JPH10256217A - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
- Publication number
- JPH10256217A JPH10256217A JP5748997A JP5748997A JPH10256217A JP H10256217 A JPH10256217 A JP H10256217A JP 5748997 A JP5748997 A JP 5748997A JP 5748997 A JP5748997 A JP 5748997A JP H10256217 A JPH10256217 A JP H10256217A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical
- valve
- tank
- storage tank
- chemical solution
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理槽等にリークがあった場合確実にそれを
検出し薬液の供給を停止できる薬液供給装置を提供す
る。 【解決手段】 薬液の貯留槽１１ａと、前記貯留槽１１
ａから薬液の供給を受ける処理槽１と、前記貯留槽１１
ａと前記処理槽１の間に配置されたバルブ３ａと、前記
バルブ３ａの開閉を制御するための制御装置とを備えた
薬液供給装置において、前記制御装置に前記バルブ３ａ
の単位時間当たりの動作回数を計数するカウンタ１６を
備え、前記カウンタ１６のカウント値が所定値以上とな
るとき前記バルブ３ａを閉め、処理槽１等にリークがあ
った場合確実にそれを検出し薬液の供給を停止する。
検出し薬液の供給を停止できる薬液供給装置を提供す
る。 【解決手段】 薬液の貯留槽１１ａと、前記貯留槽１１
ａから薬液の供給を受ける処理槽１と、前記貯留槽１１
ａと前記処理槽１の間に配置されたバルブ３ａと、前記
バルブ３ａの開閉を制御するための制御装置とを備えた
薬液供給装置において、前記制御装置に前記バルブ３ａ
の単位時間当たりの動作回数を計数するカウンタ１６を
備え、前記カウンタ１６のカウント値が所定値以上とな
るとき前記バルブ３ａを閉め、処理槽１等にリークがあ
った場合確実にそれを検出し薬液の供給を停止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は薬液供給装置に関
し、更に詳しくは半導体のウェハの洗浄槽等に薬液を重
力補充方式で供給する薬液供給装置に関する。
し、更に詳しくは半導体のウェハの洗浄槽等に薬液を重
力補充方式で供給する薬液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の重力補充方式の薬液供給装置で
は、薬液が減少したら処理槽に設けられた液面センサと
連動して、減少した薬液を上方に位置する秤量槽から、
直接一定量補充する様になっているが、もし処理槽やジ
ョイント部等でリークが発生した場合、通常のリークで
はこれが検出され、補充液の供給が停止されるが、リー
クの状況が少量で連続して流出した場合、リークセンサ
が動作しない状況が生じていた。その時には、オペレー
ターが気付くまで延々と薬液が供給され続けることにな
り、薬液の大量流出が生じる可能性があった。
は、薬液が減少したら処理槽に設けられた液面センサと
連動して、減少した薬液を上方に位置する秤量槽から、
直接一定量補充する様になっているが、もし処理槽やジ
ョイント部等でリークが発生した場合、通常のリークで
はこれが検出され、補充液の供給が停止されるが、リー
クの状況が少量で連続して流出した場合、リークセンサ
が動作しない状況が生じていた。その時には、オペレー
ターが気付くまで延々と薬液が供給され続けることにな
り、薬液の大量流出が生じる可能性があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明が解決し
ようとする課題は処理槽等にリークがあった場合確実に
それを検出し薬液の供給を停止できる薬液供給装置を提
供することである。
ようとする課題は処理槽等にリークがあった場合確実に
それを検出し薬液の供給を停止できる薬液供給装置を提
供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１に係る本発明の薬液供給装置は薬液の貯留槽
と、前記貯留槽から薬液の供給を受ける処理槽と、前記
貯留槽と前記処理槽の間に配置されたバルブと、前記バ
ルブの開閉を制御するための制御装置とを備えた薬液供
給装置において、前記制御装置に前記バルブの単位時間
当たりの動作回数を計数するカウンタを備え、前記カウ
ンタのカウント値が所定値以上となるとき前記バルブを
閉めることを特徴とする構成とし、処理槽等にリークが
あった場合確実にそれを検出し薬液の供給を停止する。
の請求項１に係る本発明の薬液供給装置は薬液の貯留槽
と、前記貯留槽から薬液の供給を受ける処理槽と、前記
貯留槽と前記処理槽の間に配置されたバルブと、前記バ
ルブの開閉を制御するための制御装置とを備えた薬液供
給装置において、前記制御装置に前記バルブの単位時間
当たりの動作回数を計数するカウンタを備え、前記カウ
ンタのカウント値が所定値以上となるとき前記バルブを
閉めることを特徴とする構成とし、処理槽等にリークが
