JPH102452A - 高真空バルブ - Google Patents
高真空バルブInfo
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- JPH102452A JPH102452A JP8174418A JP17441896A JPH102452A JP H102452 A JPH102452 A JP H102452A JP 8174418 A JP8174418 A JP 8174418A JP 17441896 A JP17441896 A JP 17441896A JP H102452 A JPH102452 A JP H102452A
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- annular
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高真空バルブにおいて、金属製環状ガスケッ
トを介装させるための環状スペースの内壁のシール部に
ついて、硫酸陽極酸化皮膜処理以外の陽極酸化皮膜処理
を施して、シール部の圧縮強度を高め、シール部の傷つ
き、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらな
いようにすることを課題とする。 【解決手段】 高真空バルブは、弁ボディ10の弁室11に
管部12Ａ・12Ｂを介して連通する複数のポート13Ａ・13
Ｂが形成され、弁室11と一方の管部12Ｂを結ぶ流路に弁
座14が形成され、弁座14に対して弁体18を接触させるこ
とにより流路が閉じられ、弁体18を弁座14から離すこと
によって流路が開かれる。ポート13Ａ・13Ｂを形成する
アルミニウム合金製の管部12Ａ・12Ｂの端部に金属製環
状ガスケット28を介装させるための環状スペース33が形
成される。環状スペース33の内壁にシール部が形成さ
れ、シール部又は弁ボディ10全部にしゅう酸陽極酸化皮
膜処理を施すことにより、シール部の圧縮強度が高めら
れてシール部の傷つき、変形及び金属製環状ガスケット
との固着が起こらないようにされた。
トを介装させるための環状スペースの内壁のシール部に
ついて、硫酸陽極酸化皮膜処理以外の陽極酸化皮膜処理
を施して、シール部の圧縮強度を高め、シール部の傷つ
き、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらな
いようにすることを課題とする。 【解決手段】 高真空バルブは、弁ボディ10の弁室11に
管部12Ａ・12Ｂを介して連通する複数のポート13Ａ・13
Ｂが形成され、弁室11と一方の管部12Ｂを結ぶ流路に弁
座14が形成され、弁座14に対して弁体18を接触させるこ
とにより流路が閉じられ、弁体18を弁座14から離すこと
によって流路が開かれる。ポート13Ａ・13Ｂを形成する
アルミニウム合金製の管部12Ａ・12Ｂの端部に金属製環
状ガスケット28を介装させるための環状スペース33が形
成される。環状スペース33の内壁にシール部が形成さ
れ、シール部又は弁ボディ10全部にしゅう酸陽極酸化皮
膜処理を施すことにより、シール部の圧縮強度が高めら
れてシール部の傷つき、変形及び金属製環状ガスケット
との固着が起こらないようにされた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポートを形成する
管部の端部の、ガスケットを介装する環状スペース部に
シール部が形成された高真空バルブに関する。
管部の端部の、ガスケットを介装する環状スペース部に
シール部が形成された高真空バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高真空バルブの配管接続用のフラ
ンジ継手において、高真空バルブ側のアルミニウム合金
製フランジと、これに対向する配管側のアルミニウム合
金製フランジとの間に形成された環状スペース内に、フ
ッ素ゴム製のＯリングを介装して密封していた。しか
し、２０〜３０°Ｃの常温でフッ素ゴム製のＯリングを
用いた場合には、このＯリングからのガス放出量が約１
×１０-8（トル：Ｔｏｒｒ、１／sec ／cm2）であり、
またヘリウムガスの透過量が約１×１０-7（トル１／se
c ／cm2）である。しかも、加熱状態（８０〜１５０°
Ｃ）や装置のベーキング（１００〜１５０°Ｃ）のとき
には、ガス透過量が常温より１〜２桁多くなることが確
認されている。このように、大気と真空装置との間にフ
ッ素ゴム製のＯリングを用いた場合には、Ｏリングから
のガス放出と大気成分の真空装置への透過侵入とがあっ
て、クリーンな真空が得られない。そして、例えば、大
気成分のＨ2Ｏ、Ｏ2、イオウ酸化物などが、極微小なが
ら半導体製造設備内に侵入すると、半導体の成膜に大き
なダメージを与える。
ンジ継手において、高真空バルブ側のアルミニウム合金
製フランジと、これに対向する配管側のアルミニウム合
金製フランジとの間に形成された環状スペース内に、フ
ッ素ゴム製のＯリングを介装して密封していた。しか
し、２０〜３０°Ｃの常温でフッ素ゴム製のＯリングを
用いた場合には、このＯリングからのガス放出量が約１
×１０-8（トル：Ｔｏｒｒ、１／sec ／cm2）であり、
またヘリウムガスの透過量が約１×１０-7（トル１／se
c ／cm2）である。しかも、加熱状態（８０〜１５０°
Ｃ）や装置のベーキング（１００〜１５０°Ｃ）のとき
には、ガス透過量が常温より１〜２桁多くなることが確
認されている。このように、大気と真空装置との間にフ
ッ素ゴム製のＯリングを用いた場合には、Ｏリングから
のガス放出と大気成分の真空装置への透過侵入とがあっ
て、クリーンな真空が得られない。そして、例えば、大
気成分のＨ2Ｏ、Ｏ2、イオウ酸化物などが、極微小なが
ら半導体製造設備内に侵入すると、半導体の成膜に大き
なダメージを与える。
【０００３】その後、図２(a) に示すように、硬質（硬
度約Ｈｖ１２０）のアルミニウム合金製のフランジ２Ａ
と２Ｂとの間の環状スペース３内に、軟質（硬度約Ｈｖ
４０）の純アルミニウム系の環状ガスケット４を介装す
ることが考えられた（例えば、実公昭６１−３９１８７
号公報を参照のこと）。このアルミニウム合金製の環状
ガスケットを２０〜３０°Ｃの常温で用いた場合、環状
ガスケットからのガス放出量が約１×１０-12（トル１
／sec ／cm2）であり、またヘリウムガスの透過量が約
１×１０-13（トル１／sec ／cm2）以下である。そし
て、図２(a) において、フランジ２Ａ・２Ｂの挿通孔に
ボルト５を挿通させ、ボルト５をナット６に螺合して、
アルミニウム合金製の環状ガスケットを強力に圧縮して
シールすると、そのリーク量は１×１０-10（トル１／s
ec ）以下を容易に達成することができることが分かっ
ている。アルミニウム合金製の環状ガスケットがフッ素
ゴム製のＯリング比べて格段に優れていることが明白で
ある。
度約Ｈｖ１２０）のアルミニウム合金製のフランジ２Ａ
と２Ｂとの間の環状スペース３内に、軟質（硬度約Ｈｖ
４０）の純アルミニウム系の環状ガスケット４を介装す
ることが考えられた（例えば、実公昭６１−３９１８７
号公報を参照のこと）。このアルミニウム合金製の環状
ガスケットを２０〜３０°Ｃの常温で用いた場合、環状
ガスケットからのガス放出量が約１×１０-12（トル１
／sec ／cm2）であり、またヘリウムガスの透過量が約
１×１０-13（トル１／sec ／cm2）以下である。そし
て、図２(a) において、フランジ２Ａ・２Ｂの挿通孔に
ボルト５を挿通させ、ボルト５をナット６に螺合して、
アルミニウム合金製の環状ガスケットを強力に圧縮して
シールすると、そのリーク量は１×１０-10（トル１／s
ec ）以下を容易に達成することができることが分かっ
ている。アルミニウム合金製の環状ガスケットがフッ素
ゴム製のＯリング比べて格段に優れていることが明白で
ある。
【０００４】図２(a),(b) に示すように、フランジ２Ａ
・２Ｂの環状スペース３の内壁に、軟質の純アルミニウ
ム系の環状ガスケット４に食い込むようにして密着し得
るナイフエッジ２ａが形成されている。そして、ナイフ
エッジ２ａの鏡面研削が施された面部に、イオンプレー
ティング処理によるチタンカーバイト（ＴｉＣ）、窒化
チタン（ＴｉＮ）又は窒化クロム（ＣｒＮ）の硬質表層
が形成されている。ナイフエッジ２ａに硬質表層を形成
することにより、シール部への傷の防止、及び環状ガス
ケット４との固着の防止がはかられる。これに対して、
純アルミニウム系の環状ガスケット４の表面には、酸化
変質層及び圧延によるロールマークが除去される。そし
て、両側のナイフエッジ２ａで環状ガスケット４が挟持
され、ナイフエッジ２ａの先端２ａ’で気密保持が行わ
れるだけではなく、ナイフエッジ２ａの面部２ａ''にお
いても環状ガスケット４と接触して表面同志の気密保持
が行われる。
・２Ｂの環状スペース３の内壁に、軟質の純アルミニウ
ム系の環状ガスケット４に食い込むようにして密着し得
るナイフエッジ２ａが形成されている。そして、ナイフ
エッジ２ａの鏡面研削が施された面部に、イオンプレー
ティング処理によるチタンカーバイト（ＴｉＣ）、窒化
チタン（ＴｉＮ）又は窒化クロム（ＣｒＮ）の硬質表層
が形成されている。ナイフエッジ２ａに硬質表層を形成
することにより、シール部への傷の防止、及び環状ガス
ケット４との固着の防止がはかられる。これに対して、
純アルミニウム系の環状ガスケット４の表面には、酸化
変質層及び圧延によるロールマークが除去される。そし
て、両側のナイフエッジ２ａで環状ガスケット４が挟持
され、ナイフエッジ２ａの先端２ａ’で気密保持が行わ
れるだけではなく、ナイフエッジ２ａの面部２ａ''にお
いても環状ガスケット４と接触して表面同志の気密保持
が行われる。
【０００５】高真空バルブには配管接続用の２個のポー
トがあり、それらの中心軸は直角に交差している。ポー
トを形成する管部のナイフエッジについて、イオンプレ
ーティング法による硬化処理を行うためには、プレーテ
ィングを２回行う必要があり、多くの手数を要する。ま
た、窒化チタン（ＴｉＮ）の硬度は約Ｈｖ１，８００で
あり、窒化クロム（ＣｒＮ）の硬度は約Ｈｖ１，４００
であり、これらの硬度は高真空バルブのナイフエッジに
必要な硬度（Ｈｖ４００〜５００）に比べ、過剰品質で
ある。
トがあり、それらの中心軸は直角に交差している。ポー
トを形成する管部のナイフエッジについて、イオンプレ
ーティング法による硬化処理を行うためには、プレーテ
ィングを２回行う必要があり、多くの手数を要する。ま
た、窒化チタン（ＴｉＮ）の硬度は約Ｈｖ１，８００で
あり、窒化クロム（ＣｒＮ）の硬度は約Ｈｖ１，４００
であり、これらの硬度は高真空バルブのナイフエッジに
必要な硬度（Ｈｖ４００〜５００）に比べ、過剰品質で
ある。
【０００６】硬度がＨｖ４００〜５００となる表面処理
として、陽極酸化皮膜処理（アルマイト処理）を行うこ
とが考えられ、陽極酸化皮膜処理のうち工業的に最も普
及している硫酸陽極酸化皮膜処理を試みた。図２に示す
ような構成において、ナイフエッジを含むフランジに対
して、イオンプレーティング処理に代えて硫酸陽極酸化
皮膜処理を施した場合、１２０°Ｃ以上での加熱使用
（連続）でも短時間のベーキングでも、ともに硫酸陽極
酸化皮膜にクラックが入り、ヘリウムリーク試験では不
良となる。しかも、硫酸電解浴槽での硫酸陽極酸化皮膜
処理の過程において、硫酸陽極酸化皮膜が表面から内部
に向かって柱状に成長するので、柱状のセルが密集する
多孔層となる。このため、硫酸陽極酸化皮膜からヘリウ
ムが通過（スローリーク）し、実用化ができなかった。
として、陽極酸化皮膜処理（アルマイト処理）を行うこ
とが考えられ、陽極酸化皮膜処理のうち工業的に最も普
及している硫酸陽極酸化皮膜処理を試みた。図２に示す
ような構成において、ナイフエッジを含むフランジに対
して、イオンプレーティング処理に代えて硫酸陽極酸化
皮膜処理を施した場合、１２０°Ｃ以上での加熱使用
（連続）でも短時間のベーキングでも、ともに硫酸陽極
酸化皮膜にクラックが入り、ヘリウムリーク試験では不
良となる。しかも、硫酸電解浴槽での硫酸陽極酸化皮膜
処理の過程において、硫酸陽極酸化皮膜が表面から内部
に向かって柱状に成長するので、柱状のセルが密集する
多孔層となる。このため、硫酸陽極酸化皮膜からヘリウ
ムが通過（スローリーク）し、実用化ができなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、高真空バル
ブにおいて、金属製環状ガスケットを介装させるための
環状スペースの内壁のシール部について、硫酸陽極酸化
皮膜処理以外の陽極酸化皮膜処理を施して、シール部の
圧縮強度を高め、シール部の傷つき、変形及び金属製環
状ガスケットとの固着が起こらないようにすることを課
題とする。
ブにおいて、金属製環状ガスケットを介装させるための
環状スペースの内壁のシール部について、硫酸陽極酸化
皮膜処理以外の陽極酸化皮膜処理を施して、シール部の
圧縮強度を高め、シール部の傷つき、変形及び金属製環
状ガスケットとの固着が起こらないようにすることを課
題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を達
成するために、弁ボディの弁室に管部を介して連通する
複数のポートが形成され、弁室と一方の管部を結ぶ流路
に弁座が形成され、弁座に対して弁体を接触させること
により流路が閉じられ、弁体を弁座から離すことによっ
て流路が開かれる高真空バルブにおいて、ポートを形成
するアルミニウム合金製の管部の端部に金属製環状ガス
ケットを介装させるための環状スペースが形成され、環
状スペースの内壁にシール部が形成され、シール部又は
弁ボディ全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施すことに
より、シール部の圧縮強度が高められてシール部の傷つ
き、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらな
いようにされたことを構成とする。また、本発明は、前
記構成において、管部の端部外周に環状突出部が形成さ
れ、環状突出部の外周面に環状金具が遊嵌され、環状金
具の内周の係合溝に装着されたＣ形止めリングが環状突
出部の後側のリング座に当接させられ、環状金具の先端
部内周面と管部の先端部とにより環状スペースが形成さ
れ、金属製環状ガスケットを軟質アルミニウム製とな
し、シール部にナイフエッジが形成されたことを構成と
する。
成するために、弁ボディの弁室に管部を介して連通する
複数のポートが形成され、弁室と一方の管部を結ぶ流路
に弁座が形成され、弁座に対して弁体を接触させること
により流路が閉じられ、弁体を弁座から離すことによっ
て流路が開かれる高真空バルブにおいて、ポートを形成
するアルミニウム合金製の管部の端部に金属製環状ガス
ケットを介装させるための環状スペースが形成され、環
状スペースの内壁にシール部が形成され、シール部又は
弁ボディ全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施すことに
より、シール部の圧縮強度が高められてシール部の傷つ
き、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらな
いようにされたことを構成とする。また、本発明は、前
記構成において、管部の端部外周に環状突出部が形成さ
れ、環状突出部の外周面に環状金具が遊嵌され、環状金
具の内周の係合溝に装着されたＣ形止めリングが環状突
出部の後側のリング座に当接させられ、環状金具の先端
部内周面と管部の先端部とにより環状スペースが形成さ
れ、金属製環状ガスケットを軟質アルミニウム製とな
し、シール部にナイフエッジが形成されたことを構成と
する。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の高真空バルブの実
施の形態を示す。弁ボディ10には弁室11が形成され、弁
室11には管部12Ａ・12Ｂを介してポート13Ａ・13Ｂが形
成されており、管部12Ａの軸線と管部12Ｂの軸線とは略
直角をなしている。ポート13Ａとポート13Ｂとが弁室11
を介して連通され、弁室11と一方の管部12Ｂを結ぶ流路
に弁座14が形成されている。弁室11の下端に位置する弁
座14に対向して、弁体18・弁棒19が上下動可能に配設さ
れ、弁座14に対して弁体18を接触させることにより流路
が閉じられ、弁体18を弁座14から離すことによって流路
が開かれる。弁ボディ10の弁室11の上端には隔壁16付の
シリンダ17が連結され、弁ボディ10とシリンダ17とによ
って金属リング24が挟持されている。隔壁16の中央孔に
弁棒19が摺動自在かつ気密状態に挿通され、シリンダ17
に摺動自在に嵌合されたピストン20に弁棒19の上端が連
結されている。弁体18の上面と隔壁16の下面との間にス
プリング21が装着され、弁棒19・スプリング21を覆う金
属製ベローズ22が配設されている。ベローズ22の下端は
弁体18の上面の外周寄りの部分に溶接され、ベローズ22
の上端は金属リング24の内周部に溶接されている。
施の形態を示す。弁ボディ10には弁室11が形成され、弁
室11には管部12Ａ・12Ｂを介してポート13Ａ・13Ｂが形
成されており、管部12Ａの軸線と管部12Ｂの軸線とは略
直角をなしている。ポート13Ａとポート13Ｂとが弁室11
を介して連通され、弁室11と一方の管部12Ｂを結ぶ流路
に弁座14が形成されている。弁室11の下端に位置する弁
座14に対向して、弁体18・弁棒19が上下動可能に配設さ
れ、弁座14に対して弁体18を接触させることにより流路
が閉じられ、弁体18を弁座14から離すことによって流路
が開かれる。弁ボディ10の弁室11の上端には隔壁16付の
シリンダ17が連結され、弁ボディ10とシリンダ17とによ
って金属リング24が挟持されている。隔壁16の中央孔に
弁棒19が摺動自在かつ気密状態に挿通され、シリンダ17
に摺動自在に嵌合されたピストン20に弁棒19の上端が連
結されている。弁体18の上面と隔壁16の下面との間にス
プリング21が装着され、弁棒19・スプリング21を覆う金
属製ベローズ22が配設されている。ベローズ22の下端は
弁体18の上面の外周寄りの部分に溶接され、ベローズ22
の上端は金属リング24の内周部に溶接されている。
【００１０】管部12Ａ・12Ｂの先端部の外周に環状突出
部25が一体的に形成され、環状突出部25の先端のシール
部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理（しゅう酸アルマイト処
理）が施されている。前述のように硫酸陽極酸化皮膜処
理の過程においては、硫酸陽極酸化皮膜が表面から内部
に向かって柱状に成長したが、しゅう酸陽極酸化皮膜処
理の場合は、表面から内部に向かって成長する皮膜が
完全な柱状ではなく、しゅう酸陽極酸化皮膜にできる
ポアー（細い穴）が条件により硫酸陽極酸化皮膜の場合
の１０％以下であり、処理条件によってはポアー間の
距離が長くクラックの起点が少ない、ことが判明した。
そして、高真空バルブのシール部（ナイフエッジ27）に
必要な硬度（Ｈｖ４００〜５００）が得られた。電流反
転により陽極酸化皮膜の欠陥が減少したので、しゅう酸
陽極酸化皮膜は加熱及びベーキングをしたとき、硫酸陽
極酸化皮膜よりもクラックの入る温度が高く、実際の使
用温度上限の１５０°Ｃでも１０回以上のヒートサイク
ル及び２０回以上の着脱に耐え、スローリークが実際上
問題にならない程度になった。
部25が一体的に形成され、環状突出部25の先端のシール
部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理（しゅう酸アルマイト処
理）が施されている。前述のように硫酸陽極酸化皮膜処
理の過程においては、硫酸陽極酸化皮膜が表面から内部
に向かって柱状に成長したが、しゅう酸陽極酸化皮膜処
理の場合は、表面から内部に向かって成長する皮膜が
完全な柱状ではなく、しゅう酸陽極酸化皮膜にできる
ポアー（細い穴）が条件により硫酸陽極酸化皮膜の場合
の１０％以下であり、処理条件によってはポアー間の
距離が長くクラックの起点が少ない、ことが判明した。
そして、高真空バルブのシール部（ナイフエッジ27）に
必要な硬度（Ｈｖ４００〜５００）が得られた。電流反
転により陽極酸化皮膜の欠陥が減少したので、しゅう酸
陽極酸化皮膜は加熱及びベーキングをしたとき、硫酸陽
極酸化皮膜よりもクラックの入る温度が高く、実際の使
用温度上限の１５０°Ｃでも１０回以上のヒートサイク
ル及び２０回以上の着脱に耐え、スローリークが実際上
問題にならない程度になった。
【００１１】環状突出部25の後側に環状で平坦なリング
座23が形成されている。管部12Ａ・12Ｂの先端は、軟質
アルミニウム製の環状ガスケット28が圧接されるシール
部であって、ナイフエッジ27が形成されている。環状突
出部25の外径よりも大きな内径を有するフランジ用の環
状金具29には、内周の所定位置に係合溝30が形成されて
いる。図１のポート13Ａ側について図示されているよう
に、環状金具29が環状突出部25の外側を通過して、管部
12Ａの外側に位置している。Ｃ形止めリング31が拡径さ
れて環状突出部25の外側を通過し、更にＣ形止めリング
31の外径が縮径されて環状金具29の内周の係合溝30に装
着されている。環状金具29を先端側に移動して、図１の
ポート13Ｂ側について図示されているように、環状金具
29が環状突出部25の外周に遊嵌され、Ｃ形止めリング31
の側面が環状突出部25のリング座23に当接されている。
Ｃ形止めリング31とリング座23により環状金具29の先端
側への移動が規制され、環状金具29の先端が管部12Ａ・
12Ｂの先端よりも少々先端側に突出するように設定され
ている。このようにして、環状金具29の先端部内周面と
管部12Ａ・12Ｂの先端部とにより、環状ガスケット28を
介装させるための環状スペース33が形成される。そし
て、環状金具29にはボルト穴32が形成されており、環状
金具29は管部12Ａ・12Ｂの回転フランジの機能を奏する
こととなる。
座23が形成されている。管部12Ａ・12Ｂの先端は、軟質
アルミニウム製の環状ガスケット28が圧接されるシール
部であって、ナイフエッジ27が形成されている。環状突
出部25の外径よりも大きな内径を有するフランジ用の環
状金具29には、内周の所定位置に係合溝30が形成されて
いる。図１のポート13Ａ側について図示されているよう
に、環状金具29が環状突出部25の外側を通過して、管部
12Ａの外側に位置している。Ｃ形止めリング31が拡径さ
れて環状突出部25の外側を通過し、更にＣ形止めリング
31の外径が縮径されて環状金具29の内周の係合溝30に装
着されている。環状金具29を先端側に移動して、図１の
ポート13Ｂ側について図示されているように、環状金具
29が環状突出部25の外周に遊嵌され、Ｃ形止めリング31
の側面が環状突出部25のリング座23に当接されている。
Ｃ形止めリング31とリング座23により環状金具29の先端
側への移動が規制され、環状金具29の先端が管部12Ａ・
12Ｂの先端よりも少々先端側に突出するように設定され
ている。このようにして、環状金具29の先端部内周面と
管部12Ａ・12Ｂの先端部とにより、環状ガスケット28を
介装させるための環状スペース33が形成される。そし
て、環状金具29にはボルト穴32が形成されており、環状
金具29は管部12Ａ・12Ｂの回転フランジの機能を奏する
こととなる。
【００１２】しゅう酸陽極酸化皮膜は、１％塩酸に対す
る耐蝕性が硫酸陽極酸化皮膜の場合の約１０倍あるの
で、環状突出部25の先端のシール部だけではなく、弁ボ
ディ10の全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施してもよ
い。ただし、ガス放出量は無処理金属面より１０倍以上
多いので、大気圧と真空を常時繰り返す用途には、シー
ル部及び弁ボディ10の外周面のみに、しゅう酸陽極酸化
皮膜処理を施すのがよい。なお、弁ボディ10はアルミニ
ウム合金の押し出し材又は鍛造材で製作されている。
る耐蝕性が硫酸陽極酸化皮膜の場合の約１０倍あるの
で、環状突出部25の先端のシール部だけではなく、弁ボ
ディ10の全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施してもよ
い。ただし、ガス放出量は無処理金属面より１０倍以上
多いので、大気圧と真空を常時繰り返す用途には、シー
ル部及び弁ボディ10の外周面のみに、しゅう酸陽極酸化
皮膜処理を施すのがよい。なお、弁ボディ10はアルミニ
ウム合金の押し出し材又は鍛造材で製作されている。
【００１３】本発明の実施の形態の高真空バルブにパイ
プ34を接続するときには、パイプ34の端部の構造を図２
のフランジ２Ａ・２Ｂと同様に構成するが（図１参
照）、高真空バルブの管部12Ａ・12Ｂの端部と同様に構
成してもよい。高真空バルブ側の環状スペース33に環状
ガスケット28を当接し、次にパイプ34側の環状スペース
３を環状ガスケット28に当接する。次に、環状金具29を
回転させて、環状金具29のボルト穴32とパイプ34側のフ
ランジ２Ｂのボルト穴36との芯合わせを行う。この芯合
わせは、パイプ34を回転させることなく、環状金具29の
みを回転することにより行われ、芯合わせの作業が迅速
かつ簡単に行われる。高真空バルブ側の環状金具29のボ
ルト穴32と、パイプ34側のフランジ２Ｂのボルト穴36と
にボルトを挿通させ、ボルトにナットを螺合して、高真
空バルブ側の環状金具29とパイプ34側のフランジ２Ｂと
を連結する。図２の場合と同様に、環状ガスケット28は
高真空バルブ側のナイフエッジ27とパイプ34側のナイフ
エッジ２ａとに気密接触が行われる。
プ34を接続するときには、パイプ34の端部の構造を図２
のフランジ２Ａ・２Ｂと同様に構成するが（図１参
照）、高真空バルブの管部12Ａ・12Ｂの端部と同様に構
成してもよい。高真空バルブ側の環状スペース33に環状
ガスケット28を当接し、次にパイプ34側の環状スペース
３を環状ガスケット28に当接する。次に、環状金具29を
回転させて、環状金具29のボルト穴32とパイプ34側のフ
