JPH10324506A - 高純度過酸化水素水の製造方法 - Google Patents
高純度過酸化水素水の製造方法Info
- Publication number
- JPH10324506A JPH10324506A JP10052107A JP5210798A JPH10324506A JP H10324506 A JPH10324506 A JP H10324506A JP 10052107 A JP10052107 A JP 10052107A JP 5210798 A JP5210798 A JP 5210798A JP H10324506 A JPH10324506 A JP H10324506A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen peroxide
- exchange resin
- type
- peroxide solution
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
極めて高純度な過酸化水素水を製造する方法を提供す
る。 【解決手段】過酸化水素水を強塩基性アニオン交換樹脂
に接触させ高純度過酸化水素水を製造する方法におい
て、平均孔径1.0μm以下のフィルターに通過させた
薬液と接触させることにより、炭酸塩型、重炭酸塩型ま
たは水酸化物型に変換させた強塩基性アニオン交換樹脂
を用いる高純度過酸化水素水の製造方法。
Description
る過酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化
水素水を安定に製造する方法に関する。本発明により精
製された過酸化水素水は、特に半導体製造分野で使用さ
れる。
法により製造されているが、この方法によって製造され
た過酸化水素水中には各種の無機不純物が混入してお
り、実質的な使用濃度の5〜70重量%の過酸化水素水
中には数百μg/lの無機不純物が含まれているのが普
通である。一方で、半導体製造分野で使用される過酸化
水素水は高純度なものが要求され、近年では特に無機不
純物の残存濃度が0.0数μg/l以下という極めて高
純度なものが要求されるようになってきている。
物を除去、精製する方法として、イオン交換樹脂に過酸
化水素水を接触させる方法が知られている。大部分の金
属は過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂に接触させ
ることにより除去される。さらに、塩化物イオン、硫酸
イオンや一部の金属化合物は、過酸化水素水を強塩基性
アニオン交換樹脂に接触させることにより除去される。
換樹脂として強酸性カチオン交換樹脂単独、強塩基性ア
ニオン交換樹脂単独、またはこれらの混合物単独、さら
にこれらのイオン交換樹脂の組み合わせで行われる。イ
オン交換樹脂を用いて過酸化水素水の精製を行う例とし
ては特公昭35−16677号公報、ドイツ特許公開第
4214075号公報、フランス特許第2677011
号公報、特開平5−17105号公報、ドイツ特許公開
第4222109号公報、特開平7−172805号公
報などが挙げられる。
ような極めて高純度の過酸化水素水を精製するために
は、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂を併用するの
が一般的である。すなわち、過酸化水素水の精製に用い
るアニオン交換樹脂はカチオン交換樹脂と共に重要な位
置を占める。
酸ナトリウム水溶液で処理することで重炭酸塩型に変換
したアニオン交換樹脂により過酸化水素水を精製する方
法が記載されている。しかしながら、単にこの方法では
カチオン交換樹脂と併用しても、近年要求されるような
金属不純物濃度0.0数重量ppb以下といった高純度
の過酸化水素水は得られない。すなわち、カルシウム、
銅、鉄などの金属が精製しきれずに過酸化水素水中に残
ってしまう。
は、アニオン交換樹脂からナトリウムが溶出してくるの
を避けるために、炭酸アンモニウムまたは重炭酸アンモ
ニウム水溶液で処理することによって炭酸塩型または重
炭酸塩型に変換されたアニオン交換樹脂により過酸化水
素水を精製する方法が開示されている。この方法によっ
てもなお、金属不純物濃度0.0数重量ppb以下とい
った高純度の過酸化水素水を得ることは難しい。
または金属化合物からなる無機不純物を含む過酸化水素
水を精製して、これらの少ない極めて高純度の過酸化水
素水を製造するのに好適なアニオン交換樹脂、およびそ
れを使った過酸化水素水の精製方法を提供することにあ
る。
題を解決するべく鋭意検討した結果、強塩基性アニオン
交換樹脂を炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物型に変
換する際に、薬液として平均孔径1.0μm以下のフィ
ルターに通過させた炭酸塩、重炭酸塩または水酸化物の
水溶液を用いることで、アニオン交換樹脂中に残存する
カルシウム、銅、鉄などの金属不純物を極力排除でき、
