JPH10227900A - 光電子顕微鏡 - Google Patents
光電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH10227900A JPH10227900A JP3076197A JP3076197A JPH10227900A JP H10227900 A JPH10227900 A JP H10227900A JP 3076197 A JP3076197 A JP 3076197A JP 3076197 A JP3076197 A JP 3076197A JP H10227900 A JPH10227900 A JP H10227900A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- ray
- photoelectron
- sample
- focusing mirror
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- Withdrawn
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光電子顕微鏡において、高分解能の光電子像
を得る。 【解決手段】 Ｘ線源１から放射されたＸ線をＸ線集光
鏡２で収束させて試料４に照射する。Ｘ線集光鏡２はチ
ューブスキャナ３に組み込まれており、チューブスキャ
ナ３に走査用電圧を印加することによってＸ線を面走査
する。そして、その面走査に同期して光電子アナライザ
５によって光電子を測定することによって高分解能な光
電子像を得ることができる。
を得る。 【解決手段】 Ｘ線源１から放射されたＸ線をＸ線集光
鏡２で収束させて試料４に照射する。Ｘ線集光鏡２はチ
ューブスキャナ３に組み込まれており、チューブスキャ
ナ３に走査用電圧を印加することによってＸ線を面走査
する。そして、その面走査に同期して光電子アナライザ
５によって光電子を測定することによって高分解能な光
電子像を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光電子顕微鏡に係り、
特にＸ線で試料上を面走査して高分解能の光電子像を得
ることができる光電子顕微鏡に関する。
特にＸ線で試料上を面走査して高分解能の光電子像を得
ることができる光電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】光電子顕微鏡は、Ｘ線源から放射された
Ｘ線を試料に照射し、そのときに試料から放出される光
電子を検出し、そのエネルギーを分析することによっ
て、試料の元素分析等を行うものであるが、その際、試
料の光電子像を観察できるのが望まれる。
Ｘ線を試料に照射し、そのときに試料から放出される光
電子を検出し、そのエネルギーを分析することによっ
て、試料の元素分析等を行うものであるが、その際、試
料の光電子像を観察できるのが望まれる。
【０００３】光電子像を得るには、試料と照射するＸ線
とを相対的に移動して面走査を行えばよく、従来、試料
を走査する方法と、Ｘ線を走査する方法が知られてい
る。前者としては、例えば、分析領域を制限しておき、
試料を載置したステージを面走査する制限視野法が知ら
れており、後者としては、例えば、Ｘ線モノクロメータ
のＸ線源において、励起電子銃のターゲットへの電子ビ
ームの照射位置を走査することでＸ線の発生位置を変化
させ、試料に照射するＸ線を走査する方法が知られてい
る。
とを相対的に移動して面走査を行えばよく、従来、試料
を走査する方法と、Ｘ線を走査する方法が知られてい
る。前者としては、例えば、分析領域を制限しておき、
試料を載置したステージを面走査する制限視野法が知ら
れており、後者としては、例えば、Ｘ線モノクロメータ
のＸ線源において、励起電子銃のターゲットへの電子ビ
ームの照射位置を走査することでＸ線の発生位置を変化
させ、試料に照射するＸ線を走査する方法が知られてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては何れの方法を用いても光電子像の分解能は50〜
100μｍ程度であり、分解能が低いものであった。
おいては何れの方法を用いても光電子像の分解能は50〜
100μｍ程度であり、分解能が低いものであった。
【０００５】光電子像の分解能を向上させるためには、
試料に照射するＸ線の径を微小にすればよいが、上述し
た従来の方法ではＸ線の径を微小にすると試料から放出
される光電子の強度が弱くなってしまうという問題が生
じ、分解能を向上させるには限界があった。
試料に照射するＸ線の径を微小にすればよいが、上述し
た従来の方法ではＸ線の径を微小にすると試料から放出
される光電子の強度が弱くなってしまうという問題が生
じ、分解能を向上させるには限界があった。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、従来よりも高分解能の光電子像を得ることができ
る光電子顕微鏡を提供することを目的とするものであ
る。
って、従来よりも高分解能の光電子像を得ることができ
る光電子顕微鏡を提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の光電子顕微鏡は、入射Ｘ線を集光するＸ
線集光鏡と、Ｘ線集光鏡を走査することによってＸ線を
試料上で面走査するスキャナとを備えることを特徴とす
