JP3733811B2 - 光照射式加熱処理装置 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本願発明は、半導体ウエハ(以下ウエハ)を、成膜、拡散、アニール等のために、光を用いて加熱処理する、光照射式加熱処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体製造工程における光照射式加熱処理は、成膜、拡散、アニールなど、広い範囲にわたって行われている。
いずれの処理も、ウエハを高温に加熱処理するものである。光を照射すれば、ウエハを急速に加熱することができ、1000℃以上の温度にまで十数秒から数十秒で昇温させることができる。そして、光照射を停止すれば、ウエハは急速に冷却される。
【0003】
従来の光照射式加熱処理装置として、例えば特公平6−93440号公報に示されるようなものがあげられる。これを図1に示す。石英窓8によって仕切られた光照射室1内には、ウエハ保持台2の上に加熱処理されるウエハ3が載置されている。石英窓8はウエハ3とランプ4の周囲雰囲気を異なるものとする時に用いられる。
【0004】
シール部6がランプの一端側のみに設けられた一端封止型の赤外線ランプ4が石英窓8の上方に複数個並べて配置されている。各ランプ4はそのシール部6近傍を壁9に支持された状態で光ガイド5の中に挿入されている。壁9と光ガイド5で形成される空間は冷却液が導入され冷却室7を形成している。
【0005】
ランプ4に電力が投入されると、ランプ4内のフィラメントが発光し、この光はステンレス鋼等で作られた光ガイド5の内側反射面で反射して、光照射室1のウエハ保持台2上に載置されたウエハ3に照射され、ウエハ3が加熱される。ランプ4からの輻射エネルギーによって光ガイド5およびランプ4のシール部6の温度が過度に上昇しないように、冷却室7内の冷却液によって冷却している。
【0006】
しかしながら、この従来例では、冷却室7を流れる冷却液による熱伝導を利用した光ガイド5、シール部6の冷却であるので、光ガイド5、シール部6の冷却しか行うことができず、ランプ4の発光部(フィラメントを囲む石英部分)を充分に冷却することができなかった。
【0007】
このため、高スループットや処理時間の短縮化を目的としてウエハの昇温速度を上げるためにランプ4への入力をより大きくすると、ランプ4の発光部を形成する石英の温度が上昇して1000℃以上になる場合がある。発光部に用いられる石英は800℃以上になると再結晶化し失透とよばれる白濁を生じる。そして、ランプ4の温度が上昇して石英が失透するとフィラメントからの光が石英を通過しにくくなり、ランプ4から所定の光エネルギーをウエハ3に照射できなくなってしまい、加熱装置として有効に機能しなくなってしまうことがあった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、第1の目的は、ランプを効率的に十分冷却することによって、ウエハの昇温速度を上げるためにランプ入力をより大きくしても、ランプ発光部の失透がなく寿命の長い光照射式加熱処理装置を提供することである。第2の目的は、ランプを効率的に十分冷却することができ、且つウエハの昇温速度を上げるために単位面積当たりのランプ数量を増やすことが可能な光照射式加熱装置を提供することである。そして、第3の目的は、ランプのシール部の温度上昇を防ぐことによって、光エネルギーを効率良く使用することができ、寿命の長い光照射式加熱処理装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本願の請求項1記載の発明は、ランプの光を照射して加熱する光照射式加熱装置において、複数個の一端封止型ランプをミラーに並べて設け、ミラーにはランプを冷却する送風路とランプ周囲から排気する排風路とを設けたことを特徴とする。
本願請求項2記載の発明は、上記送風路は、ランプ外周面を取り巻くように設けられた複数個の送風路であることを特徴とする。
本願請求項3記載の発明は、上記ランプは、フィラメントとシール部との間に、反射部材を設けたランプであることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
本願発明の実施例を図2、3に示す。
内部にフィラメントを有する複数の一端封止型ランプ10をウエハ3に対して垂直になるようにミラー11に並べて配置することは従来例と同様である。ランプ10のシール部20近傍を覆うスリーブ12を設けこのスリーブ12をミラー11の孔13に嵌め合わせて、ランプ10をミラー11に固定する。
【0011】
ミラー11には、ランプ10を冷却する送風路14と、ランプ周囲から排気する排風路15とを、ランプ10の周囲近傍に設ける。この送風路14には冷却ファンやエアー圧縮ポンプ等(図示略)から冷却風が供給されランプ10周囲を冷却する。排風路15には排風ファン(図示略)が接続され、ランプ周囲のエアーが排気される。図3は図2のA−A断面から見た平面図であり、「・」は送風路14、「×」は排風路15を示し、ミラー11上のランプ10、送風路14および排風路15の配置関係を示している。このように、送風路14はランプ10の周囲にランプ10を取り囲むように設ける。このことによって、ランプ10の発光部は集中的に冷却風にさらされるので、効率よく冷却される。送風路14は、冷却風をランプ10の発光部に吹き付けるように、ランプ10の方向に向けて設ける方が更に効果的である。
【0012】
ランプ10点灯時、冷却ファンによって送風路14にエアーを供給し、ランプ10を冷却する。送風路14からランプ10周囲に流入した冷却風は、シール部20からランプ10の発光部周囲に沿って進む。一方、排風路15には排風ファンによって負圧が供給され強制排気されているので、エアーは排風路15に吸引され排気される。
このように冷却風をランプ10のシール部20から発光部表面に沿って吹き込むことによって、個々のランプ10の発光部が直接効率良く冷却されるので、接近して配置された複数のランプ10を同時に点灯しても、発光部を形成する石英の温度が800℃以上になることを防ぐことができるので、石英が失透することなくランプに大電力を投入することができるようになる。
【0013】
光照射式加熱処理装置の他の構成例を図4、5に示す。
ミラー11には、ランプ10を冷却する送風路14を設け、ランプ室21から排気する排風路23をランプ室側壁22に設ける。図5は図4のB−B断面から見た平面図であり、ミラー11上のランプ10と送風路14の配置関係を示している。このように、送風路14はランプ10の周囲にランプ10を取り囲むように設ける。このことによって、ランプ10の発光部は集中的に冷却風にさらされるので、効率よく冷却される。送風路14は、冷却風をランプ10の発光部に吹き付けるように、ランプ10の方向に向けて設ける方が更に効果的である。
【0014】
ランプ10点灯時、冷却ファンによって送風路14にエアーを供給し、ランプ10を冷却する。送風路14からランプ10周囲に流入した冷却風は、シール部20からランプ10の発光部周囲に沿って進む。一方、ランプ室側壁22に設けた排風路23には排風ファンによって負圧が供給され強制排気されているので、エアーは排風路23に吸引され排気される。
このように冷却風をランプ10のシール部20から発光部表面に沿って吹き込むことによって、個々のランプ10の発光部が直接効率良く冷却されるので、接近して配置された複数のランプ10を同時に点灯しても、発光部を形成する石英の温度が800℃以上になることを防ぐことができるので、石英が失透することなくランプに大電力を投入することができるようになる。
【0015】
また、図6のように、一端封止型ランプ10において、内部リード線17を支持するガラス片18に、たとえばタングステンやモリブデン等の高融点物質からなる反射部材19を設けることもできる。このように、ランプ10内部のフィラメント16と、シール部20との間に、反射部材19を設けたランプ10とすると、フィラメント16からの光をも、反射部材19によってウエハ3方向に反射することができるので、ランプ10の光エネルギーを効率良く使用することができる。また、シール部20にフィラメント16からの光が到達しなくなるのでシール部20の温度上昇を防ぐことができ、シール部20の箔の酸化を防ぐことができ、ランプの長寿命化が可能になる。光の反射効率を上げるために反射部材19を鏡面加工してもよい。
【0016】
このような構成の光照射式加熱処理装置とすることで、ランプの発光部を確実に冷却することができるので、ウエハの昇温速度を上げるためにランプ入力を大きくしても、ランプ発光部の失透を生じることなく、長寿命な光照射式加熱装置とすることができる。
【0017】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明は、複数個の一端封止型ランプをミラーに並べて設け、ミラーにはランプを冷却する送風路とランプ周囲から排気する排風路とを設けた。これによって、ランプ発光部が確実に冷却されているので、ウエハの昇温速度を上げるためにランプ入力をより大きくしても、ランプ発光部の失透無しに、ウエハを加熱することができる。
【0019】
請求項2に記載の発明は、送風路を、ランプ外周面を取り巻くように複数個設けたので、ランプが効率よく冷却される。
【0020】
請求項3にかかる発明は、ランプ内部のフィラメント部分と、シール部との間に、反射部材を設けたランプとすることで、シール部方向に照射される光を、ウエハ方向に反射することができるので、ランプからの光エネルギーをウエハの加熱に効率良く使用することができる。また、フィラメントからの光がシール部には照射されなくなるのでシール部の温度上昇を防ぐことができ、箔シールの酸化を防ぎランプの長寿命化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の光照射式加熱装置の断面説明図である。
【図2】 本願発明の第1の実施例の断面説明図である。
【図3】 図2のA−A線断面方向から見た平面図である。
【図4】 光照射式加熱処理装置の他の構成例の断面説明図である。
【図5】 図4のB−B線断面方向から見た平面図である。
【図6】 本願発明の反射部材を持ったランプを示す説明図である。
Claims (3)
- ランプの光を照射して加熱する光照射式加熱装置において、
複数個の一端封止型ランプをミラーに並べて設け、ミラーにはランプを冷却する送風路とランプ周囲から排気する排風路とを設けたことを特徴とする光照射式加熱処理装置。 - 上記送風路は、ランプ外周面を取り巻くように設けられた複数個の送風路であることを特徴とする、請求項1に記載の光照射式加熱処理装置。
- 上記ランプは、フィラメントとシール部との間に、反射部材を設けたランプであることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の光照射式加熱処理装置。
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