このような方法で調製した炭酸塩型、重炭酸塩型または
水酸化物型強塩基性アニオン交換樹脂で過酸化水素水を
精製することにより、従来よりもさらに高純度の精製過
酸化水素水が得られることを見いだし本発明を完成させ
た。
性アニオン交換樹脂に接触させ高純度過酸化水素水を製
造する方法において、平均孔径1.0μm以下のフィル
ターに通過させた薬液と接触させることにより、過酸化
水素水精製時の交換基の型に変換された強塩基性アニオ
ン交換樹脂を用いることを特徴とする高純度過酸化水素
水の製造方法に関する。
樹脂は、交換基として第4級アンモニウム基を有する強
塩基性アニオン交換樹脂である。一般に強塩基性アニオ
ン交換樹脂は交換基の型がハロゲン塩型で市販されてい
るため、過酸化水素水の精製に使用するにあたっては、
それに先立ち炭酸塩、重炭酸塩または水酸化物を溶解さ
せた水溶液に接触させ、炭酸塩型、重炭酸塩型または水
酸化物型に変換する必要がある。
または水酸化物型への変換は、市販の型から直接行うこ
ともできるし、この変換に先立ち、イオン交換樹脂に含
まれる不純物を除去する意味で酸溶液、アルカリ水溶液
および/または有機溶剤などで洗浄することもできる。
脂は、平均孔径1.0μm以下、好ましくは0.05〜
1.0μmのフィルターに通過させた薬液により炭酸塩
型、重炭酸塩型または水酸化物型に変換される。
するにあたっては、ポリスチレンラテックス標準粒子に
よる方法を用いている。ポリスチレンラテックス標準粒
子としては、例えばダウケミカル(株)や日本合成ゴム
(株)製のものが使用される。この方法は平均直径の異
なるポリスチレンラテックス標準粒子を分散した超純水
を該フィルターにそれぞれ通過させ、その通過前後の超
純水についてUV光による濁度測定を行い、通過を阻止
される粒子の割合を求める。通過試験では複数の異なる
平均直径を有する標準粒子を順次通過させる。通過阻止
率が初めて70%を越えた時点の平均直径をそのフィル
ターの平均孔径とする。
化がなく、成分溶出がほとんどないものであれば制限は
ない。例えば、ポリエーテルサルホン、ポリプロピレ
ン、ポリテトラフルオロエチレンなどが好適に使用でき
る。フィルターの形状にも制限はない。すなわち、平
膜、プリーツ型、スパイラル型、中空糸型など、どのよ
うな形状であっても良い。
型、重炭酸塩型または水酸化物型に変換するために用い
る薬液は、例えば炭酸または重炭酸のナトリウム塩、カ
リウム塩またはアンモニウム塩など、もしくは水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウムまたはアンモニア水(NH4
OH)などを超純水に溶解させることで調製する。その
濃度はその薬剤の水に対する溶解度までは設定が可能で
あり、溶解する濃度範囲であれば本発明に使用する水溶
液の濃度には特に制限はない。しかしながら、その後こ
れらの薬液をフィルターに通過させることを考慮する
と、高濃度の水溶液を使用する場合、特に炭酸塩および
重炭酸塩では結晶の析出によるフィルターの目詰まりが
発生し、薬液の通過が困難になることも懸念される。
リウムの場合は0.1〜0.6mol/l、重炭酸ナト
リウムの場合は0.1〜0.8mol/l、重炭酸アン
モニウムの場合は0.1〜1.5mol/lが好適であ
る。また、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、重炭酸カ
リウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニ
ア水では0.1〜2mol/lに設定するのが好まし
い。
の液温については制限はないが、0〜50℃が好適であ
る。薬液の通過速度についても制限はなく、実施可能な
速度であれば任意の速度で通過させて良い。また、薬液
は少なくとも1回フィルターを通過させれば良いが、複
数回通過させることも何ら差し支えない。
り、強塩基性アニオン交換樹脂を炭酸塩型、重炭酸塩型
または水酸化物型に変換する。この変換の方法にも制限
はない。すなわち、アニオン交換樹脂をこれらの水溶液
に投入し放置または攪拌するバッチ方式、あるいはアニ
オン交換樹脂をカラムに充填しこれらの水溶液を通過す
る連続方式のいずれでも良い。ただし、操作性および変
換効率の面で連続方式の方がより効果的である。例え
ば、カラムにアニオン交換樹脂を充填し、アニオン交換
樹脂の交換容量の5倍当量以上となるような量のこれら
の薬液を通過し、炭酸塩型、重炭酸塩型または水酸化物
型に変換する。その後、そのアニオン交換樹脂は超純水
による洗浄を行い、過酸化水素水の精製に用いる。な
お、これらの薬液中の塩に起因するナトリウムやカリウ
ムなどの過酸化水素水への溶出は、超純水による洗浄を
十分に行えば全く問題にならない。
にして調製されたアニオン交換樹脂単独でも用いること
ができるが、カチオン交換樹脂を組み合わせて用いると
一層効果的である。組み合わせとしては、このアニオン
交換樹脂と水素型のカチオン交換樹脂との組み合わせ、
またはこれらのイオン交換樹脂混合物、さらにこれらの
