JP3168843B2 - 駆動装置 - Google Patents

駆動装置

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JP3168843B2
JP3168843B2 JP24033994A JP24033994A JP3168843B2 JP 3168843 B2 JP3168843 B2 JP 3168843B2 JP 24033994 A JP24033994 A JP 24033994A JP 24033994 A JP24033994 A JP 24033994A JP 3168843 B2 JP3168843 B2 JP 3168843B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電気機械変換素子を用い
て被駆動部材を駆動するための駆動装置に関する。例え
ば、カメラの撮影レンズやオーバーヘッドプロジェクタ
などの投影レンズ、双眼鏡のレンズ、複写機のレンズな
ど、光学装置におけるレンズの駆動の他、プロッタやX
−Y駆動テーブルのような装置など、駆動部を有する装
置一般に用いる駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
特開平4−69070号に開示されるものがある。その
内容について図9の概略図を用いて説明する。
【0003】図9(a)はレンズの駆動装置であり、1
01はレンズを保持する鏡筒、103は鏡筒を支持する
とともに光軸方向に案内するガイドバーである。ガイド
バー103は鏡筒101から伸びる支持部101eに形
成されたフォーク101fを貫通することによって鏡筒
101を支持、案内する。
【0004】117は鏡筒支持部材兼駆動棒であり、上
記支持部101eと協働して鏡筒101を支持するとと
もに鏡筒101を軸方向に駆動するためのものである。
該駆動棒117は駆動棒支持部材113に設けられた立
ち上がり部113a、113cに形成される孔113
b、113dに挿入されており、軸方向に移動可能とな
っている。そして、該駆動棒117は、鏡筒101から
上記指示部101eとは反対方向に伸びるコ字状部10
1kの両端101a、101cに形成された孔101
b、101dを貫通している。さらに、駆動棒117の
後端は圧電素子112の前端に固定されている。該圧電
素子112の後端は駆動棒支持部材113のもう一つの
立ち上がり部113eに固定されている。
【0005】さらに、板バネ114がネジ115及び1
16により鏡筒101の上記両端101a、101cに
図中下方から取り付けられている。該板バネ114は駆
動棒117と平行になるようになっている。また、該板
バネ114の略中央には図中上方に突出した摩擦部11
4cが形成されており、これが駆動棒117に接触(圧
接)することによって鏡筒101と駆動棒117との間
に摩擦が発生し、鏡筒101の駆動が可能であるように
なっている。摩擦は板バネ114のバネ圧により発生す
るものである。
【0006】図9(b)は圧電素子112にかけられる
電圧波形を示したものである。そして、図9(b)
(A)は図9(a)において鏡筒101を右方向に動か
すときに圧電素子112にかけられる電圧波形を、図1
4(b)(B)は図9(a)において鏡筒101を左方
向に動かすときに圧電素子112にかけられる電圧波形
を示す。
【0007】図9(b)(A)のような電圧波形が圧電
素子112にかけられると電圧Aから電圧Cへ変化する
急激な立ち上がり部において圧電素子112は急激に伸
びる。このとき、駆動棒117も圧電素子112の伸び
量と同じ量だけ図9(a)において左方向に移動する。
しかしこの場合、鏡筒101は慣性のため少ししか移動
しない。逆に電圧Cから電圧Aへとゆっくり変化すると
きは圧電素子112はゆっくり縮み、鏡筒101と駆動
棒117との摩擦力や板バネ114と駆動棒117との
摩擦力により鏡筒101は図9(a)において右方向に
移動する。
【0008】鏡筒101を図9(a)において左方向に
移動する場合は図14(b)(B)のような電圧を圧電
素子112にかけ、そのときの動きは上記右方向に駆動
する場合とちょうど左右逆になる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図9に示すよ
うな従来の構成では、圧電素子112が急激に伸縮した
場合においても、鏡筒101と駆動棒117との間の動
摩擦力によって鏡筒101は多少駆動棒117とともに
移動する。そのため、本来移動させたい方向とは逆に鏡
筒101が戻ってしまうことになり、移動量に損失が生
じることになる。
【0010】ここで、この損失は摩擦力を大きくすれば
するほど大きくなるので、逆に摩擦力を小さくすれば良
いと考えられる。しかしながら、次のような条件によ
り、摩擦力を小さくすることは実際上好ましくない。
【0011】すなわち、駆動系の慣性が大きければ大き
いほど摩擦力を大きくする必要がある。従って、駆動さ
れる部材の質量が大きくなれば摩擦力を大きくせざるを
得なくなり、かなり大きな摩擦力を発生させなければ実
用に耐えないことが考えられる。
【0012】また、圧電素子112の駆動周波数が低く
なると発生音がうるさくなるなどの問題が生じるため、
実用上ある程度駆動周波数は高い方が良いと考えられ
る。しかし、そうすると圧電素子112がゆっくりと伸
縮する場合にもかなりの速度で変位することになる。そ
うすると、鏡筒101が駆動棒117に従動するために
はかなりの大きさの摩擦力が必要となってしまう。
【0013】本願発明はこのような問題点を解決し、損
失の発生防止と実用に適した構成を得るという課題の両
立を図ることができる構成を得ることをその目的として
いる。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1にかかる駆動装置は、静止部材(1)と、前
記静止部材にその伸縮方向の一端を固定され、伸縮する
ように電圧の印加を受ける電気機械変換素子(2)と、前
記電気機械変換素子の伸縮方向の他端に固定され、前記
電気機械変換素子の伸縮方向に移動できるように支持さ
れた駆動部材(3)と、前記駆動部材と摩擦係合され、前
記電気機械変換素子の伸縮方向に移動できるように支持
される移動部材(4)と、を備え、前記電気機械変換素子
に所定の波形の駆動電圧信号を供給して前記電気機械変
換素子に速度の異なる伸縮変位を発生させることによ
り、前記電気機械変換素子の変位速度が速い際には前記
駆動部材と前記移動部材との間で滑りを生じさせて前記
移動部材を前記駆動部材に追随させず、前記電気機械変
換素子の変位速度が遅い際には前記移動部材を前記駆動
部材に追随させて前記移動部材を所定方向に駆動する駆
動装置において、前記駆動部材と前記移動部材との間の
摩擦力を変化させる可変手段(10,11)を設け、前記駆動
部材と前記移動部材との間で滑りを生じさせて前記移動
部材を前記駆動部材に追随させない際には摩擦力を低下
させ、前記移動部材を前記駆動部材に追随させる際には
摩擦力を増大させることを特徴としている。
【0015】さらに、請求項2にかかる駆動装置におい
ては、前記摩擦力は、前記移動部材に設置された摩擦付
与部材と、該摩擦付与部材を介して前記駆動部材と前記
移動部材とを圧接させる弾性部材とにより発生されるよ
うにしている。
【0016】さらに、請求項3にかかる駆動装置におい
ては、前記可変手段は、その一端が前記摩擦付与部材に
固定され、他端に慣性部材が固定された第2の電気機械
変換素子からなることを特徴としている。
【0017】一方、請求項4にかかる駆動装置において
は、前記第1の電気機械変換素子と前記第2の電気機械
変換素子とに同期関係を有する信号を印加することによ
ってそれぞれの電気機械変換素子を伸縮させる駆動回路
を有することを特徴している。
【0018】
【作用】上記構成において、可変手段によって、移動部
材が駆動部材に追随する必要があるときには摩擦力を増
大させ、追随することが不要であるときには摩擦力を低
下させれば、損失が生じずに移動部材が移動する。
【0019】
【実施例】以下、本願発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
【0020】図1は本願発明を採用した駆動装置のユニ
ットを分解した(組み立てる前の)状態を示している。
【0021】図1において、1は静止部材である。該静
止部材1は全体が略円柱状に形成され、直径方向(図中
上下方向)に貫通する第1の穴1bと第2の穴1cが形
成されている。そして、該穴1bと穴1cの間の壁部に
は軸受穴1dが形成されている。
【0022】また、円柱の端面であって穴1cの壁面を
構成している部分には、穴1dと同軸上に軸受穴1eが
設けられている。また、静止部材1のうち、上記端面と
反対側の端面を含む一端部は、駆動装置ユニットを装置
等に取り付ける際に固定するときのための固定しろ1a
として機能する。
【0023】穴1bの中には圧電素子2が設置される。
該圧電素子2は穴1bの壁面を構成する部分のうち、上
記軸受穴1dが形成されている壁部とは反対側すなわち
固定しろ側の部分に接着によって固定されている。圧電
素子2はリード線2a、2bを介して電圧をかけられる
ことで静止部材1の長手方向に伸縮する。
【0024】4はスライダーであり、穴1cの中に配置
されており、穴1cを構成する長手方向壁面を回転止め
兼ガイドとして円柱の軸方向に移動可能になっている。
スライダー4はその本体部分から図中上方に伸びるコ字
状の部分を有しており、該コ字状部分には静止部材1の
長手方向に延びる一対の貫通孔4aが形成され、さら
に、その貫通孔4a、4aをつなぐように本体部分上面
に断面半円状の溝4bが形成されている。また、本体部
分の下方には本体とT字状をなすように取付部分が伸び
ている。該取付部分には被駆動部材を結合するためのネ
ジ受け穴4cが形成されている。
【0025】3は駆動軸で、外部から上記軸受穴1e、
貫通孔4a、溝4b、貫通孔4a、軸受穴1dを通して
挿入され、一端が圧電素子2に接着によって固定されて
いる。この状態で駆動軸の他端は軸受穴1eから少し突
出した状態になっている。そして、両軸受穴1d、1e
によって指示されながら圧電素子6の伸縮方向に移動可
能となっている。
【0026】7は板バネであり、ネジ9によって、軸受
穴1eから少し突出している駆動軸3を抑え込むように
静止部材1に取り付けられている。これにより、駆動軸
3をある一定の力で圧電素子2に押付けるようになって
いる。その押付力はネジ9の締め加減で調節できるよう
になっている。
【0027】5は摩擦部材であり、下面には断面半円状
の溝5aが形成され、上記溝4bに向かって駆動軸3を
上方から挟み込む。そして、その上方に板バネ6を設
け、摩擦部材5と駆動軸3を上方から押さえるようにな
っている。板バネ6はスライダー4の上記コ字部の先端
に4本のネジ8で取り付けられている。これにより、駆
動軸3には摩擦部材5を介して押付力が発生するように
している。
【0028】一方、摩擦部材5の上面には第2の圧電素
子10の一端が接着等によって固定されており、さらに
該圧電素子10の上面にはやはり接着等によって慣性部
材11が固定されている。なお、圧電素子10は上記板
バネ6の中央に形成された貫通孔を貫通しており、上記
慣性部材9は板バネ6よりも上方に位置している。
【0029】このようにして組み立てられた状態が図2
に示されている。
【0030】図3(a)は組み立てられた状態を上面か
ら見た図であり、さらに図3(b)は駆動軸3に沿った
面で切断した断面図である。
【0031】図4は本実施例において圧電素子2、10
を伸縮駆動するための回路の概略を示しており、それぞ
れの圧電素子を駆動する駆動回路が共通の制御回路に接
続されており、同期が取られた状態で圧電素子2、10
を駆動する。
【0032】次に図5〜図8を参照して上記制御回路な
いし上記駆動回路による圧電素子2、10の駆動シーケ
ンスを説明する。
【0033】図5、6はスライダー4を右方向に移動さ
せる状態を表しており、図5はそのときの駆動装置の要
部を示し、図6はそのときの駆動電圧の状態を示す。ま
た、図7、8はスライダー4を左方向に移動させる状態
を表しており、図7はそのときの駆動装置の要部を示
し、図8はそのときの駆動電圧の状態を示す。なお、ス
ライダー4は摩擦部材5とともに移動するので、図5、
7においては図面の簡略化のためにスライダー4の代わ
りに摩擦部材5を示してあるが動作は同じである。
【0034】図5、図6(a)において、初期状態はそ
れぞれAで示した状態であり、両圧電素子とも電圧非印
加状態である。この状態においては両圧電素子はどちら
も最も縮小した状態にある。
【0035】この状態から図6(a)のAないしCに示
すようにsin曲線状に電圧を印加する。すると、両圧
電素子2、10は図5のBに示すように徐々に伸長を開
始する。圧電素子2が伸長するにつれて圧電素子10も
伸長するため、慣性部材11が上方に向かう力を受ける
一方、摩擦部材5は下方への力を受けることになる。こ
の摩擦部材5に与えられる力によって摩擦部材5と駆動
軸3との摩擦力が増大し、駆動軸3の右方向への移動に
摩擦部材5・スライダー4が追随する。これにより、C
に示すように駆動軸3が最も右まで移動したところまで
摩擦部材5とスライダー4が移動する。
【0036】続いて、図6(a)のCないしEに示すよ
