JPH10213766A - 2次元光偏向装置 - Google Patents

2次元光偏向装置

Info

Publication number
JPH10213766A
JPH10213766A JP9028355A JP2835597A JPH10213766A JP H10213766 A JPH10213766 A JP H10213766A JP 9028355 A JP9028355 A JP 9028355A JP 2835597 A JP2835597 A JP 2835597A JP H10213766 A JPH10213766 A JP H10213766A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light deflecting
dimensional light
deflecting device
axes
dimensional
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9028355A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3684016B2 (ja
Inventor
Shuzo Seo
修三 瀬尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd filed Critical Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority to JP02835597A priority Critical patent/JP3684016B2/ja
Priority to US09/010,920 priority patent/US5959758A/en
Publication of JPH10213766A publication Critical patent/JPH10213766A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3684016B2 publication Critical patent/JP3684016B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/105Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1827Motorised alignment
    • G02B7/1828Motorised alignment using magnetic means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光偏向走査を2次元的に行う。 【解決手段】 光偏向装置1は受部10と偏向部20と
駆動機構30a、30b、30c、30dを有する。駆
動機構は球体Sの中心Cを交点として直交するX軸とY
軸上に中心Cからそれぞれ等距離の位置に設けられてい
る。駆動機構30aおよび30bにより偏向部20をX
軸回りにx1方向もしくはx2方向に回動させるととも
に、同時に駆動機構30cおよび30dにより偏向部2
0をY軸回りにy1方向もしくはy2方向に回動させつ
つ光ビームを中心Cに照射する。X軸回りおよびY軸回
りの回動の方向、角度を制御して偏向部20を逐次所定
の角度に位置決めすることにより、2次元的な光偏向走
査が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スキャナー等の光
走査に用いられる2次元光偏向装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、スキャナー等の光走査において光
源から照射される光ビームを偏向する機構としてポリゴ
ンミラー、ガルバノミラー、ホログラムスキャン等を用
いた光偏向器が知られている。これらの光偏向器はいず
れも1軸の周りに回転する回転体の一部の面にミラーも
しくはホログラムを設け、その回転体を回転させること
により光ビームを偏向させている。そのため、光ビーム
は常に1次元的に走査され、2次元的な走査は行えなか
った。
【0003】このような光偏向器を用いて光ビームを2
次元的に偏向させるためには、例えばポリゴンミラーで
あれば回転軸に対する各ミラーの角度を変えたり、ホロ
グラムスキャンであれば回転する円板を複数の領域に分
割し、各領域に異なるホログラムを設けなければならな
い。また、これらの光偏向器を組み合わせるといったこ
とが必要である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、走査線
の数はミラーやホログラムの数により制限されてしま
う。また、高度な2次元走査を行おうとすると光偏向器
が大型化したり、複雑化するという問題があった。
【0005】本発明は、以上の問題を解決するものであ
り、簡易な構成で2次元的に光を偏向することが可能な
光偏向器を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る2次元光偏
向装置は、互いに交わる2軸の交点を中心とする球体の
外周面の一部から成る壁部とミラー部とを有する光偏向
部と、光偏向部の壁部の外周面を摺動可能に支持する開
口部が設けられた受部と、2軸のそれぞれの軸の延長上
に設けられた駆動機構とを有し、駆動機構が光偏向部の
位置を制御することを特徴とする。
【0007】例えば駆動機構は、光偏向部に埋設された
永久磁石と受部内に埋設されたヨークとコイルとから成
り、コイルは永久磁石とヨークにより形成される磁束内
に位置するよう配設される。
【0008】例えば駆動機構が光偏向部を2軸の回りに
回動させることにより光偏向部の位置制御が行われる。
【0009】好ましくは2軸は直交している。
【0010】好ましくはミラーは2軸の交点を通る平面
上に設けられる平面ミラーである。
【0011】好ましくは光ビームが交点に照射される。
【0012】例えば駆動機構が2軸の交点から等距離に
設けられ、また2軸上にそれぞれ2つ設けられている。
【0013】例えば永久磁石、ヨークは球体の外周面に
沿って湾曲している。
【0014】例えば平面ミラーは円形であり、壁部はリ
ング状である。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る光偏向
装置の斜視図である。光偏向装置1は、受部10と偏向
部20を有する。受部10は直方体であり、開口部11
が設けられている。偏向部20は開口部11内に摺動可
能に支持されている。
【0016】図2は光偏向装置1の受部10のみを示す
斜視図、図3は偏向部20のみを示す斜視図である。受
部10の開口部11の内壁11aは球状空間を区画する
壁面の一部であって、球の中心を通る平面と交差する部
分の近傍部分を構成するリング状壁面である。すなわ
ち、開口部11は受部10の底面に平行な面で切断した
断面形状が円であり、その直径は受部10の中心を通り
かつ底面に平行な面で切断した場合に最も大きく、両底
面に近づくにつれ次第に小さくなるよう形成されてい
る。
【0017】偏向部20はリング状の壁部21と円板2
2を有している。壁部21は円板22の側端部周囲に設
けられ、円板22と一体的である。また、壁部21の外
側面は開口部11の内壁11aに合致した形状を有し、
内壁11aに摺動可能に支持される。
【0018】図4は図1におけるA−A矢視断面図であ
る。上述のように受部10の開口部11の内壁11aお
よび偏向部20の壁部21の外側面は球体Sの外周面の
一部に相当する形状を有している。また、偏向部20の
断面形状はほぼH字型であり、壁部21の環状内側面2
1aおよび21bは円板22に向かってテーパー状に傾
斜している。さらに、円板22の一方の表面には球体S
の中心を通る平面上に位置するよう平面ミラー23が設
けられている。
【0019】図4において偏向部20の右端部には駆動
機構30aが設けられている。駆動機構30aは、壁部
21に埋設された永久磁石31a、受部10に埋設され
たコイル32aおよび金属板であるヨーク33aを有す
る。コイル32aは永久磁石31aとヨーク33aの間
に位置決めされ、平面ミラー23を駆動するのに十分な
長さを有している。さらに永久磁石31aおよびヨーク
33aは球体Sの外周囲に沿って湾曲した形状を有して
いる。同様に偏向部20の左端部には駆動機構30bが
設けられている。駆動機構30bは駆動機構30aと同
様、壁部21に埋設された永久磁石31b、受部10に
埋設されたコイル32bおよび金属板であるヨーク33
bを有する。また、コイル32bは永久磁石31bとヨ
ーク33bの間に位置決めされかつ平面ミラー23を駆
動するのに十分な長さを有しており、永久磁石31bお
よびヨーク33bは球体Sの外周囲に沿って湾曲した形
状を有している。
【0020】図5は、駆動機構30aにおける磁束密度
とコイル32aに流れる電流と電磁力の関係を模式的に
表した図である。コイル32aは、永久磁石31aとヨ
ーク33aの間の磁束密度Bの影響を受ける位置に位置
決めされている。電流がi1方向に流れるとコイル32
aにはフレミングの法則によりF1方向の電磁力が作用
する。駆動機構30aにおいてコイル32aは固定され
ているため、永久磁石31aにF2方向の推力が働く。
一方、電流がi2方向に流れるとコイル32aにはフレ
ミングの法則によりF2方向の電磁力が作用し、永久磁
石31aにはF1方向の推力が働く。
【0021】上述のように、永久磁石31aおよび31
bは偏向部20の壁部21に埋設され、かつ偏向部20
は受部10の開口部11に摺動可能に支持されているた
め、コイル32aおよび32bに所定の向きの電流を流
すと、それぞれの駆動機構内で発生する力により偏向部
20は図4において中心Cを中心として時計回りあるい
は反時計回りに回動する。例えば駆動機構30aにおい
てi1方向(図5参照)に電流を流すと、偏向部20は
図4において時計回りに回動する。
【0022】したがって、コイル32aおよび32bに
流す電流の方向および強さを制御することにより光走査
が行われる。すなわち、このような光偏向装置1に光源
(図示せず)から光ビームLを発射してミラー23に照
射しながら、偏向部20を回動させることにより光走査
が行われる。尚、本実施形態においては、光ビームLが
偏向部20のミラー23の中心(球体Sの中心C)にあ
たるよう、光源および光偏向装置1は配設される。
【0023】尚、光偏向装置1には、駆動機構のコイル
