
接続された第２の電極指とを交互に配設して構成し、前
記第２の領域は少なくとも１本の前記第１の電極指と２
本の前記第２の電極指とからなる奇数本を単位として周
期的に配設するようにしてもよい。つまり本発明の弾性
表面波フィルタは、圧電性基板と、前記圧電性基板上に
配設され、第１の極性を有するように接続された第１の
電極指と第２の極性を有するように接続された第２の電
極指とが交互に配設された第１の領域と、前記第１の電
極指と前記第２の電極指とが少なくとも１本の前記第１
の電極指と２本の前記第２の電極指とからなる奇数本の
電極指を単位として周期的に配設された第２の領域とを
有するインターディジタル変換器とを具備するようにし
てもよい。また、圧電牲基板上に形成した金属製薄膜の
櫛歯状電極を互いに交差させてなるインターディジタル
変換器を単数もしくは複数個有し、金属製薄膜のグレー
ティング状の反射器（Ｇｒ）が前記インターディジタル
変換器により励振される弾性表面波の伝搬方向に沿って
前記インターディジタル変換器を挟むように配置してな
る共振子型の弾性表面波フィルタであって、前記インタ
ーディジタル変換器を構成する電極指はすべて前記イン
ターディジタル変換器により励振される弾性表面波の１
／４波長の幅とピッチで配置されている電極（以後ソリ
ッド電極と呼ぶ）で構成されており、かつ、少なくとも
１ヶの前記インターディジタル変換器内で、このインタ
ーディジタル変換器を構成している前記電極指の極性が
２本で単位周期をなす第１の領域と、３本以上で奇数本
の前記電極指で単位周期をなす第２の領域とを有するよ
うにしてもよい。

【００２８】また、前記インターディジタル変換器を構
成する電極指の幅は前記インターディジタル変換器が励
振する弾性表面波の波長の１／４であり、前記電極指の
配設ピッチは前記波長の１／４となるように構成するよ
うにしてもよい。

【００２９】また、前記インターディジタル変換器は、
前記第１の領域で励振される弾性表面波の位相と、前記
第２の領域で励振される弾性表面波の位相とが同相にな
るように配設するようにしてもよい。

【００３０】また、前記インターディジタル変換器は、
前記第１の領域で励振される弾性表面波の位相と、前記
第２の領域で励振される弾性表面波の位相とが逆相にな
るように配設するようにしてもよい。

【００３１】また前記インターディジタル変換器を構成
する電極指は、前記第１の領域における配設ピッチをｐ
1 、前記第２の領域における配設ピッチをｐ2 としたと
き、 ｐ₁ ×０．９０≦ｐ₂ ≦ｐ₁ ×１．１ の関係を満たすように構成するようにしてもよい。

【００３２】また、前記圧電性基板上に、前記インター
ディジタル変換器の励振する弾性表面波の伝搬方向に沿
って前記インターディジタル変換器を挟むように配設さ
れた反射器をさらに具備するようにしてもよく、前記イ
ンターディジタル変換器は前記反射器の間に複数個配設
するようにしてもよい。

【００３３】すなわち本発明の弾性表面波フィルタは、
弾性表面波フィルタを構成しているインターディジタル
変換器のうち少なくとも１個のインターディジタル変換
器を、その電極指の極性が２本で単位周期をなすソリッ
ド電極からなる第１の領域と、４本以上で偶数本の電極
指で極性が単位周期をなすソリッド電極からなる第２の
領域とにより構成することにより、弾性表面波フィルタ
の特性を制御する際のインピーダンス変化を最小限に抑
制しつつ、電極指の本数を変えることなく複雑な周波数
特性を実現することができるものである。

