KR102023392B1 - 유리 기판 분리 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 명세서는 접착제 없이 합착(부착)된 2매 이상의 유리 기판을 압력 차이로 손상 없이 안전하게 분리할 수 있는 유리 기판 분리 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 명세서에 개시된 실시예에 따른 유리 기판 분리 장치는, 챔버와; 상기 챔버 내에 설치되고, 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 제1 진공 흡착부와; 상기 챔버 내에 설치되고, 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 제2 진공 흡착부와; 상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 구동부와; 상기 챔버 내에 공기를 공급하는 공기 공급부를 포함할 수 있다.

Description

유리 기판 분리 장치 및 그 방법{GLASS SUBSTRATE SEPARATING APPARATUS AND METHOD THEREOF}
본 명세서는 유리 기판 분리 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치(liquid crystal display)와 같은 평판 디스플레이 패널(Flat Panel Display)을 제조할 때 평판 디스플레이 패널을 슬림화하기 위해 공정으로서 평판 디스플레이 패널의 TFT(Thin Film Transistor) 유리 기판과 CF(Color Filter) 유리 기판상에 반송 유리(Carrier Glass)(유리 기판 또는 유리판)을 진공 중에 합착하였다. 그러나, 사용자가 수작업으로 상기 합착된 반송 유리를 상기 TFT 유리 기판 및 CF 유리 기판으로부터 흡착 패드를 이용하여 분리함으로써 상기 합착된 반송 유리, 상기 TFT 유리 기판, CF 유리 기판이 손상되는 문제가 발생하였다. 종래 기술에 따른 기판 흡착 장치는 한극 특허 출원 번호 10-2001-0059086에 개시되어 있다.
본 명세서는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(organic light emitting diode)와 같은 평판 디스플레이 패널(Flat Panel Display) 제조산업, 유리제조업, 유리가공산업, 태양전지제조업 등에서 별도의 접착제 없이 합착(또는 부착)된 유리 기판을 손상 없이 분리할 수 있는 유리 기판 분리 장치 및 그 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 명세서에 개시된 실시예에 따른 유리 기판 분리 장치는, 챔버와; 상기 챔버 내에 설치되고, 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 제1 진공 흡착부와; 상기 챔버 내에 설치되고, 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 제2 진공 흡착부와; 상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 구동부와; 상기 챔버 내에 공기를 공급하는 공기 공급부를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제1 유리 기판은 상기 제1 유리 기판의 합착면의 외각을 따라 형성된 홈을 가질 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 구동부는, 상기 제1 유리 기판에 진공 흡착된 상기 제1 진공 흡착부를 상승시킴으로써 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 분리하고, 상기 제1 유리 기판은 상기 공급된 공기가 상기 홈에 진입함으로써 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 분리될 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 챔버는, 제1 챔버와; 실(Seal)에 의해 상기 제1 챔버와 결합됨으로써 밀폐되는 제2 챔버를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 실의 재질은, 실리콘, 에틸렌프로필렌 고무 중 어느 하나일 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제1 진공 흡착부는, 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제1 진공 척과; 상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 제1 오링(O-Ring)과; 상기 제1 진공 척에 설치된 제1 배관을 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제2 진공 흡착부는, 상기 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제2 진공 척과; 상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 제2 오링과; 상기 제2 진공 척에 설치된 제2 배관을 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제1 진공 척이 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제1 배관을 통해 흡입하고; 상기 제2 진공 척이 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제2 배관을 통해 흡입하는 흡입부를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제1 오링 및 제2 오링 각각은, 상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와; 상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되며, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐될 수 있다.
본 명세서와 관련된 일 예로서, 상기 공기 공급부는, 상기 챔버 내에 미리결정된 압력의 압축 공기를 상기 제1 진공 척의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 공급할 수 있다.
본 명세서에 개시된 실시예에 따른 유리 기판 분리 방법은, 상기 챔버 내에 설치된 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 제1 진공 흡착부를 통해 진공 흡착하는 단계와; 상기 제2 유리 기판을 상기 챔버 내에 설치된 제2 진공 흡착부를 통해 진공 흡착하는 단계와; 상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 단계와; 상기 챔버 내에 공기를 공급함으로써 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 분리 장치 및 그 방법은, 접착제 없이 합착(부착)된 2매 이상의 유리 기판을 압력 차이로 손상 없이 안전하게 분리할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기 기판 분리 장치를 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척에 흡착된 유리 기판을 나타낸 예시도 이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 척에 고정된 오링을 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척에 고정된 오링을 나타낸 정면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판에 형성된 홈을 나타낸 예시도이다.
본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 본 명세서에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
이하에서는, 접착제 없이 합착(부착)된 2매 이상의 유리 기판을 압력 차이로 손상 없이 안전하게 분리할 수 있는 유리 기판 분리 장치 및 그 방법을 도 1 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기 기판 분리 장치를 나타낸 구성도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기 기판 분리 장치는, 챔버와; 상기 챔버 내에 설치되고, 서로 합착(부착)된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 제1 진공 흡착부와; 상기 챔버 내에 설치되고, 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 제2 진공 흡착부와; 상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 구동(상승 또는 하강)시키는 구동부(도시되지 않음)와; 상기 챔버 내에 공기(압축 공기)를 공급하는 공기 공급부(도시되지 않음))를 포함한다.
상기 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 제1 유리 기판의 합착면(예들 들면, 제1 유리 기판의 후면(배면))의 외각은 미리설정된 폭만큼 홈(Groove)이 형성된다. 예를 들면, 상기 공급된 압축 공기가 상기 홈에 진입하여 상기 제1 유리 기판을 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 밀어 올림과 동시에 상기 구동부가 상기 제1 진공 흡착부를 상승(제1 유리 기판의 전면 방향으로 상승)시킴으로써, 상기 제1 유리 기판을 손상 없이 안전하게 상기 제2 유리 기판으로부터 분리할 수 있다. 이때, 상기 공급되는 공기의 압력을 증가시키거나 상기 제1 진공 흡착부의 상승 높이를 증가시킴으로써, 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 빠르게 분리할 수도 있다.
상기 챔버는 제1 챔버(예를 들면, 상부 챔버)(101)와; 가압 실(Seal)(103)에 의해 상기 제1 챔버(예를 들면, 상부 챔버)(101)와 결합되어 밀폐하는 제2 챔버(예를 들면, 하부 챔버)(102)로 이루어질 수 있다.
상기 가압 실(103)은 실리콘, 에틸렌프로필렌 고무(Ethylene Propylene Diene M-class rubber, EPDM) 등과 같은 고무 재질일 수 있다.
상기 제1 진공 흡착부는, 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제1 진공 척(Vacuum Chuck)(또는 흡착판)(111)과; 상기 제1 진공 척(111)의 외각을 따라 형성된 오링(O-Ring)과; 상기 제1 진공 척(111)에 설치된 배관(112)을 포함한다.
상기 제2 진공 흡착부는, 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제2 진공 척(Vacuum Chuck)(또는 흡착판)(121)과; 상기 제2 진공 척(111)의 외각을 따라 형성된 오링과; 상기 제2 진공 척(111)에 설치된 배관(122)을 포함한다.
상기 제1 진공 흡착부에 포함된 배관과 상기 제2 진공 흡착부에 포함된 배관은, 서로 연결되어 하나의 흡입부에 연결될 수 있으며, 상기 챔버에 형성된 관통홀을 통해 상기 흡입부에 연결될 수 있다.
상기 흡입부는 공기 압축기(compressor) 또는 진공펌프일 수 있다.
상기 구동부는 상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 독립적으로 상승 또는 하강시킨다. 예를 들면, 상기 구동부는 상기 제1 진공 흡착부에 연결되고, 사용자의 제어 신호에 따라 상기 제1 진공 흡착부를 상승 또는 하강시킨다. 또한, 상기 구동부는 상기 제2 진공 흡착부에 연결되고, 상기 제2 진공 흡착부를 사용자의 제어 신호에 따라 상승 또는 하강시킨다.
상기 공기 공급부는 사용자의 제어 신호에 따라 상기 챔버 내에 미리결정된 압력(예를 들면, 공급 압력은 0.1~0.8Mpa)의 공기(압축 공기)를 공급한다. 예를 들면, 상기 공기 공급부는 상기 제1 진공 척(Vacuum Chuck)(111)의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 압축 공기를 공급한다. 상기 공기 공급부는 상기 챔버(제1 챔버 및/또는 제2 챔버)에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 압축 공기를 공급할 수도 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척에 흡착된 유리 기판을 나타낸 예시도 이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 상기 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판(200)을 액정 표시 장치의 TFT(Thin Film Transistor) 유리 기판(202)과 합착된 유리 기판(Carrier Glass)(201)과, CF(Color Filter) 유리 기판(203)과 합착된 유리 기판(Carrier Glass)(204)을 예로 들어 설명하였으나, 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 분리 장치 및 그 방법은, LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(organic light emitting diode)와 같은 평판 디스플레이 패널(Flat Panel Display) 제조산업, 유리제조업, 유리가공산업, 태양전지제조업 등에서 별도의 접착제 없이 합착(또는 부착)된 유리 기판을 손상 없이 분리할 수도 있다.
상기 TFT(Thin Film Transistor) 유리 기판(202)은 밀봉재(Sealant) 상기 CF(Color Filter) 유리 기판(203)과 결합된다.
상기 구동부는, 상기 제1 진공 흡착부와 상기 제2 진공 흡착부 사이에 상기 합착된 유리 기판이 설치되면, 상기 제1 진공 흡착부를 상기 합착된 유리 기판쪽으로 하강시킴으로써 상기 제1 진공 척(111)을 상기 합착된 유기 기판(201)에 흡착시킨다. 이때, 상기 제1 진공 척(111)에 형성된 오링(300)에 의해 상기 합착된 유리 기판(201)과 상기 제1 진공 척(111)은 소정거리 이격됨으로써 서로 접촉되지 않는다.
상기 오링(300)은 상기 제1 진공 척(111)의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와, 상기 바디로부터 돌출된 돌출부로 구성될 수 있으며, 상기 돌출부에 의해 상기 합착된 유리 기판(201)과 상기 제1 진공 척(111)은 소정거리 이격됨으로써 서로 접촉되지 않는다.
상기 바디의 형태는 사각형, 원형과 같은 다양한 형태가 될 수 있으며, 상기 바디가 상기 제1 및 제2 진공 척(111, 121)의 외각을 따라 형성된 홈에 매립되도록 상기 제1 및 제2 진공 척(111, 121)의 외각을 따라 형성된 홈은 상기 바디의 형태와 동일하게 사각형, 원형과 같은 다양한 형태가 될 수 있다.
상기 오링은 실리콘, EPDM 등과 같은 고무 재질일 수 있다.
상기 오링은 제1 진공 척(111) 및 제2 진공척(121)에 각각 형성된다.
상기 구동부는, 상기 제1 진공 흡착부와 상기 제2 진공 흡착부 사이에 상기 합착된 유리 기판이 설치되면, 상기 제2 진공 흡착부를 상기 합착된 유리 기판(204)쪽으로 상승시킴으로써 상기 제2 진공 척(121)을 상기 합착된 유기판(204)에 흡착시킨다. 이때, 상기 제2 진공 척(204)에 형성된 오링(300)에 의해 상기 합착된 유리 기판(204)과 상기 제2 진공 척(121)은 소정거리 이격됨으로써 서로 접촉되지 않는다.
상기 구동부는 상기 제1 진공 척(111)이 상기 합착된 유기 기판(201)에 흡착되면 상기 제1 진공 척(111)을 미리설정된 높이만큼(예를 들면, 2~3mm) 상승시킴으로써 상기 합착된 유리 기판(예를 들면, TFT 유리 기판과 반송 유리 기판)(201)에 분리력을 적용시킨다. 즉, 상기 합착된 유리 기판(201)(예를 들면, 반송 유리 기판)의 외각 배면을 따라 형성된 홈(230)에 상기 공급된 압축 공기가 인가됨으로써 상기 유리 기판(201)은 분리된다.
상기 압축 공기는, 상기 제1 진공 척(111) 및/또는 상기 제2 진공 척(121)의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 공급될 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 척에 고정된 오링을 나타낸 단면도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 제1 진공 척(111)의 외각에 고정된 오링(300)은, 상기 제1 진공 척(111)의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디(301)와, 상기 바디(301)로부터 돌출된 돌출부(302)로 구성될 수 있으며, 상기 돌출부(302)에 의해 상기 합착된 유리 기판(201)과 상기 제1 진공 척(111)은 소정거리 이격된 상태로 밀폐된다. 이때, 상기 진공 홀(303)을 통해 밀폐된 공간의 공기가 상기 흡입부에 의해 흡입됨으로써 상기 제1 진공 척(111)이 상기 합착된 유리 기판(201)에 진공 흡착된다. 상기 오링의 돌출부(302)는 상기 제1 및 제2 진공 척(111, 121)이 직접적으로 상기 유리 기판들(201, 204)에 흡착함으로써 발생하는 유리 기판 손상을 미연에 방지할 수 있다.
상기 오링(300)은 제1 진공척(111) 뿐만 아니라 제2 진공척(121)에도 고정되게 설치된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 진공 척에 고정된 오링을 나타낸 정면도이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 진공 척(111, 121)의 외각을 따라 형성된 오링(300)은, 상기 제1 및 제2 진공 척(111, 121)의 외각에 고정되게 형성된다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판에 형성된 홈을 나타낸 예시도이다.
도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 TFT 유리 기판(202) 또는 상기 CF 유리 기판(203)과 합착된 반송 유리 기판(Carrier Glass)의 합착면(201)(예들 들면, 반송 기판의 후면)의 외각을 따라 미리설정된 폭만큼 홈(230)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 홈(230)은 상기 반송 유리 기판(Carrier Glass)의 합착면(예들 들면, 반송 유리 기판의 후면)(201)의 일부 외각을 따라 미리설정된 폭(예를 들면, 10~20mm)만큼 형성되거나, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 홈(230)은 상기 반송 유리 기판(Carrier Glass)의 합착면(201)(예들 들면, 반송 기판의 후면)의 전체 외각을 따라 상기 미리설정된 폭만큼 형성될 수도 있다.
반면, 상기 CF 유리 기판(203)과 합착된 반송 유리 기판(Carrier Glass)(204)을 상기 CF 유리 기판(203)으로부터 분리할 경우, 상기 TFT 유리 기판(202)과 합착된 반송 유리 기판(Carrier Glass)(201)을 분리하는 과정과 동일하게 상기 반송 유리 기판(Carrier Glass)(204)의 외각을 따라 미리설정된 폭만큼 홈(230)을 형성한 후 상기 분리 과정을 수행한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 분리 장치 및 그 방법은, 접착제 없이 합착(부착)된 2매 이상의 유리 기판을 압력 차이로 손상 없이 안전하게 분리할 수 있다. 예를 들면, 상기 공급된 압축 공기가 상기 홈(230)에 진입하여 상기 제1 유리 기판(201)을 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 밀어 올림과 동시에 상기 구동부가 상기 제1 진공 흡착부를 상승(제1 유리 기판의 전면 방향으로 상승)시킴으로써, 상기 제1 유리 기판(201)을 손상 없이 안전하게 상기 제2 유리 기판(202)으로부터 분리할 수 있다. 이때, 상기 공급되는 공기의 압력을 증가시키거나 상기 제1 진공 흡착부의 상승 높이를 증가시킴으로써, 상기 제1 유리 기판(201)을 상기 제2 유리 기판(202)으로부터 빠르게 분리할 수도 있다.
본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
101, 102: 챔버 111: 제1 진공 척
121: 제2 진공 척 122: 배관

Claims (20)

  1. 챔버와;
    상기 챔버 내에 설치되고, 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 제1 진공 흡착부와;
    상기 챔버 내에 설치되고, 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 제2 진공 흡착부와;
    상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 구동부와;
    상기 챔버 내에 공기를 공급하는 공기 공급부를 포함하며,
    상기 제1 유리 기판의 배면에는 상기 제1 유리 기판의 합착면의 외각을 따라 설정된 폭을 갖는 홈이 형성되고, 상기 홈을 따라 압축 공기가 유입후 이동하면서 상기 제1 유리 기판은 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 밀어 올려지며,
    상기 구동부는 상기 제1 진공 흡착부를 상승시키면서 상기 제1 유리 기판과 상기 제2 유리 기판이 서로 분리되도록 하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 챔버는,
    제1 챔버와;
    실(Seal)에 의해 상기 제1 챔버와 결합됨으로써 밀폐되는 제2 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 실의 재질은,
    실리콘, 에틸렌프로필렌 고무 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 진공 흡착부는,
    다수의 공기 분출 홀을 갖는 제1 진공 척과;
    상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 제1 오링(O-Ring)과;
    상기 제1 진공 척에 설치된 제1 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 진공 흡착부는,
    상기 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제2 진공 척과;
    상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 제2 오링과;
    상기 제2 진공 척에 설치된 제2 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 진공 척이 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제1 배관을 통해 흡입하고; 상기 제2 진공 척이 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제2 배관을 통해 흡입하는 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제1 오링은,
    상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;
    상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하며,
    상기 제2 오링은,
    상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;
    상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되며, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 공기 공급부는,
    상기 챔버 내에 미리결정된 압력의 압축 공기를 상기 제1 진공 척의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 공급하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치.
  12. 챔버 내에 설치된 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 제1 진공 흡착부를 통해 진공 흡착하는 단계와;
    상기 제2 유리 기판을 상기 챔버 내에 설치된 제2 진공 흡착부를 통해 진공 흡착하는 단계와;
    상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 단계와;
    상기 챔버 내에 공기를 공급함으로써 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하며,
    상기 제1 유리 기판의 배면에는 상기 제1 유리 기판의 합착면의 외각을 따라 설정된 폭을 갖는 홈이 형성되고,
    상기 제1 유리 기판을 분리하는 단계는,
    상기 공급된 공기가 상기 홈을 따라 진입하면서 상기 제1 유리 기판을 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 밀어올리며, 상기 제1 유리 기판에 진공 흡착된 상기 제1 진공 흡착부는 상승되면서 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 분리시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제12항에 있어서, 상기 제1 진공 흡착부는,
    다수의 공기 분출 홀을 갖는 제1 진공 척과;
    상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 제1 오링(O-Ring)과;
    상기 제1 진공 척에 설치된 제1 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제2 진공 흡착부는,
    상기 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제2 진공 척과;
    상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 제2 오링과;
    상기 제2 진공 척에 설치된 제2 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 단계는,
    상기 제1 진공 척이 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제1 배관을 통해 흡입하는 단계를 포함하며,
    상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 단계는,
    상기 제2 진공 척이 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제2 배관을 통해 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 제1 오링은,
    상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;
    상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하며,
    상기 제2 오링은,
    상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;
    상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되며, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
  20. 제15항에 있어서, 상기 챔버 내에 공기를 공급하는 단계는,
    상기 챔버 내에 미리결정된 압력의 압축 공기를 상기 제1 진공 척의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 공급하는 단계인 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111993335A (zh) * 2020-08-07 2020-11-27 贵州乐道科技有限公司 一种带有弹簧加压机构的液晶屏分离机

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000084844A (ja) 1998-09-17 2000-03-28 Asahi Glass Co Ltd 板状体の剥離方法及びその装置
JP2007264375A (ja) 2006-03-29 2007-10-11 Toppan Printing Co Ltd ガラス板剥離装置
JP2008153337A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Tokyo Electron Ltd 貼り合せ基板の分離方法、貼り合せ基板の分離装置及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW484184B (en) * 1998-11-06 2002-04-21 Canon Kk Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method
KR100698054B1 (ko) * 2003-12-02 2007-03-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 합착 장치
KR100931610B1 (ko) * 2008-01-30 2009-12-14 주식회사 에이디피엔지니어링 미세 패턴 임프린트 공정용 스탬프 및 기판 분리 장치 및방법
KR101327958B1 (ko) * 2011-04-13 2013-11-12 전자부품연구원 액정 표시 소자로부터 인듐 주석 산화물 및 유가 자원을 회수하는 방법 및 이에 따라 회수된 인듐 주석 산화물

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000084844A (ja) 1998-09-17 2000-03-28 Asahi Glass Co Ltd 板状体の剥離方法及びその装置
JP2007264375A (ja) 2006-03-29 2007-10-11 Toppan Printing Co Ltd ガラス板剥離装置
JP2008153337A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Tokyo Electron Ltd 貼り合せ基板の分離方法、貼り合せ基板の分離装置及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

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