JPH10197853A - Method and device for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents

Method and device for manufacturing liquid crystal display device

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JPH10197853A
JPH10197853A JP157697A JP157697A JPH10197853A JP H10197853 A JPH10197853 A JP H10197853A JP 157697 A JP157697 A JP 157697A JP 157697 A JP157697 A JP 157697A JP H10197853 A JPH10197853 A JP H10197853A
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JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal substrate
tape
contact roller
crystal display
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Withdrawn
Application number
JP157697A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigeo Toda
茂生 戸田
Masao Saito
雅夫 斉藤
Masaaki Ariga
昌明 有賀
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH10197853A publication Critical patent/JPH10197853A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the method and device structure which can securely remove dust sticking on the surface of a liquid crystal substrate and prevents the dust from resticking without using any cleaning liquid in the manufacture process of the liquid crystal display device. SOLUTION: When a liquid crystal substrate 10 is carried toward a contact roller 21, the top surface of the liquid crystal substrate 10 comes into contact with a tape 26 present below the circumferential surface of the contact roller 21 to come into contact with an adhesive surface provided on the reverse surface of the tape 26. The adhesive surface of the tape 26 is pressed against the top surface of the liquid crystal substrate 10 with the downward pressing force of a press rod 22. When the liquid crystal substrate 10 is further moved so that the movement quantity of the liquid crystal substrate 10 is nearly as large as the feed quantity of the tape 26, the tape 26 is adhered temporarily to the top surface of the liquid crystal substrate 10 and then peeled off, so dust sticking on the surface of the liquid crystal substrate 10 is adhered to the adhesive surface of the tape 26 and removed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置の製造
方法及び製造装置に係り、特に、液晶基板上に付着した
異物を除去するための方法及び装置構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display, and more particularly, to a method and an apparatus for removing foreign substances adhering on a liquid crystal substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示装置の製造工程において
は、液晶基板の表面上に配線、電極等を形成した後、そ
の上に配向膜を形成し、さらに配向膜の表面にラビング
処理を施した後、同様に形成したもう一方の液晶基板に
対してシール材を介して貼り合わせ、液晶セルを構成し
ている。この後、液晶セルの内部に液晶が注入される。
さらに、例えばTN型やSTN型の液晶表示装置の場合
には、液晶セルの外面上に偏光板を貼り付ける工程があ
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a manufacturing process of a liquid crystal display device, wirings, electrodes and the like are formed on the surface of a liquid crystal substrate, an alignment film is formed thereon, and a rubbing process is performed on the surface of the alignment film. After that, it is bonded to another liquid crystal substrate formed in the same manner via a sealing material to form a liquid crystal cell. Thereafter, liquid crystal is injected into the liquid crystal cell.
Further, in the case of a TN or STN liquid crystal display device, for example, there is a step of attaching a polarizing plate on the outer surface of the liquid crystal cell.

【0003】上記のような製造工程においては、例え
ば、液晶基板の内面上のパターン構成中において上部構
造のパターンを形成する前に基板表面の塵埃を除去する
必要がある。また、液晶基板にラビング処理を施した後
の液晶基板表面にはラビング時に発生した塵埃が多数付
着しており、次工程に進む前にこれを除去する必要が生
ずる。さらに、液晶セルを完成した後の液晶基板の外面
上にも種々の塵埃が付着しており、この塵埃もまた、偏
光板の貼着前に除去しなければならない。
In the above-described manufacturing process, for example, it is necessary to remove dust on the surface of the liquid crystal substrate before forming a pattern of the upper structure in the pattern configuration on the inner surface of the liquid crystal substrate. Further, a large amount of dust generated during rubbing adheres to the surface of the liquid crystal substrate after the liquid crystal substrate has been subjected to the rubbing treatment, and it is necessary to remove the dust before proceeding to the next step. Further, various dusts adhere to the outer surface of the liquid crystal substrate after the completion of the liquid crystal cell, and these dusts must also be removed before attaching the polarizing plate.

【0004】このような液晶基板の表面に付着した塵埃
を除去するために、従来においては純水その他の洗浄液
を用いたウエット式の洗浄工程を設けている。液晶基板
は洗浄液の中に浸漬され、さらにこの洗浄液に対して超
音波振動などを加えることによって、基板表面の塵埃を
分離する。
In order to remove such dust adhering to the surface of the liquid crystal substrate, a wet type cleaning step using a pure water or another cleaning liquid is conventionally provided. The liquid crystal substrate is immersed in a cleaning liquid, and further, ultrasonic vibration or the like is applied to the cleaning liquid to separate dust on the substrate surface.