ランジ２Ｂのボルト穴36との芯合わせを行う。この芯合
わせは、パイプ34を回転させることなく、環状金具29の
みを回転することにより行われ、芯合わせの作業が迅速
かつ簡単に行われる。高真空バルブ側の環状金具29のボ
ルト穴32と、パイプ34側のフランジ２Ｂのボルト穴36と
にボルトを挿通させ、ボルトにナットを螺合して、高真
空バルブ側の環状金具29とパイプ34側のフランジ２Ｂと
を連結する。図２の場合と同様に、環状ガスケット28は
高真空バルブ側のナイフエッジ27とパイプ34側のナイフ
エッジ２ａとに気密接触が行われる。
【００１４】図２(a) のフランジ２Ａ・２Ｂの直径は薄
肉のパイプ８Ａ・８Ｂの直径よりも相当大きいので、薄
肉のパイプ８Ａ・８Ｂを加工してフランジ２Ａ・２Ｂと
することは行われない。薄肉のパイプ８Ａ・８Ｂに大径
で厚みのあるフランジ２Ａ・２Ｂを設けるには、パイプ
８Ａ・８Ｂとは別の環状体を溶接して接続する必要があ
る。これに対して、図１の環状突出部25の直径は管部12
Ａの直径と殆ど同径であるので、管部12Ａの先端部を加
工して環状突出部25となすことができる。そして、環状
突出部25に環状金具29を組み合わせて、回転フランジの
機能を持たせることができ、図２に示す従来のフランジ
よりも安価に回転フランジを製造することができる。し
かも、図２の環状スペース３（窪み）とナイフエッジ２
ａを形成する機械加工に比べ、図１のナイフエッジ27の
みを形成する機械加工は、加工箇所が少なく、簡単な加
工のみであり、低コストかつ短時間で行われる。
肉のパイプ８Ａ・８Ｂの直径よりも相当大きいので、薄
肉のパイプ８Ａ・８Ｂを加工してフランジ２Ａ・２Ｂと
することは行われない。薄肉のパイプ８Ａ・８Ｂに大径
で厚みのあるフランジ２Ａ・２Ｂを設けるには、パイプ
８Ａ・８Ｂとは別の環状体を溶接して接続する必要があ
る。これに対して、図１の環状突出部25の直径は管部12
Ａの直径と殆ど同径であるので、管部12Ａの先端部を加
工して環状突出部25となすことができる。そして、環状
突出部25に環状金具29を組み合わせて、回転フランジの
機能を持たせることができ、図２に示す従来のフランジ
よりも安価に回転フランジを製造することができる。し
かも、図２の環状スペース３（窪み）とナイフエッジ２
ａを形成する機械加工に比べ、図１のナイフエッジ27の
みを形成する機械加工は、加工箇所が少なく、簡単な加
工のみであり、低コストかつ短時間で行われる。
【００１５】
【発明の効果】請求項１においては、金属製環状ガスケ
ットを介装させるための環状スペースの内壁のシール部
に、しゅう酸陽極酸化皮膜処理を施したので、シール部
の圧縮強度が高められて、シール部の傷つき、変形及び
金属製環状ガスケットとの固着が起こらない。しゅう酸
陽極酸化皮膜処理という安価な処理で、高真空バルブの
シール部（ナイフエッジ）に必要な硬度（Ｈｖ４００〜
５００）が得られた。請求項２については、管部の環状
突出部の先端部と別体の環状金具の先端部内周面とによ
り環状スペースが形成され、そのためには管部の先端部
には突出したシール部（ナイフエッジ）を加工し、環状
金具は断面長方形の環状体とすればよいので、環状スペ
ースの加工が容易であり安価となる。しかも、環状突出
部は管部の先端を加工することにより低コストで製造で
き、また環状金具は回転フランジとして機能し、ボルト
穴の芯合わせが簡単となる。
ットを介装させるための環状スペースの内壁のシール部
に、しゅう酸陽極酸化皮膜処理を施したので、シール部
の圧縮強度が高められて、シール部の傷つき、変形及び
金属製環状ガスケットとの固着が起こらない。しゅう酸
陽極酸化皮膜処理という安価な処理で、高真空バルブの
シール部（ナイフエッジ）に必要な硬度（Ｈｖ４００〜
５００）が得られた。請求項２については、管部の環状
突出部の先端部と別体の環状金具の先端部内周面とによ
り環状スペースが形成され、そのためには管部の先端部
には突出したシール部（ナイフエッジ）を加工し、環状
金具は断面長方形の環状体とすればよいので、環状スペ
ースの加工が容易であり安価となる。しかも、環状突出
部は管部の先端を加工することにより低コストで製造で
き、また環状金具は回転フランジとして機能し、ボルト
穴の芯合わせが簡単となる。
【図１】本発明の高真空バルブの実施の形態を示す縦断
面図である。
面図である。
【図２】図２(a) は従来の高真空用フランジ継手構造を
示す縦断面図であり、図２(b)は図２(a) のII部の拡大
図である。
示す縦断面図であり、図２(b)は図２(a) のII部の拡大
図である。
10 弁ボディ 11 弁室 12Ａ 管部 12Ｂ 管部 13Ａ ポート 13Ｂ ポート 14 弁座 18 弁体 23 リング座 25 環状突出部 28 環状ガスケット 29 環状金具 30 係合溝 31 Ｃ形止めリング 33 環状スペース
Claims (2)
- 【請求項１】 弁ボディの弁室に管部を介して連通する
複数のポートが形成され、弁室と一方の管部を結ぶ流路
に弁座が形成され、弁座に対して弁体を接触させること
により流路が閉じられ、弁体を弁座から離すことによっ
て流路が開かれる高真空バルブにおいて、ポートを形成
するアルミニウム合金製の管部の端部に金属製環状ガス
ケットを介装させるための環状スペースが形成され、環
