JPH10255475A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH10255475A
JPH10255475A JP9074489A JP7448997A JPH10255475A JP H10255475 A JPH10255475 A JP H10255475A JP 9074489 A JP9074489 A JP 9074489A JP 7448997 A JP7448997 A JP 7448997A JP H10255475 A JPH10255475 A JP H10255475A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 クロック信号に従って同期動作しかつライト
サイクルの次サイクルでのリードサイクルを許容するシ
ンクロナスSRAM等の高速化。 【解決手段】 ライトサイクルの次サイクルのリードサ
イクルに関する実質的な読み出し動作を、上記ライトサ
イクルの例えば前前サイクルのライトサイクルの実質的
な書き込み動作が行われるサイクルの次次サイクルで実
行する。さらに、後続するリードサイクルによりその実
質的な書き込み動作が行われなかったライトサイクルに
関するライトアドレス及びライトデータをそれぞれ保持
する例えば2個のアドレスレジスタAR2及びAR3な
らびに入力データレジスタIR1及びIR2と、アドレ
スレジスタAR1を介して入力される後続するリードサ
イクルのリードアドレスとAR2又はAR3のライトア
ドレスとを比較照合し、対応するIR1又はIR2に保
持されるライトデータをリードデータとして選択的に出
力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置に
関するもので、例えば、EWS(エンジニアリング・ワ
ーク・ステーション)等のキャッシュメモリを構成する
シンクロナスSRAM(スタティック・ランダム・アク
セス・メモリ)ならびにそのサイクルタイムの高速化に
利用して特に有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】クロック信号に従って同期動作するシン
クロナスSRAMがある。また、このようなシンクロナ
スSRAMを中心とするキャッシュメモリがあり、この
ようなキャッシュメモリを備えるEWS等のデジタルシ
ステムがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者等は、この
発明に先立って、EWS用のキャッシュメモリとなるシ
ンクロナスSRAMを開発しようとして、次の問題点に
気付いた。すなわち、このシンクロナスSRAMは、図
9及び図10に示されるように、相補クロック信号K*
(ここで、例えば非反転クロック信号K及び反転クロッ
ク信号/Kからなる相補信号を、相補クロック信号K*
のように*を付して表す。また、それが有効とされると
き選択的にロウレベルとされる反転信号等については、
反転クロック信号/Kのようにその略号の先頭に/を付
して表す。以下同様)が有効レベル(ここで、例えば相
補クロック信号K*の非反転信号がハイレベルとされ、
その反転信号がロウレベルとされることを有効レベルと
称する。以下同様)へ変化するタイミングT1〜T11
等でチップ選択信号/SSが有効レベルつまりロウレベ
ルとされることで、選択的に選択状態とされる。また、
その動作モードは、各タイミングにおいてライトイネー
ブル信号/SWEがハイレベルとされることで選択的に
リードサイクル(READ)とされ、がロウレベルとさ
れることで選択的にライトサイクル(WRITE)とさ
れる。
【0004】例えばタイミングT1のリードサイクルに
おいて、アドレス入力端子SA0〜SAkから入力され
るリードアドレスAR1は、そのサイクル内でシンクロ
ナスSRAMのXアドレスデコーダXD及びYアドレス
デコーダYDに伝達されてデコードされ、これによって
メモリアレイMARYの対応するアドレス(AR1)が
選択される。この選択アドレス(AR1)の読み出し信
号は、タイミングT2で始まる次のサイクルにかけてセ
ンスアンプSAにより増幅されてリードデータDR1と
なり、タイミングT3でアクセス装置に取り込まれるべ
くデータ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd0
〜DQd8から出力される。
【0005】一方、例えばタイミングT3のライトサイ
クルの場合、アドレス入力端子SA0〜SAkから入力
されるライトアドレスAW1は、タイミングT4で始ま
るサイクルでXアドレスデコーダXD及びYアドレスデ
コーダYDによりデコードされ、これによってメモリア
レイMARYのアドレス(AW1)が選択される。ま
た、シンクロナスSRAMは、いわゆる1レイトライト
(Late Write)方式を採り、選択アドレス
(AW1)に書き込むライトデータDW1は、タイミン
グT4でデータ入出力端子DQa0〜DQa8ないしD
Qd0〜DQd8から入力され、タイミングT5で始ま
るサイクルにかけてライトアンプWAからメモリアレイ
MARYの選択アドレス(AW1)に書き込まれる。
【0006】ところで、シンクロナスSRAMは、タイ
ミングT5及びT6に例示されるように、ライトサイク
ルの次サイクルでのリードサイクルを許容し、その仕様
書で保証する。また、シンクロナスSRAMは、図8に
例示されるように、3個のPチャンネルMOSFET
(金属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この明細
書では、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタの総称とする)P3〜P5からなるデータ線イ
コライズ回路を含み、これらのMOSFETは、イコラ
イズ制御信号EQがロウレベルとされることで選択的に
オン状態となってメモリアレイMARYの対応する相補
データ線D0*等の非反転及び反転信号線を電源電圧V
CCのようなハイレベルにイコライズする。この相補デ
ータ線D0*等のイコライズに要する時間は動作モード
によって異なり、リードサイクルのイコライズ所要時間
Teqrは、相補データ線D0*における読み出し信号
の振幅が比較的小さいために短くて済むが、ライトサイ
クルにおけるイコライズ所要時間Teqwは、書き込み
信号がフルスィングされるために長くなる。
【0007】シンクロナスSRAMは、例えばそのライ
トデータDW3が直後のリードサイクルの開始点となる
タイミングT6で入力されるライトサイクルについて
は、内蔵するアドレスレジスタAR2及び入力データレ
ジスタIR1によってライトアドレスAW3及びライト
データDW3を保持し、その実質的な書き込み動作を例
えばタイミングT9で始まるライトサイクルまで待機さ
せる。しかし、タイミングT6のリードサイクルに関す
る実質的な読み出し動作は、相補データ線D0*等のイ
コライズ終了を待って、タイミングT4のライトサイク
ルに関する実質的な書き込み動作に引き続いて行われ
る。このため、シンクロナスSRAMとしてのサイクル
タイムTcyは、ライトサイクルにおけるイコライズ所
要時間Teqwと、ライトアンプWAの書き込み所要時
間つまりその駆動信号たるライトパルス信号WPのパル
ス幅Twpとによる制約を受ける形となり、 Tcy≒Tsu+Twp+Teqw となる。なお、Tsuは、メモリアレイMARYの選択
タイミングとライトアンプWAの駆動タイミングとの間
のセットアップ時間である。
【0008】現在の半導体集積回路技術において、シン
クロナスSRAMのセットアップ時間Tsuは0.5n
s(ナノ秒)程度とされ、ライトパルス信号WPのパル
ス幅Twp及びイコライズ所要時間Teqwは、それぞ
れ2.6ns及び1.4ns程度とされる。この結果、
シンクロナスSRAMのサイクルタイムTcyは、5.
