JP2002286431A - 表面凹凸検査方法および検査装置 - Google Patents

表面凹凸検査方法および検査装置

Info

Publication number
JP2002286431A
JP2002286431A JP2001090851A JP2001090851A JP2002286431A JP 2002286431 A JP2002286431 A JP 2002286431A JP 2001090851 A JP2001090851 A JP 2001090851A JP 2001090851 A JP2001090851 A JP 2001090851A JP 2002286431 A JP2002286431 A JP 2002286431A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
data
laser
unit
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001090851A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsunori Miyazaki
克則 宮崎
Shigeki Kobayashi
茂樹 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HIROSE TECHNOLOGY KK
Original Assignee
HIROSE TECHNOLOGY KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HIROSE TECHNOLOGY KK filed Critical HIROSE TECHNOLOGY KK
Priority to JP2001090851A priority Critical patent/JP2002286431A/ja
Publication of JP2002286431A publication Critical patent/JP2002286431A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワーク表面の凹凸を、光学的かつ自動的に検
査する。 【解決手段】 ワークWを回転させるとともに、反射型
レーザセンサ2を水平移動させることによって、レーザ
照射部3からワークWにレーザ6aを照射し、その照射
点をワークW上で渦巻状に走査させ、ワークWで反射し
たレーザ6bをレーザ受光部4で受光し、受光データを
データ処理部8で処理し、処理データDaをデータ比較
部9で基準デ−タ記憶部10に記憶した基準データD0
と比較して、処理データDaと基準データD0との一致
または不一致により、良(合格)または不良(不合格)
を良否表示部11に表示するとともに、処理データDa
に基づく合成画像を画像表示部12で表示する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はワークの表面凹凸状
態を検査する表面凹凸検査方法および検査装置に関し、
特に、印鑑等の凹凸を検査するのに好適する検査方法お
よび検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】表面に凹凸を有するワークの表面状態が
正しいかどうか検査する必要がある場合がある。例え
ば、印鑑を作成する場合、手彫りにせよ、機械彫りにせ
よ、彫り上がった印鑑の文字や図形が正しく彫られてい
るかどうか、検査しなければならない。特に、印鑑の場
合は単なる見た目の美観上だけでなく、印鑑を所有者の
分身のように考えたり、印相学上少しの欠けや歪みで
も、その所有者に何らかの災いをもたらすと考えたりす
る人もいるので、印鑑においては精度の高い検査が要求
される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで、レーザ変位セ
ンサを用いた検査が考えられている。しかしながら、従
来のレーザ変位センサを用いた検査方法および検査装置
は、印鑑をX−Y2軸のモータによるX−Yテーブルに
セットし、X軸モータとY軸モータとを、頻繁に駆動/
停止させて検査するようにしていた。
【0004】例えば、Y軸モータを停止させておいて
X軸モータのみを駆動してX−Yテーブルを−X方向に
連続的または間欠的に移動させることによって、レーザ
を印鑑のX方向に走査してその凹凸を検査していき(X
方向検査)、 レーザが印鑑の右端部に達するとX軸モータを停止し
て、Y軸モータでX−YテーブルをY方向方向に1ピッ
チ移動させた後(Y方向変位)、 Y軸モータを停止させてX軸モータでX−Yテーブル
を今度はX方向に連続的または間欠的にさせることによ
って、レーザを印鑑の−X方向に走査してその凹凸を検
査していき(−X方向検査)、 レーザが印鑑の左端部に達するとX軸モータを停止し
て、Y軸モータでX−YテーブルをY方向方向に1ピッ
チ移動させる(Y方向変位)、といった具合に、X軸モ
ータとY軸モータとを頻繁に、駆動/停止を繰り返して
検査していた。
【0005】しかしながら、このようなX軸モータとY
軸モータとを頻繁に駆動/停止を繰り返して検査する
と、X軸モータおよびY軸モータを、絶えず、加速−定
速−減速−停止を頻繁に繰り返すことになり、モータの
運転効率が著しく悪いのみならず、検査時間も長くかか
るという問題点があった。また、頻繁な駆動/停止を繰
り返すことによって、モータが短寿命になるといった問
題点もあった。
【0006】したがって、本発明は、駆動機構部を連続
的に動作させて検査時間を短縮できる表面凹凸検査方法
および検査装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
された表面凹凸検査方法は、表面に凹凸を有するワーク
を回転させながら、その表面の回転半径方向にレーザ照
射点を移動させることによって、レーザ照射点をワーク
の表面で渦巻状に走査させ、その反射レーザを読み取っ
てワーク表面の凹凸を検査することを特徴とするもので
ある。
【0008】上記の表面凹凸検査方法によれば、ワーク
の表面にレーザを渦巻状に連続照射してワーク表面の凹
凸を光学的かつ自動的に検査するようにしたので、従来
のX軸モータおよびY軸モータを頻繁に駆動/停止を繰
り返して検査する方法に比較して、ワークの回転および
レーザの照射に停止時間がなく連続動作が行えるため、
極めて短時間で検査を行うことができる。
【0009】本発明の請求項2に記載の表面凹凸検査方
法は、前記の読み取った反射レーザのデータ処理を行
い、その処理データに基づいてワーク表面の凹凸を検査
することを特徴とするものである。
【0010】上記の表面凹凸検査方法によれば、上記と
同様に極めて短時間で、高い精度の検査ができるのみな
らず、自動的にデータ処理を行うことによって、複雑な
凹凸形状であっても、高い精度で検査できる。
【0011】本発明の請求項3に記載された表面凹凸検
査方法は、前記処理データに基づいてワークの表面の凹
凸を検査するとともに合成画像を作成して画像表示する
ことを特徴とするものである。
【0012】上記の表面凹凸検査方法によれば、上記と
同様の効果が得られるのみならず、合成画像を表示する
ことによって、万一、検査結果が不良(不合格)であっ
た場合に、不良(不合格)箇所や不良状態を視覚的に確
認できる。
【0013】本発明の請求項4に記載された表面凹凸検
査方法は、前記処理データを、基準データと比較してワ
ークの良否を検査することを特徴とするものである。
【0014】上記の表面凹凸検査方法によれば、処理デ
ータを基準データと比較することによって、具体的な凹
凸形状がどのようなものであれ、瞬時に良否の検査がで
きる。
【0015】本発明の請求項5に記載された表面凹凸検
査装置は、ワークを支持して回転させるワーク支持回転
機構部と、ワークに対向して配置されたレーザ照射部お
よびワーク表面で反射されたレ−ザを受光するレーザ受
光部を有する反射型レーザセンサと、前記反射型レーザ
センサをワークの回転半径方向に移動させる駆動機構部
とを有することを特徴とするものである。
【0016】上記の表面凹凸検査装置によれば、ワーク
支持回転機構部によってワークを支持および回転させる
とともに、駆動機構部によってレーザ照射部およびレー
ザ受光部を有する反射型レーザセンサをワークの回転半
径方向に移動させるので、ワークの表面上にレーザ照射
点を渦巻状に走査させて、ワークの全面の凹凸を光学的
かつ自動的に検査することができる。したがって、ワー
クの支持回転機構部および反射型レーザセンサをワーク
の回転半径方向に移動させる駆動機構部を連続動作させ
ることができ、従来のX軸モータおよびY軸モータを頻
繁に駆動/停止を繰り返して検査する装置に比較して、
ワークの回転および反射型レーザセンサの移動に停止時
間がなく連続動作が行えるため、極めて短時間で検査を
行うことができる。
【0017】本発明の請求項6に記載された表面凹凸検
査装置は、前記データ処理部で処理されたデータに基づ
いてワークの凹凸状態の良否を表示する良否表示部を有
することを特徴とするものである。
【0018】上記の表面凹凸検査装置によれば、データ
処理部で処理されたデータに基づいてワークの凹凸状態
の良否(合否)を表示するので、作業者の判断が介在す
ることがなく、常に一定の検査結果が得られる。
【0019】本発明の請求項7に記載された表面凹凸検
査装置は、基準データを記憶する基準データ記憶部と、
前記データ処理部で処理されたデータを基準データ記憶
部に記憶された基準データと比較するデータ比較部とを
有することを特徴とするものである。
【0020】上記の表面凹凸検査装置によれば、データ
処理部で処理されたデータを基準データ記憶部に記憶さ
れた基準データと比較するので、どんな複雑な凹凸形状
であっても、短時間で、かつ、常に正確な検査結果が得
られる。
【0021】本発明の請求項8に記載された表面凹凸検
査装置は、前記データ処理部で処理されたデータに基づ
いて作成した合成画像を表示する画像表示部を有するこ
とを特徴とするものである。
【0022】上記の表面凹凸検査装置によれば、万一、
検査結果が不良(不合格)の場合に、その不良(不合
格)箇所や不良形状等を画像から割り出すことができ
る。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図1は本発明の表面検査
方法を実施するための概略ブロック構成図を示す。
【0024】図1において、Wは表面に凹凸を有するワ
ークで、例えば、各種の木、動物の角、象牙等の棒状の
印材端面に姓または姓名を彫った印鑑である。この印鑑
Wは適当な支持手段でその印面を上にして垂直状に支持
され、かつ第1のサーボモータSM1によって、その中
心軸を中心に回転される。1はレーザ発生部で、2は反
射型レーザセンサであり、レーザを印鑑Wに照射するレ
ーザ照射部3と印鑑Wからの反射レーザを受光するレー
ザ受光部4とを備えている。5はレーザ発生部1で発生
したレーザを反射型レーザセンサ2のレーザ照射部3に
ガイドする光ファイバであり、レーザ照射部3から印鑑
Wに向かってレーザ6aを照射する。印鑑Wで反射され
たレーザ6bは、レーザ受光部4に入力され、光ファイ
バ7によってガイドされて、データ処理部8に送られて
データ処理される。このデータ処理部8で処理されたデ
ータは、データ比較部9に送られて、基準データ記憶部
10に記憶されている基準データと比較され、その比較
結果に基づいて印鑑Wの良否が良否表示部11に表示さ
れる。12は前記データ処理部8で処理されたデータに
基づいて合成した画像を表示する画像表示部である。前
記レーザ照射部3およびレーザ受光部4を有する反射型
レーザセンサ2は、第2のサーボモータSM2によっ
て、水平方向に移動自在に構成されている。
【0025】図2は本発明の実施形態の表面凹凸検査装
置における概略構成正断面図である。図2において、2
0は基盤、21はこの基盤20に回転自在に取り付けら
れた印鑑Wの支持回転機構部を構成するチャックで、基
盤20の裏面に取り付けられた第1のサーボモータ22
によって回転させられる。23は基盤20上に固定され
た枠体で、直立状の一対の脚柱部23a,23bと、そ
れらの上端を結合する橋絡部23cとを有する。枠体2
3の橋絡部23cと平行に、両脚柱部23a,23bに
ガイドシャフト24の両端が固定されている。前記一方
の脚柱部23aの外側面には駆動機構部を構成する第2
のサーボモータ25が取り付けられており、このサーボ
モータ25の回転軸25aに、周面にボールネジを形成
した駆動軸26が取り付けられている。そして、前記ガ
イドシャフト24にはレーザ照射部3とレーザ受光部4
とを有する反射型レーザセンサ2を設けたスライドユニ
ット27がスライド自在に取り付けられており、このス
ライドユニット27は、前記ボールネジを形成した駆動
軸26と螺合するネジ溝28が形成されており、サーボ
モータ25の回転動作によって、駆動軸26が回転し、
それによってスライドユニット27が水平移動するよう
に構成されている。
【0026】次に、上記の図1の概略ブロック構成およ
び図2の装置の概略構成を参照して、本発明の表面凹凸
検査方法および検査装置の動作について説明する。
【0027】まず、検査品のワークである印鑑Wの検査
に先立って、予め基準となる印鑑を用意して、第1のサ
ーボモータ22および第2のサーボモータ25を停止さ
せた状態で、チャック21にその基準用印鑑をセッティ
ングする。次に、サーボモータ25を駆動してスライド
ユニット27を水平移動させて、レーザ照射部3から照
射されるレーザ6aの照射点を前記基準用印鑑の中心点
Oに一致させる。
【0028】そして、第1のサーボモータ22を回転さ
せることによって基準用印鑑を一定速度で回転させなが
ら、第2のサーボモータ25を駆動してスライドユニッ
ト27を印鑑Wの半径方向に水平移動させて、レーザ照
射部3から照射されるレーザ6aを基準用印鑑の表面上
で渦巻状に走査させ、基準用印鑑から反射したレーザ6
bをレーザ受光部4で受けて、この受光データをデータ
処理部8に送ってデータ処理し、その処理データを基準
データ記憶部10に記憶させる。
【0029】次に、第1,第2のサーボモータ22,2
5を停止させた状態で、チャック21に検査用の印鑑W
(以下、印鑑Wという)をセッティングした後、サーボ
モータ25を駆動してスライドユニット27を水平移動
させて、レーザ照射部3から照射されるレーザ6aの照
射点を前記印鑑Wの中心点Oに一致させる。
【0030】図3(A)は、印鑑Wの拡大平面を示し
(凹凸は省略)、その中心点Oを中心にサーボモータ2
2によって、例えば、時計方向Aに一定速度で回転させ
る。一方、サーボモータ25によって、前記スライドユ
ニット27を、そのレーザ4aの照射点が前記印鑑Wの
中心点Oから半径方向Bに向かうように一定速度で水平
移動させる。
【0031】すると、レーザ4aの照射点の移動軌跡S
は、図3(B)に示すように、印鑑Wの表面上で見る
と、中心点Oから渦巻状に次第に印鑑Wの外方に向かっ
て走査されることになる。印鑑Wの表面で反射したレー
ザ6bは、レーザ受光部4で受光されるが、印鑑Wの表
面の凹凸によって、その反射したレーザ6bの強度が変
化するので、その受光データを順次データ処理部8に送
って、光の強弱をデータ処理することによって、高さデ
ータに変換処理するとともに、渦巻状に採取したデータ
を印鑑Wの印影どおりに変換処理する。
【0032】この処理したデータDaをデータ比較部9
に送り、データ比較部9において基準データ記憶部10
に記憶されている基準データD0と比較する。処理した
データDaが基準データD0と一致すれば、データ比較
部9から良否表示部11に良品(合格品)の信号が送ら
れて、良否表示部11に良品(合格品)の表示がされる
と同時に、画像表示部12にその合成画像が表示され
る。もし、処理したデータDaが基準データD0と不一
致であれば、データ比較部9から良否表示部11に不良
品(不合格品)の信号が送られて、良否表示部11に不
良品(不合格品)の表示がされると同時に、その合成画
像が画像表示部12に表示される。
【0033】なお、不良品(不合格品)の場合は、デー
タ処理部8の処理データDaから直接または画像表示部
12の表示画像から、基準データD0または基準画像と
不一致の不良(不合格)の箇所やその形状等を割り出す
ことができる。
【0034】上記の検査方法および検査装置によれば、
最初の基準用印鑑のセッティングと、サーボモータ2
2,25のスタート動作および検査用印鑑Wのセッティ
ングと、サーボモータ22,25のスタート動作以外
は、すべて光学的かつ自動的に行われ、しかも、第1の
サーボモータ22および第2のサーボモータ25は、1
個の印鑑Wの検査中連続動作するので、従来のXY軸2
軸モータを頻繁に駆動/停止を繰り返す検査方法および
検査装置に比較して、検査所要時間は極めて短時間で済
むのみならず、頻繁な駆動/停止を繰り返さないので、
印鑑Wの回転駆動用の第1サーボモータ22および反射
型レーザセンサ駆動用の第2サーボモータ25を長寿命
化できる。
【0035】図4は、図1における良否表示部11およ
び画像表示部12の実施形態を示すパネル部30の正面
図である。このパネル部30は、良否表示部31(1
1)および画像表示部32(12)の他に、処理データ
Daの表示部33を有する。この処理データDaの表示
部33は、処理データDaに基づいて合成されて前記画
像表示部32に表示された印鑑Wの合成画像W’(輪郭
のみ示し凹凸形状は図示省略)の中心点O’を通る任意
の断面表示線分Cに対応する各位置を横軸に、その凹凸
の高さを縦軸に表示している。このパネル部30には、
その他必要に応じて、検査日時,断面表示,縦横断面,
AD値,表示変更,コマンド,自動等のボタンや表示部
が設けられる。
【0036】上記実施形態の表面凹凸検査方法および検
査装置の説明では特定の実施形態について説明したが、
本発明の精神を逸脱しない範囲で各種の変形が可能であ
る。
【0037】例えば、印鑑Wの印面の形状は、円形のも
のに限らず、楕円形状や、正方形や、矩形状等であって
もよい。また、通常の印鑑のように、棒状のものに限ら
ず、ゴム印のように薄型のものであってもよい。
【0038】また、本発明は、印鑑の検査に好適するも
のではあるが、印鑑以外に、表面に凹凸を有する各種の
ワークの表面凹凸検査に適用できるものである。
【0039】さらに、上記実施形態では、ワークを下方
にセッティングし、反射型レーザセンサを上方に対向配
置する場合について説明したが、両者を横方向に対向配
置してもよい。
【0040】また、上記実施形態では、ワークの中心点
Oからワークの外方に向かってレーザ照射点を移動させ
る場合について説明したが、このようにすれば、ワーク
の形状がどのようなものであれ、レーザ照射点をワーク
の全面に亘って走査しやすいという利点があるが、もし
必要であれば、ワークの外方から中心点Oに向かって移
動させるようにしてもよい。
【0041】また、ワークの回転速度やレーザ照射点の
移動速度は、一定にする場合のみならず、レーザ照射点
の位置に応じて変化させることによって、ワーク上での
レーザ照射点の移動速度を一定にするようにしてもよ
い。
【0042】また、上記実施形態では、反射型レーザセ
ンサとワークとの間隔寸法を一定にした場合について説
明したが、ワークの大きさ、ワークの材質、ワーク表面
の凹凸の程度等に応じて、間隔寸法を可変にしてもよ
い。
【0043】
【発明の効果】本発明の表面凹凸検査方法は、表面に凹
凸を有するワークを回転させながら、その表面の回転半
径方向にレーザ照射点を移動させることによって、レー
ザ照射点をワークの表面で渦巻状に走査させ、その反射
レーザを読み取ってワーク表面の凹凸を検査することを
特徴とするものであるから、ワークの表面にレーザを渦
巻状に連続照射してワーク表面の凹凸を光学的かつ自動
的に検査するようにしたので、従来のX軸モータおよび
Y軸モータを頻繁に駆動/停止を繰り返して検査する方
法に比較して、ワークの回転およびレーザの照射に停止
時間がなく連続動作が行えるため、極めて短時間で検査
を行うことができる。
【0044】本発明の表面凹凸検査装置は、ワークを支
持して回転させるワーク支持回転機構部と、ワークに対
向して配置されたレーザ照射部およびワーク表面で反射
されたレ−ザを受光するレーザ受光部を有する反射型レ
ーザセンサと、前記反射型レーザセンサをワークの回転
半径方向に移動させる駆動機構部とを有することを特徴
とするものであるから、ワーク支持回転機構部によって
ワークを支持および回転させるとともに、駆動機構部に
よってレーザ照射部およびレーザ受光部をワークの回転
半径方向に移動させることによって、レーザ照射点をワ
ークの全面に亘って渦巻状に走査させることができ、ワ
ークの表面の凹凸状態を光学的かつ自動的に検査するこ
とができ、ワークの支持回転機構部および反射型レーザ
センサをワークの回転半径方向に移動させる駆動機構部
を連続動作させるので、従来のX軸モータおよびY軸モ
ータを頻繁に駆動/停止を繰り返して検査する装置に比
較して、ワークの回転および反射型レーザセンサの移動
に停止時間がなく連続動作が行えるため、極めて短時間
で検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の表面凹凸検査方法について
説明する概略ブロック構成図である。
【図2】本発明の実施形態の表面凹凸検査装置の概略構
成正断面図である。
【図3】(A)は本発明の表面凹凸検査方法について説
明するワークの平面図、(B)は本発明の表面凹凸検査
方法について説明するワーク上でのレーザ照射点の走査
軌跡を示すワークの平面図である。
【図4】本発明の実施形態の良否表示部および画像表示
部を有するパネル部の正面図である。
【符号の説明】
1 レーザ発生部 2 反射型レーザセンサ 3 レーザ照射部 4 レーザ受光部 5,7 光ファイバ 6a 照射レーザ 6b 反射レーザ 8 データ処理部 9 データ比較部 10 基準データ記憶部 11 良否(合否)表示部 12 画像表示部 20 基盤 21 ワーク回転支持部(チャック) 22 サーボモータ 23 枠体 24 ガイドシャフト 25 駆動機構部(サーボモータ) 26 駆動軸 27 スライドユニット 28 ネジ 30 パネル部 31 良否(合否)表示部 32 画像表示部 33 表示部 W ワーク(印鑑) W’ワークの合成画像 A ワークの回転方向 B レーザ照射点の移動方向 O ワークWの中心点 S レーザ照射点の移動軌跡 C ワークの合成画像上の断面表示線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA45 AA49 AA54 BB03 BB16 CC00 DD06 FF41 GG04 HH04 HH12 JJ11 KK01 LL64 MM04 MM14 MM24 PP02 PP13 QQ31 RR03 SS04 SS11 2G051 AA90 AB02 AC21 BA10 BB17 BC07 CB01 CC17 DA08 EA11 EA12 FA01

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面に凹凸を有するワークを回転させな
    がら、その表面の回転半径方向にレーザ照射点を移動さ
    せることによって、レーザ照射点をワークの表面で渦巻
    状に走査させ、その反射レーザを読み取ってワーク表面
    の凹凸を検査することを特徴とする表面凹凸検査方法。
  2. 【請求項2】 前記の読み取った反射レーザのデータ処
    理を行い、その処理データに基づいてワーク表面の凹凸
    を検査することを特徴とする請求項1に記載の表面凹凸
    検査方法。
  3. 【請求項3】 前記処理データに基づいてワークの表面
    の凹凸を検査するとともに合成画像を作成して画像表示
    することを特徴とする請求項2に記載の表面凹凸検査方
    法。
  4. 【請求項4】 前記処理データを、基準データと比較し
    てワークの良否を検査することを特徴とする請求項2ま
    たは3に記載の表面凹凸検査方法。
  5. 【請求項5】 ワークを支持して回転させるワーク支持
    回転機構部と、ワークに対向して配置されたレーザ照射
    部およびワーク表面で反射されたレ−ザを受光するレー
    ザ受光部を有する反射型レーザセンサと、前記反射型レ
    ーザセンサをワークの回転半径方向に移動させる駆動機
    構部とを有することを特徴とする表面凹凸検査装置。
  6. 【請求項6】 前記データ処理部で処理されたデータに
    基づいてワークの凹凸状態の良否を表示する良否表示部
    を有することを特徴とする請求項5に記載の表面凹凸検
    査装置。
  7. 【請求項7】 基準データを記憶する基準データ記憶部
    と、前記データ処理部で処理されたデータを基準データ
    記憶部に記憶された基準データと比較するデータ比較部
    とを有することを特徴とする請求項5または6に記載の
    表面凹凸検査装置。
  8. 【請求項8】 前記データ処理部で処理されたデータに
    基づいて作成した合成画像を表示する画像表示部を有す
    ることを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載
    の表面凹凸検査装置。
JP2001090851A 2001-03-27 2001-03-27 表面凹凸検査方法および検査装置 Pending JP2002286431A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001090851A JP2002286431A (ja) 2001-03-27 2001-03-27 表面凹凸検査方法および検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001090851A JP2002286431A (ja) 2001-03-27 2001-03-27 表面凹凸検査方法および検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002286431A true JP2002286431A (ja) 2002-10-03

Family

ID=18945580

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001090851A Pending JP2002286431A (ja) 2001-03-27 2001-03-27 表面凹凸検査方法および検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002286431A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020085643A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 日立オートモティブシステムズ株式会社 表面測定装置、表面測定方法及び円形の被測定面を有する物体の表面測定方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6069539A (ja) * 1983-09-26 1985-04-20 Toshiba Corp 表面欠陥検査装置
JPH0283404A (ja) * 1988-09-21 1990-03-23 Anritsu Corp 平坦度測定方法
JPH06265477A (ja) * 1993-03-12 1994-09-22 Sony Corp 物品表面の検査方法
JPH1089936A (ja) * 1996-05-29 1998-04-10 Dainippon Ink & Chem Inc ディスクの反り形状表示方法
JPH10160436A (ja) * 1996-11-28 1998-06-19 Fuji Facom Corp ディスク検査装置
JPH1186286A (ja) * 1997-09-05 1999-03-30 Sanyo Electric Co Ltd 光ディスク検査装置
JP2000266524A (ja) * 1999-03-17 2000-09-29 Canon Inc 3次元形状測定機およびその測定方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6069539A (ja) * 1983-09-26 1985-04-20 Toshiba Corp 表面欠陥検査装置
JPH0283404A (ja) * 1988-09-21 1990-03-23 Anritsu Corp 平坦度測定方法
JPH06265477A (ja) * 1993-03-12 1994-09-22 Sony Corp 物品表面の検査方法
JPH1089936A (ja) * 1996-05-29 1998-04-10 Dainippon Ink & Chem Inc ディスクの反り形状表示方法
JPH10160436A (ja) * 1996-11-28 1998-06-19 Fuji Facom Corp ディスク検査装置
JPH1186286A (ja) * 1997-09-05 1999-03-30 Sanyo Electric Co Ltd 光ディスク検査装置
JP2000266524A (ja) * 1999-03-17 2000-09-29 Canon Inc 3次元形状測定機およびその測定方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020085643A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 日立オートモティブシステムズ株式会社 表面測定装置、表面測定方法及び円形の被測定面を有する物体の表面測定方法
JP7245033B2 (ja) 2018-11-26 2023-03-23 日立Astemo株式会社 表面測定装置、表面測定方法及び円形の被測定面を有する物体の表面測定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7728255B2 (en) Spinning-type pattern-fabrication system and a method thereof
EP0571769A2 (en) Contour measuring apparatus
CN101811229B (zh) 激光加工方法、激光加工装置以及太阳能电池板制造方法
KR100797944B1 (ko) 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를기록한 기록매체
JP2002286431A (ja) 表面凹凸検査方法および検査装置
WO1990011178A1 (en) Method of forming three-dimensional shape
JP2010188395A (ja) レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
CN111024713A (zh) 一种用于表面缺陷检测的可旋转光源
JP2501194B2 (ja) 線位置検出装置
JP2001058213A (ja) ダイ、パンチ、折り曲げ角度検出方法および折り曲げ加工機
JPH10187939A (ja) 光学的検出装置及び光学的検出処理における照明方法
JP2000122019A (ja) 液晶表示パネルの検査方法および検査装置
CN110487192A (zh) 一种试样厚度测量装置、测量方法及试样厚度计算方法
JPH02279264A (ja) 異形型板を製造するための装置
JPH0384441A (ja) レチクルの検査方法
JPH05332918A (ja) クロマトスキャナ
JP2519442B2 (ja) 工作線追従方法
JPH08240414A (ja) 直径測定装置
JP2000074631A (ja) 面取り幅測定装置
JPS63101737A (ja) パタン検査装置
CN214641051U (zh) 一种五工位旋转激光打标追溯设备
JPH01277743A (ja) カムシヤフトの表面検査装置
JPH11245061A (ja) レーザ加工装置のレーザビーム制御方法
CN102145471A (zh) 硬质脆性板的倒角装置
JPS62176741A (ja) 罫書線追従方式

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080125

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20090825

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20090825

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20091112

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100615

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100617

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101013