JPH10196890A - オゾンガスの貯蔵方法 - Google Patents
オゾンガスの貯蔵方法Info
- Publication number
- JPH10196890A JPH10196890A JP439297A JP439297A JPH10196890A JP H10196890 A JPH10196890 A JP H10196890A JP 439297 A JP439297 A JP 439297A JP 439297 A JP439297 A JP 439297A JP H10196890 A JPH10196890 A JP H10196890A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- silica gel
- ppm
- less
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 取り扱いが比較的安全で、オゾンの自己分解
を抑制して長期にわたってオゾンガスを貯蔵することの
できるオゾン貯蔵方法を提供する。 【解決手段】 含有する不純物成分を重量比率でアルミ
ニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐｍ以下、鉄３
０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以下、マグネシウ
ム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐｐｍ以下、ジル
コニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純度シリカゲルを
オゾン貯蔵容器内に充填し、高純度シリカゲルを充填し
てなるオゾン貯蔵容器を冷却しながらオゾン発生器で発
生させたオゾンガスを供給して、オゾンガスを高純度シ
リカゲルに吸着保持させる。
を抑制して長期にわたってオゾンガスを貯蔵することの
できるオゾン貯蔵方法を提供する。 【解決手段】 含有する不純物成分を重量比率でアルミ
ニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐｍ以下、鉄３
０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以下、マグネシウ
ム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐｐｍ以下、ジル
コニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純度シリカゲルを
オゾン貯蔵容器内に充填し、高純度シリカゲルを充填し
てなるオゾン貯蔵容器を冷却しながらオゾン発生器で発
生させたオゾンガスを供給して、オゾンガスを高純度シ
リカゲルに吸着保持させる。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、オゾンガスの貯蔵方法
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンガスは自己分解性が強いことか
ら、オゾンガスとして貯蔵することができないとされて
いた。そこで従来では、オゾン使用個所の近傍でオゾン
発生器でオゾンガスを発生させ、すぐに使用するように
している。ところがこの場合、オゾン発生器で発生する
オゾンガスの濃度は５〜７ vol％程度であり、オゾン濃
度が薄かった。そこで、オゾンガスをシリカゲルに吸着
させてオゾンガスを濃縮化して貯蔵する技術が提供され
ている。
ら、オゾンガスとして貯蔵することができないとされて
いた。そこで従来では、オゾン使用個所の近傍でオゾン
発生器でオゾンガスを発生させ、すぐに使用するように
している。ところがこの場合、オゾン発生器で発生する
オゾンガスの濃度は５〜７ vol％程度であり、オゾン濃
度が薄かった。そこで、オゾンガスをシリカゲルに吸着
させてオゾンガスを濃縮化して貯蔵する技術が提供され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、オゾン濃縮貯蔵
に使用しているシリカゲルには、不純物としてアルミニ
ウム、鉄、カルシウム、ナトリウム、マグネシウム、ジ
ルコニウム等が含有しており、その純度は９９.７％程
度であった。このため、シリカゲルにオゾンガスを吸着
させた状態で放置しておくとやはり自己分解が始まり、
オゾン濃度が低下していた。このため、シリカゲルに吸
着させた場合でもオゾンガスを濃度を維持した状態で貯
蔵することはできなかった。本発明はこのような点に着
目してなされたもので、取り扱いが比較的安全で、オゾ
ンの自己分解を抑制して長期にわたってオゾンガスを濃
