JPH10225150A

JPH10225150A - 駆動装置

Info

Publication number: JPH10225150A
Application number: JP9026427A
Authority: JP
Inventors: Ryuichi Yoshida; 龍一吉田
Original assignee: Minolta Co Ltd
Current assignee: Minolta Co Ltd
Priority date: 1997-02-10
Filing date: 1997-02-10
Publication date: 1998-08-21

Abstract

(57)【要約】【課題】ストロークが長く、かつ、駆動方向と被駆動
部材の移動の案内方向との平行度が十分でなくても駆動
が可能な駆動装置を提供する。【解決手段】ベース１２の上方にリニアベアリング１
４によりステージ３０を移動可能に支持する。一対の案
内摩擦部材１６，１７を、支持ばね１８によってテージ
３０の移動方向と平行に弾力的に支持し、その間に、質
量の大きい移動体２４に圧電素子２２と質量の小さい駆
動軸２７とが直列に結合されてなる移動ユニット２０を
配置し、移動体２４をステージ本体３０ａの裏面に固定
し、駆動軸２７の球形状の本体部２７ａと案内摩擦部材
１６，１７の対向する平面１６ｚ，１７ｚとを摩擦結合
する。圧電素子２２を所定パターンで伸縮させて移動体
２４とステージ３０とを駆動するときに、ステージ３０
の案内方向と駆動方向とがずれても、案内移動部材１
６，１７は駆動軸２７の振れに追従する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動装置に関し、
詳しくは、圧電素子を用いて移動体を駆動する駆動装置
に関し、例えば、ＸＹ駆動テーブル、カメラの撮影レン
ズや走査型トンネル電子顕微鏡のプローブの駆動装置に
好適な駆動装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ステッピングモータの代わりに圧
電リニアアクチュエータを用いて、サブμｍオーダの高
分解能を達成した駆動装置が提案されている。

【０００３】たとえば、図１（I）の分解斜視図および
（II）の組立斜視図に要部示した駆動装置１１０は、不
図示のベースに固定する固定部材１２４と、圧電素子１
２２と、固定部材１２４に摺動可能に支持された駆動軸
１２６と、不図示の被駆動部材、たとえば部品を載置す
るステージ等に結合される駆動ユニット１２８とを備え
る。圧電素子１２２は、電気機械変換素子の一種であっ
て、電圧の印加によって長さが変化する。圧電素子１２
２は、その伸縮方向の一方の端面１２２ａが固定部材１
２４に固着結合され、その伸縮方向の他方の端面１２２
ｂには駆動軸１２６の一方の軸端面１２６ａが固着結合
されている。駆動軸１２６には、駆動ユニット１２８が
摩擦係合するようになっている。この駆動装置１１０
は、圧電素子１２２に、たとえばノコギリ波状の周期的
なパルス電圧を加え、駆動軸１２６を軸方向に往復振動
させ、駆動ユニット１２８を駆動軸１２６に沿って所定
方向に動かすことができるようになっている。

【０００４】ところで、このような駆動装置１１０で
は、被駆動部材の移動範囲、すなわち駆動ユニット１２
８のストロークを長くしようと思えば、駆動軸１２６を
長くする必要がある。しかし、駆動軸１２６を長くする
と駆動軸１２６の質量が増し、圧電素子１２２の応答性
が落ち、高周波での駆動ができなくなり、結果として被
駆動部材の移動速度の低下を招くことになる。したがっ
て、この駆動装置１１０は、被駆動部材の速度を維持し
たままストロークを長くすることは困難であった。

【０００５】また、圧電素子の変位そのものを使ったス
テージも提案されている。しかし、このようなステージ
は、変位量があまりとれなかった。

【０００６】一方、駆動装置として自走式圧電リニアア
クチュエータ、すなわち図２の模式図に示したインパク
ト式アクチュエータを用いて、非常に高分解能でストロ
ークの長い駆動装置１００が提案されている。

