JPH10208639A - 赤外線封止装置 - Google Patents
赤外線封止装置Info
- Publication number
- JPH10208639A JPH10208639A JP3968697A JP3968697A JPH10208639A JP H10208639 A JPH10208639 A JP H10208639A JP 3968697 A JP3968697 A JP 3968697A JP 3968697 A JP3968697 A JP 3968697A JP H10208639 A JPH10208639 A JP H10208639A
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- JP
- Japan
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- sealing
- infrared
- tube
- sealed
- jig
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 赤外線により封止管端部の封止用シール材を
加熱する封止装置において、赤外線により直接又は間接
的に封止管が加熱することに伴う封止管内封物質の飛散
を防止することを目的とする。 【構成】 封止管を載置する載置部材を、封止管よりも
熱伝導率の良い材料により構成したことにより、封止管
が赤外線により直接又は間接的に加熱されたとしても、
熱伝導率の良い載置部材の方へと熱が逃げるため、封止
管に熱が留まりにくく、封止管内封物質の飛散が低減す
る。また、載置部材と封止管の接触部において、封止管
側より載置部材側の方が低温となるように構成すること
により、高温の載置部材から封止管の方へと熱が流れて
封止管が高温になることを防止でき、惹いては封止管内
封物質の飛散が低減する。
加熱する封止装置において、赤外線により直接又は間接
的に封止管が加熱することに伴う封止管内封物質の飛散
を防止することを目的とする。 【構成】 封止管を載置する載置部材を、封止管よりも
熱伝導率の良い材料により構成したことにより、封止管
が赤外線により直接又は間接的に加熱されたとしても、
熱伝導率の良い載置部材の方へと熱が逃げるため、封止
管に熱が留まりにくく、封止管内封物質の飛散が低減す
る。また、載置部材と封止管の接触部において、封止管
側より載置部材側の方が低温となるように構成すること
により、高温の載置部材から封止管の方へと熱が流れて
封止管が高温になることを防止でき、惹いては封止管内
封物質の飛散が低減する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ランプ封止管の封
止装置に関し、特に赤外線により封止管端部の封止用シ
ール材を加熱する封止装置に関する。ここで、ランプと
は、放電灯等の放電管及びフィラメント等を有するヒー
タを含むものとする。
止装置に関し、特に赤外線により封止管端部の封止用シ
ール材を加熱する封止装置に関する。ここで、ランプと
は、放電灯等の放電管及びフィラメント等を有するヒー
タを含むものとする。
【０００２】
【従来技術】赤外線により封止管端部の封止用シール材
を加熱する封止装置として、本出願人は先に特願８−１
３７３９２を出願している。このものは、封止管に内在
する内封物質が赤外線により加熱されるのを防止し、封
止管端部の封止前に内封物質が封止管外部に飛散するの
を防止していた。
を加熱する封止装置として、本出願人は先に特願８−１
３７３９２を出願している。このものは、封止管に内在
する内封物質が赤外線により加熱されるのを防止し、封
止管端部の封止前に内封物質が封止管外部に飛散するの
を防止していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、内封物
質が加熱されるのは、赤外線に直接加熱される場合だけ
でなく、高温の封止管からの伝熱による場合もあった。
質が加熱されるのは、赤外線に直接加熱される場合だけ
でなく、高温の封止管からの伝熱による場合もあった。
【０００４】封止管の温度が上がってしまう主たる要因
としては、封止管を載置する載置部材からの伝熱が挙げ
られ、特に赤外線の放射手段と封止管の間に赤外線遮蔽
部材を介在させるものでは、赤外線遮蔽部材から載置部
材への伝熱により、載置部材が高温になりがちであっ
た。
としては、封止管を載置する載置部材からの伝熱が挙げ
られ、特に赤外線の放射手段と封止管の間に赤外線遮蔽
部材を介在させるものでは、赤外線遮蔽部材から載置部
材への伝熱により、載置部材が高温になりがちであっ
た。
【０００５】本発明は、赤外線により封止管端部の封止
用シール材を加熱する封止装置において、赤外線により
直接又は間接的に封止管が加熱することに伴う封止管内
封物質の飛散を防止することを目的とする。
用シール材を加熱する封止装置において、赤外線により
直接又は間接的に封止管が加熱することに伴う封止管内
封物質の飛散を防止することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】本
発明は、端部に封止用シール材を配置するとともに内封
物質を内在した封止管と、赤外線を放射する放射手段
と、封止管を載置する載置部材とを備え、赤外線により
封止用シール材を溶融させて封止管端部を封止してなる
赤外線封止装置において、載置部材を、封止管よりも熱
伝導率の良い材料により構成したことにより、封止管が
赤外線により直接又は間接的に加熱されたとしても、熱
伝導率の良い載置部材の方へと熱が逃げるため、封止管
に熱が留まりにくく、封止管内封物質の飛散を防止でき
る。
発明は、端部に封止用シール材を配置するとともに内封
物質を内在した封止管と、赤外線を放射する放射手段
と、封止管を載置する載置部材とを備え、赤外線により
封止用シール材を溶融させて封止管端部を封止してなる
赤外線封止装置において、載置部材を、封止管よりも熱
伝導率の良い材料により構成したことにより、封止管が
赤外線により直接又は間接的に加熱されたとしても、熱
伝導率の良い載置部材の方へと熱が逃げるため、封止管
に熱が留まりにくく、封止管内封物質の飛散を防止でき
る。
【０００７】好適な実施形態としては、放射手段と封止
管の間に赤外線遮蔽部材を介在させることにより、封止
管端部の封止用シール材近傍のみ赤外線放射を受けて、
封止管のその他の部分は赤外線放射を受けないようにで
きるため、封止管の温度上昇が抑えられて、封止管内封
物質の飛散が防止できる。
管の間に赤外線遮蔽部材を介在させることにより、封止
管端部の封止用シール材近傍のみ赤外線放射を受けて、
封止管のその他の部分は赤外線放射を受けないようにで
きるため、封止管の温度上昇が抑えられて、封止管内封
物質の飛散が防止できる。
【０００８】尚、赤外線遮蔽部材は、赤外線を実質的に
透過させない材料によって構成されるものであり、ここ
で言う赤外線を実質的に透過させない程度とは、封止用
シール材近傍以外の封止管や内封物質が、赤外線吸収に
よる温度上昇を実質的に起こさない程度のことを言う。
また、赤外線遮蔽部材は、封止管内部への不純物混入防
止という観点から、赤外線吸収によって不純物を放出し
ない材料であることが望ましい。
透過させない材料によって構成されるものであり、ここ
で言う赤外線を実質的に透過させない程度とは、封止用
シール材近傍以外の封止管や内封物質が、赤外線吸収に
よる温度上昇を実質的に起こさない程度のことを言う。
また、赤外線遮蔽部材は、封止管内部への不純物混入防
止という観点から、赤外線吸収によって不純物を放出し
ない材料であることが望ましい。
【０００９】本発明の別の側面では、載置部材と封止管
の接触部において、封止管側より載置部材側の方が低温
となるように構成することにより、高温の載置部材から
封止管の方へと熱が流れて封止管が高温になることを防
止でき、惹いては封止管内封物質の飛散が防止できる。
の接触部において、封止管側より載置部材側の方が低温
となるように構成することにより、高温の載置部材から
封止管の方へと熱が流れて封止管が高温になることを防
止でき、惹いては封止管内封物質の飛散が防止できる。
【００１０】好適な実施形態としては、載置部材を冷却
する冷却手段を設けることにより、容易に載置部材側よ
り封止管側の方を高温にすることができる。
する冷却手段を設けることにより、容易に載置部材側よ
り封止管側の方を高温にすることができる。
【００１１】本発明は、また、放射手段と封止管の間に
赤外線遮蔽部材を介在させるとともに、赤外線遮蔽部材
を載置部材に固定した赤外線封止装置に対して上記構成
を適用することにより、封止管内封物質が飛散するのを
低減できる。
赤外線遮蔽部材を介在させるとともに、赤外線遮蔽部材
を載置部材に固定した赤外線封止装置に対して上記構成
を適用することにより、封止管内封物質が飛散するのを
低減できる。
【００１２】好適な実施形態としては、赤外線遮蔽部材
と載置部材との間に、赤外線遮蔽部材よりも熱伝導率の
悪い部材を介在させることにより、赤外線により高温に
なりがちな赤外線遮蔽部材から載置部材への伝熱が抑止
され、載置部材側の高温化が防止できる。
と載置部材との間に、赤外線遮蔽部材よりも熱伝導率の
悪い部材を介在させることにより、赤外線により高温に
なりがちな赤外線遮蔽部材から載置部材への伝熱が抑止
され、載置部材側の高温化が防止できる。
【００１３】他の好適な実施形態としては、赤外線遮蔽
部材を赤外線を反射する材料にて形成することによっ
て、赤外線遮蔽部材自体の赤外線吸収率が低下して高温
になりにくくなり、載置部材の高温化が防止できる。
部材を赤外線を反射する材料にて形成することによっ
て、赤外線遮蔽部材自体の赤外線吸収率が低下して高温
になりにくくなり、載置部材の高温化が防止できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態とし
ての放電灯の赤外線封止装置を示すものであり。参照符
号１はＡｌ２Ｏ３、ＹＡＧ等の透光性セラミックからな
る発光管、２はｐｔよりなる赤外線遮蔽部材、３はＡ
ｌ，Ｃｕ等の熱伝導率の良い材料よりなり、発光管１を
載置して位置決めするための治具であって、赤外線遮蔽
部材２は治具３に固定されている。
ての放電灯の赤外線封止装置を示すものであり。参照符
号１はＡｌ２Ｏ３、ＹＡＧ等の透光性セラミックからな
る発光管、２はｐｔよりなる赤外線遮蔽部材、３はＡ
ｌ，Ｃｕ等の熱伝導率の良い材料よりなり、発光管１を
載置して位置決めするための治具であって、赤外線遮蔽
部材２は治具３に固定されている。
【００１５】４は、図示しない赤外線ランプから放射さ
れる赤外線を、図の発光管１の位置に集光させるための
赤外線反射ミラー４ａを内壁に備えた加熱室であって、
治具３は加熱室内外を進退可能なように構成されてい
る。
れる赤外線を、図の発光管１の位置に集光させるための
赤外線反射ミラー４ａを内壁に備えた加熱室であって、
治具３は加熱室内外を進退可能なように構成されてい
る。
【００１６】また、５は、図示しない冷媒供給手段から
供給される冷媒が流れる冷媒流路であり、冷媒を流すこ
とによって治具３を冷却するようになっている。
供給される冷媒が流れる冷媒流路であり、冷媒を流すこ
とによって治具３を冷却するようになっている。
【００１７】図２は、図１の発光管１近傍の拡大図であ
って、発光管１には、その上端部に、発光管内外を導電
させるための導電部材１ａと、発光管１内周と導電部材
１ａ外周との間隙をシールするための封止用シールリン
グ１ｂとが配置されるとともに、その内部に、導電部材
１ａに接続された電極及び金属ハロゲン化物等の内封物
質（共に図示せず）が内在しており、赤外線遮蔽部材２
は、Ａｌ２Ｏ３等の熱伝導率の悪い材料よりなるリング
状の中間部材６を介して治具３に固定されている。
って、発光管１には、その上端部に、発光管内外を導電
させるための導電部材１ａと、発光管１内周と導電部材
１ａ外周との間隙をシールするための封止用シールリン
グ１ｂとが配置されるとともに、その内部に、導電部材
１ａに接続された電極及び金属ハロゲン化物等の内封物
質（共に図示せず）が内在しており、赤外線遮蔽部材２
は、Ａｌ２Ｏ３等の熱伝導率の悪い材料よりなるリング
状の中間部材６を介して治具３に固定されている。
【００１８】このような赤外線封止装置における手順を
示すと、まず、加熱室４から治具３を退出させた状態
で、上端部に導電部材１ａ及び封止用シールリング１ｂ
を配置した発光管１を治具３上に載置し、治具３を加熱
室４内に進入させる。
示すと、まず、加熱室４から治具３を退出させた状態
で、上端部に導電部材１ａ及び封止用シールリング１ｂ
を配置した発光管１を治具３上に載置し、治具３を加熱
室４内に進入させる。
【００１９】続いて、赤外線ランプを点灯させて発光管
１の位置に赤外線を集光させるのであるが、赤外線遮蔽
部材２の存在によって、赤外線は発光管１の上端部近傍
のみに放射するように構成されている。これは、もし発
光管１の中央部付近にも赤外線が放射されるならば、固
体状態の内封物質がガス化して発光管１内周と導電部材
１ａ外周との間隙から発光管１外部に漏出する畏れがあ
るからである。
１の位置に赤外線を集光させるのであるが、赤外線遮蔽
部材２の存在によって、赤外線は発光管１の上端部近傍
のみに放射するように構成されている。これは、もし発
光管１の中央部付近にも赤外線が放射されるならば、固
体状態の内封物質がガス化して発光管１内周と導電部材
１ａ外周との間隙から発光管１外部に漏出する畏れがあ
るからである。
【００２０】そして、赤外線を吸収して溶融した封止用
シールリング１ｂが、発光管１内周と導電部材１ａ外周
との間隙を封止するのに足りる形状に達したならば、赤
外線ランプを消灯させて、治具３を加熱室４から退出さ
せた後、封止の完了した発光管１を取り出すのである。
シールリング１ｂが、発光管１内周と導電部材１ａ外周
との間隙を封止するのに足りる形状に達したならば、赤
外線ランプを消灯させて、治具３を加熱室４から退出さ
せた後、封止の完了した発光管１を取り出すのである。
【００２１】この一連の手順における課題として、内封
物質のガス化があることは上述した通りだが、内封物質
がガス化するのは赤外線を吸収した場合だけでなく、高
温の封止管からの伝熱による場合もあることが判明して
いる。
物質のガス化があることは上述した通りだが、内封物質
がガス化するのは赤外線を吸収した場合だけでなく、高
温の封止管からの伝熱による場合もあることが判明して
いる。
【００２２】そこで、その対策として、治具３をＡｌ２
Ｏ３、ＹＡＧ等よりなる発光管１よりも熱伝導率の良い
材料であるＡｌ、Ｃｕ等により構成したことにより、発
光管１から治具３の方へと熱が逃げ易くなるため（図中
の矢印参照）、発光管１に熱が留まりにくく、内封物質
のガス化が防止できるのである。
Ｏ３、ＹＡＧ等よりなる発光管１よりも熱伝導率の良い
材料であるＡｌ、Ｃｕ等により構成したことにより、発
光管１から治具３の方へと熱が逃げ易くなるため（図中
の矢印参照）、発光管１に熱が留まりにくく、内封物質
のガス化が防止できるのである。
【００２３】さらには、発光管１が高温になる主たる要
因として、発光管１と接触する治具３からの伝熱がある
ことが判明したため、本実施形態では、治具３と発光管
１の接触部において発光管１より治具３の方が低温とな
るように構成されている。具体的には、赤外線ランプの
点灯中には、冷媒流路５内に冷媒を流動させることが行
われている。
因として、発光管１と接触する治具３からの伝熱がある
ことが判明したため、本実施形態では、治具３と発光管
１の接触部において発光管１より治具３の方が低温とな
るように構成されている。具体的には、赤外線ランプの
点灯中には、冷媒流路５内に冷媒を流動させることが行
われている。
【００２４】上述した治具３の高温化の要因としては、
治具３に接触している各種部材や治具３の雰囲気からの
伝熱があるが、本実施形態では、赤外線放射を直接受け
る赤外線遮蔽部材２からの伝熱が大きいことが判明して
いるため、このように赤外線遮蔽部材２からの伝熱によ
り治具３が高温になりがちな形態の赤外線封止装置に対
しては、上述した対策が特に有効なのである。
治具３に接触している各種部材や治具３の雰囲気からの
伝熱があるが、本実施形態では、赤外線放射を直接受け
る赤外線遮蔽部材２からの伝熱が大きいことが判明して
いるため、このように赤外線遮蔽部材２からの伝熱によ
り治具３が高温になりがちな形態の赤外線封止装置に対
しては、上述した対策が特に有効なのである。
【００２５】さらに、赤外線遮蔽部材２から治具３への
伝熱を低減するために、本実施形態では、赤外線遮蔽部
材２と治具３の間にＡｌ２Ｏ３等の熱伝導率の悪い材料
よりなる中間部材６を介することが行われている。すな
わち、赤外線遮蔽部材２自体が高温になったとしても、
その熱が治具３に伝熱する程度が小さく治具３が高温高
温化しなければ問題ないからである。
伝熱を低減するために、本実施形態では、赤外線遮蔽部
材２と治具３の間にＡｌ２Ｏ３等の熱伝導率の悪い材料
よりなる中間部材６を介することが行われている。すな
わち、赤外線遮蔽部材２自体が高温になったとしても、
その熱が治具３に伝熱する程度が小さく治具３が高温高
温化しなければ問題ないからである。
【００２６】尚、赤外線遮蔽部材２から治具３への伝熱
を低減するための別の手段として、赤外線遮蔽部材２を
治具３に固定させないことが考えられるが、発光管１の
長さに応じて赤外線遮蔽部材２の長さが調整できる本実
施形態の方が望ましい。
を低減するための別の手段として、赤外線遮蔽部材２を
治具３に固定させないことが考えられるが、発光管１の
長さに応じて赤外線遮蔽部材２の長さが調整できる本実
施形態の方が望ましい。
【００２７】以上の対策の他に、治具３への伝熱源たる
赤外線遮蔽部材２自体の温度上昇を抑えるものを有効で
ある。すなわち、本実施形態では、赤外線遮蔽部材２を
ｐｔからなる金属にて形成することによって、赤外線遮
蔽部材２自体の赤外線吸収率を低下させて高温化を防止
しているのである。
赤外線遮蔽部材２自体の温度上昇を抑えるものを有効で
ある。すなわち、本実施形態では、赤外線遮蔽部材２を
ｐｔからなる金属にて形成することによって、赤外線遮
蔽部材２自体の赤外線吸収率を低下させて高温化を防止
しているのである。
【００２８】赤外線遮蔽部材２と中間部材６についての
変形例を図３に示す。中間部材６はＡｌ２Ｏ３等の熱伝
導率の悪い材料よりなり、図のように治具３に嵌め合わ
せる形状をとっており、赤外線遮蔽部材２は中間部材６
の表面にＡｕ等をコーティングすることにより形成され
ている。
変形例を図３に示す。中間部材６はＡｌ２Ｏ３等の熱伝
導率の悪い材料よりなり、図のように治具３に嵌め合わ
せる形状をとっており、赤外線遮蔽部材２は中間部材６
の表面にＡｕ等をコーティングすることにより形成され
ている。
【００２９】このような実施形態は、赤外線を直接受け
る赤外線遮蔽部材２に対して、熱伝導率の悪い中間部材
６の熱容量が大きくなるよう構成されているため、赤外
線遮蔽部材２から治具３への伝熱をより低減することが
できる。
る赤外線遮蔽部材２に対して、熱伝導率の悪い中間部材
６の熱容量が大きくなるよう構成されているため、赤外
線遮蔽部材２から治具３への伝熱をより低減することが
できる。
【００３０】また、発光管１の長さに合わせて異なる長
さの中間部材６を複数準備しておけば、発光管１の上端
部近傍のみ加熱するために発光管１の長さに応じて赤外
線遮蔽部材２の長さをいちいち調整する手間が省略でき
る。
さの中間部材６を複数準備しておけば、発光管１の上端
部近傍のみ加熱するために発光管１の長さに応じて赤外
線遮蔽部材２の長さをいちいち調整する手間が省略でき
る。
【００３１】さらには、中間部材６の内壁を、図のよう
に発光管１の大径部を支持する形状にするとともに、発
光管１の大径部形状に合わせて異なる内壁形状の中間部
材６を複数準備しておけば、発光管１の大径部が異なる
場合でも、発光管１の上端部近傍を赤外線の集光位置に
正確に配置できるのである。
に発光管１の大径部を支持する形状にするとともに、発
光管１の大径部形状に合わせて異なる内壁形状の中間部
材６を複数準備しておけば、発光管１の大径部が異なる
場合でも、発光管１の上端部近傍を赤外線の集光位置に
正確に配置できるのである。
【００３２】尚、図３においてＡｕ等のコーティングを
施さない形態も可能である。この場合、図のＡｌ２Ｏ３
等の熱伝導率の悪い材料自体が赤外線遮蔽部材２として
機能することになる。
施さない形態も可能である。この場合、図のＡｌ２Ｏ３
等の熱伝導率の悪い材料自体が赤外線遮蔽部材２として
機能することになる。
【図１】 本発明の一実施形態としての放電灯を示す図
【図２】 図１における発光管１近傍の拡大図
【図３】 図２における赤外線遮蔽部材２と中間部材６
の変形例
の変形例
１…発光管、１ａ…導電部材、１ｂ…封止用シールリン
グ、２…赤外線遮蔽部材、３…治具、４…加熱室、４ａ
…赤外線反射ミラー、５…冷媒流路、６…中間部材
グ、２…赤外線遮蔽部材、３…治具、４…加熱室、４ａ
…赤外線反射ミラー、５…冷媒流路、６…中間部材
Claims (6)
- 【請求項１】端部に封止用シール材を配置するとともに
内封物質を内在した封止管と、 赤外線を放射する放射手段と、 前記封止管を載置する載置部材とを備え、赤外線により
前記封止用シール材を溶融させて前記封止管端部を封止
してなる赤外線封止装置において、 前記載置部材を、前記封止管よりも熱伝導率の良い材料
により構成したことを特徴とする赤外線封止装置 - 【請求項２】端部に封止用シール材を配置するとともに
内封物質を内在した封止管と、 赤外線を放射する放射手段と、 前記封止管を載置する載置部材とを備え、赤外線により
前記封止用シール材を溶融させて前記封止管端部を封止
してなる赤外線封止装置において、 前記載置部材と前記封止管の接触部では、前記封止管側
より前記載置部材側の方が低温となるように構成したこ
とを特徴とする赤外線封止装置 - 【請求項３】前記載置部材を冷却する冷却手段を設けた
ことを特徴とする請求項２記載の赤外線封止装置 - 【請求項４】前記放射手段と前記封止管の間に、赤外線
遮蔽部材を介在させるとともに、前記赤外線遮蔽部材を
前記載置部材に固定したことを特徴とする請求項２、３
記載の赤外線封止装置 - 【請求項５】前記赤外線遮蔽部材と前記載置部材との間
に、前記赤外線遮蔽部材よりも熱伝導率の悪い部材を介
在させたことを特徴とする請求項４記載の赤外線封止装
置 - 【請求項６】前記赤外線遮蔽部材は、赤外線を反射する
材料にて形成されることを特徴とする請求項４、５記載
の赤外線封止装置
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3968697A JPH10208639A (ja) | 1997-01-18 | 1997-01-18 | 赤外線封止装置 |
| US09/341,788 US6354901B1 (en) | 1997-01-18 | 1998-01-16 | Discharge lamp, discharge lamp sealing method, discharge lamp sealing device |
| PCT/JP1998/000158 WO1998032147A1 (fr) | 1997-01-18 | 1998-01-16 | Lampe a decharge, procede de fermeture etanche d'une lampe a decharge et dispositif de fermeture etanche pour lampe a decharge |
| EP98900405A EP0954007A4 (en) | 1997-01-18 | 1998-01-16 | DISCHARGE LAMP METHOD AND DEVICE FOR SEALING A DISCHARGE LAMP |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3968697A JPH10208639A (ja) | 1997-01-18 | 1997-01-18 | 赤外線封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10208639A true JPH10208639A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=12559960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3968697A Pending JPH10208639A (ja) | 1997-01-18 | 1997-01-18 | 赤外線封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10208639A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006521993A (ja) * | 2003-04-02 | 2006-09-28 | メトラー−トレド・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ガラス本体及び測定プローブの処理方法及び処理装置 |
-
1997
- 1997-01-18 JP JP3968697A patent/JPH10208639A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006521993A (ja) * | 2003-04-02 | 2006-09-28 | メトラー−トレド・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ガラス本体及び測定プローブの処理方法及び処理装置 |
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