イオン交換樹脂とイオン交換樹脂混合物の組み合わせが
用いられる。ここで使用されるカチオン交換樹脂は強酸
性カチオン交換樹脂で、交換基としてスルホン酸基を有
し、水素型に変換されたものである。
には特に制限はないが、実用的な濃度である5〜70重
量%のものが使用される。また、精製時の過酸化水素水
の温度についても制限はないが、あまり高い温度では過
酸化水素の分解の原因ともなるため、その過酸化水素水
の凝固点〜30℃が好ましい。
せ方についても制限はない。すなわち、過酸化水素水に
イオン交換樹脂を投入し放置または撹拌することにより
精製を行うバッチ方式でも良いし、カラムに充填したイ
オン交換樹脂に過酸化水素水を通し精製を行う連続方式
でも良い。ただし、操作性および精製度の点で連続方式
の方がより好ましい。
本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものでは
ない。なお、金属濃度の分析はICP−MS(Inductive
lyCoupled Plasma - Mass Spectrometry) 法によった。
水に溶解し、0.5mol/lの溶液とした。この溶液
を東洋濾紙(株)製の平均孔径0.2μmのポリテトラ
フルオロエチレンのフィルターに通し濾過した。一方、
オルガノ(株)製の強塩基性アニオン交換樹脂IRA−
904(塩化物型)をカラムに充填し、この濾過した水
溶液をSV(空間速度)10hr-1で2hr通液し、さ
らに超純水をSV10hr-1で3hr通液して、炭酸塩
型のアニオン交換樹脂を得た。
5重量ppb、Fe4重量ppbを含む30重量%の過
酸化水素水を、オルガノ(株)製の水素型強酸性カチオ
ン交換樹脂201Bの充填されたカラム、上記の方法で
得られた強塩基性アニオン交換樹脂の充填されたカラム
の順でそれぞれSV200hr-1で通液し精製した。精
製過酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
のポリテトラフルオロエチレンのフィルターとした以外
は、実施例1と同様にして過酸化水素水の精製を行っ
た。精製過酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、重炭酸塩型にした以外は、実
施例1と同様にして過酸化水素水の精製を行った。精製
過酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、フィルターを東洋濾紙(株)
製の平均孔径0.5μmのポリテトラフルオロエチレン
のフィルターとした以外は、実施例1と同様にして過酸
化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の金属濃
度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、フィルターを東洋濾紙(株)
製の平均孔径1.0μmのポリテトラフルオロエチレン
のフィルターとした以外は、実施例1と同様にして過酸
化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の金属濃
度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、水酸化物型にした以外は、実
施例1と同様にして過酸化水素水の精製を行った。精製
過酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、フィルターを東洋濾紙(株)
製の平均孔径1.0μmのポリテトラフルオロエチレン
のフィルターとした以外は、実施例1と同様にして過酸
化水素水の精製を行った。精製過酸化水素水中の金属濃
度を表に示す。
かった以外は、実施例1と同様にして過酸化水素水の精
製を行った。精製過酸化水素水中の金属濃度を表に示
す。
のポリテトラフルオロエチレンのフィルターとした以外
は、実施例1と同様にして過酸化水素水の精製を行っ
た。精製過酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、重炭酸塩型にした以外は比較
例2と同様にして過酸化水素水の精製を行った。精製過
酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
(株)製、特級)を用い、水酸化物型にした以外は比較
例2と同様にして過酸化水素水の精製を行った。精製過
酸化水素水中の金属濃度を表に示す。
により、金属または金属化合物からなる無機不純物を含
む過酸化水素水を精製して、極めて高純度の過酸化水素
水を製造することができる。
Claims (3)
- 【請求項1】 過酸化水素水を強塩基性アニオン交換樹
脂に接触させ高純度過酸化水素水を製造する方法におい
て、平均孔径1.0μm以下のフィルターに通過させた
薬液と接触させることにより、炭酸塩型、重炭酸塩型ま
たは水酸化物型に変換させた強塩基性アニオン交換樹脂
を用いる高純度過酸化水素水の製造方法。 - 【請求項2】 フィルターの平均孔径が0.05〜1.