【０００７】すなわち、この駆動装置１００は、図２
（Ａ）〜（Ｃ）に示したように、不図示の被駆動部材、
たとえばステージ等が結合された移動体１０６の一方の
端面１０６ａに、圧電素子１０２の伸縮方向の一方の端
面１０２ａが固着結合され、圧電素子１０２の伸縮方向
の他方の端面１０２ｂには、慣性体１０４が固着結合さ
れいる。そして、動かそうとする主体である移動体１０
６は、支持面１０８上に載置され、移動体１０６の底面
１０６ａが支持面１０８に摩擦接触して、摩擦力が発生
するようになっている。この駆動装置１００は、たとえ
ば図２（Ｄ）に示したノコギリ波状の周期的なパルス電
圧８０を圧電素子１０２に加え、圧電素子１０２が緩や
かに伸びて、図２（A）の状態から図２（B）の状態に慣
性体１０４が動き、次に圧電素子１０２が急速に縮み、
慣性体１０４の衝撃で、図２（Ｂ）の状態から図２
（Ｃ）の状態に移動体１０６が動くようにして、移動体
１０６に結合した被駆動部材を移動する。この駆動装置
１００は、移動体１０６が支持面１０８上を移動するの
で、支持面１０８を長くすれば、原理上は、ストローク
をいくらでも長くすることができる。

【０００８】しかし、この駆動装置１００は、移動体１
０６と被駆動部材とを別個独立に案内するように構成さ
れている。したがって、移動体１０６の駆動方向と、被
駆動部材の移動の案内方向との平行度が十分でないと、
被駆動部材を駆動できないという問題があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明が
解決しようとする技術的課題は、ストロークが長く、か
つ、駆動方向と被駆動部材の移動の案内方向との平行度
が十分でなくても駆動が可能な駆動装置を提供すること
である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために、本発明は以下の構成の駆動装置を提供する。

【００１１】駆動装置は、ベースと、このベースに対し
て移動するステージと、駆動パルス発生手段に接続され
て伸縮する電気機械変換素子を含み、この電気機械変換
素子の伸縮によって上記ステージを上記ベースに対して
移動させる駆動ユニットとを備える。上記駆動ユニット
は、上記ステージに固着結合された移動体と、その伸縮
方向が上記ステージの移動方向に一致するように配置さ
れ、その伸縮方向の一端が上記移動体に固着結合された
電気機械変換素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向の
他端に固着結合され、上記移動体より質量が小さい駆動
摩擦部材とを有する。駆動装置は、案内摩擦部材と、案
内手段とを備える。上記案内摩擦手段は、上記ベースに
支持され、上記ステージの移動方向に対して直角方向の
上記駆動ユニットの上記駆動摩擦部材の変位に追従して
移動して、上記駆動摩擦部材に摩擦結合する。上記案内
手段は、上記ステージをその移動方向に案内する。

【００１２】上記構成において、駆動ユニットは、駆動
パルス発生手段によって適宜のパターンで電気機械変換
素子が伸縮することによって、摩擦結合している案内摩
擦面に沿って間欠的に移動する。たとえば、一例を挙げ
ると、電気機械変換素子が一方向にゆっくりと伸びる
と、駆動摩擦部材と案内摩擦部材とは摩擦結合している
ので、駆動摩擦部材は案内摩擦部材に対して静止した状
態を保ち、移動体が電気機械変換素子の伸び方向に移動
し、したがって、移動体が固着結合されたステージは、
同じ方向に駆動される。一方、電気機械変換素子が逆方
向に急激に縮むと、移動体の質量は駆動摩擦部材の質量
よりも小さく、したがって、ステージおよび移動体は慣
性力によって静止し、駆動摩擦部材が案内摩擦部材に対
して滑り、移動する。これによって、電気機械変換素子
は、ステージを駆動することなく、元の長さになり、再
びステージを駆動することが可能な状態となる。

【００１３】上記構成において、移動ユニットは案内摩
擦部材に沿って移動するので、案内摩擦部材を長くすれ
ば、ストロークを長くすることができる。駆動ユニット
は、案内摩擦部材の長さに関係なく、同じように駆動す
るので、ストロークを長くしても、ステージの移動速度
が低下することはない。

【００１４】上記構成においては、ステージは、案内手
段により、その移動方向が案内される。一方、駆動ユニ
ットは、案内摩擦部材に沿って、すなわち案内摩擦部材
の案内方向に、移動する。そして、ステージの案内方向
と移動ユニットの移動方向との平行度が十分ではないと
き、移動ユニットの移動体はステージに固着結合されて
いるので、移動ユニットの駆動摩擦部材は、ステージの
案内方向に対して直角方向に変位するが、案内摩擦部材
は、この変位に追従して移動する。したがって、駆動摩
擦部材と案内摩擦部材との摩擦結合状態は保たれ、駆動
摩擦部材は案内摩擦部材に沿って駆動される。

【００１５】以上のように、上記構成の駆動装置は、ス
トロークが長く、かつ、駆動方向と被駆動部材の案内方
向との平行度が十分でなくても駆動が可能である。

【００１６】好ましくは、上記駆動ユニットの上記駆動
摩擦部材と、上記案内摩擦部材とは、点接触または線接
触により、摩擦結合する。

【００１７】上記構成において、駆動摩擦部材の移動方
向と被駆動部材の移動案内方向とが平行からずれたとき
に、被駆動部材は、案内摩擦部材との接触部分から抵抗
を受けることになる。この抵抗力は、被駆動部材と案内
摩擦部材と点接触または線接触するときには接触面積が
小さくなるので、小さくなる。

【００１８】したがって、駆動摩擦部材の移動方向と被
駆動部材の移動案内方向とが平行からずれることによっ
て受ける悪影響を、できるだけ小さくすることができ
る。

【００１９】好ましくは、上記案内摩擦部材は、上記ス
テージの移動方向に直角な方向に変位可能に支持された
少なくとも２部材からなり、該２部材は、上記駆動ユニ
ットの上記駆動摩擦部材を挟持して、上記駆動摩擦部材
との間に摩擦力を発生させる。

【００２０】上記構成によれば、駆動摩擦部材の移動方
向とステージの案内方向とが平行からずれたときには、
案内摩擦部材がステージの移動方向に対して直角方向に
移動する。

【００２１】したがって、簡単な構成で、案内摩擦部材
は、ステージの移動方向に対して直角方向の駆動摩擦部
材の変位に追従して移動して、駆動摩擦部材に摩擦結合
する。

【００２２】好ましくは、上記駆動ユニットの上記駆動
摩擦部材は、球形状の本体部と、この本体部の中心軸に
沿って両側に突設された一対の軸部とからなる。上記移
動体は、上記駆動摩擦部材の上記一対の軸部を、上記電
気機械変換素子の伸縮方向に移動可能に支持する。上記
案内摩擦部材は、上記駆動ユニットの上記駆動部材の上
記本体部に接触する平面を有する。

【００２３】上記構成において、球形状の駆動摩擦部材
の本体部は、駆動案内部材の平面に、駆動摩擦部材の中
心軸に関して対称な２点で点接触する。したがって、駆
動摩擦部材には、電気機械変換素子との固着を剥がそう
とする有害なモーメントが作用しない。また、駆動摩擦
部材は、移動体によって移動方向が案内され、横ぶれが
防止される。したがって、高速駆動が可能である。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る駆動装置の各
実施形態について、図３〜図５を参照しながら説明す
る。

【００２５】まず、第１実施形態について、図３の分解
斜視図および図４の正面図を参照しなら説明する。

【００２６】第１実施形態の駆動装置１０は、概略的に
は、ベース１２の上方にリニアベアリング１４によりス
テージ３０を移動可能に支持し、ベース１２とステージ
３０との間に、駆動ユニット２０と案内摩擦部材１６，
１７等からなる駆動機構を設け、この駆動機構によって
ステージ３０を駆動するように、構成されている。

【００２７】すなわち、ベース１２の上面１２ａには一
対のリニアベアリング１４の第１部材１４ａが互いに平
行に固定され、一対のリニアベアリング１４の第２部材
１４ｂはステージ本体３０ａの裏面の取り付け部３０
ｂ，３０ｃに取り付けられ、ステージ３０は、ベース１
２に対して直線移動できるように支持されている。

【００２８】ベース１２とステージ３０との間には、ス
テージ３０を駆動する駆動機構が設けられている。すな
わち、ステージ本体３０ａの裏面３０ｓには駆動ユニッ
ト２０が固定され、この駆動ユニット２０の駆動軸２７
を挟持する一対の案内摩擦部材１６，１７がベース１２
の上面１２ａに設けられている。詳しくは、一対の案内
摩擦部材１６，１７は、ベース１２の上面１２ａに固定
された支持ばね１８によって、ベース１２とステージ３
０との間の空間内に浮いた状態で、一対のリニアベアリ
ング１４と平行に支持されている。つまり、一対の案内
摩擦部材１６，１７は、その互いに対向する平面１６
ｚ，１７ｚが一対のリニアベアリング１４と平行に延在
するようになっている。

【００２９】駆動ユニット２０は、圧電素子２２と、移
動体２４と、駆動軸２７とから構成される。圧電素子２
２は、電気機械変換素子の一種であって、複数の圧電基
板を積層してなり、電圧を印加すると長さが変化する応
答性の優れた素子である。駆動軸２４は、駆動摩擦部材
である。移動体２４には、ステンレス鋼を、駆動軸２７
には、密度が低く、剛性が高く、摺動性の良い材料であ
るカーボンファイバーを用いているので、駆動軸２７
は、移動体２４の質量より小さい。

【００３０】移動体２４は、大略柱状の形状を有し、そ
の中央には上面２０ｘ側から切り欠かれた第１凹部２５
ａを有し、一方の端部２４ｃ側には上面２０ｘ側から切
り欠かれた第２凹部２５ｂを有する。移動体２４の両端
部２４ａ，２４ｃには、ステージ３０をねじ３２を用い
て取り付けるためのねじ穴２４ｓ，２４ｔがそれぞれ形
成されている。

【００３１】第１凹部２５ａには、圧電素子２２の伸縮
方向が移動体２４の長手方向と一致する状態で、圧電素
子２２が収納され、圧電素子２２の伸縮方向の一方の端
面が、第２凹部２５ｂとは反対側の移動体２４の立面２
４ｋに接着固定されている。

【００３２】第２凹部２５ｂには、駆動軸２７が収納さ
れる。駆動軸２７は、球形状の本体部２７ａと、その中
心軸に沿って両側に突出した一対の軸部２７b，２７ｃ
とからなる。第２凹部２５ｂの両側、すなわち移動体２
４の中間壁部２４ｂと一方の端部２４ｃとには、長手方
向に貫通穴が形成され、駆動軸２７の軸部２７ｂ，２７
ｃがそれぞれ挿入され、駆動軸２７が軸方向に摺動可能
に軸支されるようになっている。駆動軸２７の一方の軸
部２７ｂの軸端面は、圧電素子２２の伸縮方向の他方の
端面に接着固定されている。駆動軸２７の本体部２７ａ
は、その直径が移動体２４の幅より大きい。そのため、
駆動軸２７の本体部２７の外周面２７ｓは、移動体２４
の両側の側面２４ｚから外側にはみ出すようになってい
る。

【００３３】駆動ユニット２０は、図４に示すように、
移動体２４がねじ３２を用いてステージ３０の裏面３０
ｓに固定され、一対の案内摩擦部材１６，１７の対向す
る平面１６ｚ，１７ｚの間に配置され、駆動軸２７の本
体部２７ａが案内摩擦部材１６，１７に挟み込まれて摩
擦結合するようになっている。挟み込む力は、一対の案
内摩擦部材１６，１７を支持する支持ばね１８のばね力
によって与えられる。支持ばね１８は、案内摩擦部材１
６，１７の長手方向、すなわち駆動ユニット２０の移動
方向には剛性が高く、移動方向に垂直な方向には緩い弾
性を持っている。

【００３４】上記のように構成された駆動装置１０は、
圧電素子２２に適宜な波形のパルス電圧を印加すること
によって、駆動ユニット２０を案内摩擦部材１６，１７
に対して移動させ、それによってステージ３０を移動さ
せる。

【００３５】すなわち、たとえば図２（Ｄ）に示したノ
コギリ波状のパルス電圧８０を圧電素子２２に印加した
場合には、符号８０ａで示すように、パルス電圧８０が
緩やかに立ち上がりるときには、圧電素子２２が緩やか
に伸び、駆動ユニット２０の駆動軸２７と案内摩擦部材
１６，１７とは滑ることなく接触した状態を保ち、移動
体２４およびステージ３０が圧電素子２２の伸び方向、
すなわち図３において矢印４０で示す方向に移動され
る。

【００３６】次に、符号８０ｂで示すように、パルス電
圧８０が急に立ち下がるときには、圧電素子２２は急激
に縮み、駆動軸２７に比べて質量がはるかに大きい移動
体２４およびステージ３０は慣性力により案内摩擦部材
１６、１７に対して静止した状態を保ち、質量が小さい
駆動軸２７が案内摩擦部材１６，１７に対して滑り、駆
動軸２７が圧電素子２２の縮み方向、すなわち図３にお
いて矢印４０で示す方向に移動する。

【００３７】このように移動体２４およびステージ３０
と駆動軸２７との矢印４０方向の移動を交互に繰り返す
ことによって、駆動ユニット２０およびステージ３０を
矢印４０で示す方向、すなわち駆動軸２７から圧電素子
２２に向かう方向に間欠的に移動することができる。