5ns程度となり、これによってシンクロナスSRAM
ひいてはこれを含むEWS等のシステムの高速化が制約
を受ける結果となっている。
【0009】この発明の目的は、ライトサイクルの次サ
イクルでのリードサイクルを許容するシンクロナスSR
AM等のサイクルタイムを高速化し、シンクロナスSR
AMをキャッシュメモリとして含むEWS等の高速化を
図ることにある。
【0010】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば次の
通りである。すなわち、所定のクロック信号に従って同
期動作し、ライトサイクルの次サイクルでのリードサイ
クルを許容するシンクロナスSRAM等において、上記
ライトサイクルの次サイクルのリードサイクルに関する
実質的な読み出し動作を、対応する上記ライトサイクル
の前サイクル又は前前サイクルのライトサイクルに関す
る実質的な書き込み動作が行われるサイクルの次次サイ
クルで実行するとともに、シンクロナスSRAM等に、
後続するリードサイクルによりその実質的な書き込み動
作が行われなかったライトサイクルに関するライトアド
レス及びライトデータをそれぞれ保持する2個又は1個
のアドレスレジスタ及び入力データレジスタと、後続す
るリードサイクルに関するリードアドレスとアドレスレ
ジスタに保持されるライトアドレスとを比較照合しその
結果に応じて対応する入力データレジスタに保持される
ライトデータをリードデータとして選択的に出力するた
めの2個又は1個のアドレス比較回路とを設ける。
【0012】上記手段によれば、前サイクル又は前前サ
イクルのライトサイクルに関する実質的な書き込み動作
が終了してから次サイクルのリードサイクルに関する実
質的な読み出し動作が行われるまでの間に、直前の書き
込み動作によりフルスィングされたデータ線及び共通デ
ータ線のイコライズ動作を行うことができるため、シン
クロナスSRAM等のサイクルタイムを、セットアップ
時間とライトパルス信号のパルス幅との関数とし、ほぼ
イコライズ所要時間分だけ短縮することができる。この
結果、シンクロナスSRAM等のサイクルタイムを高速
化し、これをキャッシュメモリとして含むEWS等の高
速化を図ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1には、この発明が適用された
シンクロナスSRAMの一実施例のブロック図が示され
ている。同図により、まずこの実施例のシンクロナスS
RAMの構成及び動作の概要について説明する。なお、
図1の各ブロックを構成する回路素子は、公知のMOS
FET集積回路の製造技術により、単結晶シリコンのよ
うな1個の半導体基板上に形成される。また、この実施
例のシンクロナスSRAMは、特に制限されないが、E
WSのキャッシュメモリを構成する。
【0014】図1において、この実施例のシンクロナス
SRAMは、半導体基板面の大半を占めて配置されるメ
モリアレイMARYをその基本構成要素とする。このメ
モリアレイMARYは、図の水平方向に平行して配置さ
れる所定数のワード線と、垂直方向に平行して配置され
る所定組の相補データ線とを含む。これらのワード線及
び相補データ線の交点には、多数のスタティック型メモ
リセルが格子状に配置される。なお、メモリアレイMA
RY及びその書き込み動作に関する周辺部の具体的な回
路構成及び動作については、後で詳細に説明する。
【0015】メモリアレイMARYを構成するワード線
は、その左方においてXアドレスデコーダXDに結合さ
れ、択一的に所定の選択レベルとされる。Xアドレスデ
コーダXDには、アドレス選択回路AS2からi+1ビ
ットの内部Xアドレス信号X0〜Xiが供給され、タイ
ミング発生回路TGから内部制御信号CSが供給され
る。アドレス選択回路AS2の一方の入力端子には、ア
ドレスレジスタAR1のk+1ビットの出力信号が供給
され、その他方の入力端子には、アドレスレジスタAR
4のk+1ビットの出力信号が供給される。また、アド
レスレジスタAR4には、アドレス選択回路AS1のk
+1ビットの出力信号が供給される。アドレス選択回路
AS2には、さらにタイミング発生回路TGからその選
択制御信号となる内部制御信号SC2が供給される。
【0016】アドレス選択回路AS1の一方の入力端子
には、アドレスレジスタAR2のk+1ビットの出力信
号が供給され、その他方の入力端子には、アドレスレジ
スタAR3のk+1ビットの出力信号が供給される。ま
た、アドレスレジスタAR3には、アドレスレジスタA
R2のk+1ビットの出力信号が供給され、アドレスレ
ジスタAR2には、アドレスレジスタAR1のk+1ビ
ットの出力信号が供給される。さらに、アドレスレジス
タAR1には、図示されないアクセス装置からアドレス
入力端子SA0〜SAkを介して、k+1ビットのアド
レス信号SA0〜SAkが供給される。アドレス選択回
路AS1には、さらにタイミング発生回路TGから選択
制御信号となる内部制御信号SC1が供給される。
【0017】アドレスレジスタAR1は、外部のアクセ
ス装置からアドレス入力端子SA0〜SAkを介して入
力されるアドレス信号SA0〜SAkを相補クロック信
号K*に従って取り込み、保持するとともに、アドレス
レジスタAR2及びアドレス選択回路AS2に伝達す
る。また、アドレスレジスタAR2は、アドレスレジス
タAR1から伝達されるアドレス信号を図示されない内
部制御信号に従って取り込み、保持するとともに、アド
レスレジスタAR3及びアドレス選択回路AS1に伝達
する。さらに、アドレスレジスタAR3は、アドレスレ
ジスタAR2から伝達されるアドレス信号を図示されな
い他の内部制御信号に従って取り込み、保持するととも
に、アドレス選択回路AS1に伝達する。
【0018】一方、アドレス選択回路AS1は、アドレ
スレジスタAR2又はAR3に保持されるアドレス信号
を内部制御信号SC1に従って選択的に取り込み、アド
レスレジスタAR4に伝達する。さらに、アドレスレジ
スタAR4は、アドレス選択回路AS1を介して伝達さ
れるアドレス信号を図示されない内部制御信号に従って
取り込み、保持するとともに、アドレス選択回路AS2
に伝達し、アドレス選択回路AS2は、アドレスレジス
タAR1又はAR4に保持されるアドレス信号を内部制
御信号SC2に従って選択的に取り込む。アドレス選択
回路AS2のk+1ビットの出力信号のうち、i+1ビ
ットは内部Xアドレス信号X0〜Xiとして上記Xアド
レスデコーダXDに供給され、残りj+1ビットは内部
Yアドレス信号Y0〜YjとしてYアドレスデコーダY
Dに供給される。
【0019】この実施例において、シンクロナスSRA
Mは、1レイトライト方式を採り、アドレスレジスタA
R2及びAR3は、シンクロナスSRAMがライトサイ
クルとされることを条件に選択的にシフトレジスタ形態
となって、1サイクル遅れで供給されるライトアドレス
をシフトしつつ取り込み、保持する。また、この実施例
のシンクロナスSRAMは、ライトサイクルの次サイク
ルでのリードサイクルを許容し、その仕様書において保
証するとともに、メモリアレイMARYの選択メモリセ
ルに対する実質的な書き込み動作を2サイクル遅れで実
行し、リードサイクルに関する実質的な読み出し動作に
ついては1サイクル遅れで実行する。さらに、シンクロ
ナスSRAMは、ライトサイクルの次サイクルがリード
サイクルとなった場合、1サイクル遅れで実行される実
質的な読み出し動作の直前サイクルを、直前の書き込み
動作によりフルスィングされた相補データ線及び共通デ
ータ線のイコライズ動作にあて、実質的なデッドサイク
ルとする。
【0020】これらのことから、一連のライトサイクル
に引き続いて複数のリードサイクルが実行される場合、
上記リードサイクルの前サイクル及び前前サイクルのラ
イトサイクルに関する実質的な書き込み動作はともに待
ち合わせ状態となり、次にライトサイクルが指定された
サイクルとその次サイクルとにおいて実行される。この
とき、アドレス選択回路AS1は、アドレスレジスタA
R2又はAR3で待ち合わせ状態にある前サイクル又は
前前サイクルのライトアドレスを選択的にアドレスレジ
スタAR4つまりはアドレス選択回路AS2に伝達し、
このアドレス選択回路AS2は、シンクロナスSRAM
の動作モードに応じて、言い換えるならばシンクロナス
SRAMがライトサイクル又はリードサイクルのいずれ
にあるかに応じて、アドレスレジスタAR1により保持
されるリードアドレス又はアドレスレジスタAR4によ
り保持されるライトアドレスを選択的にXアドレスデコ
ーダXD及びYアドレスデコーダYDに伝達する。
【0021】XアドレスデコーダXDは、内部制御信号
CSのハイレベルを受けて選択的に動作状態とされ、ア
ドレス選択回路AS2から供給されるi+1ビットの内
部Xアドレス信号X0〜Xiをデコードして、メモリア
レイMARYの対応するワード線を択一的に所定の選択
レベルとする。
【0022】次に、メモリアレイMARYを構成する相
補データ線は、その下方においてYスイッチYSに結合
される。YスイッチYSには、YアドレスデコーダYD
から図示されない所定ビットのデータ線選択信号が供給
され、タイミング発生回路TGからイコライズ制御信号
EQが供給される。
【0023】YスイッチYSは、メモリアレイMARY
の各相補データ線に対応して設けられる複数の単位回路
を備え、これらの単位回路のそれぞれは、3個のPチャ
ンネルMOSFETからなるデータ線イコライズ回路
と、一対のトランスファゲートとを含む。このうち、各
単位回路のデータ線イコライズ回路を構成するPチャン
ネルMOSFETは、イコライズ制御信号EQのロウレ
ベルを受けて選択的にオン状態となり、メモリアレイM
ARYの対応する相補データ線の非反転及び反転信号線
を電源電圧VCCのようなハイレベルにイコライズす
る。また、各単位回路のトランスファゲートは、対応す
るデータ線選択信号が択一的に選択レベルとされること
で36組ずつ選択的にオン状態となり、メモリアレイM
ARYの対応する36組の相補データ線と相補共通デー
タ線CD0*〜CD35*つまりライトアンプWA及び
センスアンプSAとの間を選択的に接続状態とする。な
お、YスイッチYSの具体的構成については、後で詳細
に説明する。
【0024】YアドレスデコーダYDには、アドレス選
択回路AS2から内部Yアドレス信号Y0〜Yjが供給
され、タイミング発生回路TGから内部制御信号CSが
供給される。YアドレスデコーダYDは、内部制御信号
CSのハイレベルを受けて選択的に動作状態となり、ア
ドレス選択回路AS2から供給される内部Yアドレス信
号Y0〜Yjをデコードして、上記データ線選択信号の
対応するビットを択一的に電源電圧VCCのようなハイ
レベルの選択レベルとする。
【0025】ライトアンプWAは、後述するように、相
補共通データ線CD0*〜CD35*に対応して設けら
れる36個の単位ライトアンプを備える。これらの単位
ライトアンプは、順次9個ずつ4つのグループに分割さ
れ、データ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd
0〜DQd8に対応付けられる。ライトアンプWAの各
単位ライトアンプには、入力データレジスタIRからラ
イトデータWDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd
8がそれぞれ供給され、その非反転及び反転出力端子
は、対応する相補共通データ線CD0*〜CD35*の
非反転又は反転信号線にそれぞれ結合される。また、各
単位ライトアンプには、タイミング発生回路TGからラ
イトパルス信号WPが共通に供給され、各グループを構
成する9個の単位ライトアンプには、ライトイネーブル
信号レジスタWERから対応するバイトライト制御信号
WEa〜WEdがそれぞれ共通に供給される。
【0026】これにより、ライトアンプWAの各単位ラ
イトアンプは、ライトパルス信号WPがハイレベルとさ
れかつ対応するバイトライト制御信号WEa〜WEdが
ハイレベルとされることで選択的に動作状態となり、ラ
イトデータWDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd
8に従った相補書き込み信号を形成する。これらの相補
書き込み信号は、相補共通データ線CD0*〜CD35
*からYスイッチYSのオン状態にある36組のトラン
スファゲートを介してメモリアレイMARYの指定され
た36個のメモリセルに書き込まれる。
【0027】なお、ライトアンプWAの各単位ライトア
ンプにより形成される相補書き込み信号は、そのハイレ
ベルを電源電圧VCCとしそのロウレベルを接地電位V
SSとするいわゆるフルスィングの信号とされる。ま
た、ライトデータWDa0〜WDa8ないしWDd0〜
WDd8は、パリティビットを含む4バイトのライトデ
ータに9ビットずつ対応するが、ライトアンプWAの単
位ライトアンプWA0〜WA35の動作が対応するバイ
トライト制御信号WEa〜WEdのハイレベルを受けて
選択的に行われることで、ライトデータWDa0〜WD
a8ないしWDd0〜WDd8の書き込み動作がバイト
単位で制御されるものとなる。
【0028】センスアンプSAは、相補共通データ線C
D0*〜CD35*に対応して設けられる36個の単位
センスアンプを備える。これらの単位センスアンプは、
順次9個ずつ4つのグループに分割され、データ入出力
端子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd8に対
応付けられる。センスアンプSAの各単位センスアンプ
の非反転及び反転入力端子は、相補共通データ線CD0
*〜CD35*の非反転又は反転信号線にそれぞれ結合
され、その出力信号は、リードデータRDa0〜RDa
8ないしRDd0〜RDd8として出力データ選択回路
OSの第3の入力端子に供給される。センスアンプSA
の各単位センスアンプには、タイミング発生回路TGか
らリードパルス信号RPが共通に供給される。
【0029】これにより、センスアンプSAの各単位セ
ンスアンプは、リードパルス信号RPがハイレベルとさ
れることで選択的にかつ一斉に動作状態となり、メモリ
アレイMARYの指定された36個のメモリセルからY
スイッチYSならびに対応する相補共通データ線CD0
*〜CD35*を介して出力される読み出し信号を増幅
する。これらの読み出し信号は、上記リードデータRD
a0〜RDa8ないしRDd0〜RDd8として、出力
データ選択回路OSの第3の入力端子に供給される。な
お、メモリアレイMARYの指定されたメモリセルから
相補データ線D0*〜Dn*ならびに相補共通データ線
CD0*〜CD35*に出力される読み出し信号は、数
百mV(ミリボルト)程度の小振幅信号とされる。
【0030】入力データレジスタIR2の入力端子に
は、入力データレジスタIR1の36ビットの出力信号
が供給され、入力データレジスタIR1の入力端子に
は、データ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd
0〜DQd8を介して36ビットのライトデータが供給
される。入力データレジスタIR1は、シンクロナスS
RAMがライトサイクルとされるとき、外部のアクセス
装置からデータ入出力端子DQa0〜DQa8ないしD
Qd0〜DQd8を介して供給されるライトデータを相
補クロック信号K*に従って取り込み、保持するととも
に、入力データレジスタIR2に伝達する。このとき、
入力データレジスタIR2は、入力データレジスタIR
1を介して伝達されるライトデータを同じく相補クロッ
ク信号K*に従って取り込み、保持するとともに、ライ
トアンプWAに伝達する。なお、入力データレジスタI
R1及びIR2のクロック入力端子に供給される相補ク
ロック信号K*は、実際にはライトイネーブル信号/S
WEがロウレベルであることをその生成条件として含む
が、このことについては後で説明する。
【0031】入力データレジスタIR1に保持される3
6ビットのライトデータは、さらに出力データ選択回路
OSの第1の入力端子に供給され、入力データレジスタ
IR2により保持される36ビットのライトデータは、
さらにその第2の入力端子に供給される。出力データ選
択回路OSには、アドレス比較回路AC1及びAC2か
らその出力信号AM1及びAM2が出力制御信号として
供給される。アドレス比較回路AC1及びAC2の一方
の入力端子には、アドレスレジスタAR1のk+1ビッ
トの出力信号が供給される。また、アドレス比較回路A
C1の他方の入力端子には、アドレスレジスタAR2の
k+1ビットの出力信号が供給され、アドレス比較回路
AC2の他方の入力端子には、アドレスレジスタAR3
のk+1ビットの出力信号が供給される。なお、アドレ
スレジスタAR1〜AR3の出力信号が、前記内部Xア
ドレス信号X0〜Xiならびに内部Yアドレス信号Y0
〜Yjに対応するものであり、そのビット数k+1が、
これらの内部Xアドレス信号及び内部Yアドレス信号の
ビット数i+1及びj+1に対して、 k+1=(i+1)+(j+1) なる関係にあることは言うまでもない。
【0032】出力データ選択回路OSの出力端子は、出
力データレジスタORの入力端子に結合される。また、
出力データレジスタORの出力端子は、データ出力バッ
ファOBの入力端子に結合され、データ出力バッファO
Bの出力端子は、データ入出力端子DQa0〜DQa8
ないしDQd0〜DQd8に結合される。
【0033】アドレス比較回路AC1及びAC2は、シ
ンクロナスSRAMがリードサイクルとされるとき、ア
ドレス入力端子SA0〜SAkからアドレスレジスタA
R1を介して供給されるリードアドレスとアドレスレジ
スタAR2又はAR3に保持されるライトアドレスとを
比較照合し、両アドレスが全ビット一致するとき、その
出力信号AM1又はAM2を選択的にハイレベルとす
る。
【0034】出力データ選択回路OSは、アドレス比較
回路AC1及びAC2の出力信号AM1及びAM2がと
もにロウレベルとされるとき、センスアンプSAから出
力されるリードデータRDa0〜RDa8ないしRDd
0〜RDd8を選択して出力データレジスタORに伝達
する。また、アドレス比較回路AC1の出力信号AM1
がハイレベルとされるとき、入力データレジスタIR1
に保持される36ビットのライトデータを選択して出力
データレジスタORに伝達し、アドレス比較回路AC2
の出力信号AM2がハイレベルとされるときには、入力
データレジスタIR2に保持される36ビットのライト
データを選択して出力データレジスタORを介してデー
タ出力バッファOBに伝達する。
【0035】データ出力バッファOBは、図示されない
出力制御信号のハイレベルを受けて選択的に動作状態と
され、出力データ選択回路OSから出力データレジスタ
ORを介して出力されるリードデータをデータ入出力端
子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd8を介し
て外部のアクセス装置に出力する。なお、上記出力制御
信号がロウレベルとされるとき、データ出力バッファO
Bの出力端子はいわゆるハイインピーダンス状態とされ
る。
【0036】前述のように、この実施例のシンクロナス
SRAMでは、ライトサイクルの次サイクルでのリード
サイクルが保証され、実際にライトサイクルの次サイク
ルがリードサイクルとなった場合、1サイクル遅れで実
行される実質的な読み出し動作の直前サイクルが、実質
的な書き込み動作によってフルスィングされた相補デー
タ線及び共通データ線のイコライズ動作にあてられ、書
き込み動作が禁止される。このため、リードサイクルの
前サイクル及び前前サイクルのライトサイクルに関する
実質的な書き込み動作は、次のライトサイクルが指定さ
れたサイクルで実行される。この間、アドレスレジスタ
AR2及びAR3に保持されるライトアドレスは、アド
レス比較回路AC1又はAC2によりリードサイクルに
際して供給されるリードアドレスと比較照合され、両者
が一致すると入力データレジスタIR1又はIR2で待
ち合わせ状態にあるライトデータがそのまま出力データ
選択回路OS,出力データレジスタORならびにデータ