【００３４】本発明によれば、少なくとも１個のインタ
ーディジタル変換器は、極性が２本で単位周期をなすソ
リッド電極からなる第１の領域と、４本以上の偶数本で
極性が単位周期をなすソリッド電極からなる第２の領域
とを有している。ソリッド電極は電極自体で弾性表面波
を反射するため、低損失化に不可欠な電極構造である。
本発明では、４本以上の偶数本で極性が単位周期となる
ように電極指が配設された第２の領域を有しているた
め、信号が印加されたときには、同一極性の電極指が並
んだ部分が生じることになる。この部分では弾性表面波
は励振されることはないから、異なる極性が並んだ第１
の領域で励振された弾性表面波（第１の弾性表面波）に
対して反射器としてのみ作用する。すなわち、上記の説
明のように、インターディジタル変換器の第２の領域
は、この領域を構成する電極指の配設ピッチに応じた周
波数の弾性表面波に対しては反射器として作用すること
になる。通常の反射器では、すべての電極指は同一極性
であるのに対し、本発明では反射器として機能するイン
ターディジタル変換器の第２の領域には、同一極性の電
極指以外にも、極性が異なっている電極指を有している
ため、この異なる極性の電極指間では通常の反射器では
持ち得ない容量と励振源を有することとなる。また、２
本のソリッド電極で単位周期をなす通常のインターディ
ジタル変換器の一部を４本以上の偶数本の電極指で単位
周期をなす第２の領域で置き換えることにより、圧電性
基板の厚み方向に容量を持つことになるため、弾性表面
波フィルタの励振源の個数を変えることなく弾性表面波
フィルタの容量を変えることができる。

【００３５】なお、本発明の弾性表面波フィルタのイン
ターディジタル変換器の電極構造の類似例として、４本
の電極で単位周期をなす電極部を、同一極性の電極指を
２本ずつ交互に配設して構成した場合には、設定した周
波数の半分で励振するスプリット電極となってしまう。
このため、設定した周波数で２個の逆相の弾性表面波が
励振して互いにキャンセルし合い、２本のソリッド電極
で単位周期をなす通常のインターディジタル変換器の一
部をこの構造に置き換えた場合は励振源の個数が減って
しまうことになり、本発明のような効果を得ることがで
きない。

【００３６】また本発明の弾性表面波フィルタは、弾性
表面波フィルタを構成しているインターディジタル変換
器のうち少なくとも１個のインターディジタル変換器
を、その電極指の極性が２本で単位周期をなすソリッド
電極からなる第１の領域と、３本以上で奇数本の電極指
で極性が単位周期をなすソリッド電極からなる第２の領
域とにより構成することにより、インターディジタル変
換器の第１の領域に容量を付加することができる。した
がって、開口長を変えることなく弾性表面波フィルタの
インピーダンス特性を制御することができる。また弾性
表面波フィルタの特性を制御する際のインピーダンス変
化を最小限に抑制しつつ、電極指の本数を変えることな
く複雑な周波数特性を実現することができる。

【００３７】本発明の弾性表面波フィルタによれば、イ
ンターディジタル変換器は極性が２本で単位周期をなす
ソリッド電極と３本以上の奇数本で極性が単位周期をな
すソリッド電極からなる第２の領域を有している。前述
のようにソリッド電極は電極自体で弾性表面波を反射す
るため、低損失化に不可欠な電極構造である。このよう
な第２の領域では、互いに１８０゜位相が異なる２種の
弾性表面波が励振されるが、これらの弾性表面波は打ち
消し合い、結局この第２の領域では弾性表面波は励振さ
れることはない。したがってこの第２の領域は、２本の
電極指で極性の単位周期が構成される第１の領域で励振
された弾性表面波（第１の弾性表面波）に対して反射器
としてのみ作用することになる。さらに、この３本以上
奇数本の電極指で単位周期が構成される第２の領域内の
異なる極性を有する電極指間には、容量が形成されるこ
とになる。すなわち、この第２の領域の一部は従来の反
射器では成し得ない容量素子としての機能を兼ね備えて
いる。このような構成を有する本発明の弾性表面波フィ
ルタによれば、インターディジタル変換器内にこの３本
以上奇数本の電極指で単位周期をなす第２の領域を備え
ているため、この領域に付加される容量成分がインター
ディジタル変換器の第１の領域に並列に接続されること
になり、インターディジタル変換器を構成する電極指の
対数や開口長を変えることなくインピーダンスを低減す
ることができる。これは、同じインピーダンスを有する
弾性表面波装置においてはその開口長を小さくできるこ
とを意味し、弾性表面波装置をコンパクトにすることが
でき、移動体通信機、携帯用情報端末などの携帯用電子
機器に特に好適な弾性表面波装置を提供することができ
る。

【００３８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態について
図面を参照しながら詳細に説明する。

