JPH10173861A - 密着型カラーイメージセンサおよびその製造方法 - Google Patents
密着型カラーイメージセンサおよびその製造方法Info
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- JPH10173861A JPH10173861A JP8325303A JP32530396A JPH10173861A JP H10173861 A JPH10173861 A JP H10173861A JP 8325303 A JP8325303 A JP 8325303A JP 32530396 A JP32530396 A JP 32530396A JP H10173861 A JPH10173861 A JP H10173861A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサ素子に導光部を有する場合において効
率のよいカラー画像入力を可能とする。 【解決手段】 ガラス基板１５の一面に、導光孔７を有
するパターンで個別電極１８が形成される。個別電極１
８上には、感光層１７、共通電極１６およびカラーフィ
ルタ１９が順次積層され、これらが保護膜９で保護さ
れ、センサ基板１０となる。保護膜９には接着層８を介
して光ガイド１２が接着される。センサ基板１０のガラ
ス基板１５側には、カラーＬＥＤアレイ光源２が配置さ
れる。カラーＬＥＤアレイ光源２からの光は、導光孔７
を通って光ガイド１２に導かれ、原稿５を照明する。原
稿５で反射した光は光ガイド１２を逆行し、カラーフィ
ルタ１９を透過して感光層１７に達する。
率のよいカラー画像入力を可能とする。 【解決手段】 ガラス基板１５の一面に、導光孔７を有
するパターンで個別電極１８が形成される。個別電極１
８上には、感光層１７、共通電極１６およびカラーフィ
ルタ１９が順次積層され、これらが保護膜９で保護さ
れ、センサ基板１０となる。保護膜９には接着層８を介
して光ガイド１２が接着される。センサ基板１０のガラ
ス基板１５側には、カラーＬＥＤアレイ光源２が配置さ
れる。カラーＬＥＤアレイ光源２からの光は、導光孔７
を通って光ガイド１２に導かれ、原稿５を照明する。原
稿５で反射した光は光ガイド１２を逆行し、カラーフィ
ルタ１９を透過して感光層１７に達する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多数のセンサ素子
が原稿と同一幅で配列され、原稿にほぼ密着して読み取
り動作を行う密着型カラーイメージセンサおよびその製
造方法に関する。
が原稿と同一幅で配列され、原稿にほぼ密着して読み取
り動作を行う密着型カラーイメージセンサおよびその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】密着型イメージセンサは、原稿幅と同一
の長さをもち、原稿とほぼ密着して読み取り動作を行う
ため、ＣＣＤ（電荷結合素子）に比べて光路長が短く、
イメージセンサ自体は大型であるが読み取り装置の小型
化が可能であるという利点がある。
の長さをもち、原稿とほぼ密着して読み取り動作を行う
ため、ＣＣＤ（電荷結合素子）に比べて光路長が短く、
イメージセンサ自体は大型であるが読み取り装置の小型
化が可能であるという利点がある。
【０００３】密着型イメージセンサの構成としては、次
の２種類に分類される。
の２種類に分類される。
【０００４】第１の構成は、イメージセンサと原稿との
間にロッドレンズアレイ等の結像手段を配置し、原稿の
像をセンサ面に等倍で結像させる構成である。この構成
のものは、密着型と呼ばれるものの、イメージセンサと
結像手段との間、および結像手段と原稿との間に結像の
ための距離が必要である。その結果、イメージセンサと
原稿との距離は、通常１０ｍｍ以上必要である。
間にロッドレンズアレイ等の結像手段を配置し、原稿の
像をセンサ面に等倍で結像させる構成である。この構成
のものは、密着型と呼ばれるものの、イメージセンサと
結像手段との間、および結像手段と原稿との間に結像の
ための距離が必要である。その結果、イメージセンサと
原稿との距離は、通常１０ｍｍ以上必要である。
【０００５】第２の構成は、イメージセンサの表面に５
０μｍ程度の薄いガラス板を貼り付け、このガラス板と
原稿とを密着させて原稿を読み取る構成である。この構
成を第１の構成と区別して特に完全密着型イメージセン
サと呼ぶ。完全密着型イメージセンサは、結像光学系を
もたない代りに、原稿がセンサから離れると解像度の劣
化が著しい。また、センサ素子が陰を作り、原稿の照明
が難しいといった問題点がある。
０μｍ程度の薄いガラス板を貼り付け、このガラス板と
原稿とを密着させて原稿を読み取る構成である。この構
成を第１の構成と区別して特に完全密着型イメージセン
サと呼ぶ。完全密着型イメージセンサは、結像光学系を
もたない代りに、原稿がセンサから離れると解像度の劣
化が著しい。また、センサ素子が陰を作り、原稿の照明
が難しいといった問題点がある。
【０００６】そこで、完全密着型イメージセンサのこれ
らの問題点を改善するために、センサ素子に導光孔を設
け、センサと原稿との間に光ファイバを収束させた光ガ
イドを配置した構成のものが、特開平６−２９１９３５
号公報に開示されている。
らの問題点を改善するために、センサ素子に導光孔を設
け、センサと原稿との間に光ファイバを収束させた光ガ
イドを配置した構成のものが、特開平６−２９１９３５
号公報に開示されている。
【０００７】この構成の完全密着型イメージセンサにつ
いて、図７を参照して説明する。図７を参照すると、こ
のイメージセンサは、照明光１０４ａを照射するＬＥＤ
アレイ１０２と、入射する光の強度に応じて光電変換を
行うセンサ素子が設けられたセンサ基板１１０と、セン
サ基板１１０に透明な接着層１０８を介して接着された
光ガイド１１２とを有する。
いて、図７を参照して説明する。図７を参照すると、こ
のイメージセンサは、照明光１０４ａを照射するＬＥＤ
アレイ１０２と、入射する光の強度に応じて光電変換を
行うセンサ素子が設けられたセンサ基板１１０と、セン
サ基板１１０に透明な接着層１０８を介して接着された
光ガイド１１２とを有する。
【０００８】センサ基板１１０は、ガラス基板１１５の
表面に、不透明な共通電極１１６、感光層１１７、およ
び透明な個別電極１１８を順次形成してフォトダイオー
ド（センサ素子）を構成したものである。共通電極１１
６、感光層１１７および個別電極１１８には複数の導光
孔１０７が形成されている。光ガイド１１２は、光吸収
層１１２ｂで覆ったファイバ１１２ａをアレイ状に束ね
たものであり、個別電極１１８の表面に接着層１０８に
よって接着される。ＬＥＤアレイ１０２はセンサ基板１
１０のガラス基板１１５側に配置される。
表面に、不透明な共通電極１１６、感光層１１７、およ
び透明な個別電極１１８を順次形成してフォトダイオー
ド（センサ素子）を構成したものである。共通電極１１
６、感光層１１７および個別電極１１８には複数の導光
孔１０７が形成されている。光ガイド１１２は、光吸収
層１１２ｂで覆ったファイバ１１２ａをアレイ状に束ね
たものであり、個別電極１１８の表面に接着層１０８に
よって接着される。ＬＥＤアレイ１０２はセンサ基板１
１０のガラス基板１１５側に配置される。
【０００９】上記のように構成されたイメージセンサで
は、ＬＥＤアレイ１０２から照射された照明光１０４ａ
はセンサ基板１１０の導光孔１０７を通ってファイバ１
１２ａに入射され、原稿１０５を照明する。原稿１０５
を照明した光は原稿で反射され、その反射光１０４ｂは
ファイバ１１２ａを逆行して感光層１１７に入射する。
感光層１１７では入射した光に応じて電荷が発生し、こ
の電荷を蓄積し、所定のタイミングで検出することで、
原稿１０５の読み取りが行われる。
は、ＬＥＤアレイ１０２から照射された照明光１０４ａ
はセンサ基板１１０の導光孔１０７を通ってファイバ１
１２ａに入射され、原稿１０５を照明する。原稿１０５
を照明した光は原稿で反射され、その反射光１０４ｂは
ファイバ１１２ａを逆行して感光層１１７に入射する。
感光層１１７では入射した光に応じて電荷が発生し、こ
の電荷を蓄積し、所定のタイミングで検出することで、
原稿１０５の読み取りが行われる。
【００１０】イメージセンサの表面にカラーフィルタを
設けることによって、カラー化された原稿を読み取るこ
とも可能となる。従来のカラーイメージセンサにおいて
は、画素単位または色列単位で、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、
赤（Ｒ）のカラーフィルタを形成している。カラーフィ
ルタを形成する手法としては、顔料分散法、染色法、印
刷法等が挙げられる。
設けることによって、カラー化された原稿を読み取るこ
とも可能となる。従来のカラーイメージセンサにおいて
は、画素単位または色列単位で、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、
赤（Ｒ）のカラーフィルタを形成している。カラーフィ
ルタを形成する手法としては、顔料分散法、染色法、印
刷法等が挙げられる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特開平６−２９１９３５号公報に開示された密着型イ
メージセンサでは、感光層と電極とで構成されるフォト
ダイオードは、原稿で反射した信号光の光量に該当する
電荷を発生するため、グレーレベルの感知しかできな
い。その結果、このイメージセンサではカラー化された
原稿を感知できないものであった。
た特開平６−２９１９３５号公報に開示された密着型イ
メージセンサでは、感光層と電極とで構成されるフォト
ダイオードは、原稿で反射した信号光の光量に該当する
電荷を発生するため、グレーレベルの感知しかできな
い。その結果、このイメージセンサではカラー化された
原稿を感知できないものであった。
【００１２】これを解決するためには、イメージセンサ
の表面にカラーフィルタを設ければよい。しかし、セン
サ素子に導光孔を設けた密着型イメージセンサに従来と
同様に、すなわち少なくとも画素単位にカラーフィルタ
を形成すると、光の利用効率が悪くなり、Ｓ／Ｎ比が低
下するという問題点が生じる。
の表面にカラーフィルタを設ければよい。しかし、セン
サ素子に導光孔を設けた密着型イメージセンサに従来と
同様に、すなわち少なくとも画素単位にカラーフィルタ
を形成すると、光の利用効率が悪くなり、Ｓ／Ｎ比が低
下するという問題点が生じる。
【００１３】そこで本発明は、センサ素子に導光孔を設
けた密着型イメージセンサにおいて、効率のよいカラー
画像入力を可能とすることを目的とする。また、本発明
は、このような密着型カラーイメージセンサを容易に製
造する方法を提供することを第２の目的とする。
けた密着型イメージセンサにおいて、効率のよいカラー
画像入力を可能とすることを目的とする。また、本発明
は、このような密着型カラーイメージセンサを容易に製
造する方法を提供することを第２の目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の概要について述
べる前に、導光孔付きの密着イメージセンサに従来と同
様にしてカラーフィルタを設けた場合について考察す
る。
べる前に、導光孔付きの密着イメージセンサに従来と同
様にしてカラーフィルタを設けた場合について考察す
る。
【００１５】図８は、導光孔付きの密着型イメージセン
サに従来と同様にしてカラーフィルタを設けた場合の１
画素についての断面図である。この場合、図８に示すよ
うに、照明光１５４ａは、導光孔１５７を通ってカラー
フィルタ１６９を透過した後、原稿１５５を照明する。
この光は原稿面で反射し、ファイバ１６２ａに導かれ、
再びカラーフィルタ１６９を透過した後、感光層１６７
に達する。つまり、光源１５２からの光は、原稿面で反
射して感光層１６７に達するまでに、カラーフィルタ１
６９を２回透過することになる。
サに従来と同様にしてカラーフィルタを設けた場合の１
画素についての断面図である。この場合、図８に示すよ
うに、照明光１５４ａは、導光孔１５７を通ってカラー
フィルタ１６９を透過した後、原稿１５５を照明する。
この光は原稿面で反射し、ファイバ１６２ａに導かれ、
再びカラーフィルタ１６９を透過した後、感光層１６７
に達する。つまり、光源１５２からの光は、原稿面で反
射して感光層１６７に達するまでに、カラーフィルタ１
６９を２回透過することになる。
【００１６】ここで、顔料分散法によって形成した青
（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）の３色のカラーフィルタの
透過率を図９に示す。また、カラーフィルタを２回透過
したのと等価の透過率を図１０に示す。図９および図１
０から分かるように、光の利用効率は、カラーフィルタ
を２回透過させることによって低下する。具体的には、
青（Ｂ）で５８％、緑（Ｇ）で４９％、赤（Ｒ）で８２
％となる。これは、フィルターの界面での反射や、バイ
ンダーによる吸収等の光のロスがフィルターを透過する
度に生じるためである。フィルターの厚さを薄くすれ
ば、フィルター内での光の吸収はある程度抑えることが
できるが、界面での反射は避けられない。このように、
光がカラーフィルタを２回透過することにより光の利用
効率が低下し、結果的に信号量の低下につながる。さら
に、界面での反射は迷光となり、解像度低下の原因にも
なる。
（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）の３色のカラーフィルタの
透過率を図９に示す。また、カラーフィルタを２回透過
したのと等価の透過率を図１０に示す。図９および図１
０から分かるように、光の利用効率は、カラーフィルタ
を２回透過させることによって低下する。具体的には、
青（Ｂ）で５８％、緑（Ｇ）で４９％、赤（Ｒ）で８２
％となる。これは、フィルターの界面での反射や、バイ
ンダーによる吸収等の光のロスがフィルターを透過する
度に生じるためである。フィルターの厚さを薄くすれ
ば、フィルター内での光の吸収はある程度抑えることが
できるが、界面での反射は避けられない。このように、
光がカラーフィルタを２回透過することにより光の利用
効率が低下し、結果的に信号量の低下につながる。さら
に、界面での反射は迷光となり、解像度低下の原因にも
なる。
【００１７】このような現象を踏まえて本発明はなされ
た。すなわち、本発明の密着型カラーイメージセンサ
は、照明光を放射する光源と、入射する光の強度に応じ
て光電変換を行うセンサ素子が設けられたセンサ基板
と、前記センサ基板の前記光源が配置された面と反対側
の面に固着され、一方の面から入射した光を他方の面に
導く光ガイドとを有し、前記センサ基板には、前記光源
からの光を前記光ガイドに透過させる導光部が設けら
れ、前記センサ基板は、前記導光部を透過し前記光ガイ
ドを介して原稿で反射した光が前記センサ素子に入射さ
れるように構成され、前記センサ基板の、前記光源から
の照明光路上あるいは前記原稿からの反射光路上のいず
れか一方に、カラーフィルタが設けられている。
た。すなわち、本発明の密着型カラーイメージセンサ
は、照明光を放射する光源と、入射する光の強度に応じ
て光電変換を行うセンサ素子が設けられたセンサ基板
と、前記センサ基板の前記光源が配置された面と反対側
の面に固着され、一方の面から入射した光を他方の面に
導く光ガイドとを有し、前記センサ基板には、前記光源
からの光を前記光ガイドに透過させる導光部が設けら
れ、前記センサ基板は、前記導光部を透過し前記光ガイ
ドを介して原稿で反射した光が前記センサ素子に入射さ
れるように構成され、前記センサ基板の、前記光源から
の照明光路上あるいは前記原稿からの反射光路上のいず
れか一方に、カラーフィルタが設けられている。
【００１８】上記のとおり構成された本発明の密着型カ
ラーイメージセンサでは、光源からの照明光は、センサ
基板の導光部を通った後、光ガイドに導かれて原稿を照
明する。この光は原稿で反射し、再び光ガイドを逆行し
てセンサ素子に入射される。カラーフィルタは、光源か
ら原稿までの照明光路上あるいは原稿からセンサ素子ま
での反射光路上のいずれか一方の光路上に設けられてい
るので、光源からの光は、センサ素子に入射されるまで
の間に、１回しかカラーフィルタを透過しない。その結
果、光の利用効率が高いものとなる。
ラーイメージセンサでは、光源からの照明光は、センサ
基板の導光部を通った後、光ガイドに導かれて原稿を照
明する。この光は原稿で反射し、再び光ガイドを逆行し
てセンサ素子に入射される。カラーフィルタは、光源か
ら原稿までの照明光路上あるいは原稿からセンサ素子ま
での反射光路上のいずれか一方の光路上に設けられてい
るので、光源からの光は、センサ素子に入射されるまで
の間に、１回しかカラーフィルタを透過しない。その結
果、光の利用効率が高いものとなる。
【００１９】センサ素子は、ガラス基板上に設けられた
不透明な電極と、その電極上に設けられた感光層と、そ
の感光層上に設けられた透明な電極とで構成することが
できる。この場合、センサ基板の厚み方向について感光
層と同じ位置にカラーフィルタを設けることで、カラー
フィルタは反射光路上に位置し、センサ基板の厚み方向
について導光部と同じ位置にカラーフィルタを設けるこ
とで、カラーフィルタは照明光路上に位置することにな
る。カラーフィルタを感光層と同じ位置に設ける場合に
は、透明な電極上にカラーフィルタを設けてもよい。
不透明な電極と、その電極上に設けられた感光層と、そ
の感光層上に設けられた透明な電極とで構成することが
できる。この場合、センサ基板の厚み方向について感光
層と同じ位置にカラーフィルタを設けることで、カラー
フィルタは反射光路上に位置し、センサ基板の厚み方向
について導光部と同じ位置にカラーフィルタを設けるこ
とで、カラーフィルタは照明光路上に位置することにな
る。カラーフィルタを感光層と同じ位置に設ける場合に
は、透明な電極上にカラーフィルタを設けてもよい。
【００２０】また、光源としては、発光スペクトルの異
なる少なくとも３種類の発光ダイオードを配列したＬＥ
Ｄアレイ光源を用いるのが好ましい。
なる少なくとも３種類の発光ダイオードを配列したＬＥ
Ｄアレイ光源を用いるのが好ましい。
【００２１】本発明の密着型カラーイメージセンサの製
造方法は、ガラス基板の表面に、少なくとも１つの開口
を含む所定のパターンで不透明な個別電極を形成する工
程と、前記個別電極上に感光層を形成する工程と、前記
感光層上に透明な共通電極を形成する工程と、前記共通
電極が形成されたガラス基板を顔料が分散された溶液中
に浸漬し、前記共通電極に電圧を印加することで前記共
通電極上に前記顔料を析出および堆積させる工程とを有
する。
造方法は、ガラス基板の表面に、少なくとも１つの開口
を含む所定のパターンで不透明な個別電極を形成する工
程と、前記個別電極上に感光層を形成する工程と、前記
感光層上に透明な共通電極を形成する工程と、前記共通
電極が形成されたガラス基板を顔料が分散された溶液中
に浸漬し、前記共通電極に電圧を印加することで前記共
通電極上に前記顔料を析出および堆積させる工程とを有
する。
【００２２】このように、センサ素子を構成する共通電
極を利用してカラーフィルタを形成することで、反射光
路上にカラーフィルタが設けられた密着型カラーイメー
ジセンサのセンサ基板が容易に製造される。
極を利用してカラーフィルタを形成することで、反射光
路上にカラーフィルタが設けられた密着型カラーイメー
ジセンサのセンサ基板が容易に製造される。
【００２３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００２４】（第１の実施形態）図１は、本発明の密着
型カラーイメージセンサの第１の実施形態の１つの画素
についての、原稿を読み取っている状態での断面図であ
る。図２は、図１に示した密着型カラーイメージセンサ
の１つの画素を受光面側から見た図である。なお、図１
に示した断面は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面に相当す
る。
型カラーイメージセンサの第１の実施形態の１つの画素
についての、原稿を読み取っている状態での断面図であ
る。図２は、図１に示した密着型カラーイメージセンサ
の１つの画素を受光面側から見た図である。なお、図１
に示した断面は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面に相当す
る。
【００２５】本実施形態の密着型カラーイメージセンサ
は、８本／ｍｍの解像度を持つラインセンサであり、ガ
ラス基板１５上に、図２に示したような一辺が１００μ
ｍの正方形の画素３が主走査方向（図２におけるＸ方
向）に１２５μｍピッチで配列されている。また、主走
査方向に配列された画素列と同様の画素列が、さらに、
副走査方向（図２におけるＹ方向）に３列配列されてい
る。これら３つの画素列は、各画素列毎に、赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）の異なるカラーフィルタ１９が形成
されている。
は、８本／ｍｍの解像度を持つラインセンサであり、ガ
ラス基板１５上に、図２に示したような一辺が１００μ
ｍの正方形の画素３が主走査方向（図２におけるＸ方
向）に１２５μｍピッチで配列されている。また、主走
査方向に配列された画素列と同様の画素列が、さらに、
副走査方向（図２におけるＹ方向）に３列配列されてい
る。これら３つの画素列は、各画素列毎に、赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）の異なるカラーフィルタ１９が形成
されている。
【００２６】図１を参照すると、この密着型カラーイメ
ージセンサは、カラーＬＥＤアレイ光源２と、入射する
光の強度に応じて光電変換を行う多数のセンサ素子が形
成されたセンサ基板１０と、光ガイド１２とを有する。
ージセンサは、カラーＬＥＤアレイ光源２と、入射する
光の強度に応じて光電変換を行う多数のセンサ素子が形
成されたセンサ基板１０と、光ガイド１２とを有する。
【００２７】カラーＬＥＤアレイ光源２は、原稿５のカ
ラー情報を読み取るために、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）の３色のＬＥＤを配列したものであり、センサ基
板１０のガラス基板１５側に配置される。
ラー情報を読み取るために、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）の３色のＬＥＤを配列したものであり、センサ基
板１０のガラス基板１５側に配置される。
【００２８】センサ基板１０は、そのベースとなるガラ
ス基板１５の図示下面に個別電極１８が形成されてい
る。個別電極１８は、膜厚が１００ｎｍのクロムで形成
されたもので、各画素３毎に引き出されて画素選択スイ
ッチ（不図示）に接続されている。個別電極１８は不透
明な電極であり、これにより、カラーＬＥＤアレイ光源
２からの照明光が感光層１７に照射されるのが防止され
る。個別電極１８には、図２に示すような、幅が１０μ
ｍ、長さが８０μｍの４本のスリットが設けられてお
り、カラーＬＥＤアレイ光源２からの照明光は、これら
スリットを通って原稿５を照明する。つまり、これらス
リットが導光孔７となる。
ス基板１５の図示下面に個別電極１８が形成されてい
る。個別電極１８は、膜厚が１００ｎｍのクロムで形成
されたもので、各画素３毎に引き出されて画素選択スイ
ッチ（不図示）に接続されている。個別電極１８は不透
明な電極であり、これにより、カラーＬＥＤアレイ光源
２からの照明光が感光層１７に照射されるのが防止され
る。個別電極１８には、図２に示すような、幅が１０μ
ｍ、長さが８０μｍの４本のスリットが設けられてお
り、カラーＬＥＤアレイ光源２からの照明光は、これら
スリットを通って原稿５を照明する。つまり、これらス
リットが導光孔７となる。
【００２９】個別電極１８の表面には、感光層１７が設
けられている。感光層１７は、水素化非結晶シリコン膜
に、ボロンをドープした水素化非結晶シリコン膜を積層
したもので、合計で約１μｍの膜厚を有する。感光層１
７は、プラズマＣＶＤ装置を用いて形成される。
けられている。感光層１７は、水素化非結晶シリコン膜
に、ボロンをドープした水素化非結晶シリコン膜を積層
したもので、合計で約１μｍの膜厚を有する。感光層１
７は、プラズマＣＶＤ装置を用いて形成される。
【００３０】感光層１７の表面には、インジウム酸化ス
ズからなる透明な共通電極１６が形成されている。共通
電極１６は、図２に示した引き出し電極１４を介して、
同一の画素列の他の画素３と接続されている。
ズからなる透明な共通電極１６が形成されている。共通
電極１６は、図２に示した引き出し電極１４を介して、
同一の画素列の他の画素３と接続されている。
【００３１】これら個別電極１８、感光層１７および共
通電極１６で、入射する光の強度に応じて光電変換を行
うセンサ素子であるフォトダイオードが構成される。
通電極１６で、入射する光の強度に応じて光電変換を行
うセンサ素子であるフォトダイオードが構成される。
【００３２】共通電極１６の表面には、所定の色のカラ
ーフィルタ１９が形成される。カラーフィルタ１９の形
成方法については後述する。そして、カラーフィルタ１
９が形成されたガラス基板１５の表面に、ポリイミドか
らなる保護膜９が形成され、これによりセンサ基板１０
が完成する。
ーフィルタ１９が形成される。カラーフィルタ１９の形
成方法については後述する。そして、カラーフィルタ１
９が形成されたガラス基板１５の表面に、ポリイミドか
らなる保護膜９が形成され、これによりセンサ基板１０
が完成する。
【００３３】このセンサ基板１０の保護膜９の表面に、
接着層８を介して光ガイド１２が接着される。光ガイド
１２は従来と同様に、光吸収層１２ｂで覆ったファイバ
１２ａをアレイ状に束ねたもので、一方の面から入射し
た光を他方の面に導く。光ガイド１２は、原稿５の読み
取り時には原稿５と密着される。なお、センサ基板１０
の導光孔７および感光層１７は、ファイバ１２ａの断面
内に同時に含まれるように配置される。
接着層８を介して光ガイド１２が接着される。光ガイド
１２は従来と同様に、光吸収層１２ｂで覆ったファイバ
１２ａをアレイ状に束ねたもので、一方の面から入射し
た光を他方の面に導く。光ガイド１２は、原稿５の読み
取り時には原稿５と密着される。なお、センサ基板１０
の導光孔７および感光層１７は、ファイバ１２ａの断面
内に同時に含まれるように配置される。
【００３４】図３に、上述した画素３の配列を受光面側
から見た図を示す。図３において、引き出し電極１４Ｒ
を介して接続されている画素列は赤の情報を読み取るた
めのものであり、各画素３Ｒ１，３Ｒ２，３Ｒ３，・・
・にはそれぞれ赤色のカラーフィルタ１９Ｒが形成され
ている。同様に、引き出し電極１４Ｇを介して接続され
ている画素列の各画素３Ｇ１，３Ｇ２，３Ｇ３，・・・
には緑の情報を読み取るために緑色のカラーフィルタ１
９Ｇが形成され、引出し電極１４Ｂを介して接続されて
いる画素列の各画素３Ｂ１，３Ｂ２，３Ｂ３，・・・に
は青の情報を読み取るために青色のカラーフィルタ１９
Ｂが形成されている。
から見た図を示す。図３において、引き出し電極１４Ｒ
を介して接続されている画素列は赤の情報を読み取るた
めのものであり、各画素３Ｒ１，３Ｒ２，３Ｒ３，・・
・にはそれぞれ赤色のカラーフィルタ１９Ｒが形成され
ている。同様に、引き出し電極１４Ｇを介して接続され
ている画素列の各画素３Ｇ１，３Ｇ２，３Ｇ３，・・・
には緑の情報を読み取るために緑色のカラーフィルタ１
９Ｇが形成され、引出し電極１４Ｂを介して接続されて
いる画素列の各画素３Ｂ１，３Ｂ２，３Ｂ３，・・・に
は青の情報を読み取るために青色のカラーフィルタ１９
Ｂが形成されている。
【００３５】以下に、これらのカラーフィルタ１９Ｒ，
１９Ｇ，１９Ｂの形成方法について、図４を参照して説
明する。本実施形態では、電解法と呼ばれる方法を用い
てカラーフィルタ１９Ｒ，１９Ｇ，１９Ｂを形成する。
１９Ｇ，１９Ｂの形成方法について、図４を参照して説
明する。本実施形態では、電解法と呼ばれる方法を用い
てカラーフィルタ１９Ｒ，１９Ｇ，１９Ｂを形成する。
【００３６】まず、赤色顔料分散状態にあるコロイド溶
液中に、共通電極形成工程まで終了したセンサ基板１
０’を浸す。このとき、センサ基板１０’の各引き出し
電極１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂの端部にそれぞれ設けられ
た外部接続パッド１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂが溶液中に浸
らないようにする。そして、赤の画素列の引き出し電極
１４Ｒの外部接続パッド１３Ｒにプラスの電圧を印加す
るとともに、溶液中に浸した電極２０にマイナスの電圧
を印加する。すると、プラスの電圧を印加された導体、
すなわち赤の画素列の各画素の共通電極および配線部の
みに、赤色顔料が析出、堆積する。その後、このセンサ
基板１０’を洗浄およびベーキングすることで、赤の画
素列の各画素の導光孔を除く部位に赤色のカラーフィル
タが形成される。
液中に、共通電極形成工程まで終了したセンサ基板１
０’を浸す。このとき、センサ基板１０’の各引き出し
電極１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂの端部にそれぞれ設けられ
た外部接続パッド１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂが溶液中に浸
らないようにする。そして、赤の画素列の引き出し電極
１４Ｒの外部接続パッド１３Ｒにプラスの電圧を印加す
るとともに、溶液中に浸した電極２０にマイナスの電圧
を印加する。すると、プラスの電圧を印加された導体、
すなわち赤の画素列の各画素の共通電極および配線部の
みに、赤色顔料が析出、堆積する。その後、このセンサ
基板１０’を洗浄およびベーキングすることで、赤の画
素列の各画素の導光孔を除く部位に赤色のカラーフィル
タが形成される。
【００３７】次いで、赤色のカラーフィルタが形成され
たセンサ基板１０’を、緑色顔料分散状態にあるコロイ
ド溶液中に同様に浸す。緑の引き出し電極１４Ｇの外部
接続パッド１３Ｇにプラスの電圧を印加するとともに、
この溶液中に浸した電極にマイナスの電圧を印加し、緑
色顔料を析出、堆積させる。その後、このセンサ基板１
０’を再び洗浄およびベーキングし、緑の画素列の各画
素の導光孔を除く部位に緑色のカラーフィルタを形成す
る。
たセンサ基板１０’を、緑色顔料分散状態にあるコロイ
ド溶液中に同様に浸す。緑の引き出し電極１４Ｇの外部
接続パッド１３Ｇにプラスの電圧を印加するとともに、
この溶液中に浸した電極にマイナスの電圧を印加し、緑
色顔料を析出、堆積させる。その後、このセンサ基板１
０’を再び洗浄およびベーキングし、緑の画素列の各画
素の導光孔を除く部位に緑色のカラーフィルタを形成す
る。
【００３８】さらに、青色のカラーフィルタについて
も、青色顔料分散状態にあるコロイド溶液中にセンサ基
板１０’を浸け、青の引き出し電極１４Ｂの外部接続パ
ッド１３Ｂを用いて同様のことを行って形成する。
も、青色顔料分散状態にあるコロイド溶液中にセンサ基
板１０’を浸け、青の引き出し電極１４Ｂの外部接続パ
ッド１３Ｂを用いて同様のことを行って形成する。
【００３９】以上のようにして３色のカラーフィルタ１
９Ｒ，１９Ｇ，１９Ｂが形成されたら、外部接続パッド
１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂを除く部位に上述した保護膜９
が形成される。
９Ｒ，１９Ｇ，１９Ｂが形成されたら、外部接続パッド
１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂを除く部位に上述した保護膜９
が形成される。
【００４０】次に、本実施形態のカラーイメージセンサ
による原稿の読み取り動作について説明する。
による原稿の読み取り動作について説明する。
【００４１】図１に示すように、カラーＬＥＤアレイ光
源２から照射された照明光４ａは、センサ基板１０の導
光孔７を通ってファイバ１２ａに入射され、原稿５を照
明する。原稿５を照明した光は原稿５で反射されて反射
光４ｂとなり、ファイバ１２ａを逆行して最終的に感光
層１７に入射する。この間に、反射光４ｂはカラーフィ
ルタ１９を透過する。反射光４ｂが感光層１９に入射さ
れると、感光層１９には入射した光に応じて電荷が発生
し、その電荷が、逆バイアスを印加したフォトダイオー
ドとそれに並列に設けた容量に蓄積される。
源２から照射された照明光４ａは、センサ基板１０の導
光孔７を通ってファイバ１２ａに入射され、原稿５を照
明する。原稿５を照明した光は原稿５で反射されて反射
光４ｂとなり、ファイバ１２ａを逆行して最終的に感光
層１７に入射する。この間に、反射光４ｂはカラーフィ
ルタ１９を透過する。反射光４ｂが感光層１９に入射さ
れると、感光層１９には入射した光に応じて電荷が発生
し、その電荷が、逆バイアスを印加したフォトダイオー
ドとそれに並列に設けた容量に蓄積される。
【００４２】次いで、読み出し動作が行われる。読み出
し動作について図３を参照して説明する。個別電極１８
Ｒ１に接続された画素選択スイッチがオンになると、画
素３Ｒ１に蓄積されていた電荷が引き出し電極１４Ｒを
通り、検出回路（不図示）によって検出される。個別電
極１８Ｒ２，１８Ｒ３，・・・についても、それぞれに
接続された画素選択スイッチを順次オンすることで、引
き出し電極１４Ｒには赤についての信号が順次検出され
る。これを主走査という。以下、緑および青についての
信号も同様にして検出し、これら得られた各色の信号を
カラー信号とすることで、カラーラインセンサとして機
能する。
し動作について図３を参照して説明する。個別電極１８
Ｒ１に接続された画素選択スイッチがオンになると、画
素３Ｒ１に蓄積されていた電荷が引き出し電極１４Ｒを
通り、検出回路（不図示）によって検出される。個別電
極１８Ｒ２，１８Ｒ３，・・・についても、それぞれに
接続された画素選択スイッチを順次オンすることで、引
き出し電極１４Ｒには赤についての信号が順次検出され
る。これを主走査という。以下、緑および青についての
信号も同様にして検出し、これら得られた各色の信号を
カラー信号とすることで、カラーラインセンサとして機
能する。
【００４３】以上説明したように、本実施形態では、感
光層１７上のみにカラーフィルタ１９を形成しているの
で、カラーＬＥＤアレイ光源２から照射された光が原稿
５で反射し、感光層１９に入射するまでの光路中におい
て、光はカラーフィルタ１９を１回しか透過しない。こ
れにより光の利用効率が高くなり、結果的に、低消費電
力化および高Ｓ／Ｎ比化が可能となる。しかも、カラー
フィルタ１９の形成は、顔料を分散させた溶液中で共通
電極１６に電圧を印加し、顔料を共通電極１６上に堆積
させることにより行っているため、微細加工の手間を省
き、製造工程を簡略化することができる。
光層１７上のみにカラーフィルタ１９を形成しているの
で、カラーＬＥＤアレイ光源２から照射された光が原稿
５で反射し、感光層１９に入射するまでの光路中におい
て、光はカラーフィルタ１９を１回しか透過しない。こ
れにより光の利用効率が高くなり、結果的に、低消費電
力化および高Ｓ／Ｎ比化が可能となる。しかも、カラー
フィルタ１９の形成は、顔料を分散させた溶液中で共通
電極１６に電圧を印加し、顔料を共通電極１６上に堆積
させることにより行っているため、微細加工の手間を省
き、製造工程を簡略化することができる。
【００４４】本実施形態では、各色毎に画素列を持った
カラーイメージセンサを例に挙げて説明したが、１本の
画素列に順次Ｒ、Ｇ、Ｂが繰り返される単列のカラーイ
メージセンサにおいては、共通電極を各色毎に電気的に
分離することにより、上記の電解法を用いて所定の部位
のみにカラーフィルタを形成することができる。この場
合、感光層に蓄積された電荷の検出は、分離された各共
通電極をセンサ基板外で接続して１つの検出回路で行っ
てもよいし、接続せずにそれぞれに検出回路を割り当て
て行ってもよい。
カラーイメージセンサを例に挙げて説明したが、１本の
画素列に順次Ｒ、Ｇ、Ｂが繰り返される単列のカラーイ
メージセンサにおいては、共通電極を各色毎に電気的に
分離することにより、上記の電解法を用いて所定の部位
のみにカラーフィルタを形成することができる。この場
合、感光層に蓄積された電荷の検出は、分離された各共
通電極をセンサ基板外で接続して１つの検出回路で行っ
てもよいし、接続せずにそれぞれに検出回路を割り当て
て行ってもよい。
【００４５】（第２の実施形態）図５は、本発明の密着
型カラーイメージセンサの第２の実施形態の１つの画素
についての、原稿を読み取っている状態での断面図であ
る。
型カラーイメージセンサの第２の実施形態の１つの画素
についての、原稿を読み取っている状態での断面図であ
る。
【００４６】図５に示すように、本実施形態では、カラ
ーフィルタ３９は保護膜２９の表面に形成されている。
ただし、カラーフィルタ３９のパターンは感光層３７の
パターンと同じであり、また、カラーフィルタ３９の位
置も、センサ基板３０の厚み方向について感光層３７と
同じ位置である。その他の構成は第１の実施形態と同様
であるので、その詳細な説明は省略する。
ーフィルタ３９は保護膜２９の表面に形成されている。
ただし、カラーフィルタ３９のパターンは感光層３７の
パターンと同じであり、また、カラーフィルタ３９の位
置も、センサ基板３０の厚み方向について感光層３７と
同じ位置である。その他の構成は第１の実施形態と同様
であるので、その詳細な説明は省略する。
【００４７】このようにカラーフィルタ３９を形成して
も、カラーＬＥＤアレイ光源２２から照射された光が感
光層３７に入射するまでの光路中において、光はカラー
フィルタ３９を１回しか透過しない。したがって、本実
施形態でも第１の実施形態と同様に光の利用効率を高く
することができる。
も、カラーＬＥＤアレイ光源２２から照射された光が感
光層３７に入射するまでの光路中において、光はカラー
フィルタ３９を１回しか透過しない。したがって、本実
施形態でも第１の実施形態と同様に光の利用効率を高く
することができる。
【００４８】上述したように本実施形態ではカラーフィ
ルタ３９を保護膜２９の表面に形成しているため、第１
の実施形態と同様に共通電極３６を利用してカラーフィ
ルタ３９を形成することはできない。そこで、本実施形
態では、フォトリソグラフィ技術を用いた顔料分散法で
カラーフィルタ３９を形成する。
ルタ３９を保護膜２９の表面に形成しているため、第１
の実施形態と同様に共通電極３６を利用してカラーフィ
ルタ３９を形成することはできない。そこで、本実施形
態では、フォトリソグラフィ技術を用いた顔料分散法で
カラーフィルタ３９を形成する。
【００４９】以下に、顔料分散法によるカラーフィルタ
３９の形成方法について簡単に説明する。保護膜２９の
形成プロセス終了後、まず、赤色顔料分散フォトポリマ
ーをセンサ基板３０上にスピンコートする。そして、赤
の情報を読み取るための画素の感光層３７の部分のみに
露光光を透過させる露光マスクを用い、露光し現像する
ことにより、図５に示したようにカラーフィルタ３９が
パターニングされる。次に、緑色顔料分散フォトポリマ
ーで同様のことを行い、さらに青色顔料フォトポリマー
で同様のことを繰り返す。これにより、所望の位置に所
望の色のカラーフィルタ３９を形成することができる。
この方法の場合、ラインアンドスペースが約３μｍまで
の微細化が可能であるため、図５に示したように、感光
層３７上のみにカラーフィルタ３９を形成することが可
能である。
３９の形成方法について簡単に説明する。保護膜２９の
形成プロセス終了後、まず、赤色顔料分散フォトポリマ
ーをセンサ基板３０上にスピンコートする。そして、赤
の情報を読み取るための画素の感光層３７の部分のみに
露光光を透過させる露光マスクを用い、露光し現像する
ことにより、図５に示したようにカラーフィルタ３９が
パターニングされる。次に、緑色顔料分散フォトポリマ
ーで同様のことを行い、さらに青色顔料フォトポリマー
で同様のことを繰り返す。これにより、所望の位置に所
望の色のカラーフィルタ３９を形成することができる。
この方法の場合、ラインアンドスペースが約３μｍまで
の微細化が可能であるため、図５に示したように、感光
層３７上のみにカラーフィルタ３９を形成することが可
能である。
【００５０】（第３の実施形態）図６は、本発明の密着
型カラーイメージセンサの第３の実施形態の１つの画素
についての、原稿を読み取っている状態での断面図であ
る。
型カラーイメージセンサの第３の実施形態の１つの画素
についての、原稿を読み取っている状態での断面図であ
る。
【００５１】図６に示すように、本実施形態では、カラ
ーフィルタ５９は、保護膜４９の表面の、感光層５７に
対応する部分を除いた部分、すなわち、導光孔４７や画
素周辺部に形成されている。その他の構成は第１の実施
形態と同様であるので、その詳細な説明は省略する。カ
ラーフィルタ５９は、第２の実施形態と同様に顔料分散
法を用いて形成することができ、第２の実施形態とは露
光マスクのパターンを変えればよい。
ーフィルタ５９は、保護膜４９の表面の、感光層５７に
対応する部分を除いた部分、すなわち、導光孔４７や画
素周辺部に形成されている。その他の構成は第１の実施
形態と同様であるので、その詳細な説明は省略する。カ
ラーフィルタ５９は、第２の実施形態と同様に顔料分散
法を用いて形成することができ、第２の実施形態とは露
光マスクのパターンを変えればよい。
【００５２】本実施形態では、カラーＬＥＤアレイ光源
４２から出射された光は、導光孔４７、カラーフィルタ
５９およびファイバ５２ａを順次通って原稿５に照射さ
れる。原稿での反射光は、再びファイバ５２ａを通り、
感光層５７に達する。したがって、カラーＬＥＤアレイ
光源４２から出射された光は、原稿５で反射して感光層
５７に到達するまでの間に、カラーフィルタ５９を１回
だけ通過することになるので、結果的に、第１の実施形
態と同様の効果を得ることができる。
４２から出射された光は、導光孔４７、カラーフィルタ
５９およびファイバ５２ａを順次通って原稿５に照射さ
れる。原稿での反射光は、再びファイバ５２ａを通り、
感光層５７に達する。したがって、カラーＬＥＤアレイ
光源４２から出射された光は、原稿５で反射して感光層
５７に到達するまでの間に、カラーフィルタ５９を１回
だけ通過することになるので、結果的に、第１の実施形
態と同様の効果を得ることができる。
【００５３】なお、本実施形態では、原稿５の照明光で
色分解を行っているため、一種の照明回分解方式になっ
ている。この方式が可能なのは、照明された原稿５の部
分と感光層５７とがファイバ５２ａによって１対１で対
応しているためである。ファイバ５２ａを用いる代り
に、厚さが５０μｍ程度の薄いガラスを用いる構成の密
着型イメージセンサにおいても同様のカラー化が可能で
ある。
色分解を行っているため、一種の照明回分解方式になっ
ている。この方式が可能なのは、照明された原稿５の部
分と感光層５７とがファイバ５２ａによって１対１で対
応しているためである。ファイバ５２ａを用いる代り
に、厚さが５０μｍ程度の薄いガラスを用いる構成の密
着型イメージセンサにおいても同様のカラー化が可能で
ある。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の密着型カラ
ーイメージセンサは、センサ基板にカラーフィルタが設
けられ、しかもカラーフィルタは、光源からの照明光の
光路上あるいは原稿での反射光の光路上のいずれか一方
に配置されているので、光源からの光の利用効率を高く
することができ、結果的に、低消費電力化および高Ｓ／
Ｎ比化が可能となる。
ーイメージセンサは、センサ基板にカラーフィルタが設
けられ、しかもカラーフィルタは、光源からの照明光の
光路上あるいは原稿での反射光の光路上のいずれか一方
に配置されているので、光源からの光の利用効率を高く
することができ、結果的に、低消費電力化および高Ｓ／
Ｎ比化が可能となる。
【００５５】また、本発明の密着型カラーイメージセン
サの製造方法は、センサ素子が形成されたガラス基板を
顔料が分散された溶液中に浸し、センサ素子を構成する
共通電極に電圧を印加することによって共通電極上にカ
ラーフィルタを形成しているので、上記本発明の密着型
カラーイメージセンサのカラーフィルタを容易に形成す
ることができる。
サの製造方法は、センサ素子が形成されたガラス基板を
顔料が分散された溶液中に浸し、センサ素子を構成する
共通電極に電圧を印加することによって共通電極上にカ
ラーフィルタを形成しているので、上記本発明の密着型
カラーイメージセンサのカラーフィルタを容易に形成す
ることができる。
【図１】本発明の密着型カラーイメージセンサの第１の
実施形態の１つの画素についての、原稿を読み取ってい
る状態での断面図である。
実施形態の１つの画素についての、原稿を読み取ってい
る状態での断面図である。
【図２】図１に示した密着型カラーイメージセンサの１
つの画素を受光面側から見た図である。
つの画素を受光面側から見た図である。
【図３】図１に示した密着型カラーイメージセンサの画
素の配列を受光面側から見た図である。
素の配列を受光面側から見た図である。
【図４】電解法によるカラーフィルタの形成方法を説明
するための図である。
するための図である。
【図５】本発明の密着型カラーイメージセンサの第２の
実施形態の１つの画素についての、原稿を読み取ってい
る状態での断面図である。
実施形態の１つの画素についての、原稿を読み取ってい
る状態での断面図である。
【図６】本発明の密着型カラーイメージセンサの第３の
実施形態の１つの画素についての、原稿を読み取ってい
る状態での断面図である。
実施形態の１つの画素についての、原稿を読み取ってい
る状態での断面図である。
【図７】従来の、導光孔を有する密着型メージセンサの
要部斜視図である。
要部斜視図である。
【図８】図７に示した密着型イメージセンサにカラーフ
ィルタを設け、カラーイメージセンサとしたときの断面
図である。
ィルタを設け、カラーイメージセンサとしたときの断面
図である。
【図９】カラーフィルタを１回だけ通過したときの、光
の波長と透過率との関係を示すグラフである。
の波長と透過率との関係を示すグラフである。
【図１０】カラーフィルタを２回通過したときに相当す
る、光の波長と透過率との関係を示すグラフである。
る、光の波長と透過率との関係を示すグラフである。
２，２２，４２ カラーＬＥＤアレイ光源 ３ 画素 ４ａ 照明光 ４ｂ 反射光 ５ 原稿 ７，４７ 導光孔 ８ 接着層 ９，２９，４９ 保護膜 １０，３０ センサ基板 １２ 光ガイド １２ａ，５２ａ ファイバ １２ｂ 光吸収層 １４ 引き出し電極 １５ ガラス基板 １６，３６ 共通電極 １７，３７，５７ 感光層 １８ 個別電極 １９，３９，５９ カラーフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０４Ｎ 1/04 Ｈ０４Ｎ 1/04 Ｄ
Claims (7)
- 【請求項１】 照明光を放射する光源と、 入射する光の強度に応じて光電変換を行うセンサ素子が
設けられたセンサ基板と、 前記センサ基板の前記光源が配置された面と反対側の面
に固着され、一方の面から入射した光を他方の面に導く
光ガイドとを有し、 前記センサ基板には、前記光源からの光を前記光ガイド
に透過させる導光部が設けられ、前記センサ基板は、前
記導光部を透過し前記光ガイドを介して原稿で反射した
光が前記センサ素子に入射されるように構成され、前記
センサ基板の、前記光源からの照明光路上あるいは前記
原稿からの反射光路上のいずれか一方に、カラーフィル
タが設けられている密着型カラーイメージセンサ。 - 【請求項２】 前記センサ素子は、ガラス基板上に設け
られた不透明な電極と、前記不透明な電極上に設けられ
た感光層と、前記感光層上に設けられた透明な電極とを
有する請求項１に記載の密着型カラーイメージセンサ。 - 【請求項３】 前記カラーフィルタは、前記センサ基板
の厚み方向について前記感光層と同じ位置に設けられて
いる請求項２に記載の密着型カラーイメージセンサ。 - 【請求項４】 前記カラーフィルタは、前記透明な電極
上に設けられている請求項３に記載の密着型カラーイメ
ージセンサ。 - 【請求項５】 前記カラーフィルタは、前記センサ基板
の厚み方向について前記導光部と同じ位置に設けられて
いる請求項２に記載の密着型カラーイメージセンサ。 - 【請求項６】 前記光源は、発光スペクトルの異なる少
なくとも３種類の発光ダイオードを配列したＬＥＤアレ
イ光源である請求項１ないし５のいずれか１項に記載の
密着型カラーイメージセンサ。 - 【請求項７】 ガラス基板の表面に、少なくとも１つの
開口を含む所定のパターンで不透明な個別電極を形成す
る工程と、前記個別電極上に感光層を形成する工程と、
前記感光層上に透明な共通電極を形成する工程と、前記
共通電極が形成されたガラス基板を顔料が分散された溶
液中に浸漬し、前記共通電極に電圧を印加することで前
記共通電極上に前記顔料を析出および堆積させる工程と
を有する、密着型カラーイメージセンサの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32530396A JP3481408B2 (ja) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | 密着型カラーイメージセンサ、密着型カラーイメージセンサユニット、および密着型カラーイメージセンサの製造方法 |
| US08/975,082 US6108461A (en) | 1996-12-05 | 1997-11-20 | Contact image sensor and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32530396A JP3481408B2 (ja) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | 密着型カラーイメージセンサ、密着型カラーイメージセンサユニット、および密着型カラーイメージセンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH10173861A true JPH10173861A (ja) | 1998-06-26 |
| JP3481408B2 JP3481408B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=18175318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32530396A Expired - Lifetime JP3481408B2 (ja) | 1996-12-05 | 1996-12-05 | 密着型カラーイメージセンサ、密着型カラーイメージセンサユニット、および密着型カラーイメージセンサの製造方法 |
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| JP (1) | JP3481408B2 (ja) |
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