JPH03289368A - リニア超音波モータ - Google Patents
リニア超音波モータInfo
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- JPH03289368A JPH03289368A JP2087515A JP8751590A JPH03289368A JP H03289368 A JPH03289368 A JP H03289368A JP 2087515 A JP2087515 A JP 2087515A JP 8751590 A JP8751590 A JP 8751590A JP H03289368 A JPH03289368 A JP H03289368A
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電子機器等に用いられる小型モータに関し、
特に構造が簡単なリニア型超音波モータに関するもので
ある。
特に構造が簡単なリニア型超音波モータに関するもので
ある。
[従来の技術]
リニア超音波モータは従来の電磁モータと比較して、a
構がI!t+41であること、停止保持力を有すること
。電磁ノイズが小さいこと等の利点を有している。
構がI!t+41であること、停止保持力を有すること
。電磁ノイズが小さいこと等の利点を有している。
第4図は従来例に係るリニア超音波モータの概略的構造
を示す図であり、長さ方向に伸縮する圧電素子51,5
2.53を振部拡大機能を右する金属枠からなる移動子
54にH型に配置している。
を示す図であり、長さ方向に伸縮する圧電素子51,5
2.53を振部拡大機能を右する金属枠からなる移動子
54にH型に配置している。
移動子54は4本の脚部45.46,47.48を6°
し、この4本の脚部がステータベース491;謂けられ
たガイドt150に沿って移動可能となっている。次に
、第4図に示した従来のリニア型超音波モータの動作に
ついて、第5図■〜■を用いて説明する。尚、第5図に
おいては全て、動作原理の説明であるため、移動子54
の脚部を省略し8圧電素子51,52.53のみが記載
されている。
し、この4本の脚部がステータベース491;謂けられ
たガイドt150に沿って移動可能となっている。次に
、第4図に示した従来のリニア型超音波モータの動作に
ついて、第5図■〜■を用いて説明する。尚、第5図に
おいては全て、動作原理の説明であるため、移動子54
の脚部を省略し8圧電素子51,52.53のみが記載
されている。
■圧電素子51に電圧が印加されると圧電素子51の長
さが矢印のように、ステータのガイド溝50にきつく固
定される。
さが矢印のように、ステータのガイド溝50にきつく固
定される。
■この状態で圧電素子52に電圧が印加されると圧電素
子52の長さが進行方向(矢印)に伸びる。
子52の長さが進行方向(矢印)に伸びる。
■さらに圧電素子53に電圧が印加されると圧電素子5
3の長さが伸び、ステータのガイド溝50にきつく固定
される。
3の長さが伸び、ステータのガイド溝50にきつく固定
される。
■圧電素子51の電圧が除去されると圧電素子51の長
さが縮み、ステータのガイド溝50に苅してゆるくなる
。
さが縮み、ステータのガイド溝50に苅してゆるくなる
。
■圧電素子52の電圧が除去されると圧電素子52の長
さが縮み、進行方向に移動する。
さが縮み、進行方向に移動する。
以下、■にもどると同時に圧電素子53の電圧が除去さ
れ、■から■までを繰り返すことにより移動子54は図
の右方に移動する。また、圧電素子51と圧電素子53
の印加電圧を切り替えることにより、移動方向を逆転さ
せることかできる。
れ、■から■までを繰り返すことにより移動子54は図
の右方に移動する。また、圧電素子51と圧電素子53
の印加電圧を切り替えることにより、移動方向を逆転さ
せることかできる。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上述の従来のリニア型超音波モタにおい
ては、拡大機構を兼ねた金属枠からなる移動子の構造が
複雑である上に、ステータのガイド?R50に対するク
リアランス(隙間)精度を厳しく管理する必要があり、
調整が非常に困難であった。さらに動作原理で説明した
ように、駆動7区圧として圧電素子51.圧電素子52
.圧電素j′53それぞれにII!i間的に叉なる電圧
を印加する必要かあり、駆動回路が複雑になると云う欠
点かあった。
ては、拡大機構を兼ねた金属枠からなる移動子の構造が
複雑である上に、ステータのガイド?R50に対するク
リアランス(隙間)精度を厳しく管理する必要があり、
調整が非常に困難であった。さらに動作原理で説明した
ように、駆動7区圧として圧電素子51.圧電素子52
.圧電素j′53それぞれにII!i間的に叉なる電圧
を印加する必要かあり、駆動回路が複雑になると云う欠
点かあった。
そこで1本発明の技術課題は、構造を簡単にし。
■つ駆動回路の簡単なリニア超音波モータを提供するこ
とにある。
とにある。
[課題を解決するための手段]
発明1171によれば、伸縮運動する圧電素子の一方の
端部を固定ベースに固定し、他方の端部に摩擦部月を装
着し、前記伸縮運動方向と平行な方向に移動可能な移動
子を前記摩擦部材に圧接し、前記圧電素子への印加電圧
を鋸歯状としたことを特徴とするリニア超音波モータが
得られる。
端部を固定ベースに固定し、他方の端部に摩擦部月を装
着し、前記伸縮運動方向と平行な方向に移動可能な移動
子を前記摩擦部材に圧接し、前記圧電素子への印加電圧
を鋸歯状としたことを特徴とするリニア超音波モータが
得られる。
さらに本発明によれば、伸縮運動する圧電素子の一方の
端部を固定ベースに固定し、他方の端部に摩擦部材を装
着し、前記伸縮運動方向と平行な方向に移動可能な移動
子を前記摩擦部材に圧接し。
端部を固定ベースに固定し、他方の端部に摩擦部材を装
着し、前記伸縮運動方向と平行な方向に移動可能な移動
子を前記摩擦部材に圧接し。
前記圧電素子への印加電圧の立上りをHI3間の二乗に
比例して上昇させ、立下りを急激に減少させるかあるい
は印加電圧の立上りを急激に上昇させ。
比例して上昇させ、立下りを急激に減少させるかあるい
は印加電圧の立上りを急激に上昇させ。
立下りを時間の二乗に比例して減少させたことを特徴と
するリニア超音波モータが得られる。
するリニア超音波モータが得られる。
[作 用]
本発明の超音波モータは、往復運動するステータに移動
子を圧接し、往復運動の往と復の速度を大きく異ならせ
、静摩擦係数と動摩擦係数の差による摩擦力の差を利用
して移動子を移動させることを基本原理としている。
子を圧接し、往復運動の往と復の速度を大きく異ならせ
、静摩擦係数と動摩擦係数の差による摩擦力の差を利用
して移動子を移動させることを基本原理としている。
[実施例]
本発明の実施例を図面第1図〜第3図を参照して説11
JIする。
JIする。
第1図は本発明の実施例に係るリニア超音波モタの構成
を示す斜視図である。第1図において。
を示す斜視図である。第1図において。
仲!運動をするJf電素子1はその一方の端部を固定ベ
ース2に固定し、もう一方の端部に摩擦部材3か圧電素
子の幅よりはみ出すように、装着されている。圧電素子
1が伸縮運動すると、摩擦部材3か伸縮運動する。摩擦
部材3には圧電素子1の伸縮h゛向と平行に移動可能に
構成された移動子4が圧接されている。
ース2に固定し、もう一方の端部に摩擦部材3か圧電素
子の幅よりはみ出すように、装着されている。圧電素子
1が伸縮運動すると、摩擦部材3か伸縮運動する。摩擦
部材3には圧電素子1の伸縮h゛向と平行に移動可能に
構成された移動子4が圧接されている。
第2図(a)及び(b)は圧電素子1に印加する電圧の
波形の例を夫々示しており、(a)’JS圧か徐々上昇
し、急激に下がるか1あるいは(b)急激に上昇し徐々
に下がる何れか一方の鋸歯状をしている。即ち、摩擦部
材3の速度は圧電素子1の先端の移動速度であり、これ
は圧電素子1に苅する印加電圧の変化率すなわち電圧波
形の傾きに比例する。
波形の例を夫々示しており、(a)’JS圧か徐々上昇
し、急激に下がるか1あるいは(b)急激に上昇し徐々
に下がる何れか一方の鋸歯状をしている。即ち、摩擦部
材3の速度は圧電素子1の先端の移動速度であり、これ
は圧電素子1に苅する印加電圧の変化率すなわち電圧波
形の傾きに比例する。
従って、電圧の変化が緩やかな場合は速度か遅くなり、
電圧の変化が急激な場合は速度か速くなる。一般に静摩
擦係数は動摩擦係数に比べて太きいため、速度が速く移
動子が摩擦部材の上をすべる時は摩擦係数が小さくなる
。従って、朶2図(a)に示したように印加電圧の立上
りを調節し圧電素子1が伸びるときの速度を静摩擦力が
得られる速度とし、印加電圧の立下りは動摩擦力が得ら
れるように急激に減少させると、[電素子1が伸びると
きの方が縮むときより摩擦力が大きくなるため、移動子
4は圧電素子1が伸びる方向に移動する。一方、これと
は逆に第2図(b)に示したような鋸歯状の電圧を印加
した場合は圧電素子1が縮むときの方が伸びるときより
摩擦力が大きくなるため、移動子4は圧電素子1が縮む
方向に移動する。
電圧の変化が急激な場合は速度か速くなる。一般に静摩
擦係数は動摩擦係数に比べて太きいため、速度が速く移
動子が摩擦部材の上をすべる時は摩擦係数が小さくなる
。従って、朶2図(a)に示したように印加電圧の立上
りを調節し圧電素子1が伸びるときの速度を静摩擦力が
得られる速度とし、印加電圧の立下りは動摩擦力が得ら
れるように急激に減少させると、[電素子1が伸びると
きの方が縮むときより摩擦力が大きくなるため、移動子
4は圧電素子1が伸びる方向に移動する。一方、これと
は逆に第2図(b)に示したような鋸歯状の電圧を印加
した場合は圧電素子1が縮むときの方が伸びるときより
摩擦力が大きくなるため、移動子4は圧電素子1が縮む
方向に移動する。
第3図は本発明の圧電素子1の印加電圧波形の他の例を
示す図であり、第3図(a)は前記圧電素子1への印加
電圧の立上りを時間の二乗に比例して上昇させ、立下り
を急激に減少させる場合であり、第3図(b)は印加電
圧の立上りを急激に上昇させ、立下りを時間の二乗に比
例して減少させた場合である。第3図(a)に示した立
上り特性の電圧を印加した場合、変位量が時間の二乗に
比例して増加し、速度は時間に比例して増加する。
示す図であり、第3図(a)は前記圧電素子1への印加
電圧の立上りを時間の二乗に比例して上昇させ、立下り
を急激に減少させる場合であり、第3図(b)は印加電
圧の立上りを急激に上昇させ、立下りを時間の二乗に比
例して減少させた場合である。第3図(a)に示した立
上り特性の電圧を印加した場合、変位量が時間の二乗に
比例して増加し、速度は時間に比例して増加する。
従って加速度がII!i間に対して一定となり、摩擦部
材の加速度をαとし、移動子の質量に対してM×αの値
が摩擦力より小さくなるような加速度αとすることによ
り、移動子は摩擦部材と御粘に移動することになる。前
述の単純な鋸歯状波の場合に比べて、大きな平均速度が
得られる。
材の加速度をαとし、移動子の質量に対してM×αの値
が摩擦力より小さくなるような加速度αとすることによ
り、移動子は摩擦部材と御粘に移動することになる。前
述の単純な鋸歯状波の場合に比べて、大きな平均速度が
得られる。
尚、第2図(a)及び(b)に示した印加電圧波形は、
単純な形状であるので矩形波を用いて簡単な回路で容易
に得ることができる。一方、第3図(a)及び(b)に
示した印加電圧波形についても近似的な波形を得ること
は容易であり、特に高速の移動に対して従来の第4図の
ものより有利になる。
単純な形状であるので矩形波を用いて簡単な回路で容易
に得ることができる。一方、第3図(a)及び(b)に
示した印加電圧波形についても近似的な波形を得ること
は容易であり、特に高速の移動に対して従来の第4図の
ものより有利になる。
[発明の効果]
以上説明したように1本発明のリニア超音波モータにお
いては、駆動力を発生するための圧電素子はlitに伸
縮運動をするだけで良く、移動子のガイドし摩擦部材と
の接触を安定に行うように考えれば良いため、構造的に
単純となる。さらに、駆動回路も一個の圧電素子を駆動
するだけで良く。
いては、駆動力を発生するための圧電素子はlitに伸
縮運動をするだけで良く、移動子のガイドし摩擦部材と
の接触を安定に行うように考えれば良いため、構造的に
単純となる。さらに、駆動回路も一個の圧電素子を駆動
するだけで良く。
電圧波形も単純な形をしているため簡単になる。
第1図は本発明のリニア超音波モータの構造を示す斜蜆
図、第2図(a)及び(b)は本発明の実施例のリニア
超音波モータの印加電圧波形の例を示す図、第3図(a
)及び(b)は本発明のリニア超音波モータの印加電圧
波形の他の例を示す図、第4図は従来例に係るリニア超
音波モータの構造を示す斜祖図、第5図■、■、■、■
、■は第4図のリニア超音波モータの動作原理の説明に
供する図である。 図中、1・・・圧電素子12・・・固定ベース、3・・
・摩擦部材、4・・・移動子、45,46,47.48
・・・移動子脚部、49・・・ステータベース、50・
・・ステータのガイド満、51,52.53・・・圧r
A素子。 54・・・移動子。 (a) (a) 始2図 始3図 (b) (b) 第4図
図、第2図(a)及び(b)は本発明の実施例のリニア
超音波モータの印加電圧波形の例を示す図、第3図(a
)及び(b)は本発明のリニア超音波モータの印加電圧
波形の他の例を示す図、第4図は従来例に係るリニア超
音波モータの構造を示す斜祖図、第5図■、■、■、■
、■は第4図のリニア超音波モータの動作原理の説明に
供する図である。 図中、1・・・圧電素子12・・・固定ベース、3・・
・摩擦部材、4・・・移動子、45,46,47.48
・・・移動子脚部、49・・・ステータベース、50・
・・ステータのガイド満、51,52.53・・・圧r
A素子。 54・・・移動子。 (a) (a) 始2図 始3図 (b) (b) 第4図
Claims (2)
- (1)伸縮運動する圧電素子の一方の端部を固定ベース
に固定し,他方の端部に摩擦部材を装着し,前記伸縮運
動方向に沿う方向に移動可能な移動子を前記摩擦部材に
圧接し,前記圧電素子への印加電圧を鋸歯状としたこと
を特徴とするリニア超音波モータ。 - (2)第1の請求項記載のリニア超音波モータにおいて
,前記圧電素子への印加電圧の立上りを時間の二乗に比
例して上昇させ,立下りを急激に減少させるかあるいは
印加電圧の立上りを急激に上昇させ,立下りを時間の二
乗に比例して減少させたことを特徴とするリニア超音波
モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2087515A JP3002890B2 (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | リニア超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2087515A JP3002890B2 (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | リニア超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03289368A true JPH03289368A (ja) | 1991-12-19 |
JP3002890B2 JP3002890B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=13917130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2087515A Expired - Lifetime JP3002890B2 (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | リニア超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3002890B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06269178A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Toshiba Corp | インチワーム |
JP2008125230A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータ |
JP2008295287A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-12-04 | Nec Tokin Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2011527587A (ja) * | 2008-07-10 | 2011-11-04 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 光学画像プローブ |
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---|---|---|---|---|
KR20080093880A (ko) | 2007-04-17 | 2008-10-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
KR20080093882A (ko) | 2007-04-17 | 2008-10-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
KR20080093877A (ko) | 2007-04-17 | 2008-10-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
KR20080093885A (ko) | 2007-04-18 | 2008-10-22 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
KR20080094572A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 미쓰미덴기가부시기가이샤 | 구동 장치 |
US7956513B2 (en) | 2007-04-20 | 2011-06-07 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Method of driving a driving device |
US7759634B2 (en) | 2007-04-24 | 2010-07-20 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Position detecting device capable of improving detection accuracy |
-
1990
- 1990-04-03 JP JP2087515A patent/JP3002890B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06269178A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Toshiba Corp | インチワーム |
JP2008125230A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータ |
US8198786B2 (en) | 2006-11-10 | 2012-06-12 | Olympus Corporation | Inertial driving actuator |
JP2008295287A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-12-04 | Nec Tokin Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2011527587A (ja) * | 2008-07-10 | 2011-11-04 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 光学画像プローブ |
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---|---|
JP3002890B2 (ja) | 2000-01-24 |
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JPS62141979A (ja) | リニア型超音波モ−タ |
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