る。ここで、スキャナとしてはチューブスキャナを用い
るのが望ましい。
めに、本発明の光電子顕微鏡は、入射Ｘ線を集光するＸ
線集光鏡と、Ｘ線集光鏡を走査することによってＸ線を
試料上で面走査するスキャナとを備えることを特徴とす
る。ここで、スキャナとしてはチューブスキャナを用い
るのが望ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ実施の形
態について説明する。図１は本発明に係る光電子顕微鏡
の概略の構成を示す断面図であり、図中、１はＸ線源、
２はＸ線集光鏡、３はチューブスキャナ、４は試料、５
は光電子アナライザを示す。
態について説明する。図１は本発明に係る光電子顕微鏡
の概略の構成を示す断面図であり、図中、１はＸ線源、
２はＸ線集光鏡、３はチューブスキャナ、４は試料、５
は光電子アナライザを示す。
【０００９】まず、Ｘ線集光鏡２とチューブスキャナ３
について、図２、図３を参照して説明する。
について、図２、図３を参照して説明する。
【００１０】図２はＸ線集光鏡２とチューブスキャナ３
とを示す拡大斜視図であり、図においてはＸ線集光鏡２
の入射口の中心から出射口の中心を結ぶ直線をｚ軸と
し、ｚ軸と直交する面内にｘ軸、ｙ軸をとっている。ま
た、図２において６，７はチューブスキャナ３のｘ方向
走査用圧電素子、８，９はチューブスキャナ３のｙ方向
走査用圧電素子を示している。
とを示す拡大斜視図であり、図においてはＸ線集光鏡２
の入射口の中心から出射口の中心を結ぶ直線をｚ軸と
し、ｚ軸と直交する面内にｘ軸、ｙ軸をとっている。ま
た、図２において６，７はチューブスキャナ３のｘ方向
走査用圧電素子、８，９はチューブスキャナ３のｙ方向
走査用圧電素子を示している。
【００１１】図３は、図２に示すＸ線集光鏡２とチュー
ブスキャナ３とをｚ軸を含む面で切断した断面図を示し
ている。
ブスキャナ３とをｚ軸を含む面で切断した断面図を示し
ている。
【００１２】Ｘ線集光鏡２は、例えば特開平５−２８８
８９８号公報に示されているように入射したＸ線を集光
することができるものであり、その内面は入射Ｘ線が全
反射しながら進むような形状となされている。Ｘ線集光
鏡２を形成する材料としては、Ｘ線源１としてＡｌ−Ｋ
α（1548ｅＶ）を放射するもの、あるいはＭｇ−Ｋα
（1230ｅＶ）を放射するものを用いた場合には、硼珪酸
ガラスを用いることができることが知られている。
８９８号公報に示されているように入射したＸ線を集光
することができるものであり、その内面は入射Ｘ線が全
反射しながら進むような形状となされている。Ｘ線集光
鏡２を形成する材料としては、Ｘ線源１としてＡｌ−Ｋ
α（1548ｅＶ）を放射するもの、あるいはＭｇ−Ｋα
（1230ｅＶ）を放射するものを用いた場合には、硼珪酸
ガラスを用いることができることが知られている。
【００１３】このようなＸ線集光鏡１を用いることによ
って、Ｘ線の強度を落とすことなく試料４の表面上に照
射するＸ線の径を微小なものとすることができる。勿
論、図１において、Ｘ線源１、Ｘ線集光鏡２及び試料４
の位置関係は、Ｘ線源１から放射されたＸ線が試料４上
で収束した状態で照射されるように配置されることは当
然である。
って、Ｘ線の強度を落とすことなく試料４の表面上に照
射するＸ線の径を微小なものとすることができる。勿
論、図１において、Ｘ線源１、Ｘ線集光鏡２及び試料４
の位置関係は、Ｘ線源１から放射されたＸ線が試料４上
で収束した状態で照射されるように配置されることは当
然である。
【００１４】Ｘ線を試料４の表面上で面走査させるため
にはＸ線集光鏡２を面走査させればよい。そのためのス
キャナとしては種々の手段が考えられるが、高精度に面
走査を行えるものが望ましいことから、図２、図３に示
すように、チューブスキャナ３を用いるのがよい。
にはＸ線集光鏡２を面走査させればよい。そのためのス
キャナとしては種々の手段が考えられるが、高精度に面
走査を行えるものが望ましいことから、図２、図３に示
すように、チューブスキャナ３を用いるのがよい。
【００１５】チューブスキャナ３は、Ｘ線集光鏡２を覆
うように、Ｘ線集光鏡２に接して設けられており、ｘ方
向走査用圧電素子６、７、ｙ方向走査用圧電素子８、９
の４つの圧電素子を備えている。これら４つの走査用圧
電素子６，７，８，９は機械的には接続されているが、
電気的には絶縁されており、それぞれの走査用圧電素子
には独立して走査用電圧を印加する構造となされてい
る。つまり、図２、図３に示す構成は、Ｘ線集光鏡２と
チューブスキャナ３とが同軸に組み込まれた構成である
ということができる。
うように、Ｘ線集光鏡２に接して設けられており、ｘ方
向走査用圧電素子６、７、ｙ方向走査用圧電素子８、９
の４つの圧電素子を備えている。これら４つの走査用圧
電素子６，７，８，９は機械的には接続されているが、
電気的には絶縁されており、それぞれの走査用圧電素子
には独立して走査用電圧を印加する構造となされてい
る。つまり、図２、図３に示す構成は、Ｘ線集光鏡２と
チューブスキャナ３とが同軸に組み込まれた構成である
ということができる。
【００１６】以上の構成において、例えば、一方のｘ方
向走査用圧電素子６には正の走査用電圧、例えば鋸歯状
波電圧を印加し、他方のｘ方向走査用圧電素子７には負
の走査用電圧を印加することによってＸ線集光鏡２をｘ
方向に走査することができることは明らかである。同様
に、一方のｙ方向走査用圧電素子８には正の走査用電圧