出力バッファOBを介して出力され、これによってリー
ドデータの信頼性が高められる。
【0037】バイトライトイネーブル信号レジスタBW
Rは、外部のアクセス装置から供給されるバイトライト
イネーブル信号/SWEaないし/SWEdを相補クロ
ック信号K*に従って取り込み、保持するとともに、バ
イトライト制御信号WEa〜WEdとして上記ライトア
ンプWAに伝達する。また、タイミング発生回路TG
は、外部のアクセス装置から起動制御信号として供給さ
れるチップ選択信号/SS及びライトイネーブル信号/
SWEをもとに、上記各種の内部制御信号を選択的に形
成して、シンクロナスSRAMの各部に供給する。
【0038】図2には、図1のシンクロナスSRAMに
含まれるメモリアレイMARY及びその周辺部の一実施
例の部分的な回路図が示されている。同図をもとに、シ
ンクロナスSRAMを構成するメモリアレイMARY及
びその周辺部の具体的構成及び動作を説明する。なお、
以下の回路図及び信号経路図において、そのチャネル
(バックゲート)部に矢印が付されるMOSFETはP
チャンネル型であり、矢印の付されないNチャンネルM
OSFETと区別して示される。
【0039】図2において、この実施例のシンクロナス
SRAMを構成するメモリアレイMARYは、特に制限
されないが、図の水平方向に平行して配置されるm+1
本のワード線W0〜Wmと、垂直方向に平行して配置さ
れるn+1組の相補データ線D0*〜Dn*とを含む。
これらのワード線及び相補データ線の交点には、合計
(m+1)×(n+1)個のスタティック型メモリセル
MC00〜MC0nないしMCm0〜MCmnが格子状
に配置される。
【0040】メモリアレイMARYを構成するスタティ
ック型メモリセルMC00〜MC0nないしMCm0〜
MCmnのそれぞれは、図2のメモリセルMC00に代
表して示されるように、PチャンネルMOSFETP1
及びNチャンネルMOSFETN1あるいはPチャンネ
ルMOSFETP2及びNチャンネルMOSFETN2
からなる一対のCMOS(相補型MOS)インバータが
互いに交差結合されてなるラッチ回路をその基本構成要
素とする。メモリアレイMARYの同一列に配置される
m+1個のメモリセルMC00〜MCm0ないしMC0
n〜MCmnのラッチ回路の非反転入出力ノードすなわ
ちMOSFETP1及びN1の共通結合されたドレイン
つまりMOSFETP2及びN2の共通結合されたゲー
トは、Nチャンネル型の選択MOSFETN3を介して
対応する相補データ線D0*〜Dn*の非反転信号線に
それぞれ結合され、その反転入出力ノードすなわちMO
SFETP2及びN2の共通結合されたドレインつまり
MOSFETP1及びN1の共通結合されたゲートは、
Nチャンネル型の選択MOSFETN4を介して対応す
る相補データ線D0*〜Dn*の反転信号線にそれぞれ
結合される。また、メモリアレイMARYの同一行に配
置されるn+1個のメモリセルMC00〜MC0nない
しMCm0〜MCmnの選択MOSFETN3及びN4
のゲートは、対応するワード線W0〜Wmにそれぞれ共
通結合される。
【0041】メモリアレイMARYを構成するワード線
W0〜Wmは、その左方においてXアドレスデコーダX
Dに結合され、択一的に電源電圧VCCのような選択レ
ベルとされる。ワード線W0〜Wmが択一的に選択レベ
ルとされるとき、メモリアレイMARYでは、選択され
たワード線に結合されるn+1個のメモリセルの選択M
OSFETN3及びN4が一斉にオン状態となり、相補
データ線D0*〜Dn*の非反転及び反転信号線には、
これらのメモリセルの保持データに応じた論理“1”又
は“0”の読み出し信号が出力される。
【0042】次に、メモリアレイMARYを構成する相
補データ線D0*〜Dn*は、その下方においてYスイ
ッチYSの対応する単位回路に結合される。Yスイッチ
YSは、メモリアレイMARYの相補データ線D0*〜
Dn*に対応して設けられるn+1個の単位回路を備
え、これらの単位回路のそれぞれは、図2に例示される
ように、3個のPチャンネルMOSFETP3〜P5か
らなるデータ線イコライズ回路と、一対のトランスファ
ゲートG1及びG2とを含む。このうち、データ線イコ
ライズ回路を構成するMOSFETP3〜P5のゲート
には、タイミング発生回路TGからイコライズ制御信号
EQが共通に供給される。
【0043】一方、トランスファゲートG1及びG2の
一方の端子は、メモリアレイMARYの対応する相補デ
ータ線D0*〜Dn*の非反転又は反転信号線にそれぞ
れ結合され、その他方の端子は、順次36組おきに相補
共通データ線CD0*〜CD35*の非反転又は反転信
号線に共通結合される。トランスファゲートG1及びG
2を構成するNチャンネルMOSFETのゲートには、
YアドレスデコーダYDから対応するデータ線選択信号
YS0〜YSpがそれぞれ供給され、PチャンネルMO
SFETのゲートには、そのインバータV1による反転
信号がそれぞれ供給される。データ線選択信号YS0〜
YSpならびにその反転信号は、隣接する36組のトラ
ンスファゲートG1及びG2に順次共通に供給される。
なお、データ線選択信号YS0〜YSpのビット数p+
1が、 p+1=(n+1)/36 なる関係にあることは言うまでもない。
【0044】このように、本実施例のシンクロナスSR
AMのメモリアレイMARYを構成する相補データ線D
0*〜Dn*の非反転及び反転信号線は、シンクロナス
SRAMが非選択状態とされイコライズ制御信号EQが
ロウレベルとされるとき、YスイッチYSのデータ線イ
コライズ回路を構成するMOSFETP3〜P5を介し
て電源電圧VCCのようなハイレベルにイコライズされ
る。また、シンクロナスSRAMが選択状態とされワー
ド線W0〜Wmが択一的に選択レベルとされるとき、相
補データ線D0*〜Dn*の非反転及び反転信号線のハ
イレベルは、選択ワード線に結合されるn+1個のメモ
リセルの保持データに従ってそのいずれ一方が選択的に
ディスチャージされ、両信号線間には数百mV程度の比
較的小さなレベル差が生じる。これらのレベル差つまり
読み出し信号は、データ線選択信号YS0〜YSpが択
一的にハイレベルとされることで、36組分ずつ選択的
に相補共通データ線CD0*〜CD35*に伝達され
る。
【0045】なお、メモリアレイMARYのデータ線D
0*〜Dn*ならびに相補共通データ線CD0*〜CD
35*の非反転及び反転信号線は、シンクロナスSRA
Mが形成される半導体基板面を比較的長い距離にわたっ
て引き回しされ、多数のMOSFETが結合されるた
め、比較的大きな負荷容量が結合される。このため、リ
ードサイクルに関する実質的な読み出し動作が行われた
後のイコライズ動作の所要時間つまりイコライズ所要時
間Teqrは、読み出し信号の振幅が数百mVと小さい
ために充分に短い時間で済むが、ライトサイクルに関す
る実質的な書き込み動作が行われた後のイコライズ所要
時間Teqwは、書き込み信号がフルスィングされるた
めに1.4nsのような比較的長い時間となる。
【0046】相補共通データ線CD0*〜CD35*
は、ライトアンプWAの対応する単位ライトアンプWA
0〜WA35の非反転及び反転出力端子にそれぞれ結合
されるとともに、センスアンプSAの対応する単位セン
スアンプSA0〜SA35の非反転及び反転入力端子に
それぞれ結合される。
【0047】ライトアンプWAは、相補共通データ線C
D0*〜CD35*に対応して設けられる36個の単位
ライトアンプWA0〜WA35を備える。これらの単位
ライトアンプは、順次9個ずつ4つのグループにバイト
分割され、データ入出力端子DQa0〜DQa8ないし
DQd0〜DQd8に対応付けられる。ライトアンプW
Aの各単位ライトアンプWA0〜WA35の入力端子に
は、入力データレジスタIR2から対応するライトデー
タWDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd8がそれ
ぞれ供給され、その非反転及び反転出力端子は、対応す
る相補共通データ線CD0*〜CD35*の非反転又は
反転信号線にそれぞれ結合される。ライトアンプWAの
単位ライトアンプWA0〜WA35には、タイミング発
生回路TGからライトパルス信号WPが共通に供給され
る。また、ライトアンプWAの各グループを構成する単
位ライトアンプWA0〜WA8ないしWA27〜WA3
5には、ライトイネーブル信号レジスタWERから対応
するバイトライト制御信号WEa〜WEdがそれぞれ共
通に供給される。
【0048】これにより、ライトアンプWAの単位ライ
トアンプWA0〜WA35は、ライトパルス信号WPが
ハイレベルとされかつ対応するバイトライト制御信号W
Ea〜WEdがハイレベルとされることで選択的に動作
状態となり、ライトデータWDa0〜WDa8ないしW
Dd0〜WDd8に従った相補書き込み信号を形成す
る。これらの相補書き込み信号は、相補共通データ線C
D0*〜CD35*からYスイッチYSのオン状態にあ
るトランスファゲートG1及びG2を介してメモリアレ
イMARYの指定された36個のメモリセルに書き込ま
れる。
【0049】なお、ライトアンプWAの各単位ライトア
ンプにより形成される相補書き込み信号は、そのハイレ
ベルを電源電圧VCCとしそのロウレベルを接地電位V
SSとするフルスィングの信号とされる。また、ライト
アンプWAの単位ライトアンプWA0〜WA35の動作
が対応するバイトライト制御信号WEa〜WEdのハイ
レベルを受けて選択的に行われることで、ライトデータ
WDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd8の書き込
み動作はバイト単位で制御される。
【0050】センスアンプSAは、相補共通データ線C
D0*〜CD35*に対応して設けられる36個の単位
センスアンプSA0〜SA35を備える。これらの単位
センスアンプは、順次9個ずつ4つのグループにバイト
分割され、データ入出力端子DQa0〜DQa8ないし
DQd0〜DQd8に対応付けられる。センスアンプS
Aの各単位センスアンプSA0〜SA35の非反転及び
