KR100746135B1 - Lcd기판 이송용 로봇팔 - Google Patents
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Abstract
Description
40 : 튜브홈 50 : 후면덮개
51 : 덮개 나사홀 60 : 덮개홈
61 : 로봇팔 나사홀 70 : 파손방지캡
71 : 파손방지캡 나사홀 75 : 결합홈
80 : 센서홀 90 : 결합돌출부
91 : 돌출부 나사홀
Claims (2)
- LCD기판을 이동시키는 로봇팔의 구조에 있어서,CFRP(carbon fiber reinforced plastic : 탄소섬유강화 플라스틱)재질의 LCD기판 이동용 로봇팔(10)의 일측면에 센서라인(31)과 진공튜브(30)가 삽입되어지는 길이방향의 튜브홈(40)이 형성되고, 상기 튜브홈(40)에 삽입되어진 진공튜브(30)와 센서라인(31) 위에 CFRP재질의 튜브커버(20)가 덮여지며, 상기 로봇팔(10)의 중앙부위에 센서와 진공흡착구가 타측면으로 통과되는 센서홀(80)이 형성되고, 상기 센서홀(80)의 일측면에는 일정깊이로 홈이 파인 덮개홈(60)에 금속재질의 후면덮개(50)가 결합되며, 상기 센서홀(80)에서 길이방향으로 센서라인(31)과 진공튜브(30)가 삽입되는 튜브홈(40)이 형성되고, 상기 튜브홈(40)이 로봇팔(10)의 끝단에서 일정길이 이격된 위치에 센서와 진공흡착구가 타측면으로 통과되는 센서홀(80)이 형성되며, 상기 센서홀(80)의 일측면에는 일정깊이로 홈이 파인 덮개홈(60)에 금속재질의 후면덮개(50)가 결합되고, 상기 로봇팔(10)의 길이방향의 끝단에는 금속재질로 형성되어 나사로 분리결합되는 파손방지캡(70)이 부착되는 것을 특징으로 하는 LCD기판 이송용 로봇팔.
- 제 1항에 있어서,상기 로봇팔(10)은 LCD기판을 상측 또는 하측에서 진공흡착하여 이송시키며, 상기 센서홀(80)을 덮는 후면덮개(50)는 금속재질로 이루어졌으며, 로봇팔(10)과 접착면에 접착제로 접착되고, 상기 후면덮개에 형성된 덮개 나사홀(51)을 통해 로봇팔에 형성된 로봇팔 나사홀(61)과 나사로 결합되어지며, 상기 파손방지캡(70)은 금속 또는 CFRP재질로 이루어져 있고, 파손방지캡(70)에 형성된 파손방지캡 나사홀(71)을 통해 로봇팔의 나사홀(61)과 나사로 결합되어지며, 그 형태는 로봇팔(10)의 끝단의 일부분이 돌출되어 형성된 결합돌출부(90)가 형성되고, 이에 대칭되도록 파손방지캡(70)에 결합홈(75)이 형성된 것을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LCD기판 이송용 로봇팔.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060043822A KR100746135B1 (ko) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | Lcd기판 이송용 로봇팔 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060043822A KR100746135B1 (ko) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | Lcd기판 이송용 로봇팔 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100746135B1 true KR100746135B1 (ko) | 2007-08-03 |
Family
ID=38601875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060043822A KR100746135B1 (ko) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | Lcd기판 이송용 로봇팔 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100746135B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103273494A (zh) * | 2013-05-21 | 2013-09-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶显示器基板搬运装置及其使用方法 |
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2006
- 2006-05-16 KR KR1020060043822A patent/KR100746135B1/ko active IP Right Grant
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CN113707593B (zh) * | 2021-07-13 | 2024-05-28 | 宁波复升新材料科技有限公司 | 一种碳纤维晶圆搬运手指的制作方法 |
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