を印加し、他方のｙ方向走査用圧電素子９には負の走査
用電圧を印加することによってＸ線集光鏡２をｙ方向に
走査することができることは明らかである。
向走査用圧電素子６には正の走査用電圧、例えば鋸歯状
波電圧を印加し、他方のｘ方向走査用圧電素子７には負
の走査用電圧を印加することによってＸ線集光鏡２をｘ
方向に走査することができることは明らかである。同様
に、一方のｙ方向走査用圧電素子８には正の走査用電圧
を印加し、他方のｙ方向走査用圧電素子９には負の走査
用電圧を印加することによってＸ線集光鏡２をｙ方向に
走査することができることは明らかである。
【００１７】従って、ｘ方向走査用圧電素子６、７、ｙ
方向走査用圧電素子８、９にそれぞれ走査用電圧を印加
することによってＸ線集光鏡２をｘ方向、ｙ方向に走査
することができるので、Ｘ線をｘ−ｙ平面内で面走査す
ることができる。
方向走査用圧電素子８、９にそれぞれ走査用電圧を印加
することによってＸ線集光鏡２をｘ方向、ｙ方向に走査
することができるので、Ｘ線をｘ−ｙ平面内で面走査す
ることができる。
【００１８】以上のようであるので、図１において、Ｘ
線源１からＸ線を放射し、チューブスキャナ３のｘ方向
走査用圧電素子６、７、ｙ方向走査用圧電素子８、９に
それぞれ走査用電圧を印加することによって、試料４上
で微小径に収束されたＸ線を面走査することができる。
そして、このＸ線の面走査に同期して光電子アナライザ
５によって光電子を測定することによって光電子像を得
ることができる。
線源１からＸ線を放射し、チューブスキャナ３のｘ方向
走査用圧電素子６、７、ｙ方向走査用圧電素子８、９に
それぞれ走査用電圧を印加することによって、試料４上
で微小径に収束されたＸ線を面走査することができる。
そして、このＸ線の面走査に同期して光電子アナライザ
５によって光電子を測定することによって光電子像を得
ることができる。
【００１９】以上のように、この光電子顕微鏡によれ
ば、Ｘ線集光鏡２を用いているので、従来のように強度
を落とすことなくＸ線を微小径に収束させることがで
き、またチューブスキャナ３によってＸ線を高精度に面
走査できるので、従来より高分解能の光電子像を得るこ
とができる。
ば、Ｘ線集光鏡２を用いているので、従来のように強度
を落とすことなくＸ線を微小径に収束させることがで
き、またチューブスキャナ３によってＸ線を高精度に面
走査できるので、従来より高分解能の光電子像を得るこ
とができる。
【００２０】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく
種々の変形が可能であることは当業者に明らかである。
たが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく
種々の変形が可能であることは当業者に明らかである。
【図１】 本発明に係る光電子顕微鏡の一実施形態の断
面図である。
面図である。
【図２】 図１におけるＸ線集光鏡２とチューブスキャ
ナ３とを示す拡大斜視図である。
ナ３とを示す拡大斜視図である。
【図３】 図２に示すＸ線集光鏡２とチューブスキャナ
３とをｚ軸を含む面で切断した断面図である。
３とをｚ軸を含む面で切断した断面図である。
１…Ｘ線源、２…Ｘ線集光鏡、３…チューブスキャナ、
４…試料、５…光電子アナライザ、６，７…ｘ方向走査
用圧電素子、８，９…ｙ方向走査用圧電素子。
４…試料、５…光電子アナライザ、６，７…ｘ方向走査
用圧電素子、８，９…ｙ方向走査用圧電素子。
Claims (2)
- 【請求項１】入射Ｘ線を集光するＸ線集光鏡と、 Ｘ線集光鏡を走査することによってＸ線を試料上で面走
査するスキャナとを備えることを特徴とする光電子顕微
鏡。 - 【請求項２】前記スキャナはチューブスキャナであるこ
とを特徴とする請求項１記載の光電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076197A JPH10227900A (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 光電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076197A JPH10227900A (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 光電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10227900A true JPH10227900A (ja) | 1998-08-25 |
Family
ID=12312680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076197A Withdrawn JPH10227900A (ja) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | 光電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10227900A (ja) |
-
1997
- 1997-02-14 JP JP3076197A patent/JPH10227900A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |