JPH10259008A - 精製過酸化水素水の製造方法 - Google Patents
精製過酸化水素水の製造方法Info
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- JPH10259008A JPH10259008A JP6641497A JP6641497A JPH10259008A JP H10259008 A JPH10259008 A JP H10259008A JP 6641497 A JP6641497 A JP 6641497A JP 6641497 A JP6641497 A JP 6641497A JP H10259008 A JPH10259008 A JP H10259008A
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- ion exchange
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Abstract
(57)【要約】
【課題】無機不純物を含有する過酸化水素水を精製し、
極めて高純度な過酸化水素水を製造する方法を提供す
る。 【解決手段】過酸化水素水を、アルミニウム、鉄、カル
シウム及び亜鉛の各金属含有量が３０μｇ／ml-R以下で
あるイオン交換樹脂に接触させることを特徴とする精製
過酸化水素水の製造方法。
極めて高純度な過酸化水素水を製造する方法を提供す
る。 【解決手段】過酸化水素水を、アルミニウム、鉄、カル
シウム及び亜鉛の各金属含有量が３０μｇ／ml-R以下で
あるイオン交換樹脂に接触させることを特徴とする精製
過酸化水素水の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は無機不純物を含有す
る過酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化
水素水を安定に製造する方法に関する。本発明により精
製された過酸化水素水は、特に半導体製造分野、医療分
野で使用される。
る過酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化
水素水を安定に製造する方法に関する。本発明により精
製された過酸化水素水は、特に半導体製造分野、医療分
野で使用される。
【０００２】
【従来の技術】現在、過酸化水素は主に自動酸化法によ
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には各種の無機不純物が混入しており、実質
的な使用濃度の５〜７０重量％の過酸化水素水中には数
百μｇ／ｌの無機不純物が含まれているのが普通であ
る。一方で、半導体製造分野で使用される過酸化水素水
は、無機不純物の残存濃度が０．０数μｇ／ｌ以下とい
う高純度なものが要求される。
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には各種の無機不純物が混入しており、実質
的な使用濃度の５〜７０重量％の過酸化水素水中には数
百μｇ／ｌの無機不純物が含まれているのが普通であ
る。一方で、半導体製造分野で使用される過酸化水素水
は、無機不純物の残存濃度が０．０数μｇ／ｌ以下とい
う高純度なものが要求される。
【０００３】従来、過酸化水素水中に含まれる無機不純
物を除去、精製する方法として、イオン交換樹脂に過酸
化水素水を接触させる方法が知られている。過酸化水素
水の精製は、イオン交換樹脂として水素型の強酸性カチ
オン交換樹脂単独、炭酸型、重炭酸型または水酸化物型
の強塩基性アニオン交換樹脂単独、またはこれらの混合
物単独、さらにこれらのイオン交換樹脂の組み合わせで
行われることが提案されている。これらの例としては特
公昭３５−１６６７７号、ドイツ特許公開第４２１４０
７５号、フランス特許第２６７７０１１号、特開平５−
１７１０５号、ドイツ特許公開第４２２２１０９号、特
開平７−１７２８０５号などが挙げられる。しかしなが
らこの方法でも近年要求される極めて高純度な過水を得
ることは難しかった。
物を除去、精製する方法として、イオン交換樹脂に過酸
化水素水を接触させる方法が知られている。過酸化水素
水の精製は、イオン交換樹脂として水素型の強酸性カチ
