JPH10181878A - 基板搬送用フィンガ - Google Patents
基板搬送用フィンガInfo
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- JPH10181878A JPH10181878A JP34844096A JP34844096A JPH10181878A JP H10181878 A JPH10181878 A JP H10181878A JP 34844096 A JP34844096 A JP 34844096A JP 34844096 A JP34844096 A JP 34844096A JP H10181878 A JPH10181878 A JP H10181878A
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- finger
- substrate
- mounting portion
- mounting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】軽量化を図りつつ、全体の強度及び取付部の強
度の低下を防止した基板搬送用フィンガを提供する。 【解決手段】水平に片持ちされた状態で基板を載せて搬
送するための基板搬送用フィンガであって、ハニカムコ
ア１３とハニカムコア１３を上下から挟み込む上下２枚
の平板１１,１２とから平板状に構成されたフィンガ本
体１と、フィンガ本体１上に配置され基板を支持するた
めの支持部材２と、フィンガ本体１内に固定され、支持
部材２をフィンガ本体１に取り付けるための第１の取付
部１５であって、中実状の部材から構成される第１の取
付部１５とを具備する。
度の低下を防止した基板搬送用フィンガを提供する。 【解決手段】水平に片持ちされた状態で基板を載せて搬
送するための基板搬送用フィンガであって、ハニカムコ
ア１３とハニカムコア１３を上下から挟み込む上下２枚
の平板１１,１２とから平板状に構成されたフィンガ本
体１と、フィンガ本体１上に配置され基板を支持するた
めの支持部材２と、フィンガ本体１内に固定され、支持
部材２をフィンガ本体１に取り付けるための第１の取付
部１５であって、中実状の部材から構成される第１の取
付部１５とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用の
ガラス基板等を搬送するための基板搬送用フィンガに関
するものである。
ガラス基板等を搬送するための基板搬送用フィンガに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板搬送用フィンガとして
は、例えば実開平５−１２３７号公報に開示されている
ものが知られている。
は、例えば実開平５−１２３７号公報に開示されている
ものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この実
開平５−１２３７号に開示されているフィンガは、フィ
ンガの断面形状がロボット固定部側から先端部側まで同
一であるので、大型ガラス基板に対応するためにフィン
ガを大型化すると、フィンガの重量が増加するという問
題点がある。これを解決するためには、アルミニウム等
の軽量材料を使用することが考えられるが、このような
軽量材料を使用すると、フィンガの剛性が低下し、たわ
み量が増えたり、搬送中に振動を発生したりする問題が
発生する。
開平５−１２３７号に開示されているフィンガは、フィ
ンガの断面形状がロボット固定部側から先端部側まで同
一であるので、大型ガラス基板に対応するためにフィン
ガを大型化すると、フィンガの重量が増加するという問
題点がある。これを解決するためには、アルミニウム等
の軽量材料を使用することが考えられるが、このような
軽量材料を使用すると、フィンガの剛性が低下し、たわ
み量が増えたり、搬送中に振動を発生したりする問題が
発生する。
【０００４】特に、最近では、ガラス基板収納用のカセ
ットの収納効率を上げるためにガラス基板の収納ピッチ
を小さくする傾向にあるが、このとき、フィンガの剛性
が小さいと、ガラス基板を把持したとき、フィンガ自体
のたわみによってガラス基板のカセットへの収納が不可
能になってしまう場合がある。
ットの収納効率を上げるためにガラス基板の収納ピッチ
を小さくする傾向にあるが、このとき、フィンガの剛性