状スペースの内壁にシール部が形成され、シール部又は
弁ボディ全部にしゅう酸陽極酸化皮膜処理を施すことに
より、シール部の圧縮強度が高められてシール部の傷つ
き、変形及び金属製環状ガスケットとの固着が起こらな
いようにされたことを特徴とする高真空バルブ。 - 【請求項２】 管部の端部外周に環状突出部が形成さ
れ、環状突出部の外周面に環状金具が遊嵌され、環状金
具の内周の係合溝に装着されたＣ形止めリングが環状突
出部の後側のリング座に当接させられ、環状金具の先端
部内周面と管部の先端部とにより環状スペースが形成さ
れ、金属製環状ガスケットを軟質アルミニウム製とな
し、シール部にナイフエッジが形成された請求項１記載
の高真空バルブ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8174418A JPH102452A (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 高真空バルブ |
| US08/870,795 US5836568A (en) | 1996-06-14 | 1997-06-06 | High-vacuum valve |
| DE19724916A DE19724916A1 (de) | 1996-06-14 | 1997-06-12 | Hochvakuumventil |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8174418A JPH102452A (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 高真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH102452A true JPH102452A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15978211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8174418A Pending JPH102452A (ja) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 高真空バルブ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5836568A (ja) |
| JP (1) | JPH102452A (ja) |
| DE (1) | DE19724916A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0959284A2 (en) | 1998-05-20 | 1999-11-24 | Smc Corporation | High-vacuum valve |
| WO2004072519A1 (ja) * | 2003-02-13 | 2004-08-26 | Fujikin Incorporated | 真空排気系用バルブ |
| JP2008507670A (ja) * | 2004-07-23 | 2008-03-13 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | アクチュエータケーシング |
| JP2008103754A (ja) * | 2007-12-10 | 2008-05-01 | Tadahiro Omi | 真空排気系用バルブの使用方法 |
| WO2011030564A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社アルバック | 真空用バルブ |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| LU90367B1 (en) * | 1999-03-05 | 2000-09-06 | Ceodeux Ultra Pure Equipment T | Gas cylinder valve |
| US6263679B1 (en) | 2000-04-05 | 2001-07-24 | Helix Technology Corporation | Particulate dam for cryopump flange |
| US6857635B1 (en) * | 2001-10-18 | 2005-02-22 | Ferrotec (Usa) Corporation | Ultra high vacuum ferrofluidic seals and method of manufacture |
| US6896018B2 (en) * | 2002-09-30 | 2005-05-24 | Capital Machine Company, Inc. | Vacuum flitch table system |
| JP4119275B2 (ja) * | 2003-02-18 | 2008-07-16 | 忠弘 大見 | 真空排気系用のダイヤフラム弁 |
| US20060065764A1 (en) * | 2004-09-24 | 2006-03-30 | Ole Schlottmann | Substrate processing showerheads |
| US20060076526A1 (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-13 | Varco I/P, Inc. | Anodic Protective Seal in a Blowout Preventer |
| RU2556184C1 (ru) * | 2014-04-22 | 2015-07-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "Компас" (ООО "НТЦ "Компас") | Состав для получения электроизоляционного покрытия |
| CN109158834A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-08 | 合肥尚真真空技术有限公司 | 一种真空阀阀体加工工艺 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2571539A (en) * | 1949-01-03 | 1951-10-16 | Cleve F Christie | Air control valve for carburetor gaskets |
| DE2650989C2 (de) * | 1976-11-08 | 1985-01-24 | Henkel KGaA, 4000 Düsseldorf | Verfahren zur Behandlung von Aluminiumoberflächen durch Oxidation mit einer nachfolgenden Verdichtung |
| JPS6139187A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | 株式会社日立製作所 | 現金自動取引装置 |
| DE4211138A1 (de) * | 1992-04-03 | 1993-10-07 | Putzmeister Maschf | Vorrichtung zur Förderung von feststoffreichen Dickstoffen |
-
1996
- 1996-06-14 JP JP8174418A patent/JPH102452A/ja active Pending
-
1997
- 1997-06-06 US US08/870,795 patent/US5836568A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-12 DE DE19724916A patent/DE19724916A1/de not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0959284A2 (en) | 1998-05-20 | 1999-11-24 | Smc Corporation | High-vacuum valve |
| WO2004072519A1 (ja) * | 2003-02-13 | 2004-08-26 | Fujikin Incorporated | 真空排気系用バルブ |
| US7472887B2 (en) | 2003-02-13 | 2009-01-06 | Fujikin Incorporated | Valve for vacuum exhaustion system |
| US7988130B2 (en) | 2003-02-13 | 2011-08-02 | Fujikin Incorporated | Valve for vacuum exhaustion system |
| KR101210342B1 (ko) * | 2003-02-13 | 2012-12-10 | 다다히로 오미 | 진공 배기계용 밸브 |
| JP2008507670A (ja) * | 2004-07-23 | 2008-03-13 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | アクチュエータケーシング |
| JP2008103754A (ja) * | 2007-12-10 | 2008-05-01 | Tadahiro Omi | 真空排気系用バルブの使用方法 |
| JP4644242B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2011-03-02 | 忠弘 大見 | 真空排気系用バルブの使用方法 |
| WO2011030564A1 (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-17 | 株式会社アルバック | 真空用バルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19724916A1 (de) | 1998-01-02 |
| US5836568A (en) | 1998-11-17 |
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