JPH10160436A - ディスク検査装置 - Google Patents
ディスク検査装置Info
- Publication number
- JPH10160436A JPH10160436A JP31766396A JP31766396A JPH10160436A JP H10160436 A JPH10160436 A JP H10160436A JP 31766396 A JP31766396 A JP 31766396A JP 31766396 A JP31766396 A JP 31766396A JP H10160436 A JPH10160436 A JP H10160436A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- light
- point
- disk
- defect candidate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ディスクの検査装置を提供すること。
【解決手段】 検査ポイントに光を照射する発光手段
と、テクスチャ面からの反射光を受光可能に配置した受
光手段と、各検査ポイントに前記光源からの光を照射で
きるように、ディスクを移動する移動手段と、各検査ポ
イントでの反射光の受光量を用いて演算処理を行う演算
手段と、該演算手段による演算処理結果と、予め定めた
基準値とを比較してディスクの良否を判定する判定手段
とを備えるディスク検査装置である。
と、テクスチャ面からの反射光を受光可能に配置した受
光手段と、各検査ポイントに前記光源からの光を照射で
きるように、ディスクを移動する移動手段と、各検査ポ
イントでの反射光の受光量を用いて演算処理を行う演算
手段と、該演算手段による演算処理結果と、予め定めた
基準値とを比較してディスクの良否を判定する判定手段
とを備えるディスク検査装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスクの製造状
態を光学的に検査する装置に係わり、特に、磁気記憶媒
体であるハードディスクのテクスチャ面の検査に好適な
装置に関する。
態を光学的に検査する装置に係わり、特に、磁気記憶媒
体であるハードディスクのテクスチャ面の検査に好適な
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ、ワーク
ステーション等の情報処理装置が処理するデータ量が増
大しつつあり、これらの情報処理装置には、通常、多量
のデータを記憶可能なハードディスク装置が内蔵されて
いる。
ステーション等の情報処理装置が処理するデータ量が増
大しつつあり、これらの情報処理装置には、通常、多量
のデータを記憶可能なハードディスク装置が内蔵されて
いる。
【０００３】図１は、ハードディスク１の断面を拡大し
て描いた模式図である。ハードディスク１の表面には、
平坦なディスク表面部と、断面がＶ字溝状に形成されて
いるテクスチャ面とが存在する。このテクスチャ面は、
ハードディスク装置のヘッド部の移動を安定して行わせ
るためのものである。
て描いた模式図である。ハードディスク１の表面には、
平坦なディスク表面部と、断面がＶ字溝状に形成されて
いるテクスチャ面とが存在する。このテクスチャ面は、
ハードディスク装置のヘッド部の移動を安定して行わせ
るためのものである。
【０００４】そして、従来、テクスチャ面の製造状態、
例えば、全体的な加工粗さの程度や傷等の存在、を把握
するには、検査員がテクスチャ面での光の反射状態を目
視で確認しながら行っていた。
例えば、全体的な加工粗さの程度や傷等の存在、を把握
するには、検査員がテクスチャ面での光の反射状態を目
視で確認しながら行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、テクス
チャ面での光の反射状態を目視で確認する場合、平坦な
ディスク表面部からの反射光も存在してしまうため、両
者の反射光を区別しながらテクスチャ面の目視検査を行
うためには、相当の熟練度と注意を要し、検査効率も非
常に悪かった。
チャ面での光の反射状態を目視で確認する場合、平坦な
ディスク表面部からの反射光も存在してしまうため、両
者の反射光を区別しながらテクスチャ面の目視検査を行
うためには、相当の熟練度と注意を要し、検査効率も非
常に悪かった。
【０００６】また、検査結果は検査員の熟練度や注意力
に依存するため、検査結果の信頼性にも問題があった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされた
ものであり、その目的は、ハードディスクのテクスチャ
面の検査を自動で行う装置を提供する点にある。
に依存するため、検査結果の信頼性にも問題があった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされた
ものであり、その目的は、ハードディスクのテクスチャ
面の検査を自動で行う装置を提供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明によれば、ディスク上に設定し
た複数の検査ポイントでの検査結果に基づいて、ディス
クの検査を行う装置であって、検査ポイントに光を照射
する発光手段と、テクスチャ面からの反射光を受光可能
に配置した受光手段と、各検査ポイントに前記光源から
の光を照射できるように、ディスクを移動する移動手段
と、各検査ポイントでの反射光の受光量を用いて演算処
理を行う演算手段と、該演算手段による演算処理結果
と、予め定めた基準値とを比較してディスクの良否を判
定する判定手段と、を備えるディスク検査装置が提供さ
れる。
め、請求項１記載の発明によれば、ディスク上に設定し
た複数の検査ポイントでの検査結果に基づいて、ディス
クの検査を行う装置であって、検査ポイントに光を照射
する発光手段と、テクスチャ面からの反射光を受光可能
に配置した受光手段と、各検査ポイントに前記光源から
の光を照射できるように、ディスクを移動する移動手段
と、各検査ポイントでの反射光の受光量を用いて演算処
理を行う演算手段と、該演算手段による演算処理結果
と、予め定めた基準値とを比較してディスクの良否を判
定する判定手段と、を備えるディスク検査装置が提供さ
れる。
【０００８】演算処理の態様としては、受光量の平均
値、標準偏差等を求める統計処理演算が挙げられる。さ
らに、請求項２記載の発明によれば、ディスク上に設定
した複数の検査ポイントでの検査結果に基づいて、ディ
スクの検査を行う装置であって、検査ポイントに光を照
射する発光手段と、テクスチャ面からの反射光を受光可
能に配置した受光手段と、各検査ポイントに前記光源か
らの光を照射できるように、ディスクを移動する移動手
段と、検査ポイントでの反射光の受光量と予め定めた第
１の基準値とを、検査ポイント毎に比較し、所定の条件
を満足しない検査ポイントを欠陥候補点と判定する判定
手段と、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候補点の
集合部を求める欠陥集合部検出手段と、この集合部の大
きさと、予め定めた第２の基準値とを比較してディスク
の良否を判定する判定手段と、を備えるディスク検査装
置が提供される。
値、標準偏差等を求める統計処理演算が挙げられる。さ
らに、請求項２記載の発明によれば、ディスク上に設定
した複数の検査ポイントでの検査結果に基づいて、ディ
スクの検査を行う装置であって、検査ポイントに光を照
射する発光手段と、テクスチャ面からの反射光を受光可
能に配置した受光手段と、各検査ポイントに前記光源か
らの光を照射できるように、ディスクを移動する移動手
段と、検査ポイントでの反射光の受光量と予め定めた第
１の基準値とを、検査ポイント毎に比較し、所定の条件
を満足しない検査ポイントを欠陥候補点と判定する判定
手段と、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候補点の
集合部を求める欠陥集合部検出手段と、この集合部の大
きさと、予め定めた第２の基準値とを比較してディスク
の良否を判定する判定手段と、を備えるディスク検査装
置が提供される。
【０００９】また、請求項３記載の発明によれば、請求
項２において、前記欠陥領域検出手段は、ある欠陥候補
点に注目したとき、その周囲に隣接する欠陥候補点が存
在すれば、これを前記ある欠陥候補点に連結していく処
理を、順次、注目する欠陥候補点を変更して行い、欠陥
候補点の集合部を求める手段である、ことを特徴とする
ディスク検査装置が提供される。
項２において、前記欠陥領域検出手段は、ある欠陥候補
点に注目したとき、その周囲に隣接する欠陥候補点が存
在すれば、これを前記ある欠陥候補点に連結していく処
理を、順次、注目する欠陥候補点を変更して行い、欠陥
候補点の集合部を求める手段である、ことを特徴とする
ディスク検査装置が提供される。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照しつつ説明する。図２は、本発明の第１の実施形態
にかかる装置の構成図である。
参照しつつ説明する。図２は、本発明の第１の実施形態
にかかる装置の構成図である。
【００１１】この装置は、ハードディスク１を載置した
状態で回転するターンテーブル２と、ターンテーブル２
の回転軸（図示せず）を固定した状態で、所定方向に
（図面の左右方向）ターンテーブル２を移動させる移動
機構３と、ターンテーブル２の回転や移動機構３の移動
を制御する回転移動制御装置２０とを備えている。
状態で回転するターンテーブル２と、ターンテーブル２
の回転軸（図示せず）を固定した状態で、所定方向に
（図面の左右方向）ターンテーブル２を移動させる移動
機構３と、ターンテーブル２の回転や移動機構３の移動
を制御する回転移動制御装置２０とを備えている。
【００１２】また、光源４からハードディスク１に照射
された光が、ハードディスク１のテクスチャ面で反射さ
れて光センサ５が受光可能なように、光源４および光セ
ンサ５が配置されている。図１には、あるテクスチャ面
における入射光と反射光の関係を模式的に示している
が、このように、互いに入射光と反射光の関係を形成す
る光路上に、光源４および光センサ５を配置している。
された光が、ハードディスク１のテクスチャ面で反射さ
れて光センサ５が受光可能なように、光源４および光セ
ンサ５が配置されている。図１には、あるテクスチャ面
における入射光と反射光の関係を模式的に示している
