JP3073229U - 搬送装置用ロボットハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】各種電子機器、半導体、液晶などの製造搬送装
置に使用するロボットに、軽量、高剛性、高強度で、ゆ
がみの小さいハンドを提供する。 【解決手段】炭素繊維強化プラスチックス複合材を使用
し、断面二次モーメントに優れ、たわみ、ゆがみが小さ
く、構造対応への自由度が高い、角チューブ集合構造を
有する積層体からなる装置搬送用ロボットハンド。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、各種電子部品、半導体、液晶などの製造搬送装置に用いる、ロボッ トハンドの改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、ロボットハンドは、アルミニウムやステンレス鋼の機械加工品や、炭 素繊維強化プラスチックスの平板の機械加工品である。さらに、軽量化のために 、アングルやチャンネル構造にするなどの方法が行われている。

【０００３】 このような、従来の構造の場合、機械加工により、反りなどの変形が生じ易く 、特に、炭素繊維強化プラスチックスの場合、機械加工により、大きな反りが発 生し、また、強度、剛性が大きく低下する問題が発生していた。

【０００４】 また、従来構造の場合、製品を直接保持する真空パッドへの真空配管や、セン サなどの電気配線のための、溝加工などを要するとともに、真空漏れを防ぐため に、気密蓋の接着や、パッキンが必要であり、信頼性の面でも問題が多かった。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

以上のように、従来の搬送装置用ロボットハンドでは、強度、剛性の制約から 、精度、軽量化に限界が生じ、ロボット本体の駆動装置の小型化や、稼動スピー ド改善要求を満足できないなどの問題があった。

【０００６】 本考案の目的は、各種電子機器、半導体、液晶などの製造搬送装置用ロボット に、軽量で、剛性が高く、高精度のロボットハンドを供給すること。

【０００７】

【問題を解決するための手段】

上記の問題を達成するために、炭素繊維強化プラスチックスを用いて、断面二 次モーメントに優れ、たわみ、ゆがみが小さく、軽量の角チューブ集合構造を有 する積層体とし、角チューブの一部を、真空配管、センサ類の配線用の敷設部と して利用できるようにしている。

【０００８】 ここで、角チューブ形状は、性能向上、真空漏れ防止のために、炭素繊維強化 プラスチックス複合材で一体成形することが好ましい。

【０００９】 また、上記炭素繊維強化プラスチックス複合材は、必要な強度、剛性、耐熱性 などにより、適した材料を選んで、ハイブリッド化して使用することが好ましい 。

【００１０】 極力、一体成形が好ましいが、形状によっては、角チューブの一部を利用し、 エルボなどの接合部材を配した、接合構造も有効である。

【００１１】 アームの付け根部に、補強と、応力分散の目的で、ステー状の平板形状を一体 成形で配することも有効である。

【００１２】

【考案の実施の形態】

以下、本考案の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。 （第１の実施形態） 図１は、本実施形態で作成した炭素繊維強化プラスチックス複合材を用いて成 形製造した、搬送装置用ロボットアームの一例を示す概略図で、図２は、アーム 部の断面図の一例であり、図３は、アーム部の真空パッド取付け部を示す断面図 の一例である。

【００１３】

【発明の効果】

以上説明したように、炭素繊維強化プラスチックス複合材を用いて、角チュー ブ集合構造を有する積層体とすることにより、軽量で、強度、剛性、寸法精度の 優れた搬送装置用ロボットハンドを供給できる。

【００１４】 中空の角チューブ集合構造としたため、その一部を真空配管、センサ類の配線 に利用でき、接合個所、部品類の削減で、信頼性の高い、安価なロボットハンド を供給できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による実施例で作成した搬送装置用ロボ
ットハンドの一例を示す概略図。

【図２】図１で示すアーム部の一例を示す断面図。

【図３】図１で示すアーム部の真空パッド取付け部の一
例を示す断面図。

【符号の説明】

１…搬送装置用ロボットハンド ２…アーム部 ３…角チューブ集合構造 ４…真空パッド取付け部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 炭素繊維強化プラスチックス複合材から
   なる、角チューブ集合構造を有する積層体からなる搬送
   装置用ロボットハンド。