JPH1025184A - 石英ルツボの製造装置及び方法 - Google Patents
石英ルツボの製造装置及び方法Info
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- JPH1025184A JPH1025184A JP17953696A JP17953696A JPH1025184A JP H1025184 A JPH1025184 A JP H1025184A JP 17953696 A JP17953696 A JP 17953696A JP 17953696 A JP17953696 A JP 17953696A JP H1025184 A JPH1025184 A JP H1025184A
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- mold
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- quartz
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
- C03B19/095—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould by centrifuging, e.g. arc discharge in rotating mould
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- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 石英ルツボの壁体の内部気泡を効率よく除去
することを可能とした石英るつぼの製造装置及び方法を
提供する。 【解決手段】 水平回転自在な中空型と、該中空型の外
周を減圧吸引する減圧吸引手段と、該中空型内を加熱す
る加熱手段とを具備した石英ルツボの製造装置であっ
て、該中空型の内面に臨むように設けられた通気性部材
と、一端が該通気性部材に接続し他端が該中空型の外周
面と連通するように該中空型の壁体内部に穿設された吸
引通路とを有する。
することを可能とした石英るつぼの製造装置及び方法を
提供する。 【解決手段】 水平回転自在な中空型と、該中空型の外
周を減圧吸引する減圧吸引手段と、該中空型内を加熱す
る加熱手段とを具備した石英ルツボの製造装置であっ
て、該中空型の内面に臨むように設けられた通気性部材
と、一端が該通気性部材に接続し他端が該中空型の外周
面と連通するように該中空型の壁体内部に穿設された吸
引通路とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、石英ルツボの製造
装置及び方法に関し、特に単結晶半導体材料、例えばシ
リコン単結晶の引き上げに用いられる石英ルツボの製造
装置及び方法に関する。
装置及び方法に関し、特に単結晶半導体材料、例えばシ
リコン単結晶の引き上げに用いられる石英ルツボの製造
装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】単結晶半導体材料、例えばシリコン単結
晶の製造には、チョクラルスキー法（ＣＺ法）と呼ばれ
る方法が広く採用されている。この方法は多結晶シリコ
ンを容器内で溶融させ、この溶融浴内に種結晶の端部を
漬けて回転させながら引き上げるもので、種結晶上に種
結晶と同一の結晶方位の単結晶が成長する。この単結晶
の引き上げの容器には、石英ルツボが一般的に使用され
ている。
晶の製造には、チョクラルスキー法（ＣＺ法）と呼ばれ
る方法が広く採用されている。この方法は多結晶シリコ
ンを容器内で溶融させ、この溶融浴内に種結晶の端部を
漬けて回転させながら引き上げるもので、種結晶上に種
結晶と同一の結晶方位の単結晶が成長する。この単結晶
の引き上げの容器には、石英ルツボが一般的に使用され
ている。
【０００３】この石英ルツボを製造するには、回転可能
な中空型に石英粉体を投入して該中空型を回転しながら
石英粉体をアーク放電手段等の加熱手段によって加熱溶
融し、遠心力の作用により溶融又は半溶融の石英粉体層
を中空型の内周面に押圧してルツボの形状に焼結する方
法が知られている。
な中空型に石英粉体を投入して該中空型を回転しながら
石英粉体をアーク放電手段等の加熱手段によって加熱溶
融し、遠心力の作用により溶融又は半溶融の石英粉体層
を中空型の内周面に押圧してルツボの形状に焼結する方
法が知られている。
【０００４】上記方法によって製造された石英ルツボの
壁体内部には気泡が多数残留する。石英ルツボの壁体に
気泡が多いとルツボの強度が低下する上に、石英ルツボ