【００３９】（実施形態１）図１は本発明の一実施形態
に係る弾性表面波フィルタの電極パターンを一部を省略
して示す図である。これらの電極は、圧電性基板、例え
ば４５°ＸカットＬＢＯ基板に形成される。この弾性表
面波フィルタは、２種類の２ＩＤＴフィルタ１、２を接
続して構成される。すなわち、第１の２ＩＤＴフィルタ
１は、所定の間隔をもって配置された２つのＩＤＴ３、
４と、これらを挟むように配置された２つのＧｒ５、６
とを有する。第２の２ＩＤＴフィルタ２も同様に、所定
の間隔をもって配置された２つのＩＤＴ７、８と、これ
らを挟むように配置された２つのＧｒ９、１０とを有す
る。第１の２ＩＤＴフィルタ１のＩＤＴ４と第２の２Ｉ
ＤＴフィルタ２のＩＤＴ８とは、接続線１１を介して接
続されている。

【００４０】図２はＩＤＴ３の構造を示す図である。図
中の１２はソリッド電極、１３はスプリット電極であ
り、ソリッド電極１２とスプリット電極１３とが相互に
隣接して形成されている。ソリッド電極は電極自体で弾
性表面波を反射するため、低損失化に不可欠な電極構造
である。一方スプリット電極は、弾性表面波の進行波と
反射波の位相が１８０°異なっており、電極内において
反射波がキャンセルされる構造であるため弾性表面波フ
ィルタの低損失化には寄与することはない。

【００４１】このような構造を有するＩＤＴ３を有する
弾性表面波フィルタでは、ソリッド電極１２とスプリッ
ト電極１３とを接続して形成することで、特性を制御す
る際のインピーダンス変化を最小限に押さえつつ、所望
の周波数特性が得られることになる。

【００４２】このような効果を確認するため行ったシュ
ミレーション結果を図３に示す。図３は、４５°Χカッ
トＬＢＯ基板に２ヶのＩＤＴを有し、２ヶのＩＤＴの内
１ヶのＩＤＴに関して、ソリッド電極とスプリット電極
とを接続するように形成した、６００Ω系の共振子フィ
ルタのＳｍｉｔｈの等価回路に基づいて行ったシュミレ
ーション結果である。なお、本発明を実施したΙＤＴを
形成する電極指の本数と、本発明を実施していない従来
技術のＩＤＴを形成する電極指の本数はそろえてある。
また、スプリット電極の中心周波数はソリッド電極の中
心周波数の１／２になるように設定し、ΙＤＴ構成は図
２のようにし、ソリッド電極側に従来構造のΙＤＴを配
置した。

【００４３】図３中、３１は比較のため、ソリッド電極
を含まない従来構造のＩＤＴ、３２はスプリット電極を
構成する電極指の数がソリッド電極を構成する電極の半
分に、３３はスプリット電極を構成する電極指の数とソ
リッド電極を構成する電極指の数が等しいように設置し
た例である。ソリッド電極の比率が増えるにしたがっ
て、フィルタの急峻性は増すが、本実施例では特に低域
側での急峻性が増した。また、ソリッド電極の本数が増
加すると、設定したインピーダンスよりも弾性表面波フ
ィルタのインピーダンスはずれてしまい、本発明の効果
は半減してしまう。

【００４４】図４は図３中の３１と３２の共振子フィル
タを接続した２段構成の弾性表面波フィルタのシュミレ
ーション結果を、図５はこの弾性表面波フィルタを実際
に作成して、コンデンサとコイルで６００Ωになるよう
に調整した回路での評価結果をそれぞれ示す図である。

【００４５】また、図６は図３中の３２の共振子フィル
タを２ヶ縦続に接続したもののシュミレーション結果
を、図７は弾性表面波フィルタを実際に作成して、図５
の弾性表面波フィルタと同じ回路で評価したものであ
る。

【００４６】いずれの場合も、シュミレーションと実物
はよく似ており、本発明の効果が分かる。

【００４７】なお、本発明は上述した実施形態には限定
されない。例えば、上述した実施形態では、図２に示し
たようにソリッド電極１２とスプリット電極１３とを隣
接するように形成したが、図８に示すようにスプリット
電極１３をソリッド電極１２が挟むように形成してもよ
いし、図９に示すようにソリッド電極１２をスプリット
電極１３が挟むように形成してもよい。

【００４８】以上説明したように、本発明によれば、特
性を制御する際のインピーダンス変化を最小限に押さえ
つつ、所望の周波数特性を得ることができ、設計の自由
度を大幅に向上することができる。