が、このように、互いに入射光と反射光の関係を形成す
る光路上に、光源４および光センサ５を配置している。
【００１３】さらに、光センサ５からの受光量の情報
は、演算装置６に送信されるようになっていて、演算装
置６は、受光量の情報を統計演算処理する統計量演算部
７と、演算処理のためのワークエリア８ａ、ディスク良
否の判定を行うための基準値を格納した基準値格納エリ
ア８ｂからなる記憶部８と、統計演算処理と基準値とを
比較し、ディスクの良否を判定する判定部９とを備え、
さらに、判定結果を表示する表示部１０が接続されてい
る。基準値格納エリア８ｂには、正常なディスクの全検
査ポイントでの受光量の平均値、標準偏差等の統計情報
（判定基準値）が格納されている。
は、演算装置６に送信されるようになっていて、演算装
置６は、受光量の情報を統計演算処理する統計量演算部
７と、演算処理のためのワークエリア８ａ、ディスク良
否の判定を行うための基準値を格納した基準値格納エリ
ア８ｂからなる記憶部８と、統計演算処理と基準値とを
比較し、ディスクの良否を判定する判定部９とを備え、
さらに、判定結果を表示する表示部１０が接続されてい
る。基準値格納エリア８ｂには、正常なディスクの全検
査ポイントでの受光量の平均値、標準偏差等の統計情報
（判定基準値）が格納されている。
【００１４】なお、統計量演算部７、記憶部８および判
定部９は、例えば、動作プログラムを内蔵するＲＯＭ等
の記憶媒体、ワークエリアとして機能するＲＡＭ、およ
び、動作プログラムにしたがった処理を行うＣＰＵで実
現可能であり、また、表示部１０は、ＣＲＴや液晶ディ
スプレイ等の表示デバイスで実現可能であるので、演算
装置６および表示部１０は、１台のコンピュータシステ
ムで実現可能である。
定部９は、例えば、動作プログラムを内蔵するＲＯＭ等
の記憶媒体、ワークエリアとして機能するＲＡＭ、およ
び、動作プログラムにしたがった処理を行うＣＰＵで実
現可能であり、また、表示部１０は、ＣＲＴや液晶ディ
スプレイ等の表示デバイスで実現可能であるので、演算
装置６および表示部１０は、１台のコンピュータシステ
ムで実現可能である。
【００１５】また、ハードディスク１の全面に検査ポイ
ントが設定されるように、回転移動制御装置２０がター
ンテーブル１を駆動してハードディスク１を回転させる
とともに、移動機構３を駆動してハードディスク１を、
所定方向に移動する。もちろん、検査ポイントに光が照
射された場合、ハードディスク１が静止するように、回
転移動制御装置２０が、ターンテーブル１および移動機
構３を制御する。これによって、ハードディスク１の内
周側の検査ポイントとから、外周側の検査ポイントへ
と、順次、光が照射され、各検査ポイントでの反射光が
得られる。
ントが設定されるように、回転移動制御装置２０がター
ンテーブル１を駆動してハードディスク１を回転させる
とともに、移動機構３を駆動してハードディスク１を、
所定方向に移動する。もちろん、検査ポイントに光が照
射された場合、ハードディスク１が静止するように、回
転移動制御装置２０が、ターンテーブル１および移動機
構３を制御する。これによって、ハードディスク１の内
周側の検査ポイントとから、外周側の検査ポイントへ
と、順次、光が照射され、各検査ポイントでの反射光が
得られる。
【００１６】次に、図６のフローチャートを参照して、
装置が行う動作について説明する。まず、前述したよう
に、ハードディスク１の全面に各検査ポイントを設定す
るように、回転移動制御装置２０がターンテーブル１を
駆動してハードディスク１を回転させるとともに、移動
機構３を駆動してハードディスク１を、所定方向に移動
する動作を行うものとする。
装置が行う動作について説明する。まず、前述したよう
に、ハードディスク１の全面に各検査ポイントを設定す
るように、回転移動制御装置２０がターンテーブル１を
駆動してハードディスク１を回転させるとともに、移動
機構３を駆動してハードディスク１を、所定方向に移動
する動作を行うものとする。
【００１７】ステップＳ６００では、統計量演算部７
は、光センサ５から送られてくる各検査ポイントでの受
光量をワークエリア８ａに順次格納する。このようにし
て、統計量演算部７は、全ての検査ポイントでの受光量
のデータをワークエリア８ａに格納する。
は、光センサ５から送られてくる各検査ポイントでの受
光量をワークエリア８ａに順次格納する。このようにし
て、統計量演算部７は、全ての検査ポイントでの受光量
のデータをワークエリア８ａに格納する。
【００１８】次に、ステップＳ６０２で、統計量演算部
７は、ワークエリア８ａに格納した全データを参照し
て、平均値、標準偏差等の統計量を求める。次に、ステ
ップＳ６０４で、判定部９は、基準値格納エリア８ｂに
格納されている判定基準値と、求めた統計量とを比較し
てハードディスク１の良否を判定する。具体的には、判
定部９は、測定により求めた平均値（測定平均値）と、
基準値格納エリア８ｂに格納されている、平均値の判定
基準値（上限値、下限値）とを比較して、測定平均値が
上限値、下限値の間にある場合には、ハードディスク１
の製造状態は良好、一方、測定平均値が上限値を越える
か、下限値を下回る場合には、ハードディスク１の製造
状態は不良と判断して、この判定結果を表示部１０に表
示する。同様に、標準偏差を用いて検査を行う場合に
は、判定部９は、測定により求めた標準偏差（測定標準
偏差）と、基準値格納エリア８ｂに格納されている、標
準偏差の判定基準値（基準標準偏差）とを比較して、測
定標準偏差が基準標準偏差より小さな場合には、ハード
ディスク１の製造状態は良好、一方、測定標準偏差が標
準偏差基準値以上の場合には、ハードディスク１の製造
状態は不良と判断して、この判定結果を表示部１０に表
示する。
７は、ワークエリア８ａに格納した全データを参照し
て、平均値、標準偏差等の統計量を求める。次に、ステ
ップＳ６０４で、判定部９は、基準値格納エリア８ｂに
格納されている判定基準値と、求めた統計量とを比較し
てハードディスク１の良否を判定する。具体的には、判
定部９は、測定により求めた平均値（測定平均値）と、
基準値格納エリア８ｂに格納されている、平均値の判定
基準値（上限値、下限値）とを比較して、測定平均値が
上限値、下限値の間にある場合には、ハードディスク１
の製造状態は良好、一方、測定平均値が上限値を越える
か、下限値を下回る場合には、ハードディスク１の製造
状態は不良と判断して、この判定結果を表示部１０に表
示する。同様に、標準偏差を用いて検査を行う場合に
は、判定部９は、測定により求めた標準偏差（測定標準
偏差）と、基準値格納エリア８ｂに格納されている、標
準偏差の判定基準値（基準標準偏差）とを比較して、測
定標準偏差が基準標準偏差より小さな場合には、ハード
ディスク１の製造状態は良好、一方、測定標準偏差が標
準偏差基準値以上の場合には、ハードディスク１の製造
状態は不良と判断して、この判定結果を表示部１０に表
示する。
【００１９】このように、本実施形態によれば、ハード
ディスクの各テクスチャ面上に設定された全ての検査ポ
イントでの光学特性値を統計処理することによって、デ
ィスク全面の特性を考慮したディスク良否の判定が行え
る。特に、テクスチャ面の製造粗さのむら等の広い範囲
に渡っての欠陥を考慮したディスク良否の判定が行え
る。
ディスクの各テクスチャ面上に設定された全ての検査ポ
イントでの光学特性値を統計処理することによって、デ
ィスク全面の特性を考慮したディスク良否の判定が行え
る。特に、テクスチャ面の製造粗さのむら等の広い範囲
に渡っての欠陥を考慮したディスク良否の判定が行え
る。
【００２０】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図３は、本発明の第２の実施形態にかかる装置
の構成図である。この装置は、ハードディスク１を載置
した状態で回転するターンテーブル２と、ターンテーブ
ル２の回転軸（図示せず）を固定した状態で、所定方向
に（図面の左右方向）ターンテーブル２を移動させる移
動機構３と、ターンテーブル２の回転や移動機構３の移
動を制御する回転移動制御装置２０とを備えている。
明する。図３は、本発明の第２の実施形態にかかる装置
の構成図である。この装置は、ハードディスク１を載置
した状態で回転するターンテーブル２と、ターンテーブ
ル２の回転軸（図示せず）を固定した状態で、所定方向
に（図面の左右方向）ターンテーブル２を移動させる移
動機構３と、ターンテーブル２の回転や移動機構３の移
動を制御する回転移動制御装置２０とを備えている。
【００２１】また、光源４からハードディスク１に照射
された光が、ハードディスク１のテクスチャ面で反射さ
れて光センサ５が受光可能なように、光源４および光セ
ンサ５が配置されている。図１には、あるテクスチャ面
における入射光と反射光の関係を模式的に示している
が、このように、互いに入射光と反射光の関係を形成す
る光路上に、光源４および光センサ５を配置している。
された光が、ハードディスク１のテクスチャ面で反射さ
れて光センサ５が受光可能なように、光源４および光セ
ンサ５が配置されている。図１には、あるテクスチャ面
における入射光と反射光の関係を模式的に示している
が、このように、互いに入射光と反射光の関係を形成す
る光路上に、光源４および光センサ５を配置している。
【００２２】さらに、光センサ５からの受光量の情報
は、演算装置６０に送信されるようになっていて、演算
装置６０は、各検査ポイントが欠陥候補点か否かを判定
する検査ポイント用判定部１１と、各検査ポイントが欠
陥候補点か否かを判定するための第１の基準値（所定の
受光量値）が格納されている検査ポイント用基準値格納
部１２と、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候補点
の集合部を求めるための欠陥候補点連結部１３（欠陥集
合部検出手段）と、この集合部の大きさを参照して、デ
ィスクの良否の判定を行う欠陥判定部と、ディスクの良
否の判定を行うための第２の基準値を格納する欠陥判定
用基準値格納部１５とを備え、さらに、ディスク良否の
判定結果を表示する表示部１０が接続されている。
は、演算装置６０に送信されるようになっていて、演算
装置６０は、各検査ポイントが欠陥候補点か否かを判定
する検査ポイント用判定部１１と、各検査ポイントが欠
陥候補点か否かを判定するための第１の基準値（所定の
受光量値）が格納されている検査ポイント用基準値格納
部１２と、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候補点
の集合部を求めるための欠陥候補点連結部１３（欠陥集
合部検出手段）と、この集合部の大きさを参照して、デ
ィスクの良否の判定を行う欠陥判定部と、ディスクの良
否の判定を行うための第２の基準値を格納する欠陥判定
用基準値格納部１５とを備え、さらに、ディスク良否の
判定結果を表示する表示部１０が接続されている。
【００２３】欠陥候補点連結部１３は、図示しないワー
クエリアを有していて、また、欠陥判定用基準値格納部
１５には、第２の基準値として、隣接する欠陥候補点の
数の情報が格納されている。
クエリアを有していて、また、欠陥判定用基準値格納部
１５には、第２の基準値として、隣接する欠陥候補点の
数の情報が格納されている。
【００２４】なお、検査ポイント用判定部１１、検査ポ
イント用基準値格納部１２、欠陥候補点連結部１３、欠
陥判定部１４、および、欠陥判定用基準値格納部１５
は、例えば、動作プログラムを内蔵するＲＯＭ等の記憶
媒体、ワークエリアとして機能するＲＡＭ、および、動
作プログラムにしたがった処理を行うＣＰＵで実現可能
であり、また、表示部１０は、ＣＲＴや液晶ディスプレ
イ等の表示デバイスで実現可能であるので、演算装置６
０および表示部１０は、１台のコンピュータシステムで
実現可能である。
イント用基準値格納部１２、欠陥候補点連結部１３、欠
陥判定部１４、および、欠陥判定用基準値格納部１５
は、例えば、動作プログラムを内蔵するＲＯＭ等の記憶
媒体、ワークエリアとして機能するＲＡＭ、および、動
作プログラムにしたがった処理を行うＣＰＵで実現可能
であり、また、表示部１０は、ＣＲＴや液晶ディスプレ
イ等の表示デバイスで実現可能であるので、演算装置６
０および表示部１０は、１台のコンピュータシステムで
実現可能である。
【００２５】また、ハードディスク１全面に検査ポイン
トが設定されるように、回転移動制御装置２０がターン
テーブル１を駆動してハードディスク１を回転させると
ともに、移動機構３を駆動してハードディスク１を、所
定方向に移動する。もちろん、検査ポイントに光が照射
された場合、ハードディスク１が静止するように、回転
移動制御装置２０が、ターンテーブル１および移動機構
３を制御する。これによって、ハードディスク１の内周
側の検査ポイントとから、外周側の検査ポイントへと、
順次、光が照射され、各検査ポイントでの反射光が得ら
れる。
トが設定されるように、回転移動制御装置２０がターン
テーブル１を駆動してハードディスク１を回転させると
ともに、移動機構３を駆動してハードディスク１を、所
定方向に移動する。もちろん、検査ポイントに光が照射
された場合、ハードディスク１が静止するように、回転
移動制御装置２０が、ターンテーブル１および移動機構
３を制御する。これによって、ハードディスク１の内周
側の検査ポイントとから、外周側の検査ポイントへと、
順次、光が照射され、各検査ポイントでの反射光が得ら
れる。
【００２６】なお、本実施形態においては、ハードディ
スク１の半径方向に設定される検査ポイントの数を同一
にして、ディスク検査が行われるように、回転移動制御
装置２０がターンテーブル１および移動機構３を制御す
るものとする。
スク１の半径方向に設定される検査ポイントの数を同一
にして、ディスク検査が行われるように、回転移動制御
装置２０がターンテーブル１および移動機構３を制御す
るものとする。
【００２７】次に、図７のフローチャートを参照して、
装置が行う動作について説明する。まず、ステップＳ７
００において、検査ポイント判定部１１は、光センサ５
から送られてくる受光量と、検査ポイント用基準値格納
部１２に格納されている第１の基準値とを比較して、受
光量が第１の基準値より大きな場合には、検査ポイント
を欠陥候補点とし、これ以外の場合には、検査ポイント
を正常点として、各検査ポイントが欠陥候補点であるか
否かの情報を欠陥候補点連結部１３に送る。
装置が行う動作について説明する。まず、ステップＳ７
００において、検査ポイント判定部１１は、光センサ５
から送られてくる受光量と、検査ポイント用基準値格納
部１２に格納されている第１の基準値とを比較して、受
光量が第１の基準値より大きな場合には、検査ポイント
を欠陥候補点とし、これ以外の場合には、検査ポイント
を正常点として、各検査ポイントが欠陥候補点であるか
否かの情報を欠陥候補点連結部１３に送る。
【００２８】具体的には、欠陥候補点は「１」、これ以
外の点は「０」としたデジタルデータを欠陥連結部１３
のワークエリアに送る。そして、欠陥連結部１３は、自
身のワークエリアに、例えば、１列に対して１つのテク
スチャ面の検査ポイントでの検査結果（０または１）が
格納されるようなデータ格納を行う。
外の点は「０」としたデジタルデータを欠陥連結部１３
のワークエリアに送る。そして、欠陥連結部１３は、自
身のワークエリアに、例えば、１列に対して１つのテク
スチャ面の検査ポイントでの検査結果（０または１）が
格納されるようなデータ格納を行う。
【００２９】この様子を図４に示す。図中「１」は欠陥
候補点であり、「０」は欠陥候補点でない点を示してい
て、符号Ａは、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候
補点の集合部を示している。
候補点であり、「０」は欠陥候補点でない点を示してい
て、符号Ａは、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候
補点の集合部を示している。
【００３０】次に、ステップＳ７０２では、欠陥連結部
１３が画像処理等で用いられている公知のアルゴリズム
を用いて連結処理を行う。具体的には、図５に示すよう
な９個のデータブロックを想定して、ある欠陥候補点に
注目し、この欠陥候補点の回りに他の欠陥候補点が存在
する場合、これを連結する処理を、注目する欠陥候補点
を変更して行い、欠陥候補点の集合部を求める。これに
より、図４の符号Ａで示される欠陥候補点の集合部が検
出される。このような連結処理によれば、簡易な処理で
確実に欠陥候補点の集合部を求めることが可能になる。
１３が画像処理等で用いられている公知のアルゴリズム
を用いて連結処理を行う。具体的には、図５に示すよう
な９個のデータブロックを想定して、ある欠陥候補点に
注目し、この欠陥候補点の回りに他の欠陥候補点が存在
する場合、これを連結する処理を、注目する欠陥候補点
を変更して行い、欠陥候補点の集合部を求める。これに
より、図４の符号Ａで示される欠陥候補点の集合部が検
出される。このような連結処理によれば、簡易な処理で
確実に欠陥候補点の集合部を求めることが可能になる。
【００３１】さらに、ステップＳ７０４では、欠陥判定
部１４が、欠陥連結部１３が検出した集合部Ａを参照し
て、この集合部を構成する欠陥候補点の数を求め、求め
た欠陥候補点の数が、欠陥判定用基準値格納部１５に格
納されている第２の基準値以下であると判定した場合に
は、ハードディスク１の製造状態は良好、一方、求めた
欠陥候補点の数が第２の基準値より多い場合には、ハー
ドディスク１の製造状態は不良と判断して、この判定結
果を表示部１０に表示する。
部１４が、欠陥連結部１３が検出した集合部Ａを参照し
て、この集合部を構成する欠陥候補点の数を求め、求め
た欠陥候補点の数が、欠陥判定用基準値格納部１５に格
納されている第２の基準値以下であると判定した場合に
は、ハードディスク１の製造状態は良好、一方、求めた
欠陥候補点の数が第２の基準値より多い場合には、ハー
ドディスク１の製造状態は不良と判断して、この判定結
果を表示部１０に表示する。
【００３２】以上の処理によって、欠陥候補点の集合部
の大きさ、すなわち、ハードディスク上の欠陥部の長さ
や大きさ、を考慮したディスク良否の判定が行えること
になる。 この手法によれば、特に、テクスチャ面に存
在する傷等を検出して、ディスク良否の判定が行えるこ
とになる。
の大きさ、すなわち、ハードディスク上の欠陥部の長さ
や大きさ、を考慮したディスク良否の判定が行えること
になる。 この手法によれば、特に、テクスチャ面に存
在する傷等を検出して、ディスク良否の判定が行えるこ
とになる。
【００３３】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、自動でハードディスクのテクスチャ面の検査を行う
装置を実現することが可能になる。
ば、自動でハードディスクのテクスチャ面の検査を行う
装置を実現することが可能になる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明によれば、ディスク上に設定した複数の検査ポイント
に光を照射し、全検査ポイントでの反射光の受光量のデ
ータを用いて演算を行い、この演算結果と基準値とを比
較するので、ディスク全面の特性を考慮したディスク良
否の判定を行えるという効果が得られる。特に、テクス
チャ面の製造粗さのむら等を考慮したディスク良否の判
定が行えることになる。
明によれば、ディスク上に設定した複数の検査ポイント
に光を照射し、全検査ポイントでの反射光の受光量のデ
ータを用いて演算を行い、この演算結果と基準値とを比
較するので、ディスク全面の特性を考慮したディスク良
否の判定を行えるという効果が得られる。特に、テクス
チャ面の製造粗さのむら等を考慮したディスク良否の判
定が行えることになる。
【００３５】また、請求項２に係る発明によれば、ディ
スク上に設定した複数の検査ポイントに光を照射し、各
検査ポイントでの反射光の受光量のデータを用いて欠陥
候補点を求め、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥点
の集合部の大きさと基準値とを比較するので、長さや大
きさを有する欠陥部を検出してディスク良否の判定が行
えることになる。特に、テクスチャ面に存在する傷等を
検出して、ディスク良否の判定が行えることになる。
スク上に設定した複数の検査ポイントに光を照射し、各
検査ポイントでの反射光の受光量のデータを用いて欠陥
候補点を求め、欠陥候補点が隣接して形成された欠陥点
の集合部の大きさと基準値とを比較するので、長さや大
きさを有する欠陥部を検出してディスク良否の判定が行
えることになる。特に、テクスチャ面に存在する傷等を
検出して、ディスク良否の判定が行えることになる。
【００３６】さらに、請求項３に係る発明によれば、請
求項２の効果に加えて、欠陥領域を求める際、ある欠陥
点に注目したとき、その周囲に隣接する欠陥点が存在す
れば、これを前記ある欠陥点に連結していく処理を、順
次、注目する欠陥点を変更して行うので、簡易な処理で
確実に欠陥点の集合部を求めることが可能になる。
求項２の効果に加えて、欠陥領域を求める際、ある欠陥
点に注目したとき、その周囲に隣接する欠陥点が存在す
れば、これを前記ある欠陥点に連結していく処理を、順
次、注目する欠陥点を変更して行うので、簡易な処理で
確実に欠陥点の集合部を求めることが可能になる。
【図１】本発明の説明図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の構成図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の構成図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の説明図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の説明図である。
【図６】第１の実施形態にかかる装置が行う処理を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図７】第２の実施形態にかかる装置が行う処理を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
１ ハードディスク ２ ターンテーブル ３ 移動機構 ４ 光源 ５ 光センサ ６ 演算装置 ７ 統計量演算部 ８ 記憶部 ９ 判定部 １０ 表示部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木内 哲夫 東京都日野市富士町１番地 富士ファコム 制御株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 ディスク上に設定した複数の検査ポイン
トでの検査結果に基づいて、ディスクの検査を行う装置
であって、 検査ポイントに光を照射する発光手段と、テクスチャ面
からの反射光を受光可能に配置した受光手段と、 各検査ポイントに前記光源からの光を照射できるよう
に、ディスクを移動する移動手段と、 各検査ポイントでの反射光の受光量を用いて演算処理を
行う演算手段と、 該演算手段による演算処理結果と、予め定めた基準値と
を比較してディスクの良否を判定する判定手段と、を備
えるディスク検査装置。 - 【請求項２】 ディスク上に設定した複数の検査ポイン
トでの検査結果に基づいて、ディスクの検査を行う装置
であって、 検査ポイントに光を照射する発光手段と、テクスチャ面
からの反射光を受光可能に配置した受光手段と、 各検査ポイントに前記光源からの光を照射できるよう
に、ディスクを移動する移動手段と、 検査ポイントでの反射光の受光量と予め定めた第１の基
準値とを、検査ポイント毎に比較し、所定の条件を満足
しない検査ポイントを欠陥候補点と判定する判定手段
と、 欠陥候補点が隣接して形成された欠陥候補点の集合部を
求める欠陥集合部検出手段と、 この集合部の大きさと、予め定めた第２の基準値とを比
較してディスクの良否を判定する判定手段と、を備える
ディスク検査装置。 - 【請求項３】 請求項２において、 前記欠陥集合部検出手段は、ある欠陥候補点に注目した
とき、その周囲に隣接する欠陥候補点が存在すれば、こ
れを前記ある欠陥候補点に連結していく処理を、順次、
注目する欠陥候補点を変更して行い、欠陥候補点の集合
部を求める手段である、ことを特徴とするディスク検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31766396A JPH10160436A (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31766396A JPH10160436A (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | ディスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160436A true JPH10160436A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18090653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31766396A Pending JPH10160436A (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | ディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10160436A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020053762A (ko) * | 2000-12-27 | 2002-07-05 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법 |
| JP2002286431A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Hirose Technology Kk | 表面凹凸検査方法および検査装置 |
| KR20030015497A (ko) * | 2001-08-16 | 2003-02-25 | 세진전자 주식회사 | 스티어링 휠의 각도 및 회전수 감지장치 |
| JP2008234825A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | Hoya Corp | 磁気ディスク用基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法 |
-
1996
- 1996-11-28 JP JP31766396A patent/JPH10160436A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020053762A (ko) * | 2000-12-27 | 2002-07-05 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법 |
| JP2002286431A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Hirose Technology Kk | 表面凹凸検査方法および検査装置 |
| KR20030015497A (ko) * | 2001-08-16 | 2003-02-25 | 세진전자 주식회사 | 스티어링 휠의 각도 및 회전수 감지장치 |
| JP2008234825A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | Hoya Corp | 磁気ディスク用基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4826750B2 (ja) | 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置 | |
| JP2006234771A (ja) | 金属ロールの表面欠陥検査方法およびその装置 | |
| TWI770906B (zh) | 晶圓表面缺陷檢測方法及其裝置 | |
| US7656515B2 (en) | Apparatus and method for analysis of optical storage media | |
| US20140043603A1 (en) | Surface inspecting apparatus having double recipe processing function | |
| CN113588665B (zh) | 基于机器视觉实现光纤预制棒瑕疵检测的方法 | |
| JPH10160436A (ja) | ディスク検査装置 | |
| US20070127807A1 (en) | Defect inspection method, defect inspection system, defect inspection program, and memory medium with that program memorized in it | |
| JP3592990B2 (ja) | 棒状切削工具の欠陥検査装置 | |
| JP3935781B2 (ja) | 透明電極膜基板の検査装置 | |
| US6046801A (en) | Laser-based inspection system for optical disks | |
| JP2009109243A (ja) | 樹脂封止材の検査装置 | |
| US20020154298A1 (en) | Method of inspecting an edge of a glass disk for anomalies in an edge surface | |
| JPH05157705A (ja) | 歯車等の異状診断方法 | |
| JP2001050907A (ja) | 基板の検査方法 | |
| JP4369276B2 (ja) | 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 | |
| JPH01193606A (ja) | 弾性体シートのジョイント部の不良検出方法および装置 | |
| JP2800932B2 (ja) | 円筒ころ軸受の検査装置 | |
| JPH10253547A (ja) | 基板外観検査システム | |
| JPH06148088A (ja) | ハードディスクの欠陥検出方法 | |
| JP3800041B2 (ja) | ワークの先端切断面形状の検査装置および検査方法 | |
| JP3293257B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP4783590B2 (ja) | 光沢円筒面検査装置 | |
| JP3129278B2 (ja) | 化学処理表面状態検査装置および化学処理液劣化状態検査方法 | |
| JP2002156337A (ja) | 透光体の検査方法、検査装置、検査プログラムおよび記録媒体 |