に必要以上に大きな電流が流れて偏向部20が受部10
の開口部11から離脱することがないよう、不図示のス
トッパー部材が所定の位置に設けられている。
【0024】図7は光偏向装置1をミラー23が設けら
れた方向から示す平面図である。本実施形態の光偏向装
置1には駆動機構が4つ設けられている。すなわち、球
体Sの中心Cを交点として直交するX軸とY軸上に中心
Cからそれぞれ等距離の位置に設けられている。X軸上
には中心Cを挟んで駆動機構30cと30dが配設さ
れ、Y軸上には中心Cを挟んで駆動機構30aと30b
が配設されている。駆動機構30cおよび30dは、駆
動機構30a、30bと同様の構成を有している。すな
わち、駆動機構30cは、永久磁石31c、コイル32
c、ヨーク33cを有し、駆動機構30dは永久磁石3
1d、コイル32d、ヨーク33dを有している。
【0025】上述のように、各駆動機構においてコイル
に流す電流の向きおよび強さを制御することにより、偏
向部20はX軸、Y軸回りに回動する。駆動機構30a
および30bによりX軸回りの回動が制御され、駆動機
構30cおよび30dによりY軸回りの回動が制御され
る。
【0026】このような光偏向装置1を用いて2次元的
な光偏向走査は以下のように行う。駆動機構30aおよ
び30bにより偏向部20をX軸回りにx1方向もしく
はx2方向に回動させるとともに、同時に駆動機構30
cおよび30dにより偏向部20をY軸回りにy1方向
もしくはy2方向に回動させつつ光ビームを中心Cに照
射する。X軸回りおよびY軸回りの回動の方向、角度を
制御して偏向部20を逐次所定の角度に位置決めするこ
とにより、2次元的な光偏向走査が行われる。
【0027】また、以下のような走査を行うことも可能
である。駆動機構30aおよび30bにより偏向部20
をX軸回りにx1方向に所定の角度まで回動させて位置
決めしたまま光ビームを中心Cに照射し、同時に駆動機
構30cおよび30dにより偏向部20をY軸回りにy
1およびy2方向に回動させて1ライン分の走査を行
う。次に駆動機構30aおよび30bにより偏向部20
をx1方向にさらに所定の角度まで回動させて位置決め
したまま、駆動機構30cおよび30dにより偏向部2
0をY軸回りにy1およびy2方向に回動させ、次の1
ライン分の走査を行う。このような動作を繰り返すこと
により従来のテレビやプリンター等で行われているよう
な2次元的光偏向走査が行われる。
【0028】以上のように本実施形態によれば、光ビー
ムを反射させる平面ミラーを直交する2軸の周りに回動
させることにより2次元的な光偏向走査を行っているた
め、装置構成が簡易であり、また大型化することもな
い。
【0029】さらに、本実施形態において光ビームは回
転軸の交点に照射されるのでミラー面が回動しても照射
位置は移動しないため精度の高い2次元走査を行うこと
ができる。
【0030】また、駆動機構のコイルに流す電流の強さ
を制御することにより、走査線のピッチを自由に制御す
ることができる。
【0031】尚、本実施形態では駆動機構を4つ設けて
いるがこれに限るものではなく、直交する2軸の回りに
回動することが可能なように、各軸の延長上にそれぞれ
少なくとも1つ設けられていればよい。
【0032】また、本実施形態ではX軸、Y軸が受部1
0の底面の辺と平行に延びているがこれに限るものでは
ない。
【0033】また、本実施形態では平面ミラー23が偏
向部20の中心に配設されているがこれに限るものでは
なく、光ビームの2次元走査が可能な位置に配設されて
いればよい。
【0034】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、2次元的
な光偏向走査を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光偏向装置の斜視図である。
【図2】本発明の光偏向装置の受部の斜視図である。
【図3】本発明の光偏向装置の偏向部の斜視図である。
【図4】本発明の光偏向装置の図1におけるA−A矢視
断面図である。
【図5】本発明の光偏向装置に用いられる駆動機構の構
成を示す模式図である。
【図6】偏向部が回動された状態の光偏向装置の断面図
である。
【図7】本発明の光偏向装置の平面図である。
【符号の説明】
1 光偏向装置 10 受部 20 偏向部 30a、30b、30c、30d 駆動機構 31a、31b、31c、31d 永久磁石 32a、32b、32c、32d コイル 33a、33b、33c、33d ヨーク
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年1月20日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】上述のように、永久磁石31aおよび31
bは偏向部20の壁部21に埋設され、かつ偏向部20
は受部10の開口部11に摺動可能に支持されているた
め、コイル32aおよび32bに所定の向きの電流を流
すと、それぞれの駆動機構内で発生する力により偏向部
20は図4において中心Cを中心として時計回りあるい
は反時計回りに回動する。例えば駆動機構30aにおい
てi1方向(図5参照)に電流を流すと、偏向部20は
図4において時計回りに回動する(図6参照)

