JP2010102147A - 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 - Google Patents
光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光学デバイス1は、光を反射する反射膜21を有する可動板11と、可動板11をX軸周りに回動可能に支持する弾性支持部13とを備え、可動板11の側面14は、X軸と反対側に反射膜21の外縁より突出している。これにより、可動板11をX軸周りに回動させたときに、気流によって可動板11に吸い寄せられる塵や埃などが、反射膜21ではなく可動板11の側面14に付着する。
【選択図】図1
Description
かかる構成によれば、可動板の側面において、最も突出している部分が丸いので、可動板を所定軸周りに回動させたときに、気流が可動板の側面に沿って流れやすくなり、可動板に塵や埃などを吸い寄せる気流が生じにくくなる。これにより、可動板の側面に付着する塵や埃などの量を減少させることができる。
かかる構成によれば、前述した本発明に係る光学デバイスを備えるので、反射面の汚れを防止することができる。これにより、反射面の反射率の低下を防止することができ、反射した光の輝度を維持できる優れた光学特性を有する光スキャナを実現することができる。
かかる構成によれば、前述した本発明に係る光スキャナを備えるので、反射面で反射した光の輝度を維持できる。これにより、光源における消費電力の増大を抑制することができるとともに、優れた描画特性を有する画像形成装置を実現することができる。
(光学デバイス)
最初に、図1乃至図4を参照して本発明に係る光学デバイスについて説明する。図1は、本発明に係る光学デバイスの構成を説明する平面図である。図2は、図1のII−II線における断面図である。
また、図23の工程の後、水素アニール処理を加えることでも角に丸みを加えることができる。この処理を用いた場合、突出部に丸みを形成するだけでなく、同時に、弾性支持部表面の平坦化が可能で、KOHでのウェットエッチング時に形成される微小の欠陥を大幅に低減することができ、弾性支持部にねじり応力が生じた場合の破断に対する強度を向上させることができる。
また、図4に示したような形状にするためには、KOHで図23の形状を形成した後に、KOHでのウェットエッチングを継続することで形成できる。この方法は、シリコンの(111)で図23のようなテーパが形成された場合、角部は、エッチングレートがテーパ部よりも大幅に早いことを利用するものである。
前述の光学デバイス1は、反射膜21を備えているため、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイなどの画像形成装置に備える光スキャナに好適に適用することができる。なお、本発明に係る光スキャナは、前述した光学デバイス1と同様の構成であるため、その説明を省略する。
次に、図24を参照して本発明に係る画像形成装置について説明する。図24は、本発明に係る光スキャナを備える画像形成装置の一例を説明する概略図である。
Claims (5)
- 光を反射する反射面を有する可動板と、
前記可動板を所定軸周りに回動可能に支持する支持部とを備え、
前記可動板の側面は、前記所定軸と反対側に前記反射面の外縁より突出している
ことを特徴とする光学デバイス。 - 前記可動板の側面を構成する材料はシリコンであり、
前記可動板の側面は、結晶方位が(111)である平面を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の光学デバイス。 - 前記可動板の側面において、最も突出している部分が丸い
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学デバイス。 - 請求項1乃至3の何れかに記載の光学デバイスを備える
ことを特徴とする光スキャナ。 - 請求項4に記載の光スキャナを備える
ことを特徴とする画像形成装置。
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