うに電圧印加を解除する。すると、両圧電素子2、10
がともに縮小する。この時、圧電素子2の縮小に伴って
駆動軸3が左方向へ移動し、これに伴って摩擦部材5・
スライダー4も移動しようとする。ところが、この時に
は圧電素子10が縮小するため、慣性部材11には下方
への力が作用する一方、摩擦部材5には上方へ引き上げ
る力が作用する。従って、摩擦部材5と駆動軸3との間
の摩擦力が減少し、両者間に滑りが生じることになり、
図5のCないしEに示すように摩擦部材5・スライダー
4はその位置に留まるのである。
【0037】以上のAないしEの動作を繰り返すことに
より、スライダー4は所望の位置に向かって右方向に移
動する。
【0038】一方、図7、8において、まず図8(a)
のAに示すように圧電素子10に最大電圧を印加する。
これにより、圧電素子10は図7のAに示されるように
伸長した状態になる。この時、慣性部材11には上方
に、摩擦部材5には下方に力が作用し、摩擦部材5が駆
動軸3に圧接する。
【0039】この状態から図8(a)のBに示すよう
に、圧電素子2には電圧を印加し、圧電素子10からは
印加電圧を解除する。すると圧電素子2が伸長して駆動
軸3は図7の右方向に向かって移動するが、この時には
圧電素子10が収縮するため摩擦部材5には上方に引き
上げる力が作用して駆動軸3との間の摩擦力が減少す
る。従って、摩擦部材5・スライダー4はその場に留ま
る。
【0040】続いて、図7のCに示すように最も圧電素
子2が伸長した状態から圧電素子10に電圧を印加する
一方、圧電素子2からは印加電圧を解除する。すると、
圧電素子2の収縮に伴って、駆動軸3が左方向に移動す
る。このとき圧電素子10の伸長によって摩擦部材5に
は押し下げる力が作用するため、摩擦部材5・スライダ
ー4は駆動軸3に追随し、図7のEの状態すなわち、圧
電素子2が最も収縮した状態まで変位する。
【0041】以上のAないしEの動作を繰り返すことに
より、スライダー4は所望の位置に向かって左方向に移
動する。所望の位置への移動が完了した後に圧電素子1
0には最大電圧が印加された状態となっているので、こ
れを解除すればよい。
【0042】以上が本願の実施例の説明であるが、電圧
の印加は図6(a)、図8(a)に示すようなsin曲
線に限らず、図6(b)、図8(b)に示すような直線
的な波形でも良い。すなわち、スライダー4(摩擦部材
5)を右方向に移動させる場合には図6(b)に示すよ
うに徐々に電圧を印加し、圧電素子が最も伸長した状態
から急激に印加電圧を解除する。そしてこの状態を繰り
返すことによってスライダー4が右方向に移動する。
【0043】また、スライダー4(摩擦部材5)を左方
向に移動させる場合には図8(b)に示すようにまず圧
電素子10に電圧を印加した状態から急激に電圧印加を
解除する一方、圧電素子2には急激に電圧を印加する。
そして、圧電素子2が最も伸長した状態から徐々に印加
電圧を解除する一方、圧電素子10には徐々に電圧を印
加する。そしてこの状態を繰り返すことによってスライ
ダー4が左方向に移動する。
【0044】このように直線的で立ち上がり・立ち下が
り特性を変えた電圧を印加するように構成した場合、上
述のようなsin曲線で駆動するものに比較して摩擦力
をより最適な状態に設定することができ、効率よく駆動
を行うことができる。また、位置制御が容易で微小な位
置決めが容易であるという長所を有している。
【0045】一方、sin曲線で駆動する場合には、立
ち上がり・立ち下がり特性を変えた直線的な電圧を印加
するように構成した場合に比較して電圧を印加するため
の回路の構成が容易で効率が良く、また高周波数での駆
動が容易であるという長所を有している。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本願発明の駆動装
置は駆動部材と移動部材との間の摩擦力を変化させる可
変手段を設けたので、実用上適切なだけの大きさの摩擦
力を与えることができる一方、摩擦力を増大させること
で移動量に損失が生じるようなことを防止することもで
き、電気機械変換素子を使用した駆動装置として実用性
に富んだものを提供することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例の組立説明図。
【図2】 実施例の斜視図。
【図3】 実施例の平面図並びに断面図。
【図4】 実施例の回路の概略を示す説明図。
【図5】 実施例における動作を示す説明図。
