JPH10217149A - ターンテーブル用クロスの剥離治具 - Google Patents
ターンテーブル用クロスの剥離治具Info
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- JPH10217149A JPH10217149A JP9038453A JP3845397A JPH10217149A JP H10217149 A JPH10217149 A JP H10217149A JP 9038453 A JP9038453 A JP 9038453A JP 3845397 A JP3845397 A JP 3845397A JP H10217149 A JPH10217149 A JP H10217149A
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
- B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B24B37/34—Accessories
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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- B32B43/006—Delaminating
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1168—Gripping and pulling work apart during delaminating
- Y10T156/1174—Using roller for delamination [e.g., roller pairs operating at differing speeds or directions, etc.]
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- Y10T156/19—Delaminating means
- Y10T156/195—Delaminating roller means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Hand Tools For Fitting Together And Separating, Or Other Hand Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化されてもクロスを確実に挟持でき、ま
たクロスが十分挟持されているか否かを即座に判断で
き、また固定用ネジの頭部が巻取シリンダの内周面に当
接して該頭部を破壊する恐れがないターンテーブル用ク
ロスの剥離治具を提供する。 【解決手段】 クロス８０を挟持するクロス挟持部材１
０と、筒状であって外周にクロス挿入スリット５３を設
けてなる巻取シリンダ５０とを具備する。クロス挟持部
材１０のクロスを挟持する挟持部分１３，２３を舌片状
に突出する。上下の挟持部分１３，２３の先端辺の位置
をずらせる。クロス挟持部材１０に挟持したクロス８０
が見える孔１６を設ける。そして挟持部分１３，２３に
クロス８０を挟持したものを巻取シリンダ５０内に収納
して巻取シリンダ５０をラチェット９０で回動すること
でクロス８０をターンテーブルから剥離する。
たクロスが十分挟持されているか否かを即座に判断で
き、また固定用ネジの頭部が巻取シリンダの内周面に当
接して該頭部を破壊する恐れがないターンテーブル用ク
ロスの剥離治具を提供する。 【解決手段】 クロス８０を挟持するクロス挟持部材１
０と、筒状であって外周にクロス挿入スリット５３を設
けてなる巻取シリンダ５０とを具備する。クロス挟持部
材１０のクロスを挟持する挟持部分１３，２３を舌片状
に突出する。上下の挟持部分１３，２３の先端辺の位置
をずらせる。クロス挟持部材１０に挟持したクロス８０
が見える孔１６を設ける。そして挟持部分１３，２３に
クロス８０を挟持したものを巻取シリンダ５０内に収納
して巻取シリンダ５０をラチェット９０で回動すること
でクロス８０をターンテーブルから剥離する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターンテーブルに
貼り付けたクロスを剥離するのに用いて好適なターンテ
ーブル用クロスの剥離治具に関するものである。
貼り付けたクロスを剥離するのに用いて好適なターンテ
ーブル用クロスの剥離治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハの製造工程においては、半
導体ウエハ表面を平坦且つ鏡面化するためにポリッシン
グ装置が使用されている。
導体ウエハ表面を平坦且つ鏡面化するためにポリッシン
グ装置が使用されている。
【０００３】この種のポリッシング装置は、各々独立し
た回転数で回転するターンテーブルとトップリングとを
有し、トップリングが保持した半導体ウエハの表面をタ
ーンテーブル上に貼り付けたクロスの表面（研磨面）に
接触して砥液を供給しながらこれを研磨する。
た回転数で回転するターンテーブルとトップリングとを
有し、トップリングが保持した半導体ウエハの表面をタ
ーンテーブル上に貼り付けたクロスの表面（研磨面）に
接触して砥液を供給しながらこれを研磨する。
【０００４】ところで前記クロスは半導体ウエハを研磨
する際にターンテーブル上から剥がれてはならないので
該ターンテーブル上に強固に接着されている。このため
逆にクロスが摩耗して新規のクロスと貼り替える必要が
生じた場合、クロスを剥がすのに強い力が必要になって
しまう。
する際にターンテーブル上から剥がれてはならないので
該ターンテーブル上に強固に接着されている。このため
逆にクロスが摩耗して新規のクロスと貼り替える必要が
生じた場合、クロスを剥がすのに強い力が必要になって
しまう。
【０００５】そして従来、クロスを剥がすには、図５に
示すように、上半身をポリッシング装置１００内に入れ
て、クロス８０の外周縁の一部を少しだけターンテーブ
ル９５から剥がし、剥がした部分をペンチやプライヤー
１１０で掴んだ状態でクロス８０を強い力で手前に引っ
ぱる。
示すように、上半身をポリッシング装置１００内に入れ
て、クロス８０の外周縁の一部を少しだけターンテーブ
ル９５から剥がし、剥がした部分をペンチやプライヤー
１１０で掴んだ状態でクロス８０を強い力で手前に引っ
ぱる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの方法
によると、クロス８０を剥がすのにかなり強い力が必要
になってしまうばかりか、引き剥がしている最中にペン
チやプライヤー１１０がクロス８０から外れるとその反
動でポリッシング装置１００の天井や各種付属装置に作
業者が頭等を強くぶつけてしまう危険性があった。
によると、クロス８０を剥がすのにかなり強い力が必要
になってしまうばかりか、引き剥がしている最中にペン
チやプライヤー１１０がクロス８０から外れるとその反
動でポリッシング装置１００の天井や各種付属装置に作
業者が頭等を強くぶつけてしまう危険性があった。
【０００７】このような不都合を解消するために、図６
に示すように、クロスを挟持するクロス挟持部材１２０
と、円筒状であってその外周にクロス挿入スリット１３
１を設けてなる巻取シリンダ１３０と、この巻取シリン
ダ１３０を一方の方向に回動するラチェット１４０とを
具備してなるクロスの剥離治具が考えられる。
に示すように、クロスを挟持するクロス挟持部材１２０
と、円筒状であってその外周にクロス挿入スリット１３
１を設けてなる巻取シリンダ１３０と、この巻取シリン
ダ１３０を一方の方向に回動するラチェット１４０とを
具備してなるクロスの剥離治具が考えられる。
【０００８】この剥離治具を使用するには、まずターン
テーブル上に貼り付けられた円板状のクロス１５０の外
周縁の一部をターンテーブルから剥がし、該剥がした部
分をクロス挟持部材１２０の上部材１２１と下部材１２
３で挾み、固定用ネジ１２５，１２５で固定する。この
とき３つのピン１２７はクロス１５０の面を突き破って
ピン挿入孔１２８内に挿入されるので、クロス１５０は
クロス挟持部材１２０から外れない。
テーブル上に貼り付けられた円板状のクロス１５０の外
周縁の一部をターンテーブルから剥がし、該剥がした部
分をクロス挟持部材１２０の上部材１２１と下部材１２
３で挾み、固定用ネジ１２５，１２５で固定する。この
とき３つのピン１２７はクロス１５０の面を突き破って
ピン挿入孔１２８内に挿入されるので、クロス１５０は
クロス挟持部材１２０から外れない。
【０００９】次にこのクロス挟持部材１２０を巻取シリ
ンダ１３０内部に収納するがこのとき挟持したクロス１
５０をクロス挿入スリット１３１内に挿入する。
ンダ１３０内部に収納するがこのとき挟持したクロス１
５０をクロス挿入スリット１３１内に挿入する。
【００１０】そしてラチェット１４０の係合部１４１を
巻取シリンダ１３０の治具係合部１３３に係合してラチ
ェット１４０を揺動すると、巻取シリンダ１３０が一方
向に回動して（矢印Ｈ）巻取シリンダ１３０の外周にク
ロス１５０が巻き付けられていく。
巻取シリンダ１３０の治具係合部１３３に係合してラチ
ェット１４０を揺動すると、巻取シリンダ１３０が一方
向に回動して（矢印Ｈ）巻取シリンダ１３０の外周にク
ロス１５０が巻き付けられていく。
【００１１】この剥離治具によれば弱い力でも容易且つ
確実にクロス１５０をターンテーブルから剥ぎ取ること
ができる。
確実にクロス１５０をターンテーブルから剥ぎ取ること
ができる。
【００１２】しかしながらこの剥離治具においても以下
のような問題点があった。 剥離治具の小型化によって前記クロス挟持部材１２０
の長さを短くした場合、図７（ａ）に示すように、クロ
ス１５０が左右の固定用ネジ１２５，１２５に当接する
ことで該クロス１５０をクロス挟持部材１２０内に十分
挿入できなくなり、十分な挟持ができなくなってしま
う。特にクロス挟持部材１２０にピン１２７を設けてい
る場合は、該ピン１２７までクロス１５０が到らなくな
る。
のような問題点があった。 剥離治具の小型化によって前記クロス挟持部材１２０
の長さを短くした場合、図７（ａ）に示すように、クロ
ス１５０が左右の固定用ネジ１２５，１２５に当接する
ことで該クロス１５０をクロス挟持部材１２０内に十分
挿入できなくなり、十分な挟持ができなくなってしま
う。特にクロス挟持部材１２０にピン１２７を設けてい
る場合は、該ピン１２７までクロス１５０が到らなくな
る。
【００１３】この不都合を解消するために、図７（ｂ）
に示すように、クロス１５０の外周に舌片部１５１を突
出させ、この部分をクロス挟持部材１２０で挟持するよ
うにすることもできるが、そのためにはクロス１５０の
外周に舌片部１５１を加工して設けなければならず、作
業性が悪かった。
に示すように、クロス１５０の外周に舌片部１５１を突
出させ、この部分をクロス挟持部材１２０で挟持するよ
うにすることもできるが、そのためにはクロス１５０の
外周に舌片部１５１を加工して設けなければならず、作
業性が悪かった。
【００１４】クロス挟持部材１２０に挟持されたクロ
ス１５０がどの程度クロス挟持部材１２０内に挿入でき
ているか、即ちクロス１５０が十分に挟持されているか
否かを即座に判断することができなかった。
ス１５０がどの程度クロス挟持部材１２０内に挿入でき
ているか、即ちクロス１５０が十分に挟持されているか
否かを即座に判断することができなかった。
【００１５】剥離治具の小型化によって巻取シリンダ
１３０の径を小さくした場合、クロス１５０を挟持した
クロス挟持部材１２０を巻取シリンダ１３０内に挿入し
た際に、図７（ｃ）に示すように固定用ネジ１２５の頭
部が巻取シリンダ１３０の内周面に当接して該頭部を破
壊してしまう恐れがあった。この問題は固定用ネジ１２
５の頭部の高さ寸法が蝶ネジタイプのように大きい場合
はなおさら大きくなる。
１３０の径を小さくした場合、クロス１５０を挟持した
クロス挟持部材１２０を巻取シリンダ１３０内に挿入し
た際に、図７（ｃ）に示すように固定用ネジ１２５の頭
部が巻取シリンダ１３０の内周面に当接して該頭部を破
壊してしまう恐れがあった。この問題は固定用ネジ１２
５の頭部の高さ寸法が蝶ネジタイプのように大きい場合
はなおさら大きくなる。
【００１６】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
ありその目的は、小型化されてもクロスを確実に挟持で
き、またクロスが十分挟持されているか否かを即座に判
断でき、また固定用ネジの頭部が巻取シリンダの内周面
に当接して該頭部を破壊する恐れがないターンテーブル
用クロスの剥離治具を提供することにある。
ありその目的は、小型化されてもクロスを確実に挟持で
き、またクロスが十分挟持されているか否かを即座に判
断でき、また固定用ネジの頭部が巻取シリンダの内周面
に当接して該頭部を破壊する恐れがないターンテーブル
用クロスの剥離治具を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本願請求項１に記載の発明は、ターンテーブルに貼り
付けたクロスを剥離するのに用いるターンテーブル用ク
ロスの剥離治具において、前記剥離治具は、前記クロス
を挟持するクロス挟持部材を、筒状であって外周にクロ
ス挿入スリットを設けてなる巻取シリンダ内に収納して
構成され、且つ前記クロス挟持部材のクロスを挟持する
挟持部分を舌片状に突出せしめることとした。また本願
請求項２に記載の発明は、ターンテーブルに貼り付けた
クロスを剥離するのに用いるターンテーブル用クロスの
剥離治具において、前記剥離治具は、前記クロスを挟持
するクロス挟持部材を、筒状であって外周にクロス挿入
スリットを設けてなる巻取シリンダ内に収納して構成さ
れ、且つ前記クロス挟持部材には、挟持したクロスが見
える孔を設けることとした。また本願請求項３に記載の
発明は、ターンテーブルに貼り付けたクロスを剥離する
のに用いるターンテーブル用クロスの剥離治具におい
て、前記剥離治具は、前記クロスをその上下から挟持す
るクロス挟持部材を、筒状であって外周にクロス挿入ス
リットを設けてなる巻取シリンダ内に収納して構成さ
れ、且つ前記クロス挟持部材の前記クロスを挟持する挟
持部分側の上下の先端辺の位置をずらせるととした。
め本願請求項１に記載の発明は、ターンテーブルに貼り
付けたクロスを剥離するのに用いるターンテーブル用ク
ロスの剥離治具において、前記剥離治具は、前記クロス
を挟持するクロス挟持部材を、筒状であって外周にクロ
ス挿入スリットを設けてなる巻取シリンダ内に収納して
構成され、且つ前記クロス挟持部材のクロスを挟持する
挟持部分を舌片状に突出せしめることとした。また本願
請求項２に記載の発明は、ターンテーブルに貼り付けた
クロスを剥離するのに用いるターンテーブル用クロスの
剥離治具において、前記剥離治具は、前記クロスを挟持
するクロス挟持部材を、筒状であって外周にクロス挿入
スリットを設けてなる巻取シリンダ内に収納して構成さ
れ、且つ前記クロス挟持部材には、挟持したクロスが見
える孔を設けることとした。また本願請求項３に記載の
発明は、ターンテーブルに貼り付けたクロスを剥離する
のに用いるターンテーブル用クロスの剥離治具におい
て、前記剥離治具は、前記クロスをその上下から挟持す
るクロス挟持部材を、筒状であって外周にクロス挿入ス
リットを設けてなる巻取シリンダ内に収納して構成さ
れ、且つ前記クロス挟持部材の前記クロスを挟持する挟
持部分側の上下の先端辺の位置をずらせるととした。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるターンテーブル用クロスの剥離治具を示す斜視図
である。同図に示すようにこの剥離治具は、クロス挟持
部材１０と巻取シリンダ５０とによって構成されてい
る。以下各構成部品について説明する。
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるターンテーブル用クロスの剥離治具を示す斜視図
である。同図に示すようにこの剥離治具は、クロス挟持
部材１０と巻取シリンダ５０とによって構成されてい
る。以下各構成部品について説明する。
【００１９】ここで図２はクロス挟持部材１０を示す図
であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は正面図、同
図（ｃ）は側面図である。図１，図２に示すように、ク
ロス挟持部材１０は金属製の上部材１１及び下部材２１
と、これら上下部材１１，２１間を固定する２本の固定
用ネジ３１，３１とによって構成されている。
であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は正面図、同
図（ｃ）は側面図である。図１，図２に示すように、ク
ロス挟持部材１０は金属製の上部材１１及び下部材２１
と、これら上下部材１１，２１間を固定する２本の固定
用ネジ３１，３１とによって構成されている。
【００２０】上部材１１は平板状であってその両端近傍
に前記固定用ネジ３１，３１を挿通する貫通孔１７，１
７が設けられている。またその一側辺中央には舌片状に
突出する挟持部分１３が設けられている。挟持部分１３
の下面には多数の平行な凹凸溝からなる挟持面１５が形
成されている。また挟持部分１３の上面中央には上下に
貫通する孔１６が設けられている。
に前記固定用ネジ３１，３１を挿通する貫通孔１７，１
７が設けられている。またその一側辺中央には舌片状に
突出する挟持部分１３が設けられている。挟持部分１３
の下面には多数の平行な凹凸溝からなる挟持面１５が形
成されている。また挟持部分１３の上面中央には上下に
貫通する孔１６が設けられている。
【００２１】一方下部材２１は平板状であってその両端
近傍に前記固定用ネジ３１，３１を螺合する螺合孔２
７，２７が設けられている。またその一側辺中央には舌
片状に突出する挟持部分２３が設けられている。挟持部
分２３の上面には多数の平行な凹凸溝からなる挟持面２
５が形成されている。
近傍に前記固定用ネジ３１，３１を螺合する螺合孔２
７，２７が設けられている。またその一側辺中央には舌
片状に突出する挟持部分２３が設けられている。挟持部
分２３の上面には多数の平行な凹凸溝からなる挟持面２
５が形成されている。
【００２２】ここで図２（ｃ）に示すように、前記上部
材１１の挟持部分１３の突出寸法ａは、下部材２１の挟
持部分２３の突出寸法ｂよりも所定寸法大きく形成され
ている。つまり挟持部分１３の先端辺の位置と挟持部分
２３の先端辺の位置をずらしている。
材１１の挟持部分１３の突出寸法ａは、下部材２１の挟
持部分２３の突出寸法ｂよりも所定寸法大きく形成され
ている。つまり挟持部分１３の先端辺の位置と挟持部分
２３の先端辺の位置をずらしている。
【００２３】次に固定用ネジ３１，３１はその頭部が指
で直接回動できるように、いわゆる蝶ネジタイプに形成
されている。
で直接回動できるように、いわゆる蝶ネジタイプに形成
されている。
【００２４】次に図１に示す巻取シリンダ５０は金属製
であって筒状に形成されており、その内部の空洞は前記
クロス挟持部材１０を収納する内径を有する収納部５１
とされ、またその外周には筒の長手方向に向かって延び
る１本の長尺のクロス挿入スリット５３が設けられ、ま
たその一端面５５の中心部分には矩形孔状の治具係合部
５７が設けられている。
であって筒状に形成されており、その内部の空洞は前記
クロス挟持部材１０を収納する内径を有する収納部５１
とされ、またその外周には筒の長手方向に向かって延び
る１本の長尺のクロス挿入スリット５３が設けられ、ま
たその一端面５５の中心部分には矩形孔状の治具係合部
５７が設けられている。
【００２５】また巻取シリンダ５０の一端面５５近傍の
外周には、周方向に等間隔に４つの円形の貫通孔からな
る第二治具係合部５９が設けられている（図では３つだ
け示している）。
外周には、周方向に等間隔に４つの円形の貫通孔からな
る第二治具係合部５９が設けられている（図では３つだ
け示している）。
【００２６】次にこの剥離治具の使用方法を説明する。
まず図１でターンテーブルの上面に貼り付いている円板
状のクロス８０の外周縁の一部を少しだけ剥がし、該剥
がした部分をクロス挟持部材１０の上下部材１１，２１
の挟持部分１３，２３の挟持面１５，２５で挾み込み
（矢印Ａ）、固定用ネジ３１，３１を貫通孔１７，１７
に挿入して螺合孔２７，２７に螺合させてねじ込むこと
で挟持面１５，２５間にクロス８０を強固に挾み込む。
まず図１でターンテーブルの上面に貼り付いている円板
状のクロス８０の外周縁の一部を少しだけ剥がし、該剥
がした部分をクロス挟持部材１０の上下部材１１，２１
の挟持部分１３，２３の挟持面１５，２５で挾み込み
（矢印Ａ）、固定用ネジ３１，３１を貫通孔１７，１７
に挿入して螺合孔２７，２７に螺合させてねじ込むこと
で挟持面１５，２５間にクロス８０を強固に挾み込む。
【００２７】このとき両挟持部分１３，２３はいずれも
固定用ネジ３１，３１を取り付けた部分からクロス８０
側に突出しているので、例えクロス挟持部材１０の長さ
寸法が短くなったとしても、図２（ａ）に示すように、
クロス８０が固定用ネジ３１，３１に当接して両挟持部
分１３，２３間に十分挿入できなくなることはなく、そ
の挟持は確実に行える。
固定用ネジ３１，３１を取り付けた部分からクロス８０
側に突出しているので、例えクロス挟持部材１０の長さ
寸法が短くなったとしても、図２（ａ）に示すように、
クロス８０が固定用ネジ３１，３１に当接して両挟持部
分１３，２３間に十分挿入できなくなることはなく、そ
の挟持は確実に行える。
【００２８】また図２（ａ）に示すように、上部材１１
に設けた孔１６内に、挟持されたクロス８０が目視でき
るので、クロス８０がどの程度クロス挟持部材１０内に
挿入されているか即座に判断することができる。
に設けた孔１６内に、挟持されたクロス８０が目視でき
るので、クロス８０がどの程度クロス挟持部材１０内に
挿入されているか即座に判断することができる。
【００２９】次に図１に戻ってクロス８０を挟持したク
ロス挟持部材１０を巻取シリンダ５０の収納部５１内に
挿入する（矢印Ｂ）が、このときクロス８０をクロス挿
入スリット５３内に挿入する。以上のようにクロス挟持
部材１０にクロス８０を固定し、更にクロス挟持部材１
０を巻取シリンダ５０内にセットする作業は、作業者の
手前側のクロスについて行っても良いし、向う側のクロ
スについて行っても良いが、作業者の手前側のクロスに
ついて行った方が作業が行い易い。
ロス挟持部材１０を巻取シリンダ５０の収納部５１内に
挿入する（矢印Ｂ）が、このときクロス８０をクロス挿
入スリット５３内に挿入する。以上のようにクロス挟持
部材１０にクロス８０を固定し、更にクロス挟持部材１
０を巻取シリンダ５０内にセットする作業は、作業者の
手前側のクロスについて行っても良いし、向う側のクロ
スについて行っても良いが、作業者の手前側のクロスに
ついて行った方が作業が行い易い。
【００３０】図３はこのときの状態を示す図であり、同
図（ａ）は概略断面図、同図（ｂ）は概略側面図であ
る。同図に示すようにクロス８０はその外周縁が巻取シ
リンダ５０内に挿入された状態でクロス挟持部材１０に
よって挟持・固定されている。
図（ａ）は概略断面図、同図（ｂ）は概略側面図であ
る。同図に示すようにクロス８０はその外周縁が巻取シ
リンダ５０内に挿入された状態でクロス挟持部材１０に
よって挟持・固定されている。
【００３１】このとき図３（ｂ）に示すように、本発明
においては挟持部分１３の先端辺の方が挟持部分２３の
先端辺よりも突出して両者の位置がずれているので、両
挟持部分１３，２３の先端辺が巻取シリンダ５０の内周
面に当接した際にクロス挟持部材１０全体は、固定用ネ
ジ３１，３１の頭部が下降するように斜めに傾斜する。
従って固定用ネジ３１，３１の頭部は巻取シリンダ５０
の内周面に当接しなくなる。
においては挟持部分１３の先端辺の方が挟持部分２３の
先端辺よりも突出して両者の位置がずれているので、両
挟持部分１３，２３の先端辺が巻取シリンダ５０の内周
面に当接した際にクロス挟持部材１０全体は、固定用ネ
ジ３１，３１の頭部が下降するように斜めに傾斜する。
従って固定用ネジ３１，３１の頭部は巻取シリンダ５０
の内周面に当接しなくなる。
【００３２】そして巻取シリンダ５０の治具係合部５７
にラチェット９０の係合部９１を挿入して、図４に示す
ようにラチェット９０を揺動すると（矢印Ｃ）、巻取シ
リンダ５０が一方向に回動して（矢印Ｄ）、巻取シリン
ダ５０の外周にクロス８０が巻き付けられていく。この
作業はテコの原理によって弱い力でも容易且つ確実に行
える。従って前記「従来の技術」の欄で説明したように
ペンチやプライヤーがクロスからはずれてその反動でポ
リッシング装置内の天井等に頭等を強くぶつける恐れは
ない。なお作業者が本剥離治具によってクロス８０を手
前から向う側へ向けて剥がすようにすれば、作業者がポ
リッシング装置に頭等をぶつける恐れが更に少なくなり
安全となる。
にラチェット９０の係合部９１を挿入して、図４に示す
ようにラチェット９０を揺動すると（矢印Ｃ）、巻取シ
リンダ５０が一方向に回動して（矢印Ｄ）、巻取シリン
ダ５０の外周にクロス８０が巻き付けられていく。この
作業はテコの原理によって弱い力でも容易且つ確実に行
える。従って前記「従来の技術」の欄で説明したように
ペンチやプライヤーがクロスからはずれてその反動でポ
リッシング装置内の天井等に頭等を強くぶつける恐れは
ない。なお作業者が本剥離治具によってクロス８０を手
前から向う側へ向けて剥がすようにすれば、作業者がポ
リッシング装置に頭等をぶつける恐れが更に少なくなり
安全となる。
【００３３】なお巻取シリンダ５０に巻き取られたクロ
ス８０の幅（巻取シリンダ５０の長手方向の長さ）が長
くなっていった場合は、図３（ａ）に示すように、治具
係合部５７からラチェット９０の係合部９１を一旦外
し、治具係合部５７に中間棒９３を係合し、その他端に
ラチェット９０の係合部９１を係合し、この状態で再び
巻取シリンダ５０を回動していけば良い。更にクロス８
０の幅が長くなった場合は更に別の中間棒９３を継ぎ足
す。
ス８０の幅（巻取シリンダ５０の長手方向の長さ）が長
くなっていった場合は、図３（ａ）に示すように、治具
係合部５７からラチェット９０の係合部９１を一旦外
し、治具係合部５７に中間棒９３を係合し、その他端に
ラチェット９０の係合部９１を係合し、この状態で再び
巻取シリンダ５０を回動していけば良い。更にクロス８
０の幅が長くなった場合は更に別の中間棒９３を継ぎ足
す。
【００３４】なおラチェット９０を使用しないで巻取シ
リンダ５０を回動しようとする場合は、巻取シリンダ５
０の第二治具係合部５９に棒を通して該棒を回動するよ
うにしても良い。なお巻取シリンダ５０の回動手段とし
ては上記手段以外の別の手段を用いても良い。
リンダ５０を回動しようとする場合は、巻取シリンダ５
０の第二治具係合部５９に棒を通して該棒を回動するよ
うにしても良い。なお巻取シリンダ５０の回動手段とし
ては上記手段以外の別の手段を用いても良い。
【００３５】以上本発明の実施形態を詳細に説明したが
本発明はこの実施形態に限定されず、例えば以下のよう
な変形が可能である。 上記実施形態ではクロス挟持部材と巻取シリンダとは
別部材であったが、これらは一体としても良い。即ち例
えば巻取シリンダの内周面から２枚の近接する舌片を突
出させ、クロス挿入スリットを挿通されたクロスの端を
この舌片で挟持し、その後にこの舌片同士をネジなどで
圧接するようにしても良い。
本発明はこの実施形態に限定されず、例えば以下のよう
な変形が可能である。 上記実施形態ではクロス挟持部材と巻取シリンダとは
別部材であったが、これらは一体としても良い。即ち例
えば巻取シリンダの内周面から２枚の近接する舌片を突
出させ、クロス挿入スリットを挿通されたクロスの端を
この舌片で挟持し、その後にこの舌片同士をネジなどで
圧接するようにしても良い。
【００３６】上記実施形態では上下部材１１，２１の
挟持部分１３，２３にそれぞれ凹凸溝からなる挟持面１
５，２５を設けているが、その代りに、図６に示すよう
にピン１２７とピン挿入孔１２８とを設けても良い。ま
たその他の構造の挟持面（例えば摩擦面を有する部材を
貼り付けることなど）としても良く、場合によっては凹
凸溝やピン等を何ら設けなくても良い。
挟持部分１３，２３にそれぞれ凹凸溝からなる挟持面１
５，２５を設けているが、その代りに、図６に示すよう
にピン１２７とピン挿入孔１２８とを設けても良い。ま
たその他の構造の挟持面（例えば摩擦面を有する部材を
貼り付けることなど）としても良く、場合によっては凹
凸溝やピン等を何ら設けなくても良い。
【００３７】上記実施形態においてはクロス挟持部材
１０と巻取シリンダ５０をいずれも金属製としたが金属
以外の材料で構成しても良い。
１０と巻取シリンダ５０をいずれも金属製としたが金属
以外の材料で構成しても良い。
【００３８】上記実施形態では固定用ネジ３１，３１
として蝶ネジを用いたが、他の形状構造のネジを用いて
も良いことは言うまでもない。また上下部材１１，２１
間を固定するのは必ずしも固定用ネジ３１，３１である
必要はなく、ボルト・ナットなど、他の固定手段でも良
い。また上下部材１１，２１の一端をヒンジ構造とすれ
ば、固定用ネジ３１は該ヒンジ構造の反対側に１本取り
付ければ良い。
として蝶ネジを用いたが、他の形状構造のネジを用いて
も良いことは言うまでもない。また上下部材１１，２１
間を固定するのは必ずしも固定用ネジ３１，３１である
必要はなく、ボルト・ナットなど、他の固定手段でも良
い。また上下部材１１，２１の一端をヒンジ構造とすれ
ば、固定用ネジ３１は該ヒンジ構造の反対側に１本取り
付ければ良い。
【００３９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば以下のような優れた効果を有する。 クロス挟持部材の挟持部分を舌片状に突出したので、
例えこのクロス挟持部材の長さ寸法が短くなったとして
も、クロスの挟持は確実に行える。
ば以下のような優れた効果を有する。 クロス挟持部材の挟持部分を舌片状に突出したので、
例えこのクロス挟持部材の長さ寸法が短くなったとして
も、クロスの挟持は確実に行える。
【００４０】クロス挟持部材に挟持したクロスが見え
る孔を設けたので、挟持されたクロスを該孔から目視で
き、クロス挟持部材にクロスが十分に挟持されているか
否かを即座に判断することができる。
る孔を設けたので、挟持されたクロスを該孔から目視で
き、クロス挟持部材にクロスが十分に挟持されているか
否かを即座に判断することができる。
【００４１】クロス挟持部材のクロスを挟持する側の
上下の先端辺の位置をずらせたので、クロス挟持部材に
取り付けた固定用ネジの頭部が巻取シリンダの内周面に
当接しなくなり、該頭部及び巻取シリンダの内周面が破
壊される恐れがなくなる。
上下の先端辺の位置をずらせたので、クロス挟持部材に
取り付けた固定用ネジの頭部が巻取シリンダの内周面に
当接しなくなり、該頭部及び巻取シリンダの内周面が破
壊される恐れがなくなる。
【図１】本発明の一実施形態にかかるターンテーブル用
クロスの剥離治具を示す斜視図である。
クロスの剥離治具を示す斜視図である。
【図２】クロス挟持部材１０を示す図であり、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は正面図、同図（ｃ）は側
面図である。
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は正面図、同図（ｃ）は側
面図である。
【図３】剥離治具の使用方法を示す図であり、同図
（ａ）は概略断面図、同図（ｂ）は概略側面図である。
（ａ）は概略断面図、同図（ｂ）は概略側面図である。
【図４】剥離治具の使用方法を示す概略側面図である。