オン交換樹脂単独、炭酸型、重炭酸型または水酸化物型
の強塩基性アニオン交換樹脂単独、またはこれらの混合
物単独、さらにこれらのイオン交換樹脂の組み合わせで
行われることが提案されている。これらの例としては特
公昭３５−１６６７７号、ドイツ特許公開第４２１４０
７５号、フランス特許第２６７７０１１号、特開平５−
１７１０５号、ドイツ特許公開第４２２２１０９号、特
開平７−１７２８０５号などが挙げられる。しかしなが
らこの方法でも近年要求される極めて高純度な過水を得
ることは難しかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術における上記したような課題を解決し、イオン交換
樹脂を用い極めて高純度な過酸化水素水を製造する方法
を提供することである。
技術における上記したような課題を解決し、イオン交換
樹脂を用い極めて高純度な過酸化水素水を製造する方法
を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意検討の
結果、精製度低下の原因がイオン交換樹脂中に含まれる
金属成分が過酸化水素水中に溶出することが原因である
ことを見いだし、金属含有量を一定量以下にすれば、高
純度な過酸化水素水が得られることを見出し本発明を完
成した。
結果、精製度低下の原因がイオン交換樹脂中に含まれる
金属成分が過酸化水素水中に溶出することが原因である
ことを見いだし、金属含有量を一定量以下にすれば、高
純度な過酸化水素水が得られることを見出し本発明を完
成した。
【０００６】すなわち、本発明は、過酸化水素水を、ア
ルミニウム、鉄、カルシウム及び亜鉛の各金属含有量が
３０μｇ／ml-R以下であるイオン交換樹脂に接触させる
ことを特徴とする精製過酸化水素水の製造方法に関する
ものである。ここでml-Rとはイオン交換樹脂の水中で計
り取った樹脂体積を示す。
ルミニウム、鉄、カルシウム及び亜鉛の各金属含有量が
３０μｇ／ml-R以下であるイオン交換樹脂に接触させる
ことを特徴とする精製過酸化水素水の製造方法に関する
ものである。ここでml-Rとはイオン交換樹脂の水中で計
り取った樹脂体積を示す。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明において用いられるイオン
交換樹脂は、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体を母
体とし、立体的網目構造を持つポリマーからなる強酸性
カチオン交換樹脂、あるいは強塩基性アニオン交換樹脂
である。
交換樹脂は、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体を母
体とし、立体的網目構造を持つポリマーからなる強酸性
カチオン交換樹脂、あるいは強塩基性アニオン交換樹脂
である。
【０００８】さらに強酸性カチオン交換樹脂としては交
換基としてスルホン酸基を有し、対イオンとして水素イ
オンが結合した、いわゆる水素型のものが使用される。
一方、強塩基性アニオン交換樹脂としては交換基として
第４級アンモニウム基を有し、対イオンとして炭酸イオ
ン、重炭酸イオンまたは水酸化物イオンが結合した、炭
酸塩型、重炭酸塩型、水酸化物型のものが使用される。
換基としてスルホン酸基を有し、対イオンとして水素イ
オンが結合した、いわゆる水素型のものが使用される。
一方、強塩基性アニオン交換樹脂としては交換基として
第４級アンモニウム基を有し、対イオンとして炭酸イオ
ン、重炭酸イオンまたは水酸化物イオンが結合した、炭
酸塩型、重炭酸塩型、水酸化物型のものが使用される。
【０００９】イオン交換樹脂中の各金属含有量を３０μ
ｇ／ml-R以下にする方法に制限はない。例として超純水
で洗浄する方法、鉱酸水溶液で洗浄し前処理する方法等
が挙げられる。また、必要に応じアンモニア水などのア
ルカリ性薬剤、メタノールなどの有機溶剤による前処理
を行なっても良い。
ｇ／ml-R以下にする方法に制限はない。例として超純水
で洗浄する方法、鉱酸水溶液で洗浄し前処理する方法等
が挙げられる。また、必要に応じアンモニア水などのア
ルカリ性薬剤、メタノールなどの有機溶剤による前処理
を行なっても良い。
【００１０】ここで鉱酸水溶液で洗浄する方法では、イ
オン交換樹脂を２mol/l の塩酸水溶液でＳＶ（空間速
度）１０ｈｒ-1で２時間洗浄することで各金属含有量を
３０μｇ／ml-R以下にできる。
オン交換樹脂を２mol/l の塩酸水溶液でＳＶ（空間速
度）１０ｈｒ-1で２時間洗浄することで各金属含有量を
３０μｇ／ml-R以下にできる。
【００１１】但し、イオン交換樹脂のメーカー、種類、
製造ロットにより各金属含有量の低減のされ易さが異な
るため、各イオン交換樹脂毎に適当に処理条件等を選定
する必要がある。
製造ロットにより各金属含有量の低減のされ易さが異な
るため、各イオン交換樹脂毎に適当に処理条件等を選定
する必要がある。
【００１２】金属含有量の測定方法としては一例とし
て、使用しようとするイオン交換樹脂を既知量抜き出
し、これを硝酸、硫酸混合下で湿式分解した後、この分
解液を原子吸光で測定し求める方法が挙げられる。
て、使用しようとするイオン交換樹脂を既知量抜き出
し、これを硝酸、硫酸混合下で湿式分解した後、この分
解液を原子吸光で測定し求める方法が挙げられる。
【００１３】このようなイオン交換樹脂を用いて精製さ
れる過酸化水素水の濃度には特に制限はないが、実用的
な濃度の５〜７０重量％のものが使用される。また、精
製時の過酸化水素水の温度についても制限はないが、あ
まり高い温度では過酸化水素の分解の原因ともなるた
め、その過酸化水素水の凝固点〜３０℃が好ましい。
れる過酸化水素水の濃度には特に制限はないが、実用的
な濃度の５〜７０重量％のものが使用される。また、精
製時の過酸化水素水の温度についても制限はないが、あ
まり高い温度では過酸化水素の分解の原因ともなるた
め、その過酸化水素水の凝固点〜３０℃が好ましい。
【００１４】イオン交換樹脂と過酸化水素水の接触のさ
せ方についても制限はない。すなわち、過酸化水素水に
イオン交換樹脂を投入し放置あるいは攪拌することによ
り精製を行うバッチ方式でも良いし、カラムに充填した
イオン交換樹脂に過酸化水素水を通し精製を行う連続方
式でも良い。ただし、操作性および精製度の点で連続方
式の方がより好ましい。
せ方についても制限はない。すなわち、過酸化水素水に
イオン交換樹脂を投入し放置あるいは攪拌することによ
り精製を行うバッチ方式でも良いし、カラムに充填した
イオン交換樹脂に過酸化水素水を通し精製を行う連続方
式でも良い。ただし、操作性および精製度の点で連続方
式の方がより好ましい。
【００１５】また、精製に用いるイオン交換樹脂は、カ
チオン交換樹脂単独もしくはアニオン交換樹脂単独でも
良いし、これらを組み合わせても良い。さらにはカチオ
ン交換樹脂及びアニオン交換樹脂を任意の割合で混合し
たいわゆる混床を用いても良い。
チオン交換樹脂単独もしくはアニオン交換樹脂単独でも
良いし、これらを組み合わせても良い。さらにはカチオ
ン交換樹脂及びアニオン交換樹脂を任意の割合で混合し
たいわゆる混床を用いても良い。
【００１６】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものでは
ない。なお、金属濃度の分析はＩＣＰ−ＭＳ（Inductiv
eCoupling Plasma - Mass Spectrometry ）法、原子吸
光法によった。
本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものでは
ない。なお、金属濃度の分析はＩＣＰ−ＭＳ（Inductiv
eCoupling Plasma - Mass Spectrometry ）法、原子吸
光法によった。
【００１７】実施例１ 三菱化学（株）製カチオン交換樹脂ＰＫ２２８（水素
型）を２mol/l の塩酸水溶液でＳＶ１０ｈｒ-1で２時間
洗浄、その後水洗した。この樹脂を一部抜き取り硫酸及
び硝酸により湿式分解を行ない含有金属量を測定したと
ころ、アルミニウム１８μｇ／ml-R、鉄２０μｇ／ml-
R、カルシウム２５μｇ／ml-R、亜鉛１０μｇ／ml-Rで
あった。このカチオン交換樹脂をカラムに充填し、下降
流にて空間速度２００ｈｒ-1で、アルミニウムを２０重
量ｐｐｂ、鉄を２重量ｐｐｂ、カルシウムを１重量ｐｐ
ｂ、亜鉛を０．５重量ｐｐｂ含有する３１重量％過酸化
水素水を通液し、精製した。得られた精製過酸化水素水
中の不純物量を表１に示す。
型）を２mol/l の塩酸水溶液でＳＶ１０ｈｒ-1で２時間