の加熱時にルツボ内周面付近の気泡が熱膨張して該内周
面を部分的に剥離させ、剥離した石英小片が溶融シリコ
ンに混入して単結晶化率を低下させるという問題があっ
た。
壁体内部には気泡が多数残留する。石英ルツボの壁体に
気泡が多いとルツボの強度が低下する上に、石英ルツボ
の加熱時にルツボ内周面付近の気泡が熱膨張して該内周
面を部分的に剥離させ、剥離した石英小片が溶融シリコ
ンに混入して単結晶化率を低下させるという問題があっ
た。
【０００５】そこで、内部気泡の少ない石英ルツボが求
められ、その製造法として、中空型に充填した石英粉体
を減圧下で加熱溶融する方法が知られている（特公昭５
９−３４６５９号公報）。しかし、この方法によっても
石英ルツボの壁体の内部気泡を完全に除去することは困
難であった。また、その後も上記した内部気泡を除去す
るための提案が種々なされたが満足のいく結果を得られ
るものはなかった。
められ、その製造法として、中空型に充填した石英粉体
を減圧下で加熱溶融する方法が知られている（特公昭５
９−３４６５９号公報）。しかし、この方法によっても
石英ルツボの壁体の内部気泡を完全に除去することは困
難であった。また、その後も上記した内部気泡を除去す
るための提案が種々なされたが満足のいく結果を得られ
るものはなかった。
【０００６】一方、近年、引き上げられるシリコン単結
晶の大口径化が進むと同時に石英ルツボ並びに石英ルツ
ボ製造用の中空型の大口径化も進行している。大口径の
中空型の加工の困難性は、小口径の中空型に比べて格段
に増大する。また、中空型の上部面は、熱で酸化消耗し
易いが、大口径石英ルツボの製造に際しては、石英粉体
の溶融時の被爆熱量が増し、かつ製造時間が延長するた
め、中空型の上面の消耗はさらに促進される。その結
果、中空型の全体を交換する頻度が増大し、それだけ製
造コストが高くなる欠点がある。
晶の大口径化が進むと同時に石英ルツボ並びに石英ルツ
ボ製造用の中空型の大口径化も進行している。大口径の
中空型の加工の困難性は、小口径の中空型に比べて格段
に増大する。また、中空型の上部面は、熱で酸化消耗し
易いが、大口径石英ルツボの製造に際しては、石英粉体
の溶融時の被爆熱量が増し、かつ製造時間が延長するた
め、中空型の上面の消耗はさらに促進される。その結
果、中空型の全体を交換する頻度が増大し、それだけ製
造コストが高くなる欠点がある。
【０００７】石英粉体を溶融している時には、中空型の
直胴部には、内面から外面へ向けて温度差が生じる。内
面が１０００℃程度のとき、外面は数１００℃と推定さ
れる。このような温度差が生じているとき、中空型の外
表面には、強い引っ張り応力が発生し割れ易くなるとい
う問題があった。
直胴部には、内面から外面へ向けて温度差が生じる。内
面が１０００℃程度のとき、外面は数１００℃と推定さ
れる。このような温度差が生じているとき、中空型の外
表面には、強い引っ張り応力が発生し割れ易くなるとい
う問題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点に鑑みなされたもので、石英ルツボの壁
体の内部気泡を効率よく除去することを可能とした石英
ルツボの製造装置及び方法を提供することを目的とす
る。
来技術の問題点に鑑みなされたもので、石英ルツボの壁
体の内部気泡を効率よく除去することを可能とした石英
ルツボの製造装置及び方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の石英ルツボの製造装置は、水平回転自在な
中空型と、該中空型の外周を減圧吸引する減圧吸引手段
と、該中空型内を加熱する加熱手段とを具備した石英ル
ツボの製造装置であって、該中空型の内面に臨むように
設けられた通気性部材と、一端が該通気性部材に接続し
他端が該中空型の外周面と連通するように該中空型の壁
体内部に穿設された吸引通路とを有することを特徴とす
る。
に、本発明の石英ルツボの製造装置は、水平回転自在な
中空型と、該中空型の外周を減圧吸引する減圧吸引手段
と、該中空型内を加熱する加熱手段とを具備した石英ル
ツボの製造装置であって、該中空型の内面に臨むように
設けられた通気性部材と、一端が該通気性部材に接続し
他端が該中空型の外周面と連通するように該中空型の壁
体内部に穿設された吸引通路とを有することを特徴とす
る。
【００１０】前記中空型を形成する材料としては、黒鉛
やグラファイト等のカーボン質材料が好適である。
やグラファイト等のカーボン質材料が好適である。
【００１１】前記通気性部材は、前記中空型の内面に均
一に多数配設されるものである。この通気性部材の配設
の方法としては、各々の通気性部材の吸引範囲が交叉し
