KR20020053762A - 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, AVHDD 등에 이용되는 자기기록매체용 마스터 디스크의 초기정보를 기록하는 강자성 박막층의 형상패턴의 결함을, 엄격하고 또한 능률적으로 검사할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 마스터 디스크(10)에 대한 정보기록부를 구성하는 기록대(14)의 형성과 동시에, 정보기록부와 동심의 원주형상으로 복수개소에 위치맞춤용 지표(16)를 형성하고, 마스터 디스크(10)의 상기 기록대(14) 및 지표(16)의 화상을 취득하여, 지표(16)의 화상을 기준으로 하여 정보기록부의 화상과 양품정보를 위치맞춤한 후, 상기 기록대(14)의 화상과 양품정보를 비교하여 정보기록부의 형상패턴을 검사한다.

Description

자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법{INSPECTION METHOD OF MASTER DISK FOR MAGNETIC RECORDING MEDIUM}

본 발명은, 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법에 관한 것으로, 구체적으로는, 일반적으로 "AVHDD"로 불리는 디지털 텔레비전용 하드디스크 등의 고밀도기록용 자기기록매체에 초기정보를 전사기록하는 마스터 디스크에 대하여, 상기초기정보가 기록된 정보기록부의 결함을 검사하는 방법을 대상으로 하고 있다.

또한, 상기 마스터 디스크의 제조에 이용하는 마스터 패턴을 검사하는 방법도 대상으로 하고 있다.

AVHDD는, 자기기록 디스크를 이용하는 점에서는 통상의 PC용 HDD(하드 디스크장치)와 공통하고 있지만, AV기기(오디오/비디오기기)와 조합시켜 사용하여, 음악이나 영상 등의 대량의 연속데이터를 신속히 판독 및 기입하거나, 다채널정보를 기록하거나 하는 기능을 갖도록 하기 위해서, 기록밀도를 대폭 향상시키거나, 기록방식에도 고안이 되고 있다.

AVHDD의 자기기록 디스크에는, 사용전부터 초기정보가 기록되어 있다. 초기정보에는, 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 재생클럭 신호 등이 포함된다. 이러한 초기정보가 기록된 자기기록 디스크를 이용하여, 음악이나 영상 등의 정보의 판독 및 기입를 행한다. 이 초기정보가 정확하게 기록되어 있지 않으면, 음악이나 영상 등의 정보기록의 정밀도를 높일 수 없다는 것은 말할 필요도 없다.

자기기록 디스크에 초기정보를 기록하는 방법으로서는, 마스터 디스크에 미리 자화패턴으로서 기록된 초기정보를, 마스터 디스크과 자기기록 디스크를 되풀이하여 마스터 디스크의 자화패턴을 자기기록 디스크에 전사함으로써, 자기기록 디스크에 초기정보를 기록한다.

마스터 디스크는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 실리콘 등으로 이루어지는 기판(21)의 표면에, 코발트 등으로 이루어지는 강자성(强磁性) 박막층이 배치되어 있고, 강자성 박막층의 형상패턴(22)이 초기정보를 나타낸다.

물론, 마스터 디스크의 초기정보가 정확하게 기록되어 있지 않으면, 이 마스터 디스크로부터 제조되는 모든 자기기록 디스크의 초기정보도 틀린 것으로 되어, 전 제품이 불량품이 된다.

따라서, 마스터 디스크의 제조공정에서, 마스터 디스크의 초기정보, 즉 강자성 박막층의 형상패턴이 정확하게 형성되어 있는가 아닌가를 엄격하게 검사해야 한다.

마스터 디스크의 강자성 박막층에 발생하는 결함으로서는, 박막형성공정에서의 포토마스크의 오염, 리프트 오프시에 있어서의 박막층의 박리, 이물의 부착, 프레이크 발생, 포토레지스트 기포의 발생 등이 있다.