が小さいと、ガラス基板を把持したとき、フィンガ自体
のたわみによってガラス基板のカセットへの収納が不可
能になってしまう場合がある。
【０００５】一方、特開平５−１２３９８４号公報や、
特開平６−１９０７６２号公報に開示されているよう
に、ロボットの構造部材やフィンガにハニカム構造体を
使用したものが知られている。
特開平６−１９０７６２号公報に開示されているよう
に、ロボットの構造部材やフィンガにハニカム構造体を
使用したものが知られている。
【０００６】特開平５−１２３９８４号では、ロボット
の構造部材として、ハニカム構造体を使用することを開
示しているが、たとえば、ツーリングで必須な空気回路
の処理までは考えられていない。
の構造部材として、ハニカム構造体を使用することを開
示しているが、たとえば、ツーリングで必須な空気回路
の処理までは考えられていない。
【０００７】特開平６−１９０７６２号に開示されてい
るものは、熱軟化したガラスシートを真空吸着するハン
ドであって、ハニカム構造体は、ハニカムコア自体が吸
着流路として使用され、さらに熱せられたガラスからの
熱損失を最小にするために役立てられている。
るものは、熱軟化したガラスシートを真空吸着するハン
ドであって、ハニカム構造体は、ハニカムコア自体が吸
着流路として使用され、さらに熱せられたガラスからの
熱損失を最小にするために役立てられている。
【０００８】ハニカム構造体は、中空のコアと上下の薄
い表面板から構成されているため、軽量化に適している
が、その一方で、フィンガ等に使用した場合、ロボット
との取付部の強度が弱く、表面板が薄いため、ボルト締
めするとハニカムが座屈してしまう。また、フィンガ本
体にガラス基板の支持部材をボルト締めしようとすると
表面板が薄いためねじ切れてしまう。
い表面板から構成されているため、軽量化に適している
が、その一方で、フィンガ等に使用した場合、ロボット
との取付部の強度が弱く、表面板が薄いため、ボルト締
めするとハニカムが座屈してしまう。また、フィンガ本
体にガラス基板の支持部材をボルト締めしようとすると
表面板が薄いためねじ切れてしまう。
【０００９】また、基板支持部材相互の高さの公差はあ
る程度おさえられていないと、ガラス基板を搬送中にガ
ラス基板が振動（びびり）して、製品に悪影響を与え
る。そのため、基板支持部材の取付面は、高さを揃える
ために機械加工で仕上げることが望ましいが、表面板が
薄いと機械加工は難しい。
る程度おさえられていないと、ガラス基板を搬送中にガ
ラス基板が振動（びびり）して、製品に悪影響を与え
る。そのため、基板支持部材の取付面は、高さを揃える
ために機械加工で仕上げることが望ましいが、表面板が
薄いと機械加工は難しい。
【００１０】従って、本発明は、上述した課題に鑑みて
なされたものであり、その目的とするところは、軽量化
を図りつつ、全体の強度及び取付部の強度の低下を防止
した基板搬送用フィンガを提供することにある。
なされたものであり、その目的とするところは、軽量化
を図りつつ、全体の強度及び取付部の強度の低下を防止
した基板搬送用フィンガを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用フィ
ンガは、水平に片持ちされた状態で基板を載せて搬送す
るための基板搬送用フィンガであって、ハニカムコアと
該ハニカムコアを上下から挟み込む上下２枚の平板とか
ら平板状に構成されたフィンガ本体と、該フィンガ本体
上に配置され前記基板を支持するための支持部材と、前
記フィンガ本体内に固定され、前記支持部材を前記フィ
ンガ本体に取り付けるための第１の取付部であって、中
実状の部材から構成される第１の取付部とを具備するこ
とを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わる基板搬送用フィ
ンガは、水平に片持ちされた状態で基板を載せて搬送す
るための基板搬送用フィンガであって、ハニカムコアと
該ハニカムコアを上下から挟み込む上下２枚の平板とか
ら平板状に構成されたフィンガ本体と、該フィンガ本体
上に配置され前記基板を支持するための支持部材と、前
記フィンガ本体内に固定され、前記支持部材を前記フィ
ンガ本体に取り付けるための第１の取付部であって、中
実状の部材から構成される第１の取付部とを具備するこ
とを特徴としている。