【0005】また、洗浄工程を行う代わりに液晶基板の
表面にエアを吹付け、表面に付着している塵埃を吹き飛
ばすエアブロー方式も採用されている。この方法では、
吹き飛ばされた塵埃を排気装置等を用いて吸引する場合
もある。
[0005] Instead of performing a cleaning step, an air blow method is also employed in which air is blown onto the surface of a liquid crystal substrate to blow off dust adhering to the surface. in this way,
In some cases, the blown-out dust is sucked using an exhaust device or the like.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の洗浄工程に
おいては、液晶基板を一旦洗浄液中に浸漬し、乾燥させ
る必要があるため、バッチ処理にならざるを得ず処理効
率が低下するとともに、処理時間や処理コストがかかる
という問題点がある。
In the above-mentioned conventional cleaning step, the liquid crystal substrate must be immersed in a cleaning liquid and then dried, so that the processing must be performed in a batch process, and the processing efficiency is reduced. There is a problem that it takes time and processing cost.

【0007】一方、エアブロー方式においては、ウエッ
ト式の洗浄工程に較べて簡易に処理できるが、エアの吹
付けによって塵埃を吹き飛ばすようにしているため、液
晶基板の表面に載っているだけの塵埃は吹き飛ばすこと
ができるものの、ある程度の吸着力を持って付着してい
る塵埃を吹き飛ばすことは困難であり、塵埃が残ってし
まうという問題点があるとともに、一旦吹き飛ばされた
塵埃が液晶基板の表面に再付着するという問題点もあ
る。
On the other hand, in the air blow method, the processing can be performed more easily than in the wet type cleaning step. However, since the dust is blown off by blowing air, the dust only on the surface of the liquid crystal substrate can be removed. Although it can be blown off, it is difficult to blow off the dust attached with a certain level of attraction, and there is a problem that the dust remains, and the dust that has been blown off once again reappears on the surface of the liquid crystal substrate. There is also a problem of adhesion.

【0008】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、液晶表示装置の製造工程におい
て、洗浄液を用いることなく、液晶基板の表面に付着し
ている塵埃を確実に除去し、しかも塵埃の再付着を防止
することのできる方法及び装置構造を実現することにあ
る。
Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to reliably remove dust adhering to the surface of a liquid crystal substrate without using a cleaning liquid in a manufacturing process of a liquid crystal display device. Another object of the present invention is to realize a method and an apparatus structure that can prevent dust from reattaching.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた手段は、液晶表示装置の液晶基板の表
面に、担体上に形成された粘着面を押し付けた後、該担
体を剥離することによって、前記表面上の付着物を除去
することを特徴とする液晶表示装置の製造方法である。
Means taken by the present invention to solve the above-mentioned problems is to press an adhesive surface formed on a carrier against the surface of a liquid crystal substrate of a liquid crystal display device, and then press the carrier. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising removing adhered substances on the surface by peeling.

【0010】この手段によれば、除去部材の粘着面を液
晶基板の表面に押し付けて剥離することによって、液晶
基板の表面上に付着している塵埃をも確実に除去するこ
とができ、また、周囲に塵埃を撒き散らすこともないか
ら周囲環境を汚染する危険性もなく、基板表面への再付
着も防止できる。しかも、洗浄液に浸漬する必要もない
ために効率よく処理することができる。
According to this means, dust adhering to the surface of the liquid crystal substrate can be reliably removed by pressing the adhesive surface of the removing member against the surface of the liquid crystal substrate and peeling off. Since no dust is scattered around, there is no danger of contaminating the surrounding environment, and reattachment to the substrate surface can be prevented. In addition, since it is not necessary to immerse in the cleaning liquid, the processing can be performed efficiently.

【0011】また、液晶表示装置の液晶基板の表面上に
付着した付着物を除去するための液晶表示装置の製造装
置において、周面に架設された粘着性を有するテープの
粘着面を前記表面に対して接触させる接触ローラと、該
接触ローラに対して前記テープを供給するテープ供給手
段と、前記接触ローラから前記テープを回収する回収手
段と、前記接触ローラを前記表面に押し付ける押圧手段
と、前記液晶基板と前記接触ローラとの間を相対的に移
動させる移動手段とを設けたことを特徴とするものであ
る。
Further, in the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device for removing the adhering substance on the surface of the liquid crystal substrate of the liquid crystal display device, the adhesive surface of the adhesive tape provided on the peripheral surface is attached to the surface. A contact roller that contacts the contact roller, a tape supply unit that supplies the tape to the contact roller, a collection unit that collects the tape from the contact roller, a pressing unit that presses the contact roller against the surface, A moving means for relatively moving between the liquid crystal substrate and the contact roller is provided.

【0012】この手段によれば、供給手段、接触ローラ
及び回収手段によって、テープを送りながら粘着面を液
晶基板の表面に接触させ、剥離することができるため、
先に粘着面に付着した塵埃の再付着を防止でき、基板表
面に付着した塵埃を確実に除去することができる。
According to this means, the adhesive surface can be brought into contact with the surface of the liquid crystal substrate while the tape is being fed by the supply means, the contact roller and the collection means, and the tape can be peeled off.
It is possible to prevent re-adhesion of dust previously attached to the adhesive surface, and to reliably remove dust attached to the substrate surface.

【0013】ここで、前記液晶基板と前記接触ローラと
の間の相対的移動速度と、前記テープの送り速度とがほ
ぼ一致するように構成されていることが好ましい。
Here, it is preferable that the relative movement speed between the liquid crystal substrate and the contact roller is substantially equal to the feed speed of the tape.

【0014】この手段によれば、液晶基板と接触ローラ
との間の相対的移動速度と、テープの送り速度とがほぼ
一致するように構成されているので、常に新たな粘着面
に基板表面を接触させることができるから、塵埃の除去
をさらに確実に行うことができるとともに、粘着面との
摩擦による損傷が液晶基板の表面に生ずることを防止で
きる。
According to this means, the relative movement speed between the liquid crystal substrate and the contact roller is configured so that the tape feeding speed substantially matches, so that the substrate surface is always attached to a new adhesive surface. Since the contact can be made, dust can be more reliably removed, and damage due to friction with the adhesive surface can be prevented from occurring on the surface of the liquid crystal substrate.

【0015】また、前記接触ローラは、前記液晶基板に
対するラビング装置の処理部後段の搬送経路上に設けら
れている場合がある。
In some cases, the contact roller is provided on a transport path after a processing unit of a rubbing device for the liquid crystal substrate.

【0016】この場合には、ラビング装置の処理部後段
の搬送経路上に接触ローラを配置すことによって、ラビ
ング処理の直後に自動的に塵埃の除去を行うことができ
るので、ラビング処理時に発生する塵埃を周囲に撒き散
らすことなく迅速に除去し、他の製造工程における塵埃
に起因する事故を防止できる。
In this case, dust can be automatically removed immediately after the rubbing process by arranging the contact roller on the transport path after the processing section of the rubbing device. Dust can be quickly removed without being scattered around, and an accident caused by dust in another manufacturing process can be prevented.

【0017】さらに、前記接触ローラは、前記液晶基板
に対する偏光板貼り付け装置の処理部前段の搬送経路上
に設けられている場合がある。
Further, the contact roller may be provided on a transport path in front of a processing unit of the polarizing plate sticking apparatus for the liquid crystal substrate.

【0018】この場合には、偏光板貼り付け装置の処理
部前段の搬送経路上に接触ローラを配置することによっ
て、偏光板貼り付け直前に自動的に塵埃の除去を行うこ
とができるので、液晶基板と偏光板との間に塵埃が混入
することを防止することができる。
In this case, by arranging the contact roller on the transport path in front of the processing section of the polarizing plate attaching apparatus, dust can be automatically removed immediately before attaching the polarizing plate. It is possible to prevent dust from being mixed between the substrate and the polarizing plate.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る実施形態について説明する。図1は本実施形態の
液晶表示装置の製造方法を実現する製造装置の概略構造
を示す概略構成図である。液晶基板10は、図示しない
搬送機構、例えば、搬送ローラ列、搬送ベルト等によっ
て図示右側から搬送経路11に沿って送られるようにな
っている。
Next, an embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a schematic structure of a manufacturing apparatus for realizing a method of manufacturing a liquid crystal display device of the present embodiment. The liquid crystal substrate 10 is sent along the transport path 11 from the right side in the figure by a transport mechanism (not shown), for example, a row of transport rollers, a transport belt, or the like.

【0020】液晶基板10の搬送経路11上には接触ロ
ーラ21が配置されている。この接触ローラ21の回転
軸21aは、押圧ロッド22に対して回転自在に取り付
けられている。押圧ロッド22は支持ロッド23に対し
て伸縮自在に接続され、支持ロッド23の内部に収容さ
れた図示しない弾性部材又は流体機構(油圧機構、エア
圧機構等)によって押圧ロッド22を下方に所定の圧力
で突出させるように押圧している。支持ロッド23の他
端は図示しない装置のフレームに対して固定されてい
る。
A contact roller 21 is disposed on the transport path 11 of the liquid crystal substrate 10. The rotation shaft 21 a of the contact roller 21 is rotatably attached to the pressing rod 22. The pressing rod 22 is connected to the supporting rod 23 so as to be extendable and contractible, and the pressing rod 22 is moved downward by a predetermined amount by an elastic member (not shown) or a fluid mechanism (a hydraulic mechanism, an air pressure mechanism, etc.) housed inside the supporting rod 23. It is pressed so as to protrude by pressure. The other end of the support rod 23 is fixed to a frame of a device (not shown).

【0021】接触ローラ21の上方には供給ローラ24
が配置されている。この供給ローラ24は、上記フレー
ムに対して固定された回転軸24aに対して回転自在に
取り付けられている。同様にフレームに対して固定され
た回転軸25aに対して回転自在に取り付けられた回収
ローラ25も設けられている。
Above the contact roller 21, a supply roller 24 is provided.
Is arranged. The supply roller 24 is rotatably mounted on a rotation shaft 24a fixed to the frame. Similarly, a collection roller 25 rotatably attached to a rotation shaft 25a fixed to the frame is also provided.

【0022】供給ローラ24には粘着性を有する一面を
備えたテープ26が巻回されており、このテープ26は
供給ローラ24から引き出されて、下方に配置された上
記接触ローラ21の周面下側を部分的に周回した後、再
び上方に引き出されて回収ローラ25に巻回されてい
る。
A tape 26 having an adhesive surface is wound around the supply roller 24. The tape 26 is pulled out from the supply roller 24 and is disposed below the peripheral surface of the contact roller 21 disposed below. After partially circling the side, it is pulled out again and wound around the collection roller 25.

【0023】テープ26は、供給ローラ24においては
ローラ中心側に粘着面を向けた状態で巻回されており、
接触ローラ21の周面に添う状態では下側、すなわち液
晶基板の表面に対向する側に粘着面を向けるように架設
されている。テープ26は接触ローラ21の周面上を移
動した後、最終的に回収ローラ25のローラ中心側に粘
着面を向けた状態で巻回される。
The tape 26 is wound around the supply roller 24 with the adhesive surface facing the center of the roller.
In a state following the peripheral surface of the contact roller 21, it is installed so that the adhesive surface faces the lower side, that is, the side facing the surface of the liquid crystal substrate. After the tape 26 moves on the peripheral surface of the contact roller 21, the tape 26 is finally wound with the adhesive surface facing the roller center side of the collection roller 25.

【0024】テープ26の粘着面の粘着性は、上記接触
ローラ21の押圧力に応じて、液晶基板上の塵埃を十分
に捕捉できるとともに、粘着面の剥離強度が液晶基板上
の構造に悪影響を与えない範囲に設定される。接触ロー
ラの押圧力は、液晶基板上の塵埃に対して粘着面が確実
に接触するために充分な値に設定される。なお、テープ
26の幅は液晶基板の塵埃を除去する必要のある表面の
幅以上の幅を備えている必要がある。
The adhesiveness of the adhesive surface of the tape 26 can sufficiently capture dust on the liquid crystal substrate according to the pressing force of the contact roller 21, and the peel strength of the adhesive surface adversely affects the structure on the liquid crystal substrate. It is set to the range not given. The pressing force of the contact roller is set to a value sufficient to ensure that the adhesive surface comes into contact with dust on the liquid crystal substrate. Note that the width of the tape 26 needs to be greater than the width of the surface of the liquid crystal substrate from which dust needs to be removed.

【0025】上記構造では、供給ローラ24及び回収ロ
ーラ25に対してテープの粘着面が内側を向いているた
め、ローラ巻回状態におけるテープ26の粘着面への塵
埃付着や粘着面からの塵埃の離脱が発生しにくい。
In the above structure, since the adhesive surface of the tape faces inward with respect to the supply roller 24 and the recovery roller 25, dust adheres to the adhesive surface of the tape 26 in the wound state of the roller and dust from the adhesive surface. Separation hardly occurs.

【0026】この装置においては、テープ26を液晶基
板の移動量とほぼ等しい量だけ送るためのテープ駆動手
段が設けられている。このテープ駆動手段としては、種
々のものが考えられるが、回収ローラ25に作用するよ
うに構成された、テープ26を巻き取るためのローラ回
転手段が好ましい。このローラ回転手段は回収ローラ2
5を回転させることによりテープ26を巻き取るもので
あり、例えば回収ローラ25に接続された駆動モータで
もよく、また、液晶基板10を搬送するための搬送機構
と連動して回収ローラ25を回転させる伝達機構でもよ
い。
In this apparatus, a tape driving means for feeding the tape 26 by an amount substantially equal to the moving amount of the liquid crystal substrate is provided. Although various types of tape driving means are conceivable, a roller rotating means configured to act on the collection roller 25 for winding the tape 26 is preferable. This roller rotating means is a collection roller 2
The winding roller 5 rotates the collecting roller 25 by winding the tape 26. For example, a drive motor connected to the collecting roller 25 may be used, or the collecting roller 25 is rotated in conjunction with a transfer mechanism for transferring the liquid crystal substrate 10. A transmission mechanism may be used.

【0027】これらのローラ回転手段は、後述するよう
に、その稼動状態においてテープ26の粘着面を液晶基
板10の表面に対して擦り付けて損傷を与えないよう
に、液晶基板10の移動速度と完全に同期していること
が好ましい。また、液晶基板10が積極的には搬送され
ていないが、所定速度で送られるテープ26の粘着力に
よって液晶基板10が自動的に移動するように構成され
ていてもよい。或いは、オイルロータを有するオイルカ
ップリングや磁気カップリング等によりローラ回転手段
の駆動力が所定の伝達力で回収ローラ25に伝達される
ように構成し、液晶基板10の移動量に応じて所定の張
力にてテープ26を巻き取るように構成されていてもよ
い。
As will be described later, these roller rotating means are capable of completely moving the liquid crystal substrate 10 at a moving speed such that the adhesive surface of the tape 26 is not rubbed against the surface of the liquid crystal substrate 10 in the operating state to cause damage. It is preferable to synchronize with. Although the liquid crystal substrate 10 is not actively transported, the liquid crystal substrate 10 may be automatically moved by the adhesive force of the tape 26 fed at a predetermined speed. Alternatively, the driving force of the roller rotating means is transmitted to the collection roller 25 with a predetermined transmission force by an oil coupling having an oil rotor, a magnetic coupling, or the like. The tape 26 may be configured to be wound by tension.

【0028】液晶基板10を図示右側から接触ローラ2
1に向けて搬送すると、液晶基板10の表面は接触ロー
ラ21の周面下側に存在するテープ26に接触し、テー
プ26の下面に設けられた粘着面に接触する。ここで、
テープ26の粘着面は押圧ロッド22の下方への押圧力
により液晶基板10の表面に押し付けられる。
The liquid crystal substrate 10 is placed on the contact roller 2 from the right side in the figure.
When transported toward 1, the surface of the liquid crystal substrate 10 comes into contact with the tape 26 existing below the peripheral surface of the contact roller 21 and comes into contact with the adhesive surface provided on the lower surface of the tape 26. here,
The adhesive surface of the tape 26 is pressed against the surface of the liquid crystal substrate 10 by the downward pressing force of the pressing rod 22.

【0029】この状態で、上述のようなテープ駆動手段
により液晶基板10の移動量とテープ26の送り量とが
ほぼ一致するようにして液晶基板10を図示左側に移動
させていくと、テープ26は一旦液晶基板10の表面に
接着されてから引き剥がされるようになるため、液晶基
板10の表面上に付着していた塵埃をテープ26の粘着
面に接着させて除去することができる。
In this state, when the liquid crystal substrate 10 is moved to the left side in the figure by the above-described tape driving means so that the moving amount of the liquid crystal substrate 10 and the feeding amount of the tape 26 are substantially the same, the tape 26 Is adhered to the surface of the liquid crystal substrate 10 and then peeled off, so that the dust adhered to the surface of the liquid crystal substrate 10 can be removed by adhering to the adhesive surface of the tape 26.

【0030】図2には、上記の構造を備えた塵埃除去装
置20を、液晶基板に対してラビング処理を行うラビン
グ処理装置の内部に一体的に構成した様子を示す。この
場合には、回転するラビングローラ30の表面に接着さ
れたラビング布31の毛によって、搬送されてくる液晶
基板10の表面を所定方向に擦るようになっている。こ
のラビング装置の図示しない搬送機構はそのまま上記塵
埃除去装置20の搬送機構となっており、この搬送機構
によって液晶基板10は搬送経路32に沿って移動し、
ラビング処理の終了後に自動的に上述のように接触ロー
ラ21と接触するまで搬送され、表面に付着した塵埃が
除去される。
FIG. 2 shows a state in which the dust removing device 20 having the above-mentioned structure is integrally formed inside a rubbing processing device for performing a rubbing process on a liquid crystal substrate. In this case, the bristles of the rubbing cloth 31 adhered to the surface of the rotating rubbing roller 30 rub the surface of the conveyed liquid crystal substrate 10 in a predetermined direction. The transport mechanism (not shown) of the rubbing device is the transport mechanism of the dust removing device 20 as it is, and the liquid crystal substrate 10 is moved along the transport path 32 by the transport mechanism.
After the completion of the rubbing process, the wafer is automatically transported until it comes into contact with the contact roller 21 as described above, and dust adhering to the surface is removed.

【0031】この場合には従来から存在するラビングの
ための搬送機構をそのまま利用し、その搬送機構に合わ
せて動作するように構成することによって、ラビング時
に発生した塵埃を装置内部で即座に除去することができ
るので、外部に塵埃を放出することなく迅速かつ確実に
処理を行うことができる。
In this case, the rubbing transfer mechanism existing in the related art is used as it is and is configured to operate in accordance with the rubbing mechanism, so that dust generated during rubbing is immediately removed inside the apparatus. Therefore, the processing can be performed quickly and reliably without releasing dust to the outside.

【0032】図3には、上記塵埃除去装置20を、液晶
セル40の外面上に偏光板を貼着する偏光板貼着装置の
内部に組み込んだ例を示す。偏光板貼着装置の処理部に
おいては、液晶セル40の外面の端部に対して偏光板4
2の一端を押し付け、外面の他端に向かって偏光板42
を押し当てていく貼着部材43が図示しない駆動機構に
よって動作するように構成されている。
FIG. 3 shows an example in which the dust removing device 20 is incorporated in a polarizing plate sticking device for sticking a polarizing plate on the outer surface of a liquid crystal cell 40. In the processing unit of the polarizing plate sticking apparatus, the polarizing plate 4
2 is pressed against the polarizing plate 42 toward the other end of the outer surface.
Is configured to operate by a driving mechanism (not shown).

【0033】この処理部に液晶セル40を供給するため
に図示しない搬送機構が設けられており、この搬送機構
による搬送経路41の途中に、上記塵埃除去装置20が
配置されている。搬送経路41に沿って搬送される液晶
セル40は、接触ローラの周面上のテープ26に接着さ
れた後、すぐにテープ26から引き剥がされることによ
って、外面上に付着していた塵埃が除去される。
A transport mechanism (not shown) is provided to supply the liquid crystal cells 40 to the processing section. The dust removing device 20 is disposed in the middle of a transport path 41 by the transport mechanism. The liquid crystal cell 40 conveyed along the conveyance path 41 is adhered to the tape 26 on the peripheral surface of the contact roller, and is immediately peeled off from the tape 26, thereby removing dust adhering on the outer surface. Is done.

【0034】この場合においても、偏光板貼着装置の搬
送系をそのまま使用して塵埃を除去できるとともに、偏
光板を貼着する直前に塵埃の除去を行うことができるた
め、液晶セルの外面と偏光板との間に塵埃が挟まる確率
を従来よりもさらに低減できる。
Also in this case, the dust can be removed by using the transport system of the polarizing plate sticking apparatus as it is, and the dust can be removed immediately before sticking the polarizing plate. The probability that dust is caught between the polarizing plate and the polarizing plate can be further reduced than before.

【0035】図4は、上記とは異なる実施形態を示す概
略構成図である。この実施形態においては、接触ローラ
21の前後にテンションローラ51,52が配置され、
このテンションローラ51,52は、簡略化して示すテ
ンション機構57,58によってテープ26に所定の張
力を付与するように動作する。テープ26は本実施形態
においては無端状に形成されており、ガイドローラ5
3,54,55,56によって架設されている。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an embodiment different from the above. In this embodiment, tension rollers 51 and 52 are arranged before and after the contact roller 21,
The tension rollers 51 and 52 operate so as to apply a predetermined tension to the tape 26 by tension mechanisms 57 and 58 shown in a simplified manner. In the present embodiment, the tape 26 is formed endless, and the guide roller 5
3, 54, 55, 56.

【0036】この実施形態においても、テープ26は液
晶基板10の移動量とほぼ同様の送り作用を、液晶基板
10自体から、若しくは液晶基板10の移動速度と同一
の周速度を有する駆動ローラとして動作する上記ガイド
ローラの一つから受けるように構成することができる。
Also in this embodiment, the tape 26 operates almost as much as the moving amount of the liquid crystal substrate 10, and operates as a driving roller having the same peripheral speed as the moving speed of the liquid crystal substrate 10 from the liquid crystal substrate 10 itself. To be received from one of the guide rollers described above.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば以下
の効果を奏する。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

【0038】請求項1によれば、除去部材の粘着面を液
晶基板の表面に押し付けて剥離することによって、液晶
基板の表面上に付着している塵埃をも確実に除去するこ
とができ、また、周囲に塵埃を撒き散らすこともないか
ら周囲環境を汚染する危険性もなく、基板表面に再付着
することを防止できる。しかも、洗浄液に浸漬する必要
もないために効率よく処理することができる。
According to the first aspect, the adhesive surface of the removing member is pressed against the surface of the liquid crystal substrate to be peeled off, whereby dust adhering to the surface of the liquid crystal substrate can be reliably removed. In addition, since dust is not scattered around, there is no danger of contaminating the surrounding environment, and it is possible to prevent re-adhesion to the substrate surface. In addition, since it is not necessary to immerse in the cleaning liquid, the processing can be performed efficiently.

【0039】請求項2によれば、供給手段、接触ローラ
及び回収手段によって、テープを送りながら粘着面を液
晶基板の表面に接触させ、剥離することができるため、
先に粘着面に付着した塵埃の再付着を防止でき、基板表
面に付着した塵埃を確実に除去することができる。
According to the second aspect, the adhesive surface can be brought into contact with the surface of the liquid crystal substrate while the tape is being fed by the supply means, the contact roller, and the recovery means, and the tape can be separated.
It is possible to prevent re-adhesion of dust previously attached to the adhesive surface, and to reliably remove dust attached to the substrate surface.

【0040】請求項3によれば、液晶基板と接触ローラ
との間の相対的移動速度と、テープの送り速度とがほぼ
一致するように構成されているので、常に新たな粘着面
に基板表面を接触させることができるから、塵埃の除去
をさらに確実に行うことができるとともに、粘着面との
摩擦による損傷が液晶基板の表面に生ずることを防止で
きる。
According to the third aspect, the relative movement speed between the liquid crystal substrate and the contact roller is configured to be substantially equal to the tape feeding speed. Can be contacted, dust can be more reliably removed, and damage to the surface of the liquid crystal substrate due to friction with the adhesive surface can be prevented.

【0041】請求項4によれば、ラビング装置の処理部
後段の搬送経路上に接触ローラを配置すことによって、
ラビング処理の直後に自動的に塵埃の除去を行うことが
できるので、ラビング処理時に発生する塵埃を周囲に撒
き散らすことなく迅速に除去し、他の製造工程における
塵埃に起因する事故を防止できる。
According to the fourth aspect of the present invention, the contact roller is disposed on the transport path after the processing section of the rubbing device.
Since dust can be automatically removed immediately after the rubbing process, dust generated during the rubbing process can be quickly removed without being scattered around, and an accident caused by dust in another manufacturing process can be prevented.

【0042】請求項5によれば、偏光板貼り付け装置の
処理部前段の搬送経路上に接触ローラを配置することに
よって、偏光板貼り付け直前に自動的に塵埃の除去を行
うことができるので、液晶基板と偏光板との間に塵埃が
混入することを防止することができる。
According to the fifth aspect, by disposing the contact roller on the transport path in front of the processing section of the polarizing plate attaching apparatus, dust can be automatically removed immediately before attaching the polarizing plate. In addition, it is possible to prevent dust from being mixed between the liquid crystal substrate and the polarizing plate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る液晶表示装置の製造方法及び製造
装置の実施形態を示すための装置の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for illustrating an embodiment of a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】同実施形態をラビング処理装置に組み込んだ状
態を示す概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a state where the embodiment is incorporated in a rubbing processing apparatus.

【図3】同実施形態を偏光板貼着装置に組み込んだ状態
を示す概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a state where the embodiment is incorporated in a polarizing plate sticking apparatus.

【図4】同実施形態とは異なる実施形態を示す概略構成
図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an embodiment different from the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 液晶基板 20 塵埃除去装置 21 接触ローラ 22 押圧ロッド 23 支持ロッド 24 供給ローラ 25 回収ローラ 30 ラビングローラ 32,41 搬送経路 40 液晶セル 43 貼着部材 51,52 テンションローラ 53,54,55,56 ガイドローラ Reference Signs List 10 liquid crystal substrate 20 dust removing device 21 contact roller 22 pressing rod 23 support rod 24 supply roller 25 collection roller 30 rubbing roller 32, 41 transport path 40 liquid crystal cell 43 sticking member 51, 52 tension roller 53, 54, 55, 56 guide roller

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶表示装置の液晶基板の表面に、担体
上に形成された粘着面を押し付けた後、該担体を剥離す
ることによって、前記表面上の付着物を除去することを
特徴とする液晶表示装置の製造方法。
1. A method according to claim 1, wherein an adhesive surface formed on the carrier is pressed against the surface of the liquid crystal substrate of the liquid crystal display device, and then the carrier is peeled off to remove the deposits on the surface. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
【請求項2】 液晶表示装置の液晶基板の表面上に付着
した付着物を除去するための液晶表示装置の製造装置に
おいて、周面に架設された粘着性を有するテープの粘着
面を前記表面に対して接触させる接触ローラと、該接触
ローラに対して前記テープを供給するテープ供給手段
と、前記接触ローラから前記テープを回収する回収手段
と、前記接触ローラを前記表面に押し付ける押圧手段
と、前記液晶基板と前記接触ローラとの間を相対的に移
動させる移動手段とを設けたことを特徴とする液晶表示
装置の製造装置。
2. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display device for removing a substance adhering to a surface of a liquid crystal substrate of the liquid crystal display device, wherein an adhesive surface of an adhesive tape provided on a peripheral surface is attached to the surface. A contact roller that contacts the contact roller, a tape supply unit that supplies the tape to the contact roller, a collection unit that collects the tape from the contact roller, a pressing unit that presses the contact roller against the surface, A manufacturing apparatus for a liquid crystal display device, further comprising a moving unit that relatively moves between a liquid crystal substrate and the contact roller.
【請求項3】 請求項2において、前記液晶基板と前記
接触ローラとの間の相対的移動速度と、前記テープの送
り速度とがほぼ一致するように構成されていることを特
徴とする液晶表示装置の製造装置。
3. The liquid crystal display according to claim 2, wherein a relative moving speed between the liquid crystal substrate and the contact roller substantially coincides with a tape feeding speed. Equipment manufacturing equipment.
【請求項4】 請求項2又は請求項3において、前記接
触ローラは、前記液晶基板に対するラビング装置の処理
部後段の搬送経路上に設けられていることを特徴とする
液晶表示装置の製造装置。
4. The manufacturing apparatus for a liquid crystal display device according to claim 2, wherein the contact roller is provided on a transport path after a processing unit of a rubbing device for the liquid crystal substrate.
【請求項5】 請求項2又は請求項3において、前記接
触ローラは、前記液晶基板に対する偏光板貼り付け装置
の処理部前段の搬送経路上に設けられていることを特徴
とする液晶表示装置の製造装置。
5. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the contact roller is provided on a transport path in a preceding stage of a processing unit of the polarizing plate sticking device with respect to the liquid crystal substrate. Manufacturing equipment.
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