상기 마스터 디스크의 결함은, 마스터 디스크의 표면을 고배율의 현미경으로 관찰하면 발견할 수 있지만, 마스터 디스크의 전면(全面)에 배치된 미세한 강자성 박막패턴을 모두 눈으로 직접 검사하는 것은, 극히 능률이 좋지않고, 눈에 의한 검사로서는 결함을 놓칠 가능성도 높다.

또, 실리콘기판의 표면을 검사하는 기술로서는 일본 특허공개 소62-43505호 공보 등에 기재된 기술이 알려지고 있다. 이는 도 9에 나타내는 바와 같이, 실리콘기판(1)의 표면에 격자형상으로 형성된 반도체칩(2)을 검사대상 패턴으로서 검출하고, 이를 특정패턴과 비교하여 검사하는 것으로, XY 스테이지(3)를 구동하여 각 반도체칩을 검출하는 것이다.

그러나, 이 일본 특허공개 소62-43505호 공보 등에 기재된 기술에서는, 격자상이 아니고, 내주에서 외주로 향해서 방사형상으로 연장되는 상기 형상패턴(22)을 능률적이며 고정밀도로 검사하는 것은 곤란하다.

본 발명의 과제는, 상기 AVHDD 등에 이용되는 자기기록매체용 마스터 디스크의 초기정보를 기록하는 강자성 박막층의 형상패턴의 결함을, 엄격하고 또한 능률적으로 검사할 수 있도록 하는데 있다.

본 발명에 이러한 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법은, 자기기록매체에 초기정보를 전사기록하는 마스터 디스크에 형성된 강자성 박막층으로 이루어지는 정보기록부의 형상패턴을 검사하는 방법으로서, 상기 마스터 디스크에 대한 정보기록부의 형성과 동시에, 정보기록부와 동심의 원주형상으로 복수개소에 위치맞춤용 지표를 형성해 두는 공정(a); 상기 정보기록부의 양품의 형상패턴을 나타내는 양품정보를 준비해 두는 공정(b); 상기 마스터 디스크의 정보기록부 및 지표의 화상을 취득하는 공정(C); 및 상기 지표의 화상을 기준으로 하여 정보기록부의 화상과 양품정보를 위치맞춤한 후, 정보기록부의 화상과 양품정보를 비교하여 정보기록부의 형상패턴을 검사하는 공정(d)을 포함한다.

(마스터 디스크)

자기기록매체에 전사기록하는 초기정보가, 강자성 박막층으로 이루어지는 정보기록부로서 형성되어 있으면, 디스크의 재료나 강자성 박막층의 재료 및 형성방법 또한 정보기록부에 기록하는 초기정보의 내용 등은 특별히 한정되지 않는다.

마스터 디스크의 본체를 구성하는 기판의 재료는, 실리콘 등의 반도체재료,세라믹, 유리, 합성수지 등을 사용할 수 있다. 기판의 형상은, 중심에 관통구멍을 보유하는 컴팩트디스크 등과 같은 원반형상, 또는 중심에 관통구멍을 보유하고 있지 않은 원반형상이 이용된다.

강자성 박막층은, 강자성을 나타내는 코발트 등의 금속 또는 합금재료를, 스패터링 등의 박막형성기술, 사진제판기술 등을 이용하여, 기판의 표면에 패턴상으로 형성할 수 있다. 강자성 박막층은, 디스크의 표면에 돌출한 상태로 형성되어 있어도 좋고, 디스크의 표면과 동일면이 되도록 설치하여도 좋다.

(초기정보)

정보기록부에 기록하는 초기정보는, 자기기록 디스크를 사용할 때에 미리 기록해 두는 것이 필요한 정보이면, 임의의 정보를 포함할 수 있다.

구체적으로는, 트래킹용 서보신호, 어드레스 정보신호, 재생클럭신호 등이 포함된다.

자기기록 디스크의 사용시에, 기입·소거를 행하는 음악 등의 정보는, 초기정보에는 포함되지 않는다.