洗浄、その後水洗した。この樹脂を一部抜き取り硫酸及
び硝酸により湿式分解を行ない含有金属量を測定したと
ころ、アルミニウム１８μｇ／ml-R、鉄２０μｇ／ml-
R、カルシウム２５μｇ／ml-R、亜鉛１０μｇ／ml-Rで
あった。このカチオン交換樹脂をカラムに充填し、下降
流にて空間速度２００ｈｒ-1で、アルミニウムを２０重
量ｐｐｂ、鉄を２重量ｐｐｂ、カルシウムを１重量ｐｐ
ｂ、亜鉛を０．５重量ｐｐｂ含有する３１重量％過酸化
水素水を通液し、精製した。得られた精製過酸化水素水
中の不純物量を表１に示す。
【００１８】実施例２ 三菱化学（株）製ＰＡ３１６（重炭酸型）を２mol/l の
塩酸水溶液でＳＶ１０ｈｒ-1で１時間洗浄、水洗後重炭
酸水溶液で重炭酸型へ変換し、再度水洗した。この樹脂
を一部抜き取り硫酸及び硝酸により湿式分解を行ない含
有金属量を測定したところ、アルミニウム１０μｇ／ml
-R、鉄２４μｇ／ml-R、カルシウム１２μｇ／ml-R、亜
鉛１４μｇ／ml-Rであった。このアニオン交換樹脂をカ
ラムに充填し、アルミニウムを１重量ｐｐｂ、鉄を０．
０５重量ｐｐｂ、カルシウムを０．０１重量ｐｐｂ、亜
鉛を０．０１重量ｐｐｂ含有する３１重量％過酸化水素
水を下降流で空間速度２００ｈｒ-1で通液し、精製し
た。得られた精製過酸化水素水中の不純物量を表１に示
す。
塩酸水溶液でＳＶ１０ｈｒ-1で１時間洗浄、水洗後重炭
酸水溶液で重炭酸型へ変換し、再度水洗した。この樹脂
を一部抜き取り硫酸及び硝酸により湿式分解を行ない含
有金属量を測定したところ、アルミニウム１０μｇ／ml
-R、鉄２４μｇ／ml-R、カルシウム１２μｇ／ml-R、亜
鉛１４μｇ／ml-Rであった。このアニオン交換樹脂をカ
ラムに充填し、アルミニウムを１重量ｐｐｂ、鉄を０．
０５重量ｐｐｂ、カルシウムを０．０１重量ｐｐｂ、亜
鉛を０．０１重量ｐｐｂ含有する３１重量％過酸化水素
水を下降流で空間速度２００ｈｒ-1で通液し、精製し
た。得られた精製過酸化水素水中の不純物量を表１に示
す。
【００１９】比較例１ 塩酸水溶液による洗浄を行わなかった以外は、実施例１
と同様に行った。なお、このカチオン交換樹脂は硫酸及
び硝酸により湿式分解を行ない含有金属量を測定した結
果、アルミニウムを４１μｇ／ml-R、鉄を３１μｇ／ml
-R、カルシウムを３８μｇ／ml-R、亜鉛を４３μｇ／ml
-R含んでいた。得られた精製過酸化水素水中の不純物量
を表１に示す。
と同様に行った。なお、このカチオン交換樹脂は硫酸及
び硝酸により湿式分解を行ない含有金属量を測定した結
果、アルミニウムを４１μｇ／ml-R、鉄を３１μｇ／ml
-R、カルシウムを３８μｇ／ml-R、亜鉛を４３μｇ／ml
-R含んでいた。得られた精製過酸化水素水中の不純物量
を表１に示す。
【００２０】比較例２ 塩酸水溶液による洗浄を行わなかった以外は、実施例２
と同様に行った。なお、このアニオン交換樹脂は硫酸及
び硝酸により湿式分解を行ない含有金属量を測定した結
果、アルミニウムを３５μｇ／ml-R、鉄を３３μｇ／ml
-R、カルシウムを４０μｇ／ml-R、亜鉛を４７μｇ／ml
-R含んでいた。得られた精製過酸化水素水中の不純物量
を表１に示す。
と同様に行った。なお、このアニオン交換樹脂は硫酸及
び硝酸により湿式分解を行ない含有金属量を測定した結
果、アルミニウムを３５μｇ／ml-R、鉄を３３μｇ／ml
-R、カルシウムを４０μｇ／ml-R、亜鉛を４７μｇ／ml
-R含んでいた。得られた精製過酸化水素水中の不純物量
を表１に示す。
【００２１】
【００２２】
【発明の効果】本発明のイオン交換樹脂を用いることに
より、金属または金属化合物からなる無機不純物を含む
過酸化水素水を精製して、極めて高純度の過酸化水素水
を製造することができる。
より、金属または金属化合物からなる無機不純物を含む
過酸化水素水を精製して、極めて高純度の過酸化水素水
を製造することができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 過酸化水素水を、アルミニウム、鉄、カ
ルシウム及び亜鉛の各金属含有量が３０μｇ／ml-R以下
であるイオン交換樹脂に接触させることを特徴とする精
製過酸化水素水の製造方法。 - 【請求項２】 イオン交換樹脂が、強酸性カチオン交換
樹脂又は強塩基性アニオン交換樹脂であることを特徴と
する請求項１記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6641497A JPH10259008A (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6641497A JPH10259008A (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10259008A true JPH10259008A (ja) | 1998-09-29 |
Family
ID=13315123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6641497A Pending JPH10259008A (ja) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | 精製過酸化水素水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10259008A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1101334C (zh) * | 1998-12-21 | 2003-02-12 | 黎明化工研究院 | 一种蒽醌法过氧化氢的精制及浓缩方法 |
| US8715613B2 (en) | 2010-12-02 | 2014-05-06 | Shanghai Chemical Reagent Research Institute | Method for producing of ultra-clean and high-purity aqueous hydrogen peroxide solution |
| CN104667896A (zh) * | 2013-08-12 | 2015-06-03 | 天津市阳权医疗器械有限公司 | 用于清除血液中高甘油三酯的苯乙烯系树脂吸附剂新结构产品 |
| JPWO2015098348A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-03-23 | オルガノ株式会社 | アニオン交換体、アニオン交換体とカチオン交換体の混合物、アニオン交換体とカチオン交換体とからなる混合床、それらの製造方法、及び過酸化水素水の精製方法 |
-
1997
- 1997-03-19 JP JP6641497A patent/JPH10259008A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1101334C (zh) * | 1998-12-21 | 2003-02-12 | 黎明化工研究院 | 一种蒽醌法过氧化氢的精制及浓缩方法 |
| US8715613B2 (en) | 2010-12-02 | 2014-05-06 | Shanghai Chemical Reagent Research Institute | Method for producing of ultra-clean and high-purity aqueous hydrogen peroxide solution |
| CN104667896A (zh) * | 2013-08-12 | 2015-06-03 | 天津市阳权医疗器械有限公司 | 用于清除血液中高甘油三酯的苯乙烯系树脂吸附剂新结构产品 |
| JPWO2015098348A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-03-23 | オルガノ株式会社 | アニオン交換体、アニオン交換体とカチオン交換体の混合物、アニオン交換体とカチオン交換体とからなる混合床、それらの製造方法、及び過酸化水素水の精製方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061130 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061206 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070404 |