JPH10239361A - 抵抗測定回路及び抵抗測定方法 - Google Patents
抵抗測定回路及び抵抗測定方法Info
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- JPH10239361A JPH10239361A JP5559897A JP5559897A JPH10239361A JP H10239361 A JPH10239361 A JP H10239361A JP 5559897 A JP5559897 A JP 5559897A JP 5559897 A JP5559897 A JP 5559897A JP H10239361 A JPH10239361 A JP H10239361A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定対象の抵抗値が比較的小さい場合でも、
その抵抗値を高い精度で測定可能とする。 【解決手段】 第１の電流印加電圧測定ユニット５を測
定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに測定ピ
ン７，８を介して接続し、このユニット５により、測定
ピン７，８を介して測定対象１に一定の電流を流してそ
の電圧降下Ｖ1 を測定する。また、第２の電流印加電圧
測定ユニット６を測定対象１の端子ピン１ｂ上に測定ピ
ン９，１０を介して接続し、ユニット６により測定ピン
９，１０を介して端子ピン１ｂ上に一定の電流を流して
その電圧降下Ｖ2 を測定する。そして、電圧値Ｖ1 から
電圧値Ｖ2 を減算し、この演算結果Ｖと測定対象１に流
す電流値Ｉとの関係からオームの法則により測定対象１
の抵抗値Ｒx を求める。
その抵抗値を高い精度で測定可能とする。 【解決手段】 第１の電流印加電圧測定ユニット５を測
定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに測定ピ
ン７，８を介して接続し、このユニット５により、測定
ピン７，８を介して測定対象１に一定の電流を流してそ
の電圧降下Ｖ1 を測定する。また、第２の電流印加電圧
測定ユニット６を測定対象１の端子ピン１ｂ上に測定ピ
ン９，１０を介して接続し、ユニット６により測定ピン
９，１０を介して端子ピン１ｂ上に一定の電流を流して
その電圧降下Ｖ2 を測定する。そして、電圧値Ｖ1 から
電圧値Ｖ2 を減算し、この演算結果Ｖと測定対象１に流
す電流値Ｉとの関係からオームの法則により測定対象１
の抵抗値Ｒx を求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、低抵抗
測定に適応して好適な抵抗測定回路とその抵抗測定方法
に関する。
測定に適応して好適な抵抗測定回路とその抵抗測定方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の抵抗測定方法は、ＩＣテ
スタにより被測定物に一定の電流を流してその両端に誘
起する電圧を測定し、オームの法則により抵抗値を計算
して求めるのが一般的である。
スタにより被測定物に一定の電流を流してその両端に誘
起する電圧を測定し、オームの法則により抵抗値を計算
して求めるのが一般的である。
【０００３】図３は、従来のＩＣテスタによる抵抗測定
回路を示すブロック図である。図３において、１は未知
の抵抗値Ｒｘを有する測定対象、１ａ，１ｂは測定対象
１から引き出された端子ピンである。また、２，３はそ
れぞれ測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂに接続する測定
ピン、４は測定ピン２，３を通じて測定対象１に一定の
電流Ｉを流し、その端子間の電圧降下Ｖ0 を測定する電
流印加電圧測定ユニット（ＩＣテスタ）である。
回路を示すブロック図である。図３において、１は未知
の抵抗値Ｒｘを有する測定対象、１ａ，１ｂは測定対象
１から引き出された端子ピンである。また、２，３はそ
れぞれ測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂに接続する測定
ピン、４は測定ピン２，３を通じて測定対象１に一定の
電流Ｉを流し、その端子間の電圧降下Ｖ0 を測定する電
流印加電圧測定ユニット（ＩＣテスタ）である。
【０００４】上記電流印加電圧測定ユニット４におい
て、フォース端子Ｆ0 は測定対象１に一定の電流Ｉを流
す端子である。センス端子Ｓ0 は測定対象１の端子間の
電圧降下Ｖ0 を測定する端子である。ＳＣＯＭ端子ＳＣ
ＯＭ0 はセンス端子Ｓ0 の基準値（０Ｖ）となる端子で
ある。ＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ0 は、フォース端子Ｆ0 か
らの電流Ｉを流す電流通路となる端子である。
て、フォース端子Ｆ0 は測定対象１に一定の電流Ｉを流
す端子である。センス端子Ｓ0 は測定対象１の端子間の
電圧降下Ｖ0 を測定する端子である。ＳＣＯＭ端子ＳＣ
ＯＭ0 はセンス端子Ｓ0 の基準値（０Ｖ）となる端子で
ある。ＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ0 は、フォース端子Ｆ0 か
らの電流Ｉを流す電流通路となる端子である。
【０００５】次に、上記構成における抵抗測定方法を説
明する。まず、抵抗値Ｒx を求めようとする測定対象１
の端子ピン１ａ，１ｂにそれぞれ測定ピン２，３を接続
し、電流印加電圧測定ユニット４のフォース端子Ｆ0 か
ら一定の電流Ｉを流す。電流Ｉは、測定ピン２、端子ピ
ン１ａを経由して測定対象１を流れ、端子ピン１ｂ、測
定ピン３を経由して電流経路となるＰＣＯＭ端子ＰＣＯ
Ｍ0 に流れる。
明する。まず、抵抗値Ｒx を求めようとする測定対象１
の端子ピン１ａ，１ｂにそれぞれ測定ピン２，３を接続
し、電流印加電圧測定ユニット４のフォース端子Ｆ0 か
ら一定の電流Ｉを流す。電流Ｉは、測定ピン２、端子ピ
ン１ａを経由して測定対象１を流れ、端子ピン１ｂ、測
定ピン３を経由して電流経路となるＰＣＯＭ端子ＰＣＯ
Ｍ0 に流れる。
【０００６】この時、測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂ
間に電圧Ｖ0 が誘起される。この誘起電圧Ｖ0 は、測定
ピン２，３を通じて電流印加電圧測定ユニット４のセン
ス端子Ｓ0 とＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ0 との間に電圧降下
となって現れる。そこで、この電圧Ｖ0 を電流印加電圧
測定ユニット４で測定する。この電圧Ｖ0 と測定対象1
に流した電流Ｉの値を用い、オームの法則により測定対
象１の抵抗値Ｒx ＝Ｖ0 ／Ｉを算出する。
間に電圧Ｖ0 が誘起される。この誘起電圧Ｖ0 は、測定
ピン２，３を通じて電流印加電圧測定ユニット４のセン
ス端子Ｓ0 とＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ0 との間に電圧降下
となって現れる。そこで、この電圧Ｖ0 を電流印加電圧
測定ユニット４で測定する。この電圧Ｖ0 と測定対象1
に流した電流Ｉの値を用い、オームの法則により測定対
象１の抵抗値Ｒx ＝Ｖ0 ／Ｉを算出する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来のＩＣテスタによる抵抗測定回路及びその抵抗測定
方法では、測定対象の抵抗値が小さいと、測定する電圧
が小さくなるため、ノイズの影響を受けて誤差が大きく
なってしまい、精度の良い測定ができない。また、誘起
電圧を大きくするために電流を大きくすると、測定対象
に対する接触抵抗、ライン抵抗等によるＤＣドリフトの
影響を受けて誤差が大きくなってしまい、精度の良い測
定ができない。
従来のＩＣテスタによる抵抗測定回路及びその抵抗測定
方法では、測定対象の抵抗値が小さいと、測定する電圧
が小さくなるため、ノイズの影響を受けて誤差が大きく
なってしまい、精度の良い測定ができない。また、誘起
電圧を大きくするために電流を大きくすると、測定対象
に対する接触抵抗、ライン抵抗等によるＤＣドリフトの
影響を受けて誤差が大きくなってしまい、精度の良い測
定ができない。
【０００８】この発明は、測定対象の抵抗値が比較的小
さい場合でも、その抵抗値を高い精度で測定可能な抵抗
測定回路とその抵抗測定方法を提供することを目的とす
る。
さい場合でも、その抵抗値を高い精度で測定可能な抵抗
測定回路とその抵抗測定方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
にこの発明は、以下のように構成される。 （１）測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂ間の抵抗
値Ｒx を測定する抵抗測定回路において、測定対象１の
一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに接続される一対の
第１の測定ピン７，８と、一対の第１の測定ピン７，８
を介して測定対象１に一定の電流を流してその電圧降下
を測定する電圧測定手段１１と、測定対象１のいずれか
の端子ピン１ａ，１ｂ上に接続される一対の測定ピン
９，１０と、一対の測定ピン９，１０を介して端子ピン
１ａ，１ｂ上に一定の電流を流してその電圧降下を測定
する電圧測定手段１２とを備え、電圧測定手段１１で測
定された電圧値Ｖ1 から電圧測定手段１２で測定された
電圧値Ｖ2 を減算し、その演算結果Ｖと電圧測定手段１
１が流す電流値Ｉの関係からオームの法則により測定対
象１の抵抗値Ｒx を求める。
にこの発明は、以下のように構成される。 （１）測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂ間の抵抗
値Ｒx を測定する抵抗測定回路において、測定対象１の