(정보기록부)

정보기록부가 강자성 박막층의 형상 및 배치패턴에 의해서 소망의 초기정보를 나타내고 있으면, 구체적인 강자성 박막층의 형상 및 배치패턴을 자유롭게 설정할 수 있다. 예컨대, 세선형상의 강자성 박막층을 다수개 병렬로 배치하여, 선의 굵기나 간격에 의해서 정보를 나타낼 수 있다. 이러한 강자성 박막층의 세선패턴의 집합으로 이루어지고, 디스크의 반경방향으로 연장한 띠형상의 영역, 즉 기록대(記錄帶)를 디스크의 원주방향으로 다수 병렬로 배치할 수가 있다. 기록대는, 디스크의 반경방향으로 직선형상으로 연장되어 있어도 좋고, 판독에 알맞은 완만한 원호형상으로 연기되어 있어도 좋다.

정보기록부를 다수개의 기록대의 집합으로 구성하는 경우, 각각의 기록대에는 서로 다른 정보가 기록되어 있다. 또한, 초기정보는 어느하나의 기록대로부터 시작되어서 디스크의 원주방향으로 순차적으로 이웃한 기록대에 기록되어진다. 초기정보의 기록이 시작되는 위치를 정보기록부의 원점위치라고 부를 수 있다.

정보기록부는, 디스크의 내주로부터 외주까지의 거의 전면에 형성해 둘 수 있지만, 통상적으로 디스크의 내주와 외주의 일정범위에는 정보기록부가 없는 영역이 설치된다.

(위치맞춤용 지표)

정보기록부의 위치나 자세를 나타내는 목표로 된다. 정보기록부의 중심을 나타낼 수 있다. 정보기록부의 원주방향에 있어서, 초기정보의 기록의 개시위치, 즉 원점위치를 나타낼 수도 있다.

지표는, 정보기록부, 즉 강자성 박막층의 형성과 동시에 형성된다. 동시에, 동일한 마스터 패턴을 사용하여 박막형성이나 에칭 등의 가공공정을 행하거나, 레이저가공을 연속한 동일공정에서 행하거나 하는 것을 의미한다. 동시형성을 행함으로써, 지표와 정보기록부 사이에 가공오차나 형상정밀도의 차이를 없게하여, 지표가 정보기록부의 위치나 자세를 정확하게 나타내도록 할 수 있다.

지표는 위치맞춤의 목적에 의하여, 형상 및 배치위치, 배치갯수를 변경할 수가 있다. 지표는 임의의 도형, 기호, 문자 등으로 구성할 수 있다.

지표를 정보기록부와 동심의 원주상에 복수개소에 형성해 두면, 복수의 지표의 중심위치가 정보기록부의 중심위치를 나타내게 된다.

지표를 상기 정보기록부의 원점위치를 나타내는 위치에 설치하여 놓을 수 있다. 상기 원주상의 복수개소의 지표 중 어느하나의 지표로 원점위치를 나타내는 것도 할 수 있다.

지표는 마스터 디스크의 표면 중 정보기록부가 존재하지 않는 장소이면 임의의 장소에 배치할 수 있다. 정보기록부의 외측 또는 안쪽에 배치할 수 있다.

(마스터 디스크의 검사)

마스터 디스크에 형성된 강자성 박막층으로 이루어지는 정보기록부의 형상패턴을 검사한다.

검사의 기준으로 되는 정보로서, 정보기록부가 옳바른 형상패턴을 나타내는 양품정보를 이용하고, 이 양품정보와 마스터 디스크의 제품을 촬상한 제품화상을 비교해서, 제품에 형성된 정보기록부의 형상패턴에 결함이 있는지 없는지, 마스터 디스크가 양품이지 불량품인지를 검사한다.

(양품정보)

정보기록부의 양품의 형상패턴을 나타낸다.

양품정보로서, 이미 제조된 마스터 디스크 중 양품으로 인정을 받은 마스터 디스크의 정보기록부를 촬상한 화상, 즉 양품화상 또는 양품화상의 전자화 데이터를 이용할 수 있다.

마스터 디스크의 양품은, 본 발명 이외의 검사방법으로 검사를 행하여 선출할 수 있다. 구체적으로, 마스터 디스크의 표면을 광학현미경으로 확대표시하여, 눈으로 검사를 하여 양품을 선출할 수 있다. 마스터 디스크로부터 초기정보가 전사기록된 자기기록 디스크에 대하여 정보의 판독 및 기입 등의 동작시험을 행하고, 정상으로 동작하는 것을 확인할 수 있으면, 그 자기기록 디스크의 초기정보작성에 이용한 마스터 디스크는 양품이다고 판정할 수가 있다. 게다가, 본 발명의 검사방법으로 양품으로 인정을 받은 마스터 디스크의 제품화상을, 이후의 검사에 있어서의 양품정보로 이용할 수도 있다.

(설계데이터)

마스터 디스크에 정보기록부를 형성할 때의 설계데이터로부터 양품정보를 생성할 수가 있다.

설계데이터는, 설계도면이거나, 문서이거나, CAD 데이터일 수 있다. 설계도면의 화상을 그대로 양품정보로 할 수 있다. 문서로 규정된 강자성 박막층의 형상이나 배치패턴을 정하는 수식이나 조건식을 프로그래밍한 컴퓨터 프로그램을 양품정보에 이용할 수 있다. CAD 데이터는 전자화된 설계도면이며, 컴퓨터 등으로 처리를 행하는데 적합하다.

(화상취득)

마스터 디스크의 정보기록부 및 지표의 화상을 취득하기 위해서는, 통상의 화상취득수단이 적용될 수 있지만, 정보기록부를 구성하는 강자성 박막층의 선폭에 대응하는 해상도 또는 분해능을 보유하는 화상취득장치를 이용할 필요가 있다.

구체적으로는, 광학현미경등의 광학수단과, 전자카메라, CCD 소자 등의 광전변환수단을 조합시켜, 전자적인 화상신호로서 화상정보를 취득한다.

검사에 이용하는 화상정보로서는, 강자성 박막층의 삼차원적인 입체형상이나 색조 등의 정보를 포함하고 있어도 좋지만, 강자성 박막층 및 결함의 존재와 그 형상을 판별하는데 필요한 정도의 정보가 하나이상 포함되어 있으면 좋다. 예컨대, 화상내의 각 점에서의 강자성 박막층의 존재 또는 비존재를 구별하는 이진값 정보만으로도 충분하다.

화상취득수단의 촬상렌즈에서 한번에 취득할 수 있는 화상영역에는 제한이 있는 것으로, 마스터 디스크의 정보기록부 전체의 화상을 취득하기 위해서는, 촬상렌즈와 마스터 디스크를 상대적으로 이동시켜, 정보기록부 전체를 촬상렌즈로 주사하여 화상을 취득할 수 있다.

그 때문에, 마스터 디스크를 선회가능한 검사스테이지에 유지해 두거나, 촬상렌즈를 마스터 디스크의 반경방향으로 이동가능하게 설치하여 놓을 수 있다. 검사스테이지나 촬상렌즈의 작동을 컴퓨터 등으로 검지 및 제어하여, 취득된 부분화상에 위치정보를 덧붙이거나, 정보기록부 전체의 화상을 구성 할 수 있다.

취득된 화상은, 화상처리장치 등을 경유하여, 검사작업에 알맞은 전자데이터로 변환되고, 실제 검사작업을 실행하는 컴퓨터 등에 보내진다.

(비교검사)

양품정보와 마스터 디스크의 제품화상을 컴퓨터 등으로 전자적으로 비교하여, 마스터 디스크의 정보기록부가 양품정보에 대하여 상위하고 있는지 아닌지를검사한다.

이 때, 지표를 기준으로 하여 제품화상의 중심위치 또는 정보기록부에 기록된 초기정보의 원점위치를 구하여 둔다.

제품화상을 양품정보와의 중심위치 또는 원점위치를 위치맞춤한 뒤에, 각각의 대응하는 위치 또는 영역에서 데이터를 비교하고, 이를 반복하여 정보기록부 전체를 비교검사 한다.