【００４９】（実施形態２）図１０、図１１、図１２は
本発明の弾性表面波フィルタが備えるＩＤＴ（インター
ディジタル変換器）の構造を概略的に示す図である。図
１０に例示したＩＤＴ１００は、信号が入力されたとき
に、極性が２本で単位周期をなすソリッドな電極指から
なる第１の領域１０１ａと、４本以上偶数本の電極指で
極性が単位周期をなすソリッドな電極指からなる第２の
領域１０１ｂとを有している。また、例えば図１１、図
１２に例示するように２本の電極指で極性の単位周期を
構成する第１の領域１０１ａと、４本以上の偶数本の電
極指で極性の単位周期を構成する第２の領域１０１ｂと
を１個のＩＤＴ１００内に複数装備するようにしてもよ
い。

【００５０】弾性表面波フィルタを構成するＩＤＴが複
数ある場合には、少なくとも１個のＩＤＴを第１の領域
１０１ａと第２の領域１０１ｂとにより構成するように
すればよい。また、それぞれのＩＤＴ１００に関し、例
えば図１０、図１１、図１２に例示したような構成の何
れを用いるようにしてもよく、１個の弾性表面波フィル
タを構成するすべてのＩＤＴを同じ構成にする必要はな
い。図１３は本発明の弾性表面波フィルタの構成を概略
的に示す図であり、圧電性基板１１０上に、上述のよう
な第１の領域１０１ａと第２の領域１０１ｂとからなる
ＩＤＴ１００ａ、１００ｂ、１００ｄおよび従来と同様
のソリッドなＩＤＴ１００ｃとを、反射器１０２間に配
設したものである。第１の領域１０１ａと第２の領域１
０１ｂとの位相関係は同相関係でも逆相関係のどちらで
もよく、この位相関係によっても弾性表面波フィルタの
特性を変えることができる。また、１個のＩＤＴ内に複
数の第２の領域１０１ｂがある場合にも、個々の第２の
領域１０１ｂの第１の領域１０１ａに対する位相関係も
同相関係・逆相関係の何れでもよく、さらに同相関係・
逆相関係を組み合わせたものでもよい。

【００５１】図１４は本発明の弾性表面波フィルタのＩ
ＤＴを構成する第２の領域１０１ｂの例を説明するため
の図である。このＩＤＴの第２の領域１０１ｂは、信号
が印加されたときに、同一極性の電極指３本と異なる極
性の電極指１本の計４本で単位周期をなすように構成し
たものである。実際の弾性表面波フィルタの場合はこの
ＩＤＴの弾性表面波の励振方向の最外部に反射器１０２
を有している。またＩＤＴは反射器間に複数備えるよう
にしてもよい。

【００５２】（実施形態３）以下に４５°ＸカットＬＢ
Ｏ基板（ＬＢＯ：四硼酸リチウム）上に、２個のＩＤＴ
と、これらのＩＤＴを挟むように配設された反射器とを
配設した８００Ω系の共振子型弾性表面波フィルタに本
発明を適用した例について説明する。

【００５３】ＩＤＴは２本の電極指で単位周期を成すＩ
ＤＴ換算で４４対、Ｇｒは電極指５０本とし、開口長は
１０λ（λ：この弾性表面波フィルタの中心周波数）と
した。また、ＩＤＴ、反射器はＡｌ−Ｃｕ−Ｓｉ系の合
金からなる導体薄膜をスパッタ法などにより形成し、そ
の厚さは、励振する弾性表面波の波長の約１％程度に設
定している。ＩＤＴの構成は図１０に例示した構成と同
様にし、第２の領域１０１ｂには、図１４に例示したよ
うな同一極性の電極指３本と異なる極性の電極１本の計
４本で単位周期を成す構造とし、ＩＤＴの内２本で単位
周期を成すＩＤＴ換算で１０対分に、本発明を適応し、
励振源の個数は変えぬよう、適応部分の電極指の数は倍
にした。

【００５４】図１５はこのように構成した本発明の弾性
表面波フィルタを５０Ω系で見た時のシュミレーション
結果である。図１５に示したプロファイルのうち１０６
ａは比較例として本発明を適用しなかったもの、プロフ
ァイル１０６ｂ、１０６ｃは本発明を適用した例であ
る。ＩＤＴ１００の第１の領域１０１ａで励振する弾性
表面波と、第２の領域１０１ｂで励振する弾性表面波の
位相関係は、１０６ｂでは同相関係に、また１０６ｃは
逆相関係になるように配置した。

【００５５】このシュミレーション結果からもわかるよ
うにより、本発明により通過域近傍の特性を変えること
なく帯域外減衰量を制御できることがわかる。さらに逆
相関係に本発明を適用することにより帯域近傍の減衰特
性の急峻性は増すが、帯域より周波数の低い部分での減
衰量は小さくなるというトレードオフの関係を有してい
ることも分かる。

