JPH10211699A - インク滴噴射装置 - Google Patents

インク滴噴射装置

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JPH10211699A
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虎彦 神田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 インク滴の大きさを可変することによって容
易に濃度階調記録を実現し得るインク滴噴射装置を提供
すること。 【解決手段】 一方の面にインク滴噴射口2aを有する
インク滴噴射室2を備えた板状の噴射室形成部材10
と、この噴射室形成部材10の他方の面にインク滴噴射
室2aを覆うように振動板3を有する。この振動板3と
噴射室形成部材10との間に、インク滴噴射室2の底面
領域を囲むようにスペーサ部材4を装備し、このスペー
サ部材4の内側にインク滴噴射室2に連通する環状の隙
間部5を設ける。この隙間部5に連通するインク流路7
を形成する。そして、振動板3を励振してインク滴噴射
室2内のインクWに間欠的な液流を発生させる。この励
振時の変位量と変位の発生時間とを任意に制御可能なア
クチュエータを装備したこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴噴射装置
に係り、特に、微小インク滴を記録媒体へ飛翔させ且つ
画像記録を行うインクジェット記録ヘッドに好適なイン
ク滴噴射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来例(1)を図19(A)(B)に示
す。この図19(A)(B)に示す従来例(1)は、イ
ンクジェットプリンタ等で用いられるインク滴噴射装置
であって、図19(A)に示すように、ピエゾ素子10
1を振動させてインク収納室102の容積を膨張させ、
インクタンク(図示せず)から液状のインク103を吸
引し、その後、図19(B)に示すようにインク収納室
102の容積を収縮させて内部のインク103に圧力を
加え、ノズル104からインク滴103aを紙などの記
録媒体に飛翔させるものである。これは米国特許第39
46398号として、従来より良く知られているもので
ある。
【0003】また、これに近似したものとして、特公昭
61−59911号公報記載のものがある。これは、イ
ンク滴噴射室に発熱素子を内蔵させ、熱エネルギにより
瞬間的にインク中に気泡を生じさせ、気泡の膨張力によ
ってインクインク滴を噴射させるものもある。
【0004】更に、図20に従来例(2)を示す。この
図20に示す従来例(2)は、ガラスプレート200に
インク溜り202を形成し、このインク溜り202の内
部に後述する流路205a側のインク103をインク溜
り202へ押し出すためのピエゾ素子201を備えてい
る。シリコンボード204とガラスプレート200の間
には、隙間や複数の流路205A,205Bなどを形成
するドライフィルム206が設けられ、吐出用ヒータ2
07を加熱して熱エネルギにより瞬間的にインク中に気
泡を生じさせ、インクを吐出させるようになっている
(特開平5−112008号公報参照)。
【0005】この従来例(2)は、複数の流路205
A,205Bのそれぞれから、異なる色素濃度のインク
をインク溜り202に供給することで、濃度階調が行う
ことができるという特長を備えている。このように、上
記従来例にあっては、ポンプの原理を利用したインク滴
の吐出装置が数多く提案されている。
【0006】一方、これらに対して、インクを霧状にし
て飛翔させるインク滴噴射装置としては、例えば、特開
平4−14455号公報、特開平4−299148号公
報、特開平5−38810号公報、特開平4−3551
45号公報、特開平5−508号公報などが知られてい
る。
【0007】従来例(3)は、上記特開平4−1445
5号公報に開示されており、図21(A),(B)にこ
れを示す。この図21(A),(B)に示す従来例
(3)は、圧電性を有する伝搬板301の伝搬面301
Aの一端に複数の対をなす櫛形電極304を形成し、こ
れを駆動手段として20〔MHz〕程度の高周波交流電
圧Eを印加し、伝搬面303の表面を励振して表面弾性
波(表面波)を発生させるようになっている。ここで、
符号302はインク溜まりを示し、符号302Aがイン
ク流路を示す。
【0008】そして、発生した表面弾性波は矢印A方向
に進行し、伝搬面303が液状のインク103と接する
部分に至ると、そこからインク103へ漏洩して縦波弾
性波(超音波)となり、この弾性波によりスリット30
6で露出しているインク表面307を励振させ、霧状に
インク滴103aを飛翔させるものである。
【0009】図22に従来例(4)を示す。この図22
に示す従来例(4)は、特開平5−508号公報に開示
されている。この図22では、スリット部材308と共
振子309の間に間隙が形成され、ここにインク溜まり
305を設ける。符号306はピエゾアクチュエータを
示す。
【0010】そして、この図22に示す従来例(特開平
5−508号公報)では、まず、上記インク溜まり30
5に毛細管現象によってインク103を満たし、共振子
309に厚さ方向の共振振動を加え、その振動エネルギ
をインク103に伝搬させる。そして、最終的にはイン
ク吐出口310のインク界面103Aにランダムな表面
波を形成し、当該表面波の干渉によって共振子309の
振動周波数に応じたインク粒子を霧状に噴射するように
したものである。
【0011】また、図23に従来例(5)を示す。この
図23に示す従来例(5)は、特開平5−38810号
公報に開示されている。これによると、この図23に示
す従来例(5)は、圧電体基板401の表裏に一対の電
極403A,403Bが形成されており、圧電体基板4
0にはギャップ支持材404を介しノズルプレート40
5が接合されており、そのギャップ空間には毛細管力に
より液体インク103が満たされている。
【0012】そして、電極403A,403Bにより形
成される交差領域406に、圧電体基板401の厚さで
決まる共振周波数で変位する電圧を印加して圧電体基板
401を共振させ、これによって液体インク103中に
超音波を発生させる。
【0013】この発生した超音波はインク103の中を
伝搬し、交差領域406の真上のノズル405Aに満た
されたインク103のインク表面103Aに表面波を発
生させる。そして、この表面波が一定以上の振幅を越え
て大きくなると、ノズル405Aからインクインク滴1
03aが霧状に吐出する。
【0014】また、上述した特開平4−14455号,
特開平4−299148号,特開平4−355145
号,特開平5−508号,および特開平5−38810
号の各公報にも、それぞれ近似した技術が開示されてい
るが、インク液面に表面波を発生させる手段はそれぞれ
異なる。そして、何れの装置においても、超音波加湿器
の噴射原理と同様にして液体の自由表面にランダムに表
面波を発生させ、当該表面波の干渉により不特定多数の
噴射点からインク滴103aを霧状にして噴射するよう
になっている。
【0015】更に、図24に従来例(6)を示す。この
図24に示す従来例(6)は、アコースティックストリ
ーミングによる音響圧力を利用したインク滴噴射装置で
あり、特開昭63−162253号公報にその内容が開
示されている。
【0016】この技術は、図24に示すように、圧電ト
ランスデューサ501の振動により超音波音響波を発生
させ、これを音響レンズ体502の先端面(図24の上
端面)に形成された凹球面状音響レンズ部502Aによ
りインク103の自由表面103Aの1点に収束させ、
音響波がインク103の自由表面103Aに衝突する際
に生じる放射圧により、インク滴103aをインク10
3の自由表面103Aから分離し噴射させるものであ
る。
【0017】そして、図25に従来例(7)を示す。こ
の図25に示す従来例(7)は、前述した従来例(6)
の場合と同様に、音響圧力を利用したインク滴噴射装置
であり、特開平6−218926号公報に開示されてい
る。この図25に示すインク滴噴射装置は、複数の圧電
素子601をマトリクス状に配置し、インク滴を噴射し
ようとする部分の圧電素子601の群に所定電圧を印加
して圧力波の集中のため凹部602を形成し、しかる
後、この凹部に高周波電圧を印加して振動させ、これに
よってインク滴103aを噴射するようにしたものであ
る。ここで、符号604はインク表面を示し、符号60
5はインクフィルム層を示す。また、記号Aはインク流
入方向を示し、符号606はケース本体を示す。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】一方、インクジェット
方式をはじめとする各種プリンタにおいては、ピクトリ
アルなカラー画像出力を実現するためには、ハイライト
側からシャドー側に至るまでの連続した滑らかな濃度階
調記録特性が必須となる。
【0019】このような階調記録特性をインクジェット
方式で得るには、1画素毎に吐出するインク滴量を変化
させて濃度変調を行うか、或いは画素サイズよりも微細
な複数のインク滴で1画素を構成し、インク滴数により
濃度変調を行うことが必要となる。そして、何れの方法
においても、トーンジャンプのない滑らかな階調を表現
するためには、画素サイズに比べて十分に微細なインク
滴を噴射する技術が、不可欠となっている。
【0020】ところが、上記した従来のインク滴噴射装
置では、以下に示すような理由により、連続した滑らか
な濃度階調記録特性の実現が困難であった。
【0021】図19(従来例(1))に示す米国特許第
3946398号に記載されているインク滴噴射装置,
特公昭61−59911号公報,および図20に開示さ
れた特開平5−112008号公報(従来例(2))に
記載の各インク滴噴射装置にあっては、何れもポンプの
原理を利用した方法であるため、吐出可能な最小インク
滴の径はノズルの径と同程度となる。このため、例え
ば、ノズルの1/10直径のインク滴を噴射することは
事実上不可能なものとなっていた。
【0022】これらのインク滴噴射装置で微小インク滴
を噴射するには、所望とするインク滴径と同程度までノ
ズル径を小径化することが必要となる。ところが、ノズ
ルの小径化は、ノズル目詰まりを発生させ易くなるた
め、装置全体の信頼性および耐久性が悪い。このため、
上記した従来のインクジェット装置において、例えば、
数〔μm〕乃至20〔μm〕等の直径の微小インク滴を
形成することは極めて困難であった。
【0023】また、ノズルの小径化に伴い、より高精度
な微細加工が要求されるため、ポンプの原理を利用した
インク滴噴射装置で微小インク滴を噴射する場合には、
上記したノズル目詰まりの課題に加えて、生産性が悪い
という不都合があった。
【0024】更に、図20に示した特開平5−1120
08号公報のインク滴噴射装置(従来例(2))にあっ
ては、異なる色素濃度のインクを1つのノズルから噴射
して濃度階調を行えるが、インク103を均一に混合し
て再現性良く噴射し続けることは困難であり、更に、吐
出用ヒータ207とピエゾ素子201が必要になるた
め、インク滴噴射装置が高コストになるという不都合が
あった。
【0025】更に又、液体の自由表面に表面波を発生さ
せ霧状にしてインク滴を噴射する特開平4−14455
号報(従来例(3)),特開平4−299148号,特
開平4−355145号,特開平5−508号(従来例
(4)),および特開平5−38810号(従来例
(5))の各公報記載のインク滴噴射装置にあっては、
直径数〔μm〕程度の微細なインク滴を霧状に噴射する
ことができ、又、噴射時間を変化させることにより被記
録媒体に着弾するインク滴の数を制御することができる
等の特長を有す。
【0026】しかしながら、これらのインク滴噴射装置
では、液体の自由表面上にランダムに発生させた表面波
を干渉させるという構成を採っていることから、不特定
多数のインク滴噴射点から霧状にインク滴が噴射される
ことから、吐出するインク滴の直径にバラツキが生じ、
また、噴射方向や噴射速度もインク滴毎に異なる、とい
う不都合があった。
【0027】このため、インクジェット用の記録ヘッド
において要求される1適毎のインク滴の制御性の点に難
点があった。即ち、インク滴の被記録媒体への着弾位置
および着弾量を高精度に且つ安定して制御することが困
難なものとなっていた。
【0028】また、図24(従来例(6))に示した特
開昭63−162253号公報に記載の音響波を利用し
たインク滴噴射装置にあっては、振動エネルギの利用効
率が低いため、個々のインク滴103aを発生させる圧
電トランスデューサ501にサイズの大きなものが必要
となり、これがため装置が大型化するという不都合が生
じていた。
【0029】更に、音響レンズの焦点深度は極めて浅い
ため、インク自由表面位置の高精度な制御を実現する手
段を必要とし、また個々の超音波振動子に対し音響レン
ズが必要とされるため、装置構成が複雑となる、という
不都合があった。
【0030】図25(従来例(7))に示した特開平6
−218926号公報のインク滴噴射装置では、1個の
圧電素子28のサイズは小さいが多数の圧電素子601
の群が必要であり、これらの圧電素子601のそれぞれ
に所定電圧を印加する構成となっているため構造が複雑
化し、インク滴噴射装置の原価が高騰する、という不都
合があった。
【0031】更には、電気系にあっては、数MHz乃至
数百MHzの高周波信号の発振、増幅を行う高周波電力
増幅発生部、および記録のための高周波電力スイッチ部
等、をはじめ数百MHzの信号を通過させる帯域を持っ
た回路構成が必要となるため、やはり装置が高コストに
なる、という不都合があった。
【0032】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、インク滴が吐出される開口部よりも遥
かに微細なインク滴を1滴ずつ所望の着弾位置に飛翔さ
せることができ且つインク滴の大きさを可変することに
よって容易に濃度階調記録を実現し得ると共に、同時に
構成が単純化された生産性の良いインク滴噴射装置を提
供することを、その目的とする。
【0033】更に又、本発明では、インク滴噴射室の内
部に残留した気泡を容易に除去できる構造を備え、これ
によって装置全体の円滑な動作を図ったインク滴噴射装
置を提供することを、その目的とするものである。
【0034】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明では、一方の面にインク滴噴射
口を有し且つ内部に断面円錐体状のインク滴噴射室を備
えた板状の噴射室形成部材と、この噴射室形成部材の他
方の面に所定間隔を隔てて前記インク滴噴射室を覆うよ
うにして装備され振動板とを設ける。
【0035】この振動板と噴射室形成部材との間に、前
述したインク滴噴射室の底面領域を囲むようにしてスペ
ーサ部材を装備すると共に、このスペーサ部材の内側に
前述したインク滴噴射室の底面領域に連通し且つ振動板
と噴射室形成部材とで挟まれた環状の隙間部を設ける。
また、この隙間部に連通するインク流路を振動板と噴射
室形成部材との間に形成する。
【0036】そして、前述した振動板を励振してインク
滴噴射室内のインクに対しその底面側からインク滴噴射
口の方向に向かう間欠的な液流を発生せしめると共に,
当該励振時の変位量と変位の発生時間とを任意に制御可
能なアクチュエータを、前述した振動板に連結装備す
る、という構成を採っている。
【0037】このため、この請求項1記載の発明では、
隙間部が有効に機能して梁状に取り付けられた振動板の
振動が容易となり、このため、クチュエータを駆動する
と、まず振動板のみが効率よく撓む。これにより、イン
ク滴噴射室に充填されたインクに瞬間的な液流領域が発
生し、この液流の作用によってインクの自由表面上に表
面波が生じ、この表面波の干渉でインク滴が噴射され
る。
【0038】この場合、従来技術のポンプの原理を用い
たインク滴噴射装置と異なり、本発明ではインク滴噴射
口の直径を微小径にすることなく,当該インク滴噴射口
よりも遥かに小さな数〔μm〕から20〔μm〕径のイ
ンク滴を1滴ずつ所望の着弾位置に向けて噴射すること
が可能となる。このインク滴の径は、アクチュエータの
駆動によって容易に可変することができる。
【0039】ここで、振動板に接続されたアクチュエー
タの駆動面積については、インク滴噴射室の底面領域の
口径より広く設定するとよい。このようにすると、実際
の稼働に際しては振動板のみが効率よく撓むとともに、
インク滴噴射室に充填された液体が流路側に漏れること
は抑制され、底面から開口部の方向に向かう液流が効率
良く発生する。
【0040】また、環状の隙間部は、その中心軸をイン
ク滴噴射口の中心軸と一致するように設定し且つその高
さ及び幅が一様な環状の隙間部としてもよい。このよう
にすると、インク滴噴射室に残留した気泡を排除する際
に、インク滴噴射室内のインク全体を対象とすることが
でき、インク流路を流れる液体の流速を速くできるた
め、気泡を容易に排除できる点で都合がよい。この場
合、同一部材でインク滴噴射室の隙間部と流路とを製造
することができ、かかる点においてはインク滴噴射装置
の生産性を向上することができる。
【0041】インク流路については、インク滴噴射室に
インクを供給する側及び当該インクの余剰分を排出する
側の少なくとも二箇所に設けるとよい。このようにする
と、インクの流れが一方向となり、インク滴噴射室に液
体を充填する際や、インク滴噴射室に残留した気泡を除
去する際は、開口部と液体を排出する側の流路からイン
クを吸引することで、インク流路を流れるインクの流速
を高めることができ、かかる点において作業性向上を図
り得ると共に気泡も容易に除去できる。
【0042】更に、前述したインク滴噴射室を同一列に
所定間隔を隔てて複数個配設すると共に、インク滴噴射
室の列の両側にインクタンク部を設ける。そして、前述
したインク流路については、各インク滴噴射室に個別に
設けるとよい。このようにすると、インク滴噴口および
インク滴噴射室の数を増加させても、インクの充填およ
びインク滴噴射室内の残留気泡の除去に際しても同一条
件で迅速に成し得るという利点がある。
【0043】また、前述したインク滴噴射室を同一列に
所定間隔を隔てて複数個配設すると共に,前記インク滴
噴射室の列の長手方向の一端部にインクタンク部を設
け、この各インク滴噴射室の底面部周囲の隙間部相互間
を所定幅のインク流路を介して連接するように構成して
もよい。このようにすると、インク滴噴射室毎に液体を
供給する流路を配置する必要がなく、複数の液体噴射室
を流路が貫く簡略な構造であり、インク滴噴射装置の小
型化及び生産性の向上を図ることができる。
【0044】この場合、インク滴噴射室の列の長手方向
の他端部に、インクを吸引する吸引口を設けてもよい。
このようにすると、複数の液体噴射室を流路が貫く簡略
な構造であり、液体噴射室の生産性を向上することがで
きるほか、インク滴噴射室に液体を充填する際や、残留
した気泡を除去する際は、インク滴噴射口を塞いで吸引
口から液体を吸引する動作と、吸引口を塞いでインク滴
噴射口から液体を吸引する動作を行うことで、流路を流
れる液体の流速を高くでき、気泡を容易に除去でき、ま
た、小型化が可能となる。
【0045】更に、前述したインク滴噴射室の隙間部と
の境界領域に、その高さが隙間部の厚さよりも小さい値
の円形又は多角形状の環状部材を装置してもよい。この
ようにすると、アクチュエータを駆動した際、インク滴
噴射室に充填されたインクがインク流路側に漏れること
を防止するばかりでなく、インクに対してインク滴噴射
室の底面からインク滴噴射口の方向に向かう液流を効率
良く発生させることができる。
【0046】ここで、環状部材については、インク滴噴
射室の底面周囲の前述した噴射室形成部材側に装備して
も、或いはインク滴噴射室の底面周囲の振動板側に装備
してもよい。
【0047】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面に基づいて説明する。まず、図1乃至図3におい
て、インク滴噴射装置は、一方の面にインク滴噴射口2
aを有し且つ内部に断面円錐体状のインク滴噴射室2を
備えた板状の噴射室形成部材10と、この噴射室形成部
材10の他方の面に所定間隔を隔ててインク滴噴射室2
を覆うようにして装備され振動板3とを備えている。
【0048】振動板3と噴射室形成部材10との間に
は、前述したインク滴噴射室2の底面領域を内側(中心
部側)にして当該底面領域の全域を囲むようにして同一
面上にスペーサ部材4が装備されている。符号12A,
12Bは、振動板3を梁状に保持する支持柱を示す。
【0049】ここで、前述したインク滴噴射室2の底面
領域の周囲には、振動板3と噴射室形成部材10とで挟
まれ且つ前述したインク滴噴射室2の周囲のあって当該
インク滴噴射室2に連通した環状の隙間部5が前述した
ように設けれている。そして、この環状の隙間部5を取
り囲むようにして所定厚さのスペーサ部材4が装備され
ている。
【0050】このスペーサ部材4は、実際上は前述した
インク滴噴射室2の底面領域および環状の隙間部5の全
体を取り囲むことができるように図2(A)(B)に示
す如く円形状又は四角形状(又は多角形状)に切除され
た状態となっている。
【0051】また、前述した振動板3を励振し、インク
滴噴射室2内のインク6に対してその底面側からインク
滴噴射口2aの方向に向かう間欠的な液流を発生せしめ
ると共に,当該励振時の変位量と変位の発生時間とを任
意に制御可能な圧電式のアクチュエータ(圧電式アクチ
ュエータ)6が、振動板3に連結装備されている。
【0052】ここで、振動板3に接続された圧電式アク
チュエータ6の駆動面積6A(図2におけるハッチング
部分)は、前述したインク滴噴射室2のインク滴噴射口
2aに対応して位置する底面の口径より広く設定されて
いる。これによってインク滴噴射室2内のインクW全体
を対象とした瞬間的な液流の発生が生じ易いようになっ
ている。
【0053】また、インク滴噴射室2に連結されたイン
ク流路7は、当該インク流路7を構成する路面の面積
(インクWが流れる方向に対して垂直な方向の管路面
積)が、図2に示すように、前述したインク滴噴射口2
aの面積よりも小さく設定されている。一方、このイン
ク流路7の管路面積については、後述するように圧電式
アクチュエータ6の駆動時間を適当に短くすることによ
り図9,図10に示す如く大きく設定してもよい。
【0054】更に、前述したインク流路7とインク滴噴
射室2との間に設けられ且つその内側が当該インク滴噴
射室2に連接一体化された環状の隙間部5は、前述した
スペーサ部材4によってその中心点がインク滴噴射口2
aの中心点と一致するように設定され且つその高さ及び
幅が変化しない形状に設定され、これによって前述した
液流の発生を安定して繰り返し再現し得るようになって
いる。
【0055】ここで、記号Sは、振動板3によって励振
されて発生し且つインク滴噴射室5内に充填されたイン
クWの自由表面上のインク滴噴射点1の方向に進行する
表面波を示す。
【0056】更に、図3(A)に示すように、アクチュ
エータ6を駆動し、インク滴噴射室2に充填された液体
インクWに対して、底面からインク滴噴射口2aの方向
に向かうインク流13を瞬間的に発生させる。そして、
このインク流13の作用によって、インク滴噴射点1か
らほぼ等距離の位置からインク滴噴射点1の方向に、進
行する円形状の表面波SをインクWの自由表面上に発生
させる。
【0057】この表面波Sは、位相がそろった状態で徐
々に干渉し、図3(B)に示すようにインク滴吐出点1
の方向に進行するにつれて波高が増加する。その結果、
インク滴噴射点1の近傍で図3(C)に示すように液柱
16を形成するようになる。そして、インク滴吐出点1
で波高は最大となり、液柱16の先端からインク滴wが
分離して噴射される。噴射するインク滴wの直径は、噴
射直前の液柱16の直径に比例して変化し、また、当該
液柱16の直径は表面波Sの波長にほぼ比例して変化す
る。
【0058】ここで、表面波Sの波長とは、図3(A)
に示すように、λで定義されるものとする。又、インク
滴wが噴射するか否かは、液柱16の高さ(即ち、表面
波Sの波高)に依存することから、表面波Sの波高を変
えることによって制御可能となる。このため、インク滴
wの噴射の有無は、前述した圧電式アクチュエータ6の
振動出力を所定の値に設定制御することによって、いず
れにも設定することができる。更に、インク滴wの直径
は、インク滴噴射口2aの大きさには依存せず、表面波
Sの波長により可変することを発明者らは実験的に確認
することができた。
【0059】インク滴噴射室2の隙間部4によって振動
板8は梁状に構成されていること、及び図2に示すよう
に、圧電式アクチュエータ6の駆動面積6Aは、筒部2
Bの底面の口径より広く、隙間部4の口径(直径)の面
積より小さく設けられており、アクチュエータ6を駆動
すると振動板3のみが効率よく撓むと共に、インクWが
インク流路7に漏れることなく有効に液流13の発生を
みることができる。
【0060】ここで、上述した表面波Sについて更に詳
述する。図3(A)に示すように、インク滴噴射口2a
から底面方向に徐々に口径が広がる筒部2Bにより、イ
ンク滴噴射室2の底面側からインク滴噴射口2aの方向
に間欠的な液流13を発生させることで、表面波Sを形
成することができる。
【0061】インク滴噴射室2の底面側から表面側に向
かう液流13は、表面に近づくにつれインク滴噴射口2
aの径が小さくなるため、筒部2Bの壁面近傍の圧力が
増加して壁面近傍の流速が高まり、インクWの自由表面
上においてインク滴噴射口2aの形状に従った表面波S
が発生する。円形のインク滴噴射口2aを用いた場合に
は円形状の表面波を形成することができる。
【0062】ここで、形成する表面波Sの波長λは、前
述したように主に液流13の発生時間を変化させること
によって任意に制御でき、形成する表面波Sの波高は主
に液流13の流速を変化させることで制御できる。本第
1の実施形態で扱う液流13とは、非圧縮的なインクW
の流れと、当該インクWの圧縮による弾性波の流れの双
方を称として定義する。この表面波Sは、円形状に形成
した場合に干渉による波高の増幅率が最も大きくなる。
又、完全に位相のそろった表面波Sが干渉しながらイン
ク滴吐出点1の方向に進行した場合に、最も効率的でか
つ安定したインク滴wの噴射が可能となる。
【0063】ここで、前述したインク流路7について
は、図5,図9〜図10に示すように、側面に位置する
インクタンク部15に向けて、それぞれ一個設けてもよ
いし、図11乃至図12に示すように両側の位置するイ
ンクタンク部15,15に向けて、それぞれ二本(例え
ば、インク滴噴射室2にインクWを供給する側及び当該
インクWの余剰分を排出する側の少なくとも二本)設け
てもよい。
【0064】即ち、インク滴噴射室2を同一列に所定間
隔を隔てて複数個配設すると共に、このインク滴噴射室
2の列の一方の側にインクタンク部15を設け(図9〜
図10参照)、この各インクタンク部15と各インク滴
噴射室2とを前述した隙間部4を介してインク流路7を
もって連通する。このインク流路7は、各インク滴噴射
室2に個別に設けられている。この場合は、インク流路
7は各インク滴噴射室2それぞれ一個で済む。
【0065】また、インク滴噴射室2については、ま
ず、同一列に所定間隔を隔てて複数個配設すると共に、
このインク滴噴射室2の列の両側にインクタンク部1
5,15を設け(図11乃至図12参照)、この各イン
クタンク部15と前述したインク滴噴射室2とを隙間部
4を介してインク流路7をもって連通する。この場合
は、インク流路7は各インク滴噴射室2にそれぞれが左
右に一個づつ合計二個有することとなる。この場合は、
一個の場合よりもインクWの流れが一方向であることか
ら、インク流は円滑となる。図13(A)(B)は、後
述するように、それぞれ図11のインク滴噴射室2を含
む縦断面図である。
【0066】更に、インク流路7については、図14〜
図17の示すような配列もある。即ち、インク滴噴射室
2はその複数個が所定間隔を隔てて同一列に配設されて
いる。そして、前述したインク滴噴射室2の列の長手方
向の一端部にインクタンク部15が設けられ、この各イ
ンク滴噴射室2の底面部周囲の隙間部4の相互間が、所
定幅のインク流路7を介して連接されている。この場
合、図16,図17に示すように、インク噴射室2の列
の長手方向の他端部に、前述したインクWを吸引するイ
ンク吸引口27を設けてもよい。
【0067】このようにすると、インクタンク部15を
各インク滴噴射室2の領域に重ねて設けたことから、イ
ンクジェット方式における印字ヘッド部を大幅に小型化
することができ、更にインク吸引口27を設けたもの
は、小型化されたにもかかわらずインクの流動を更に円
滑化することができて都合がよい。
【0068】また、図18(A)(B)では、前述した
環状の隙間部4とインク滴噴射室2との境界領域に、そ
の高さが隙間部4の厚さよりも小さい値の円形又は多角
形状の環状部材4Kが装備されている。この場合、図1
8(A)では、環状部材4Kが、インク滴噴射室2の底
面周囲の噴射室形成部材10側に装備されている。ま
た、図18(B)では、前述した環状の隙間部4とイン
ク滴噴射室2との境界領域の振動板3側に、環状部材4
Kが装備されている。
【0069】いずれの場合も、インク滴噴射室2内に出
力される振動板3の振動エネルギがインク滴噴射室2の
外に逃げるのを有効に阻止することができ、この点にお
いて前述した圧電式アクチュエータ6の容量を小さくす
ることができ、かかる点において装置全体の小型化およ
び原価低減を図ることができて都合がよい。
【0070】
【実施例】次に、上記実施形態の具体的な例又は変形例
を、実施例として説明する。
【0071】(第1実施例)以下、本発明の第1実施例
を図1乃至図8に基づいて説明する。まず、図1乃至図
3において、インク滴噴射装置は、前述した実施形態で
説明したように、インク滴噴射室2と、このインク滴噴
射室2の底面に接続された振動板3と、この振動板3に
接続されたピエゾ素子等からなる圧電式アクチュエータ
6とを含む構成となっている。インク滴噴射室2は、イ
ンク滴噴射口2aと,底面方向に徐々に口径が広がる筒
部2Bと,この筒部2Bの底面側に設けた隙間部5とで
構成されている。
【0072】インク滴噴射室2内には、予め液状のイン
クWが充填され、幅と高さ方向ともに例えば40〔μ
m〕としたインク供給用のインク流路7を通じてインク
タンク(図示せず)からインクWがインク滴噴射室2に
供給される。又、インク流路7のインクWが流れる方向
の長さは、約100〔μm〕とした。振動板3の厚みは
10〔μm〕とした。インク滴噴射口2aおよびインク
滴噴射室2の筒部2Bの底面側の寸法は、それぞれ直径
100〔μm〕、および直径300〔μm〕の円形とし
た。
【0073】更に、隙間部5は、インク滴噴射口2aお
よび筒部2Bを加工した噴射室形成部材(プレート)1
0と振動板3との間に、厚さ40〔μm〕のスペーサ部
材4を挟み込む方法で形成されている。
【0074】ここで、隙間部5は、図2(A)に示すよ
うにその底面の直径を360〔μm〕とする円形状に形
成しても、或いは、図2(B)に示すようにその底面の
寸法を360〔μm〕角の四角形状としてもよい。ま
た、振動板3に接続された圧電式アクチュエータ6の駆
動面積6Aは、図2(A)では一辺が320〔μm〕の
四角形状とした。インク滴噴射室2における筒部2Bの
底面側の直径を300〔μm〕とした。振動板3は梁状
に構成した。更に、筒部2Bの内面形状については、イ
ンク滴噴射口2aから深さ方向に向かってテーパ状、か
つ凹凸や段差等がなく直線的に口径が広がる形状とし
た。
【0075】次に、本実施形態のインク滴噴射装置のイ
ンク滴噴射特性について調べるため、圧電式アクチュエ
ータ6に図4に示すような、時間幅が10〔μs〕、変
位幅が0.4〔μm〕のコサインカーブ状の時間応答の
変位を与えた。
【0076】この例では、圧電式アクチュエータ6を駆
動すると、振動板3のみが効率よく撓み、インク滴噴射
室2に充填されたインクWに対して、底面からインク滴
噴射口2aに向かう液流13を,また当該液流13の作
用によって表面波Sを効率良く生じさせることができ
た。その結果、インク滴噴射口2aの中心のインク滴噴
射点1から、直径約30〔μm〕のインク滴wが安定し
て吐出されていることを確認し得た。
【0077】このインク滴wの吐出過程をストロボ観察
したところ、圧電式アクチュエータ6を駆動して振動板
3に変位を与えると、まず図3(A)に示すように円形
の表面波Sが形成される様子が観察された。この円形状
の表面波Sは、図3(B)に示すように、インク滴噴射
点1の方向に進行しながら徐々に波高が増幅された。そ
して、インク滴噴射点1の近傍で図3(C)に示すよう
な液柱16を形成し、その直後、直径約30〔μm〕の
インク滴wが分離し、上方に飛翔した。
【0078】次に、時間幅が20〔μs〕で変位幅が
0.5〔μm〕、時間幅が5〔μs〕で変位幅が0.3
〔μm〕、および時間幅が3〔μs〕で変位幅が0.2
〔μm〕のサインカーブ状の時間応答の変位を圧電式ア
クチュエータ6に与えたところ、インク滴噴射口2aの
インク滴噴射点1からそれぞれ、直径約36〔μm〕、
直径約15〔μm〕および直径約7〔μm〕のインク滴
wが吐出された。
【0079】これにより、インク滴噴射口2aよりも遥
かに小さなインク滴wを一滴ずつ噴射でき、且つインク
滴wの径を圧電式アクチュエータ6の駆動時間で可変で
きた。この圧電式アクチュエータ6の駆動時間と変位量
の変化は、液流13の流速と液流を発生させている時間
の変化に相当するため、これら液流13の流速と液流の
発生時間の制御により、インク滴wを自由に制御でき、
濃度階調記録を実現できことを確認した。
【0080】比較のため、隙間部5を含まないインク滴
噴射室2を用い、上記の変位を圧電式アクチュエータ6
に与えた場合、圧電式アクチェエータ6の変位時間幅が
短くなるにしたがって、振動板3のみならずインク滴噴
射室2全体が顕著に変形するようになり、インク滴wの
吐出は成らなかった。
【0081】本第1実施例では、圧電式アクチュエータ
6の駆動は、図4に示すようなコサインカーブ状の時間
応答の変位としたが、例えば、三角波や台形状の波形,
或いはこれらを合成した波形であっても、インクWの自
由表面に図3(A)に示すような表面波Sが形成できれ
ば、上記実施形態と同様にインク滴噴射口2aよりも小
さな直径のインク滴wを吐出できた。
【0082】また、本第1の実施形態では、隙間部の寸
法を360〔μm〕角の四角形状、振動板3に接続され
た圧電式アクチュエータ6の駆動面積19は320〔μ
m〕角としたが、図2(A)に示すように、隙間部5を
円形状に構成しても、駆動面積19が筒部2Bの底面側
より広く、かつ隙間部より狭く構成すれば、インク滴噴
射口2aよりも小さな直径のインク滴wを吐出できた。
【0083】ここで、圧電式アクチュエータ6の駆動面
積19を200〔μm〕角の四角形状として筒部2Bの
底面側の面積より狭くしたインク滴噴射装置を用い、上
述と同様のインク滴wの噴射実験を実施した。
【0084】その結果、例えば時間幅10〔μs〕にお
いて直径30〔μm〕のインク滴wを噴射するための変
位幅は0.6〔μm〕となり、噴射に必要となる変位幅
は50〔%〕程増加した。
【0085】ここで、時間幅が5〔μs〕の場合、直径
15〔μm〕のインク滴wの噴射に必要な圧電式アクチ
ュエータ6の変位幅は0.5〔μm〕となった。一方、
時間幅3〔μs〕の場合、変位幅をいかに増加しても直
径8〔μm〕の微小なインク滴wを噴射できなかった。
また、圧電式アクチュエータ6の駆動面積19は、筒部
2Bの底面側より広く、かつ隙間部5より狭く構成する
ことにより、インクWがインク流路7に漏れることが抑
制され、良好なインク滴wの噴射を達成できることを確
認した。
【0086】次に、上記のインク滴噴射装置をインクジ
ェット記録ヘッドに適用し、印字実験を行ったので、こ
れを説明する。ここで、図5はインク滴噴射装置を複数
個並べて構成したインクジェット用記録ヘッドの平面
図、図6はインク滴噴射口2aの配置を示した記録ヘッ
ドの平面図である。また、図7は本実施例にかかるイン
ク滴噴射装置を搭載したインクジェット記録装置の概略
構成図を示す。
【0087】記録ヘッド22は、図7に示すように、複
数のインク滴噴射口2aを有しており、このインク滴噴
射口2aが記録用紙20を介してプラテン21に対向す
るよう、記録ヘッド22をキャリッジ23に固定した。
【0088】インクインク滴wを噴射するインク滴噴射
室2については、図5に示すようにインク滴噴射室2毎
にインク流路7を設け、インクタンク15からインクW
を供給する構成とし、図6に示すようにインク滴噴射口
2aのピッチAが381〔μm〕になるようインク滴噴
射口2aを配置した。前述したの1列のインク滴噴射口
2aの群に、21個のインク滴噴射口2aを設け、この
1列のインク滴噴射口2aの群を千鳥状に六行配置し、
全体で126個のインク滴噴射口2aが配列されるよう
記録ヘッド22を製作した。
【0089】なお、主走査方向に対するインク滴噴射口
2aのピッチBは、インク滴噴射室2ごとにインク流路
7を設けたため、600〔μm〕を要した。個々のイン
ク滴噴射装置は、電気的な記録信号に応じて各々独立に
インク滴wの吐出を制御できるように構成した。
【0090】印字実験では、まず、図7に示すように、
記録ヘッド22をキャリッジ23に固定し、キャリッジ
23はガイド24でプラテン21の軸方向に走査できる
ようにし、エンコーダ25とベルト26よって主走査し
た。又、126個のインク滴噴射装置により、主走査方
向に63.5〔μm〕走査毎に画像信号の有無に応じて
インク滴wの飛翔タイミングを制御し、1画素毎に圧電
式アクチュエータ6の駆動時間幅と変位幅を変えてイン
ク滴wの直径(滴径)を変調しながら印字した。主走査
方向については400〔dpi〕、副走査方向について
も400〔dpi〕の画素密度で画素を形成した。
【0091】次に、記録用紙20を副走査方向に133
3.5〔μm〕送った後、再び記録ヘッド22を主走査
させ、1回目の主走査と同様にして画素を形成した。
【0092】以上の印字を繰返し行うことで、主走査方
向および副走査方向ともに、400〔dpi〕の画素密
度で記録用紙20の全面に印字を行った。
【0093】ここで、インク滴噴射装置から吐出される
インク滴wの記録用紙20上でのドット径を測定したと
ころ、インク滴wの滴径を直径36〔μm〕として最大
に変調した場合はドット径約90〔μm〕であり、40
0〔dpi〕相当の印字を行う場合に、ベタ印字を行っ
ても白抜けの無い適切なインク滴径であることを確認し
た。
【0094】また、インク滴wを直径約7〔μm〕とし
た場合、本実施例で用いた記録用紙20上でのドット径
は約15〔μm〕あり、最大ドット径約90〔μm〕か
ら約15〔μm〕までの階調記録が行えることを確認し
た。
【0095】上記第1実施例では、液流13の直接的な
作用によりインクWの自由表面からインク滴wが噴射さ
れないように、圧電式アクチュエータ6の駆動条件を調
整したが、次に比較例として、液流13の直接的な作用
によるインク滴wの噴射を試みた。図8は、液流13の
直接的な作用により、インク滴噴射口2aの直径にほぼ
等しい大きさのインク滴wを吐出した場合のインク滴w
の吐出過程を示す。
【0096】この第1実施例の液体噴射装置では、圧電
式アクチュエータ6の駆動時間幅が30〔μs〕以上、
変位幅が0.8〔μm〕以上としたところで、図7に示
すように、従来のポンプの原理を利用した吐出メカニズ
ムにより、インク滴噴射口2aの直径にほぼ等しい大き
なインク滴wが吐出した。
【0097】これとは逆に、圧電式アクチュエータ6の
駆動時間幅を極端に短くして1.5〔μs〕未満にした
場合を試みた。この場合は、表面波Sの形成とほぼ同時
に、インク滴噴射口2aのエッジ部分や表面波Sの先端
から複数の微細なインクインク滴wがランダムに吐出し
た。この状態では、1滴毎にインク滴wの直径,飛翔方
向を制御することはできなかった。
【0098】以上のように、インク滴噴射口2aよりも
小さな直径のインク滴wを着弾位置を制御して飛翔させ
るためには、液流13の直接的な作用により液体自由表
面からインク滴wが噴射しないように、液流13を発生
させる必要があることを確認した。
【0099】(第2の実施例)次に、第2の実施例につ
いて図9ないし図10を用いて詳細に説明する。図9,
図10は、本発明の実施例2のインク滴噴射装置を説明
する平面図であり、図9,図10はそれぞれ、隙間部の
形状が円形,四角形状の場合を示す。
【0100】この第2の実施例では、前述した第1の実
施例の場合と同様に、深さ方向に徐々に開口径が広がる
インク滴噴射室2と、このインク滴噴射室2の底面に接
続された振動板3と、この振動板3に接続された圧電式
アクチュエータ6とから構成したインク滴噴射装置を用
い、インクタンク15からインクWをインク滴噴射室2
に供給した。
【0101】ここで、インク滴噴射口2aやインク滴噴
射室2の寸法についても第1実施例と同様としたが、本
第2実施例では、インク流路7が備えている管路面積
(インク滴噴射口2aに対向するインク流路7の路面の
面積)は、インク滴噴射室2のインク滴噴射口2aの開
口部の面積より大きくし設定されている。
【0102】即ち、インク流路7とインク滴噴射室2の
隙間部5は底面を同一面とし、双方の底面からインク滴
噴射口2aの方向の高さ寸法を40〔μm〕、更に、図
10に示すように、隙間部5の平面形状を360〔μ
m〕角の四角形状とし、インク流路7の幅方向の寸法も
360〔μm〕として隙間部5と同一の幅にした。イン
ク流路7の管路面積は14400〔μm2 〕とし、前述
したインク滴噴射口2aの面積7850〔μm2 〕の約
1.5倍とした。
【0103】インク流路7と隙間部5の幅や高さ寸法が
同一であるため、本第2実施例では、同一のプレート部
材4にインク流路7や隙間部5に相当する長孔又は切除
溝を形成し、その後、インク滴噴射口2aや筒部2Bを
形成したプレートと振動板3との間に、長孔を形成した
プレート部材4を接合(積層)することで、インク流路
7および隙間部5を形成した。
【0104】インク滴噴射口2aや筒部2Bを形成した
プレート部材4の底面側に、インク流路7や隙間部5に
対応する溝を加工しても、容易にインク流路7および隙
間部5を形成することができた。更に、同一のプレート
部材4でインク流路7と隙間部5を同時に形成できるた
め、インク滴噴射装置の生産性を向上することができ
た。
【0105】インク滴噴射装置のインク滴噴射特性を調
べるため、インク滴噴射口2aからインクWを吸引して
インク滴噴射室2にインクWを充填すると共に、噴射室
2の内部に残留した気泡を除去した。インク流路7につ
いては、その管路面積を増大したため、インク流路7を
流れるインクWの流速を速くでき、インク滴噴射口2a
から少量のインクWを吸引することで気泡を排除でき
た。
【0106】そして、前述した第1の実施形態の場合と
同様に、圧電式アクチュエータ6に時間幅10〔μs〕
のコサインカーブ状の時間応答の変位を与え、噴射した
インク滴wと変位幅を調査したところ、0.44〔μ
m〕の変位幅でインク滴噴射点1から直径約30〔μ
m〕のインク滴wを安定吐出することができた。
【0107】圧電式アクチュエータ6の駆動時間幅を2
0〔μs〕や5〔μs〕、および3〔μs〕に変化して
も、前述した実施形態と比較して変位幅を約10〔%〕
増加することで、それぞれ、直径約36〔μm〕、15
〔μm〕および7〔μm〕のインク滴wを噴射できた。
【0108】この第2の実施形態は、前述した第1の実
施形態の場合と同様に、従来技術のポンプの原理による
インク滴噴射装置と異なり、表面波の干渉でインク滴w
を噴射するため、インク流路7の管路面積をインク滴噴
射口2aより大きくしても、表面波を生じさせることが
でき、インク滴wを噴射できた。インク滴噴射口2aよ
りも遥かに小さなインク滴wを一滴ずつ噴射できるこ
と、およびインク滴wの径を圧電式アクチェエータ6の
駆動で可変でき、ドット径変調記録が実現できることを
確認した。
【0109】上記のインク滴噴射装置についても、前述
した第1実施例の場合と同様に、図7に示した装置構成
でインクジェット用記録ヘッドに適用し、1画素毎に圧
電式アクチュエータ6の駆動時間幅と変位幅を変えてイ
ンク滴wの径を変調しながら印字実験を行った。
【0110】その結果、主走査方向については400
〔dpi〕、副走査方向についても400〔dpi〕の
画素密度で画素を形成でき、ドット径についても、最大
径で約90〔μm〕から約15〔μm〕までの階調記録
が行えることを確認した。
【0111】更に、前述した第1実施例では、インク流
路7のインクWが流れる方向の長さ寸法を100〔μ
m〕とし、図6に示したインク滴噴射口2aのピッチB
が600〔μm〕になるようインク滴噴射室2を配置し
たが、本第2実施例では、インク流路7の長さ寸法を2
00〔μm〕とし、これに合わせてピッチBも700
〔μm〕に増加したすると、前述した第1実施例の場合
と同様の圧電式アクチュエータ6の駆動時間幅と変位幅
で、前述した第1実施例と同等のインク滴wを噴射する
ことができた。
【0112】なお、本第2実施例では、隙間部5の平面
形状を360〔μm〕角の四角形状としたが、図9に示
すように隙間部5の平面形状を半円形にした場合、イン
ク滴噴射室2に残留した気泡を、インク滴噴射口2aか
らインクWを吸引する等して排除する際、更に少ない吸
引量で排除できる効果が認められた。
【0113】(第3実施例)次に、第3実施例を説明す
る。この第3実施例は、インク滴噴射装置を複数個並べ
て構成したインクジェット用記録ヘッドについてのもの
で、図11にその平面図を示す。また、図12には、イ
ンク流路7の管路面積を変えた場合の変形例を示す。
【0114】この第3の実施例では、図11に示すよう
に、インクタンク15からインク滴噴射室2にインクW
を供給するインク流路7と、インクWの余剰分をインク
タンク15へ排出するインク流路7の二本の流路を設
け、インク滴噴射装置を製作した。このインク滴噴射装
置は、インク滴噴射室2と振動板3、および圧電式アク
チュエータ6で構成し、インク滴噴射室2は、インク滴
噴射口2aと筒部2B、および隙間部5で構成した点
は、前述した第1実施例と同様とした。
【0115】また、インク滴噴射口2a、インク滴噴射
室2の筒部2Bの底面側の寸法はそれぞれ、直径100
〔μm〕および直径300〔μm〕とした点、隙間部5
は深さ方向の寸法を40〔μm〕とした点、インク滴噴
射室2の深さ方向の寸法を140〔μm〕とした点も前
述した第1実施例と同様としたが、本第2実施例は、特
に、隙間部5の平面形状を直径360〔μm〕の円形と
し、圧電式アクチュエータ6については、振動板3の間
に直径330〔μm〕の円形板を設けることで、駆動面
積6Sを直径330〔μm〕の円形状とした。
【0116】インク流路7と隙間部5の位置関係は、双
方の底面を同一面、かつ双方の底面からインク滴噴射口
2a方向の高さ寸法は同一とした。
【0117】更に、上記第3実施例では、インク滴噴射
室2にインクWを充填する際,或いはインク滴噴射室2
に残留した気泡を除去する際は、インク滴噴射口2aを
塞いでインクWを排出する側のインク流路7の端部(イ
ンクWを排出する側のインクタンク15の端部からイン
クWを吸引し、気泡を除去できた。インク滴噴射口2a
とインクWを排出する側のインクタンク15の端部の双
方からインクWを吸引した場合、インク流路7を流れる
インクWの流速を高めることができ、気泡は瞬時に除去
できた。
【0118】また、同様の構成で、インクWを供給する
ためのインク流路7が1本のインク滴噴射装置と比較し
て、気泡除去の作業に要するインクWの吸引量を1/2
以下に削減できた。
【0119】本実施例のインク滴噴射装置についてもイ
ンク滴噴射特性を調査した。そして、インク滴噴射室2
にインクWを充填し、前述した第1の実施形態と同様、
圧電式アクチュエータ6に時間幅10〔μs〕のコサイ
ンカーブ状の時間応答の変位を与えたところ、インク滴
噴射点1から直径約30〔μm〕のインク滴wを安定吐
出することができた。
【0120】更に、アクチュエータ6の駆動時間幅を2
0〔μs〕や5〔μs〕、および3〔μs〕に変化した
場合、前述した第1の実施形態と同様、それぞれ直径約
36〔μm〕,15〔μm〕,および7〔μm〕のイン
ク滴wを噴射でき、インク滴噴射口2aよりも遥かに小
さなインク滴wを一滴ずつ噴射できること、および圧電
式アクチュエータ6の駆動を変えることによって階調記
録が行えることを確認した。
【0121】また、上記のインク滴噴射装置を前述した
図7に示す装置構成でインクジェット用記録ヘッドに適
用し、印字実験を行った。
【0122】本第3実施例では、インク滴噴射室2にイ
ンクWを供給するインク流路7と、インクWの余剰分を
排出するインク流路7の二本の流路がある。インク流路
7の長さは、インクWを供給する側と排出する側ともに
100〔μm〕とし、図6に示したインク滴噴射口2a
のピッチBについては、これを800〔μm〕になるよ
うインク滴噴射室2を配置した。
【0123】インク滴噴射口2aのピッチが前述した第
1実施例と異なるため、個々のインク滴噴射装置に印加
する電気的記録信号の制御を変えて印字実験を行った結
果、主走査方向については400〔dpi〕、副走査方
向についても400〔dpi〕の画素密度で画素を形成
でき、ドット径についても階調記録が行えた。
【0124】なお、インク流路7とインク滴噴射室2の
隙間部5は底面を同一面とし、双方の底面からインク滴
噴射口2aの方向の高さ寸法だけでなく、図10に示す
ように、幅方向の寸法も360〔μm〕で同一にしたイ
ンク滴噴射装置についても、前述した第1実施例と同
様、図7に示すような装置構成の記録ヘッド22に適用
した。
【0125】そして、前述した第1実施例の場合と同様
の圧電式アクチュエータ6の駆動時間幅で印字実験を行
った結果、当該第1実施例と比較して変位幅を約10
〔%〕増加することで、当該第1実施例と同等のインク
滴wを噴射でき、画像記録が可能なこと、およびドット
径変調が可能なことを確認した。
【0126】図12に示すインク滴噴射口2aの配置の
インク滴噴射装置において、液体噴射室2の気泡を除去
するため、インク滴噴射口2aとインク流路7の双方か
らインクWを吸引したところ、インク流路7の管路面積
が大きいため、インク流路7を流れるインクWの流速を
一層高めることができ、気泡の除去に要したインクWの
吸引量はさらに2/3に削減できた。
【0127】また、インク流路7と隙間部5の幅と高さ
寸法が同一であるため、同一のプレート部材4にインク
流路7と隙間部5に相当する長孔を形成し、このプレー
ト部材4をインク滴噴射口2aや筒部2Bを形成した噴
射室形成部材10と振動板3との間に接合することで、
インク流路7および隙間部5を容易に形成できた。そし
て、同一のプレート部材4でインク流路7と隙間部5を
同時に形成できるため、インク滴噴射装置の生産性を向
上することができた。
【0128】(第4実施例)次に、第4に実施例を図1
3乃至図15に基づいて説明する。この図13乃至図1
5に示す第4実施例は、インク滴噴射室を複数直列に配
置したものである。又、図13は本発明の第4実施例の
インク滴噴射装置で構成したインクジェット用記録ヘッ
ドの平面図であり、(a)および(b)は流路の管路面
積を変えた場合を示す。
【0129】この第4実施例では、前述した第1実施例
の場合と同様、振動板3と振動板11、および圧電式ア
クチュエータ6で構成したインク滴噴射装置を用いた。
ただし、図13に示すように、インクWの供給側と排出
側の各インク流路7を介して、隣接のインク滴噴射室2
同士を直列に連接すると共に、図14に示すように複数
のインク滴噴射室2を貫くよう配置した。
【0130】この場合、図14に示すように、インク流
路7の一端はインクタンク15に接続し、インクタンク
15からインクWをインク滴噴射室2に供給した。イン
ク流路7とインク滴噴射室2の隙間部5は底面を同一面
とし、双方の底面から開口部方向の高さ寸法を40〔μ
m〕で同一とした。又、インク流路7の幅方向の寸法は
200〔μm〕、隙間部5は図14に示すように、平面
形状を直径350〔μm〕の円形状とした。
【0131】この第4実施例に示すインク滴噴射装置で
は、インク流路7と隙間部5の高さ寸法が同一であり、
インク流路7が複数のインク滴噴射室2を貫く簡略な構
造であるため、同一のプレート部材4に帯状のスリット
と円形の孔を形成し、このプレート部材4をインク滴噴
射口2aや筒部2Bを形成した噴射室形成部材10と振
動板3との間に接合することで、インク流路7および隙
間部5を形成した。
【0132】この場合、インク滴噴射口2aや筒部2B
を形成した噴射室形成部材10の底面側に、インク流路
7や隙間部5に対応する溝や孔を加工してもよい。イン
ク滴噴射室2毎にインクWを供給するインク流路7を配
置する必要がなくなり、インク滴噴射装置の小型化及び
生産性を大幅に向上することができた。
【0133】更に、この第4実施例では、インク流路7
の総延長を前述した第1実施例のインク滴噴射装置と比
較して短くすることができ、インク滴噴射口2aからイ
ンクWを吸引してインク滴噴射室2の気泡を除去する
際、インクWの流速を高めることができ、このため、気
泡除去に要したインクWの吸引量は、前述した第1実施
例の1/3に削減できた。
【0134】そして、前述した各実施例の場合と同様
に、インク滴噴射装置のインク滴噴射特性を調べた結
果、圧電式アクチュエータ6に時間幅10〔μs〕、変
位幅0.44〔μm〕のコサインカーブ状の時間応答の
変位を与えることで、インク滴噴射点1から直径約30
〔μm〕のインク滴wを安定吐出できた。
【0135】ここで、圧電式アクチュエータ6の駆動時
間幅を20〔μs〕,5〔μs〕,および3〔μs〕に
変化しても、前述した第1実施例の場合と同様に、イン
ク滴噴射点1からそれぞれ、直径約36〔μm〕、15
〔μm〕および7〔μm〕のインク滴wを噴射できた。
また、図7に示した装置構成でインクジェット用記録ヘ
ッドに適用し、圧電式アクチュエータ6の駆動時間幅と
変位幅を変えてインク滴wの径を変調し、印字実験を行
った。
【0136】この場合、この第4実施例では、前述した
第1実施例における図6に示したインク滴噴射口2aの
ピッチAを381〔μm〕とし、ピッチBを第1実施例
の600〔μm〕に対して、380〔μm〕と、低減す
ることができた。
【0137】そして、1本のインク流路7は10個のイ
ンク滴噴射室2を貫く構成として、前述した1列のイン
ク滴噴射口2aの群を六行を千鳥状に配置し、更に前述
した六行千鳥状のインク滴噴射口2aの群を、二個設け
て全体で120個のインク滴噴射口2aが配列されるよ
う記録ヘッド22を製作した。
【0138】この場合、主走査方向400〔dpi〕、
副走査方向400〔dpi〕の画素密度で画素を形成で
き、ドット径についても、最大約90〔μm〕から約1
5〔μm〕までの階調記録が行えることを確認すること
ができた。
【0139】更に、本第4実施例では、隙間部5の平面
形状を直径360〔μm〕の円形状としたが、同時に、
図15に示すように、インク流路7と隙間部5の底面か
ら開口部方向の高さ寸法だけでなく,幅方向の寸法も3
60〔μm〕で同一にしたインク滴噴射装置について、
インク滴噴射特性の調査とインクジェット用記録ヘッド
に適用した場合の印字実験を実施した。
【0140】その結果、上述した各実施例と比較して、
変位幅をさらに5〔%〕増加することで、前述した第1
実施例と同等のインク滴wを噴射できた。この第4実施
例におけるインク滴噴射装置では、インク流路7を流れ
るインクWの流速を高めることができ、インク滴噴射室
2の気泡を除去するのに要したインクWの吸引量を、さ
らに2/3に削減できた。
【0141】また、インク流路7と隙間部5の幅と高さ
寸法が同一であり、同一のプレート材に帯状の長孔のみ
を形成し、このプレート部材4をインク滴噴射口2aや
筒部2Bを形成した噴射室形成部材10と振動板3との
間に接合することで、インク流路7および隙間部5を容
易に形成できた。
【0142】このように、本第4実施例では、同一のプ
レート部材4でインク流路7と隙間部5を同時に形成で
きるため、インク滴噴射装置の生産性を大幅に向上する
ことができた。
【0143】(第5実施例)次に、第5実施例を図16
乃至図17に基づいて説明する。この図16乃至図17
に示す第5実施例は、隙間部5の形状を変えると共に吸
引口27を新たに設けた点に特長を有する。即ち、本第
5実施例におけるインク滴噴射装置では、インクWの供
給側と排出側の二本のインク流路7を介して隣接のイン
ク滴噴射室2同士を直列につなげ、更に複数のインク滴
噴射室2を貫いて配置したインク流路7の一端をインク
タンク15に接続し、他端には図16に示すようにイン
クWを吸引するための吸引口27を設けた。
【0144】そして、この第5実施例では、前述した第
4実施例の場合と同様の構成のインク滴噴射装置を用い
ると共に、インク流路7と隙間部5とは底面を同一面と
し、双方の底面からインク滴噴射口2aの高さ寸法を4
0〔μm〕で同一とし、更に幅方向の寸法も360〔μ
m〕で同一にした。
【0145】更に、この第5実施例においても、インク
流路7が複数のインク滴噴射室2を貫くよう簡略な構造
であり、同一のプレート部材4に帯状のスリットのみを
形成し、このプレート部材をインク滴噴射口2aや筒部
2Bを形成したプレートと振動板3との間に接合するこ
とで、インク流路7および隙間部5を形成した。
【0146】そして、インク滴噴射室2にインクWを充
填する際、或いはインク滴噴射室2に残留した気泡を除
去する際に、インク滴噴射口2aを塞いで吸引口27か
らインクWを吸引する動作と、吸引口27を塞いでイン
ク滴噴射口2aからインクWを吸引する動作を交互に行
った。インク流路7を流れるインクWの流速を高めるこ
とができ、気泡を瞬時に除去できた。同様の構成で、吸
引口27がない前述した第4の実施例形態におけるイン
ク滴噴射装置と比較して、気泡除去の作業に要するイン
クWの吸引量を1/4以下に削減できた。
【0147】更に、本第5実施例においては、吸引口2
7をインク滴噴射口2aを形成した面に設けたが、図1
7に示すように、吸引口27をインク滴噴射口2aとは
異なる面に設けても同様の効果が得られた。
【0148】このように、本第5の実施形態にあって
も、前述した第4の実施形態の場合と同様に、図7に示
すような装置構成の記録ヘッド22に適用した結果、イ
ンクジェット方式で画像記録が可能なこと、およびドッ
ト径変調が行えることを確認し得た。
【0149】(第6実施例)次に、第6実施例を図8に
基づいて説明する。この図18に示す第6実施例は、図
18(A)に示すように、筒部2Bの底面側に、当該筒
部2Bの底面の口径300〔μm〕と同一口径で高さ方
向の寸法が5〔μm〕の円形状(環状)の環状部材4K
を設けた点に特長を有する。ここで、筒部2Bの底面側
に環状部材4Kを設けたことにより、圧電式のアクチュ
エータ6を駆動した際、インクWがインク流路7の方向
に漏れることが抑制され、底面からインク滴噴射口2a
の方向に向かう液流を効率よく生じさせることができ
た。
【0150】その結果、前述した第1実施例の場合と比
較して、表面波を効率良く発生できるようになり、圧電
式アクチュエータ6に時間幅10〔μs〕の時間応答の
変位を与えた場合、インク滴噴射点1から直径約30
〔μm〕のインク滴wを安定吐出するために必要となっ
た変位幅は0.35〔μm〕に低減できた。
【0151】この圧電式のアクチュエータ6の駆動時間
幅を変化しても、前述した第1実施例の場合と同様に、
インク滴wを噴射するために必要となった変位は10%
程低減できた。この場合、環状部材4Kは、前述したの
と同様の口径で且つ同様の高さ寸法であれば、図18
(b)に示すように、振動板3側に設けても同様の変位
量低減の効果が得られる。
【0152】ここで、上述した各実施形態にあっては、
インク滴噴射室2としてインク滴噴射口2aから深さ方
向に向かってテーパ状で且つ直線的に口径が増加する筒
部2Bを用いたが、この筒部2Bについては、その内面
が直線的でなく曲線で構成されたものであっても、或い
は凹凸や段差を有していても、深さ方向に徐々に開口径
が広がる構造であれば、インク滴噴射口2aのインクW
の自由表面上にインク滴噴射点1の方向に進行する表面
波を形成でき得ることを実験的に確認することができ
た。
【0153】また、上述した第1乃至第5の各実施例で
は、インク滴噴射口2aの真下に圧電式アクチュエータ
6を配置したが、インク滴噴射点1から概略等距離の位
置で且つインク滴噴射点1の方向に進行する円形状の表
面波SをインクWの自由表面上に発生させることができ
れば、必ずしも圧電式アクチュエータ6をインク滴噴射
口2aの真下に配置する必要はない。
【0154】更に、上記各実施例では、振動板3に変位
を与える圧電式アクチュエータ6としてピエゾを利用し
たが、例えば電磁式等のアクチュエータ等を用いたもの
であってもよい。要は振動板3に所望の変位を与えるこ
とができるものであれば良い。
【0155】更に、上記各実施例にあっては、振動板3
を介して圧電式アクチュエータ6の変位をインクWに伝
達させる構成としたが、圧電式アクチュエータ6の端部
でインクWに変位を直接与えるような構成としてもよ
い。
【0156】また、本発明は、特にプリンタについて本
発明を実施した場合を説明したが、同等に機能するもの
であれば、他の液体噴射方式の印字機器についてもそっ
くりそのまま適用されるものである。
【0157】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明のインク滴
噴射装置は、インク滴噴射口の方向に進行する表面波の
干渉によりインク滴を噴射させるため、インク滴噴射口
の開口面積よりも遥かに微細なインク滴を1滴ずつ所望
の着弾位置に飛翔できる。
【0158】更に、本発明のインク滴噴射装置では、ア
クチュエータの駆動を制御して表面波の波長と波高を変
化させることにより、容易にインク滴径を可変でき、こ
のため、濃度階調記録を実現することができる。
【0159】また、本発明によると、振動板から出力さ
れる音響的な振動がインク滴噴射室で収束されてインク
滴噴射口側に伝搬し、このインク滴噴射口に存在するイ
ンクの表面に発生する表面波の相互干渉によってインク
滴が放出されるようになっていることから、比較的小粒
のインク滴を噴射する事が可能となり、同時に、振動板
が振動する時点では、その振動面から外れた領域には何
ら特別の押圧力が伝達されないため、インク流路を逆流
するインク成分は全く生じないことから、インク流路の
管路面積を従来のものに比較して大きく設定することが
でき、かかる点においてインクの流入・流出を円滑に行
うことができる。この点、インク滴噴射室の体積収縮に
よってインク滴を噴射する従来例にあっては、インクの
逆流を阻止するためにインク流路を絞る等して体積収縮
のロスを抑制しなければならないのに対して、構成を単
純化することができる。
【0160】そして更に、本発明のインク滴噴射装置
は、前述したように比較的簡単な構成で実現できるた
め、インク滴噴射装置の生産性を向上でき、また、イン
ク滴噴射室の内部に残留した気泡を容易に除去できる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態および第1実施例を示す説明
図で、図1(A)はインク流路を含まない箇所における
一部省略したインク滴噴射装置を示す断面図、図1
(B)はインク流路を含む箇所における一部省略したイ
ンク滴噴射装置を示す断面図である。
【図2】図1におけるインク滴噴射装置の隙間部および
駆動面の形状を示す図で、図2(A)は隙間部および駆
動面を円形とした場合を示す説明図、図2(B)は隙間
部および駆動面を方形状とした場合を示す説明図であ
る。
【図3】図1におけるインク滴噴射装置の動作を示す図
で、図3(A)はインク滴の吐出過程の内の表面波の発
生状態を示す説明図、図3(B)は表面波の進行状態を
示す説明図、図3(C)は表面波の干渉により液柱が発
生してインク滴が飛翔した状態を示す説明図である。
【図4】図1におけるインク滴噴射装置に装備された圧
電式アクチュエータの駆動波形を示す線図である。
【図5】図1に示すインク滴噴射装置を複数実装した場
合の例を示す図で、インク滴噴射口とインクタンクとの
位置関係を示す説明図である。
【図6】複数のインク滴噴射口の配置例を示す説明図で
ある。
【図7】本発明にかかるインク滴噴射装置を搭載したイ
ンクジェット記録装置の例を示す概略斜視図である。
【図8】本発明の第1実施例における比較例を示す図
で、液流の直接的な作用により、開口部の直径にほぼ等
しい大きさのインク滴を吐出した場合のインク滴の吐出
過程を示す図で、図8(A)はインク滴が出来る直前に
状態を示す説明図、図8(B)はインク滴が出来る過程
を示す説明図、図8(C)はインク滴が出来上がって飛
び出した直後の状態を示す説明図である。
【図9】本発明の第2実施例であって複数のインク滴噴
射装置を同一線上に配置した場合のインク滴噴射口と隙
間部とインクタンクとの関係を示す説明図である。
【図10】図9に示す第2実施例の変形例を示す説明図
である。
【図11】本発明の第3実施例を示す図で、複数のイン
ク滴噴射装置を同一線上に配置した場合のインク滴噴射
口と隙間部と二列のインクタンクとの関係を示す説明図
である。
【図12】図11に示す第3実施例の変形例(インク流
路の管路面積を変えた場合)を示す説明図である。
【図13】本発明の第4実施例を示す図で、図13
(A)は複数のインク滴噴射装置を同一線上に配置した
場合の一のインク滴噴射装置を示す一部省略した縦断面
図、図13(B)は二個のインク滴噴射装置を含む一部
省略した縦断面図である。
【図14】図13に示す第4実施例におけるインク滴噴
射口と隙間部とインクタンクとの関係を示す説明図であ
る。
【図15】図14の変形例(インク流路の管路面積を変
えた場合)を示す説明図である。
【図16】本発明の第5実施例を示す図で、複数のイン
ク滴噴射装置を同一線上に配置した場合のインク滴噴射
口と隙間部とインクタンクとの関係を示す説明図であ
る。
【図17】図16に示す第5実施例の変形例(インク流
路の管路面積を変えた場合)を示す説明図である。
【図18】本発明の第6実施例を示す図で、図18
(A)はその縦面断面図を示し、図18(B)は図18
(A)の変形例を示す縦面断面図である。
【図19】従来例(1)を示す図であって、ポンプの原
理を利用したもので、図19(A)は通常の状態を示す
説明図、図19(B)はインク滴を発射した直後の状態
を示す説明図である。
【図20】従来例(2)を示す図であって、異なるイン
クをインク溜りで混合しポンプの原理を利用してインク
滴を噴射するようにした場合の説明図である。
【図21】従来例(3)を示す図であって、表面波の干
渉により霧状にインク滴を噴射するものであり、図21
(A)は概略斜視図、図21(B)は動作説明図であ
る。
【図22】従来例(4)を示す図であって、表面波の干
渉により霧状にインク滴を噴射する装置を示す概略断面
図である。
【図23】従来例(5)を示す図であって、表面波の干
渉により霧状にインク滴を噴射する装置を示す概略断面
図である。
【図24】従来例(6)を示す図であって、超音波の放
射圧を利用してインク滴を噴射する装置を示す概略断面
図である。
【図25】従来例(7)を示す図であって、圧力波を集
中させて任意の場所からインク滴を噴射させるインク滴
噴射装置であり、図25(A)は概略平面図、図25
(B)は概略縦断面図である。
【符号の説明】
1 インク噴射点 2 インク滴噴射室 2a インク滴噴射口 2B 筒部 3 振動板 4 スペーサ部材 4K 環状部材 5 隙間部 6 圧電式アクチュエータ 7 インク流路 10 噴射室形成部材 27 吸引口 S 表面波 w インク滴 W インク

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方の面にインク滴噴射口を有し且つ内
    部に断面円錐体状のインク滴噴射室を備えた板状の噴射
    室形成部材と、この噴射室形成部材の他方の面に所定間
    隔を隔てて前記インク滴噴射室を覆うようにして装備さ
    れた振動板とを設け、 この振動板と前記噴射室形成部材との間に、前記インク
    滴噴射室の底面領域を囲むようにしてスペーサ部材を装
    備すると共に、このスペーサ部材の内側に前記インク滴
    噴射室の底面領域に連通し且つ前記振動板と噴射室形成
    部材とで挟まれた環状の隙間部を設け、 この隙間部に連通するインク流路を前記振動板と噴射室
    形成部材との間に形成し、 前記振動板を励振して前記インク滴噴射室内のインクに
    対しその底面側からインク滴噴射口の方向に向かう間欠
    的な液流を発生せしめると共に,当該励振時の変位量と
    変位の発生時間とを任意に制御可能なアクチュエータ
    を、前記振動板に連結装備したことを特徴とするインク
    滴噴射装置。
  2. 【請求項2】 前記振動板に接続された前記アクチュエ
    ータの駆動面積を、前記インク滴噴射室の前記インク滴
    噴射口に対応して位置する底面領域の口径より広く設定
    したことを特徴とする請求項1記載のインク滴噴射装
    置。
  3. 【請求項3】 前記環状の隙間部は、その中心軸を前記
    インク滴噴射口の中心軸と一致するように設定し且つそ
    の高さ及び幅が一様な環状の隙間部としたことを特徴と
    する請求項1又は2記載のインク滴噴射装置。
  4. 【請求項4】 前記インク流路を、前記インク滴噴射室
    にインクを供給する側及び当該インクの余剰分を排出す
    る側の少なくとも二箇所に設けたことを特徴とする請求
    項1,2又は3記載のインク滴噴射装置。
  5. 【請求項5】 前記インク滴噴射室を同一列に所定間隔
    を隔てて複数個配設すると共に、前記インク滴噴射室の
    列の両側にインクタンク部を設け、前記インク流路を、
    前記各インク滴噴射室に個別に設けたことを特徴とする
    請求項1,2又は3記載のインク滴噴射装置。
  6. 【請求項6】 前記インク滴噴射室を同一列に所定間隔
    を隔てて複数個配設すると共に,前記インク滴噴射室の
    列の長手方向の一端部にインクタンク部を設け、 この各インク滴噴射室の底面部周囲の隙間部相互間を所
    定幅のインク流路を介して連接したことを特徴とする請
    求項1,2又は3記載のインク滴噴射装置。
  7. 【請求項7】 前記インク滴噴射室の列の長手方向の他
    端部に、前記インクを吸引する吸引口を設けたことを特
    徴とする請求項6記載のインク滴噴射装置。
  8. 【請求項8】 前記インク滴噴射室の前記隙間部との境
    界領域に、その高さが前記隙間部の厚さよりも小さい値
    の円形又は多角形状の環状部材を装備したことを特徴と
    する請求項1,2,3,4,5,6又は7記載のインク
    滴噴射装置。
  9. 【請求項9】 前記環状部材を、前記インク滴噴射室の
    底面周囲の前記噴射室形成部材側に装備したことを特徴
    とする請求項8記載のインク滴噴射装置。
  10. 【請求項10】 前記環状部材を、前記インク滴噴射室
    の底面周囲の前記振動板側に装備したことを特徴とする
    請求項8記載のインク滴噴射装置。
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