상위(相違)개소가 있으면, 마스터 디스크의 정보기록부에 불량개소가 존재하는 것으로 되어, 마스터 디스크는 불량품이라고 판정된다.

양품정보와 제품화상의 상위를 판단하는 감도를 조정 하는 것으로, 실용적인 범위에서의 양부판단이 가능하게 된다. 마스터 디스크의 사용상에서 지장이 생기지 않는 정도의 상위는 무시하도록 할 수있다.

(설계데이터의 보정)

설계데이터를 기준으로 하여 얻어지는 양품정보와, 설계데이터를 기준으로 하여 제조되는 마스터 디스크의 정보기록부의 형상패턴은, 완전하게 일치하지 않는 경우가 있다.

예컨대, 정보기록부의 제작에는, 사용하는 재료, 적용하는 가공방법 등의 제약, 제조시의 오차나 형상의 차이 등이 있기 때문에, 설계데이터와 완전하게 일치하는 형상으로 되지 않은 경우가 많다. 단지, 이러한 제조상의 오차나 차이는, 설계시에 미리 예상되고, 마스터 디스크의 사용성능에는 영향이 생기지 않는 범위의 것이다.

그러나, 설계데이터를 기준으로 하여 얻어진 양품정보와, 실제로 제조된 마스터 디스크의 정보기록부를 엄밀히 비교하면, 작은 형상의 차이도 검지되어 버린다. 그 결과, 양품임에도 불구하고, 불량품이라고 판정되는 마스터 디스크가 발생하게 된다.

이러한, 설계데이터와 제품의 형상의 차이에 의한 판단의 오류를 해소하기 위해서, 설계데이터를 기초로 양품정보를 얻을 때에, 설계데이터에 보정을 가하는 것이 효과적이다. 이러한 보정은, 전자화된 화상정보에 가할 수 있다.

설계데이터와 제품과의 형상의 차이는, 각각의 강자성 박막층의 외형과 주위 기판의 경계부분에 생긴다. 따라서, 설계데이터의 보정은 강자성 박막층의 외형의 주가장자리 부분에 가하는 것이 효과적이다.

(불감대)

설계데이터의 보정으로서, 정보기록부의 형상패턴, 즉 강자성 박막층의 외주가장자리에 불감대를 추가하는 보정을 할 수 있다. 설계데이터와 제품 형상의 차이가 이 불감대에 포함되도록, 불감대의 폭 또는 형성위치를 설정한다.

검사처리 때에, 불감대에서는 양품정보와 제품화상의 비교를 행하지 않으면, 설정데이터와 제품형상의 차이에 따르는 검사결과의 오류는 발생하지 않는다. 불감대 이외의 영역에서는, 평상시와 같이 엄밀한 비교를 행하면 미소한 결함까지도 확실하게 검출할 수 있다.

(분할검사)

양품정보와 제품화상의 비교는, 마스터 디스크의 정보기록부 전체에 대하여양품정보 및 제품화상의 데이터를 작성하고 난 후 양자를 비교할 수가 있지만, 정보기록부 전체의 데이터량이 막대한 경우도 있다.

따라서, 처리데이터량을 삭감하기 위해서 이하의 방법이 유효하다.

지표의 화상을 기준으로 하여 정보기록부의 화상, 즉 제품화상과 양품정보를 위치맞춤하여 두는 것은, 통상의 방법과 동일하다.

제품화상은, 정보기록부의 화상을 분할하여 분할화상을 취득한다. 분할화상의 데이터량이 적으면, 그 후의 취급 처리가 신속히 행해질 수 있지만, 반복처리의 회수는 증가한다. 이들의 조건을 감안하여, 한번에 처리를 하는 분할화상의 데이터량 또는 화상의 면적을 결정한다.

양품정보는, 분할화상을 취득할 때 마다 대응부분의 양품정보를 생성한다.