【００５６】図１６は本発明の別の弾性表面波フィルタ
を５０Ω系で見た時のシュミレーション結果である。こ
の弾性表面波フィルタは、図１５に例示した構造のＩＤ
Ｔにおいて、プロファイル１０６ｂを得た構成と同様
に、第１の領域１０１ａで励振する弾性表面波と、４本
の電極指で単位周期を構成する第２の領域１０１ｂで励
振する弾性表面波との位相関係が同相関係になるように
ＩＤＴを構成したものであり、第１の領域１０１ａに対
して第２の領域１０１ｂの割合を増やしていった時の５
０Ωで見た時のシュミレーション結果である（全電極指
数は同じ）。

【００５７】プロファイル１０７ａは、比較例として本
発明を適用しなかった場合を、プロファイル１０７ｂは
ＩＤΤの内の第１の領域をＩＤＴ換算で１０対分にした
場合を、プロファイル１０７ｃはＩＤＴの内の第１の領
域１０１ａをＩＤＴ換算で２０対分にした場合の周波数
特性である。

【００５８】本発明を適用する電極指の数を増やすこと
により、帯域近傍での帯域外減衰量はより急峻なものと
なるが、帯域より周波数の低い部分での減衰量は劣化す
るトレードオフの関係を有していることがわかる。

【００５９】（実施形態４）ところで、実際のデバイス
ではチップサイズが限定されるため、配設可能な電極指
の数には限界がある。すなわち、本発明を実際のデバイ
スに適用する場合には、要求される特性が得られるよう
に、第１の領域１０１ａ、第２の領域１０１ｂを構成す
る電極指の数や、相互の位相関係を選択することが必要
となる。

【００６０】図１７は本発明の別の弾性表面波フィルタ
の特性を示す図である。この例では、図１５で説明した
ような、プロファイル１０６ａに対応した構成の共振子
型弾性表面波フィルタと、プロファイル１０６ｂに対応
した構成の共振子型弾性表面波フィルタとを縦続に接続
した２段構成の弾性表面波フィルタを８００Ω系でシュ
ミレーション結果を示す。図１８はこの弾性表面波フィ
ルタを実際に作成し、コンデンサとコイルで８００Ωに
なるように調整した回路での周波数特性を評価した結果
を示す図である。図１７、図１８から分かるようにシュ
ミレーションと実際の弾性表面波フィルタの周波数特性
は実物はよく似ている。このように本発明によれば、弾
性表面波フィルタの特性を柔軟に変化させることができ
る。また特性を制御する際のインピーダンス変化を最小
限に押さえつつ、共振子型弾性表面波フィルタより構成
されている弾性表面波フィルタの設計自由度を大幅に向
上することができる。

【００６１】なお上述の例では圧電性基板として４５°
ＸカットＬＢＯ基板を用いて、２個のＩＤＴより成る、
８００Ω系の共振子フィルタを例に説明したが、他の圧
電性基板やＲＦフィルタのように純５０Ωで駆動するフ
ィルターに適用することができることは言うまでもな
い。

【００６２】（実施形態５）図１９は本発明の弾性表面
波フィルタが備えるＩＤＴの構造の別の例を概略的に示
す図である。図１９に例示したＩＤＴ２００は、極性が
２本で単位周期をなすソリッドな電極指からなる第１の
領域１０１ａと、３本以上奇数本の電極指で極性が単位
周期をなす第２の領域１０１ｃとにより構成されてい
る。また、図２０、図２１に例示するように、２本で単
位周期をなす第１の領域１０１ａまたは３本以上奇数本
で単位周期をなす第２の領域１０１ｃを複数設けてるよ
うにしてもよい。

【００６３】弾性表面波フィルタを構成するＩＤＴが複
数ある場合には、少なくとも１個のＩＤＴを第１の領域
１０１ａと第２の領域１０１ｂ、１０１ｃとにより構成
するようにすればよい。また、それぞれのＩＤＴ２００
に関し、例えば図１９、図２０、図２１に例示したよう
な構成の何れを用いるようにしてもよく、１個の弾性表
面波フィルタを構成するすべてのＩＤＴを同じ構成にす
る必要はない。さらに例えば図１０、図１１、図１２に
例示したような構成と組み合わせて用いるようにしても
よい。

