JPH1016223A

JPH1016223A - インクジェット記録装置並びに該装置に用いる記録ヘッド及びその製造方法

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Publication number: JPH1016223A
Application number: JP17003796A
Authority: JP
Inventors: Shige Sato; 樹佐藤; Tadao Iwaki; 岩城　　忠雄; Naoki Kawada; 直樹川和田; Satoshi Ohama; 聡大浜; Koji Kawaguchi; 幸治川口; Seiji Kuwabara; 誠治桑原; Hiroshi Okano; 宏岡野
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1996-06-28
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 1998-01-20

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】従来のインクジェット記録装置にあっては、
インク滴を被記録媒体に吐出、付着させ記録を行う記録
ヘッドの１本のノズルがひとつの記録ドットと対応して
いるため、記録の解像度はノズルの形成密度により制約
を受けると言う問題点があった。【解決手段】環状に形成された発熱体、または環状に
配置された複数個の発熱体を有する記録ヘッドにより、
気泡を環状に成長させインクを吐出できるため、ノズル
の不要なインクジェット用記録ヘッドを可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を被記録
媒体に吐出、付着させ記録を行うインクジェット記録方
式を用いたインクジェット記録装置並びに該装置に用い
る記録ヘッド及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のインクジェット記録装置において
は、種々の記録液吐出方式による記録ヘッド、例えば圧
電素子を用いてインク等の記録液に機械的振動又は変位
を与える方式による記録ヘッドや記録液を加熱して発泡
させその圧力を利用する方式による記録ヘッドを有し、
それらの記録ヘッドによりインクの小滴を発生および飛
翔させ、それらの一部若しくは全部を紙等の被記録媒体
上に付着させて記録を行うものであったが、いずれの記
録ヘッドにおいても記録液を吐出するための吐出口に通
ずるノズルを形成し、１本のノズルによりひとつの記録
ドットが対応していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のインクジェット
記録装置にあっては、インク滴を被記録媒体に吐出、付
着させ記録を行う記録ヘッドの１本のノズルがひとつの
記録ドットと対応しているため、記録の解像度はノズル
の形成密度により制約を受けると言う問題点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために、記録信号に応じて記録液を吐出し、被
記録媒体上に像を記録するインクジェット記録装置にお
いて、環状に形成された記録液を加熱し沸騰させるため
の発熱体を有する記録ヘッドを具備する構成とした。ま
た、上記課題を解決するために本発明の他の構成とし
て、記録信号に応じて記録液を吐出し、被記録媒体上に
像を記録するインクジェット記録装置において、環状に
配置された記録液を加熱し沸騰させるための複数個の発
熱体を有する記録ヘッドを具備する構成とした。

【０００５】このように、記録液を加熱し沸騰させるた
めの発熱体を環状に形成するか、または複数の発熱体を
環状に配置することにより、ノズルが不要なインクジェ
ット記録ヘッドを実現する事ができる。

【０００６】

【発明の実際の形態】本発明のインクジェット記録装置
では、環状に形成された記録液を加熱し沸騰させるため
の発熱体を有する記録ヘッド、または環状に配置された
記録液を加熱し沸騰させるための複数個の発熱体を有す
る記録ヘッドを具備する。

【０００７】記録ヘッドは、記録液を加熱し沸騰させる
ための発熱体と、発熱体に電流を供給する電極を有して
おり、液溜めを形成するための壁、または記録液供給口
と開放端との間に記録液の表面張力によって記録液によ
る液溜めが設けられる。発熱体に電極を通して電流が流
れる事により発熱体が発熱し、その熱によって発熱体の
周囲の記録液は膜沸騰現象をおこす。このとき膜沸騰現
象により発生する気泡は、環状に形成された発熱体、ま
たは環状に配置された複数の発熱体によって環状に成長
するため、この環状に成長する気泡の中心部分の記録液
が吐出する。

【０００８】上記のように、本発明においては、ノズル
構造の形成やノズルオリフィスの形成が不要でありなが
ら、記録液の吐出を可能とする記録ヘッドを実現した。
このため、発熱体は環状に形成されるか、または複数の
発熱体を環状に配置する。

【０００９】

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明するが、これ
らの実施例は本発明を更に具体的に説明するものであ
り、実施の態様がこれに限定されるものではない。（実施例１）図１は本発明を用いたインクジェットプリ
ンタの構成を示し、図２は図１を補足するための、本発
明を用いたインクジェットプリンタの側面から見た構成
図である。図３および図４（ａ）、（ｂ）は本実施例の
インクジェットプリンタに用いる本発明の記録ヘッドの
構成を示す断面図及び平面図である。図５（ａ）〜
（ｄ）は本実施例の記録ヘッドの製造方法を示す図であ
る。図６乃至図８は、本実施例の記録ヘッドの駆動回路
に関する説明図である。

【００１０】図１において、１０１はモータ等によって
回転するプラテンローラーであり、１０２はそのプラテ
ンローラー１０１に巻き付けられた被記録媒体１０３を
保持する被記録媒体押さえチャック、１０４はキャリア
であり、軸１０５，１０６上に担持されている。１０７
は駆動ベルトであり、プーリー１０８，１０９の間に張
架されており、前記キャリア１０４はクランプ手段１１
０により駆動ベルト１０７にクランプされている。１１
２は記録ヘッドであり、キャリア１０４上に搭載されて
いる。１１１はインク供給管であり一端が記録ヘッド１
１２に接続されており、記録ヘッド１１２にインクを供
給する。インク供給管の他端には図示しないインクタン
クが接続されている。

【００１１】以上の構成からなる本発明を用いたプリン
ターの動作について説明する。被記録媒体１０３は被記
録媒体押さえチャック１０２によってプラテンローラー
１０１に巻き付けられているものとする。キャリア１０
４は記録開始前にはプラテンローラーの一端（図１にお
ける右端）の位置に停止している。次に記録が開始され
ると、プーリー１０８が図１において反時計回りに回転
し、駆動ベルト１０７を図１において反時計回り方向に
回転させる。したがって、キャリア１０４は軸１０５，
１０６上を図１において左向きの方向に主走査移動す
る。

【００１２】このとき記録ヘッド１１２に記録信号が入
力すると、記録ヘッド１１２からインク液粒子が吐出さ
れ、このインク液粒子が被記録媒体１０３に付着するこ
とによりインクジェット記録が行われる。キャリア１０
４がプラテンローラー１０１の他端（図１における左
端）に達すると、プーリー１０８は一端停止し、次に逆
方向に高速に回転し、駆動ベルト１０７は図１において
時計回り方向に高速に回転するため、キャリア１０４は
軸１０５，１０６上を図１において右向きの方向に高速
に復帰移動をする。この復帰移動の際には記録ヘッド１
１２には噴射信号が入力されないようになっており、イ
ンクジェット記録は行われない。

【００１３】プラテンローラー１０１は、キャリア１０
４がこの復帰移動をしている間に図２における矢印方向
（反時計回り方向）に副走査回転する。キャリア１０４
が再び図１における右端の位置に達すると、プーリー１
０８は一端停止し、次に図１において反時計回り方向の
回転を開始する。

【００１４】このように、キャリア１０４の往復移動に
よる主走査と、プラテンローラー１０１の回転による副
走査が繰り返されることにより、被記録媒体１０３上に
インクジェット記録が行われる。ここで図３及び図４
（ａ）（ｂ）は本実施例のインクジェットプリンタに用
いる記録ヘッドの概略を示す断面図及び平面図であり、
基板２０１上に電極、環状に形成された発熱抵抗体によ
るヒータ２０２が構成されており、またインク室２０３
と壁２０６により、一定の高さのインクによる液溜めを
形成している。インクはインク供給口２０４から供給さ
れる。

【００１５】本実施例では、インクによる液溜めの高さ
を１０μｍから２００μｍとし、その間の高さで良好な
結果を得た。図４（ａ）は、ヒータをドーナツ状に形成
した例であり、図４（ｂ）はコの字型に形成した例であ
るが、この他の形でもヒータを環状に形成する事は可能
である。

【００１６】尚、図４（ａ）、（ｂ）においては概略説
明図のためヒータ２０２を３個しか記載していないが、
実際にはひとつの基板２０１上にヒータ２０２は６４組
乃至５１２組を形成した。また、ヒータ２０２どうしの
間隔は、本実施例では約１４０μｍとしたが、本発明の
記録ヘッドはノズル構造を必要としないため、さらに密
度を上げることが可能であり、またさらにノズル構造を
必要としないためにヒータ２０２をジグザグに並べる事
も容易である。

【００１７】図５（ａ）〜（ｃ）は、本実施例で用いた
記録ヘッド１１２の製造方法を説明した図である。図５
において図３、図４と同一部分については同一符号を付
している。シリコンウェハ上に五酸化タンタルによるカ
バー層を設けた基板２０１（図５（ａ））上にスパッタ
リングや蒸着等の方法によってＰｏｌｙ−ＳｉやＴａＡ
ｌ、ＢＨｆ等の発熱抵抗体からなるヒータ２０２が着膜
され必要に応じて不純物のドープがなされ、所望の抵抗
値になるように所定の形状にパターニングされる（図５
（ｂ））。

【００１８】さらに同様にスパッタリングや蒸着等の方
法、あるいはエッチング等の方法によってアルミ電極２
５１が形成される（図５（ｃ））。尚、電極を形成して
からヒータを形成する事も可能である。電極２５１とヒ
ータ２０２の形成された基板には、さらに窒化アルミニ
ウム等によるカバー層が形成され、その上にフォトエッ
チング等の方法により壁２０６が形成され、ガラス板等
の剛性材を接着してインク室２０３を形成する事によっ
て記録ヘッドの構造ができている（図５（ｃ））。本実
施例では壁２０６を形成するための光硬化性樹脂として
は、東京応化工業製ＢＭＲＣ−１０００を用いてい
る。図６は本実施例で用いた記録ヘッド１１２のヒー
タ２０２をドライブするための回路の説明図であり、図
７は図６の中の発熱抵抗体に通電する電流を制御するた
めの要部回路図である。また、図８は図７の各部の信号
の状態を示すタイミング図である。図６乃至図７ではヒ
ータ２０２を発熱抵抗体３１０と言う等価回路に示して
いる。

【００１９】図６におけるヘッドドライブ部３０１にお
いて、ヘッドドライブのための基準パルス３０３と、こ
の基準パルス３０３にタイミング的に同期したデータ信
号３０２を入力し、発熱抵抗体３１０に流れる電流を制
御している。これらの動作について、図７の要部回路図
と図８のタイミング図を用いて、より具体的な例につい
て説明する。ヘッドドライブ部３０１の中の制御回路３
０４に基準パルス３０３とデータ信号３０２が入力して
おり、制御回路３０４から出力された制御信号３０５は
スイッチングトランジスタからなるドライバ３１１のベ
ースに入力され、コレクタに接続された発熱抵抗体３１
０に流れるヘッド電流を制御できる。図８において、
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，はそれぞれ１ドットを制御するための
タイミングを示し、それぞれのタイミングは基準パルス
３０３によって同期されている。データ信号３０２は、
各制御タイミングにおいて、インクの吐出を行うか否か
を決定する信号であり、図８の例では、Ａ，Ｂ，Ｄの各
タイミングではインク吐出を行うがＣのタイミングでは
インク吐出を行わないことを指示している。これらの基
準パルス３０３とデータ信号３０２の入力によって、制
御回路３０４によって制御信号３０５が作られ、この信
号によってドライバ３１１がＯＮした時のみ発熱抵抗体
３１０にヘッド電流が流れる。このように各発熱抵抗体
ごとにインクの吐出を行うか否かを決定し、それぞれの
ドライバが制御される。

【００２０】本実施例に用いた記録ヘッドの発熱抵抗体
３１０の抵抗値は３０Ω〜５０Ωである。このような記
録ヘッドを用いインクを吐出させるためのヘッド電流、
およびヘッド電流が流れている時間の最適値は、それぞ
れヘッド電流＝２００ｍＡ、ヘッド電流が流れている時
間＝７．５μｓであった。

【００２１】このようなヘッド電流により、ヒータ２０
２が発熱し、ヒータ上のインク２０５は膜沸騰をおこす
が、ヒータが環状に形成されているため、気泡は環状に
成長し、この環状に成長する気泡の中心部分のインクが
一定の方向の力を受けて吐出し、被記録媒体１０３上に
記録ドットとなって画像を形成できる。

【００２２】以上のように、本実施例によってあきらか
なようにインク２０５を加熱し沸騰させるためのヒータ
２０２を環状に形成した記録ヘッド１１２により、ノズ
ル構造の形成やノズルオリフィスの形成が不要でありな
がら、記録液の吐出を可能とする記録ヘッドを実現し
た。

【００２３】また、本実施例であきらかなように、上述
のような解像度がノズル構造による制約をうけない構造
をした、製造の容易な記録ヘッドを搭載する事により、
安価で高性能のインクジェット記録装置を実現した。
尚、本実施例においては単色での画像記録を例に本発明
を説明したが、カラー記録においても複数の本発明の記
録ヘッドを用いることにより、同様に本発明の効果が得
られる事は言うまでも無い。