양품정보가 양품제품의 화상인 경우는, 컴퓨터의 외부기억장치 등에 보존되어 있는 양품화상으로부터, 분할화상에 대응하는 부분의 양품화상만을, 컴퓨터의 비교연산처리부에 보낸다. 비교연산을 위해서 데이터변환을 행할 필요가 있는 경우에는, 분할화상에 대응하는 부분의 양품화상만에 변환처리를 가한다.

양품정보를, CAD 등의 설계데이터로부터 생성하는 경우는, 컴퓨터의 외부기억장치 등에 보존되어 있는 설계데이터로부터 분할화상이 대응하는 부분의 설계데이터만을 컴퓨터의 비교연산처리부로 보내어 제품화상과 비교가능한 형태의 데이터로 변환한다. 설계데이터에 보정을 행하는 경우에는, 이 단계에서 보정을 행한다.

이렇게 하여 얻어진 부분적인 양품화상과 제품의 분할화상을 비교하여, 결함의 유무 또는 제품의 양호와 불량을 판단한다.

하나의 분할화상에 대한 검사가 종료되면, 제품화상 중 별도의 부분의 분할화상을 취득한다. 이전의 공정에서 사용된 양품정보는 폐기되고, 새로운 분할화상에 대응하는 부분적인 양품정보가 생성된다. 따라서, 컴퓨터로 취급하는 데이터는 항상 1개의 분할정보 및 그에 대응하는 양품정보의 데이터량만으로 충분하다.

상기와 같은 공정을 반복함으로써 마스터 디스크의 정보기록부의 전체에 대한 검사를 행할 수 있다.

(용도)

본 발명의 검사방법은, 자기기록매체에 초기정보를 전사기록하는 마스터 디스크이면, 각종 용도의 자기기록매체용 마스터 디스크에 적용할 수 있다.

예컨대, AVHDD용의 자기기록 디스크의 마스터 디스크에 이용할 수 있다. AVHDD는 음악이나 영상 등의 연속데이터를 대량 또한 신속하게 판독 및 기입할 필요가 있고, 통상의 컴퓨터용의 하드 디스크장치에 비교하여, 고밀도기록이 가능한 자기기록 디스크가 필요된다. 또한, 데이터의 판독 및 기입을 신속하고 또한 정확하게 행하기 위해서, 정보의 위치데이터 등을 기록해 놓아야 한다. 그 때문에, 자기기록 디스크에는, 특별한 초기정보를 기록해 두어야 하여, 마스터 디스크에 의한 전사기록이 행하여진다.

AVHDD 이외에도, 동일한 기능이나 성능이 요구되는 고밀도기록용의 자기기록 디스크에 적용할 수 있다. 자기기록 디스크로서 플렉서블 디스크를 이용하는 것에도 적용할 수 있다.

(마스터 패턴의 검사)

상기 마스터 디스크의 검사방법을 마스터 디스크 제조용 마스터 패턴의 검사에도 적용할 수 있다.

마스터 패턴은, 마스터 디스크에 강자성 박막층을 형성할 때에 이용되고, 강자성 박막층과 동일한 형상패턴을 보유하고 있다. 구체적으로는, 강자성 박막층의 형성수단 또는 공정에 의해서, 필요한 마스터 패턴은 다르지만, 예컨대, 에칭용의 마스터 패턴, 레지스트형성용의 마스터 패턴, 사진제판용의 마스터 패턴등을 들수있다.

마스터 패턴은, 강자성 박막층의 형상패턴과 완전하게 동일 형상이여도 좋고, 가공에 따르는 차이나 변형, 가공 특유의 형상 등을 고려하여, 강자성 박막층의 형상패턴과 조금 다르더라도 상관없다. 마스터 패턴의 형상설계는, 상기 강자성 박막층의 CAD 데이터 등의 설계데이터를 이용하여 행하여지는 것이 많다.

마스터 패턴을 형성하는 마스크재료는, 마스터 디스크과 동일한 기판재료가 사용되고, 실리콘 등의 무기재료, 금속재료, 세라믹재료, 합성 수지재료 등이 이용된다. 마스크재료에 마스터 패턴을 형성하는 수단으로서는, 레이저가공기술이나 사진제판기술 등의 정밀가공기술이 적용된다.

상기 마스터 디스크의 대신에, 마스터 패턴이 형성된 마스크재료를 이용하여, 마스터 패턴의 형상을 검사할 수가 있다.

마스터 패턴에는, 정보기록부로 되는 강자성 박막층에 대응하는 패턴형상의 형성과 동시에 지표를 형성해 둔다. 양품정보로서는, 과거에 제조된 양품을 이용하여도 좋고, 강자성 박막층의 설계데이터를 이용할 수도 있다. 강자성 박막층의 설계데이터에 보정을 가하여 마스터 패턴의 양품정보를 작성할 수도 있다.

마스터 디스크제조용마스터 패턴에 대해 형상검사를 행하여 두면, 마스터 패턴의 형상불량에 따라 발생하는 마스터 디스크의 불량을 막는 수 있고, 마스터 디스크의 검사에 이러한 부담이 적어진다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태를 나타내는 마스터 디스크의 평면도;

도 2는 동실시의 형태의 정보기록부의 확대도;

도 3은 동실시의 형태의 마스터 디스크의 단면도;

도 4는 동실시의 형태의 검사장치의 구성도;

도 5는 동실시의 형태의 정보기록부의 제조형상을 나타내는 확대평면도와 단면도;

도 6은 동실시의 형태의 CAD 데이터의 보정상태를 설명하는 모식도;

도 7은 동실시의 형태의 양품정보의 분할생성상태를 설명하는 모식도;

도 8은 종래의 마스터 디스크의 평면도; 및

도 9는 종래의 반도체 웨이퍼와 XY 테이블의 사시도이다.

(마스터 디스크)

도 1∼도 3에 나타내는 마스터 디스크(10)는, AVHDD에 이용되는 자기기록매체용 마스터 디스크이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 마스터 디스크(10)는, 실리콘으로 이루어지고, 중심에 관통구멍을 보유하는 원반형상의 기판(12)의 표면에, 정보기록부를 구성하는 다수의 기록대(14)가 배치되어 있다. 마스터 디스크(10)의 치수는, 내경32mmφ, 외경100mmφ의 규격치수를 보유하고 있다.

기록대(14)는, 기판(12)의 중심측으로부터 외주측으로 완만한 원호를 그려 방사선형상으로 연장되어 있고, 중심측은 가늘게 외주로 향하며 굵어지게 되어 있다. 이러한 기록대(14)가 둘레방향으로 간격을 두고 다수개가 배치되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 각각의 기록대(14)를 확대해서 보면, 세선형상의 강자성 박막층(15)이 복수개 병렬로 되어 있고, 강자성 박막층(15)의 집합이 일정한 패턴으로 병렬로 되어 있다. 방향이나 길이, 갯수가 다른 복수군의 강자성 박막층(15)이 존재하고 있다. 강자성 박막층(15)의 최소폭은 약 O.3㎛ 정도이다. 이러한 강자성 박막층(15)의 배치패턴이 목적으로 하는 초기정보를 나타내고 있다.도 1에 나타내는 기록대(14)의 외형은, 상기 세선형상의 강자성 박막층(15)의 집합체로서의 윤곽을 나타내고 있다. 도 1에 나타내지는 않았지만, 각각의 기록대(14)를 구성하는 강자성 박막층(15)의 구체적 배치에는 차이가 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 강자성 박막층(15)은, Co(코발트) 등의 강자성재료로 이루어지는 박막층(15)이 기판(12)의 표면에 설치된 구조를 보유하고 있다. 강자성 박막층(15)의 형성은 적합한 박막형성기술을 이용하여 행하여진다.

(지표)

마스터 디스크(10)에는, 정보기록부로 되는 기록대(14)에 더하여, 정보기록부의 위치 결정을 하기 위한 지표(16)가 형성되어 있다. 지표(16)는 기록대(14)를 구성하는 강자성 박막층(15)의 박막형성공정에서 기록대(14)와 동시에 박막형성되어 있다.