【００６４】図２２は本発明の弾性表面波フィルタの構
成を概略的に示す図であり、圧電性基板１１０上に、上
述のような第１の領域１０１ａと第２の領域１０１ｃと
からなるＩＤＴ２００ａ、２００ｂ、２００ｄおよび従
来と同様のソリッドなＩＤＴ２００ｃとを、反射器１０
２間に配設したものである。第１の領域１０１ａと第２
の領域１０１ｃとの位相関係は同相関係でも逆相関係の
どちらでもよく、この位相関係によっても弾性表面波フ
ィルタの特性を変えることができる。また、１個のＩＤ
Ｔ内に複数の第２の領域１０１ｃがある場合にも、個々
の第２の領域１０１ｃの第１の領域１０１ａに対する位
相関係も同相関係・逆相関係の何れでもよく、さらに同
相関係・逆相関係を組み合わせたものでもよい。

【００６５】図２３は上述のような本発明の弾性表面波
フィルタを構成するＩＤＴ２００の、３本以上の奇数本
で極性が単位周期をなす第２の領域１０１ｃの構造とそ
の動作を説明するための図である。図２３（ａ）のよう
に電極指を配設して第２の領域１０１ｃを構成すると、
図２３（ｂ）に示すように、ＩＤＴに信号が供給された
ときには電極指の極性の周期は３本の電極指により構成
されることになる。これは逆極性になったときでも同様
であり、隣接する電極指の極性が異なる部分では容量が
形成されることになる。また、この第２の領域では図２
３（ｃ）のように、ある信号周期とその次の信号周期で
は互いに打ち消しあう２種の弾性表面波が励振されるの
で、結局弾性表面波は励振されず、第１の領域１０１ａ
で励振された弾性表面波に対して、第２の領域１０１ｃ
は容量Ｃを有する反射器として振る舞うことになる。

【００６６】図２４は４５゜ＸカットＬＢＯ基板での、
２個のＩＤＴを有する７１ΜΗｚのＧＳΜ用ＩＦフィル
タに本発明を適用し、Ｓｍｉｔｈの等価回路に基づいて
行った５０Ω系で見た時のシュミレーション結果を表
す。

【００６７】ＩＤＴは２本で単位周期を成すＩＤＴ換算
で４４対、Ｇｒは５０本とし、開口長は１０λとした。
また、電極は励振する弾性表面波の波長の約１％程度の
厚みとしている。

【００６８】またこの例では、３本で単位周期をなす第
２の領域１０１ｃを２０周期分にわたってＩＤＴのＧｒ
側に形成し、さらに励振源と反射源とをそろえるため、
本発明を適用して構成したＩＤＴのうち第１の領域１０
１ａの電極指の本数と、本発明を適用しない従来技術の
ＩＤＴを形成する電極指の本数、及びＩＤＴの開口長は
同じに設定し、本発明の構成の電極指を付加した分たけ
Ｇｒの電極指の本数を減らしている。

【００６９】図２４中、プロファイル２０６ａは従来構
成によるシュミレーション結果を、プロファイル２０６
ｂは本発明を適用した構成の弾性表面波フィルタの周波
数特性のシュミレーション結果を示したものである。

【００７０】この結果より、本発明の弾性表面波フィル
タが有するＩＤＴに付加された容量の効果により、帯域
外領域でわずかな特性差は生じているものの、帯域特性
はほぼ同一にすることができることがわかる。

【００７１】図２５は図２４でプロファイル２０６ｂが
得られた構成の弾性表面波フィルタを２段構成にし、イ
ンピーダンスのマッチングを取った時のシュミレーショ
ン結果を示す図である。ここではインピーダンスのマッ
チングは約６９０Ωで取っている。図２６は図２４のプ
ロファイル２０６ａが得られた従来構成の弾性表面波フ
ィルタを２段構成にし、マッチングを取った時のシュミ
レーション結果を示したものであり、約８７０Ωでマッ
チングが取れている。

【００７２】これらのシュミレーションにより、本発明
の弾性表面波フィルタによれば、ＩＤＴの開口長を変え
ることなく、弾性表面波フィルタのインピーダンスを制
御できることが確認された。このように本発明によれ
ば、ＩＤＴの開口長を変えることなくインピーダンス制
御することができる。