0μmである請求項1記載の高純度過酸化水素水の製造
方法。 - 【請求項3】 薬液が、炭酸塩、重炭酸塩または水酸化
物を溶解した水溶液であることを特徴とする請求項1記
載の高純度過酸化水素水の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05210798A JP4051507B2 (ja) | 1997-03-27 | 1998-03-04 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7558497 | 1997-03-27 | ||
JP9-75584 | 1997-03-27 | ||
JP05210798A JP4051507B2 (ja) | 1997-03-27 | 1998-03-04 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10324506A true JPH10324506A (ja) | 1998-12-08 |
JP4051507B2 JP4051507B2 (ja) | 2008-02-27 |
Family
ID=26392717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05210798A Expired - Fee Related JP4051507B2 (ja) | 1997-03-27 | 1998-03-04 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4051507B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009082008A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Organo Corporation | 過酸化水素除去方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 |
CN115465932A (zh) * | 2022-10-24 | 2022-12-13 | 中化学朗正环保科技有限公司 | 一种去除钙盐浓缩液中硫酸根离子的方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201602930SA (en) | 2013-12-26 | 2016-07-28 | Organo Corp | Anion exchanger, mixture of anion exchanger and cation exchanger, mixed bed comprising anion exchanger and cation exchanger, production processes therefor, and method for purifying aqueous hydrogen peroxide solution |
-
1998
- 1998-03-04 JP JP05210798A patent/JP4051507B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009082008A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Organo Corporation | 過酸化水素除去方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 |
JP5441714B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2014-03-12 | オルガノ株式会社 | 純水の製造方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 |
CN115465932A (zh) * | 2022-10-24 | 2022-12-13 | 中化学朗正环保科技有限公司 | 一种去除钙盐浓缩液中硫酸根离子的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4051507B2 (ja) | 2008-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5189255B2 (ja) | 偏光フィルム製造廃液からのヨウ素回収方法 | |
US5356611A (en) | Method of recovering iodine | |
CA1214621A (en) | Process for removing aluminum and silica from alkali metal halide brine solutions | |
CN1172843C (zh) | 生产纯化的过氧化氢水溶液的方法 | |
JP3171058B2 (ja) | 過酸化水素水の精製方法 | |
JPH10324506A (ja) | 高純度過酸化水素水の製造方法 | |
KR100488092B1 (ko) | 고순도과산화수소수의제조방법 | |
US5624655A (en) | Process for purifying hydrogen peroxide aqueous solution | |
JP3900211B2 (ja) | 高純度過酸化水素水の製造方法 | |
JP3849724B2 (ja) | 高純度過酸化水素水の製造方法 | |
JP4013646B2 (ja) | アニオン交換樹脂及びその製造方法、並びにこれを用いた精製過酸化水素水の製造方法 | |
US5614165A (en) | Process for purification of hydrogen peroxide | |
JPH11235595A (ja) | ホウ素含有排水の処理方法 | |
US4965055A (en) | Preparation of ultra-pure metal halides | |
US3393233A (en) | Method for recovering ethylene diamine tetraacetic acid | |
JP2928505B1 (ja) | ラジウム吸着剤とその製造方法 | |
JPH10259008A (ja) | 精製過酸化水素水の製造方法 | |
JP3390148B2 (ja) | 電解用塩水の精製処理方法 | |
US3043867A (en) | Method for the purification of aminocarboxylic acids | |
JPH0920505A (ja) | 過酸化水素水の精製方法 | |
JPH10204554A (ja) | ジルコニウムおよび/またはハフニウム化合物の精製方法 | |
JPH09278417A (ja) | 高純度過酸化水素水溶液の製造法 | |
JP2534861B2 (ja) | 高純度抱水ヒドラジンの製造方法 | |
JP2008297568A (ja) | 塩化ナトリウム水溶液の電解方法 | |
JPH05186215A (ja) | 塩水の精製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070814 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071120 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111214 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111214 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121214 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121214 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131214 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |