JP4725482B2 - フォトセンサ、フォトセンサの対象物検出方法及び表示装置 - Google Patents

フォトセンサ、フォトセンサの対象物検出方法及び表示装置 Download PDF

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Description

本発明は、フォトセンサ、フォトセンサの対象物検出方法及び表示装置に関する。
例えば、特許文献1に開示されているように、従来より、照射光に応じた電気エネルギーを生じるアモルファスシリコン(以下、a−Siと略記する)を用いて薄膜トランジスタ(以下、a−Si TFTと略記する)として形成した受光素子を複数隣接配置して構成したフォトセンサが知られている。
図7は、このようなフォトセンサに用いられるa−Si TFTの光−電気特性の一例を示す図である。(TFTサイズ(W/L)=180000/9[μm]、各端子電圧:Vs=0[V]、Vd=10[V]の条件で、照射光の照度をパラメータとしたときのIds[A]を測定したものである。)
この図より、照度に応じてドレインソース間電流Idsが増大していることがわかる。特に逆バイアス領域(Vgs<0)におけるIdsの増大が顕著であり、通常はこの領域の特性を用いて、照射光の照度をIdsの変化として検出するフォトセンサとして用いられる。
また、例えば対象物としてのパチンコ玉や用紙の有無を検出する用途にフォトセンサ(光検出装置)は使われる。(例えば、特許文献2)。
このような用途で、光源以外の外乱光が入射すると検出精度が悪化し、誤動作を招くという問題がある。
例えば、特許文献2では、対象物に照射する光を出射する発光素子の発光タイミングと、受光素子の受光タイミングとを比較して、両者のタイミングが同期しているか否かにより、反射光を受光したのか外光を受光したのかを区別する検出方法が提案されている。
特開平6−236980号公報 特開2002−148353号公報
しかしながら、上記特許文献2に開示されている検出方法では、複雑な検出回路や、厳密なタイミング制御を必要とする等の理由により、安価で誤動作のないフォトセンサを提供することができない。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、複雑な検出回路や厳密なタイミング制御を必要とせずに誤動作を防止できるフォトセンサ、フォトセンサの対象物検出方法及び表示装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明に係るフォトセンサは、特定波長領域の光を出射する光出射手段と、前記特定波長領域と同じ波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過する第1のフィルタと、前記特定波長領域とは異なる波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過させない第2のフィルタと、を隣接して備え、前記光出射手段から出射された光を検出対象物に対して選択的に透過する照射光選択手段と、前記照射光選択手段の前記第1のフィルタを透過した光を受光する第1の受光素子と、前記透過光選択手段の前記第2のフィルタを透過した光を受光する第2の受光素子と、からなる複数の受光素子を、前記第1及び第2のフィルタに対応させて隣接して配置した受光素子アレイと、前記受光素子アレイからの出力により、前記検出対象物の有無を判別する判別手段と、を具備し、前記光出射手段から出射され、前記照射光選択手段を通して照射された光が前記検出対象物により反射されてなる反射光は、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子のみが受光し、前記判別手段は、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子からのみ所定の出力が得られたとき、前記検出対象物が存在すると判別することを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のフォトセンサにおいて、前記光出射手段以外からの外光は、前記照射光選択手段の前記第1及び第2のフィルタの両方を透過して、前記受光素子アレイの前記第1及び第2の受光素子の両方が受光し、前記判別手段は、前記受光素子アレイの前記第1及び第2の受光素子の両方から前記所定の出力が得られたとき、前記検出対象物が存在しないと判別することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のフォトセンサにおいて、前記判別手段は、前記受光素子アレイの前記第1及び第2の受光素子の何れからも前記所定の出力が得られないとき、前記検出対象物が存在しないと判別することを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3の何れかに記載のフォトセンサにおいて、前記第1の受光素子からの出力と、前記第2の受光素子からの出力と、をそれぞれ並列に接続して前記判別手段に入力することを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1から4の何れかに記載のフォトセンサにおいて、前記受光素子は、アモルファスシリコン薄膜トランジスタで形成されることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項1から5の何れかに記載のフォトセンサにおいて、前記受光素子は、ダブルゲート型アモルファスシリコン薄膜トランジスタで形成されることを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項1から6の何れかに記載のフォトセンサにおいて、前記特定波長領域の光を出射する光出射手段は、白色光を出射する白色光源と、前記特定波長領域と同じ波長領域の透過波長領域を持ち、前記白色光源から出射された白色光を透過する第3のフィルタと、からなることを特徴とする。
請求項8に記載の発明に係るフォトセンサは、光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、前記第一の受光素子の前面側に配置され、所定の色成分の光を透過するとともに前記所定の色成分とは異なる他の色成分の光を遮断する第一のフィルタと、前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記所定の色成分の光を遮断するとともに前記他の色成分の光を透過させる第二のフィルタと、前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記所定の色成分を含むとともに前記他の色成分を含まない光を射出する光源と、前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項9に記載の発明に係るフォトセンサは、光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、前記第一の受光素子の前面側に配置され、特定波長領域の光を透過するとともに前記特定波長領域とは異なる他の波長領域の光を遮断する第一のフィルタと、前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記特定波長領域の光を遮断するとともに前記他の波長領域の光を透過する第二のフィルタと、前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記特定波長領域を含むとともに前記他の波長領域を含まない光を射出する光源と、前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項10に記載の発明は、請求項8または9に記載のフォトセンサにおいて、前記第一及び第二の受光素子は、前記光源からの射出光が、互いの受光素子間を通過可能に、所定の間隔を開けて隣接配置されていることを特徴とする。
請求項11に記載の発明は、請求項8から10の何れかに記載のフォトセンサにおいて、前記判別手段は、前記第一の受光素子により検出される光の強度が所定の第一閾値以上で且つ前記第二の受光素子により検出される光の強度が所定の第二閾値未満のときに、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物が有ると判別し、前記第一の受光素子により検出される光の強度が前記第一閾値以上で且つ前記第二の受光素子により検出される光の強度が前記第二閾値以上のとき、または、前記第一の受光素子により検出される光の強度が前記第一閾値未満で且つ前記第二の受光素子により検出される光の強度が前記第二閾値未満のときに、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物がないと判別することを特徴とする。
請求項12に記載の発明に係るフォトセンサの対象物検出方法は、光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、前記第一の受光素子の前面側に配置され、所定の色成分の光を透過するとともに前記所定の色成分とは異なる他の色成分の光を遮断する第一のフィルタと、前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記所定の色成分の光を遮断するとともに前記他の色成分の光を透過させる第二のフィルタと、を備えたフォトセンサの対象物検出方法であって、前記第一及び第二の受光素子の裏面側から前記第一及び第二のフィルタの前面側へ向けて、前記所定の色成分を含むとともに前記他の色成分を含まない光を射出する光出射ステップと、前記光出射ステップにより光が射出されている状態で、前記第一のフィルタを透過する光の強度を前記第一の受光素子で検出するとともに前記第二のフィルタを透過する光の強度を前記第二の受光素子で検出する光強度検出ステップと、前記光強度取得ステップで検出された前記第一のフィルタを透過する光の強度と前記第二のフィルタを透過する光の強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別ステップと、を含むことを特徴とする。
請求項13に記載の発明に係るフォトセンサの対象物検出方法は、光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、前記第一の受光素子の前面側に配置され、特定波長領域の光を透過するとともに前記特定波長領域とは異なる他の波長領域の光を遮断する第一のフィルタと、前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記特定波長領域の光を遮断するとともに前記他の波長領域の光を透過する第二のフィルタと、を備えたフォトセンサの対象物検出方法であって、前記第一及び第二の受光素子の裏面側から前記第一及び第二のフィルタの前面側へ向けて、前記特定波長領域を含むとともに前記他の波長領域を含まない光を射出する光出射ステップと、前記光出射ステップにより光が射出されている状態で、前記第一のフィルタを透過する光の強度を前記第一の受光素子で検出するとともに前記第二のフィルタを透過する光の強度を前記第二の受光素子で検出する光強度検出ステップと、前記光強度取得ステップで検出された前記第一のフィルタを透過する光の強度と前記第二のフィルタを透過する光の強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別ステップと、を含むことを特徴とする。
請求項14に記載の発明に係るフォトセンサの対象物検出方法は、特定波長領域の光を出射する光出射手段と、前記特定波長領域と同じ波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過する第1のフィルタと、前記特定波長領域とは異なる波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過させない第2のフィルタと、を隣接して備え、前記光出射手段から出射された光を検出対象物に対して照射する照射光選択手段と、前記照射光選択手段の前記第1のフィルタを透過した光を受光する第1の受光素子と、前記透過光選択手段の前記第2のフィルタを透過した光を受光する第2の受光素子と、からなる複数の受光素子を、前記第1及び第2のフィルタに対応させて隣接して配置した受光素子アレイと、前記受光素子アレイからの出力により、前記検出対象物の有無を判別する判別手段と、を備え、前記光出射手段により、特定波長領域の光を出射する光出射ステップと、前記光出射ステップで出射された光を前記照射光選択手段により検出対象物に対して照射する照射光選択ステップと、前記照射光選択ステップを経て、前記受光素子アレイで受光する受光ステップと、前記受光ステップにおける前記受光素子アレイの出力により、前記検出対象物の有無を判別する判別ステップと、を含み、前記出射光選択手段から照射された光が前記検出対象物により反射されてなる反射光は、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子のみが受光し、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子からのみ所定の出力が得られたとき、前記検出対象物が存在すると判別することを特徴とする。
請求項15に記載の発明に係る表示装置は、表示部と操作スイッチとを備え、前記操作スイッチは、光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、前記第一の受光素子の前面側に配置され、所定の色成分の光を透過するとともに前記所定の色成分とは異なる他の色成分の光を遮断する第一のフィルタと、前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記所定の色成分の光を遮断するとともに前記他の色成分の光を透過させる第二のフィルタと、前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記所定の色成分を含むとともに前記他の色成分を含まない光を射出する光源と、前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項16に記載の発明に係る表示装置は、表示部と操作スイッチとを備え、前記操作スイッチは、光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、前記第一の受光素子の前面側に配置され、特定波長領域の光を透過するとともに前記特定波長領域とは異なる他の波長領域の光を遮断する第一のフィルタと、前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記特定波長領域の光を遮断するとともに前記他の波長領域の光を透過する第二のフィルタと、前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記特定波長領域を含むとともに前記他の波長領域を含まない光を射出する光源と、前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、複雑な検出回路や厳密なタイミング制御を必要とせずに誤動作を防止できる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
[第1実施形態]
図1(A)は、本発明の第1実施形態に係るフォトセンサの構成例を示す図である。なお、図の簡略化のため、2つのa−Si TFTのみを図示する。
各a−Si TFTは、透明のTFT基板10上に形成されたゲート電極12と、このゲート電極12の上に形成された透明の絶縁膜14と、この絶縁膜14上に上記ゲート電極12と対向させて形成されたa−Si16と、このa−Si16の上に形成されたソース電極及びドレイン電極18とからなっている。そして、このようなa−Si TFTの上面を透明な絶縁膜14により覆い、図示しないシール部材やギャップ材により所定の距離を確保した上で、その上に透明な対向基板20を設けることで、フォトセンサを構成している。
なお、上記所定の距離は、隣接配置されたa−Si TFT間の間隔と、該フォトセンサを構成する各部材の屈折率とに基づいて決まるものである。即ち、上記TFT基板10の裏面側に配した図示しない白色バックライトから上記隣接a−Si TFT間を通って上記対向基板20側に照射されたバックライト光22が上記対向基板20上に載置された対象物、例えば指24で反射されてなる反射光26を、各a−Si TFTのa−Si16が正しく受光できるように、上記所定の距離が決められる。
なお、この所定距離分の領域は、空間として空気が存在していても良いし、後述のように、該フォトセンサをTFT−LCDパネルに一体的に組み込み形成する場合には、液晶が満たされていても構わない。
本実施形態に係るフォトセンサにおいては、透明のTFT基板10の下面(白色バックライト側)に、特定波長領域の光、ここでは赤色の波長の光を透過させる赤色カラーフィルタ(以下、TFT Rフィルタと記す)100を形成すると共に、透明な対向基板20の下面(a−Si TFT側)に、同様の赤色カラーフィルタ(以下、対向Rフィルタと記す)102と上記特定波長領域の光を遮断するカラーフィルタ、ここでは、緑色波長の光を透過させる緑色カラーフィルタ(以下、対向Gフィルタと記す)104とを形成している。この場合、対向Rフィルタ102は一方のa−Si TFTに対向するよう形成し、対向Gフィルタ104は他方のa−Si TFTに対向するよう形成する。そして、それら対向Rフィルタ102と対向Gフィルタ104との間には、樹脂や酸化Cr等の光吸収材料でなるブラックマスク106を形成している。なお、これらカラーフィルタ100,102,104(及びブラックマスク106)も、半導体プロセスにより形成される。
次に、このような構成のフォトセンサの動作を、図1(B)、図1(C)及び図2を参照して説明する。なお、図1(B)は、対象物としての指24が対向基板20上に接触された際の光の経路を説明するための図であり、図1(C)は、強い外光28が入射したときの光の経路を説明するための図である。また、図2は、本フォトセンサの動作を説明するための模式図である。
即ち、本実施形態においては、図1(B)に示すように、図示しない白色バックライトから発光されたバックライト光は、上記TFT基板10の下面に形成されたTFT Rフィルタ100により、その赤色成分22Rのみが、隣接するa−Si TFT間から対向基板20方向へ照射される。
この赤色成分22Rのバックライト光は、対向基板20下部の対向Rフィルタ102を透過して、当該フォトセンサの外部へ出射される。そして、上記対向基板20上部に接触している対象物である指24で反射されて、赤色反射光26Rとして、該フォトセンサ内へ戻される。この赤色反射光26Rは、上記対向基板20及び対向Rフィルタ102を透過して、上記対向Rフィルタ102下に設置されているa−Si TFTに照射される。
一方このとき、上記赤色成分22Rのバックライト光は、対向Gフィルタ104では、赤色光の吸収や乱反射が起こり、その殆どが遮断されて、当該フォトセンサの外部へ出射されることはない。そして、僅かばかり出射された赤色成分22Rのバックライト光が指24で反射されて赤色反射光26Rが得られたとしても、その赤色反射光26Rは上記対向Gフィルタ104により再び殆どが遮断されることとなる。よって、結果として、上記対向Gフィルタ104下に設置されているa−Si TFTには、赤色光が殆ど照射されることはない。
従って、該フォトセンサに指24が接触していると、図2の左側に示すように、対向Rフィルタ102下のa−Si TFT(TFT1)は受光し、対向Gフィルタ104下のa−Si TFT(TFT2)は受光しない状態が発生することになる。本実施形態では、この状態を該フォトセンサのON状態(対象物有りの状態)とする。
これに対して、図1(C)に示すように、日光のようなバックライト光よりも輝度の高い外光28が該フォトセンサに照射された状態においては、対向Rフィルタ102下のa−Si TFTは外光の赤色成分28Rを受光し、Gフィルタ下のa−Si TFTは外光の緑色成分28Gを受光してしまう。つまり、図2の右側に示すように、a−Si TFTが2つとも受光している状態が発生することになる。本実施形態では、この状態を該フォトセンサのOFF状態(対象物無しの状態)とする。
また、外光28の輝度が低く、図2の中央に示すように、a−Si TFTが2つとも受光しない状態も、本実施形態では、該フォトセンサのOFF状態(対象物無しの状態)とする。
以上の原理により、フォトセンサに指24が接触した状態のみをON(対象物有りの状態)と識別し、それ以外の状態をOFF(対象物無しの状態)と認識する機構が実現できる。
本実施形態では、白色光源としての透明のTFT基板10の下面の白色バックライトと、上記白色バックライトから出射された白色光を透過する第3のフィルタとしての赤色カラーフィルタ(TFT Rフィルタ)100とにより、特定波長領域の光を出射する光出射手段を構成している。
また、上記光出射手段から出射された光を透過する第1のフィルタとしての赤色カラーフィルタ(対向Rフィルタ)102と、特定波長領域とは異なる波長領域の透過波長領域を持ち、上記光出射手段から出射された光を透過させない第2のフィルタとしての緑色カラーフィルタ(対向Gフィルタ)104とが上記光出射手段から出射された光を検出対象物に対して選択的に透過する照射光選択手段を構成している。
そして、第1のフィルタを透過した光を受光する第1の受光素子としての上記対向Rフィルタ102下に設置されているa−Si TFT(TFT1)と、上記第2のフィルタを透過した光を受光する第2の受光素子としての対向Gフィルタ104下のa−Si TFT(TFT2)と、からなる複数の受光素子が受光素子アレイを構成し、この受光素子アレイからの出力により、図示しない判別手段により上記のように検出対象物の有無を判別するようなフォトセンサを実現している。
このように、本実施形態によれば、外乱光がない場合と同様に、外乱光が強い場合も、フォトセンサに指24が接触した状態のみをON(対象物有りの状態)と識別し、誤認識しないようにすることができるという効果がある。
図3は、このようなフォトセンサを複数個、一体的に組み込み形成したTFT−LCDパネルを示す図である。また、図4は、各フォトセンサの電気的な接続構成を示す図であり、図5は、センサLSIに作り込まれた検出回路の回路図である。
TFT−LCDパネル108は、ガラス(若しくはプラスチック)基板110上にTFT−LCD112とLCD駆動LSI114を半導体プロセスにより形成したものであるが、図3に示すように、同じ基板110上に、複数個のフォトセンサ116とセンサLSI118を形成することができる。この場合、フォトセンサ116のTFT基板10は上記基板110に相当し、対向Rフィルタ102及び対向Gフィルタ104(及びブラックマスク106)は、TFT−LCD112と同一の部材、同一の工程で形成することができる。従って、工程的には、TFT Rフィルタ100の形成工程が増えるだけである。なお、白色バックライトは、TFT−LCD112のバックライトを利用することができる。
各フォトセンサ116は、縦横2次元に複数のa−Si TFTを隣接配置したものである。この場合、図4に示すように、対向Rフィルタ102と対向Gフィルタ104とが縦横交互に並ぶように形成する。そして、対向Rフィルタ102下のa−Si TFT同士を並列接続し、また、対向Gフィルタ104下のa−Si TFT同士を並列接続するように、ゲート電極12、ソース電極及びドレイン電極18、並びに配線を形成する。即ち、対向Rフィルタ102下の各a−Si TFTのゲート電極12は一つの配線Vgに接続され、ドレイン電極は一つの配線Vdに接続され、ソース電極は一つの配線Vs_Rに接続されるよう形成される。同様に、対向Gフィルタ104下の各a−Si TFTのゲート電極12は一つの配線Vgに(対向Rフィルタ102下のa−Si TFTのゲート電極と共通に)接続され、ドレイン電極は一つの配線Vdに(対向Rフィルタ102下のa−Si TFTのドレイン電極と共通に)接続され、ソース電極は一つの配線Vs_Gに接続されるよう形成される。
各配線Vg,Vd,Vs_R,Vs_Gは、センサLSI118に接続される。センサLSI118には、図5に示すような検出回路120が形成されている。ここで、センサLSI118には、上記並列接続された対向Rフィルタ102下のa−Si TFT用に1つと、同じく並列接続された対向Gフィルタ104下のa−Si TFT用に1つの、2つの同一構成の検出回路120が形成される。なお、図5では、並列接続された複数のa−Si TFTを纏めて、等価的に1個のa−Si TFTとして示している。即ち、複数のa−Si TFTの出力が合成されたものが、検出回路120の入力となる。
検出回路120は、電流−電圧変換回路122とコンパレータ124とから構成されている。ここで、電流−電圧変換回路122は、その非反転入力端子に所定の電圧が印加された反転増幅器126と、該反転増幅器126の出力端子と反転入力端子との間に接続された帰還抵抗Rfと、から構成され、上記a−Si TFTからの配線Vs_R又はVs_Gが上記反転増幅器126の反転入力端子に接続されるよう形成されている。コンパレータ124は、この電流−電圧変換回路122で変換された電圧値を所定の閾値電圧値と比較することで、当該a−Si TFTが受光状態にあるか、非受光状態にあるかを示す出力信号Voutを出力する。
センサLSI118には、特に図示はしていないが、更に、このような検出回路2つの出力信号Voutの論理演算を行う論理回路が形成されており、図2を参照して説明したように、対向Rフィルタ102下のa−Si TFT側の出力信号が「1」、対向Gフィルタ104下のa−Si TFT側の出力信号が「0」という状態が検出されたとき、当該フォトセンサ116のON状態とする。
このように、1つのフォトセンサ116は、複数個のa−Si TFTを隣接配置し、同じカラーフィルタ下のa−Si TFTは並列接続して合成出力をもってON/OFF判定を行うことで、検出回路が少なくても正確にON/OFF判定を行うことができる。
以上のように、本発明の第1実施形態に係るフォトセンサによれば、隣接するa−Si TFTの上部に各々対向Rフィルタ102と対向Gフィルタ104を配置し、赤色成分22Rのみのバックライト光を一方のa−Si TFTに検知させて指24の接触を認識する機構を有したことにより、外光28(主に日光)による誤動作を防止できるという利点がある。
また、そのようなフォトセンサにおいては、TFT Rフィルタ100以外はTFT−LCD112と同一の部材を用いて構成できるので、TFT−LCD112と一体形成できる(殆ど工程を増やすことなく、フォトセンサ付きTFT−LCDパネル108を製造できる)という利点がある。
さらに、フォトセンサの光出射手段としてのバックライトをLCDの表示用のものと共通にできるという利点もある。
[第2実施形態]
図6は、本発明の第2実施形態に係るフォトセンサの構成例を示す図である。なお、本実施形態に係るフォトセンサにおいて、上記第1実施形態に係るフォトセンサと同様の部分については、同じ参照番号を付すことで、その説明は省略する。また、図の簡略化のため、2つのa−Si TFTのみを図示する。
本第2実施形態に係るフォトセンサは、上記第1実施形態におけるa−Si TFTの代わりに、ダブルゲート型a−Si TFTを採用したものである。
即ち、各ダブルゲート型a−Si TFTは、透明のTFT基板10上に形成されたゲート電極12と、このゲート電極12の上に形成された透明の絶縁膜14と、この絶縁膜14上に上記ゲート電極12と対向させて形成されたa−Si16と、このa−Si16の上に形成されたソース電極及びドレイン電極18と、これらa−Si16、ソース電極及びドレイン電極18の上面を覆う絶縁膜14上の、上記a−Si16、ソース電極及びドレイン電極18に対応する位置に設けられた透明の上部ゲート電極128と、から構成されるものである。
このようなダブルゲート型a−Si TFTを用いたフォトセンサによれば、上記第1実施形態と同様の効果が得られると共に、2つのゲートの制御タイミングをずらすことにより感度特性の制御が可能である、明暗の出力比が大きくとれるというメリットがある。
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
例えば、上記実施形態では、対向基板20下部に赤色及び緑色のカラーフィルタを形成しているが、他の色のカラーフィルタを用いても良い。その場合、一つのカラーフィルタの色とTFT基板10下部のカラーフィルタの色とを合わせることは言うまでもない。また、色は2種類に限らず、更に多色としても構わない。その場合には、複数種類の単色光を照射できるように、TFT基板10下部のカラーフィルタも領域分割して複数色形成することが必要となる。
また、上記実施形態では、カラーフィルタを対向基板20下部に配置しているが、これらを対向基板20の上部に配置しても良いし、a−Si16を覆う透明な絶縁膜14上に配置しても良い。
更に、上記実施形態では、特定波長領域の光を出射する光出射手段として、白色バックライトとTFT基板10下部の赤色カラーフィルタを用いて赤色成分22Rの単色光を生成しているが、そのようなカラーフィルタを形成する代わりに、単色光を照射可能なLEDやOLED等の光源を用いて実現してもよい。
また、上記実施形態では、a−Si TFTを並列接続して図5に示した検出回路120を各色に1個ずつ設けるものとしたが、1つのa−Si TFTにそれぞれ1個ずつ設けて個別にON/OFF判定を行い、1つのフォトセンサ116を構成する全てのa−Si TFTの判定結果を集計して、最終的な当該フォトセンサ116のON/OFF判定を行うようにしても良い。更に、検出回路は、図5に示した構成に限定されるものでないことは勿論である。
また、上記第2実施形態では、ダブルゲート型の場合を説明したが、より多くのゲート電極を持つマルチゲート型a−Si TFTを採用することも可能である。
更には、a−Si TFTだけでなく、ポリシリコンTFT等の他のTFTを受光素子として用いても良い。
また、TFT等のトランジスタに限らず、フォトダイオード等の他の受光素子であってもよい。
(A)は本発明の第1実施形態に係るフォトセンサの構成例を示す図であり、(B)は指が対向基板上に接触された際の光の経路を説明するための図であり、(C)は強い外光が入射したときの光の経路を説明するための図である。 第1実施形態に係るフォトセンサの動作を説明するための模式図である。 第1実施形態に係るフォトセンサを複数個、一体的に組み込み形成したTFT−LCDパネルを示す図である。 各フォトセンサの電気的な接続構成を示す図である。 センサLSIに作り込まれた検出回路の回路図である。 本発明の第2実施形態に係るフォトセンサの構成例を示す図である。 a−Si TFTの光−電気特性を示す図である。
符号の説明
10…TFT基板、 12…ゲート電極、 14…絶縁膜、 16…アモルファスシリコン(a−Si)、 18…ソース電極及びドレイン電極、 20…対向基板、 22…バックライト光、 22R…赤色成分、 24…指、 26…反射光、 26R…赤色反射光、 28…外光、 28R…赤色成分、 28G…緑色成分、 100…赤色カラーフィルタ(TFT、 Rフィルタ)、 102…赤色カラーフィルタ(対向Rフィルタ)、 104…緑色カラーフィルタ(対向Gフィルタ)、 106…ブラックマスク、 108…LCDパネル、 110…ガラス(若しくはプラスチック)基板、 112…TFT−LCD、 114…LCD駆動LSI、 116…フォトセンサ、 118…センサLSI、 120…検出回路、 122…電流−電圧変換回路、 124…コンパレータ、 126…反転増幅器、 128…上部ゲート電極。

Claims (16)

  1. 特定波長領域の光を出射する光出射手段と、
    前記特定波長領域と同じ波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過する第1のフィルタと、前記特定波長領域とは異なる波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過させない第2のフィルタと、を隣接して備え、前記光出射手段から出射された光を検出対象物に対して選択的に透過する照射光選択手段と、
    前記照射光選択手段の前記第1のフィルタを透過した光を受光する第1の受光素子と、前記透過光選択手段の前記第2のフィルタを透過した光を受光する第2の受光素子と、からなる複数の受光素子を、前記第1及び第2のフィルタに対応させて隣接して配置した受光素子アレイと、
    前記受光素子アレイからの出力により、前記検出対象物の有無を判別する判別手段と、
    を具備し、
    前記光出射手段から出射され、前記照射光選択手段を通して照射された光が前記検出対象物により反射されてなる反射光は、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子のみが受光し、
    前記判別手段は、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子からのみ所定の出力が得られたとき、前記検出対象物が存在すると判別することを特徴とするフォトセンサ。
  2. 前記光出射手段以外からの外光は、前記照射光選択手段の前記第1及び第2のフィルタの両方を透過して、前記受光素子アレイの前記第1及び第2の受光素子の両方が受光し、
    前記判別手段は、前記受光素子アレイの前記第1及び第2の受光素子の両方から前記所定の出力が得られたとき、前記検出対象物が存在しないと判別することを特徴とする請求項1に記載のフォトセンサ。
  3. 前記判別手段は、前記受光素子アレイの前記第1及び第2の受光素子の何れからも前記所定の出力が得られないとき、前記検出対象物が存在しないと判別することを特徴とする請求項1または2に記載のフォトセンサ。
  4. 前記第1の受光素子からの出力と、前記第2の受光素子からの出力と、をそれぞれ並列に接続して前記判別手段に入力することを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のフォトセンサ。
  5. 前記受光素子は、アモルファスシリコン薄膜トランジスタで形成されることを特徴とする請求項1から4の何れかに記載のフォトセンサ。
  6. 前記受光素子は、ダブルゲート型アモルファスシリコン薄膜トランジスタで形成されることを特徴とする請求項1から5の何れかに記載のフォトセンサ。
  7. 前記特定波長領域の光を出射する光出射手段は、
    白色光を出射する白色光源と、
    前記特定波長領域と同じ波長領域の透過波長領域を持ち、前記白色光源から出射された白色光を透過する第3のフィルタと、
    からなることを特徴とする請求項1から6の何れかに記載のフォトセンサ。
  8. 光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、
    前記第一の受光素子の前面側に配置され、所定の色成分の光を透過するとともに前記所定の色成分とは異なる他の色成分の光を遮断する第一のフィルタと、
    前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記所定の色成分の光を遮断するとともに前記他の色成分の光を透過させる第二のフィルタと、
    前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記所定の色成分を含むとともに前記他の色成分を含まない光を射出する光源と、
    前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、
    を備えたことを特徴とするフォトセンサ。
  9. 光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、
    前記第一の受光素子の前面側に配置され、特定波長領域の光を透過するとともに前記特定波長領域とは異なる他の波長領域の光を遮断する第一のフィルタと、
    前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記特定波長領域の光を遮断するとともに前記他の波長領域の光を透過する第二のフィルタと、
    前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記特定波長領域を含むとともに前記他の波長領域を含まない光を射出する光源と、
    前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、
    を備えたことを特徴とするフォトセンサ。
  10. 前記第一及び第二の受光素子は、前記光源からの射出光が、互いの受光素子間を通過可能に、所定の間隔を開けて隣接配置されていることを特徴とする請求項8または9に記載のフォトセンサ。
  11. 前記判別手段は、
    前記第一の受光素子により検出される光の強度が所定の第一閾値以上で且つ前記第二の受光素子により検出される光の強度が所定の第二閾値未満のときに、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物が有ると判別し、
    前記第一の受光素子により検出される光の強度が前記第一閾値以上で且つ前記第二の受光素子により検出される光の強度が前記第二閾値以上のとき、または、前記第一の受光素子により検出される光の強度が前記第一閾値未満で且つ前記第二の受光素子により検出される光の強度が前記第二閾値未満のときに、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物がないと判別することを特徴とする請求項8から10の何れかに記載のフォトセンサ。
  12. 光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、
    前記第一の受光素子の前面側に配置され、所定の色成分の光を透過するとともに前記所定の色成分とは異なる他の色成分の光を遮断する第一のフィルタと、
    前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記所定の色成分の光を遮断するとともに前記他の色成分の光を透過させる第二のフィルタと、
    を備えたフォトセンサの対象物検出方法であって、
    前記第一及び第二の受光素子の裏面側から前記第一及び第二のフィルタの前面側へ向けて、前記所定の色成分を含むとともに前記他の色成分を含まない光を射出する光出射ステップと、
    前記光出射ステップにより光が射出されている状態で、前記第一のフィルタを透過する光の強度を前記第一の受光素子で検出するとともに前記第二のフィルタを透過する光の強度を前記第二の受光素子で検出する光強度検出ステップと、
    前記光強度取得ステップで検出された前記第一のフィルタを透過する光の強度と前記第二のフィルタを透過する光の強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別ステップと、
    を含むことを特徴とするフォトセンサの対象物検出方法。
  13. 光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、
    前記第一の受光素子の前面側に配置され、特定波長領域の光を透過するとともに前記特定波長領域とは異なる他の波長領域の光を遮断する第一のフィルタと、
    前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記特定波長領域の光を遮断するとともに前記他の波長領域の光を透過する第二のフィルタと、
    を備えたフォトセンサの対象物検出方法であって、
    前記第一及び第二の受光素子の裏面側から前記第一及び第二のフィルタの前面側へ向けて、前記特定波長領域を含むとともに前記他の波長領域を含まない光を射出する光出射ステップと、
    前記光出射ステップにより光が射出されている状態で、前記第一のフィルタを透過する光の強度を前記第一の受光素子で検出するとともに前記第二のフィルタを透過する光の強度を前記第二の受光素子で検出する光強度検出ステップと、
    前記光強度取得ステップで検出された前記第一のフィルタを透過する光の強度と前記第二のフィルタを透過する光の強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別ステップと、
    を含むことを特徴とするフォトセンサの対象物検出方法。
  14. 特定波長領域の光を出射する光出射手段と、
    前記特定波長領域と同じ波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過する第1のフィルタと、前記特定波長領域とは異なる波長領域の透過波長領域を持ち、前記光出射手段から出射された光を透過させない第2のフィルタと、を隣接して備え、前記光出射手段から出射された光を検出対象物に対して照射する照射光選択手段と、
    前記照射光選択手段の前記第1のフィルタを透過した光を受光する第1の受光素子と、前記透過光選択手段の前記第2のフィルタを透過した光を受光する第2の受光素子と、からなる複数の受光素子を、前記第1及び第2のフィルタに対応させて隣接して配置した受光素子アレイと、
    前記受光素子アレイからの出力により、前記検出対象物の有無を判別する判別手段と、
    を備え、
    前記光出射手段により、特定波長領域の光を出射する光出射ステップと、
    前記光出射ステップで出射された光を前記照射光選択手段により検出対象物に対して照射する照射光選択ステップと、
    前記照射光選択ステップを経て、前記受光素子アレイで受光する受光ステップと、
    前記受光ステップにおける前記受光素子アレイの出力により、前記検出対象物の有無を判別する判別ステップと、
    を含み、
    前記出射光選択手段から照射された光が前記検出対象物により反射されてなる反射光は、前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子のみが受光し、
    前記受光素子アレイのうち前記第1の受光素子からのみ所定の出力が得られたとき、前記検出対象物が存在すると判別することを特徴とするフォトセンサの対象物検出方法。
  15. 表示部と操作スイッチとを備え、
    前記操作スイッチは、
    光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、
    前記第一の受光素子の前面側に配置され、所定の色成分の光を透過するとともに前記所定の色成分とは異なる他の色成分の光を遮断する第一のフィルタと、
    前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記所定の色成分の光を遮断するとともに前記他の色成分の光を透過させる第二のフィルタと、
    前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記所定の色成分を含むとともに前記他の色成分を含まない光を射出する光源と、
    前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、
    を備えたことを特徴とする表示装置。
  16. 表示部と操作スイッチとを備え、
    前記操作スイッチは、
    光の強度を検出する第一及び第二の受光素子と、
    前記第一の受光素子の前面側に配置され、特定波長領域の光を透過するとともに前記特定波長領域とは異なる他の波長領域の光を遮断する第一のフィルタと、
    前記第二の受光素子の前面側に配置され、前記特定波長領域の光を遮断するとともに前記他の波長領域の光を透過する第二のフィルタと、
    前記第一及び第二の受光素子の裏面側に配置され、前記特定波長領域を含むとともに前記他の波長領域を含まない光を射出する光源と、
    前記光源が前記光を射出しているときに前記第一の受光素子により検出される前記第一のフィルタの透過光強度と前記第二の受光素子により検出される前記第二のフィルタの透過光強度とに基づいて、前記第一及び第二のフィルタの前面側を覆う検出対象物の有無を判別する判別手段と、
    を備えたことを特徴とする表示装置。
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