一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに接続される一対の
第１の測定ピン７，８と、一対の第１の測定ピン７，８
を介して測定対象１に一定の電流を流してその電圧降下
を測定する電圧測定手段１１と、測定対象１のいずれか
の端子ピン１ａ，１ｂ上に接続される一対の測定ピン
９，１０と、一対の測定ピン９，１０を介して端子ピン
１ａ，１ｂ上に一定の電流を流してその電圧降下を測定
する電圧測定手段１２とを備え、電圧測定手段１１で測
定された電圧値Ｖ1 から電圧測定手段１２で測定された
電圧値Ｖ2 を減算し、その演算結果Ｖと電圧測定手段１
１が流す電流値Ｉの関係からオームの法則により測定対
象１の抵抗値Ｒx を求める。
【００１０】（２）測定対象１の一対の端子ピン１ａ，
１ｂ間の抵抗値Ｒx を測定する抵抗測定方法において、
測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに一対
の測定ピン７，８を接続し、一対の測定ピン７，８を介
して測定対象１に一定の電流を流してその電圧降下を測
定する第１の処理と、測定対象１のいずれかの端子ピン
１ａ，１ｂ上に一対の測定ピン９，１０を接続し、一対
の測定ピン９，１０を介して端子ピン１ａ，１ｂ上に一
定の電流を流してその電圧降下を測定する第２の処理
と、第１の処理で測定された電圧値Ｖ1 から第２の処理
で測定された電圧値Ｖ2 を減算する第３の処理と、この
第３の処理の演算結果Ｖと第１の処理で前記測定対象１
に流す電流値Ｉとの関係からオームの法則により測定対
象１の抵抗値Ｒx を求める第４の処理とを備える。
１ｂ間の抵抗値Ｒx を測定する抵抗測定方法において、
測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに一対
の測定ピン７，８を接続し、一対の測定ピン７，８を介
して測定対象１に一定の電流を流してその電圧降下を測
定する第１の処理と、測定対象１のいずれかの端子ピン
１ａ，１ｂ上に一対の測定ピン９，１０を接続し、一対
の測定ピン９，１０を介して端子ピン１ａ，１ｂ上に一
定の電流を流してその電圧降下を測定する第２の処理
と、第１の処理で測定された電圧値Ｖ1 から第２の処理
で測定された電圧値Ｖ2 を減算する第３の処理と、この
第３の処理の演算結果Ｖと第１の処理で前記測定対象１
に流す電流値Ｉとの関係からオームの法則により測定対
象１の抵抗値Ｒx を求める第４の処理とを備える。
【００１１】（３）測定対象１の一対の端子ピン１ａ，
１ｂ間の抵抗値Ｒx を測定する抵抗測定回路において、
測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに接続
される一対の測定ピン１３，１４と、一対の測定ピン１
３，１４を介して測定対象１に一定の電流Ｉを流す定電
流電源装置１１と、測定対象１の一対の端子ピン１ａ，
１ｂそれぞれに接続される一対の測定ピン１５，１６
と、一対の測定ピン１５，１６を介して端子ピン１ａ，
１ｂに現れる電圧を検出し、その差電圧を求める差電圧
測定手段１２とを備え、差電圧測定手段１２で測定され
た電圧値Ｖ3 と定電流電源装置１１が流す電流値Ｉとの
関係からオームの法則により測定対象１の抵抗値Ｒx を
求める。
１ｂ間の抵抗値Ｒx を測定する抵抗測定回路において、
測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに接続
される一対の測定ピン１３，１４と、一対の測定ピン１
３，１４を介して測定対象１に一定の電流Ｉを流す定電
流電源装置１１と、測定対象１の一対の端子ピン１ａ，
１ｂそれぞれに接続される一対の測定ピン１５，１６
と、一対の測定ピン１５，１６を介して端子ピン１ａ，
１ｂに現れる電圧を検出し、その差電圧を求める差電圧
測定手段１２とを備え、差電圧測定手段１２で測定され
た電圧値Ｖ3 と定電流電源装置１１が流す電流値Ｉとの
関係からオームの法則により測定対象１の抵抗値Ｒx を
求める。
【００１２】（４）測定対象１の一対の端子ピン１ａ，
１ｂ間の抵抗値Ｒx を測定する抵抗測定方法において、
測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに一対
の測定ピン１３，１４を接続し、一対の測定ピン１３，
１４を介して測定対象１に一定の電流を流す第１の処理
と、測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂ上にそれぞ
れ一対の測定ピン１５，１６を接続し、一対の測定ピン
１５，１６それぞれに現れる電圧を測定して両者の差電
圧Ｖ3 を求める第２の処理と、第２の処理で測定された
電圧値Ｖ3 と第１の処理で測定対象１に流す電流値Ｉと
の関係からオームの法則により測定対象１の抵抗値Ｒx
を求める第３の処理とを備える。
１ｂ間の抵抗値Ｒx を測定する抵抗測定方法において、