ないように配設するのが効率的であり、格子状の交点に
通気性部材を配置する他に、吸引効率の観点からは、千
鳥状（ジクザグ状）に通気性部材を配置するのが好適で
ある。
一に多数配設されるものである。この通気性部材の配設
の方法としては、各々の通気性部材の吸引範囲が交叉し
ないように配設するのが効率的であり、格子状の交点に
通気性部材を配置する他に、吸引効率の観点からは、千
鳥状（ジクザグ状）に通気性部材を配置するのが好適で
ある。
【００１２】該通気性部材を形成する材料としては、黒
鉛やグラファイト等のカーボン質材料が好適である。該
通気性部材はガスが透過可能であれば使用可能であり、
中空型のガス透過率よりも大きいガス透過率を有するこ
とが必要であるが、好ましいガス透過率は平均圧力１ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 で１〜１０ｍ2 ／ｓ程度の範囲である。
鉛やグラファイト等のカーボン質材料が好適である。該
通気性部材はガスが透過可能であれば使用可能であり、
中空型のガス透過率よりも大きいガス透過率を有するこ
とが必要であるが、好ましいガス透過率は平均圧力１ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 で１〜１０ｍ2 ／ｓ程度の範囲である。
【００１３】前記中空型としては、上部型と下部型とか
らなり、該上部型と下部型とを接合することによって構
成される、いわゆる２分割型の中空型を用いることもで
きる。この２分割型の中空型の場合には、中空型の内面
と外面との温度差によって生ずる強い引っ張り応力は分
散され、中空型の割れが回避される利点がある。
らなり、該上部型と下部型とを接合することによって構
成される、いわゆる２分割型の中空型を用いることもで
きる。この２分割型の中空型の場合には、中空型の内面
と外面との温度差によって生ずる強い引っ張り応力は分
散され、中空型の割れが回避される利点がある。
【００１４】この２分割型の中空型の場合には、前記通
気性部材及び吸引通路は、上部型及び下部型の双方に設
けることが可能であるが、この場合上部型と下部型の吸
引通路の接続部分の漏れを密封する作業を行なう必要が
ある。下部型のみに通気性部材及び吸引通路を設けた場
合には石英ルツボの上部の気泡の除去効率は多少低下す
るが、上部型と下部型の接続部分には吸引通路は存在せ
ず、それだけ製造が容易となる利点がある。
気性部材及び吸引通路は、上部型及び下部型の双方に設
けることが可能であるが、この場合上部型と下部型の吸
引通路の接続部分の漏れを密封する作業を行なう必要が
ある。下部型のみに通気性部材及び吸引通路を設けた場
合には石英ルツボの上部の気泡の除去効率は多少低下す
るが、上部型と下部型の接続部分には吸引通路は存在せ
ず、それだけ製造が容易となる利点がある。
【００１５】本発明の石英ルツボの製造方法は、上記石
英ルツボの製造装置を用い、回転する前記中空型の内周
面に原料石英粉体を投入して石英粉体層を形成し、該石
英粉体層をその内周面側から加熱溶融し、該加熱溶融時
に該中空型の外面を減圧吸引して該石英粉体層内の内部
ガスを前記通気性部材及び吸引通路を介して吸引排気し
ながら該石英粉体層をルツボ形状に焼結させることを特
徴とする。該中空型としては、非分割型及び２分割型の
いずれもが使用できる。
英ルツボの製造装置を用い、回転する前記中空型の内周
面に原料石英粉体を投入して石英粉体層を形成し、該石
英粉体層をその内周面側から加熱溶融し、該加熱溶融時
に該中空型の外面を減圧吸引して該石英粉体層内の内部
ガスを前記通気性部材及び吸引通路を介して吸引排気し
ながら該石英粉体層をルツボ形状に焼結させることを特
徴とする。該中空型としては、非分割型及び２分割型の
いずれもが使用できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の１つの実施の形態
を添付図面に基いて説明する。図１は本発明の石英ルツ
ボの製造装置の１例を示す縦断面図、図２は同上の横断
面図及び図３は図１の要部を示す摘示断面図である。
を添付図面に基いて説明する。図１は本発明の石英ルツ
ボの製造装置の１例を示す縦断面図、図２は同上の横断
面図及び図３は図１の要部を示す摘示断面図である。
【００１７】図中、２は本発明に係る石英ルツボの製造
装置で、水平回転自在な中空型４を有している。該中空
型４は、黒鉛又はグラファイト等のカーボン質材料によ
って形成される。該中空型４は、不図示の回転駆動手段
によって水平回転せしめられる。該中空型４の外周は、
真空ポンプ等の減圧吸引手段Ｐに接続され、その外周が
減圧吸引されるようになっている。６は、該中空型４の
内面を加熱するための加熱手段、例えばアーク放電手段
である。
装置で、水平回転自在な中空型４を有している。該中空
型４は、黒鉛又はグラファイト等のカーボン質材料によ
って形成される。該中空型４は、不図示の回転駆動手段
によって水平回転せしめられる。該中空型４の外周は、
真空ポンプ等の減圧吸引手段Ｐに接続され、その外周が
減圧吸引されるようになっている。６は、該中空型４の
内面を加熱するための加熱手段、例えばアーク放電手段
である。
【００１８】８は、通気性部材で、該中空型４の内面に
臨むように設けられている。該通気性部材８は、上記中
空型４の内面に均一に多数配設されるものである。この
通気性部材８の配設方法としては、各々の通気性部材８
の吸引範囲が交叉しないように配設するのが効率的であ
り、格子状の交点に通気性部材８を配置すればよいが、
吸引効率の観点からは千鳥状（ジグザグ状）に通気性部
材８を配置するのが好適である。
臨むように設けられている。該通気性部材８は、上記中
空型４の内面に均一に多数配設されるものである。この
通気性部材８の配設方法としては、各々の通気性部材８
の吸引範囲が交叉しないように配設するのが効率的であ
り、格子状の交点に通気性部材８を配置すればよいが、
吸引効率の観点からは千鳥状（ジグザグ状）に通気性部
材８を配置するのが好適である。
【００１９】該通気性部材８は、黒鉛又はグラファイト
等の通気性カーボン質材料によって形成されている。１
０は、該中空型４の壁体４ａの内部に穿設された吸引通
路である。該吸引通路１０の一端は該通気性部材８に接
続し、その他端は該中空型４の外周面と連通している。
等の通気性カーボン質材料によって形成されている。１
０は、該中空型４の壁体４ａの内部に穿設された吸引通
路である。該吸引通路１０の一端は該通気性部材８に接
続し、その他端は該中空型４の外周面と連通している。
【００２０】Ｂは、前記中空型４の外周面に設けられた
支持枠体で、該支持枠体Ｂの内底面に配置されたパッキ
ン部材Ｃを介して該中空型４を支持するものである。
支持枠体で、該支持枠体Ｂの内底面に配置されたパッキ
ン部材Ｃを介して該中空型４を支持するものである。
【００２１】上記した製造装置を用いて石英ルツボを製
造するに際しては、まず前記中空型４を回転しながら原
料石英粉体を該中空型４の内周面に投入する。該石英粉
体は、回転する中空型４の遠心力の作用により、該中空
型４の内周面に押し付けられ、該内周面に沿って推積
し、石英粉体層Ａが形成される。
造するに際しては、まず前記中空型４を回転しながら原
料石英粉体を該中空型４の内周面に投入する。該石英粉
体は、回転する中空型４の遠心力の作用により、該中空
型４の内周面に押し付けられ、該内周面に沿って推積
し、石英粉体層Ａが形成される。
【００２２】次に、アーク放電手段等の加熱手段６によ
り、該石英粉体層Ａをその内周面側から加熱溶融する。
この加熱溶融とともに、該中空型４の外面、図示の例で
は底部外面を真空ポンプ等の減圧吸引手段Ｐによって減
圧吸引し、該石英粉体層Ａ内の内部ガスを前記通気性部
材８及び吸引通路１０を介して吸引排気する。
り、該石英粉体層Ａをその内周面側から加熱溶融する。
この加熱溶融とともに、該中空型４の外面、図示の例で
は底部外面を真空ポンプ等の減圧吸引手段Ｐによって減
圧吸引し、該石英粉体層Ａ内の内部ガスを前記通気性部
材８及び吸引通路１０を介して吸引排気する。
【００２３】上記加熱溶融により、石英粉体層Ａはその
内周面から外表面付近まで次第に溶融し、ルツボ状に焼
結する。
内周面から外表面付近まで次第に溶融し、ルツボ状に焼
結する。
【００２４】図示した実施例においては、多数の通気性
部材８としては、小円板状部材を多数独立して配設した
場合を示したが、長方形状部材、正方形状部材、三角形
状部材等を用いることができる他、該中空型４の内周面
を一周する環状又はリング状部材を多数配設することも
可能である。
部材８としては、小円板状部材を多数独立して配設した
場合を示したが、長方形状部材、正方形状部材、三角形
状部材等を用いることができる他、該中空型４の内周面
を一周する環状又はリング状部材を多数配設することも
可能である。
【００２５】次いで、本発明の別の実施の形態を添付図
面に基いて説明する。図４は本発明の石英ルツボの別の
例を示す縦断面図、図５は通気性部材の設置状態を示す
図４の摘示拡大断面図である。
面に基いて説明する。図４は本発明の石英ルツボの別の
例を示す縦断面図、図５は通気性部材の設置状態を示す
図４の摘示拡大断面図である。
【００２６】図４において、１２は石英ルツボ製造用中
空型である。該中空型１２は上部型１４及び下部型１６
から構成されている。
空型である。該中空型１２は上部型１４及び下部型１６