あった場合確実にそれを検出し薬液の供給を停止する。
【０００５】
【発明の実施の形態】次に本発明の好適な実施の形態に
ついて、図１を参照しつつ説明する。図１は本発明に係
る薬液供給装置の概略の原理図であり、ここでは重力補
充方式による半導体ウェハの洗浄装置を例にしている。
処理槽１は、ここでは２種の薬液が満たされ、半導体ウ
ェハ等が浸漬されて洗浄処理を行うようになされてお
り、その外側は外槽２が囲むように配置されており、外
槽２には第１バルブ３ａ、第２バルブ３ｂを介して第１
薬液４ａ、第２薬液４ｂが供給されている。
ついて、図１を参照しつつ説明する。図１は本発明に係
る薬液供給装置の概略の原理図であり、ここでは重力補
充方式による半導体ウェハの洗浄装置を例にしている。
処理槽１は、ここでは２種の薬液が満たされ、半導体ウ
ェハ等が浸漬されて洗浄処理を行うようになされてお
り、その外側は外槽２が囲むように配置されており、外
槽２には第１バルブ３ａ、第２バルブ３ｂを介して第１
薬液４ａ、第２薬液４ｂが供給されている。
【０００６】そして、外槽２の外部には外槽２から混合
した薬液５を取り出し、処理槽１にこれを供給するポン
プ６を備え、またポンプ６とフィルタ７の間には薬液の
リークを検出するためのリークセンサ８が設けられてい
る。そして処理槽１の上部には、第１の薬液４ａが満た
された第１供給槽９ａが配置され、第１の薬液４ａは秤
量槽１０ａ、第３バルブ３ｃを経て第１貯留槽１１ａに
供給される。第１貯留槽１１ａには薬液の液面を検知す
る上限センサ１３ａと下限センサ１４ａが備えられてい
る。
した薬液５を取り出し、処理槽１にこれを供給するポン
プ６を備え、またポンプ６とフィルタ７の間には薬液の
リークを検出するためのリークセンサ８が設けられてい
る。そして処理槽１の上部には、第１の薬液４ａが満た
された第１供給槽９ａが配置され、第１の薬液４ａは秤
量槽１０ａ、第３バルブ３ｃを経て第１貯留槽１１ａに
供給される。第１貯留槽１１ａには薬液の液面を検知す
る上限センサ１３ａと下限センサ１４ａが備えられてい
る。
【０００７】また、処理槽１の上部には、第２の薬液４
ｂが満たされた第２供給槽９ｂが配置され、第２の薬液
４ｂは秤量槽１０ｂ、第４バルブ３ｄを経て第２貯留槽
１１ｂに供給される。第２貯留槽１１ｂには薬液の液面
を検知する上限センサ１３ｂと下限センサ１４ｂが備え
られている。
ｂが満たされた第２供給槽９ｂが配置され、第２の薬液
４ｂは秤量槽１０ｂ、第４バルブ３ｄを経て第２貯留槽
１１ｂに供給される。第２貯留槽１１ｂには薬液の液面
を検知する上限センサ１３ｂと下限センサ１４ｂが備え
られている。
【０００８】そして第１バルブ３ａ、第２バルブ３ｂ、
第３バルブ３ｃ、第４バルブ３ｄは電気系統を介して制
御装置１５に接続されている。また制御装置１５には上
限センサ１３ａ、１３ｂ、下限センサ１４ａ、１４ｂが
接続されその出力を受けるようになされている。
第３バルブ３ｃ、第４バルブ３ｄは電気系統を介して制
御装置１５に接続されている。また制御装置１５には上
限センサ１３ａ、１３ｂ、下限センサ１４ａ、１４ｂが
接続されその出力を受けるようになされている。
【０００９】そして本発明では特に第１バルブ３ａ、第
２バルブ３ｂと制御装置１５の間にバルブの単位時間当
たりの動作回数を計数するカウンタ１６が設けてある。
このカウンタ１６は制御装置１５の中に含めて構成して
も良く、要はバルブの単位時間当たりの動作回数をカウ
ントできればどのような形でも良い。
２バルブ３ｂと制御装置１５の間にバルブの単位時間当
たりの動作回数を計数するカウンタ１６が設けてある。
このカウンタ１６は制御装置１５の中に含めて構成して
も良く、要はバルブの単位時間当たりの動作回数をカウ
ントできればどのような形でも良い。
【００１０】以上のように構成された薬液供給装置は、
処理槽１の薬液５が減少したら第１バルブ３ａ、第２バ
ルブ３ｂが制御装置１５の制御の下に開き、上部の第
１、第２の貯留槽１１ａ、１１ｂから薬液を外槽２へ供
給、ポンプ６、フィルタ７を介して処理槽１へ補充され
る様になっている。第１、第２の貯留槽１１ａ、１１ｂ
の薬液は、減少した分だけ第１、第２供給槽９ａ、９ｂ
から供給され補充される。
処理槽１の薬液５が減少したら第１バルブ３ａ、第２バ
ルブ３ｂが制御装置１５の制御の下に開き、上部の第
１、第２の貯留槽１１ａ、１１ｂから薬液を外槽２へ供
給、ポンプ６、フィルタ７を介して処理槽１へ補充され
る様になっている。第１、第２の貯留槽１１ａ、１１ｂ
の薬液は、減少した分だけ第１、第２供給槽９ａ、９ｂ
から供給され補充される。
【００１１】ここで図１のようにポンプ６やフィルタ７
のジョイント、処理槽１等でリークが発生した場合は、
リークセンサ８が働いて薬液の供給をストップする様に
なっているが、リークが少量の場合、あるいは何らかの
トラブルで、リークセンサ８が作動しない可能性があ
る。そうなると、リーク分の薬液が延々と補充され続
け、そのままにしておくと薬液の大量流出が生じるおそ
れがある。
のジョイント、処理槽１等でリークが発生した場合は、
リークセンサ８が働いて薬液の供給をストップする様に
なっているが、リークが少量の場合、あるいは何らかの
トラブルで、リークセンサ８が作動しない可能性があ
る。そうなると、リーク分の薬液が延々と補充され続