測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂそれぞれに一対
の測定ピン１３，１４を接続し、一対の測定ピン１３，
１４を介して測定対象１に一定の電流を流す第１の処理
と、測定対象１の一対の端子ピン１ａ，１ｂ上にそれぞ
れ一対の測定ピン１５，１６を接続し、一対の測定ピン
１５，１６それぞれに現れる電圧を測定して両者の差電
圧Ｖ3 を求める第２の処理と、第２の処理で測定された
電圧値Ｖ3 と第１の処理で測定対象１に流す電流値Ｉと
の関係からオームの法則により測定対象１の抵抗値Ｒx
を求める第３の処理とを備える。
【００１３】（５）（２），（４）のいずれかに記載の
抵抗測定方法において、一連の処理を繰り返して平均値
を求めるアベレージテストを行って抵抗測定値のばらつ
きを抑制する。
抵抗測定方法において、一連の処理を繰り返して平均値
を求めるアベレージテストを行って抵抗測定値のばらつ
きを抑制する。
【００１４】（６）（２）に記載の抵抗測定方法におい
て、第１の処理と第２の処理を同時に行って抵抗値を得
る。
て、第１の処理と第２の処理を同時に行って抵抗値を得
る。
【００１５】（７）（６）に記載の抵抗測定方法におい
て、一連の処理を繰り返して平均値を求めるアベレージ
テストを追加し、ランダムノイズを除去する。
て、一連の処理を繰り返して平均値を求めるアベレージ
テストを追加し、ランダムノイズを除去する。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に、図１および図２を参照して
本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図１およ
び図２で、図３と同一部分には同一符号を付して示す。
図１は、本発明に係る抵抗測定回路の第１の実施形態の
構成を示すブロック図である。
本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図１およ
び図２で、図３と同一部分には同一符号を付して示す。
図１は、本発明に係る抵抗測定回路の第１の実施形態の
構成を示すブロック図である。
【００１７】この抵抗測定回路は、測定対象１に対して
電流印加電圧測定ユニット５，６を用いる。いずれも図
３に示した電流印加電圧測定ユニット４と同構成のもの
で、それぞれ一定の電流Ｉ1 ，Ｉ2 （Ｉ1 ＝Ｉ2 ）を流
すフォース端子Ｆ1 ，Ｆ2 、測定対象１の電圧降下を測
定するセンス端子Ｓ1 ，Ｓ2 、センス端子Ｓ1 ，Ｓ2の
基準値（０Ｖ）となるＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ1 ，ＳＣＯ
Ｍ2 、フォース端子Ｆ1 ，Ｆ2 からの電流Ｉ1 ，Ｉ2 を
流す電流通路であるＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ1 ，ＰＣＯＭ
2 を備える。
電流印加電圧測定ユニット５，６を用いる。いずれも図
３に示した電流印加電圧測定ユニット４と同構成のもの
で、それぞれ一定の電流Ｉ1 ，Ｉ2 （Ｉ1 ＝Ｉ2 ）を流
すフォース端子Ｆ1 ，Ｆ2 、測定対象１の電圧降下を測
定するセンス端子Ｓ1 ，Ｓ2 、センス端子Ｓ1 ，Ｓ2の
基準値（０Ｖ）となるＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ1 ，ＳＣＯ
Ｍ2 、フォース端子Ｆ1 ，Ｆ2 からの電流Ｉ1 ，Ｉ2 を
流す電流通路であるＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ1 ，ＰＣＯＭ
2 を備える。
【００１８】電流印加電圧測定ユニット５の測定ピン
７，８はそれぞれ測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂに接
続する。電流印加電圧測定ユニット６の測定ピン９，１
０はいずれも測定対象１の端子ピン１ｂ上に接触抵抗、
ライン抵抗等が最も除去できる点に接続する。
７，８はそれぞれ測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂに接
続する。電流印加電圧測定ユニット６の測定ピン９，１
０はいずれも測定対象１の端子ピン１ｂ上に接触抵抗、
ライン抵抗等が最も除去できる点に接続する。
【００１９】上記構成において、以下に本発明に係る抵
抗測定方法について説明する。まず、抵抗値Ｒx を求め
ようとする測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂにそれぞれ
測定ピン７，８を接続し、電流印加電圧測定ユニット５
のフォース端子Ｆ1 から一定の電流Ｉ1 を流す。電流Ｉ
1 は、測定ピン７、端子ピン１ａを経由して測定対象１
を流れ、端子ピン１ｂ、測定ピン８を経由して電流経路
となるＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ1 に流れる。
抗測定方法について説明する。まず、抵抗値Ｒx を求め
ようとする測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂにそれぞれ
測定ピン７，８を接続し、電流印加電圧測定ユニット５
のフォース端子Ｆ1 から一定の電流Ｉ1 を流す。電流Ｉ
1 は、測定ピン７、端子ピン１ａを経由して測定対象１
を流れ、端子ピン１ｂ、測定ピン８を経由して電流経路
となるＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ1 に流れる。
【００２０】この時、測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂ
間に電圧Ｖ1 が誘起される。この誘起電圧Ｖ1 は、測定
ピン７，８を通じて電流印加電圧測定ユニット５のセン
ス端子Ｓ1 とＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ1 との間に電圧降下
となって現れる。この電圧Ｖ1 を電流印加電圧測定ユニ
ット５で測定する。
間に電圧Ｖ1 が誘起される。この誘起電圧Ｖ1 は、測定
ピン７，８を通じて電流印加電圧測定ユニット５のセン
ス端子Ｓ1 とＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ1 との間に電圧降下
となって現れる。この電圧Ｖ1 を電流印加電圧測定ユニ
ット５で測定する。
【００２１】次に、測定ピン９，１０をそれぞれ測定対
象１の端子ピン１ｂに所定の間隔をあけて接続し、電流
印加電圧測定ユニット６のフォース端子Ｆ２から一定の
電流Ｉ2 を流す。この電流Ｉ2 は、測定ピン９、端子ピ
ン１ｂ、測定ピン１０を経由して電流経路となるＰＣＯ
Ｍ2 に流れる。
象１の端子ピン１ｂに所定の間隔をあけて接続し、電流
印加電圧測定ユニット６のフォース端子Ｆ２から一定の
電流Ｉ2 を流す。この電流Ｉ2 は、測定ピン９、端子ピ
ン１ｂ、測定ピン１０を経由して電流経路となるＰＣＯ
Ｍ2 に流れる。
【００２２】この時、端子ピン１ｂ、測定ピン１０に電
圧Ｖ2 が誘起され、その誘起電圧Ｖ2 が電流印加電圧測
定ユニット６のセンス端子Ｓ2 とＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ
2 との間に接触抵抗、ライン抵抗等のＤＣドリフトによ
る電圧降下Ｖ2 となって現れる。この電圧Ｖ2 を第２の
電流印加電圧測定ユニット６で測定する。
圧Ｖ2 が誘起され、その誘起電圧Ｖ2 が電流印加電圧測
定ユニット６のセンス端子Ｓ2 とＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ
2 との間に接触抵抗、ライン抵抗等のＤＣドリフトによ
る電圧降下Ｖ2 となって現れる。この電圧Ｖ2 を第２の
電流印加電圧測定ユニット６で測定する。
【００２３】上述の２測定を各々別々に行い、測定結果
であるＶ1 からＶ2 を減算し、これによって接触抵抗、
ライン抵抗等によるＤＣドリフトを除去した電圧降下Ｖ
が得られる。この電圧Ｖと電流印加電圧測定ユニット５
の出力電流Ｉ1 を用いることで、オームの法則により、
測定対象１の抵抗値Ｒx ＝Ｖ／Ｉ1 を算出することがで
きる。この算出結果は、接触抵抗やライン抵抗等による
ＤＣドリフトが除去されているので、従来に比して極め
て精度の高いものとなっている。
であるＶ1 からＶ2 を減算し、これによって接触抵抗、
ライン抵抗等によるＤＣドリフトを除去した電圧降下Ｖ
が得られる。この電圧Ｖと電流印加電圧測定ユニット５
の出力電流Ｉ1 を用いることで、オームの法則により、
測定対象１の抵抗値Ｒx ＝Ｖ／Ｉ1 を算出することがで
きる。この算出結果は、接触抵抗やライン抵抗等による
ＤＣドリフトが除去されているので、従来に比して極め
て精度の高いものとなっている。
【００２４】さらに、上記の測定方法に、アベレージテ
ストを追加すれば、ランダムノイズも除去することがで
き、より高精度な抵抗測定が可能となる。なお、上記実
施形態では、２台の電流印加電圧測定ユニットを用いて
２測定を行う場合について説明したが、１台の電流印加
電圧測定ユニットだけで２測定を順に行うようにしても
よい。
ストを追加すれば、ランダムノイズも除去することがで
き、より高精度な抵抗測定が可能となる。なお、上記実
施形態では、２台の電流印加電圧測定ユニットを用いて
２測定を行う場合について説明したが、１台の電流印加
電圧測定ユニットだけで２測定を順に行うようにしても
よい。
【００２５】また、２測定を同時に行うことで、テスタ
によるばらつきの誤差を低減することもできる。そし
て、前述のアベレージテストを追加してランダムノイズ
も除去することで、より高精度な抵抗の測定が可能とな
る。
によるばらつきの誤差を低減することもできる。そし
