JPH10196893A - オゾンの取出方法 - Google Patents

オゾンの取出方法

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JPH10196893A
JPH10196893A JP439197A JP439197A JPH10196893A JP H10196893 A JPH10196893 A JP H10196893A JP 439197 A JP439197 A JP 439197A JP 439197 A JP439197 A JP 439197A JP H10196893 A JPH10196893 A JP H10196893A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
storage container
silica gel
gas
adsorbed
Prior art date
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Pending
Application number
JP439197A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunihiko Koike
国彦 小池
Goichi Inoue
吾一 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Iwatani Corp
Original Assignee
Iwatani International Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Iwatani International Corp filed Critical Iwatani International Corp
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Publication of JPH10196893A publication Critical patent/JPH10196893A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾンを飽和吸着させているシリカゲルを充
填している容器から、所定の濃度でオゾンを取り出すこ
とのできるオゾンの取り出し方法を提供する。 【解決手段】 内部にシリカゲルを充填してなる貯蔵容
器を冷却し、この貯蔵容器にオゾン発生器で発生させた
オゾンガスを供給して貯蔵容器内のシリカゲルにオゾン
を飽和吸着させる。このシリカゲルに吸着されているオ
ゾンを貯蔵容器の冷却温度を上昇させて取り出すにあた
り、貯蔵容器の昇温速度を調節することにより任意の濃
度のオゾンを取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する分野】本発明は、シリカゲルに吸着させ
たオゾンの取出方法に関する。
【0002】
【従来の技術】オゾンガスは自己分解性が強いことか
ら、オゾンガスとして貯蔵することができないとされて
いた。そこで従来では、オゾン使用個所の近傍でオゾン
発生器でオゾンガスを発生させ、すぐに使用するように
している。ところがこの場合、オゾン発生器で発生する
オゾンガスの濃度は5〜7 vol%程度であり、オゾン濃
度が薄かった。そこで、ドライアイス温度に冷却されて
いるシリカゲルにオゾンガスを吸着させてオゾンガスを
濃縮化するようにする技術が提供されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
オゾン濃縮技術を応用して、容器内に充填したシリカゲ
ルにオゾンを飽和吸着させたとしても、このオゾン吸着
シリカゲルから離脱するオゾンガスの濃度が一定濃度で
ないことから、一定濃度を要求されるオゾンガスの使用
設備には利用することができなかった。
【0004】本発明は、オゾンを飽和吸着させているシ
リカゲルを充填している容器から、所定の濃度でオゾン
を取り出すことのできるオゾンの取り出し方法を提供す
ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明はシリカゲルに吸着されているオゾンを貯
蔵容器の冷却温度を変化させることにより取り出すに当
たり、昇温速度を調節することにより任意の濃度で取り
出すようにしたことを特徴としている。
【0006】
【作用】本発明では、シリカゲルを充填してなるオゾン
ガス貯蔵容器を冷却することにより、シリカゲルにオゾ
ンを飽和吸着させてオゾンをガス状態で貯蔵するように
し、オゾンガス取り出し時に貯蔵容器の冷却温度を上昇
させることにより、シリカゲルからオゾンガスを離脱さ
せる。このとき、貯蔵容器の昇温速度を調整すると、オ
ゾンのシリカゲルからの離脱速度が変化し、取り出しガ
ス中のオゾン濃度が変動する。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の態様を説明
する。図1はオゾン充填装置の概略図を示し、図中符号
(1)は内部に吸着剤としてのシリカゲル(2)を充填した
貯蔵容器であり、この貯蔵容器(1)は断熱箱で形成した
外箱(3)内に収納され、貯蔵容器(1)は外箱(3)内に貯
蔵したエタノール(4)で冷却されている。
【0008】この貯蔵容器(1)には、オゾン供給路(5)
及びオゾン導出路(6)がそれぞれ接続してあり、オゾン
供給路(5)にはオゾン発生器(9)、流量制御器(10)が順
に配置してあり、酸素ボンベ等の原料酸素供給源(11)か
ら導出した酸素ガスをオゾン発生器(9)でオゾン化して
オゾン−酸素の混合ガスを形成し、このオゾン−酸素混
合ガスを流量制御器(10)で一定流量に制御して貯蔵容器
(1)に供給するようにしてある。
【0009】オゾン導出路(6)は流路開閉弁(12)を介し
て容器(13)が接続してある。また、容器(13)からの排出
路(14)にオゾン分解器(15)及び真空ポンプ(16)が配置し
てあり、容器(13)内のオゾンガスを真空ポンプ(16)で吸
引排出する前にオゾン分解器(15)で分解するようにして
ある。
【0010】オゾン導出路(6)からオゾン排出路(17)が
分岐導出してあり、このオゾン排出路(17)にオゾン分解
器(18)が接続してあり、このオゾン分解器(18)よりも上
流側のオゾン排出路(17)にオゾンモニター(19)が並列に
配置してある。図中符号(20)は圧力指示計、(21)は温度
指示調節器である。
【0011】なお、貯蔵容器(1)に充填するシリカゲル
(2)としては、一般に市販されている純度99.7%の
シリカゲルから不純物を可能な限り除去して、含有する
不純物成分を重量比率でアルミニウム2.7ppm、チ
タン0.9ppm以下、鉄2.9ppm、カルシウム0.
7ppm以下、マグネシウム0.9ppm以下、ナトリ
ウム3ppm以下、ジルコニウム0.7ppm以下に調
整することにより純度99.99%に調製して高純度シ
リカゲルとしたものを使用し、容器充填の前処理として
加熱することによりシリカゲルから水分を除去したのち
容器内に充填している。
【0012】貯蔵容器(1)に流入したオゾン−酸素混合
ガスは貯蔵容器(1)内に充填されているシリカゲル(2)
に作用して、混合ガス中のオゾンがシリカゲル(2)に選
択吸着される。このとき、残りの酸素ガスはオゾン排出
路(17)から排出される。
【0013】このシリカゲル(2)に吸着されたオゾンガ
スの取り出しは、貯蔵容器(1)の冷却状態を変化させる
より行う。貯蔵容器(1)の冷却温度を上昇させるとシリ
カゲル(2)のオゾン吸着能力が低下することから、シリ
カゲル(2)からオゾンが放出される。このとき貯蔵容器
(1)から取り出したオゾン濃度は、85 vol%であっ
た。ここで、取り出されたオゾンの濃度が低下している
のは、脱着時にオゾンが分解して酸素が生成されること
に起因すると思われる。
【0014】なお、貯蔵容器(1)内の温度変化(昇温速
度)でのオゾン脱離速度とオゾン濃度との関係を図2に
示す。図2は、シリカゲル100g当たりのオゾンの脱
離速度とそのときのオゾン濃度との関係を示しており、
これによると、脱離速度が大きい程、高濃度のオゾンを
得ることができることが分かる。したがって、昇温速度
を調整することにより、取り出すオゾン濃度を制御する
ことが可能となる。
【0015】
【発明の効果】本発明では、シリカゲルを充填してなる
オゾンガス貯蔵容器を冷却することにより、シリカゲル
にオゾンを飽和吸着させてオゾンをガス状態で貯蔵する
ようにし、オゾンガス取り出し時に貯蔵容器の冷却温度
の変化率、即ち昇温速度を調整すると、オゾンガスのシ
リカゲルからの脱離速度が変化し、取り出しガス中のオ
ゾン濃度が変動する。したがって、高濃度のオゾンを得
たいときには、貯蔵容器での冷却温度を迅速に昇温さ
せ、低濃度のオゾンを得たいときには、貯蔵容器での冷
却温度をゆるやかに昇温させる。
【図面の簡単な説明】
【図1】オゾン充填装置の概略図である。
【図2】温度変化に伴う脱離速度とオゾン濃度との関係
を示す図である。
【符号の説明】
1…オゾン貯蔵容器、2…シリカゲル、9…オゾン発生
器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部にシリカゲルを充填してなる貯蔵容
    器を冷却し、この貯蔵容器にオゾン発生器で発生させた
    オゾンガスを供給して貯蔵容器内のシリカゲルにオゾン
    を飽和吸着させ、このシリカゲルに吸着されているオゾ
    ンを貯蔵容器の冷却温度を変化させることにより取り出
    すにあたり、その貯蔵容器の昇温速度を調節することに
    より任意の濃度で取り出すようにしたオゾンの取出方
    法。
JP439197A 1997-01-14 1997-01-14 オゾンの取出方法 Pending JPH10196893A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1129989A1 (en) * 2000-03-02 2001-09-05 The Kansei Electric Power Co., Inc. Ozone storage method and ozone storage apparatus
EP1176118A1 (en) * 2000-07-27 2002-01-30 The Kansai Electric Power Co., Inc. Ozone storing method and ozone extracting method
JP2011121805A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Iwatani Internatl Corp オゾンガスに含まれる窒素酸化物および水分の除去方法
JP2015010016A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 岩谷産業株式会社 オゾンガスに含まれる窒素酸化物除去方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1129989A1 (en) * 2000-03-02 2001-09-05 The Kansei Electric Power Co., Inc. Ozone storage method and ozone storage apparatus
JP2001248794A (ja) * 2000-03-02 2001-09-14 Kansai Electric Power Co Inc:The オゾン貯蔵方法および装置
EP1176118A1 (en) * 2000-07-27 2002-01-30 The Kansai Electric Power Co., Inc. Ozone storing method and ozone extracting method
JP2011121805A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Iwatani Internatl Corp オゾンガスに含まれる窒素酸化物および水分の除去方法
JP2015010016A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 岩谷産業株式会社 オゾンガスに含まれる窒素酸化物除去方法

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Date Code Title Description
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040106