反転入力端子は、対応する相補共通データ線CD0*〜
CD35*の非反転又は反転信号線にそれぞれ結合さ
れ、その出力信号は、リードデータRDa0〜RDa8
ないしRDd0〜RDd8として出力データ選択回路O
Sの第3の入力端子に供給される。センスアンプSAの
単位センスアンプSA0〜SA35には、さらにタイミ
ング発生回路TGからリードパルス信号RPが共通に供
給される。
【0051】これにより、センスアンプSAの単位セン
スアンプSA0〜SA35は、リードパルス信号RPが
ハイレベルとされることで選択的にかつ一斉に動作状態
となり、メモリアレイMARYの指定された36個のメ
モリセルから相補共通データ線CD0*〜CD35*を
介して出力される読み出し信号を増幅する。これらの読
み出し信号は、リードデータRDa0〜RDa8ないし
RDd0〜RDd8として、出力データ選択回路OSの
第3の入力端子に供給される。
【0052】図3には、図1のシンクロナスSRAMの
書き込み動作に関する回路の一実施例の信号経路図が示
されている。なお、図3は、図1のブロック図をやや詳
細に書き換えたものであるため、これと異なる部分につ
いてのみ説明を追加する。また、以下の信号経路図で
は、アドレス信号SA0〜SAkならびに入出力データ
DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd8の第1ビ
ット目に関する部分が代表して示され、信号経路に関す
る説明もこれらを例に進められる。
【0053】図3において、外部のアクセス装置からア
ドレス入力端子SA0を介して供給されるアドレス信号
SA0は、相補クロック信号K*に従ってアドレスレジ
スタAR1に取り込まれた後、アドレスレジスタAR2
に伝達されるとともに、アドレス比較回路AC1及びA
C2ならびにアドレス選択回路AS2の一方の入力端子
に伝達される。アドレスレジスタAR2及びAR3のク
ロック入力端子には、タイミング発生回路TGのナンド
(NAND)ゲートNA1の出力信号が供給される。こ
のナンドゲートNA1の一方の入力端子には、ライトイ
ネーブル信号/SWEを受けるライトイネーブル信号レ
ジスタWERの出力信号が供給され、その他方の入力端
子にはBiCMOS(バイポーラCMOS)BV2の出
力信号つまり非反転内部クロック信号が供給される。
【0054】言うまでもなく、ナンドゲートNA1の出
力信号は、ライトイネーブル信号/SWEがロウレベル
つまりライトイネーブル信号レジスタWERの出力信号
がハイレベルとされシンクロナスSRAMがライトサイ
クルとされるとき、相補クロック信号K*に従って選択
的にロウレベルとされる。この結果、アドレスレジスタ
AR2及びAR3は、シンクロナスSRAMがライトサ
イクルとされることを条件に選択的にシフトレジスタと
して作用し、アドレス入力端子SA0を介して入力され
るアドレス信号SA0を相補クロック信号K*に従って
順次取り込み、保持する。シンクロナスSRAMがリー
ドサイクル又はデッドサイクルとされナンドゲートNA
1の出力信号がハイレベルとされるとき、アドレスレジ
スタAR2及びAR3は、そのシフト動作を停止し、直
前に入力された二つのライトサイクルに関するライトア
ドレスを保持する。
【0055】アドレスレジスタAR2の出力信号は、ア
ドレス選択回路AS1の一方の入力端子に供給されると
ともに、アドレス比較回路AC1の他方の入力端子に供
給される。また、アドレスレジスタAR3の出力信号
は、アドレス選択回路AS1の他方の入力端子に供給さ
れるとともに、アドレス比較回路AC2の他方の入力端
子に供給される。アドレス比較回路AC1及びAC2の
出力信号AM1及びAM2は、選択制御信号として出力
データ選択回路OSに供給され、アドレス選択回路AS
1の出力信号は、アドレスレジスタAR4に供給され
る。アドレス選択回路AS1の制御端子には、チップ選
択信号/SSを受けるチップ選択信号レジスタSSRの
出力信号が選択制御信号SC1として供給される。ま
た、アドレスレジスタAR4のクロック入力端子には、
上記ナンドゲートNA1の出力信号のインバータV2に
よる反転信号が供給される。
【0056】これにより、アドレス比較回路AC1は、
アドレスレジスタAR2に保持されるライトアドレスと
リードサイクルに際してアドレスレジスタAR1を介し
て入力されるリードアドレスとを比較照合し、両アドレ
スが全ビット一致するときその出力信号AM1を選択的
にハイレベルとする。また、アドレス比較回路AC2
は、アドレスレジスタAR3に保持されるライトアドレ
スとアドレスレジスタAR1を介して入力されるリード
アドレスとを比較照合し、両アドレスが全ビット一致す
るときその出力信号AM2を選択的にハイレベルとす
る。
【0057】アドレス選択回路AS1は、シンクロナス
SRAMがデッドサイクルとされ選択制御信号SC1が
ロウレベルとされるとき、アドレスレジスタAR3で待
ち合わせ状態にある一つ目のライトアドレスを選択し
て、アドレスレジスタAR4に伝達する。また、シンク
ロナスSRAMがデッドサイクルの後のライトサイクル
とされ選択制御信号SC1がハイレベルとされるときに
は、アドレスレジスタAR2で待ち合わせ状態にある二
つ目のライトアドレスを選択して、アドレスレジスタA
R4に伝達する。一方、アドレス選択回路AS2は、シ
ンクロナスSRAMがリードサイクルとされ選択制御信
号SC2がロウレベルとされるとき、アドレスレジスタ
AR1を介して入力されるリードアドレスを選択して、
XアドレスデコーダXD及び図示されないYアドレスデ
コーダYDに伝達し、シンクロナスSRAMがライトサ
イクルとされ選択制御信号SC2がハイレベルとされる
ときには、アドレスレジスタAR4に保持されるライト
アドレスを選択して、XアドレスデコーダXD及びYア
ドレスデコーダYDに伝達する。
【0058】XアドレスデコーダXDは、ナンドゲート
NA2〜NA4,BiCMOSインバータBV4及びB
V5ならびにCMOSインバータVAを含み、アドレス
選択回路AS2から供給されるライトアドレス又はリー
ドアドレスをデコードして、メモリアレイMARYのワ
ード線W0を択一的に電源電圧VCCのような選択レベ
ルとする。メモリアレイMARYの相補データ線D0*
は、前述のように、YスイッチYSの対応する単位回路
に結合され、そのMOSFETP3〜P5からなるデー
タ線イコライズ回路によって選択的にイコライズされる
とともに、そのトランスファゲートG1及びG2を介し
て選択的に相補共通データ線CD0*つまりはライトア
ンプWAの対応する単位ライトアンプWA0あるいはセ
ンスアンプSAの対応する単位センスアンプSA0に選
択的に接続される。
【0059】ライトアンプWAの単位ライトアンプWA
0には、入力データレジスタIR2からライトデータW
Da0が供給されるとともに、タイミング発生回路TG
からライトパルス信号WPが供給され、図示されないバ
イトライトイネーブル信号レジスタBWRから対応する
バイトライト制御信号WEaが供給される。また、セン
スアンプSAの単位センスアンプSA0には、図示され
ないリードパルス信号RPが供給され、その出力信号
は、リードデータRDa0として出力データ選択回路O
Sの第3の入力端子に供給される。
【0060】ここで、ライトアンプWAに供給されるラ
イトパルス信号WPは、特に制限されないが、ライトイ
ネーブル信号/SWEつまりはライトイネーブル信号レ
ジスタWERの出力信号がCMOSインバータV6〜V
7を含むパルス発生回路を介されることにより形成さ
れ、YスイッチYSのデータ線イコライズ回路に供給さ
れるイコライズ制御信号EQは、ライトパルス信号WP
及びリードパルス信号RPがオアゲートOG2ならびに
CMOSインバータV8〜V9を含むパルス発生回路を
介されることにより形成される。この結果、イコライズ
制御信号EQは、ライトパルス信号WP又はリードパル
ス信号RPがともにロウレベルとされるとき所定のタイ
ミングで選択的にロウレベルとされ、このイコライズ制
御信号EQのロウレベルを受けてYスイッチYSのデー
タ線イコライズ回路による相補データ線D0*〜Dn*
のイコライズ動作が選択的に実行される。
【0061】一方、データ入出力端子DQa0を介して
入力されるライトデータは、シンクロナスSRAMがラ
イトサイクルとされるとき、タイミング発生回路TGの
ナンドゲートNA1の出力信号に従ってシフトレジスタ
形態の入力データレジスタIR1及びIR2に取り込ま
れる。このうち、入力データレジスタIR1の出力信号
は、出力データ選択回路OSの第1の入力端子に供給さ
れる。また、入力データレジスタIR2の出力信号は、
ライトデータWDa0としてライトアンプWAの単位ラ
イトアンプWA0に供給されるとともに、出力データ選
択回路OSの第2の入力端子に供給される。前述のよう
に、出力データ選択回路OSの第3の入力端子には、セ
ンスアンプSAの単位センスアンプSA0からリードデ
ータRDa0が供給され、その選択制御端子には、アド
レス比較回路AC1及びAC2の出力信号AM1及びA
M2が供給される。
【0062】出力データ選択回路OSは、アドレス比較
回路AC1及びAC2の出力信号AM1及びAM2がと
もにロウレベルとされるとき、センスアンプSAの単位
センスアンプSA0から出力されるリードデータRDa
0を選択して出力データレジスタORに伝達する。ま
た、アドレス比較回路AC1の出力信号AM1がハイレ
ベルとされるときには、入力データレジスタIR1で待
ち合わせ状態にある前サイクルのライトデータを選択し
て出力データレジスタORに伝達し、アドレス比較回路
AC2の出力信号AM2がハイレベルとされるときに
は、入力データレジスタIR2で待ち合わせ状態にある
前前サイクルのライトデータを選択して出力データレジ
スタORに伝達する。出力データレジスタORは、Bi
CMOSインバータBV3の出力信号つまり相補クロッ
ク信号K*に従って出力データ選択回路OSの出力信号
を取り込み、データ出力バッファOBに伝達する。デー
タ出力バッファOBは、図示されない出力制御信号のハ