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに交わる2軸の交点を中心とする球
    体の外周面の一部から成る壁部とミラー部とを有する光
    偏向部と、前記光偏向部の壁部の外周面を摺動可能に支
    持する開口部が設けられた受部と、前記2軸のそれぞれ
    の軸の延長上に設けられた駆動機構とを有し、前記駆動
    機構が前記光偏向部の位置を制御することを特徴とする
    2次元光偏向装置。
  2. 【請求項2】 前記駆動機構が前記光偏向部に埋設され
    た永久磁石と前記受部内に埋設されたヨークとコイルか
    ら成り、前記コイルは前記永久磁石と前記ヨークにより
    形成される磁束内に位置するよう配設されていることを
    特徴とする請求項1に記載の2次元光偏向装置。
  3. 【請求項3】 前記駆動機構が前記光偏向部を前記2軸
    の回りに回動させることにより前記光偏向部の位置制御
    が行われることを特徴とする請求項1に記載の2次元光
    偏向装置。
  4. 【請求項4】 前記2軸が直交していることを特徴とす
    る請求項1に記載の2次元光偏向装置。
  5. 【請求項5】 前記ミラーが前記2軸の交点を通る平面
    上に設けられる平面ミラーであることを特徴とする請求
    項1または請求項4に記載の2次元光偏向装置。
  6. 【請求項6】 光ビームが前記交点に照射されることを
    特徴とする請求項1または請求項4に記載の2次元光偏
    向装置。
  7. 【請求項7】 前記駆動機構が前記2軸の交点から等距
    離に設けられていることを特徴とする請求項1または請
    求項4に記載の2次元光偏向装置。
  8. 【請求項8】 前記駆動機構が前記2軸上にそれぞれ2
    つ設けられていることを特徴とする請求項1または請求
    項4に記載の2次元光偏向装置。
  9. 【請求項9】 前記永久磁石が前記球体の外周面に沿っ
    て湾曲していることを特徴とする請求項2に記載の2次
    元光偏向装置。
  10. 【請求項10】 前記ヨークが前記球体の外周面に沿っ
    て湾曲していることを特徴とする請求項2に記載の2次
    元光偏向装置。
  11. 【請求項11】 前記平面ミラーが円形であることを特
    徴とする請求項5に記載の2次元光偏向装置。
  12. 【請求項12】 前記壁部がリング状であることを特徴
    とする請求項1に記載の2次元光偏向装置。
JP02835597A 1997-01-28 1997-01-28 2次元光偏向装置 Expired - Fee Related JP3684016B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02835597A JP3684016B2 (ja) 1997-01-28 1997-01-28 2次元光偏向装置
US09/010,920 US5959758A (en) 1997-01-28 1998-01-23 Two-dimensional optical deflecting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02835597A JP3684016B2 (ja) 1997-01-28 1997-01-28 2次元光偏向装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10213766A true JPH10213766A (ja) 1998-08-11
JP3684016B2 JP3684016B2 (ja) 2005-08-17