【００１２】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記第１の取り付け部には、前記支持部材
を取り付けるためのネジ穴が形成されていることを特徴
としている。
ガにおいて、前記第１の取り付け部には、前記支持部材
を取り付けるためのネジ穴が形成されていることを特徴
としている。
【００１３】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガ本体内に固定され、該フィン
ガ本体を前記フィンガを操作するロボットに取り付ける
ための第２の取付部であって、中実状の部材から構成さ
れる第２の取付部を更に具備することを特徴としてい
る。
ガにおいて、前記フィンガ本体内に固定され、該フィン
ガ本体を前記フィンガを操作するロボットに取り付ける
ための第２の取付部であって、中実状の部材から構成さ
れる第２の取付部を更に具備することを特徴としてい
る。
【００１４】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記第２の取り付け部には、前記フィンガ
本体を前記ロボットに取り付けるボルトを通すための穴
が形成されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記第２の取り付け部には、前記フィンガ
本体を前記ロボットに取り付けるボルトを通すための穴
が形成されていることを特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガ本体に前記基板を吸着させる
ための吸着パッドを更に具備することを特徴としてい
る。
ガにおいて、前記フィンガ本体に前記基板を吸着させる
ための吸着パッドを更に具備することを特徴としてい
る。
【００１６】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガ本体内に固定され、前記吸着
パッドを前記フィンガ本体に取り付けるための第３の取
付部であって、中実状の部材から構成される第３の取付
部を更に具備することを特徴としている。
ガにおいて、前記フィンガ本体内に固定され、前記吸着
パッドを前記フィンガ本体に取り付けるための第３の取
付部であって、中実状の部材から構成される第３の取付
部を更に具備することを特徴としている。
【００１７】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記第３の取付部には、前記吸着パッドを
取り付けるためのネジ穴が形成されていることを特徴と
している。
ガにおいて、前記第３の取付部には、前記吸着パッドを
取り付けるためのネジ穴が形成されていることを特徴と
している。
【００１８】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガ本体内に配置され前記吸着パ
ッドから空気を吸引するための空気通路を更に具備する
ことを特徴としている。
ガにおいて、前記フィンガ本体内に配置され前記吸着パ
ッドから空気を吸引するための空気通路を更に具備する
ことを特徴としている。
【００１９】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記空気通路は、前記フィンガ本体の長手
方向に沿って配置された溝状部材と、前記ハニカムコア
を挟み込む平板とから構成されることを特徴としてい
る。
ガにおいて、前記空気通路は、前記フィンガ本体の長手
方向に沿って配置された溝状部材と、前記ハニカムコア
を挟み込む平板とから構成されることを特徴としてい
る。
【００２０】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガ本体は、平面視羽子板状に形
成されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記フィンガ本体は、平面視羽子板状に形
成されていることを特徴としている。
【００２１】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記フィンガ本体は、平面視フォーク状に
形成されていることを特徴としている。
ガにおいて、前記フィンガ本体は、平面視フォーク状に
形成されていることを特徴としている。
【００２２】また、この発明に係わる基板搬送用フィン
ガにおいて、前記基板は、ガラス基板であることを特徴
としている。
ガにおいて、前記基板は、ガラス基板であることを特徴
としている。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】図１は本発明の一実施形態に係わる基板搬
送用フィンガのフィンガ本体を上部から見た斜視図であ
る。
送用フィンガのフィンガ本体を上部から見た斜視図であ
る。
【００２５】図２（ａ）,（ｂ）はフィンガ本体を構成
するハニカム構造体を示した平面図と側断面図、図３、
図４は図１のフィンガ本体のＡ−Ａ，Ｂ−Ｂにおける断
面図、図５（ａ）,（ｂ）はガラス基板吸着用パッドの
拡大図と、フィンガ本体側の取付部を示す図、図６
（ａ）,（ｂ）はガラス基板支持部材の拡大図とフィン
ガ本体側の取付部を示す図、図７（ａ）,（ｂ）はフィ
ンガをロボットに取り付けるための取付穴の拡大図と、
取付穴の断面図、図８（ａ）,（ｂ）はガラス基板吸着
用エア吸引用穴の拡大図と断面図、図９は図１のフィン
ガをロボットに装着した様子を示す図、図１０は図１の
フィンガにおけるガラス基板の支持位置を示す図、図１
１及び図１２は本発明の他の実施形態を示す図である。
するハニカム構造体を示した平面図と側断面図、図３、
図４は図１のフィンガ本体のＡ−Ａ，Ｂ−Ｂにおける断
面図、図５（ａ）,（ｂ）はガラス基板吸着用パッドの
拡大図と、フィンガ本体側の取付部を示す図、図６
（ａ）,（ｂ）はガラス基板支持部材の拡大図とフィン
ガ本体側の取付部を示す図、図７（ａ）,（ｂ）はフィ
ンガをロボットに取り付けるための取付穴の拡大図と、
取付穴の断面図、図８（ａ）,（ｂ）はガラス基板吸着
用エア吸引用穴の拡大図と断面図、図９は図１のフィン
ガをロボットに装着した様子を示す図、図１０は図１の
フィンガにおけるガラス基板の支持位置を示す図、図１
１及び図１２は本発明の他の実施形態を示す図である。
【００２６】図１に示すように、フィンガ本体１には、
複数のガラス基板支持部材２と、ガラス基板を吸着する
ための吸着穴４と、複数のガラス基板吸着用パッド３
と、吸着エア回路５と、吸着エア吸引穴６と、フィンガ
本体１をロボット１０１に固定するための複数のフィン
ガ固定穴７とが備えられている。
複数のガラス基板支持部材２と、ガラス基板を吸着する
ための吸着穴４と、複数のガラス基板吸着用パッド３
と、吸着エア回路５と、吸着エア吸引穴６と、フィンガ
本体１をロボット１０１に固定するための複数のフィン
ガ固定穴７とが備えられている。
【００２７】図２に示すように、フィンガ本体１はハニ
カム状のコア１３を上下２枚の薄板状の表面板１１，１
３によってサンドイッチした形状となっている。ハニカ
ム状のコア１３と表面板１１,１２とは接着剤等で固定
されている。
カム状のコア１３を上下２枚の薄板状の表面板１１，１
３によってサンドイッチした形状となっている。ハニカ
ム状のコア１３と表面板１１,１２とは接着剤等で固定
されている。
【００２８】このような構造のフィンガ本体１は、次の
ような特徴を持つ。 （１）ハニカムコアは中空であるため非常に軽い。 （２）剛性は上下２枚の表面板の距離で決まる。 （３）同一厚の中実材に比べ軽量でかつ剛性が保たれ
る。
ような特徴を持つ。 （１）ハニカムコアは中空であるため非常に軽い。 （２）剛性は上下２枚の表面板の距離で決まる。 （３）同一厚の中実材に比べ軽量でかつ剛性が保たれ
る。
【００２９】また、図２（ｂ）に示すように、フィンガ
側面部はエポキシパテ１４等によってハニカムコア１３
の側面が直接露出しない構造となっている。これは、外
観上の見ばえもあるが、本フィンガはクリーン環境で使
われるものであるため、複雑なハニカムコアの切断面部
にゴミがたまるのを防ぐためである。
側面部はエポキシパテ１４等によってハニカムコア１３
の側面が直接露出しない構造となっている。これは、外
観上の見ばえもあるが、本フィンガはクリーン環境で使
われるものであるため、複雑なハニカムコアの切断面部
にゴミがたまるのを防ぐためである。
【００３０】図３は、図１における、Ａ−Ａ断面を示し
た図である。本フィンガは、ハニカムコア１３を薄板１
１,１２でサンドイッチしているためフィンガに別部材
（たとえば吸着パッド）をボルトで固定しようとすると
強度が保てない。そこで、支持部材や吸着パッドを固定