【００３８】一方、上記とは逆向きのパルス電圧、すな
わち急激な立ち上がりと緩やかな立ち下りとからなる波
形のパルス電圧を圧電素子２２に印加すれば、上記とは
逆に、圧電素子２２が急激に伸びるときに、駆動軸２７
は案内摩擦部材１６，１７に対して滑り、図３において
矢印４１で示す方向に移動する一方、圧電素子２２がゆ
っくり縮むときに、移動体２４およびステージ３０は、
図３において矢印４１で示す方向に移動する。したがっ
て、駆動ユニット２０およびステージ３０を、図３にお
いて矢印４１で示す方向、すなわち圧電素子２２から駆
動軸２７に向かう方向に間欠的に移動させることができ
る。

【００３９】なお、パルス電圧の周波数を上げていく
と、駆動軸２７が常に滑る状態へ変遷していくが、その
場合でも摩擦による力積（動摩擦力×滑り時問）の方向
による違いにより、駆動ユニット２０およびステージ３
０を所定の方向に駆動することができる。すなわち、駆
動軸２７の一方向への滑り量Ｌ１がそれと反対方向への
滑り量Ｌ２より大きければ、駆動軸２７は、結果的に一
方向に（Ｌ１−Ｌ２）だけ滑ることになる。

【００４０】また、印加するパルス電圧の波形はノコギ
リ波状に限らず、たとえば全波整流波状等の適宜の波形
とすることができる。

【００４１】このように、駆動軸２７は、案内摩擦部材
１６，１７に摩擦結合した状態で案内摩擦部材１６，１
７に沿って移動するので、案内摩擦部材１６，１７を長
くすれば駆動装置１０のストロークを長くすることがで
きる。この駆動装置１０は、このようにストロークを長
くしても、同じ駆動ユニット２０を用いて同じようにし
てステージ３０を駆動することができるので、インパク
ト式アクチュエータを用いた従来の駆動装置とは異な
り、駆動速度の低下等の悪影響を生じない。

【００４２】ところで、駆動ユニット２０の移動体２４
はステージ３０に固定され、ステージ３０はリニアベア
リング１４によって移動方向が案内されているので、駆
動軸２７は、ステージ３０の案内方向に移動する。案内
摩擦部材１６，１７は、支持ばね１８によって支持され
ていて、ステージ３０の案内方向に対して直角方向、す
なわち図３において矢印４２で示す方向に弾力的に移動
可能である。そのため、駆動軸２７が摩擦結合する案内
摩擦部材１６，１７の対向する平面１６ｚ，１７ｚの向
きがステージ３０の案内方向から多少ずれても、駆動軸
２７の位置に合うように、案内摩擦部材１６，１７が移
動して、駆動軸２７と案内摩擦部材１６，１７とは一定
の摩擦結合状態を保つ。

【００４３】したがって、上記構成の駆動装置１０は、
ストロークが長く、駆動軸２７の駆動方向とステージ３
０の案内方向との平行度が十分でなくてもステージ３０
の駆動が可能である。

【００４４】さらに、駆動軸２７の球形状の本体部２７
ａは案内摩擦部材１６，１７の対向する平面１６ｚ，１
７ｚに軸対称な２点で点接触するので、支持ばね１８で
支持された案内摩擦部材１６，１７の対向する平面１６
ｚ，１７ｚが駆動ユニット２０の駆動方向４０，４１に
直角な面内で回転しても、すなわち図４において左また
は右に傾いても、駆動軸２７を上方または下方に押さえ
込む力はほとんど発生しない。したがって、駆動軸２７
には、圧電素子２２との接着を剥がす有害なモーメント
は作用しないので、圧電素子２２で発生した力を有効に
利用することができる。

【００４５】また、駆動軸２７の質量は移動体２４およ
びステージ３０の質量よりはるかに小さく、駆動軸２７
を高周波数で駆動することが可能となる。また、駆動軸
２８には摺動性の良い材料を用いているので、駆動速度
の安定性も高くなる。さらに、駆勤軸２７は、移動体２
４の中間壁２４ｂおよび一方の端部２４ｃの貫通穴によ
ってガイドされていて、高周波駆動時に横ぶれが少なく
なるので、高周波での速度安定性が高くなる。

