KR101216269B1 - 디스플레이용 글라스 에칭장치의 언로딩기구 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스플레이용 글라스(G)를 순차적으로 이송하면서 일면을 에칭하는 에칭장치(1)의 언로딩기구에 있어서: 상기 글라스(G)를 양측에 흡착시키도록 설치하고, 양면에 다수의 진공홀(11)과 연통되는 진공부(12) 및 하측으로 하나 이상의 피팅홀(13)을 구비하되, 글라스(G)의 흡착력을 상승시키도록 진공홀(11)의 외측 또는 양측으로 삽입홈(14)을 구비하고, 상기 삽입홈(14)에 복원력과 내열 및 내산성이 우수한 연질의 핫멜트를 이용한 흡착재(15)가 삽설되게 구비하는 흡착판(10); 상기 흡착판(10)의 피팅홀(13)에 삽입되는 피팅밸브(21)를 개재한 하나 이상의 삽착홈(22)을 구비하고, 상기 에칭장치(1)에 안착되어 흡착판(10)을 이송하는 이송판(20); 및 상기 이송판(20) 상에 피팅밸브(21)와 배관(31)으로 연결되고, 흡착판(10)의 진공부(12)에 진공상태를 유지시키는 진공펌프(30);를 포함하여 이루어지되, 상기 흡착판(10)은 외주면에 글라스(G)의 투입 및 배출이 용이하도록 기준돌부(16)와 안착돌부(17)를 구비하고 진공에 의한 변형을 방지하도록 진공부(12)의 내부에 보강리브(18)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 본 발명은, 기존의 에칭장치에 적용이 가능하여 장치에 따른 비용을 절감하고 다수의 글라스를 신속하고 정확하게 에칭할 수 있어 전반적인 생산성이 향상되고 보다 정밀하고 안정되게 흡착하여 불량률을 현저히 낮출 수 있는 효과가 있다.

Description

디스플레이용 글라스 에칭장치의 언로딩기구{Glass for display eching installation used un-loading device}

본 발명은 디스플레이용 글라스를 순차적으로 이송하면서 일면을 에칭하는 에칭장치의 언로딩기구에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기존의 에칭장치에 적용이 가능하여 장치에 따른 비용을 절감하고 다수의 글라스를 신속하고 정확하게 에칭할 수 있어 전반적인 생산성이 향상되고 보다 정밀하고 안정되게 흡착하여 불량률을 현저히 낮출 수 있는 디스플레이용 글라스 에칭장치의 언로딩기구에 관한 것이다.

통상적으로, 디스플레이용 글라스는 크게 LCD라고 칭하는 것으로 휴대폰, TV, 컴퓨터 등 각종 전자기기에 장착되어 널리 사용되고 있다. 즉, 일반적으로 디스플레이용 글라스는 TFT 공정, 컬러필터 공정, Cell 공정, 모듈 공정으로 나뉘어 진행되는데, TFT공정과, 컬러필터 공정을 거친 두 개의 글라스를 가지고 Cell 공정을 거쳐 1개의 패널이 만들어 지고, Cell 공정을 거친 패널이 모듈 공정을 거쳐 실제로 모니터나 TV 및 휴대폰에 장착되는 글라스가 만들어 진다. 이러한 디스플레이용 글라스는 근래에 들어 휴대폰과 노트북과 같이 제품의 초박형화가 가속화되면서 슬림에칭 공정이 최근에 필수 공정이 되고 있다. 슬림에칭공정은 상기 전술된 공정으로 이루어진 글라스의 일면(컬리필터 글라스)을 화학약품으로 얇게 식각하는 것을 의미한다.

일예로 디스플레이용 글라스는 CCFL, LED 방식의 백라이트를 사용하는데, 특히 최근에 각광받는 LED는 백라이트의 위치에 따라 '직하' 방식(후면)과 '에지(Edge)' 방식(측면)으로 나뉜다. 직하방식은 빛의 밝기와 색상을 마음대로 조절하는 '로컬 디밍(Local dimming)' 등 다양한 기능을 구현할 수 있어 에지방식에 비해 우수한 화질을 구현하고, 에지 방식은 백라이트 유닛이 측면에 위치해 슬림화에 용이하지만 직하방식에 비해 화질이 떨어지는 단점이 있다. 즉, 디스플레이용 글라스는 에지방식으로 슬림화를 구현해 왔지만 디스플레이에서 가장 중요한 화질이 떨어지는 단점이 있어 왔다. 또한 직하방식은 우수한 화질을 구현할 수 있지만 슬림화가 되지 못하는 문제가 있다. 따라서 이러한 직하방식을 채용하면서도 슬림화를 구현하기 위해서 슬림에칭 공정을 통해 해결할 수 있게 된 것이다. 물론 OLED(유기발광다이오드)와 같은 경우에는 백라이트가 불필요하기 때문에 충분한 슬림화를 구현할 수 있지만 슬림화를 위한 기술은 이러한 OLED에 경우에도 지나칠 수 없는 과제이다. 따라서 슬림에칭 공정은 디스플레이용 글라스에 적용되고 있는 실정이다.

주지된 바와 같이, 에칭공정을 수행하는 에칭장치(1)는 글라스(G)를 수용하면서 순차적으로 이송하는 로딩공정, 글라스(G)를 1차적으로 세정하는 세척공정, 글라스(G)의 일면을 식각하는 에칭공정, 식각된 글라스(G)를 세정하는 세척공정, 완료된 글라스(G)를 배출하는 언로딩공정을 순차적으로 수행한다.

이때, 디스플레이용 글라스(G)를 슬림화를 구현하기 위해 에칭장치(1)를 거치게 되는데 앞서 전술한 바와 같이 글라스(G)는 TFT 글라스와, 컬러필터 글라스가 합쳐 하나의 글라스(G)로 이루어진 것으로 이러한 글라스(G)는 일면인, TFT 글라스가 에칭이 되버리면 안되는 특성이 있다. 따라서 종래에는 에칭장치에 투입전에 글라스(G)의 일면을 보호필름으로 부착하거나 내산용액을 도포하는 인쇄법을 거치는 과정을 수행하였다. 하지만 이러한 작업을 통하여 생산성이 현저히 저하되고, 에칭장치에 투입되면 분사되는 에칭액에 의하여 보호필름이 벗겨지거나 도포된 내산용액이 녹아 TFT 글라스 일면에 에칭액이 침투되어 불량을 유발하는 문제점이 발생하였다.

이에 따라 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 근본적으로 해결하기 위한 것으로서, 기존의 에칭장치에 적용이 가능하여 장치에 따른 비용을 절감하고 다수의 글라스를 신속하고 정확하게 에칭할 수 있어 전반적인 생산성이 향상되고 보다 정밀하고 안정되게 흡착하여 불량률을 현저히 낮출 수 있는 디스플레이용 글라스 에칭장치의 언로딩기구를 제공하려는데 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 디스플레이용 글라스를 순차적으로 이송하면서 일면을 에칭하는 에칭장치의 언로딩기구에 있어서: 상기 글라스를 양측에 흡착시키도록 설치하고, 양면에 다수의 진공홀과 연통되는 진공부 및 하측으로 하나 이상의 피팅홀을 구비하되, 글라스의 흡착력을 상승시키도록 진공홀의 외측 또는 양측으로 삽입홈을 구비하고, 상기 삽입홈에 복원력과 내열 및 내산성이 우수한 연질의 핫멜트를 이용한 흡착재가 삽설되게 구비하는 흡착판; 상기 흡착판의 피팅홀에 삽입되는 피팅밸브를 개재한 하나 이상의 삽착홈을 구비하고, 상기 에칭장치에 안착되어 흡착판을 이송하는 이송판; 및 상기 이송판 상에 피팅밸브와 배관으로 연결되고, 흡착판의 진공부에 진공상태를 유지시키는 진공펌프;를 포함하여 이루어지되, 상기 흡착판은 외주면에 글라스의 투입 및 배출이 용이하도록 기준돌부와 안착돌부를 구비하고 진공에 의한 변형을 방지하도록 진공부의 내부에 보강리브를 구비하는 것을 특징으로 한다.

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한편, 이에 앞서 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이상의 구성 및 작용에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 기존의 에칭장치에 적용이 가능하여 장치에 따른 비용을 절감하고 다수의 글라스를 신속하고 정확하게 에칭할 수 있어 전반적인 생산성이 향상되고 보다 정밀하고 안정되게 흡착하여 불량률을 현저히 낮출 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명에 따른 언로딩기구가 적용된 에칭장치를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 언로딩기구를 분리하여 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 언로딩기구의 주요부를 절개하여 나타내는 구성도.
도 4은 본 발명에 따른 흡착판을 분리하여 나타내는 분해도.
도 5는 본 발명에 따른 흡착판을 절개하여 나타내는 단면도.
도 6는 본 발명에 따른 이송판을 절개하여 나타내는 단면도.
도 7는 본 발명의 변형예에 따른 이송판을 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 언로딩기구에 글라스를 흡착된 상태를 나타내는 사용 상태도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명은 디스플레이용 글라스(G)를 일면으로 에칭하는 에칭장치(1)와 관련되며 세척부(2), 에칭부(3), 세척부(2)로 순차적으로 이송하면서 일면을 에칭하는 디스플레이용 글라스 에칭장치의 언로딩기구에 관 한다.

본 발명에 따른 흡착판(10)은 상기 글라스(G)를 양측에 흡착시키도록 설치하고, 양면에 다수의 진공홀(11)과 연통되는 진공부(12) 및 하측으로 하나 이상의 피팅홀(13)을 구비한다. 흡착판(10)은 에칭액에 의한 내식성이 우수한 철재 또는 수지재로 이루어지는 것으로 글라스(G)를 소정의 각도로 경사지도록 흡착되게 형성된다. 즉, 흡착판(10)은 상ㆍ하부면이 서로 평행하게 형성되고 좌ㆍ우측면(양면)은 상부로 갈수록 좁아지는 등변사다리꼴 모양으로 형성된다. 이때, 흡착판(10)의 양면으로 다수의 진공홀(11)이 내부에 형성된 진공부(12)와 연통되게 구비한다.

본 발명의 진공부(12)는 흡착판(10) 내부에 공간부를 지닌 것으로 하측으로 구비된 피팅홀(13)과 연통되게 구비한다. 피팅홀(13)은 후술하는 이송판(20)에 구비된 피팅밸브(21)에 삽입되어 진공부(12) 상으로 진공이 발생되게 연결하는 역할을 수행한다. 즉, 피팅홀(13)에 의해 진공부(12)에 진공이 발생되면, 진공부(12)와 연통된 진공홀(11) 상으로 압력차로 인한 흡착력을 발생하게 된다. 따라서 흡착판(10)의 양면으로 글라스(G)가 안착되면 진공홀(11)에 의해 일면을 흡착하면서 고정하게 된다. 이러한 흡착판(10)을 통하여 글라스(G)를 세척부(2), 에칭부(3), 세척부(2)으로 순차적으로 이송하도록 유도하고 특히, 에칭부(3)에서 글라스(G)의 일면으로 에칭액이 투입되는 것을 방지하는 역할을 동시에 수행하게 된다.

이때, 본 발명의 흡착판(10)은 진공부(12)의 내부에 보강리브(18)를 구비하여 강도를 증대시켜 진공에 의한 변형을 방지한다. 흡착판(10)은 진공부(12)를 형성하기 위해 분리형 또는 일체형으로 형성된다. 분리형은 도 4에 도시된 바와 같이 진공부(12)가 외부로 노출되게 2분할로 형성한 뒤, 진공부(12)를 상호 대향되게 용접 또는 볼ㆍ너트로 결합하여 흡착판(10)을 형성한다. 이때, 도면을 통해 도시하지 않았지만 흡착판(10)이 볼ㆍ너트로 결합될 경우에는 긴밀한 결합을 유지하기 위한 패킹을 더 구비할 수도 있다. 일체형은 내부에 진공부(12)를 형성하는 코어를 두고 사출성형 또는 다이캐스팅으로 흡착판(10)을 형성한다. 어느 경우에나 당업자라면 제작의 용이성과 작업의 효율성에 의거하여 선택적으로 택일하여 구비할 수 있다.

이러한 흡착판(10)은 진공부(12)로 인한 공간으로 전체적인 강도가 약해진다. 즉, 진공부(12)에 진공이 발생하게 되면 대기압의 차로 인해 수축으로 인한 변형이 유발된다. 따라서 진공부(12)의 내부에 보강리브(18)를 구비하여 강도를 증대시켜 진공에 의한 변형을 방지한다. 이때, 보강리브(18)는 흡착판(10)의 양면에 구비된 진공홀(11)과 연통되는 진공부(12)에 방해가 되지 않는 범위의 간격으로 배치하고, 하측의 피팅홀(13)과 연통되게 보강리브(18) 상으로 홀(도면번호 미부여)을 형성한다.

또한, 본 발명의 상기 흡착판(10)은 진공홀(11)의 외측 또는 양측으로 삽입홈(14)을 구비하고, 상기 삽입홈(14)에 흡착재(15)를 삽설하여 글라스(G)의 흡착력을 상승시킨다. 흡착판(10)은 양면에 구비하는 진공홀(11)에 의해 글라스(G)의 일면을 흡착하여 고정하게 되는데 이러한 구성으로 글라스(G)를 흡착하게 되면 미세한 틈으로 인한 흡착력이 상쇄하게 되어 후술하는 진공펌프(30)에 과부하를 야기시키고 특히, 에칭부(3)에서 에칭액이 글라스(G)의 흡착면으로 침투되어 불량을 유발한다. 즉, 진공홀(12)의 외측 또는 양측으로 구비된 삽입홈(14)을 구비하고 이러한 삽입홈(14)으로 흡착재(15)를 삽입한다. 이때, 흡착재(15)는 흡착판(10)의 양면보다 높게 돌출되도록 삽입되는데 글라스(G)가 흡착판(10)의 양면으로 안착되면 글라스(G) 가장자리면으로 흡착재(15)와 밀착하게 된다. 따라서 흡착판(10)의 흡착재(15)로 인해 글라스(G)의 흡착력을 더욱 상승시켜 전술한 문제점을 해결할 수 있다.

한편, 삽입홈(14)과 흡착재(15)는 흡착판(10)의 진공홀(11)을 기준하여 외측 또는 양측으로 선택적으로 택일하여 구비할 수 있다. 도 5a에 도시된 바와 같이, 진공홀(11)의 외측으로 삽입홈(14)과 흡착재(15)를 구비하면 흡착판(10)을 제작하기 위한 가공작업을 줄일 수 있어 비용과 생산성이 향상되는 반면, 진공홀(11)에 의한 흡착력으로 글라스(G)가 중앙으로 처지거나 휨과 같은 변형될 소지가 있다. 따라서 진공홀(11)의 외측으로 삽입홈(14)과 흡착재(15)를 형성하는 경우에는 글라스(G)의 두께가 비교적 두껍거나 강도가 강한 것에 적합하다.

도 5b에 도시된 바와 같이, 진공홀(11)의 양측으로 삽입홈(14)과 흡착재(15)를 구비하면 흡착판(10)을 제작하기 위한 가공작업에 따른 비용과 생산성을 저하되는 반면, 외측 흡착재(15)와 내측 흡착재(15) 사이로 공간이 발생하게 되고 이러한 공간상으로 글라스(1)의 가장자리 부위에만 흡착력이 발생한다. 따라서 진공홀(11)의 양측으로 삽입홈(14)과 흡착재(15)를 형성하는 경우에는 글라스(G)의 두께 및 강도에 구애받지 않고 흡착이 가능하다. 어느 경우에나 당업자라면 제작의 용이성과 작업의 효율성에 의거하여 선택적으로 택일하여 구비할 수 있다.

이때, 본 발명에 의한 흡착재(15)는 복원력과 내열 및 내산성이 우수한 연질의 핫멜트를 이용하여 형성한다. 흡착재(15)는 글라스(G)의 일면과 밀착되어 진공에 의해 흡착력을 부여하는 것으로 연질의 고무재로 이루어진 패킹 및 오링 또는 핫멜트를 이용하여 형성한다. 통상, 패킹 및 오링은 밀폐구조에 널리 사용되는 것으로 비교적 복원력과 내열 및 내산성이 우수하지 못한 문제가 있다. 즉, 에칭액에 의한 부식과 마모가 발생하여 글라스(G)가 흡착판(10)에 흡착력이 떨어지고 나아가 글라스(G)의 일면으로 에칭액이 침투되어 불량을 유발한다. 따라서 흡착판(10)에 흡착력을 유지하는 흡착재(15)로 에칭액으로부터 복원력과 내열 및 내산성이 우수한 핫멜트를 이용한다. 핫멜트(hot-melt)는 EVA계, 감압형, 폴리아미드계, 폴리에스테르계로 구분되는데 그 중에서 내열성, 내산성, 쇼크성이 뛰어나고 내약품성이 우수한 폴리에스테르계로 이루어지는 것이 바람직하다.

또, 본 발명에 따른 이송판(20)은 상기 흡착판(10)의 피팅홀(13)에 삽입되는 피팅밸브(21)를 개재한 하나 이상의 삽착홈(22)을 구비하고, 상기 에칭장치(1)에 안착되어 흡착판(10)을 이송한다. 이송판(20)은 에칭액에 의한 내식성이 우수한 철재 또는 수지재로 이루어지는 것으로 에칭장치(1)에 구비된 구동롤러(도면번호미부여)에 안착되어, 글라스(G)를 흡착하여 고정하는 흡착판(10)을 세척부(2)와 에칭부(3)로 이송을 수행한다.

도 6에 도시된 바와 같이, 이송판(20)은 상부로 하나 이상의 삽착홈(22)을 구비하여 흡착판(10)을 수용하면서 피팅밸브(21)를 개재하여 피팅홀(13)과 맞물려 고정된다. 피팅밸브(21)는 외주면에 오링(도면번호미부여)을 개재하면서 이송판(20)의 하측으로 연장되게 형성된다. 즉, 피팅밸브(21)는 후술하는 진공펌프(30)와 배관(31)으로 연결되고 흡착판(10)의 하측에 구비된 피팅홀(13)에 삽입되어 진공부(12)에 진공이 발생되게 연결하는 역할을 수행한다.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이 이송판(20)은 하나 이상의 삽착홈(22)으로 패킹(25)을 개재하면서 다수의 피팅밸브(21)를 구비한다. 패킹(25)은 흡착판(10)이 삽착홈(22)에 긴밀한 안착을 유도하여 진공펌프(30)에서 발생되는 진공을 흡착판(10)으로 누수 없이 진공을 전달하고 다수의 피팅밸브(21)를 구비하여 흡착판(10)으로 진공에 의한 흡착력을 상승시킨다. 물론, 다수의 피팅밸브(21)를 구비할 경우에는 이와 대응하는 개수로 흡착판(10)의 하측에 피팅홀(13)을 구비한다. 이외에도 도면으로 도시하지 않았지만, 흡착판(10)의 피팅홀(13) 대신에 피팅밸브를 구비하고 이송판(20)의 피팅밸브(21) 대신에 피팅홀을 구비하는 것도 배제하지 않는다. 어느 경우에나 당업자라면 흡착판(10)의 흡착력과 이송판(20)으로 탈부착에 따른 효율성에 의거하여 선택적으로 택일하여 구비할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 진공펌프(30)는 상기 이송판(20) 상에 피팅밸브(21)와 배관(31)으로 연결되고, 흡착판(10)의 진공부(12)에 진공상태를 유지시킨다. 진공펌프(30)는 에칭장치(1)의 일측으로 구비하고 이송판(20) 상에 피팅밸브(21)와 배관(31)으로 연결된다. 즉, 이송판(20)으로 안착된 흡착판(10)의 진공부(12)로 진공상태를 유지시켜 글라스(G)의 일면으로 흡착력을 발생한다. 이러한 진공펌프(30)는 흡입하는 기체의 압력을 대기압에서 절대진공에 가까운 정도까지 이르게 하는 것으로 왕복식, 회전식, 봉수식, 확산식, 이젝터식 중 택일하게 구비한다. 즉, 본 발명에 의한 진공펌프(30)는 링블로워 또는 루츠블로워로서, 흡입구(도면번호미부여)와 토출구(도면번호미부여)를 각각 구비하는데 배관(31)을 흡입구와 연결하여 이송판(20)의 피팅밸브(21)와 연결한다.

그리고 진공펌프(30)와 이송판(20)을 연결하는 배관(31)은 설치되는 환경에 따라 파이프형 또는 호스형 중 택일하여 연결하거나 혼합하여 연결한다. 이외에도 도면을 통해 도시하지 않았지만 압력을 일정하게 유지시켜주는 진공조절기와 압력을 외부로 알려주는 게이지 등을 배관(31)상에 더 구비할 수 있다. 또한 진공펌프(30)는 밸브 또는 스위치를 통하여 작업자로부터 수동으로 제어할 수 있고, PLC 기판을 통하여 설정된 시퀀스에 따라 자동으로 제어가 가능하게 된다.

이때, 본 발명의 상기 흡착판(10)은 외주면에 글라스(G)의 투입 및 배출이 용이하도록 기준돌부(16)와 안착돌부(17)를 구비한다. 기준돌부(16)는 글라스(G)를 흡착판(10)으로 투입하기 위해 정렬하는 역할을 수행한다. 즉, 작업자가 글라스(G)를 흡착판(10)으로 수동 또는 자동으로 투입할 경우 흡착판(10)의 양면에 글라스(G)가 제대로 정렬되게 투입하지 못하면 진공펌프(30)가 가동하여도 글라스(G)를 제대로 흡착하지 못한다. 따라서 흡착판(10)은 외주면의 일측으로 기준돌부(16)를 구비하여 작업자가 글라스(G)를 정렬되게 투입됨을 유도한다.

본 발명의 안착돌부(17)는 글라스(G)를 흡착판(10)으로 투입하기 위해 정렬하는 역할과 함께, 에칭이 완료된 글라스(G)를 안착하는 역할을 동시에 수행한다. 즉, 에칭장치(1)의 세척부(2)와 에칭부(3)를 통하여 글라스(G)의 일면으로 에칭이 완료되면 글라스(G)를 흡착판(10)으로 배출하기 위해 흡착력이 해제되고 중력에 의해 하중으로 떨어지게 된다. 따라서 흡착판(10)은 외주면의 하측으로 안착돌부(17)를 구비하여 에칭이 완료된 글라스(G)의 손상을 방지한다.

이와 같이, 본 발명은 기존의 에칭장치에 적용이 가능하여 장치에 따른 비용을 절감하고 다수의 글라스를 신속하고 정확하게 에칭할 수 있어 전반적인 생산성이 향상되고 보다 정밀하고 안정되게 흡착하여 불량률을 현저히 낮출 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

1: 에칭장치 2: 세척부
3: 에칭부 10: 흡착판
11: 진공홀 12: 진공부
13: 피팅홀 14: 삽입홈
15: 흡착재 16: 기준돌부
17: 안착돌부 18: 보강리브
20: 이송판 21: 피팅밸브
22: 삽착홈 25: 패킹
30: 진공펌프 31: 배관
G: 글라스

Claims (5)

1. 디스플레이용 글라스(G)를 순차적으로 이송하면서 일면을 에칭하는 에칭장치(1)의 언로딩기구에 있어서:
   상기 글라스(G)를 양측에 흡착시키도록 설치하고, 양면에 다수의 진공홀(11)과 연통되는 진공부(12) 및 하측으로 하나 이상의 피팅홀(13)을 구비하되, 글라스(G)의 흡착력을 상승시키도록 진공홀(11)의 외측 또는 양측으로 삽입홈(14)을 구비하고, 상기 삽입홈(14)에 복원력과 내열 및 내산성이 우수한 연질의 핫멜트를 이용한 흡착재(15)가 삽설되게 구비하는 흡착판(10);
   상기 흡착판(10)의 피팅홀(13)에 삽입되는 피팅밸브(21)를 개재한 하나 이상의 삽착홈(22)을 구비하고, 상기 에칭장치(1)에 안착되어 흡착판(10)을 이송하는 이송판(20); 및
   상기 이송판(20) 상에 피팅밸브(21)와 배관(31)으로 연결되고, 흡착판(10)의 진공부(12)에 진공상태를 유지시키는 진공펌프(30);를 포함하여 이루어지되, 상기 흡착판(10)은 외주면에 글라스(G)의 투입 및 배출이 용이하도록 기준돌부(16)와 안착돌부(17)를 구비하고 진공에 의한 변형을 방지하도록 진공부(12)의 내부에 보강리브(18)를 구비하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 에칭장치의 언로딩기구.
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