【図6】 実施例において電気機械変換素子に印加され
る電圧を表わす説明図。
【図7】 実施例における動作を示す説明図。
【図8】 実施例において電気機械変換素子に印加され
る電圧を表わす説明図。
【図9】 従来例を示す説明図。
【符号の説明】
1 静止部材 2 電気機械変換素子 3 駆動部材 4 移動部材 5 摩擦付与部材 6 弾性部材 10 可変手段(第2の電気機械変換素子) 11 可変手段(慣性部材)
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−69070(JP,A) 特開 平6−70565(JP,A) 特開 平5−72361(JP,A) 特開 平6−70565(JP,A) 1994年度精密工学会秋季大会実行委員 会編「1994年度精密工学会秋季大会学術 講演会論文集第3分冊」(平6−9− 12)発行者 社団法人精密工学会 P. 941−942(M79 圧電リニアアクチュエ ータの開発) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/02

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 静止部材(1)と、 前記静止部材にその伸縮方向の一端を固定され、伸縮す
    るように電圧の印加を受ける電気機械変換素子(2)と、 前記電気機械変換素子の伸縮方向の他端に固定され、前
    記電気機械変換素子の伸縮方向に移動できるように支持
    された駆動部材(3)と、 前記駆動部材と摩擦係合され、前記電気機械変換素子の
    伸縮方向に移動できるように支持される移動部材(4)
    と、 を備え、前記電気機械変換素子に所定の波形の駆動電圧
    信号を供給して前記電気機械変換素子に速度の異なる伸
    縮変位を発生させることにより、前記電気機械変換素子
    の変位速度が速い際には前記駆動部材と前記移動部材と
    の間で滑りを生じさせて前記移動部材を前記駆動部材に
    追随させず、前記電気機械変換素子の変位速度が遅い際
    には前記移動部材を前記駆動部材に追随させて前記移動
    部材を所定方向に駆動する駆動装置において、 前記駆動部材と前記移動部材との間の摩擦力を変化させ
    る可変手段(10,11)を設け、前記駆動部材と前記移動部
    材との間で滑りを生じさせて前記移動部材を前記駆動部
    材に追随させない際には摩擦力を低下させ、前記移動部
    材を前記駆動部材に追随させる際には摩擦力を増大させ
    る、 ことを特徴とする駆動装置。
  2. 【請求項2】 摩擦力は、前記移動部材に設置された摩
    擦付与部材(5)と、該摩擦付与部材を介して前記駆動部
    材と前記移動部材とを圧接させる弾性部材(6)とにより
    発生されることを特徴とする請求項1記載の駆動装置。
  3. 【請求項3】 前記可変手段は、その一端が前記摩擦付
    与部材に固定され、他端に慣性部材(11)が固定された第
    2の電気機械変換素子(10)からなることを特徴とする請
    求項2記載の駆動装置。
  4. 【請求項4】 前記電気機械変換素子と、前記第2の電
    気機械変換素子とに同期関係を有する信号を印加するこ
    とによってそれぞれの電気機械変換素子を伸縮させる駆
    動回路を有することを特徴とする請求項3記載の駆動装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102460262A (zh) * 2009-06-04 2012-05-16 株式会社尼康 透镜单元及摄像装置
JP5573008B2 (ja) * 2009-06-04 2014-08-20 株式会社ニコン レンズユニットおよび撮像装置
JP5573007B2 (ja) * 2009-06-04 2014-08-20 株式会社ニコン レンズユニットおよび撮像装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1994年度精密工学会秋季大会実行委員会編「1994年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集第3分冊」(平6−9−12)発行者 社団法人精密工学会 P.941−942(M79 圧電リニアアクチュエータの開発)

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