て、前述のアベレージテストを追加してランダムノイズ
も除去することで、より高精度な抵抗の測定が可能とな
る。
【００２６】図２は、この発明による抵抗測定回路の第
２の実施形態の構成を示すブロック図である。図２で
は、測定対象１に対して定電流電源ユニット１１及び差
電圧測定ユニット１２を用いる。定電流電源ユニット１
１は、一定の電流Ｉを流すフォース端子Ｆ3 、フォース
端子Ｆ3 からの電流Ｉを流す電流経路であるＰＣＯＭ端
子ＰＣＯＭ3 、基準値（０Ｖ）の電位となるＳＣＯＭ端
子ＳＣＯＭ3 を備える。また、差電圧測定ユニット１２
は、第１および第２のセンス端子Ｓ41，Ｓ42を備え、各
センス端子Ｓ41，Ｓ42間の差電圧を測定する。
２の実施形態の構成を示すブロック図である。図２で
は、測定対象１に対して定電流電源ユニット１１及び差
電圧測定ユニット１２を用いる。定電流電源ユニット１
１は、一定の電流Ｉを流すフォース端子Ｆ3 、フォース
端子Ｆ3 からの電流Ｉを流す電流経路であるＰＣＯＭ端
子ＰＣＯＭ3 、基準値（０Ｖ）の電位となるＳＣＯＭ端
子ＳＣＯＭ3 を備える。また、差電圧測定ユニット１２
は、第１および第２のセンス端子Ｓ41，Ｓ42を備え、各
センス端子Ｓ41，Ｓ42間の差電圧を測定する。
【００２７】定電流電源ユニット１１のフォース端子Ｆ
３は測定ピン１３を介して測定対象１の端子ピン１ａに
接続され、ＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ3 及びＰＣＯＭ端子Ｐ
ＣＯＭ3 は共に接続ピン１４を介して測定対象１の端子
ピン１ｂに接続される。
３は測定ピン１３を介して測定対象１の端子ピン１ａに
接続され、ＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ3 及びＰＣＯＭ端子Ｐ
ＣＯＭ3 は共に接続ピン１４を介して測定対象１の端子
ピン１ｂに接続される。
【００２８】一方、差電圧測定ユニット１２のセンス端
子Ｓ41は測定ピン１５を介して測定対象１の端子ピン１
ａに接続され、センス端子Ｓ42は測定ピン１６を介して
測定対象１の端子ピン１ｂに接続される。
子Ｓ41は測定ピン１５を介して測定対象１の端子ピン１
ａに接続され、センス端子Ｓ42は測定ピン１６を介して
測定対象１の端子ピン１ｂに接続される。
【００２９】上記構成において、以下に本発明に係る抵
抗測定方法について説明する。まず、抵抗値Ｒx を求め
ようとする測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂにそれぞれ
測定ピン１３，１４を接続し、定電流電源ユニット１１
のフォース端子Ｆ3 から一定の電流Ｉを流す。この電流
Ｉは、測定ピン１３、端子ピン１ａを経由して測定対象
１を流れ、端子ピン１ｂ、測定ピン１４を経由して電流
経路となるＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ3 に流れる。
抗測定方法について説明する。まず、抵抗値Ｒx を求め
ようとする測定対象１の端子ピン１ａ，１ｂにそれぞれ
測定ピン１３，１４を接続し、定電流電源ユニット１１
のフォース端子Ｆ3 から一定の電流Ｉを流す。この電流
Ｉは、測定ピン１３、端子ピン１ａを経由して測定対象
１を流れ、端子ピン１ｂ、測定ピン１４を経由して電流
経路となるＰＣＯＭ端子ＰＣＯＭ3 に流れる。
【００３０】この時、差電圧測定ユニット１２におい
て、測定対象１の端子ピン１ａとＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ
3 間に誘起する電圧がセンス端子Ｓ41に現れ、測定対象
１の端子ピン１ｂとＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ3 間に誘起す
る電圧がセンス端子Ｓ42に現れる。
て、測定対象１の端子ピン１ａとＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ
3 間に誘起する電圧がセンス端子Ｓ41に現れ、測定対象
１の端子ピン１ｂとＳＣＯＭ端子ＳＣＯＭ3 間に誘起す
る電圧がセンス端子Ｓ42に現れる。
【００３１】そこで、差電圧測定ユニット１２で各セン
ス端子Ｓ41，Ｓ42に現れる電圧を測定し、これら２測定
点の差電圧Ｖ3 を求める。この場合、センス端子Ｓ41で
得られる測定電圧とセンス端子Ｓ42で得られる測定電圧
にはいずれも同じ接触抵抗やライン抵抗等によるＤＣド
リフト成分を含んでいる。よってその差電圧を求めるこ
とでＤＣドリフト成分を除去した測定値を求めることが
できる。
ス端子Ｓ41，Ｓ42に現れる電圧を測定し、これら２測定
点の差電圧Ｖ3 を求める。この場合、センス端子Ｓ41で
得られる測定電圧とセンス端子Ｓ42で得られる測定電圧
にはいずれも同じ接触抵抗やライン抵抗等によるＤＣド
リフト成分を含んでいる。よってその差電圧を求めるこ
とでＤＣドリフト成分を除去した測定値を求めることが
できる。
【００３２】したがって、上記の方法で測定した差電圧
Ｖ3 と測定対象１に流している電流Ｉの値を用いてオー
ムの法則に当てはめることにより、高精度な抵抗値Ｒx
を算出することができる。なお、上記実施形態において
も、アベレージテストを追加することで、ランダムノイ
ズを除去した高精度な抵抗測定が可能となる。
Ｖ3 と測定対象１に流している電流Ｉの値を用いてオー
ムの法則に当てはめることにより、高精度な抵抗値Ｒx
を算出することができる。なお、上記実施形態において
も、アベレージテストを追加することで、ランダムノイ
ズを除去した高精度な抵抗測定が可能となる。
【００３３】
【発明の効果】この発明による抵抗測定回路とその抵抗
測定方法によれば、測定対象の抵抗値が比較的小さい場
合でも、その抵抗値を高い精度で測定可能な抵抗測定回
路とその抵抗測定方法を提供することができる。
測定方法によれば、測定対象の抵抗値が比較的小さい場
合でも、その抵抗値を高い精度で測定可能な抵抗測定回
路とその抵抗測定方法を提供することができる。
【図１】この発明に係る抵抗測定回路の第１の実施形態
の構成を示すブロック回路図である。
の構成を示すブロック回路図である。
【図２】本発明に係る抵抗測定回路の第２の実施形態の
構成を示すブロック回路図である。
構成を示すブロック回路図である。
【図３】従来の抵抗測定回路の構成を示すブロック回路
図である。
図である。
１ 測定対象 １ａ，１ｂ 端子ピン ２，３ 測定ピン ４，５，６ 電流印加電圧測定ユニット ７，８，９，１０ 測定ピン １１ 定電流電源ユニット １２ 差電圧測定ユニット Ｆ0 ，Ｆ1 ，Ｆ2 ，Ｆ3 フォース端子 Ｓ0 ，Ｓ1 ，Ｓ2 ，Ｓ3 ，Ｓ41，Ｓ42 センス端子 ＳＣＯＭ0 ，ＳＣＯＭ1 ，ＳＣＯＭ2 ，ＳＣＯＭ3 Ｓ
ＣＯＭ端子 ＰＣＯＭ0 ，ＰＣＯＭ1 ，ＰＣＯＭ2 ，ＰＣＯＭ3 Ｓ
ＣＯＭ端子
ＣＯＭ端子 ＰＣＯＭ0 ，ＰＣＯＭ1 ，ＰＣＯＭ2 ，ＰＣＯＭ3 Ｓ
ＣＯＭ端子
Claims (7)
- 【請求項１】 測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b)
間の抵抗値(Rx)を測定する抵抗測定回路において、 前記測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b) それぞれに
接続される一対の第１の測定ピン(7,8) と、 前記一対の第１の測定ピン(7,8) を介して前記測定対象
(1) に一定の電流を流してその電圧降下を測定する第１
の電圧測定手段(11)と、 前記測定対象(1) のいずれかの端子ピン(1a,1b) 上に接
続される一対の第２の測定ピン(9,10)と、 前記一対の第２の測定ピン(9,10)を介して前記端子ピン
(1a,1b) 上に一定の電流を流してその電圧降下を測定す
る第２の電圧測定手段(12)とを備え、 前記第１の電圧測定手段(11)で測定された電圧値(V1)か
ら前記第２の電圧測定手段(12)で測定された電圧値(V2)
を減算し、その演算結果(V) と前記第１の電圧測定手段
(11)が流す電流値(I) の関係からオームの法則により前
記測定対象(1)の抵抗値(Rx)を求めることを特徴とする
抵抗測定回路。 - 【請求項２】 測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b)
間の抵抗値(Rx)を測定する抵抗測定方法において、 前記測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b) それぞれに
一対の第１の測定ピン(7,8) を接続し、前記一対の第１
の測定ピン(7,8) を介して前記測定対象(1) に一定の電
流を流してその電圧降下を測定する第１の処理と、 前記測定対象(1) のいずれかの端子ピン(1a,1b) 上に一
対の第２の測定ピン(9,10)を接続し、前記一対の第２の
測定ピン(9,10)を介して前記端子ピン(1a,1b)上に一定
の電流を流してその電圧降下を測定する第２の処理と、 前記第１の処理で測定された電圧値(V1)から前記第２の
処理で測定された電圧値(V2)を減算する第３の処理と、 この第３の処理の演算結果(V) と前記第１の処理で前記
測定対象(1) に流す電流値(I) との関係からオームの法
則により前記測定対象(1) の抵抗値(Rx)を求める第４の
処理とを備えることを特徴とする抵抗測定方法。 - 【請求項３】 測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b)
間の抵抗値(Rx)を測定する抵抗測定回路において、 前記測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b) それぞれに
接続される一対の第１の測定ピン(13,14) と、 前記一対の第１の測定ピン(13,14) を介して前記測定対
象(1) に一定の電流(I)を流す定電流電源装置(11)と、 前記測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b) それぞれに
接続される一対の第２の測定ピン(15,16) と、 前記一対の第２の測定ピン(15,16) を介して前記端子ピ
ン(1a,1b) に現れる電圧を検出し、その差電圧を求める
差電圧測定手段(12)を備え、 前記差電圧測定手段(12)で測定された電圧値(V3)と前記
定電流電源装置(11)が流す電流値(I) との関係からオー
ムの法則により前記測定対象(1) の抵抗値(Rx)を求める
ことを特徴とする抵抗測定回路。 - 【請求項４】 測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b)
間の抵抗値(Rx)を測定する抵抗測定方法において、 前記測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b) それぞれに
一対の第１の測定ピン(13,14) を接続し、前記一対の第
１の測定ピン(13,14) を介して前記測定対象(1) に一定
の電流を流す第１の処理と、 前記測定対象(1) の一対の端子ピン(1a,1b) 上にそれぞ
れ一対の第２の測定ピン(15,16) を接続し、前記一対の
第２の測定ピン(15,16) それぞれに現れる電圧を測定し
て両者の差電圧(V3)を求める第２の処理と、 前記第２の処理で測定された電圧値(V3)と前記第１の処
理で前記測定対象(1)に流す電流値(I) との関係からオ
ームの法則により前記測定対象(1) の抵抗値(Rx)を求め
る第３の処理とを備えることを特徴とする抵抗測定方
法。 - 【請求項５】 請求項２，４のいずれかに記載の抵抗測
定方法において、一連の処理を繰り返して平均値を求め
るアベレージテストを行って抵抗測定値のばらつきを抑
制することを特徴とする抵抗測定方法。 - 【請求項６】 請求項２に記載の抵抗測定方法におい
て、前記第１の処理と第２の処理を同時に行って抵抗値
を得ることを特徴とする抵抗測定方法。 - 【請求項７】 請求項６に記載の抵抗測定方法におい
て、一連の処理を繰り返して平均値を求めるアベレージ
テストを追加し、ランダムノイズを除去することを特徴
とする抵抗測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5559897A JPH10239361A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 抵抗測定回路及び抵抗測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5559897A JPH10239361A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 抵抗測定回路及び抵抗測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239361A true JPH10239361A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=13003220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5559897A Pending JPH10239361A (ja) | 1997-02-24 | 1997-02-24 | 抵抗測定回路及び抵抗測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239361A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013083523A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | ４探針抵抗率測定装置 |
| CN110927465A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 深圳供电局有限公司 | 直流电阻测量电路及装置 |
-
1997
- 1997-02-24 JP JP5559897A patent/JPH10239361A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013083523A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | ４探針抵抗率測定装置 |
| CN110927465A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-03-27 | 深圳供电局有限公司 | 直流电阻测量电路及装置 |
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