【００７３】また、この例ではＬＢＯ基板を用いたチュ
ーニング回路の使用を前提としたＩＦフィルタについて
説明したが、他の圧電基板や、チューニング回路を使用
しないＲＦフィルタに適用できることは言うまでもな
い。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば特
性を制御する際のインピーダンス変化を最小限に抑制し
ながら、システムの要求に対応するための複雑な周波数
特性を実現することができ、設計の自由度を大幅に向上
することができる。

【００７５】また、本発明によれば、ＩＤＴの開口長を
変えることなく弾性表面波フィルタのインピーダンスを
柔軟に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ
の電極パターンを示す図。

【図２】図１に示したＩＤＴ３の構造を示す図。

【図３】本発明の効果を説明するシュミレーション結果
を表す図。

【図４】本発明を実施した弾性表面波フィルタのシュミ
レーション結果を表す図。

【図５】本発明を実施することによって得られた弾性表
面波フィルタの周波数特性を表す図。

【図６】本発明を実施した弾性表面波フィルタのシュミ
レーション結果を表す図。

【図７】本発明を実施する事によって得られた弾性表面
波フィルタの周波数特性を表す図。

【図８】本発明に係るＩＤＴの他の構造を示す図。

【図９】本発明に係るＩＤＴの他の構造を示す図。

【図１０】本発明の弾性表面波フィルタが備えるＩＤＴ
の構造を概略的に示す図。

【図１１】本発明の弾性表面波フィルタが備えるＩＤＴ
の構造を概略的に示す図。

【図１２】本発明の弾性表面波フィルタが備えるＩＤＴ
の構造を概略的に示す図。

【図１３】本発明の弾性表面波フィルタの構成を概略的
に示す図。

【図１４】本発明の弾性表面波フィルタのＩＤＴを構成
する第２の領域の構成の例を説明するための図。

【図１５】本発明の弾性表面波フィルタののシュミレー
ション結果を示す図。

【図１６】第１の領域と第２の領域の割合を変化させた
ときの弾性表面波フィルタの特性のシュミレーション結
果を示す図。

【図１７】本発明の別の弾性表面波フィルタの特性を示
す図。

【図１８】本発明を適用して作成した弾性表面波フィル
タの周波数特性を示す図。

【図１９】本発明を説明するＩＤＴの構造を示す図。

【図２０】本発明を説明するＩＤＴの構造の変形例を示
す図。

【図２１】本発明を説明するＩＤＴの構造の変形例を示
す図。

【図２２】本発明を説明する弾性表面波フィルタの例を
示す図。

【図２３】本発明の効果を説明するための３本の電極指
で単位周期をなす第２の領域の構成の例を示す図。

【図２４】本発明の効果を表す弾性表面波フィルタのシ
ュミレーション結果を示す図。

【図２５】本発明を実施した弾性表面波フィルタのシュ
ミレーション結果を示す図。

【図２６】従来構造の弾性表面波フィルタのシュミレー
ション結果を示す図。

【符号の説明】

１、２…………………２ＩＤＴフィルタ ３、４、７、８………ＩＤＴ（インターディジタル変換
器） ５、６、９、１０……Ｇｒ（グレーティング状反射器） １１………………接続線 １２………………ソリッド電極 １３………………スプリット電極 １００…………ＩＤＴ １０１ａ………第１の領域 １０１ｂ………第２の領域 １０１ｃ………第２の領域 １０２…………反射器 １１０…………圧電性基板 ２００…………ＩＤＴ