け、そのままにしておくと薬液の大量流出が生じるおそ
れがある。
【００１２】そこで、薬液補充用の第１、第２バルブ３
ａ、３ｂの動作回数に時間制限を設定する。即ち第１、
第２貯留槽１１ａ、１１ｂから薬液を補充するときに第
１、第２バルブ３ａ、３ｂが開閉するが、この回数が一
定時間の間にある回数を超えたとき、薬液の補充をバル
ブを閉めることによって強制遮断することによって、少
量のリークが連続するときの上記トラブルを解消した。
このとき、同時に第３、第４バルブ３ｃ、３ｄも閉めて
も良い。
ａ、３ｂの動作回数に時間制限を設定する。即ち第１、
第２貯留槽１１ａ、１１ｂから薬液を補充するときに第
１、第２バルブ３ａ、３ｂが開閉するが、この回数が一
定時間の間にある回数を超えたとき、薬液の補充をバル
ブを閉めることによって強制遮断することによって、少
量のリークが連続するときの上記トラブルを解消した。
このとき、同時に第３、第４バルブ３ｃ、３ｄも閉めて
も良い。
【００１３】
【発明の効果】薬液のリークがあった場合には確実にバ
ルブを閉塞し、薬液の不所望な流出を防ぐことができる
薬液供給装置を提供できる。
ルブを閉塞し、薬液の不所望な流出を防ぐことができる
薬液供給装置を提供できる。
【図１】 本発明の薬液供給装置の概略原理図。
１…処理槽、２…外槽、３ａ…第１バルブ、３ｂ…第２
バルブ、３ｃ…第３バルブ、３ｄ…第４バルブ、４ａ…
第１の薬液、４ｂ…第２の薬液、５…混合薬液、６…ポ
ンプ、７…フィルタ、８…リークセンサ、９ａ…第１供
給槽、９ｂ…第２供給槽、１０ａ…第１秤量槽、１０ｂ
…第２秤量槽、１１ａ…第１貯留槽、１１ｂ…第２貯留
槽、１３ａ，１３ｂ…上限センサ、１４ａ，１４ｂ…下
限センサ、１５…制御装置、１６…カウンタ
バルブ、３ｃ…第３バルブ、３ｄ…第４バルブ、４ａ…
第１の薬液、４ｂ…第２の薬液、５…混合薬液、６…ポ
ンプ、７…フィルタ、８…リークセンサ、９ａ…第１供
給槽、９ｂ…第２供給槽、１０ａ…第１秤量槽、１０ｂ
…第２秤量槽、１１ａ…第１貯留槽、１１ｂ…第２貯留
槽、１３ａ，１３ｂ…上限センサ、１４ａ，１４ｂ…下
限センサ、１５…制御装置、１６…カウンタ
Claims (3)
- 【請求項１】 薬液の貯留槽と、 前記貯留槽から薬液の供給を受ける処理槽と、 前記貯留槽と前記処理槽の間に配置されたバルブと、 前記バルブの開閉を制御するための制御装置とを備えた
薬液供給装置において、 前記制御装置に前記バルブの単位時間当たりの動作回数
を計数するカウンタを備え、 前記カウンタのカウント値が所定値以上となるとき前記
バルブを閉めることを特徴とする薬液供給装置。 - 【請求項２】 前記処理槽の外側を外槽で囲み、 該外槽と処理槽の間に前記バルブを介して薬液を供給す
るごとくなした請求項１に記載の薬液供給装置。 - 【請求項３】 第１薬液貯留槽と、 第２薬液貯留槽と、 前記第１貯留槽と前記第２貯留槽から薬液の供給を受け
る処理槽と、 前記第１貯留槽と前記処理槽の間に配置された第１バル
ブと、 前記第２貯留槽と前記処理槽の間に配置された第２バル
ブと、前記第１、第２バルブの開閉を制御するための制
御装置とを備えた薬液供給装置において、 前記制御装置に前記バルブの単位時間当たりの動作回数
を計数するカウンタを備え、 前記カウンタのカウント値が所定値以上となるとき前記
第１、第２バルブを閉めることを特徴とする薬液供給装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5748997A JPH10256217A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5748997A JPH10256217A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 薬液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10256217A true JPH10256217A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=13057144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5748997A Pending JPH10256217A (ja) | 1997-03-12 | 1997-03-12 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10256217A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014236079A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 |
-
1997
- 1997-03-12 JP JP5748997A patent/JPH10256217A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014236079A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 |
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