CN1929084A - 高亮度放电灯和使用该高亮度放电灯的照射装置 - Google Patents

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CN1929084A CNA2006101514686A CN200610151468A CN1929084A CN 1929084 A CN1929084 A CN 1929084A CN A2006101514686 A CNA2006101514686 A CN A2006101514686A CN 200610151468 A CN200610151468 A CN 200610151468A CN 1929084 A CN1929084 A CN 1929084A
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Abstract

本发明提供一种高亮度放电灯和使用该高亮度放电灯的照射装置。对复合型高亮度放电灯的不同波长的光进行独立控制，从同一方向照射被照射物，使照射装置小型化。使用第1透明电介质管(1)和第2透明电介质管(4)构成独立的多个放电空间(D1和D2)。在各放电空间内填充放电发光介质(A和B)，形成不同的等离子体状态，产生不同波长的光。对设置在各透明电介质管(1、3、4)内的共同电极(2)与电极(5、6)之间独立施加高频电力，使各放电发光介质(A和B)单独发光。不同波长的光通过透明电介质管(1、3、4)朝同一方向放射。

Description

高亮度放电灯和使用该高亮度放电灯的照射装置
技术领域
本发明涉及高亮度放电灯，特别是涉及将独立放射不同波长的光的两种发光管复合为一体的高亮度放电灯。
背景技术
以往，作为以放射波长不同的紫外线为目的的光源，公知的有专利文献1所公开的光源。并且，作为把波长不同的紫外线照射到被处理物上进行处理的光源，公知的有专利文献2所公开的光源。
专利文献1所公开的“高输出光束产生装置”是产生非常大的平面形光束的紫外线的高效率且经济的装置。图5和图6示出专利文献1所公开的高亮度放电灯。放电室填充有放射紫外线的气体。在电极之间连接有高电压源。与放电室邻接有电介质板。电极被嵌入电介质板内，以便仅在电介质板的表面产生放电。当对电极间施加了电压时，产生沿着电介质板表面的多个沿面放电。通过该放电，放射紫外线光。为了产生紫外线光束，利用放电通道的全长。
在两个放电室内填充有不同气体。这些气体由电介质板分离。该电极结构与等离子体电视的放电发光用电极的结构相同。在电介质板的两个表面产生的各自不同的紫外线不透过电介质板和电极，而是朝各自不同的方向放射。如图5所示，在电极间形成有放电通道。由上放电室的沿面放电产生的紫外线通过上紫外线透过板放射。同时，由下放电室的沿面放电产生的紫外线通过下紫外线透过板放射。对于图6所示的圆筒型光束产生装置，光的行进方向未作明确图示。外侧管和内侧管是紫外线透过性的管。嵌入有电极的中间管是电介质管，然而光透过性未作明示。嵌入了电极的中间管被认为是不透过光的管。即，图6所示的圆筒型光束产生装置是使光仅朝各自不同的一个方向放射的高亮度放电灯。
专利文献2所公开的“使用电介质势垒放电灯的处理方法”是利用电介质势垒放电灯的光化学反应的高效率的处理方法。图7示出专利文献2所公开的光源的横断面图。使用第1电介质势垒放电灯和第2电介质势垒放电灯放射波长不同的紫外线。使被处理物和处理用流体接触来进行处理。把来自第1电介质势垒放电灯的紫外线照射到处理用流体上来生成臭氧。照射来自第2电介质势垒放电灯的紫外线，生成活性氧。
专利文献2的电介质势垒放电灯是产生不同波长的紫外线的光源。该光源是为了使被处理物和处理用流体接触来进行处理而使用的。该光源也是由同轴电介质构成的光源。在最内侧的电介质内面设置有透明电极。在外侧电介质外面设置有透明电极。作为处理用流体的氧气从环状内侧电介质的一端流入。借助波长120nm～180nm的光生成臭氧。臭氧绕入外侧发光管表面，被其它的波长240nm～255nm的紫外线分解，成为活性氧。记载了将光源用于杀菌方法的例子。明确公开了来自外侧电极的波长240nm～255nm的光最适于杀菌作用。该光源与专利文献1一样，所放射的紫外线仅朝各自不同的一个方向放射。
另一方面，例如，在使用紫外线处理被处理物的情况下，强烈要求改善其特性。例如，作为其一例，具有一种借助光增强近年来在半导体的层间绝缘膜中使用的低介电常数膜(Low-K膜)即SiOCH膜的机械强度的处理技术，在作为该处理技术的UV固化反应中使用以172nm为中心波长的氙受激准分子光。然而，例如，当把波长172nm且照度14mW/cm2的UV光分成两部分照射到介电常数是2.4的Low-K膜上时，表示机械强度的杨氏模量为8Gpa，取得期望值。然而，具有以下问题：介电常数大于等于2.6，与本来的介电常数相比大幅增加。为了解决该问题，有必要高效好地切断目标化学键，并任意控制应力、硬度和介电常数。而且，还有必要防止由于单一波长而在膜中产生驻波。因此，按照各目的而照射不同的最佳波长的光是有效的。
【专利文献1】日本特许2812736号
【专利文献2】日本特许3291809号
然而，在上述以往的复合型放电灯中，具有以下问题。当把不同光源装入一个装置内时，装置大且价格高。并且，在有限空间内装入多个(近2倍的个数)光源实际上是困难的。在以往结构的灯具中，不能使各自不同波长的光从相同方向照射到被照射物。有必要把两种不同的光源分别装入独立的腔室内。必须借助机器人臂等在两个腔室间输送被照射物。
发明内容
本发明的目的是解决上述以往问题，可使复合型放电灯的不同波长的光从同一方向照射到被照射物上，使照射装置小型化。
为了解决上述课题，在本发明中，提供了一种高亮度放电灯，该放电灯具有：多个透明电介质壁，其构成独立的多个放电空间；放电发光介质，其填充在各放电空间内，以便形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光；电极，其形成在透明电介质壁内；电源，其对电极独立施加高频电力；以及控制单元，其使各放电发光介质单独发光；将上述高亮度放电灯的透明电介质壁构成为使不同波长的光朝同一方向放射。
通过按上述构成，可使不同波长的光从高亮度放电灯朝同一方向放射，可使灯具小型化。并且，可准确照射被处理物的被处理面，灯具和被处理物的相对定位变得容易。
附图说明
图1是沿着本发明的实施例1中的同轴型复合高亮度放电灯的长轴方向和半径方向的剖面图。
图2是本发明的实施例2中的扁平型复合高亮度放电灯的长轴方向和短轴方向的剖面图。
图3是本发明的实施例3中的平行圆筒型复合高亮度放电灯的长轴方向和短轴方向的剖面图。
图4是本发明的实施例4中的照射装置的概念图。
图5是以往的复合型放电灯的轴方向剖面图。
图6是以往的复合型放电灯的半径方向剖面图。
图7是以往的另一复合型放电灯的轴方向剖面图。
具体实施方式
以下，参照图1～图4对用于实施本发明的最佳方式进行详细说明。
【实施例1】
本发明的实施例1是一种同轴型复合高亮度放电灯，该放电灯使用同心圆筒状的透明电介质壁构成独立的多个放电空间，在各放电空间内填充通过形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光的放电发光介质，对形成在电介质壁内的电极独立施加高频电力，使各放电发光介质分别发光，使不同波长的光透过透明电介质壁而朝同一方向放射。
图1是本发明的实施例1中的同轴型复合高亮度放电灯的剖面图。图1(a)是平行于轴的剖面图。图1(b)是垂直于轴的剖面图。在图1中，第1透明电介质管1是填充有放电发光介质A的管。共同电极2是放电发光介质A和B共用的电极。透明电介质管3是将共同电极2压接密封的管。第2透明电介质管4是填充有放电发光介质B的管。电极5是与共同电极2成组的放电发光介质A用的电极。电极6是与共同电极2成组的放电发光介质B用的电极。
对上述构成的本发明的实施例1中的同轴型复合高亮度放电灯的制法和动作进行说明。第1透明电介质管1是封入放电发光介质A的第1电介质壁。具体地说，优选的是石英玻璃。与第1透明电介质管1同一材料的透明电介质管3是第2电介质壁。透明电介质管3的内径比第1透明电介质管1的外径稍大。在第1透明电介质管1和透明电介质管3之间，在除去氧气的氮气气氛中夹入一条以上的非常薄的钼等的箔状金属的共同电极2。使用氢氧燃烧器或等离子体炬等的众所周知的加热单元，在将透明电介质管3烧固的同时，将箔状金属的共同电极2密封。同时，将透明电介质管3作为第1透明电介质管1的外周部分熔融固定。第1透明电介质管1是透明的第1电介质结构放电体，形成封入第1放电发光介质A的第1放电空间D1。使用溅镀法将SiO2形成为期望的电极形状，并在其上将高熔点的钨、钼、钽等金属蒸镀，从而可形成取代箔状金属的电极。
在该固定部分，使用氢氧燃烧器或等离子体炬等的加热源，把成为用于新封入放电发光介质B的第3电介质壁的第2透明电介质管4熔融固定在透明电介质管3上。然后，借助透明电介质管3和第2透明电介质管4，形成封入第2放电发光介质B的第2放电空间D2。放电空间D1和放电空间D2相互独立。在第1透明电介质管1的内周壁设置有电极5。在第2透明电介质管4的外周壁设置有独立的电极6。电极5可以是网眼状或板状。电极6为了放射紫外线，期望的是具有规定开口率的网眼状导电体或透明电极。在电极6与共同电极2之间、以及电极5与共同电极2之间，从电源装置独立施加高压交流电力。
从未作图示的各个排气管把放电发光介质A填充到放电空间D1内。作为放电发光介质A，例如，以400乇的压力填充氯化氙(XeCl2)。在放电空间D2内，作为放电发光介质B，例如，以400乇的压力填充氙(Xe)。这样，从第1放电空间和第2放电空间的放电发光介质分别放射波长不同的光。在该例中，形成了2个放电空间，然而同样也能形成3个以上。
在以上构成的同轴型复合高亮度放电灯中，从未作图示的电源装置向电极5和共同电极2之间施加高压交流电力。通过封入有放电发光介质A的第1透明电介质管1，交变电场激励放电发光介质A。借助放电等离子体，生成所谓的受激准分子状态，从XeCl2放射波长308nm的紫外线。该放射光通过透明电介质管3、第2放电空间D2以及第2透明电介质管4，放射到灯具外。此时，由于在共同电极2和电极6之间不供给电力，因而对放电发光介质B不作任何激励。来自第1放电空间D1的光对放电发光介质B没有任何干扰，放射到灯具外。
之后，切断向电极5和共同电极2的供电。从未作图示的电源装置对电极6和共同电极2之间施加高压交流电力。通过封入有放电发光介质B的透明电介质管3和第2透明电介质管4，交变电场激励放电发光介质B。借助放电等离子体，生成所谓的受激准分子状态，从Xe放射波长172nm的紫外线。该放射光通过第2透明电介质管4放射到灯具外。另外，经由透明电介质管3放射到第1放电空间D1侧。
即，从电源装置隔开时间差分别对各个放电发光介质施加电力。来自内侧发光管的波长308nm的光经过使发光暂停的外侧的稀有气体状态的Xe来进行放射。并且，来自外侧Xe的波长172nm的光经过与波长308nm的光所经过的路径相同的路径直接放射。这样，通过各个电介质管，向内侧外侧双方放射光。不同波长的光按照时间差放射到第2透明电介质管4的外侧。使用不同波长的光照射被处理物，进行规定处理。即，作为稀有气体发光介质，优选的是XeB1和Xe、XeI和Xe、KrBr和XeF的组合，但也可以是除此以外的组合。
并且，通过在一个放电空间内封入几乇的氩和少量水银，并施加高压交变电力，可取得由电场产生的来自无电极低压水银灯的波长185nm和波长254nm的放射光。也能选择放射对被照射物最佳的光的放电发光介质来填充到另一放电空间内。
如上所述，在本发明的实施例1中，由于同轴型复合高亮度放电灯构成为：使用同心圆筒状的透明电介质壁构成独立的多个放电空间，在各放电空间内填充通过形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光的放电发光介质，对形成在电介质壁内的电极独立施加高频电力，使各放电发光介质分别发光，使不同波长的光透过透明电介质壁而朝同一方向放射，因而可使将不同波长的光朝同一方向放射的灯具小型化，可准确照射被处理物。
【实施例2】
本发明的实施例2是一种扁平型复合高亮度放电灯，该放电灯使用平行平面的透明电介质壁构成独立的多个放电空间，在各放电空间内填充通过形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光的放电发光介质，对形成在电介质壁内的电极独立施加高频电力，使各放电发光介质分别发光，使不同波长的光透过透明电介质壁而朝同一方向放射。
图2是本发明的实施例2中的扁平型复合高亮度放电灯的剖面图。图2(a)是平行于长度方向轴的剖面图。图2(b)是垂直于长度方向轴的剖面图。在图2中，第1透明电介质管1是填充有放电发光介质A的扁平透明电介质管。共同电极2是放电发光介质A和B共用的电极。第2透明电介质管4是填充有放电发光介质B的扁平透明电介质管。电极5是与共同电极2成组的放电发光介质A用的电极。电极6是与共同电极2成组的放电发光介质B用的电极。
对上述构成的本发明的实施例2中的扁平型复合高亮度放电灯的制法和动作进行说明。在除去氧气的氮气气氛中，在扁平的第1透明电介质管和第2透明电介质管4之间，沿着长轴方向夹入一条以上薄的钼等的箔状金属、或者通过蒸镀法形成的高熔点金属，形成共同电极2。采用氢氧燃烧器加热、等离子体炬等的众所周知的方法，将第1透明电介质管1和第2透明电介质管4相互加热熔融，成形为一体管。在第1透明电介质管1和第2透明电介质管4的外侧面，采用印刷、溅镀、蒸镀、转印等的方法，使开口率良好的电极5和电极6对置而形成。
从未作图示的排气管填充放电发光介质A和B。作为放电发光介质A，例如填充ArF，作为放电发光介质B，例如填充XeF。从未作图示的电源装置，隔开时间差单独对各个放电发光介质A和B施加电场。各个放电发光介质A和B处于被激励的等离子体状态，生成所谓的受激准分子状态。从该受激准分子状态，将波长248nm的光和波长351nm的光朝图2的上下方向双方分别放射。
在放电发光介质A被激励的状态下，放射光从放电空间D1通过第1透明电介质管1放射到外部。同时，通过第2透明电介质管4和放电空间D2放射到外部。同样，在放电发光介质B被激励的状态下，放射光从放电空间D2通过第2透明电介质管4放射到外部。同时，通过第1透明电介质管1和放电空间D1放射到外部。在该例中，形成了两个放电空间，然而同样也能形成三个以上。
如上所述，在本发明的实施例2中，由于扁平型复合高亮度放电灯构成为：使用平行平面的透明电介质壁构成独立的多个放电空间，在各放电空间内填充通过形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光的放电发光介质，对形成在电介质壁内的电极独立施加高频电力，使各放电发光介质分别发光，使不同波长的光透过透明电介质壁而朝同一方向放射，因而可使将不同波长的光朝同一方向放射的灯具小型化，可准确照射被处理物。
【实施例3】
本发明的实施例3是一种平行圆筒型复合高亮度放电灯，该放电灯使用平行圆筒状的透明电介质壁构成独立的多个放电空间，在各放电空间内填充通过形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光的放电发光介质，对形成在电介质壁内的电极独立施加高频电力，使各放电发光介质分别发光，使不同波长的光透过透明电介质壁而朝同一方向放射。
图3是本发明的实施例3中的平行圆筒型复合高亮度放电灯的剖面图。图3(a)是平行于长度方向轴的剖面图。图3(b)是垂直于长度方向轴的剖面图。在图3中，第1透明电介质管1是填充有放电发光介质A的圆筒状透明电介质管。第2透明电介质管4是填充有放电发光介质B的圆筒状透明电介质管。电极5是放电发光介质A用的电极。电极6是放电发光介质B用的电极。
对上述构成的本发明的实施例3中的平行圆筒型复合高亮度放电灯的制法和动作进行说明。预先采用熔融或拉拔等的方法，形成两根平行管状的第1透明电介质管1和第2透明电介质管4。在第1透明电介质管1和第2透明电介质管4对置的侧面，采用印刷、溅镀、转印等的众所周知的方法分别形成独立的透明电极和开口率优良的金属电极，形成电极5和电极6。在第1透明电介质管1和第2透明电介质管4内填充放电发光介质A和B。向设置在第1透明电介质管1外侧的电极5-1和电极5-2之间供给高频电力。向设置在第2透明电介质管4外侧的电极6-1和电极6-2之间供给高频电力。两电极没有必要一定是网眼状，可以是铝等的具有光反射性的板状电导体板。
由于放射光如图3(b)所示，从第1透明电介质管1和第2透明电介质管4的左右透明部分放射，因而可有效地取出光。第1透明电介质管1和第2透明电介质管4只要一部分是透明即可，管整体可以不一定具有光透过性。在该例中，形成了两个放电空间，然而同样也能形成三个以上。
如上所述，在本发明的实施例3中，由于平行圆筒型复合高亮度放电灯构成为：使用平行圆筒状的透明电介质壁构成独立的多个放电空间，在各放电空间内填充通过形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光的放电发光介质，对形成在电介质壁内的电极独立施加高频电力，使各放电发光介质分别发光，使不同波长的光透过透明电介质壁而朝同一方向放射，因而可使将不同波长的光朝同一方向放射的灯具小型化，可准确照射被处理物。
【实施例4】
本发明的实施例4是一种照射装置，该照射装置将把不同波长的光朝一个方向放射的同轴型复合高亮度放电灯、扁平型复合高亮度放电灯、平行圆筒型复合高亮度放电灯排列多个来形成光源。
图4是本发明的实施例4中的照射装置的概念图。图4(a)是使用四个同轴型复合高亮度放电灯的照射装置的概念图。图4(b)是使用四个扁平型复合高亮度放电灯的照射装置的概念图。图4(c)是使用四个平行圆筒型复合高亮度放电灯的照射装置的概念图。在图4中，灯具7是同轴型复合高亮度放电灯。被照射物8是照射紫外线进行加工的对象物。腔室9是可密闭的壳体。灯具10是扁平型复合高亮度放电灯。灯具11是平行圆筒型复合高亮度放电灯。
对上述构成的本发明的实施例4中的照射装置的动作进行说明。如图4(a)所示，将四个同轴型复合高亮度放电灯7配置在300mm晶片用腔室9内。在距灯具7约100mm的距离放置被照射物8。被照射物8的照射对象是形成在Cu布线上的厚度20nm的层间绝缘膜SiOH。在1乇的减压气氛下，首先，使用从XeCl2的受激准分子状态发出的波长308nm的光照射4分钟。去除膜中的不稳定的C-H键和CH3键，使介电常数下降。之后，使用从Xe的受激准分子状态发出的波长172nm的光照射2分钟。取得介电常数是2.4、表示机械强度的杨氏模量是8Gpa的良好的低电介质膜(Low-K膜)。
如图4(b)所示，将四个扁平型复合高亮度放电灯10配置在300mm晶片用腔室9内。在距灯具7约100mm的距离放置被照射物8。如图4(c)所示，将四个平行圆筒型复合高亮度放电灯11配置在300mm晶片用腔室9内。在距灯具7约100mm的距离放置被照射物8。不同波长的光通过透明电介质壁而朝同一方向放射，照射被照射物8。
通过使用这些照射装置，可使半导体制造装置所需要的占地面积为以往的一半。并且，由于可在一个腔室内借助不同波长的紫外线进行连续处理，因而可排除将被照射物在腔室间移送时产生的灰尘附着或污染等。结果，质量提高，成品率也提高。由于灯具的安装场所为一半，因而真空泄漏危险减半。
如上所述，在本发明的实施例4中，由于照射装置构成为：排列多个把不同波长的光朝一个方向放射的同轴型复合高亮度放电灯、扁平型复合高亮度放电灯、平行圆筒型复合高亮度放电灯来形成光源，因而可使将不同波长的光朝同一方向放射的灯具小型化，可准确照射被处理物。
本发明的复合高亮度放电灯适合用作用于紫外线表面处理、光化学反应、半导体处理中的光CVD、退火、膜质改善等的高效率的高亮度放电灯。特别是，最适合用作在将半导体的保护膜使用的SiON膜或SiN膜、通路侧壁的Cu布线的防止扩散用SiN膜、晶体管的侧壁使用的SiN层间绝缘膜、低介电常数层间绝缘膜(Low-K膜)、作为Cu势垒绝缘膜的SiOCH膜、SiOCHN膜、SiCH膜、SiCHN膜等的膜质通过光照射进行改善的处理中使用的高亮度放电灯。

Claims (8)

1.一种高亮度放电灯，该放电灯具有：多个透明电介质壁，其构成独立的多个放电空间；放电发光介质，其填充在各放电空间内，以便形成不同的等离子体状态来产生不同波长的光；电极，其形成在上述透明电介质壁内；电源，其对上述电极独立施加高频电力；以及控制单元，其使上述各放电发光介质单独发光；其特征在于，
将上述透明电介质壁构成为使不同波长的光朝同一方向放射。
2.根据权利要求1所述的高亮度放电灯，其特征在于，
上述放电空间是同心圆筒状，上述多个透明电介质壁是一体化而不能分离的。
3.根据权利要求1所述的高亮度放电灯，其特征在于，
上述放电空间是在长度方向平行分离的长方体形状或圆筒状的区域，上述多个电介质壁是一体化而不能分离的。
4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的高亮度放电灯，其特征在于，
上述放电发光介质是稀有气体、卤素气体、水银、或它们的混合气体。
5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的高亮度放电灯，其特征在于，
上述放电发光介质是稀有气体和金属碘化物的混合气体。
6.一种照射装置，其特征在于，
该照射装置把权利要求1～5中的任意一项所述的高亮度放电灯用作光源。
7.一种高亮度放电灯，该放电灯具有：第1放电空间，其填充有第1放电发光介质并放射第1紫外线；第1透明电介质，其构成上述第1放电空间；第1电极，其设置在上述第1电介质内，受到第1高频电力而激励上述第1放电发光介质；第2放电空间，其填充有第2放电发光介质并放射与上述第1紫外线不同的第2紫外线；第2透明电介质，其构成上述第2放电空间；以及第2电极，其设置在上述第2电介质内，受到第2高频电力而激励上述第2放电发光介质；其特征在于，
上述第1和第2放电空间实质上是平行的，上述第1和第2透明电介质是一体不可分且相互固定的，上述各透明电介质和上述各放电空间的相对位置关系构成为：上述第1紫外线经过上述第1透明电介质、上述第2放电空间以及上述第2透明电介质而放射，上述第2紫外线经过上述第2透明电介质朝与上述第1紫外线相同的方向放射。
8.一种照射装置，其特征在于，
该照射装置具有多个根据权利要求1～7中的任意一项所述的高亮度放电灯来作为光源，把上述高亮度放电灯配置成使来自上述高亮度放电灯的不同波长的光从同一方向照射到被照射物上。
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Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101930895A (zh) * 2009-06-24 2010-12-29 奥斯兰姆有限公司 带有放电室的介电阻挡放电灯
CN102473585A (zh) * 2009-07-17 2012-05-23 优志旺电机株式会社 照射装置
CN102626042A (zh) * 2011-02-03 2012-08-08 东京毅力科创株式会社 植物培育光源单元和植物培育系统

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1859472A2 (en) * 2005-01-07 2007-11-28 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Segmented dielectric barrier discharge lamp
JP5892754B2 (ja) * 2011-09-22 2016-03-23 株式会社オーク製作所 エキシマランプおよび放電ランプの点灯方法
KR102356145B1 (ko) * 2021-03-16 2022-02-08 (주)펨토사이언스 플라즈마 전극구조

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101930895A (zh) * 2009-06-24 2010-12-29 奥斯兰姆有限公司 带有放电室的介电阻挡放电灯
CN102473585A (zh) * 2009-07-17 2012-05-23 优志旺电机株式会社 照射装置
CN102626042A (zh) * 2011-02-03 2012-08-08 东京毅力科创株式会社 植物培育光源单元和植物培育系统

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