度を維持した状態で貯蔵することのできるオゾン貯蔵方
法を提供することを目的とする。
に使用しているシリカゲルには、不純物としてアルミニ
ウム、鉄、カルシウム、ナトリウム、マグネシウム、ジ
ルコニウム等が含有しており、その純度は９９.７％程
度であった。このため、シリカゲルにオゾンガスを吸着
させた状態で放置しておくとやはり自己分解が始まり、
オゾン濃度が低下していた。このため、シリカゲルに吸
着させた場合でもオゾンガスを濃度を維持した状態で貯
蔵することはできなかった。本発明はこのような点に着
目してなされたもので、取り扱いが比較的安全で、オゾ
ンの自己分解を抑制して長期にわたってオゾンガスを濃
度を維持した状態で貯蔵することのできるオゾン貯蔵方
法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、含有する不純物成分を
重量比率でアルミニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０
ｐｐｍ以下、鉄３０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ
以下、マグネシウム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００
ｐｐｍ以下、ジルコニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高
純度シリカゲルをオゾン貯蔵容器内に充填し、このシリ
カゲルを充填してなるオゾン貯蔵容器を冷却しながら、
オゾン発生器で発生させたオゾンガスをオゾン貯蔵容器
内に供給してオゾンガスをシリカゲルに吸着保持させ、
オゾン貯蔵容器を冷却した状態を維持するようにしたこ
とを特徴としている。
めに、請求項１に記載の発明は、含有する不純物成分を
重量比率でアルミニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０
ｐｐｍ以下、鉄３０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ
以下、マグネシウム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００
ｐｐｍ以下、ジルコニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高
純度シリカゲルをオゾン貯蔵容器内に充填し、このシリ
カゲルを充填してなるオゾン貯蔵容器を冷却しながら、
オゾン発生器で発生させたオゾンガスをオゾン貯蔵容器
内に供給してオゾンガスをシリカゲルに吸着保持させ、
オゾン貯蔵容器を冷却した状態を維持するようにしたこ
とを特徴としている。
【０００５】また、請求項２に記載した発明は、平均ポ
ア径を５０Å以下に設定したシリカゲルをオゾン貯蔵容
器内に充填し、このシリカゲルを充填してなるオゾン貯
蔵容器を冷却しながら、オゾン発生器で発生させたオゾ
ンガスをオゾン貯蔵容器内に供給してオゾンガスをシリ
カゲルに吸着保持させることを特徴としている。
ア径を５０Å以下に設定したシリカゲルをオゾン貯蔵容
器内に充填し、このシリカゲルを充填してなるオゾン貯
蔵容器を冷却しながら、オゾン発生器で発生させたオゾ
ンガスをオゾン貯蔵容器内に供給してオゾンガスをシリ
カゲルに吸着保持させることを特徴としている。
【０００６】
【作用】本発明では、含有する不純物成分を重量比率で
アルミニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐｍ以
下、鉄３０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以下、マ
グネシウム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐｐｍ以
下、ジルコニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純度シリ
カゲルをオゾン貯蔵容器内に充填し、この高純度シリカ
ゲルにオゾン発生器で発生したオゾンガスを吸着させて
オゾン貯蔵容器内に貯蔵し、このオゾン貯蔵容器を冷却
保持することにより、自己分解を抑制して長期間にわた
ってオゾンガスとして貯蔵しておくことが可能となる。
また、貯蔵容器に充填するシリカゲルの平均ポア径を５
０Åよりも細かく形成したものを使用することにより、
オゾンの選択吸着性が増大し、多量のオゾンを貯蔵する
ことができる。
アルミニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐｍ以
下、鉄３０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以下、マ
グネシウム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐｐｍ以
下、ジルコニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純度シリ
カゲルをオゾン貯蔵容器内に充填し、この高純度シリカ
ゲルにオゾン発生器で発生したオゾンガスを吸着させて
オゾン貯蔵容器内に貯蔵し、このオゾン貯蔵容器を冷却
保持することにより、自己分解を抑制して長期間にわた
ってオゾンガスとして貯蔵しておくことが可能となる。
また、貯蔵容器に充填するシリカゲルの平均ポア径を５
０Åよりも細かく形成したものを使用することにより、
オゾンの選択吸着性が増大し、多量のオゾンを貯蔵する
ことができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の態様を説明
する。図１はオゾン充填装置の概略図を示し、図中符号
(１)は内部に吸着剤としてのシリカゲル(２)を充填した
貯蔵容器であり、この貯蔵容器(１)は断熱箱で形成した
外箱(３)内に収納され、貯蔵容器(１)は外箱(３)内に貯
蔵した雪状ドライアイス(４)で冷却されている。
する。図１はオゾン充填装置の概略図を示し、図中符号
(１)は内部に吸着剤としてのシリカゲル(２)を充填した
貯蔵容器であり、この貯蔵容器(１)は断熱箱で形成した
外箱(３)内に収納され、貯蔵容器(１)は外箱(３)内に貯
蔵した雪状ドライアイス(４)で冷却されている。
【０００８】この貯蔵容器(１)には、オゾン供給路
(５)、オゾン導出路(６)及びリリーフ路(７)がそれぞれ
接続してあり、オゾン供給路(５)にはオゾン発生器
(９)、流量制御器(10)が順に配置してあり、酸素ボンベ
等の原料酸素供給源(11)から導出した酸素ガスをオゾン
発生器(９)でオゾン化してオゾン−酸素の混合ガスを形
成し、このオゾン−酸素混合ガスを流量制御器(10)で一
定流量に制御して貯蔵容器(１)に供給するようにしてあ
る。
(５)、オゾン導出路(６)及びリリーフ路(７)がそれぞれ
接続してあり、オゾン供給路(５)にはオゾン発生器
(９)、流量制御器(10)が順に配置してあり、酸素ボンベ
等の原料酸素供給源(11)から導出した酸素ガスをオゾン
発生器(９)でオゾン化してオゾン−酸素の混合ガスを形
成し、このオゾン−酸素混合ガスを流量制御器(10)で一
定流量に制御して貯蔵容器(１)に供給するようにしてあ
る。
【０００９】また、リリーフ路(７)はリリーフ弁(12)、
オゾン分解器(14)で構成されており、貯蔵容器(１)内の
圧力が設定圧力よりも上昇すると、リリーフ弁(12)が作
動して、貯蔵容器(１)内から排出されるオゾン−酸素混
合ガス中のオゾンガスをオゾン分解器(14)で分解させて
大気に放出するようになっている。図中符号(15)はオゾ
ン導出路(６)に配置した開閉弁、(16)は圧力指示器、(1
7)は温度指示器、(18)はヒータであり、開閉弁(15)は外
箱(３)内に配置されている。また、このオゾン導出路
(６)からオゾンモニター回路(19)が分岐導出してあり、
このオゾンモニター回路(19)には、オゾンモニター(20)
とオゾン分解器(21)が配置してある。
オゾン分解器(14)で構成されており、貯蔵容器(１)内の
圧力が設定圧力よりも上昇すると、リリーフ弁(12)が作
動して、貯蔵容器(１)内から排出されるオゾン−酸素混
合ガス中のオゾンガスをオゾン分解器(14)で分解させて
大気に放出するようになっている。図中符号(15)はオゾ
ン導出路(６)に配置した開閉弁、(16)は圧力指示器、(1
7)は温度指示器、(18)はヒータであり、開閉弁(15)は外
箱(３)内に配置されている。また、このオゾン導出路
(６)からオゾンモニター回路(19)が分岐導出してあり、
このオゾンモニター回路(19)には、オゾンモニター(20)
とオゾン分解器(21)が配置してある。
【００１０】貯蔵容器(１)に流入したオゾン−酸素混合
ガスは貯蔵容器(１)内に充填されているシリカゲル(２)
に作用して、混合ガス中のオゾン成分がシリカゲル(２)
に選択吸着される。このとき、残りの酸素ガス成分はオ
ゾン導出路(６)から排出される。
ガスは貯蔵容器(１)内に充填されているシリカゲル(２)
に作用して、混合ガス中のオゾン成分がシリカゲル(２)
に選択吸着される。このとき、残りの酸素ガス成分はオ
ゾン導出路(６)から排出される。
【００１１】なお、貯蔵容器(１)に充填するシリカゲル
(２)としては、一般に市販されている純度９９.７％の
シリカゲルから不純物を可能な限り除去して、含有する
不純物成分を重量比率でアルミニウム２.７ｐｐｍ、チ
タン０.９ｐｐｍ以下、鉄２.９ｐｐｍ、カルシウム０.