から構成されている。
【００２７】該上部型１４は円筒壁１４ａを有し、その
下端部には上部接合段部壁１８が形成されている。該下
部型１６は該上部型１４の円筒壁１４ａと同一径を有す
る円筒部１６ａと該円筒部１６ａの下部に連設された丸
椀状の底部１６ｂとを有している。該円筒壁１４ａの上
端部には下部接合段部壁２０が該上部接合段部壁１８に
当接可能に形成されている。
下端部には上部接合段部壁１８が形成されている。該下
部型１６は該上部型１４の円筒壁１４ａと同一径を有す
る円筒部１６ａと該円筒部１６ａの下部に連設された丸
椀状の底部１６ｂとを有している。該円筒壁１４ａの上
端部には下部接合段部壁２０が該上部接合段部壁１８に
当接可能に形成されている。
【００２８】３６は、通気性部材で、該下部型１６の内
面に臨むように設けられている。該通気性部材３６は、
上記下部型１６の内面に均一に多数配設されるものであ
る。この通気性部材３６の配設方法としては、各々の通
気性部材３６の吸引範囲が交叉しないように配設するの
が効率的であり、格子状の交点に通気性部材３６を配置
すればよいが、吸引効率の観点からは千鳥状（ジグザグ
状）に通気性部材３６を配置するのが好適である。
面に臨むように設けられている。該通気性部材３６は、
上記下部型１６の内面に均一に多数配設されるものであ
る。この通気性部材３６の配設方法としては、各々の通
気性部材３６の吸引範囲が交叉しないように配設するの
が効率的であり、格子状の交点に通気性部材３６を配置
すればよいが、吸引効率の観点からは千鳥状（ジグザグ
状）に通気性部材３６を配置するのが好適である。
【００２９】該通気性部材３６は、黒鉛又はグラファイ
ト等の通気性カーボン質材料によって形成されている。
３８は、該下部型１６の壁体の内部に穿設された吸引通
路である。該吸引通路３８の一端は該通気性部材３６に
接続し、その他端は該下部型１６の外周面と連通してい
る。
ト等の通気性カーボン質材料によって形成されている。
３８は、該下部型１６の壁体の内部に穿設された吸引通
路である。該吸引通路３８の一端は該通気性部材３６に
接続し、その他端は該下部型１６の外周面と連通してい
る。
【００３０】図４において、４０は本発明に係る石英ル
ツボの製造装置で、上記した中空型１２を有している。
該中空型１２は、不図示の回転駆動手段によって水平回
転せしめられる。該中空型１２の外周は、真空ポンプ等
の減圧吸引手段Ｐに接続され、その外周が減圧吸引され
るようになっている。４２は、該中空型１２の内面を加
熱するための加熱手段、例えばアーク放電手段である。
ツボの製造装置で、上記した中空型１２を有している。
該中空型１２は、不図示の回転駆動手段によって水平回
転せしめられる。該中空型１２の外周は、真空ポンプ等
の減圧吸引手段Ｐに接続され、その外周が減圧吸引され
るようになっている。４２は、該中空型１２の内面を加
熱するための加熱手段、例えばアーク放電手段である。
【００３１】４４は、該中空型１２の外周面を囲みかつ
該中空型１２を支持するように設けられた支持枠体であ
る。
該中空型１２を支持するように設けられた支持枠体であ
る。
【００３２】上記した製造装置を用いて石英ルツボを製
造するに際しては、まず前記中空型１２を回転しながら
原料石英粉体を該中空型１２の内周面に投入する。該石
英粉体は、回転する中空型１２の遠心力の作用により、
該中空型１２の内周面に押し付けられ、該内周面に沿っ
て推積し、石英粉体層４６が形成される。
造するに際しては、まず前記中空型１２を回転しながら
原料石英粉体を該中空型１２の内周面に投入する。該石
英粉体は、回転する中空型１２の遠心力の作用により、
該中空型１２の内周面に押し付けられ、該内周面に沿っ
て推積し、石英粉体層４６が形成される。
【００３３】次に、アーク放電手段等の加熱手段４２に
より、該石英粉体層４６をその内周面側から加熱溶融す
る。この加熱溶融とともに、該中空型１２の外面、図示
の例では底部外面を真空ポンプ等の減圧吸引手段Ｐによ
って減圧吸引し、該石英粉体層４６内の内部ガスを前記
通気性部材３６及び吸引通路３８を介して吸引排気す
る。
より、該石英粉体層４６をその内周面側から加熱溶融す
る。この加熱溶融とともに、該中空型１２の外面、図示
の例では底部外面を真空ポンプ等の減圧吸引手段Ｐによ
って減圧吸引し、該石英粉体層４６内の内部ガスを前記
通気性部材３６及び吸引通路３８を介して吸引排気す
る。
【００３４】上記加熱溶融により、石英粉体層４６はそ
の内周面から外表面付近まで次第に溶融し、ルツボ状に
焼結する。
の内周面から外表面付近まで次第に溶融し、ルツボ状に
焼結する。
【００３５】図示した実施の形態においては、多数の通
気性部材３６としては、小円板状部材を多数独立して配
設した場合を示したが、長方形状部材、正方形状部材、
三角形状部材等を用いることができる他、該中空型１２
の内周面を一周する環状又はリング状部材を多数配設す
ることも可能である。
気性部材３６としては、小円板状部材を多数独立して配
設した場合を示したが、長方形状部材、正方形状部材、
三角形状部材等を用いることができる他、該中空型１２
の内周面を一周する環状又はリング状部材を多数配設す
ることも可能である。
【００３６】図示した例では、下部型１６にのみ通気性
材料３６及び吸引通路３８を設けた構成を示したが、上
部型１４にも通気性材料３６及び吸引通路３８を形成す
る構成を採用することも勿論可能である。
材料３６及び吸引通路３８を設けた構成を示したが、上
部型１４にも通気性材料３６及び吸引通路３８を形成す
る構成を採用することも勿論可能である。
【００３７】上記別の実施の形態で用いられる中空型１
２は、上部型１４と下部型１６とによって２分割可能に
構成されているため、材料となるカーボン塊のサイズが
小さくて済み、材料の入手が簡単で、製造容易となりカ
ーボン材料の純化も容易に行なうことができる。また、
中空型の上部の酸化消耗が進んだ場合、上部型を交換す
れば下部型をそのまま継続して使用でき、それだけコス
トダウンとなる。
２は、上部型１４と下部型１６とによって２分割可能に
構成されているため、材料となるカーボン塊のサイズが
小さくて済み、材料の入手が簡単で、製造容易となりカ
ーボン材料の純化も容易に行なうことができる。また、
中空型の上部の酸化消耗が進んだ場合、上部型を交換す
れば下部型をそのまま継続して使用でき、それだけコス
トダウンとなる。
【００３８】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明によれば、石英
ルツボの壁体の内部気泡を効率よく除去することができ
るという大きな効果を奏する。また、本発明は２分割型
の中空型に対しても適用可能である。
ルツボの壁体の内部気泡を効率よく除去することができ
るという大きな効果を奏する。また、本発明は２分割型
の中空型に対しても適用可能である。
【図１】本発明の石英ルツボの製造装置の一例を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】同上の横断面図である。
【図３】図１の要部を示す摘示断面図である。
【図４】本発明の石英ルツボの製造装置の別の例を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図５】通気性部材の設置状態を示す図４の摘示拡大断
面図である。
面図である。
２，４０ 石英ルツボの製造装置 ４，１２ 中空型 ６，４２ 加熱手段 ８，３６ 通気性部材 １０，３８ 吸引通路 １４ 上部型 １４ａ 壁体、円筒壁 １６ 下部型 １６ａ 円筒部 １６ｂ 底部 １８ 上部接合段部壁 ２０ 下部接合段部壁 ４４，Ｂ 支持枠体 ４６，Ａ 石英粉体層 Ｃ パッキン部材 Ｐ 減圧吸引手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 博行 福井県武生市北府２丁目13番60号 信越石 英株式会社武生工場内
Claims (7)
- 【請求項１】 水平回転自在な中空型と、該中空型の外
周を減圧吸引する減圧吸引手段と、該中空型内を加熱す
る加熱手段とを具備した石英ルツボの製造装置であっ
て、該中空型の内面に臨むように設けられた通気性部材
と、一端が該通気性部材に接続し他端が該中空型の外周
面と連通するように該中空型の壁体内部に穿設された吸
引通路とを有することを特徴とする石英ルツボの製造装
置。 - 【請求項２】 前記中空型がカーボン質材料によって形
成されていることを特徴とする請求項１記載の石英ルツ
ボの製造装置。 - 【請求項３】 前記通気性部材が前記中空型の内面に均
一に多数配設されることを特徴とする請求項１又は２記
載の石英ルツボの製造装置。 - 【請求項４】 前記通気性部材が通気性カーボン質材料
によって形成されていることを特徴とする請求項１〜３
のいずれか１項記載の石英ルツボの製造装置。 - 【請求項５】 前記中空型が上部型と下部型とからな
り、該上部型と下部型とを接合することによって構成さ
れていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項
記載の石英ルツボの製造装置。 - 【請求項６】 前記通気性部材及び吸引通路を前記下部
型のみに設けたことを特徴とする請求項５記載の石英ル
ツボの製造装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか１項記載の装置