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電性基板と、 前記圧電性基板上に形成され、ソリッド電極からなる第
   １の領域とスプリット電極からなる第２の領域とを有す
   るインターディジタル変換器とを具備することを特徴と
   する弾性表面波フィルタ。
2. 【請求項２】 インターディジタル変換器を有する共振
   子型フィルタを複数接続してなる弾性表面波フィルタで
   あって、 前記共振子型フィルタのうち少なくとも１つの共振子型
   フィルタが、ソリッド電極からなる第１の領域とスプリ
   ット電極からなる第２の領域とを有するインターディジ
   タル変換器を有することを特徴とする弾性表面波フィル
   タ。
3. 【請求項３】 ソリッド電極からなる第１の領域とスプ
   リット電極からなる第２の領域とを有するインターディ
   ジタル変換器における、ソリッド電極の中心周波数をｆ
   o1、スプリット電極の中心周波数をｆo2としたとき、 ２×（ｆo2×０．９５）≦ｆo1≦２×（ｆo2×１．０
   １） の関係になるように、スプリット電極を形成したことを
   特徴とする請求項１乃至請求項２に記載の弾性表面波フ
   ィルタ。
4. 【請求項４】 ソリッド電極からなる第１の領域とスプ
   リット電極からなる第２の領域とを有するインターディ
   ジタル変換器における、スプリット電極を構成する電極
   指の本数の総和がソリッド電極を構成する電極指の本数
   の総和以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項
   ２に記載の弾性表面波フィルタ。
5. 【請求項５】 圧電性基板上にソリッド電極からなる第
   １の領域とスプリット電極からなる第２の領域とを有す
   るインターディジタル変換器を形成してなる弾性表面波
   フィルタにおいて、要求特性に応じて前記第１の領域と
   前記第２の領域との割合を変えたことを特徴とする弾性
   表面波フィルタの構成方法。
6. 【請求項６】 請求項５の方法により製造されたことを
   特徴とする弾性表面波フィルタ。
7. 【請求項７】 圧電性基板と、前記圧電性基板上に配設
   され、第１の弾性表面波を励振する第１の領域と、前記
   第１の弾性表面波を反射する第２の領域とを有するイン
   ターディジタル変換器とを具備したことを特徴とする弾
   性表面波フィルタ。
8. 【請求項８】 前記インターディジタル変換器の前記第
   ２の領域は、隣接配置される電極指間で容量が形成され
   る部分を有することを特徴とする請求項７に記載の弾性
   表面波フィルタ。
9. 【請求項９】 前記インターディジタル変換器の第２の
   領域は、同一極性の電極指が３本以上並ぶことを特徴と
   する請求項７または請求項８のいずれかに記載の弾性表
   面波フィルタ。
10. 【請求項１０】 前記インターディジタル変換器の前記
    第１の領域は、第１の極性を有するように接続された第
    １の電極指と、第２の極性を有するように接続された第
    ２の電極指とが交互に配設され、前記第２の領域は少な
    くとも１本の前記第１の電極指と３本の前記第２の電極
    指とからなる偶数本を単位として周期的に配設されたこ
    とを特徴とする請求項９に記載の弾性表面波フィルタ。
11. 【請求項１１】 前記インターディジタル変換器の第２
    の領域は、互いに打ち消し合うような２つの弾性表面波
    を励振することを特徴とする請求項７または請求項８の
    いずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
12. 【請求項１２】 前記インターディジタル変換器の前記
    第１の領域は、第１の極性を有するように接続された第
    １の電極指と第２の極性を有するように接続された第２
    の電極指とが交互に配設され、前記第２の領域は少なく
    とも１本の前記第１の電極指と２本の前記第２の電極指
    とからなる奇数本を単位として周期的に配設されたこと
    を特徴とする請求項１１に記載の弾性表面波フィルタ。
13. 【請求項１３】 前記インターディジタル変換器を構成
    する電極指の幅は前記インターディジタル変換器が励振
    する弾性表面波の波長の１／４であり、前記電極指の配
    設ピッチは前記波長の１／４であることを特徴とする請
    求項７乃至請求項１２のいずれかに記載の弾性表面波フ
    ィルタ。
14. 【請求項１４】 前記インターディジタル変換器は、前
    記第１の領域で励振される弾性表面波の位相と、前記第
    ２の領域で励振される弾性表面波の位相とが同相になる
    ように配設されたことを特徴とする請求項１０乃至請求
    項１３のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
15. 【請求項１５】 前記インターディジタル変換器は、前
    記第１の領域で励振される弾性表面波の位相と、前記第
    ２の領域で励振される弾性表面波の位相とが逆相になる
    ように配設されたことを特徴とする請求項１０乃至請求
    項１３のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
16. 【請求項１６】 前記インターディジタル変換器を構成
    する電極指は、前記第１の領域における配設ピッチをｐ
    ₁ 、前記第２の領域における配設ピッチをｐ₂ としたと
    き、 ｐ₁ ×０．９０≦ｐ₂ ≦ｐ₁ ×１．１ の関係を満たすことを特徴とする請求項７乃至請求項１
    ５のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
17. 【請求項１７】 前記圧電性基板上に、前記インターデ
    ィジタル変換器の励振する弾性表面波の伝搬方向に沿っ
    て前記インターディジタル変換器を挟むように配設され
    た反射器をさらに具備したことを特徴とする請求項７乃
    至１６のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
18. 【請求項１８】 前記インターディジタル変換器は前記
    反射器の間に複数個配設されたことを特徴とする請求項
    １７に記載の弾性表面波フィルタ。