する部分は、あらかじめハニカム構造体以外のブロック
状の部材１５，１６を入れ込んでおき、このブロック部
材にタップ穴２５，２６をあけボルト２１，２２で固定
する。
た図である。本フィンガは、ハニカムコア１３を薄板１
１,１２でサンドイッチしているためフィンガに別部材
（たとえば吸着パッド）をボルトで固定しようとすると
強度が保てない。そこで、支持部材や吸着パッドを固定
する部分は、あらかじめハニカム構造体以外のブロック
状の部材１５，１６を入れ込んでおき、このブロック部
材にタップ穴２５，２６をあけボルト２１，２２で固定
する。
【００３１】これは、複数の支持部材２や、複数の吸着
パッド３の上面公差をある範囲におさえようとすると、
フィンガ本体１のソリを少なくしたり、支持部材２（ガ
ラス基板を点で支持するため、接触部が球状になってい
る）や、吸着パッド３の製作精度を高めなければならな
い。そのため、ブロック部材を埋め込んでおき、その部
分のみ後から機械加工できると、精度が出し易い。
パッド３の上面公差をある範囲におさえようとすると、
フィンガ本体１のソリを少なくしたり、支持部材２（ガ
ラス基板を点で支持するため、接触部が球状になってい
る）や、吸着パッド３の製作精度を高めなければならな
い。そのため、ブロック部材を埋め込んでおき、その部
分のみ後から機械加工できると、精度が出し易い。
【００３２】また、ボルト固定することから、スペーサ
２３，２４による高さの微調整がやり易い。もちろん、
精度がそれほど必要でなければ、ハニカム表面板１１,
１２の上に支持部材２や吸着パット３を直接接着剤で貼
ってもよい。
２３，２４による高さの微調整がやり易い。もちろん、
精度がそれほど必要でなければ、ハニカム表面板１１,
１２の上に支持部材２や吸着パット３を直接接着剤で貼
ってもよい。
【００３３】フィンガ本体１の中央部には、図１に示す
ように長手方向に沿ってガラス基板を吸着するための吸
着エアーを吸引する吸着エアー回路５が形成されてい
る。この回路は、フィンガ本体１の先端の吸着パッド３
から吸着エアー吸引穴６まで延びている。また、ハニカ
ムの構造を上手く利用するため、溝形構造体１７から構
成されている（コアをつぶさず、エアーをリークさせな
い）。もちろん、ハニカムコア１３に直接ロングドリル
等で丸穴をあけるか、中空パイプを通してエアー回路と
しても良い。
ように長手方向に沿ってガラス基板を吸着するための吸
着エアーを吸引する吸着エアー回路５が形成されてい
る。この回路は、フィンガ本体１の先端の吸着パッド３
から吸着エアー吸引穴６まで延びている。また、ハニカ
ムの構造を上手く利用するため、溝形構造体１７から構
成されている（コアをつぶさず、エアーをリークさせな
い）。もちろん、ハニカムコア１３に直接ロングドリル
等で丸穴をあけるか、中空パイプを通してエアー回路と
しても良い。
【００３４】図４は、図１におけるＢ−Ｂ断面図であ
り、上記の溝形構造体１７の上端は、表面板１２の裏面
にエアーのリーク防止のためしっかりと接着固定されて
いる。
り、上記の溝形構造体１７の上端は、表面板１２の裏面
にエアーのリーク防止のためしっかりと接着固定されて
いる。
【００３５】図５は、複数ある吸着パッド３の１つを拡
大して示した図である。吸着パッド３は吸着エアー回路
５にエアーを導くため、リング状になっている。吸着パ
ッド３の上面はガラス基板と直接接するため、また吸着
エアーのリークを防止するため、吸着面より一段低いと
ころに固定用ネジ穴があけられている。もちろん吸着機
能を満足すれば、図５のようなリング形状でなくてもよ
い。
大して示した図である。吸着パッド３は吸着エアー回路
５にエアーを導くため、リング状になっている。吸着パ
ッド３の上面はガラス基板と直接接するため、また吸着
エアーのリークを防止するため、吸着面より一段低いと
ころに固定用ネジ穴があけられている。もちろん吸着機
能を満足すれば、図５のようなリング形状でなくてもよ
い。
【００３６】吸着パッド３を固定する固定ブロック１６
は円形であり、固定ブロック１６をさけるようにハニカ
ムコア１３が構成されている。さらに、固定ブロック１
６の中央を吸着エアー回路５が通っている。溝形構造体
１７には、吸着パッド３から吸着エアーを吸引するため
の穴１８があけられている。
は円形であり、固定ブロック１６をさけるようにハニカ
ムコア１３が構成されている。さらに、固定ブロック１
６の中央を吸着エアー回路５が通っている。溝形構造体
１７には、吸着パッド３から吸着エアーを吸引するため
の穴１８があけられている。
【００３７】図６は、複数ある支持部材２の１つを拡大
して示した図である。
して示した図である。
【００３８】支持部材２は、ガラス基板と点接触するよ
うに、その接触部は中高で球面となっている。固定ブロ
ック１５は矩形であり、固定ブロックをさけるようにハ
ニカムコア１３が構成されている。
うに、その接触部は中高で球面となっている。固定ブロ
ック１５は矩形であり、固定ブロックをさけるようにハ
ニカムコア１３が構成されている。
【００３９】図７は、フィンガをロボットに固定する穴
の１つを拡大して示した図である。フィンガは、ロボッ
トにしっかりと固定されなければならないので、ハニカ
ムコア１３が座屈しないようにリング状部材２７をはさ
み込んでいる。このリング状部材２７をさけるようにハ
ニカムコア１３が構成されている。
の１つを拡大して示した図である。フィンガは、ロボッ
トにしっかりと固定されなければならないので、ハニカ
ムコア１３が座屈しないようにリング状部材２７をはさ
み込んでいる。このリング状部材２７をさけるようにハ
ニカムコア１３が構成されている。
【００４０】図８は、吸着エアーの吸引穴６を示してお
り、溝形の吸着エアー回路５と接続されている。図示し
ないが、この吸引穴６へのバキュームポンプ等の真空源
の接続は、一般的なエアー回路（継手、エアーチューブ
等）を介して行われる。溝形の吸着エアー回路５はここ
で途切れ、エアーのリーク防止のためエンドフタ１９が
取り付けられている。他方も同一構造のフタが取り付け
られていることは言うまでもない。
り、溝形の吸着エアー回路５と接続されている。図示し
ないが、この吸引穴６へのバキュームポンプ等の真空源
の接続は、一般的なエアー回路（継手、エアーチューブ
等）を介して行われる。溝形の吸着エアー回路５はここ
で途切れ、エアーのリーク防止のためエンドフタ１９が
取り付けられている。他方も同一構造のフタが取り付け
られていることは言うまでもない。
【００４１】以上のように構成されたフィンガは、図９
のようにロボット１０１（詳細は図示せず）に固定さ
れ、例えば、カセット１０２にガラス基板１０３を収納
したり逆にカセット１０２からガラス基板１０４を取り
出したりする。基板支持部材２の位置は、図１０に示す
ように基板の寸法をＰ×Ｑ、基板支持部材２の各辺から
の距離をｐ，ｑとすると、公知のとおり、 ｐ1＝０．２１Ｐ，ｑ1＝０．２１Ｑ …（１） となる位置に概略決定すると基板１０４のたわみ量が最
小となる。
のようにロボット１０１（詳細は図示せず）に固定さ
れ、例えば、カセット１０２にガラス基板１０３を収納
したり逆にカセット１０２からガラス基板１０４を取り
出したりする。基板支持部材２の位置は、図１０に示す
ように基板の寸法をＰ×Ｑ、基板支持部材２の各辺から
の距離をｐ，ｑとすると、公知のとおり、 ｐ1＝０．２１Ｐ，ｑ1＝０．２１Ｑ …（１） となる位置に概略決定すると基板１０４のたわみ量が最
小となる。
【００４２】ところで、本実施形態では、フィンガ本体
１の形状を羽子板状の構造としているが、さらにフィン
ガ本体を軽量化するため、図１１のような形状としても
よい。また基板支持部材２に基板吸着用パット３が一体
に形成されていてもよい。更に、図１２のようなフォー
ク形としても良い。
１の形状を羽子板状の構造としているが、さらにフィン
ガ本体を軽量化するため、図１１のような形状としても
よい。また基板支持部材２に基板吸着用パット３が一体
に形成されていてもよい。更に、図１２のようなフォー
ク形としても良い。
【００４３】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば以
下のような効果が得られる。 （１）フィンガ本体を軽量化しつつ、ガラス基板支持部
材を確実に精度良く固定できる。 （２）ロボットへの固定が確実に行える。 （３）ガラス基板吸着部材を確実に精度良く固定でき
る。 （４）製作が容易（従来の材料だと軽量化のため、各部
分をぬいたりしたが、ハニカムは軽量なので、フィンガ
本体の形状を単純にできる）。 （５）大型のガラス基板であっても、フィンガ本体の剛
性を保つため、厚くすることなく、大型ガラス基板を確
実に搬送できる。もちろん従来のガラス基板搬送系であ
っても、フィンガ本体の剛性を低下させずに薄くできる
のでカセット内の収納効率を向上させることができる。
下のような効果が得られる。 （１）フィンガ本体を軽量化しつつ、ガラス基板支持部
材を確実に精度良く固定できる。 （２）ロボットへの固定が確実に行える。 （３）ガラス基板吸着部材を確実に精度良く固定でき
る。 （４）製作が容易（従来の材料だと軽量化のため、各部
分をぬいたりしたが、ハニカムは軽量なので、フィンガ
本体の形状を単純にできる）。 （５）大型のガラス基板であっても、フィンガ本体の剛
性を保つため、厚くすることなく、大型ガラス基板を確
実に搬送できる。もちろん従来のガラス基板搬送系であ
っても、フィンガ本体の剛性を低下させずに薄くできる
のでカセット内の収納効率を向上させることができる。
【００４５】
【図１】基板搬送用フィンガのフィンガ本体を上部から
見た斜視図である。
見た斜視図である。
【図２】フィンガ本体を構成するハニカム構造を示した
平面図と側断面図である。
平面図と側断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ断面である。
【図４】図１のＢ−Ｂ断面である。
【図５】ガラス基板吸着用パッドの拡大図と取付部を示
す図である。
す図である。
【図６】ガラス基板支持用パッドの拡大図と取付部を示
す図である。
す図である。
【図７】フィンガをロボットに取り付けるための取付穴
の拡大図と取付穴の断面図である。
の拡大図と取付穴の断面図である。
【図８】ガラス基板吸着用エア吸引穴の拡大図と断面図
である。
である。
【図９】図１のフィンガをロボットに装着した様子を示
す図である。
す図である。
【図１０】図１のフィンガにおけるガラス基板の支持位
置を示す図である。
置を示す図である。
【図１１】フィンガの他の実施形態を示す図である。
【図１２】フィンガの更に他の実施形態を示す図であ
る。
る。
１ フィンガ ２ ガラス基板支持部材 ３ ガラス基板吸着用パッド ４ 吸着穴 ５ 吸着エアー回路 ６ 吸着エアー吸引穴 ７ フィンガ固定用ボルト穴 １１,１２ 表面板 １３ ハニカムコア １４ 側面処理部 １５，１６，２７ ブロック部材 １７ 溝形構造部材 １９ エンドフタ ２１，２２ ボルト ２３，２４ 調整用シム ２５，２６ タップ穴 １０１ ロボット １０２ カセット １０３，１０４ ガラス基板
Claims (12)
- 【請求項１】 水平に片持ちされた状態で基板を載せて
搬送するための基板搬送用フィンガであって、 ハニカムコアと該ハニカムコアを上下から挟み込む上下
２枚の平板とから平板状に構成されたフィンガ本体と、 該フィンガ本体上に配置され前記基板を支持するための
支持部材と、 前記フィンガ本体内に固定され、前記支持部材を前記フ
ィンガ本体に取り付けるための第１の取付部であって、
中実状の部材から構成される第１の取付部とを具備する
ことを特徴とする基板搬送用フィンガ。 - 【請求項２】 前記第１の取り付け部には、前記支持部
材を取り付けるためのネジ穴が形成されていることを特
徴とする請求項１に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項３】 前記フィンガ本体内に固定され、該フィ
ンガ本体を前記フィンガを操作するロボットに取り付け
るための第２の取付部であって、中実状の部材から構成
される第２の取付部を更に具備することを特徴とする請
求項１に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項４】 前記第２の取り付け部には、前記フィン
ガ本体を前記ロボットに取り付けるボルトを通すための
穴が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の
基板搬送用フィンガ。 - 【請求項５】 前記フィンガ本体に前記基板を吸着させ
るための吸着パッドを更に具備することを特徴とする請
求項１に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項６】 前記フィンガ本体内に固定され、前記吸
着パッドを前記フィンガ本体に取り付けるための第３の
取付部であって、中実状の部材から構成される第３の取
付部を更に具備することを特徴とする請求項５に記載の
基板搬送用フィンガ。 - 【請求項７】 前記第３の取付部には、前記吸着パッド
を取り付けるためのネジ穴が形成されていることを特徴
とする請求項６に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項８】 前記フィンガ本体内に配置され前記吸着
パッドから空気を吸引するための空気通路を更に具備す
ることを特徴とする請求項６に記載の基板搬送用フィン
ガ。 - 【請求項９】 前記空気通路は、前記フィンガ本体の長
手方向に沿って配置された溝状部材と、前記ハニカムコ
アを挟み込む平板とから構成されることを特徴とする請
求項８に記載の基板搬送用フィンガ。 - 【請求項１０】 前記フィンガ本体は、平面視羽子板状
に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基
板搬送用フィンガ。 - 【請求項１１】 前記フィンガ本体は、平面視フォーク
状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の
基板搬送用フィンガ。 - 【請求項１２】 前記基板は、ガラス基板であることを
特徴とする請求項１に記載の基板搬送用フィンガ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34844096A JPH10181878A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 基板搬送用フィンガ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34844096A JPH10181878A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 基板搬送用フィンガ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10181878A true JPH10181878A (ja) | 1998-07-07 |
Family
ID=18397023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34844096A Withdrawn JPH10181878A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 基板搬送用フィンガ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10181878A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005175141A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Taiheiyo Cement Corp | 搬送装置用ハンド |
| KR100746135B1 (ko) | 2006-05-16 | 2007-08-03 | (주)넥스컴스 | Ｌｃｄ기판 이송용 로봇팔 |
| JP2021048406A (ja) * | 2014-07-03 | 2021-03-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板移送ロボットエンドエフェクタ |
-
1996
- 1996-12-26 JP JP34844096A patent/JPH10181878A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005175141A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Taiheiyo Cement Corp | 搬送装置用ハンド |
| KR100746135B1 (ko) | 2006-05-16 | 2007-08-03 | (주)넥스컴스 | Ｌｃｄ기판 이송용 로봇팔 |
| JP2021048406A (ja) * | 2014-07-03 | 2021-03-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板移送ロボットエンドエフェクタ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040302 |