を用い、回転する前記中空型の内周面に原料石英粉体を
投入して石英粉体層を形成し、該石英粉体層をその内周
面側から加熱溶融し、該加熱溶融時に該中空型の外面を
減圧吸引して該石英粉体層内の内部ガスを前記通気性部
材及び吸引通路を介して吸引排気しながら該石英粉体層
をルツボ形状に焼結させることを特徴とする石英ルツボ
の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP17953696A JP3798849B2 (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 石英ルツボの製造装置及び方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1025184A true JPH1025184A (ja) | 1998-01-27 |
| JP3798849B2 JP3798849B2 (ja) | 2006-07-19 |
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ID=16067481
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| JP17953696A Expired - Lifetime JP3798849B2 (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 石英ルツボの製造装置及び方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US8286447B2 (en) | 2008-07-09 | 2012-10-16 | Japan Super Quartz Corporation | Method for producing quartz glass crucible |
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| KR101403335B1 (ko) * | 2010-12-31 | 2014-06-03 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니의 제조 방법 |
| US9376761B2 (en) | 2012-01-13 | 2016-06-28 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Single-crystal silicon pulling silica container and method for producing the same |
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1996
- 1996-07-09 JP JP17953696A patent/JP3798849B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6797061B2 (en) * | 1998-05-25 | 2004-09-28 | Shin Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Quartz glass crucible for pulling up silicon single crystal and production method therefor |
| US7383696B2 (en) | 2005-09-08 | 2008-06-10 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Silica glass crucible with bubble-free and reduced bubble growth wall |
| US7427327B2 (en) | 2005-09-08 | 2008-09-23 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Silica glass crucible with barium-doped inner wall |
| KR101156965B1 (ko) | 2008-07-03 | 2012-06-20 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 석영 유리 도가니의 제조 방법, 그에 의해 제조된 석영유리 도가니 및, 그의 제조 장치 |
| EP2141130A1 (en) | 2008-07-04 | 2010-01-06 | Japan Super Quartz Corporation | Method for producing vitreous silica crucible |
| US8286447B2 (en) | 2008-07-09 | 2012-10-16 | Japan Super Quartz Corporation | Method for producing quartz glass crucible |
| EP2143692A1 (en) | 2008-07-10 | 2010-01-13 | Japan Super Quartz Corporation | Method for producing quartz glass crucible |
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| US8420192B2 (en) | 2009-05-26 | 2013-04-16 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Silica container and method for producing the same |
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| US8815403B2 (en) | 2009-08-05 | 2014-08-26 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Silica container and method for producing the same |
| US8276402B2 (en) | 2009-10-20 | 2012-10-02 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
| US8769988B2 (en) | 2010-12-02 | 2014-07-08 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
| EP2460776A1 (en) | 2010-12-02 | 2012-06-06 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
| KR101403335B1 (ko) * | 2010-12-31 | 2014-06-03 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니의 제조 방법 |
| WO2013088617A1 (ja) | 2011-12-12 | 2013-06-20 | 信越石英株式会社 | 単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器及びその製造方法 |
| US9382640B2 (en) | 2011-12-12 | 2016-07-05 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Single crystal silicon pulling silica container and manufacturing method thereof |
| US9376761B2 (en) | 2012-01-13 | 2016-06-28 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Single-crystal silicon pulling silica container and method for producing the same |
| WO2013140706A1 (ja) | 2012-03-23 | 2013-09-26 | 信越石英株式会社 | 単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器及びその製造方法 |
| JP2020183331A (ja) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | 株式会社Sumco | 石英ルツボ製造用モールド及びこれを用いた石英ルツボ製造装置 |
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| Publication number | Publication date |
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