イレベルを受けて選択的に動作状態とされ、出力データ
レジスタORに保持されるリードデータをデータ入出力
端子DQa0を介して外部のアクセス装置に出力する。
【0063】図4には、図1のシンクロナスSRAMの
一実施例の動作タイミング図が示され、図5には、その
一実施例の信号波形図が示されている。これらの図によ
り、この実施例のシンクロナスSRAMの具体的動作な
らびにその特徴について説明する。なお、図5の信号波
形図は、図4の動作タイミング図を部分的に拡大し、こ
れに必要と思われる信号の波形を追加したものである。
【0064】図4において、シンクロナスSRAMは、
相補クロック信号K*が有効レベルつまり非反転クロッ
ク信号Kが電源電圧VCCのようなハイレベルに変化さ
れ反転クロック信号/Kが接地電位VSSのようなロウ
レベルに変化されるタイミングT1〜T14等でチップ
選択信号/SSがロウレベルとされることにより、選択
的に選択状態とされる。また、その動作モードは、各タ
イミングでライトイネーブル信号/SWEがハイレベル
とされることで選択的にリードサイクル(READ)と
され、ライトイネーブル信号/SWEがロウレベルとさ
れることで選択的にライトサイクル(WRITE)とさ
れる。タイミングT1〜T14等においてチップ選択信
号/SSがハイレベルとされるとき、シンクロナスSR
AMはいわゆるデッドサイクル(DEAD)とされる
が、このデッドサイクルは、シンクロナスSRAMの動
作モードがリードサイクルからライトサイクルに変化さ
れるとき1サイクル分だけ挿入することが仕様書により
義務付けられる。
【0065】例えばタイミングT1を始まりとするリー
ドサイクルにおいて、アドレス入力端子SA0〜SAk
にはアクセスすべきリードアドレスAR1が入力され、
データ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜
DQd8は、すべてハイインピーダンス状態とされる。
また、タイミングT3を始まりとするライトサイクルで
は、アドレス入力端子SA0〜SAkを介してアクセス
すべきライトアドレスAW1が入力され、データ入出力
端子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd8に
は、前前サイクルのリードサイクルのリードデータDR
1が出力される。さらに、タイミングT4を始まりとす
るライトサイクルでは、アドレス入力端子SA0〜SA
kを介してアクセスすべきライトアドレスAW2が入力
され、データ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQ
d0〜DQd8には、直前のライトサイクルのライトデ
ータDW1が1サイクル遅れで入力される。
【0066】一方、タイミングT5を始まりとするライ
トサイクルでは、アドレス入力端子SA0〜SAkを介
してアクセスすべきライトアドレスAW3が入力され、
データ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜
DQd8には、直前のライトサイクルのライトデータD
W2が1サイクル遅れで入力される。以下、タイミング
T6,T7,T12ならびにT13を始まりとするサイ
クルはリードサイクルとされ、タイミングT9〜T11
を始まりとするサイクルはライトサイクルとされる。リ
ードサイクルの次サイクルつまりタイミングT2,T8
ならびにT14を始まりとするサイクルは、すべてデッ
ドサイクルとされる。
【0067】上記タイミングT1を始まりとするリード
サイクルにおいて、アドレス入力端子SA0〜SAkを
介して入力されるk+1ビットのリードアドレスAR1
は、相補クロック信号K*の有効レベルへの変化を受け
てXアドレスデコーダXD及びYアドレスデコーダYD
に伝達され、デコードされる。そして、Xアドレスデコ
ーダXD及びYアドレスデコーダYDのデコード所要時
間が経過した時点で、メモリアレイMARYの対応する
アドレス(AR1)が選択状態とされ、ワード線W0〜
Wmならびにデータ線選択信号YS0〜YSpの対応す
るビットが択一的に電源電圧VCCのようなハイレベル
の選択レベルとされる。
【0068】これにより、メモリアレイMARYの相補
データ線D0*〜Dn*には、選択ワード線に結合され
たn+1個のメモリセルの読み出し信号が出力される
が、その当初は、図5に示されるように、イコライズ制
御信号EQがロウレベルとされているため、相補データ
線D0*〜Dn*の非反転及び反転信号線は、イコライ
ズ制御信号EQがハイレベルに戻された時点で選択的に
ディスチャージされ、そのいずれかが選択的にレベル差
V1つまり数百mV程度だけ低下する。
【0069】メモリアレイMARYの相補データ線D0
*〜Dn*における小振幅の読み出し信号は、データ線
選択信号YS0〜YSpに従って36ビットずつ選択さ
れ、相補共通データ線CD0*〜CD35*を介してセ
ンスアンプSAの単位センスアンプSA0〜SA35に
伝達される。センスアンプSAの各単位センスアンプS
A0〜SA35は、リードパルス信号RPのハイレベル
を受けて動作状態とされ、相補共通データ線CD0*〜
CD35*を介して出力される読み出し信号を増幅した
後、リードデータRDa0〜RDa8ないしRDd0〜
RDd8つまりDR1として出力データ選択回路OSに
伝達する。これらのリードデータは、出力データレジス
タOR,データ出力バッファOBからデータ入出力端子
DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd8を介して
出力され、相補クロック信号K*のタイミングT3にお
いて外部のアクセス装置に取り込まれる。
【0070】このように、本実施例のシンクロナスSR
AMは、タイミングT1を始まりとする第rのサイクル
のリードサイクルに関する実質的な読み出し動作を、タ
イミングT2を始まりとする第r+1のサイクルで実行
し、そのリードデータDR1は、外部のアクセス装置に
タイミングT3で取り込まれるべくデータ入出力端子D
Qa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd8から出力さ
れる。
【0071】リードパルス信号RPがロウレベルとされ
センスアンプSAの単位センスアンプSA0〜SA35
による読み出し信号の増幅動作が終了すると、イコライ
ズ制御信号EQがロウレベルとされ、YスイッチYSの
各単位回路のデータ線イコライズ回路による相補データ
線D0*〜Dn*のイコライズ動作が開始される。前記
のように、読み出し動作時における相補データ線D0*
〜Dn*の信号振幅は数百mVとされるため、その読み
出し動作後のイコライズに要する時間つまりイコライズ
所要時間Teqrは、無視できる程度に短いものとな
る。
【0072】次に、例えばタイミングT3を始まりとす
るライトサイクルの場合、アドレス入力端子SA0〜S
Akを介して入力されるk+1ビットのライトアドレス
AW1は、前述のように、シフトレジスタ形態のアドレ
スレジスタAR2及びAR3を介して1サイクル遅れで
XアドレスデコーダXD及びYアドレスデコーダYDに
伝達された後、タイミングT4を開始点としてデコード
される。また、1サイクル遅れのタイミングT4でデー
タ入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQ
d8から入力される36ビットのライトデータAW1
は、シフトレジスタ形態の入力データレジスタIR1及
びIR2を介してライトアンプWAの対応する単位ライ
トアンプWA0〜WA35に伝達される。ライトアンプ
WAでは、図5に例示されるように、タイミングT5を
始まりとするサイクルの所定のタイミングでライトパル
ス信号WPが所定期間だけハイレベルとされ、これに対
応してイコライズ制御信号EQが所定期間だけハイレベ
ルとされる。
【0073】これにより、シンクロナスSRAMでは、
タイミングT5を開始点としてメモリアレイMARYの
対応するアドレス(AW1)が選択状態とされ、ワード
線W0〜Wmならびにデータ線選択信号YS0〜YSp
が択一的に選択レベルとされる。また、ワード線W0〜
Wmの択一的な選択レベルを受けて、メモリアレイMA
RYの選択ワード線に結合されるn+1個のメモリセル
が選択状態とされ、その読み出し信号が対応する相補デ
ータ線D0*〜Dn*に出力される。
【0074】メモリアレイMARYの相補データ線D0
*〜Dn*に出力された読み出し信号は、データ線選択
信号YS0〜YSpの択一的な選択レベルを受けて、3
6組分だけ選択的に相補共通データ線CD0*〜CD3
5*に伝達される。しかし、ライトパルス信号WPがハ
イレベルとされライトアンプWAの単位ライトアンプW
A0〜WA35が一斉に動作状態とされると、ライトデ
ータWDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd8に応
じたフルスィングの相補書き込み信号が各相補共通デー
タ線に出力されるため、メモリアレイMARYの指定さ
れた36個のメモリセルの保持データは、強制的にライ
トデータWDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd8
に応じた論理レベルに書き換えられる。
【0075】このように、本実施例のシンクロナスSR
AMは、タイミングT3を始まりとする第qのサイクル
のライトサイクルに関するライトデータDW1を、タイ
ミングT4を始まりとする第q+1のサイクルでデータ
入出力端子DQa0〜DQa8ないしDQd0〜DQd
8から取り込み、その実質的な書き込み動作を、タイミ
ングT5を始まりとする第q+2のサイクルで実行す
る。
【0076】ところで、タイミングT4を始まりとする
ライトサイクルでアドレス入力端子SA0〜SAkから
入力されるライトアドレスAW2は、1サイクル遅れで
XアドレスデコーダXD及びYアドレスデコーダYDに
伝達され、タイミングT5を開始点としてデコードされ
る。ところが、タイミングT6を始まりとするサイクル
がリードサイクルであるため、そのデコード動作は中止
され、選択アドレスに対する実質的な書き込み動作が禁
止されるとともに、ライトアドレスAW2は、タイミン
グT5を始まりとする次のライトサイクルに関するライ
トアドレスAW3とともに、アドレスレジスタAR2又
はAR3で待ち合わせ状態となる。同様に、1サイクル
遅れのタイミングT5で入力されるライトデータDW2
は、次のライトサイクルに関するライトデータDW3と
ともに、入力データレジスタIR1又はIR2で待ち合
わせ状態となる。待ち合わせ状態にある両ライトサイク
ルの実質的な書き込み動作は、タイミングT9を始まり
とする次のライトサイクルの実質的な書き込み動作が行
われる直前に、すなわちタイミングT9及びT10を始
まりとする二つのサイクルにおいて実行される。
【0077】ライトパルス信号WPがロウレベルに戻さ
れると、ライトアンプWAの単位ライトアンプWA0〜
WA35が非動作状態とされるとともに、イコライズ制
御信号EQがロウレベルとされ、YスイッチYSのデー
タ線イコライズ回路による相補データ線D0*〜Dn*
のイコライズ動作が開始される。
【0078】なお、ライトアンプWAによる実質的な書
き込み動作が行われるとき、相補データ線D0*〜Dn
*の非反転及び反転信号線は、前述のように、フルスィ
ングされ、そのイコライズ動作には比較的長いイコライ
ズ所要時間Teqwが必要とされる。これに対処するた
め、この実施例のシンクロナスSRAMでは、実質的な
書き込み動作が行われたサイクルの次サイクル、すなわ
ち例えばタイミングT6を始まりとするサイクルが言わ
ば実質的なデッドサイクルとされ、このタイミングT6
のリードサイクルに関する実質的な読み出し動作は、そ
の直前のライトサイクルの前前サイクルのライトサイク
ルに関する実質的な書き込み動作が行われたサイクルつ
まりタイミングT5を始まりとするサイクルの次次サイ
クル、すなわちタイミングT7を始まりとするサイクル
で実行される。言うまでもなく、タイミングT6を始ま
りとする実質的なデッドサイクルでは、タイミングT3
のライトサイクルに関する実質的な書き込み動作により
フルスィングされた相補データ線D0*〜Dn*のイコ
ライズが行われる。
【0079】つまり、本実施例の場合、シンクロナスS
RAMとしてのサイクルタイムTcyが、書き込み動作
終了後における相補データ線D0*〜Dn*のイコライ
ズ所要時間Teqwを考慮することなく設定できる訳で
あって、シンクロナスSRAMのサイクルタイムTcy
は、メモリアレイMARYの選択タイミングとライトア
ンプWAの駆動タイミングとの間のセットアップ時間を
Tsuとし、ライトパルス信号WPのパルス幅つまりラ
イトアンプWAの単位ライトアンプWA0〜WA35に
よる書き込み動作の所要時間をTwpとするとき、 Tcy≒Tsu+Twp となる。現在の半導体集積回路技術において、シンクロ
ナスSRAMのセットアップ時間Tsuは0.5ns程
度とされ、ライトパルス信号WPのパルス幅Twpは
2.6ns程度とされる。この結果、シンクロナスSR
AMのサイクルタイムTcyは、3.1ns程度に短縮
され、図8〜図10に掲げた従来のシンクロナスSRA
Mに比較して約44%もの改善が図られるとともに、相
応してシンクロナスSRAMを含むEWSのサイクルタ
イムも高速化される。
【0080】なお、リードサイクルにおいてサイクルタ
イムに対する制約がある場合、シンクロナスSRAMの
実質的なサイクルタイムは、ライトサイクルではなくリ
ードサイクルによって律則され、3.1nsを超えるこ
ともあり得る。
【0081】図6には、この発明が適用されたシンクロ
ナスSRAMの書き込み動作に関する回路の第2の実施
例の信号経路図が示され、図7には、その一実施例の動
作タイミング図が示されている。なお、この実施例のシ
ンクロナスSRAMは、前記図1ないし図5の実施例を
基本的に踏襲するものであるため、これと異なる部分に
ついてのみ説明を追加する。
【0082】図6において、この実施例のシンクロナス
SRAMは、前記図3の実施例にあるアドレスレジスタ
AR3ならびにこれに対応するアドレス比較回路AC2
及び入力データレジスタIR2を備えず、ライトサイク
ルの直後サイクルでリードサイクルが指定されることに
よってその実質的な書き込み動作が待ち合わせ状態とな
るライトサイクルは、一つのみに制限される。
【0083】したがって、図7に示されるように、例え
ばタイミングT3のライトサイクルに関する実質的な書
き込み動作は、リードサイクルの場合と同様、次サイク
ルつまりタイミングT4を始まりとするサイクルで実行
され、後続するリードサイクルによりその実質的な書き
込み動作が待ち合わせ状態となるライトサイクルは、タ
イミングT5のライトサイクルのみとなる。また、タイ
ミングT5のライトサイクルの直後サイクルつまりタイ
ミングT6のリードサイクルに関する実質的な読み出し
動作は、上記ライトサイクルの前サイクルつまりタイミ
ングT4のライトサイクルに関する実質的な書き込み動
作が行われるサイクルつまりタイミングT5を始まりと
するサイクルの次次サイクル、すなわちタイミングT7
を始まりとするサイクルで実行され、その直前サイクル
は、書き込み動作によりフルスィングされた相補データ
線D0*〜Dn*のイコライズに供される。
【0084】この結果、この実施例の場合も、前記図1
ないし図5の実施例の場合と同様な作用効果を得ること
ができ、これによってシンクロナスSRAMひいてはこ
れを含むEWS等のサイクルタイムを高速化できるもの
となる。
【0085】なお、この実施例では、例えばタイミング
T3のライトサイクルに関するライトデータDW1が、
その実質的な書き込み動作が行われるサイクルの開始点
つまりタイミングT4で入力されるため、ライトデータ
DW1がデータ入出力端子DQa0〜DQa8ないしD
Qd0〜DQd8から入力データレジスタIR1を介し
てライトアンプWAに伝達されるまでの時間がセットア
ップ時間Tsuより長いと、その分シンクロナスSRA
Mのサイクルタイムが影響を受ける。
【0086】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1)所定のクロック信号に従って同期動作し、ライト
サイクルの次サイクルでのリードサイクルを許容するシ
ンクロナスSRAM等において、上記ライトサイクルの
次サイクルのリードサイクルに関する実質的な読み出し
動作を、対応するライトサイクルの前サイクル又は前前
サイクルのライトサイクルに関する実質的な書き込み動
作が行われるサイクルの次次サイクルで実行するととも
に、シンクロナスSRAM等に、後続するリードサイク
ルによりその実質的な書き込み動作が行われなかったラ
イトサイクルに関するライトアドレス及びライトデータ
をそれぞれ保持する2個又は1個のアドレスレジスタ及
び入力データレジスタと、後続するリードサイクルに関
するリードアドレスとアドレスレジスタに保持されるラ
イトアドレスとを比較照合しその結果に応じて対応する
入力データレジスタに保持されるライトデータをそのま
まリードデータとして選択的に出力するための2個又は
1個のアドレス比較回路とを設けることで、上記前サイ
クル又は前前サイクルのライトサイクルに関する実質的
な書き込み動作が終了してから次サイクルのリードサイ
クルに関する実質的な読み出し動作が行われるまでの間
に、実質的な書き込み動作によりフルスィングされたデ
ータ線及び共通データ線のイコライズ動作を行うことが
できるという効果が得られる。
【0087】(2)上記(1)項により、シンクロナス
SRAM等のサイクルタイムを、セットアップ時間とラ
イトパルス信号のパルス幅との関数とし、ほぼイコライ
ズ所要時間分だけ短縮することができるという効果が得
られる。 (3)上記(1)項及び(2)項により、シンクロナス
SRAM等のサイクルタイムを高速化することができる
という効果が得られる。 (4)上記(3)項により、シンクロナスSRAMをキ
ャッシュメモリとして含むEWS等のサイクルタイムを
高速化できるという効果が得られる。
【0088】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、シンクロナスSRAMのメモリアレ
イMARYは、その周辺部を含めて複数のメモリマット
に分割できる。また、シンクロナスSRAMは、いわゆ
る×18ビット又は×72ビット等、任意のビット構成
を採りうるし、バイト単位の書き込み制御機能を持つこ
とを必須条件ともしない。シンクロナスSRAMは、種
々のブロック構成を採りうるし、起動制御信号及び内部
制御信号等の組み合わせや名称ならびにその有効レベル
等は、種々の実施形態を採りうる。
【0089】図2において、メモリアレイMARYは、
任意数の冗長素子を含むことができる。また、上記実施
例では、相補データ線D0*〜Dn*の非反転及び反転
信号線をともに電源電圧VCCのようなハイレベルにイ
コライズしているが、種々の条件を整えることで、接地
電位VSSのようなロウレベルにイコライズすることも
可能である。シンクロナスSRAMは、イコライズ制御
信号EQに従って相補共通データ線CD0*〜CD35
*の非反転及び反転信号線をイコライズするための共通
データ線イコライズ回路を備えることができる。
【0090】図3及び図6において、シンクロナスSR
AMの書き込み動作に関する回路の具体的構成は、これ
らの実施例による制約を受けない。図4及び図5ならび
に図7において、相補クロック信号K*,各起動制御信
号ならびに内部信号等の具体的な時間関係やレベルは、
本発明の主旨に影響を与えない。
【0091】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるEW
Sのキャッシュメモリを構成するシンクロナスSRAM
に適用した場合について説明したが、それに限定される
ものではなく、例えば、クロック信号に従って同期動作
するダイナミック型RAMや各種のシンクロナス型メモ
リならびにこれを含む各種デジタルシステムにも種々の
形で適用することができる。この発明は、少なくともク
ロック信号に従って同期動作しかつライトサイクルの次
サイクルでのリードサイクルを許容する半導体記憶装置
ならびにこれを含む装置又はシステムに広く適用でき
る。
【0092】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、所定のクロック信号に従っ
て同期動作し、ライトサイクルの次サイクルでのリード
サイクルを許容するシンクロナスSRAM等において、
上記ライトサイクルの次サイクルのリードサイクルに関
する実質的な読み出し動作を、対応するライトサイクル
の前サイクル又は前前サイクルのライトサイクルに関す
る実質的な書き込み動作が行われるサイクルの次次サイ
クルで実行するとともに、シンクロナスSRAM等に、
後続するリードサイクルによりその実質的な書き込み動
作が行われなかったライトサイクルに関するライトアド
レス及びライトデータをそれぞれ保持する2個又は1個
のアドレスレジスタ及び入力データレジスタと、後続す
るリードサイクルに関するリードアドレスとアドレスレ
ジスタに保持されるライトアドレスとを比較照合しその
結果に応じて対応する入力データレジスタに保持される
ライトデータをそのままリードデータとして選択的に出
力するための2個又は1個のアドレス比較回路とを設け
ることで、前サイクル又は前前サイクルのライトサイク
ルに関する実質的な書き込み動作が終了してから次サイ
クルのリードサイクルに関する実質的な読み出し動作が
行われるまでの間に、実質的な書き込み動作によってフ
ルスィングされたデータ線及び共通データ線のイコライ
ズ動作を行うことができるため、シンクロナスSRAM
等のサイクルタイムを、セットアップ時間とライトパル
ス信号のパルス幅との関数とし、ほぼイコライズ所要時
間分だけ短縮することができる。この結果、シンクロナ
スSRAM等のサイクルタイムを高速化し、これをキャ
ッシュメモリとして含むEWS等の高速化を図ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたシンクロナスSRAMの
一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1のシンクロナスSRAMに含まれるメモリ
アレイ及びその周辺部の一実施例を示す部分的な回路図
である。
【図3】図1のシンクロナスSRAMの書き込み動作に
関する回路の第1の実施例を示す信号経路図である。
【図4】図3のシンクロナスSRAMの一実施例を示す
動作タイミング図である。
【図5】図3のシンクロナスSRAMの一実施例を示す
信号波形図である。
【図6】この発明が適用されたシンクロナスSRAMの
書き込み動作に関する回路の第2の実施例を示す信号経
路図である。
【図7】図6のシンクロナスSRAMの一実施例を示す
動作タイミング図である。
【図8】この発明に先立って本願発明者等が開発したシ
ンクロナスSRAMの書き込み動作に関する回路の一例
を示す信号経路図である。
【図9】図8のシンクロナスSRAMの一例を示す動作
タイミング図である。
【図10】図8のシンクロナスSRAMの一例を示す信
号波形図である。
【符号の説明】
MARY……メモリアレイ、XD……Xアドレスデコー
ダ、YS……Yスイッチ、WA……ライトアンプ、SA
……センスアンプ、YD……Yアドレスデコーダ、TG
……タイミング発生回路、BWR……バイトライトイネ
ーブル信号レジスタ、IR1〜IR2……入力データレ
ジスタ、OS……出力データ選択回路、OR……出力デ
ータレジスタ、OB……データ出力バッファ、AR1〜
AR3……アドレスレジスタ、AS1〜AS2……アド
レス選択回路、AC1〜AC2……アドレス比較回路。
K*……相補クロック信号又はその入力端子、K……非
反転クロック信号又はその入力端子、/K……反転クロ
ック信号又はその入力端子、/SS……チップ選択信号
又はその入力端子、/SWE……ライトイネーブル信号
又はその入力端子、/SWEa〜SWEd……バイトラ
イトイネーブル信号又はその入力端子、DQa0〜DQ
a8ないしDQd0〜DQd8……入出力データ又はデ
ータ入出力端子、SA0〜SAk……アドレス信号又は
その入力端子。W0〜Wm……ワード線、D0*〜Dn
*……相補データ線、D0〜Dn……非反転データ線、
/D0〜/Dn……反転データ線、MC00〜MC0n
ないしMCm0〜MCmn……スタティック型メモリセ
ル、CD0*〜CD35*……相補共通データ線、CD
0〜CD35……非反転共通データ線、/CD0〜/C
D35……反転共通データ線、WA0〜WA35……単
位ライトアンプ、SA0〜SA35……単位センスアン
プ。EQ……イコライズ制御信号、WP……ライトパル
ス信号、RP……リードパルス信号、YS0〜YSp…
…データ線選択信号、WEa〜WEd……バイトライト
制御信号、WDa0〜WDa8ないしWDd0〜WDd
8……ライトデータ、RDa0〜RDa8ないしRDd
0〜RDd8……リードデータ。SSR……チップ選択
信号レジスタ、WER……ライトイネーブル信号レジス
タ、P1〜P5……PチャンネルMOSFET、N1〜
N4……NチャンネルMOSFET、G1〜G2……ト
ランスファゲート、V1〜VA……CMOSインバー
タ、OG1〜OG2……オア(OR)ゲート、NA1〜
NA4……ナンド(NAND)ゲート、BV1〜BV5
……BiCMOSインバータ。T1〜T14……タイミ
ング、WRITE……ライトサイクル、READ……リ
ードサイクル、DEAD……デッドサイクル、AR1〜
AR5……リードアドレス、AW1〜AW6……ライト
アドレス、DR1〜DR5……リードデータ、DW1〜
DW6……ライトデータ。Tcy……サイクルタイム、
Tsu……セットアップ時間、Twp……ライトパルス
幅、Teqw,Teqr……イコライズ所要時間。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クロック信号に従って同期動作し、ライ
    トサイクルの次サイクルでのリードサイクルを許容する
    ものであって、かつ、上記リードサイクルに関する実質
    的な読み出し動作を、上記ライトサイクルの前サイクル
    又は前前サイクルのライトサイクルに関する実質的な書
    き込み動作が行われるサイクルの実質次次サイクルにお
    いて行うことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 上記前サイクル又は前前サイクルのライトサイクルに関
    する実質的な書き込み動作が行われるサイクルと、上記
    リードサイクルに関する実質的な読み出し動作が行われ
    るサイクルとの間のサイクルでは、上記実質的な書き込
    み動作によりフルスィングされたデータ線及び共通デー
    タ線のイコライズ動作が行われるものであることを特徴
    とする半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2において、 上記半導体記憶装置は、第qのサイクルのライトサイク
    ルに関するライトデータを第q+1のサイクルで取り込
    み、その実質的な書き込み動作を実質第q+2のサイク
    ルで実行するものであり、 第rのサイクルのリードサイクルに関する実質的な読み
    出し動作を実質第r+1のサイクルで実行するものであ
    ることを特徴とする半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項3において、 上記半導体記憶装置は、後続するリードサイクルにより
    その実質的な書き込み動作が行われなかったライトサイ
    クルに関するライトアドレス及びライトデータをそれぞ
    れ保持する2個のアドレスレジスタ及び入力データレジ
    スタと、後続するリードサイクルに関するリードアドレ
    スと上記アドレスレジスタに保持されるライトアドレス
    とをそれぞれ比較照合しその結果に応じて対応する上記
    入力データレジスタに保持されるライトデータをそのま
    まリードデータとしてそれぞれ選択的に出力するための
    2個のアドレス比較回路とを具備するものであることを
    特徴とする半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 請求項1又は請求項2において、 上記半導体記憶装置は、第qのサイクルのライトサイク
    ルに関するライトデータを第q+1のサイクルで取り込
    み、その実質的な書き込み動作を実質第q+1のサイク
    ルで実行するものであり、 第rのサイクルのリードサイクルに関する実質的な読み
    出し動作を実質第r+1のサイクルで実行するものであ
    ることを特徴とする半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 請求項5において、 上記半導体記憶装置は、後続するリードサイクルにより
    その実質的な書き込み動作が行われなかったライトサイ
    クルに関するライトアドレス及びライトデータをそれぞ
    れ保持する1個のアドレスレジスタ及び入力データレジ
    スタと、後続するリードサイクルに関するリードアドレ
    スと上記アドレスレジスタに保持されるライトアドレス
    とを比較照合しその結果に応じて上記入力データレジス
    タに保持されるライトデータをリードデータとして選択
    的に出力する1個のアドレス比較回路とを具備するもの
    であることを特徴とする半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 請求項1,請求項2,請求項3,請求項
    4,請求項5又は請求項6において、 上記半導体記憶装置は、EWSのキャッシュメモリを構
    成するシンクロナスSRAMであることを特徴とする半
    導体記憶装置。
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