【００４６】次に、駆動軸２７’が案内摩擦部材１６，
１７に線接触するようにした第２実施形態について、図
５の斜視図を参照しながら説明する。

【００４７】第２実施形態は、駆動ユニット２０’の駆
動軸２７’の本体部２７ａ’を、球形状ではなく、円筒
形状にした点のみが第１実施形態と異なる。すなわち、
駆動軸２７’は、本体部２７’の円筒中心軸に沿って両
側に軸部２７ｂ，２７ｃを有する。そして、駆動軸２
７’の本体部２７ａ’は、案内摩擦部材１６，１７と線
接触して摩擦結合する。このとき、支持ばね１８で支持
された案内摩擦部材１６，１７の対向する平面１６ｚ，
１７ｚが、駆動ユニット２０’の駆動方向４０，４１に
直角な面内で回転しても、第１実施形態と同様に、駆動
軸２７’を上方または下方に押さえ込む力はほとんど発
生しないので、駆動軸２７’は安定して高速に駆動され
る。

【００４８】以上説明したように、第１および第２実施
形態の駆動装置は、ストロークが長く、かつ、駆動方向
と被駆動部材の移動の案内方向との平行度が十分でなく
ても、高速駆動が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の圧電リニアアクチュエータを用いた駆
動装置の要部斜視図である。

【図２】従来のインパクト式アクチュエータを用いた
駆動装置の説明図である。

【図３】本発明の第１実施形態の駆動装置の斜視図で
ある。

【図４】図３の駆動装置の正面図である。

【図５】本発明の第２実施形態の駆動装置の駆動ユニ
ットの斜視図である。

【符号の説明】

１０駆動装置１２ベース１４リニアベアリング１４ａ第１部材１４ｂ第２部材１６案内摩擦部材１６ｚ平面１７案内摩擦部材１７ｚ平面１８支持ばね２０，２０’ 駆動ユニット２０ｘ上面２２圧電素子（電気機械変換素子）２４移動体２４ａ端部２４ｂ中間壁部２４ｃ端部２４ｓ，２４ｔねじ穴２５ａ，２５ｂ凹部２７，２７’ 駆動軸（駆動摩擦部材）２７ａ，２７ａ’ 本体部２７ｂ，２７ｃ軸部３０ステージ３０ａステージ本体３０ｂ，３０ｃベアリング取り付け部３０ｓ裏面３２ねじ４０，４１駆動方向４２直角方向

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベースと、該ベースに対して移動するステージと、駆動パルス発生手段に接続されて伸縮する電気機械変換
素子を含み、該電気機械変換素子の伸縮によって上記ス
テージを上記ベースに対して移動させる駆動ユニットと
を備える駆動装置において、上記駆動ユニットは、上記ステージに固着結合された移
動体と、その伸縮方向が上記ステージの移動方向に一致
するように配置され、その伸縮方向の一端が上記移動体
に固着結合された電気機械変換素子と、該電気機械変換
素子の伸縮方向の他端に固着結合され、上記移動体より
質量が小さい駆動摩擦部材とを有し、上記ベースに支持され、上記ステージの移動方向に対し
て直角方向の上記駆動ユニットの上記駆動摩擦部材の変
位に追従して移動して、上記駆動摩擦部材に摩擦結合す
る案内摩擦部材と、上記ステージをその移動方向に案内する案内手段とを備
えたことを特徴とする、駆動装置。
【請求項２】上記駆動ユニットの上記駆動摩擦部材
と、上記案内摩擦部材とは、点接触または線接触によ
り、摩擦結合することを特徴とする、請求項１記載の駆
動装置。
【請求項３】上記案内摩擦部材は、上記ステージの移
動方向に直角な方向に変位可能に支持された少なくとも
２部材からなり、該２部材は、上記駆動ユニットの上記
駆動摩擦部材を挟持して、上記駆動摩擦部材との間に摩
擦力を発生させることを特徴とする、請求項２記載の駆
動装置。
【請求項４】上記駆動ユニットの上記駆動摩擦部材
は、球形状の本体部と、該本体部の中心軸に沿って両側
に突設された一対の軸部とからなり、上記移動体は、上記駆動摩擦部材の上記一対の軸部を、
上記電気機械変換素子の伸縮方向に移動可能に支持し、上記案内摩擦部材は、上記駆動ユニットの上記駆動部材
の上記本体部に接触する平面を有することをを特徴とす
る、請求項３記載の駆動装置。