【図５】クロス８０を剥がす従来の方法を示す概略図で
ある。
ある。
【図６】本願出願人が発明した剥離治具を示す斜視図で
ある。
ある。
【図７】図７（ａ），図７（ｂ），図７（ｃ）は図６に
示す剥離治具の問題点を示す図である。
示す剥離治具の問題点を示す図である。
【符号の説明】 １０ クロス挟持部材 １１ 上部材 １３ 挟持部分 １５ 挟持面 １６ 孔 ２１ 下部材 ２３ 挟持部分 ２５ 挟持面 ３１，３１ 固定用ネジ ５０ 巻取シリンダ ５３ クロス挿入スリット ８０ クロス ９５ ターンテーブル
Claims (3)
- 【請求項１】 ターンテーブルに貼り付けたクロスを剥
離するのに用いるターンテーブル用クロスの剥離治具に
おいて、 前記剥離治具は、前記クロスを挟持するクロス挟持部材
を、筒状であって外周にクロス挿入スリットを設けてな
る巻取シリンダ内に収納して構成され、 且つ前記クロス挟持部材のクロスを挟持する挟持部分を
舌片状に突出せしめたことを特徴とするターンテーブル
用クロスの剥離治具。 - 【請求項２】 ターンテーブルに貼り付けたクロスを剥
離するのに用いるターンテーブル用クロスの剥離治具に
おいて、 前記剥離治具は、前記クロスを挟持するクロス挟持部材
を、筒状であって外周にクロス挿入スリットを設けてな
る巻取シリンダ内に収納して構成され、 且つ前記クロス挟持部材には、挟持したクロスが見える
孔を設けたことを特徴とするターンテーブル用クロスの
剥離治具。 - 【請求項３】 ターンテーブルに貼り付けたクロスを剥
離するのに用いるターンテーブル用クロスの剥離治具に
おいて、 前記剥離治具は、前記クロスをその上下から挟持するク
ロス挟持部材を、筒状であって外周にクロス挿入スリッ
トを設けてなる巻取シリンダ内に収納して構成され、 且つ前記クロス挟持部材の前記クロスを挟持する挟持部
分側の上下の先端辺の位置をずらせたことを特徴とする
ターンテーブル用クロスの剥離治具。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038453A JPH10217149A (ja) | 1997-02-05 | 1997-02-05 | ターンテーブル用クロスの剥離治具 |
| US09/018,911 US5878973A (en) | 1997-02-05 | 1998-02-05 | Tool for peeling turntable polishing cloth |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038453A JPH10217149A (ja) | 1997-02-05 | 1997-02-05 | ターンテーブル用クロスの剥離治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10217149A true JPH10217149A (ja) | 1998-08-18 |
Family
ID=12525703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9038453A Pending JPH10217149A (ja) | 1997-02-05 | 1997-02-05 | ターンテーブル用クロスの剥離治具 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5878973A (ja) |
| JP (1) | JPH10217149A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018001386A (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 株式会社荏原製作所 | ターンテーブル用クロスの剥離治具 |
| US10730162B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-08-04 | Ebara Corporation | Turntable cloth peeling jig |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11124931B2 (en) * | 2019-10-18 | 2021-09-21 | James P. Shea | Temporary tape removal hub for tape removal machine |
| US11958281B2 (en) * | 2021-09-03 | 2024-04-16 | TSC International Products, LLC | Removal tool for flooring planks |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3593938A (en) * | 1969-10-08 | 1971-07-20 | United States Steel Corp | Method and apparatus for processing strip |
| DE3334370A1 (de) * | 1983-09-23 | 1985-04-11 | Kolb & Schüle AG, 7312 Kirchheim | Einrichtung zum wickeln von flaechigen stoff- oder folienbahnen |
| US5234867A (en) * | 1992-05-27 | 1993-08-10 | Micron Technology, Inc. | Method for planarizing semiconductor wafers with a non-circular polishing pad |
| US5245796A (en) * | 1992-04-02 | 1993-09-21 | At&T Bell Laboratories | Slurry polisher using ultrasonic agitation |
| US5310455A (en) * | 1992-07-10 | 1994-05-10 | Lsi Logic Corporation | Techniques for assembling polishing pads for chemi-mechanical polishing of silicon wafers |
| JP2894153B2 (ja) * | 1993-05-27 | 1999-05-24 | 信越半導体株式会社 | シリコンウエーハの製造方法、およびその装置 |
| US5439551A (en) * | 1994-03-02 | 1995-08-08 | Micron Technology, Inc. | Chemical-mechanical polishing techniques and methods of end point detection in chemical-mechanical polishing processes |
| JP3438446B2 (ja) * | 1995-05-15 | 2003-08-18 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| US5665656A (en) * | 1995-05-17 | 1997-09-09 | National Semiconductor Corporation | Method and apparatus for polishing a semiconductor substrate wafer |
| US5908530A (en) * | 1995-05-18 | 1999-06-01 | Obsidian, Inc. | Apparatus for chemical mechanical polishing |
| US5720845A (en) * | 1996-01-17 | 1998-02-24 | Liu; Keh-Shium | Wafer polisher head used for chemical-mechanical polishing and endpoint detection |
| US5645682A (en) * | 1996-05-28 | 1997-07-08 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method for conditioning a planarizing substrate used in chemical-mechanical planarization of semiconductor wafers |
| US5705435A (en) * | 1996-08-09 | 1998-01-06 | Industrial Technology Research Institute | Chemical-mechanical polishing (CMP) apparatus |
| US5736427A (en) * | 1996-10-08 | 1998-04-07 | Micron Technology, Inc. | Polishing pad contour indicator for mechanical or chemical-mechanical planarization |
-
1997
- 1997-02-05 JP JP9038453A patent/JPH10217149A/ja active Pending
-
1998
- 1998-02-05 US US09/018,911 patent/US5878973A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018001386A (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 株式会社荏原製作所 | ターンテーブル用クロスの剥離治具 |
| US10730162B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-08-04 | Ebara Corporation | Turntable cloth peeling jig |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5878973A (en) | 1999-03-09 |
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