Family

ID=12246311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP02835597A Expired - Fee Related JP3684016B2 (ja) 1997-01-28 1997-01-28 2次元光偏向装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5959758A (ja)
JP (1) JP3684016B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879747B2 (en) 2000-11-16 2005-04-12 Olympus Optical Co., Ltd. Galvanometer mirror and optical switching device using the same
JP2010102147A (ja) * 2008-10-24 2010-05-06 Seiko Epson Corp 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置
JP2014503365A (ja) * 2011-01-28 2014-02-13 ガス、テクノロジー、インスティチュート レーザ物体処理ツール
JP2014064017A (ja) * 2009-02-10 2014-04-10 Carl Zeiss Smt Gmbh 投影露光システム用の少なくとも1つの磁石を有するアクチュエータ

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3315893B2 (ja) * 1997-05-27 2002-08-19 旭光学工業株式会社 光学偏向装置の電磁駆動装置
GB2439346B (en) * 2006-06-19 2008-12-03 Carel Van Der Walt Improved gimbal
US7994674B2 (en) 2008-01-25 2011-08-09 Mcclellan W Thomas Flux-focused shaped permanent magnet, magnetic unit having the magnets, device having the magnetic units and method for asymmetrically focusing flux fields of permanent magnets
CN101732870A (zh) * 2008-11-07 2010-06-16 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 仿真眼睛
ES2552924T3 (es) * 2011-06-17 2015-12-03 Abariscan Gmbh Aparato de posicionamiento y sistema para dirigir un rayo
US9765920B2 (en) 2011-06-17 2017-09-19 Abariscan Gmbh Positioning apparatus and system for directing a beam
EP3006975A3 (en) 2014-10-08 2016-05-25 Optotune AG Device for tilting an optical element, particularly a mirror
US10712580B2 (en) * 2016-10-27 2020-07-14 Tdk Taiwan Corp. Driving mechanism and camera module
KR101892857B1 (ko) 2017-06-12 2018-08-28 삼성전기주식회사 손떨림 보정 반사모듈 및 이를 포함하는 카메라 모듈
MX2021008333A (es) 2019-01-09 2021-08-11 Green Wave Power Systems Llc Sistema y metodo para perturbar un campo asimetrico magnetico permanente para mover un cuerpo.
US11732769B2 (en) 2019-01-09 2023-08-22 Green Wave Power Systems Llc Magnetically-coupled torque-assist apparatus
WO2020146594A1 (en) 2019-01-09 2020-07-16 Green Wave Power Systems Llc Magnetically-coupled torque-assist apparatus
US11487127B2 (en) * 2019-10-23 2022-11-01 Microsoft Technology Licensing, Llc Magnetic seesaw scanner
EP3822690B1 (en) 2019-11-13 2024-04-03 Thorlabs GmbH Voice coil actuator for angular movements
US20210173177A1 (en) * 2019-12-05 2021-06-10 Panasonic Automotive Systems Company Of America, Division Of Panasonic Corporation Of North America Magnetic mirror movement
US11646630B2 (en) 2021-09-30 2023-05-09 Green Wave Power Systems Llc System and method for generating rotation of a body to generate energy and reduce climate change

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3942879A (en) * 1975-03-19 1976-03-09 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Mirror steering system
IT1286550B1 (it) * 1996-02-13 1998-07-15 El En S R L Dispositivo e metodo di deflessione di un fascio laser mediante specchio singolo

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879747B2 (en) 2000-11-16 2005-04-12 Olympus Optical Co., Ltd. Galvanometer mirror and optical switching device using the same
JP2010102147A (ja) * 2008-10-24 2010-05-06 Seiko Epson Corp 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置
JP2014064017A (ja) * 2009-02-10 2014-04-10 Carl Zeiss Smt Gmbh 投影露光システム用の少なくとも1つの磁石を有するアクチュエータ
JP2014503365A (ja) * 2011-01-28 2014-02-13 ガス、テクノロジー、インスティチュート レーザ物体処理ツール

Also Published As

Publication number Publication date
US5959758A (en) 1999-09-28
JP3684016B2 (ja) 2005-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3684016B2 (ja) 2次元光偏向装置
US7643196B2 (en) Systems, methods and devices for actuating a moveable miniature platform
KR100619081B1 (ko) 진동형 멀티 빔편향기 및 이를 구비한 멀티 빔주사장치
JPH0727988A (ja) 光走査装置
US7768686B2 (en) Light-beam-scanning system utilizing counter-rotating prism wheels
CN110325920A (zh) 柱塞线圈致动器
JP2006072251A (ja) プレーナ型アクチュエータ
CA1280823C (en) Optical scanning unit
JP5063402B2 (ja) レーザ加工装置
JP2709928B2 (ja) 二次元走査装置
JP2006239703A (ja) レーザ加工装置
WO2024034071A1 (ja) 試料の表面検査装置
JPH03161778A (ja) 分割露光装置
JPH05258700A (ja) 走査像観察方法および走査電子顕微鏡
JPH07146447A (ja) レーザースキャニングミラーアクチュエータ
JPH0560989A (ja) ラスタ走査装置
JP2740021B2 (ja) レーザ走査装置
JP2002287067A (ja) 光走査装置
JPH07201055A (ja) 光ディスク傾き補正機構
JP4429783B2 (ja) アパーチャ板支持機構及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置
JPH04177312A (ja) 光走査装置とこれに用いる光走査部材
JPH01180510A (ja) 線像走査装置
JPH0511210A (ja) 光走査装置
JPS62184414A (ja) 半導体レ−ザ光学装置
JP2005275062A (ja) 光偏向器

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050225

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050420

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050524

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050527

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080603

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090603

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100603

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100603

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110603

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120603

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120603

Year of fee payment: 7

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120603

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120603

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees