JPH10208701A

JPH10208701A - 放電ランプおよび照明装置

Info

Publication number: JPH10208701A
Application number: JP9007885A
Authority: JP
Inventors: Kunio Yuasa; 邦夫湯浅
Original assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Current assignee: Toshiba Lighting and Technology Corp
Priority date: 1997-01-20
Filing date: 1997-01-20
Publication date: 1998-08-07

Abstract

(57)【要約】【課題】放電ランプの紫外線照射量の向上、発光効率
の向上を図る。【解決手段】透光性を有する容器11を設ける。容器11
内に放電によって光を放出する希ガスを封入する。容器
11の壁部の外壁面と内壁面とに対向して一対の電極15，
16をそれぞれ形成する。容器11の壁部の外壁面と内壁面
とに対向して一対の電極15，16をそれぞれ形成すること
により、紫外線照射量を増加させ、発光効率を向上させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、誘電バリヤ放電を
用いた放電ランプおよび照明装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、紫外線放射光源として、例えば、
特公平８−２１３６９号公報に記載されているように、
誘電バリヤ放電を用いた放電ランプが提案されている。

【０００３】この放電ランプは、紫外線を透過するガラ
ス製の容器内にキセノン（Ｘｅ）などの紫外線を放出す
る希ガスを封入し、その容器の壁部を誘電体とし、例え
ばメッシュ状の一対の電極を外部に配置し、これら一対
の電極間に高周波電圧を印加して放電させる。なお、電
極の一方を容器内に配置する場合もあるが、その電極は
容器内の中心部分に容器の内壁面から離して配置するよ
うにしている。

【０００４】そして、容器を通じての放電であるため、
その形態はいわゆる無声放電で、パルス状の電流が流れ
る。このパルス状の電流は高速の電子流れを持ちかつ休
止区間が多いために、キセノン（Ｘｅ）などの紫外線を
放出する希ガスを多量に励起し、励起された希ガスが一
時的に分子状態すなわちエキシマ状態を形成し、基底状
態に戻るときに再吸収の少い紫外線を効率よく放出す
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
放電ランプでは、希ガスからの紫外線の発光波長の多く
が真空紫外線域にあるため、放電ランプからの紫外線を
その表面処理される対象物に照射しようとしても空気中
の照射では空気による紫外線の吸収が極めて多く、対象
物に対する紫外線の照射量が低い問題がある。

【０００６】この問題の解決策として、例えば、密閉ケ
ース内に放電ランプを入れるとともに窒素などの不活性
ガスを充填することにより、放電ランプから出る紫外線
の吸収を防ぎ、密閉ケースの合成石英ガラス製の窓材を
通じて照射する方法が考えられる。しかし、窓材の合成
石英ガラスは高価で大きな寸法のものは製作が困難であ
り、密閉ケースを製作を必要とし、この密閉ケース内に
常に窒素などの不活性ガスを充填しておく必要があるな
どの新たな問題が発生する。

【０００７】また、放電ランプが点灯され、容器内のガ
ス温度が上昇するに従い、各放電が容器内のガスの対流
によって吹き流されて移動するようになり、容器内での
放電が不均一になり、発光効率が低下する。

【０００８】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、紫外線照射量の向上、発光効率の向上を図れる放
電ランプおよび照明装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の放電ラン
プは、透光性を有する容器と；容器内に封入され、放電
によって光を放出する希ガスと；容器の壁部の外壁面と
内壁面とに対向してそれぞれ形成される一対の電極と；
を具備しているものである。そして、容器の壁部の外壁
面と内壁面とに対向して一対の電極をそれぞれ形成した
ことにより、紫外線照射量を増加させ、発光効率を向上
させる。

【００１０】請求項２記載の放電ランプは、請求項１記
載の放電ランプにおいて、容器の壁部の内壁面に形成さ
れる電極の表面に保護膜が形成されているものである。
これにより、スパッタリングなどを抑えて、電極を保護
する。

【００１１】請求項３記載の放電ランプは、透光性を有
する容器と；容器内に封入され、放電によって光を放出
する希ガスと；光を反射させる反射面状に形成されると
ともに一方には容器外への光の出射を許容する透光部が
形成され、容器内で放電を励起させる一対の電極と；を
具備しているものである。これにより、紫外線を集約す
るとともに集約された紫外線を透光部を通じて照射し、
紫外線照射量を増加させる。

【００１２】請求項４記載の放電ランプは、放電空間が
形成された透光性を有する容器と；容器の放電空間に封
入され、放電によって光を放出する希ガスと；容器の放
電空間で放電を励起させる一対の電極と；容器に設けら
れ、光を反射させる反射面状に形成されるとともに容器
外への光の出射を許容する透光部が形成された反射膜
と；を具備しているものである。これにより、紫外線を
集約するとともに集約された紫外線を透光部を通じて照
射し、紫外線照射量を増加させる。

【００１３】請求項５記載の放電ランプは、請求項３ま
たは４記載の放電ランプにおいて、容器は筒状に形成さ
れ、容器の円周上の一部の角度範囲に透光部が形成され
るものである。これにより、紫外線をより集約させ、紫
外線照射量をより増加させる。

【００１４】請求項６記載の放電ランプは、請求項１な
いし５いずれか一記載の放電ランプにおいて、容器が係
合される係合部が形成されるとともにこの係合部が反射
面に形成され、高熱伝導材料にて形成された放熱体を具
備しているものである。これにより、反射面で紫外線を
集約して紫外線照射量を増加させるとともに、容器内の
ガス温度を低減させて発光効率を向上させる。

【００１５】請求項７記載の照明装置は、請求項１ない
し６いずれか一記載の放電ランプと；一対の電極間に放
電電力を供給する点灯装置と；を具備しているものであ
る。これにより、請求項１ないし６いずれか一記載の放
電ランプの作用を有する照明装置を提供する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の放電ランプの一実
施の形態を図面を参照して説明する。

【００１７】図１および図２に第１の実施の形態を示
し、図１は放電ランプの断面図、図２は放電ランプから
の紫外線出力の測定結果を示す説明図である。

【００１８】図１において、11は容器で、この容器11
は、透光性を有する例えば石英ガラスにて平板状に形成
された一対の基板12，13を有し、これら基板12，13が離
間して対向されるとともに周囲が密閉され、その密閉さ
れた容器11の内部に放電空間14が形成されている。一方
の基板12が誘電体とされるとともに、一対の基板12，13
に垂直な方向が主な光照射方向とされる。

【００１９】容器11の放電空間14には、主としてキセノ
ン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスが封入されて
いる。

【００２０】容器11の壁部である一方の基板12には、外
壁面と内壁面とに対向して一対の電極15，16がそれぞれ
形成されている。これら電極15，16は、それぞれメッシ
ュ状に形成されるとともに、互いに重なり合わないよう
に形成されている。基板12の外壁面に形成される電極15
は、アルミニウム板のエッチングによって形成されてい
る。基板12の内壁面に形成される電極16は、アルミニウ
ムの蒸着によって形成されている。基板12の内壁面に形
成される電極16の表面には、例えば、アルミナや、チタ
ン酸バリウムなどの強誘電体などにて、図示しない保護
膜が形成されている。

【００２１】一対の電極15，16は点灯装置17に接続され
ている。点灯装置17は、一対の電極15，16に例えば約４
０ｋＨｚで１２ｋＶの放電電圧を印加する。

【００２２】次に、第１の実施の形態の作用を説明す
る。

【００２３】放電ランプの一対の電極15，16に点灯装置
17から放電電圧を印加する。この一対の電極15，16への
放電電圧の印加により放電が生じ、この放電は容器11の
基板12を通じての放電であるため、その形態はいわゆる
無声放電で、パルス状の電流が流れる。このパルス状の
電流は高速の電子流れを持ちかつ休止区間が多いため
に、キセノン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスを
多量に励起し、励起された希ガスが一時的に分子状態す
なわちエキシマ状態を形成し、基底状態に戻るときに再
吸収の少い紫外線を効率よく放出する。

【００２４】放出された紫外線などの光線は、主に容器
11の上下方向すなわち光照射方向に照射される。

【００２５】そして、放電は一対の電極15，16間で多数
線状に生じる。放電は時間的に動き回り、空間的には電
極16全体に広がる。

【００２６】次に、放電ランプの直下３ｍｍのところに
紫外線強度を測定するセンサを配置し、空気中で放電ラ
ンプの発光試験を行なった結果を図２に示す。

【００２７】このときの条件は、各基板12，13の板厚を
約２．５ｍｍ、電極15の間隔Ｌを約５ｍｍおよび線幅を
約０．４ｍｍ、電極16の線幅を約０．４ｍｍ、電極15と
電極16との間隙ｔを約３ｍｍ、キセノンガスの封入圧を
約６６ｋＰａ、放電電圧を約４０ｋＨｚで１２ｋＶとす
る。

【００２８】例えば、紫外線洗浄試験において、水の接
触角の評価は、青ガラスで照射前約５０゜であったもの
が、約２分照射で４゜となった。

【００２９】これは、従来の放電ランプを用い、密閉ケ
ース内に放電ランプを入れるとともに窒素などの不活性
ガスを充填することにより、放電ランプから出る紫外線
の吸収を防ぎ、密閉ケースの合成石英ガラス製の窓材を
通じて照射する方法で測定した場合と、同等の結果が得
られた。

【００３０】したがって、容器11の基板12の外壁面と内
壁面とに対向して一対の電極15，16をそれぞれ形成する
ことにより、紫外線照射量を増加でき、発光効率を向上
できることが確認できた。

【００３１】また、容器11の壁部の内壁面に形成される
電極16の表面に保護膜を形成したため、スパッタリング
などを抑えて、電極16を保護できる。

【００３２】そして、このような放電ランプを例えば半
導体製造工程において紫外線照射を行なう照明装置に用
いることにより、製造効率を向上できる。

【００３３】次に、図３は第２の実施の形態を示す。図
３は放電ランプの断面図である。

【００３４】図において、11は容器で、この容器11は、
透光性を有する例えば石英ガラスにて円筒状に形成され
た外管21および内管22を有し、これら内管21と外管22の
両端が密閉されて、２重管構造の容器11の内部に放電空
間14が形成されている。そして、外管21および内管22が
誘電体とされる。

【００３５】容器11の放電空間14には、主としてキセノ
ン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスが封入されて
いる。

【００３６】容器11の壁部である外管21には、外壁面と
内壁面とに対向して一対の電極15，16がそれぞれ形成さ
れている。これら電極15，16は、それぞれメッシュ状に
形成されるとともに、各メッシュの交点が他のメッシュ
の交点と互いに重なり合わないように形成されている。

【００３７】容器11の壁部である内管22には、外壁面と
内壁面とに対向して一対の電極15，16がそれぞれ形成さ
れている。外壁面の電極15は円筒状に形成され、内壁面
の電極16はメッシュ状に形成されている。

【００３８】内壁面の電極16の表面には、例えば、アル
ミナや、チタン酸バリウムなどの強誘電体などにて、図
示しない保護膜が形成されている。

【００３９】一対の電極15，16は点灯装置17に接続され
ている。点灯装置17は、一対の電極15，16に例えば約４
０ｋＨｚで１２ｋＶの放電電圧を印加する。

【００４０】そして、この第２の実施の形態の放電ラン
プにおいても、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏
する。

【００４１】なお、外管21と内管22のいずれか一方に一
対の電極15，16を形成しても、第１の実施の形態と同様
の作用効果を奏する。

【００４２】次に、図４ないし図６に第３の実施の形態
を示す。図４は放電ランプの断面図、図５(a) は反射機
能を備えた放電ランプからの紫外線出力の測定結果を示
す説明図、図５(b) は反射機能を備えない放電ランプか
らの紫外線出力の測定結果を示す説明図、図６は放電ラ
ンプの透光部の角度と光強度との関係の測定結果を示す
説明図である。

【００４３】図において、11は容器で、この容器11は、
透光性を有する例えば石英ガラスにて円筒状に形成され
た外管21および内管22を有し、これら内管21と外管22の
両端が密閉されて、２重管構造の容器11の内部に放電空
間14が形成されている。そして、外管21および内管22が
誘電体とされる。

【００４４】容器11の放電空間14には、主としてキセノ
ン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスが封入されて
いる。

【００４５】外管21および内管22の外壁面には、一対の
電極31，32がそれぞれ形成されている。これら一対の電
極31，32は外管21および内管22にアルミニウムの蒸着に
よって膜状に形成され、管壁に対向する面が光を反射さ
せる反射面に形成されている。

【００４６】外管21の一部には、角度αの範囲で、電極
31が形成されず、容器11外への光の出射を許容する透光
部33が形成されている。

【００４７】一対の電極31，32は点灯装置17に接続され
ている。点灯装置17は、一対の電極31，32に例えば約４
０ｋＨｚで８ｋＶの放電電圧を印加する。

【００４８】そして、放電ランプの一対の電極31，32に
点灯装置17から放電電圧を印加する。この一対の電極3
1，32への放電電圧の印加により放電が生じ、この放電
は容器11を通じての放電であるため、その形態はいわゆ
る無声放電で、パルス状の電流が流れる。このパルス状
の電流は高速の電子流れを持ちかつ休止区間が多いため
に、キセノン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスを
多量に励起し、励起された希ガスが一時的に分子状態す
なわちエキシマ状態を形成し、基底状態に戻るときに再
吸収の少い紫外線を効率よく放出する。

【００４９】放出された紫外線などの光線は、各電極3
1，32で反射して集約され、透光部33を通じて外部に照
射される。

【００５０】また、放電ランプの直下３ｍｍのところに
紫外線強度を測定するセンサを配置し、空気中で放電ラ
ンプの発光試験を行なった結果を図５(a) に示す。

【００５１】このときの条件は、容器11の外径３０ｍｍ
および内径２０ｍｍ、透光部33の角度αは２０゜、キセ
ノンガスの封入圧を約６６００Ｐａ、放電電圧を約４０
ｋＨｚで８ｋＶである。

【００５２】なお、図５(b) には、比較例として、メッ
シュ状の電極を用いた従来の放電ランプの場合を示す。

【００５３】反射面状に形成された電極31，32を用いて
透光部33から照射する場合（図５(a) ）には、従来のメ
ッシュ状の電極を用いた場合（図５(b) ）に比べて、紫
外線強度が平均値で約１．７倍増加したことが確認され
た。

【００５４】したがって、一対の電極31，32を反射面状
に形成するとともに、一方の電極31には容器外への光の
出射を許容する透光部33を形成したため、紫外線を集約
できるとともに集約された紫外線を透光部33を通じて照
射でき、紫外線照射量を増加できる。

【００５５】また、図６には、透光部33の角度αと光強
度との関係を測定した結果を示す。このときの測定条件
は上記と同一である。図中の実線は窒素雰囲気中、破線
は空気雰囲気中での測定である。この実験により、窒素
雰囲気中ではα＝０〜１３０゜、空気雰囲気中ではα＝
１０〜１００゜が、光強度が高いことが確認された。

【００５６】次に、図７は第４の実施の形態を示す。図
７は放電ランプの断面図である。

【００５７】図において、11は容器で、この容器11は、
透光性を有する例えば石英ガラスにて円筒状に形成され
た外管21および内管22を有し、これら内管21と外管22の
両端が密閉されて、２重管構造の容器11の内部に放電空
間14が形成されている。そして、外管21および内管22が
誘電体とされる。

【００５８】容器11の放電空間14には、主としてキセノ
ン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスが封入されて
いる。

【００５９】外管21および内管22の外壁面には、一対の
電極31，32がそれぞれ形成されている。電極31は外管21
に例えばアルミニウムの蒸着などによってメッシュ状に
形成されている。電極32は内管22に例えばアルミニウム
の蒸着によって膜状に形成され、管壁に対向する面が光
を反射させる反射面に形成されている。

【００６０】外管21の内壁面には例えばアルミニウムの
蒸着などによって反射膜34が形成され、この反射膜34の
一部に容器11外への光の出射を許容する透光部33が形成
されている。

【００６１】一対の電極31，32は点灯装置17に接続され
ている。点灯装置17は、一対の電極31，32に例えば約４
０ｋＨｚで８ｋＶの放電電圧を印加する。

【００６２】そして、この第４の実施の形態の放電ラン
プにおいても、第３の実施の形態と同様の作用効果を奏
する。

【００６３】ただし、第３の実施の形態と同様に紫外線
強度の測定を行なったところ、紫外線強度は平均値で約
１．６倍増加したことが確認された。第３の実施の形態
と比較して紫外線強度の増加が少ない理由は、紫外線が
一部透過、吸収されているためで、石英ガラスでの吸収
を考えてもまだ外面反射の方がやや有利であるが、いず
れにしろ反射機能を備えない場合にくらべて十分な紫外
線強度の増加を得られる。

【００６４】また、この放電ランプを照明装置に用い、
放電ランプの透光部33に対して紫外線を照射すべき対象
物を配置すれば、短時間で必要な紫外線照射量を与える
ことができ、さらに、放電ランプと対象物との相対位置
を移動させながら処理することが可能となる。そのた
め、従来のように、対象物を静止させ、反射板などで均
一な紫外線を照射させるような必要がなく、また、密閉
ケース内に放電ランプを入れるとともに窒素などの不活
性ガスを充填することにより、放電ランプから出る紫外
線の吸収を防ぎ、密閉ケースの合成石英ガラス製の窓材
を通じて照射する場合のように、高価な合成石英ガラス
製の窓材を使用したり、窒素ガスを充填するなどの必要
がなくなる。

【００６５】次に、図８および図９に第５の実施の形態
を示す。図８は放電ランプの斜視図、図９は放電ランプ
の平面図である。

【００６６】図８において、11は容器で、この容器11
は、透光性を有する例えば石英ガラスにて円筒状に形成
された外管21および内管22を有し、これら内管21と外管
22の両端が密閉されて、２重管構造の容器11の内部に放
電空間14が形成されている。そして、外管21および内管
22が誘電体とされる。

【００６７】容器11の放電空間14には、主としてキセノ
ン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスが封入されて
いる。

【００６８】外管21および内管22の外壁面には、一対の
電極31，32がそれぞれ形成されている。電極31は、外管
21に例えばアルミニウムの蒸着などによってメッシュ状
に形成されている。電極32は、例えばアルミニウム製で
円筒状に形成され、管壁に対向する面が光を反射させる
反射面に形成されている。

【００６９】一対の電極31，32は点灯装置17に接続され
ている。点灯装置17は、一対の電極31，32に例えば約４
０ｋＨｚで８ｋＶの放電電圧を印加する。

【００７０】図９において、41は放熱体で、この放熱体
41は、例えばアルミニウムなどの高熱伝導材料にて形成
され、一側面には容器11が密着係合される係合部42が形
成され、この係合部42の両側には傾斜面部43が形成され
ている。これら係合部42および傾斜面部43の部分は、鏡
面仕上げが施されて反射面に形成され、かつＭｇＦ₂膜
により耐酸化処理が施されている。

【００７１】そして、放電ランプの一対の電極31，32に
点灯装置17から放電電圧を印加する。この一対の電極3
1，32への放電電圧の印加により放電が生じ、この放電
は容器11を通じての放電であるため、その形態はいわゆ
る無声放電で、パルス状の電流が流れる。このパルス状
の電流は高速の電子流れを持ちかつ休止区間が多いため
に、キセノン（Ｘｅ）などの紫外線を放出する希ガスを
多量に励起し、励起された希ガスが一時的に分子状態す
なわちエキシマ状態を形成し、基底状態に戻るときに再
吸収の少い紫外線を効率よく放出する。

【００７２】放出された紫外線を含む光線の一部は、放
熱体41の係合部42や傾斜面部43の反射面で反射されて集
約される。

【００７３】放電ランプの点灯により、容器11内のガス
温度が上昇するが、容器11の熱が放熱体11に伝達されて
放熱されるため、その冷却作用により容器11内のガス温
度の上昇が抑制される。

【００７４】そして、放電ランプの直下３ｍｍのところ
に紫外線強度を測定するセンサを配置し、窒素ガス雰囲
気中で放電ランプの発光試験を行なったところ、ほぼ１
７２ｎｍの紫外線強度は、放熱体41を用いることによ
り、放熱体41を用いない場合に比べて、約４０％向上す
ることが確認された。このときの条件は、容器11の外径
３０ｍｍおよび内径２０ｍｍ、容器11の全長２００ｍ
ｍ、キセノンガスの封入圧を約６６００Ｐａ、放電電圧
を約４０ｋＨｚで８ｋＶである。

【００７５】すなわち、放熱体41の冷却作用により、容
器11内での放電は空間的に安定し、放電の移動は目視上
半分以下に減少することが確認された。この結果、紫外
線照度の分布は向上し、例えば紫外線洗浄試験では水の
接触角の分布状態は約２０％向上することが確認され
た。

【００７６】このように、高熱伝導材料にて形成された
放熱体41に容器11が係合される係合部42を形成するとと
もにこの係合部42を反射面に形成したため、反射面で紫
外線を集約して紫外線照射量を増加できるとともに、容
器11内のガス温度を低減させて発光効率を向上できる。

【００７７】ところで、紫外線出力がガス温度に大きく
依存することは、紫外線を出すレベルのポピュレーショ
ンの多くが分子状イオンと電子の再結合によりもたらさ
れるが、この再結合係数はガス温度が低いほど大きくな
るためで、紫外線強度の約４０％の向上のうちの一部は
この効果から生じると推定される。

【００７８】

【発明の効果】請求項１記載の放電ランプによれば、容
器の壁部の外壁面と内壁面とに対向して一対の電極をそ
れぞれ形成したため、紫外線照射量を増加でき、発光効
率を向上できる。

【００７９】請求項２記載の放電ランプによれば、請求
項１記載の放電ランプの効果に加えて、容器の壁部の内
壁面に形成される電極の表面に保護膜を形成したため、
スパッタリングなどを抑えて、電極を保護できる。

【００８０】請求項３記載の放電ランプによれば、一対
の電極を反射面状に形成するとともに、一方の電極には
容器外への光の出射を許容する透光部を形成したため、
紫外線を集約できるとともに集約された紫外線を透光部
を通じて照射でき、紫外線照射量を増加できる。

【００８１】請求項４記載の放電ランプによれば、容器
に、光を反射させる反射面状に形成されるとともに容器
外への光の出射を許容する透光部が形成された反射膜を
設けたため、紫外線を集約できるとともに集約された紫
外線を透光部を通じて照射でき、紫外線照射量を増加で
きる。

【００８２】請求項５記載の放電ランプによれば、請求
項３または４記載の放電ランプの効果に加えて、容器を
筒状に形成し、容器の円周上の一部の角度範囲に透光部
を形成したため、紫外線をより集約でき、紫外線照射量
をより増加できる。

【００８３】請求項６記載の放電ランプによれば、請求
項１ないし５いずれか一記載の放電ランプの効果に加え
て、高熱伝導材料にて形成された放熱体に容器が係合さ
れる係合部を形成するとともにこの係合部を反射面に形
成したため、反射面で紫外線を集約して紫外線照射量を
増加できるとともに、容器内のガス温度を低減させて発
光効率を向上できる。

【００８４】請求項７記載の照明装置によれば、請求項
１ないし６いずれか一記載の放電ランプを用いた照明装
置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す放電ランプの
断面図である。

【図２】同上放電ランプからの紫外線出力の測定結果を
示す説明図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態を示す放電ランプの
断面図である。

【図４】本発明の第３の実施の形態を示す放電ランプの
断面図である。

【図５】同上放電ランプからの紫外線出力の測定結果を
示し、(a) は反射機能を備えた放電ランプからの紫外線
出力の測定結果を示す説明図、(b) は反射機能を備えな
い放電ランプからの紫外線出力の測定結果を示す説明図
である。

【図６】同上放電ランプの透光部の角度と光強度との関
係の測定結果を示す説明図である。

【図７】本発明の第４の実施の形態を示す放電ランプの
断面図である。

【図８】本発明の第５の実施の形態を示す放電ランプの
斜視図である。

【図９】同上放電ランプの平面図である。

【符号の説明】

11 容器 15，16 電極 17 点灯装置 31，32 電極 33 透光部 34 反射膜 41 放熱体 42 係合部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透光性を有する容器と；容器内に封入さ
れ、放電によって光を放出する希ガスと；容器の壁部の
外壁面と内壁面とに対向してそれぞれ形成される一対の
電極と；を具備していることを特徴とする放電ランプ。
【請求項２】容器の壁部の内壁面に形成される電極の
表面に保護膜が形成されていることを特徴とする請求項
１記載の放電ランプ。
【請求項３】透光性を有する容器と；容器内に封入さ
れ、放電によって光を放出する希ガスと；光を反射させ
る反射面状に形成されるとともに一方には容器外への光
の出射を許容する透光部が形成され、容器内で放電を励
起させる一対の電極と；を具備していることを特徴とす
る放電ランプ。
【請求項４】放電空間が形成された透光性を有する容
器と；容器の放電空間に封入され、放電によって光を放
出する希ガスと；容器の放電空間で放電を励起させる一
対の電極と；容器に設けられ、光を反射させる反射面状
に形成されるとともに容器外への光の出射を許容する透
光部が形成された反射膜と；を具備していることを特徴
とする放電ランプ。
【請求項５】容器は筒状に形成され、容器の円周上の
一部の角度範囲に透光部が形成されることを特徴とする
請求項３または４記載の放電ランプ。
【請求項６】容器が係合される係合部が形成されると
ともにこの係合部が反射面に形成され、高熱伝導材料に
て形成された放熱体を具備していることを特徴とする請
求項１ないし５いずれか一記載の放電ランプ。
【請求項７】請求項１ないし６いずれか一記載の放電
ランプと；一対の電極間に放電電力を供給する点灯装置
と；を具備していることを特徴とする照明装置。