７ｐｐｍ以下、マグネシウム０.９ｐｐｍ以下、ナトリ
ウム３ｐｐｍ以下、ジルコニウム０.７ｐｐｍ以下に調
整することにより純度９９.９９％に調製して高純度シ
リカゲルとしたものを使用し、容器充填の前処理として
加熱することによりシリカゲルから水分を除去したのち
容器内に充填している。この高純度シリカゲルと一般に
市販されている純度９９.７％のシリカゲルとの不純物
成分とその含有比率を表１に示す。
(２)としては、一般に市販されている純度９９.７％の
シリカゲルから不純物を可能な限り除去して、含有する
不純物成分を重量比率でアルミニウム２.７ｐｐｍ、チ
タン０.９ｐｐｍ以下、鉄２.９ｐｐｍ、カルシウム０.
７ｐｐｍ以下、マグネシウム０.９ｐｐｍ以下、ナトリ
ウム３ｐｐｍ以下、ジルコニウム０.７ｐｐｍ以下に調
整することにより純度９９.９９％に調製して高純度シ
リカゲルとしたものを使用し、容器充填の前処理として
加熱することによりシリカゲルから水分を除去したのち
容器内に充填している。この高純度シリカゲルと一般に
市販されている純度９９.７％のシリカゲルとの不純物
成分とその含有比率を表１に示す。
【００１２】
【表１】
【００１３】また、一般シリカゲルと高純度シリカゲル
での温度に対するオゾン及び酸素のシリカゲル１００ｇ
当たりの吸着量変化を図２に示す。図２(ａ)はオゾンの
吸着量、図２(ｂ)は酸素の吸着量を示す。これによる
と、シリカゲルの純度はガス吸着量にあまり影響を及ぼ
さないことが分かる。
での温度に対するオゾン及び酸素のシリカゲル１００ｇ
当たりの吸着量変化を図２に示す。図２(ａ)はオゾンの
吸着量、図２(ｂ)は酸素の吸着量を示す。これによる
と、シリカゲルの純度はガス吸着量にあまり影響を及ぼ
さないことが分かる。
【００１４】
【実施例】ＳＵＳ３１６Ｌで形成した内容積１リットル
の貯蔵容器(１)内に前述した純度９９.９９％に調製し
た高純度シリカゲル(２)を７００ｇ充填し、その貯蔵容
器(１)をドライアイス(４)で冷却し、オゾン発生器(９)
で発生させたオゾンガス５.５vol％、酸素ガス９４.５v
ol％のオゾン−酸素混合ガスを大気圧で毎分２リッター
の流量で５時間流通させてオゾンを飽和吸着させた。そ
の後貯蔵容器(１)の出入り口弁を閉止し、ドライアイス
温度を保持したまま、時間経過に対する容器内の圧力変
化を求めた。また、含有する不純物成分を重量比率でア
ルミニウム４０ｐｐｍ、チタン２５０ｐｐｍ、鉄３０ｐ
ｐｍ、カルシウム４０ｐｐｍ、マグネシウム１０ｐｐ
ｍ、ナトリウム２００ｐｐｍ、ジルコニウム５０ｐｐｍ
に調整することにより純度９９.９４％に調製した高純
度シリカゲルを同量充填し、同じ条件で吸着処理したも
のの時間経過に対する容器内圧の変化を求めた。なお、
対比例として、一般に市販されている純度９９.７％の
シリカゲルを同量充填し、同じ条件で吸着処理したもの
の時間経過に対する容器内圧の変化を求めた。この３つ
の圧力変化を図３に示す。
の貯蔵容器(１)内に前述した純度９９.９９％に調製し
た高純度シリカゲル(２)を７００ｇ充填し、その貯蔵容
器(１)をドライアイス(４)で冷却し、オゾン発生器(９)
で発生させたオゾンガス５.５vol％、酸素ガス９４.５v
ol％のオゾン−酸素混合ガスを大気圧で毎分２リッター
の流量で５時間流通させてオゾンを飽和吸着させた。そ
の後貯蔵容器(１)の出入り口弁を閉止し、ドライアイス
温度を保持したまま、時間経過に対する容器内の圧力変
化を求めた。また、含有する不純物成分を重量比率でア
ルミニウム４０ｐｐｍ、チタン２５０ｐｐｍ、鉄３０ｐ
ｐｍ、カルシウム４０ｐｐｍ、マグネシウム１０ｐｐ
ｍ、ナトリウム２００ｐｐｍ、ジルコニウム５０ｐｐｍ
に調整することにより純度９９.９４％に調製した高純
度シリカゲルを同量充填し、同じ条件で吸着処理したも
のの時間経過に対する容器内圧の変化を求めた。なお、
対比例として、一般に市販されている純度９９.７％の
シリカゲルを同量充填し、同じ条件で吸着処理したもの
の時間経過に対する容器内圧の変化を求めた。この３つ
の圧力変化を図３に示す。
【００１５】図３からわかるように、純度９９.７％の
一般品シリカゲル(対比例)の場合、バルブ閉止直後から
時間の経過とともに容器内圧が直線的に上昇しているの
に対し、９９.９９％に調製した高純度シリカゲルで
は、バルブ閉止直後より徐々に圧力が低下し、６１０To
rrでほぼ一定になった。一般品シリカゲル(対比例)にお
いて容器内圧が上昇しているのはシリカゲル中の不純物
成分の影響で、吸着しているオゾンの自己分解が促進さ
れ、酸素に転化しているためと考えられる。一方、高純
度シリカゲルの場合に見られる容器内圧力の低下は、封
入されたガス及びシリカゲルの温度低下に起因した体積
収縮と吸着量の増加によるものと考えられる。また、純
度を９９.９４％に調整した高純度シリカゲルの場合に
は、バルブ閉止直後よりほぼ一定の圧力を維持している
ことから、オゾンは僅かには分解しているが、オゾンガ
スとして長時間保持されることが分かる。この結果、シ
リカゲルの純度はオゾンの自己分解に大きく影響してい
る。
一般品シリカゲル(対比例)の場合、バルブ閉止直後から
時間の経過とともに容器内圧が直線的に上昇しているの
に対し、９９.９９％に調製した高純度シリカゲルで
は、バルブ閉止直後より徐々に圧力が低下し、６１０To
rrでほぼ一定になった。一般品シリカゲル(対比例)にお
いて容器内圧が上昇しているのはシリカゲル中の不純物
成分の影響で、吸着しているオゾンの自己分解が促進さ
れ、酸素に転化しているためと考えられる。一方、高純
度シリカゲルの場合に見られる容器内圧力の低下は、封
入されたガス及びシリカゲルの温度低下に起因した体積
収縮と吸着量の増加によるものと考えられる。また、純
度を９９.９４％に調整した高純度シリカゲルの場合に
は、バルブ閉止直後よりほぼ一定の圧力を維持している
ことから、オゾンは僅かには分解しているが、オゾンガ
スとして長時間保持されることが分かる。この結果、シ
リカゲルの純度はオゾンの自己分解に大きく影響してい
る。
【００１６】次に、貯蔵容器(１)に充填する高純度シリ
カゲルのポア径と吸着量との関係を求めるために、平均
ポア径２１Åのもの、平均ポア径７０Åのもの、平均ポ
ア径１４９Åのものを作成し、それぞれの１００ｇ当た
りでのオゾン吸着量と酸素吸着量を測定した。その結果
を図４に示す。これによると、ポア径は小さいほどオゾ
ンの選択吸着性に優れることが分かる。
カゲルのポア径と吸着量との関係を求めるために、平均
ポア径２１Åのもの、平均ポア径７０Åのもの、平均ポ
ア径１４９Åのものを作成し、それぞれの１００ｇ当た
りでのオゾン吸着量と酸素吸着量を測定した。その結果
を図４に示す。これによると、ポア径は小さいほどオゾ
ンの選択吸着性に優れることが分かる。
【００１７】以上の結果、貯蔵容器(１)内に充填するシ
リカゲルの純度は高いほど貯蔵容器(１)内でのオゾンの
自己分解を抑制することができるが、純度９９.９４％
程度あればオゾンの自己分解を抑制する効果を期待する
ことができる。
リカゲルの純度は高いほど貯蔵容器(１)内でのオゾンの
自己分解を抑制することができるが、純度９９.９４％
程度あればオゾンの自己分解を抑制する効果を期待する
ことができる。
【００１８】また、図４から分かるようにシリカゲルは
その平均ポア径が小さいほど、吸着量が増すが、これ
は、ポア内のシリカゲル表面とオゾン分子とが結びつく
ためで、通常３〜５分子層の厚さまでは壁面との結び付
きがあるが、それ以上の分子層では、分子間吸着の状態
となり、吸着力が低下する。このため、シリカゲルの平
均ポア径はオゾン分子径である５Åの１０倍程度に設定
しておくと、ポア内に１０層程度のオゾン分子層が形成
されるが、これは、５層ずつのオゾン分子がポア内周面
と結び付く状態となり大きな吸着力を保持することがで
きる。なお、このポア径は好ましくは２０Å程度が望ま
しい。
その平均ポア径が小さいほど、吸着量が増すが、これ
は、ポア内のシリカゲル表面とオゾン分子とが結びつく
ためで、通常３〜５分子層の厚さまでは壁面との結び付
きがあるが、それ以上の分子層では、分子間吸着の状態
となり、吸着力が低下する。このため、シリカゲルの平
均ポア径はオゾン分子径である５Åの１０倍程度に設定
しておくと、ポア内に１０層程度のオゾン分子層が形成
されるが、これは、５層ずつのオゾン分子がポア内周面
と結び付く状態となり大きな吸着力を保持することがで
きる。なお、このポア径は好ましくは２０Å程度が望ま
しい。
【００１９】
【発明の効果】本発明では、含有する不純物成分を重量
比率でアルミニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐ
ｍ以下、鉄３０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以
下、マグネシウム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐ
ｐｍ以下、ジルコニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純
度シリカゲルを充填し、高純度シリカゲルを充填してな
るオゾン貯蔵容器をドライアイス温度に冷却しながらオ
ゾン発生器で発生させたオゾンガスを供給して、オゾン
ガスを高純度シリカゲルに吸着保持させるようにしてい
るので、オゾン貯蔵容器内でのオゾンの自己分解を抑制
して、オゾンの状態で貯蔵保管することができる。
比率でアルミニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐ
ｍ以下、鉄３０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以
下、マグネシウム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐ
ｐｍ以下、ジルコニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純
度シリカゲルを充填し、高純度シリカゲルを充填してな
るオゾン貯蔵容器をドライアイス温度に冷却しながらオ
ゾン発生器で発生させたオゾンガスを供給して、オゾン
ガスを高純度シリカゲルに吸着保持させるようにしてい
るので、オゾン貯蔵容器内でのオゾンの自己分解を抑制
して、オゾンの状態で貯蔵保管することができる。
【００２０】また、オゾン貯蔵容器内に充填するシリカ
ゲルの平均ポア径を５０Å以下に設定したものを使用す
ると、シリカゲルでのオゾン選択吸着性が向上すること
から吸着量が増大して、オゾンの貯蔵量を増加させるこ
とができる。
ゲルの平均ポア径を５０Å以下に設定したものを使用す
ると、シリカゲルでのオゾン選択吸着性が向上すること
から吸着量が増大して、オゾンの貯蔵量を増加させるこ
とができる。
【図１】オゾン充填装置の概略図である。
【図２】シリカゲルでの温度に対する吸着量の変化を示
す図であり、図２(ａ)はオゾンの吸着量、図２(ｂ)は酸
素の吸着量をそれぞれ示す。
す図であり、図２(ａ)はオゾンの吸着量、図２(ｂ)は酸
素の吸着量をそれぞれ示す。
【図３】時間経過に伴うオゾン貯蔵容器内の圧力変化を
示す図である。
示す図である。
【図４】シリカゲルのポア径によるオゾンガス吸着量の
変化を示す図である。
変化を示す図である。
１…オゾン貯蔵容器、２…シリカゲル、３…外箱、４…
ドライアイス、９…オゾン発生器。
ドライアイス、９…オゾン発生器。
Claims (2)
- 【請求項１】 含有する不純物成分を重量比率でアルミ
ニウム４０ｐｐｍ以下、チタン２５０ｐｐｍ以下、鉄３
０ｐｐｍ以下、カルシウム４０ｐｐｍ以下、マグネシウ
ム１０ｐｐｍ以下、ナトリウム２００ｐｐｍ以下、ジル
コニウム５０ｐｐｍ以下に調製した高純度シリカゲルを
オゾン貯蔵容器内に充填し、この高純度シリカゲルを充
填してなるオゾン貯蔵容器を冷却しながら、オゾン発生
器で発生させたオゾンガスをオゾン貯蔵容器内に供給し
てオゾンガスを高純度シリカゲルに吸着保持させるオゾ
ンガスの貯蔵方法。 - 【請求項２】 平均ポア径を５０Å以下に設定したシリ
カゲルをオゾン貯蔵容器内に充填し、このシリカゲルを
充填してなるオゾン貯蔵容器を冷却しながら、オゾン発
生器で発生させたオゾンガスをオゾン貯蔵容器内に供給
してオゾンガスをシリカゲルに吸着保持させるオゾンガ
スの貯蔵方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP439297A JPH10196890A (ja) | 1997-01-14 | 1997-01-14 | オゾンガスの貯蔵方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP439297A JPH10196890A (ja) | 1997-01-14 | 1997-01-14 | オゾンガスの貯蔵方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10196890A true JPH10196890A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11583091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP439297A Pending JPH10196890A (ja) | 1997-01-14 | 1997-01-14 | オゾンガスの貯蔵方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10196890A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1176118A1 (en) * | 2000-07-27 | 2002-01-30 | The Kansai Electric Power Co., Inc. | Ozone storing method and ozone extracting method |
| JP4508311B2 (ja) * | 1999-05-26 | 2010-07-21 | 栗田工業株式会社 | オゾン濃度の調整方法 |
| CN107355674A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-11-17 | 惠州市美亚飞电器有限公司 | 一种增加氧气储存量的氧气罐及其方法 |
-
1997
- 1997-01-14 JP JP439297A patent/JPH10196890A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4508311B2 (ja) * | 1999-05-26 | 2010-07-21 | 栗田工業株式会社 | オゾン濃度の調整方法 |
| EP1176118A1 (en) * | 2000-07-27 | 2002-01-30 | The Kansai Electric Power Co., Inc. | Ozone storing method and ozone extracting method |
| JP2002037610A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾンの貯蔵方法および取出方法 |
| CN107355674A (zh) * | 2017-08-03 | 2017-11-17 | 惠州市美亚飞电器有限公司 | 一种增加氧气储存量的氧气罐及其方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW448072B (en) | Methods of removing carbon dioxide from gas stream and separating air | |
| US5985008A (en) | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium | |
| JP2002508056A (ja) | 酸素富化水クーラー | |
| US6344130B1 (en) | Method for continuously generating highly concentrated ozone gas | |
| JPH10196890A (ja) | オゾンガスの貯蔵方法 | |
| Puri et al. | The sorption of water vapor by charcoal as influenced by surface oxygen complexes | |
| JP3038353B2 (ja) | オゾンの保存方法 | |
| Koike et al. | High-concentration ozone generator for oxidation of silicon operating at atmospheric pressure | |
| EP0277843B1 (en) | Ozone adsorbing and decomposing agent and method of using same | |
| JP3825854B2 (ja) | オゾンガスの濃縮方法 | |
| JPH10196893A (ja) | オゾンの取出方法 | |
| CA2198653A1 (en) | Electric energy converting/storing method and system therefor | |
| JP3806590B2 (ja) | 高濃度オゾンガスの定圧供給方法 | |
| US3514963A (en) | Handling and storage of ozone | |
| JP6941424B2 (ja) | モノメチルヒドラジンガスの精製方法 | |
| JPS57188406A (en) | Intermittently feeding apparatus for ozone | |
| JP3634890B2 (ja) | 置換ヒドラジンガスの精製方法 | |
| JP2013194005A (ja) | 溶解アセチレンの精製方法及び装置 | |
| JP3701708B2 (ja) | 三ふっ化窒素ガスの精製方法 | |
| JPS59162122A (ja) | 四弗化ケイ素の精製法 | |
| JPH02144114A (ja) | 水素化物ガスの精製方法 | |
| JPS6278116A (ja) | アルシンの精製方法 | |
| US20200306723A1 (en) | Storage material and method for chlorine storage | |
| JPS6032316A (ja) | 半導体工業におけるｎ↓２シ−ル作業場の雰囲気調整方法 | |
| JPH0468291B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040106 |