【００２４】（実施例２）図９（ａ）〜（ｃ）は本実施
例のインクジェットプリンタに用いる記録ヘッドの構成
を示す平面図であり、複数のヒータ２０２が環状に配置
されている。図９（ａ）は矩形のヒータ２０２（ａ）〜
（ｄ）を環状に配置した例であり、図９（ｂ）は円形の
ヒータ２０２（ｅ）〜（ｈ）を環状に配置した例であ
る。また、図９（ｃ）は三角形のヒータ２０２（ｉ）〜
（ｌ）を環状に配置した例であるが、各ヒータの形状は
これら以外の形状でも可能であり、また、配置するヒー
タ個数も４個に限定される事は無い。本発明は、発熱抵
抗体が形成されていない部分を取り囲むように発熱抵抗
体が形成・配置されていればその形状は何でも良い。ま
た発熱抵抗体が閉じた形状であっても、一部で切れた形
状であっても良いし、また、小片の発熱抵抗体を環状に
配置しても良い。

【００２５】尚、図９（ａ）〜（ｃ）においては概略図
のためヒータ２０２を３組しか記載していないが、実際
にはひとつの基板２０１上にヒータ２０２は６４組乃至
５１２組を形成した。また、各ヒータ２０２の組どうし
の間隔は、本実施例では約１４０μｍとしたが、本発明
の記録ヘッドはノズル構造を必要としないため、さらに
密度を上げることが可能であり、またさらにノズル構造
を必要としないためにヒータ２０２をジグザグに並べる
事も容易である。

【００２６】本実施例において、インクジェットプリン
タの構成は実施例１と同様に図１の構成を、また記録ヘ
ッドの駆動に関しては、各ヒータ２０２の組ごとに実施
例１と同様に図６乃至図８に示した方法を用いた。本実
施例においては、図９（ａ）〜（ｃ）のいずれのヒータ
配置の記録ヘッドにおいても、インク２０５を加熱し沸
騰させるためのヒータ２０２を環状に形成した記録ヘッ
ド１１２により、ノズル構造の形成やノズルオリフィス
の形成が不要でありながら、記録液の吐出を可能とする
記録ヘッドを実現した。

【００２７】また、解像度がノズル構造による制約をう
けない構造をした、製造の容易な記録ヘッドを搭載する
事により、安価で高性能のインクジェット記録装置を可
能とした。（実施例３）本実施例では、実施例２と同様に配置され
たヒータ２０２を有する記録ヘッド１１２を用いて、本
発明のヒータの駆動方式を説明する。

【００２８】本実施例において、インクジェットプリン
タの構成は実施例２と同様に図１の構成を用いた。図１
０は図９（ａ）に示す記録ヘッドのヒータ配置部分だけ
を示す概略図であり、ヒータ２０２（ａ）〜（ｄ）は、
一組で使用される。

【００２９】図１１は１画素のインクを吐出させるため
の、各ヒータ２０２（ａ）〜（ｄ）に通電されるヘッド
電流のタイミングを示したものである。尚、各ヒータを
駆動させるための方法は図６乃至図７に示した駆動方法
と同様とした。まずヒータ２０２（ｄ）にヘッド電流が
通電され、ヒータ上のインク２０５が発熱し膜沸騰をお
こす。ここで、若干の時間的なディレイを持ってヒータ
２０２（ｂ）およびヒータ２０２（ｃ）にヘッド電流が
通電され、ヒータ上のインク２０５が発熱し膜沸騰をお
こす。さらに若干の時間的なディレイを持ってヒータ２
０２（ａ）にヘッド電流が通電され、ヒータ上のインク
２０５が発熱し膜沸騰をおこすため、各膜沸騰の気泡は
順次環状に成長し、この環状に成長する気泡の中心部分
のインクが各気泡成長のディレイのため、安定した方向
の力を受けて吐出し、被記録媒体１０３上に記録ドット
となって画像を形成できる。

【００３０】本実施例においては、ノズル構造の形成や
ノズルオリフィスの形成が不要でありながら、安定した
方向に記録液の吐出を可能とする記録ヘッドを実現し
た。また、解像度がノズル構造による制約をうけない構
造をした、製造の容易な記録ヘッドを搭載する事によ
り、安価で高性能のインクジェット記録装置を可能とし
た。

【００３１】（実施例４）図１２及び図１３は本実施例
のインクジェットプリンタに用いる本発明の記録ヘッド
構成を示す断面図及び平面図である。尚、図１乃至図２
に示すインクジェット記録装置、および図６乃至図８に
示す駆動回路は実施例１と同様に使用した。

【００３２】図１に示すインクジェット記録装置は、実
施例１と同様な動作により記録ヘッド１１２からインク
液粒子が吐出され、このインク液粒子が被記録媒体１０
３に付着することによりインクジェット記録が行われ
る。ここで図１２、図１３は本実施例のインクジェット
プリンタに用いる記録ヘッドの構成を示す断面図、平面
図であり、基板２０１上に電極、発熱抵抗体によるヒー
タ２０２が形成されている。またインク２０５はインク
自身の表面張力によってインク室２０３と基板２０１の
一端との間に液面を形成している。

【００３３】本実施例では、インク室の高さを１０μｍ
から２００μｍまで用意した。尚、図１３においては図
４（ａ）と同様の構成のヒータを例に記載しているが、
これらは図４（ｂ）の構成でも同様であり、さらに図９
（ａ）〜（ｃ）の構成でも同様である。また図１３にお
いては説明図のためヒータ２０２を３個しか記載してい
ないが、実際にはひとつの基板２０１上にヒータ２０２
は６４組乃至５１２組を形成した。また、ヒータ２０２
どうしの間隔は、本実施例では約１４０μｍとしたが、
本発明の記録ヘッドはノズル構造を必要としないため、
さらに密度を上げることが可能であり、またさらにノズ
ル構造を必要としないためにヒータ２０２をジグザグに
並べる事も容易である。

【００３４】本実施例の記録ヘッドの製造方法は、実施
例１に説明した方法と同様の方法を用いているが、本実
施例ではインク液面はインク自体の表面張力によって保
持され、図３乃至図４に示される壁２０６を必要としな
いため、図５（ｄ）における壁２０６の製造工程が省略
でき、非常に簡易な工程で記録ヘッドを製造可能であ
る。

【００３５】尚、ヘッドのドライブは、実施例１と同様
に図６及び図７に示される回路及び方法で行った。以上
のように、本実施例によってあきらかなようにインク２
０５を加熱し沸騰させるためのヒータ２０２を環状に形
成した記録ヘッド１１２により、ノズル構造の形成やノ
ズルオリフィスの形成が不要でありながら、記録液の吐
出を可能とする記録ヘッドを実現した。

【００３６】また、本実施例であきらかなように、上述
のような解像度がノズル構造による制約をうけない構造
をした、製造の容易な記録ヘッドを搭載する事により、
安価で高性能のインクジェット記録装置を実現した。
尚、本実施例においては単色での画像記録を例に本発明
を説明したが、カラー記録においても複数の本発明の記
録ヘッドを用いることにより、同様に本発明の効果が得
られる事は言うまでも無い。

【００３７】さらに、本実施例のインクジェット記録装
置においても、図９（ａ）〜（ｃ）のようなヒータ配置
の記録ヘッド１１２を用い、実施例３に記載したような
駆動方法の記録ヘッドの使用も可能であった。さらにま
た、図３及び図１２に示した記録ヘッドにおいて、イン
ク液面全体を覆う蓋またはキャップを付け、図６乃至図
８に示したデータ信号がヘッドドライブ部に入力された
ことを検出して、あるいは記録装置の電源がＯＮになっ
たことを検出して、あるいはまた、その他の記録準備状
態を検出して、非記録状態から記録状態になったときに
前記蓋またはキャップをあけるように構成することも可
能である。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。環状に
形成された記録液を加熱し沸騰させるための発熱体を有
する記録ヘッド、または環状に配置された記録液を加熱
し沸騰させるための複数個の発熱体を有する記録ヘッド
により、ノズル構造を持たないために解像度の制約の受
けにくい記録ヘッドを可能とする。

【００３９】記録ヘッドは、記録液を加熱し沸騰させる
ための発熱体と、発熱体に電流を供給する電極を有して
おり、液溜めを形成するための壁、または記録液供給口
と開放端との間に記録液の表面張力によって記録液によ
る液溜めが設けられる。発熱体に電極を通して電流が流
れる事により発熱体が発熱し、その熱によって発熱体の
周囲の記録液は膜沸騰現象をおこす。このとき膜沸騰現
象により発生する気泡は、環状に形成された発熱体、ま
たは環状に配置された複数の発熱体によって環状に成長
するため、この環状に成長する気泡の中心部分の記録液
が吐出する。

【００４０】このように本発明の記録ヘッドは、ノズル
構造の形成やノズルオリフィスの形成が不要でありなが
ら、記録液の吐出を可能とするため、製造が容易で高解
像度化が可能である。さらに、本発明のインクジェット
記録装置は、このような記録ヘッドを搭載する事によ
り、高解像度の印字出力を安価に提供する事が可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるインクジェット記録装置の構成図
である。

【図２】本発明によるインクジェット記録装置の側面か
ら見た構成図である。

【図３】本発明による記録ヘッドの一実施例を説明する
ための断面図である。

【図４】図３に示す本発明による記録ヘッドの構成を説
明するための平面図である。

【図５】本発明の記録ヘッドの製造方法を説明するため
の説明図である。

【図６】本発明のインクジェット記録装置に用いる記録
ヘッドの発熱抵抗体を駆動する回路の構成図である。

【図７】本発明のインクジェット記録装置に用いる記録
ヘッドの発熱抵抗体を駆動する回路の要部回路図であ
る。

【図８】本発明のインクジェット記録装置に用いるイン
クジェット記録ヘッドの発熱抵抗体の駆動タイミングを
説明するタイミング図である。

【図９】本発明の記録ヘッドの他の実施例の構成を説明
するための平面図である。

【図１０】本発明の記録ヘッドのヒータ配置を説明する
ための説明図である

【図１１】図１０に示す本発明の記録ヘッドの各ヒータ
の駆動を示すタイミング図である

【図１２】本発明による記録ヘッドの他の実施例の構成
を説明するための断面図である。

【図１３】図１２に示す本発明による記録ヘッドの構成
を示す平面図である。

【符号の説明】

１０１プラテンローラー１０２被記録媒体押さえチャック１０３被記録媒体１０４キャリア１０５，１０６軸１０７駆動ベルト１０８，１０９プーリー１１１インク供給管１１２記録ヘッド２０１基板２０２ヒータ２０３インク室２０４インク供給口２０５インク２５１電極３０１ヘッドドライブ部３０２データ信号３０３基準パルス３０４制御回路３１１ドライバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大浜聡千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコー電子工業株式会社内 (72)発明者川口幸治千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコー電子工業株式会社内 (72)発明者桑原誠治千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコー電子工業株式会社内 (72)発明者岡野宏千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコー電子工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】記録信号に応じて記録液を吐出し、被記
録媒体上に像を記録するインクジェット記録装置におい
て、記録液を加熱し沸騰させるための環状に形成された
発熱体を有する記録ヘッドを具備することを特徴とする
インクジェット記録装置
【請求項２】記録信号に応じて記録液を吐出し、被記
録媒体上に像を記録するインクジェット記録装置におい
て、記録液を加熱し沸騰させるための環状に配置された
複数個の発熱体を有する記録ヘッドを具備することを特
徴とするインクジェット記録装置
【請求項３】前記記録ヘッドの前記環状に配置された
複数の発熱体の少なくとも１つの発熱体を他の発熱体と
異なったタイミングで駆動する記録ヘッド駆動手段を具
備する請求項２に記載のインクジェット記録装置。
【請求項４】記録液を加熱し沸騰させるための環状に
形成された発熱体、または、環状に配置された複数の発
熱体と、該発熱体上に前記記録液による１０μｍから２
００μｍの高さの液溜めを形成するための壁を有する事
を特徴とする記録ヘッド。
【請求項５】記録液を加熱し沸騰させるための環状に
形成された発熱体、または、環状に配置された複数の発
熱体と、記録液供給口と開放端とから構成され、該記録
液供給口と該開放端との間に記録液の表面張力によって
液溜めを形成する事を特徴とする記録ヘッド。
【請求項６】記録信号に応じて記録液を吐出し、被記
録媒体上に像を記録するインクジェット記録装置におい
て、請求項４乃至５記載の記録ヘッドを具備することを
特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】基板上にスパッタまたは蒸着により発熱
体を形成し、スパッタ、蒸着またはエッチング等により
電極を形成し、そのあと１０μｍから２００μｍの壁を
形成し、剛性材を用いてインク室を構成する工程を有す
ることを特徴とする記録ヘッドの製造方法。