지표(16)는, 기록대(14)보다도 외주에 동심의 원주상에 있어서 등간격으로 8개소에 배치되고, 짧은 원호형상을 하고 있다. 각각의 지표(16)는 기록대(14)와 동일한 세선형상의 강자성 박막층(15)의 집합체로 구성되어 있다. 8개소의 지표(16)를 구성하는 강자성 박막층(15)의 배치패턴을 다르게 함으로써 지표(16)의 원주방향의 위치를 나타내고 있다.

(검사장치)

도 4에 나타내는 검사장치는, 마스터 디스크(10)를 유지해 두는 검사스테이지(20)와, 마스터 디스크(10)의 화상을 취득하는 화상취득부(30), 취득된 화상을 전자적으로 처리하는 화상처리부(40), 및 화상신호를 기준으로 검사를 행하는 컴퓨터(50)를 구비하고 있다.

검사스테이지(20)는, 마스터 디스크(10)을 유지한 상태에서 주방향으로 회전구동할 수 있게 되고 있다. 마스터 디스크(10)의 선회위치를 인코더(도시하지 않음 )로 검지하고, 그 정보를 컴퓨터(50)에 보내어 화상취득부(30)에 의한 화상의 취득동작과 동기시킬 수 있다.

화상취득부(30)는, 촬상렌즈(32)를 마스터 디스크(10)의 표면에 향한 광학현미경을 구비하고, 광학현미경으로 얻어진 마스터 디스크(10)의 표면의 확대화상을, 내장하는 전자카메라 또는 광전변환기구에 의해서 전자적인 화상신호로 변환하여 화상을 취득한다.

화상취득부(30)의 촬상렌즈(32)는 마스터 디스크(10)에 대하여 상대적으로 반경방향으로 이동가능하게 되어 있고, 마스터 디스크(10)의 선회운동과 조합시킴 으로써, 마스터 디스크(10)의 임의의 위치를 확대하여 촬상할 수 있다.

화상처리부(40)는, 화상처리부(30)에서 취득된 화상정보로부터, 윤곽형상에 관한 정보만을 취출하거나, 강자성 박막층(15)과 기판(12)의 차이를 흑백 또는 이진값 정보의 차이로 표현하는 등, 컴퓨터(50)로 처리하는 데 알맞은 신호로 변환한다.

단지, 화상처리부(40)의 기능을 컴퓨터(50)에 내장해 두거나, 컴퓨터(50)의 연산처리부에서 행하거나 하는 경우에는, 화상처리부(40)로서 독립된 장치를 이용할 필요가 없다. 컴퓨터(50)의 화상처리회로를 구비한 보드를 조립해 놓은 것도 가능하다.

컴퓨터(50)는, 화상취득부(30)에서 취득된 화상신호를 취입검사를 행한다. 컴퓨터(50)는 연산처리부나 기억부, 입출력부 등 구비하고 있는 범용의 PC가 사용될 수 있다. 컴퓨터(50)에는 검사의 기준이 되는 옳바른 정보기억부의 형상패턴에 관한 정보, 즉 양품 데이터(60)가 입력되고 기억되어 있다.

양품 데이터(60)는, 과거에 제조된 마스터 디스크(10) 중, 어느하나의 검사방법에 의해서 양품인 것이 확인되어 있는 제품의 촬상데이터를 이용할 수 있다. 마스터 디스크(10)의 CAD 설계데이터를 이용할 수도 있다.

이 양품데이터(60)와 마스터 디스크(10)의 화상데이터를 비교연산 함으로써, 마스터 디스크(10)의 화상데이터와 양품데이터(60)의 차이를 판정할 수 있다. 컴퓨터(50)의 디스플레이(52)에는, 마스터 디스크(10)의 화상을 그래픽 표시하거나, 양부(良否)의 판정 등의 검사결과를 표시할 수 있다.

(검사공정)

도 4에 나타내는 바와 같이, 검사를 하는 마스터 디스크(10)를 검사스테이지(20)에 장착한다.

마스터 디스크(10)의 기록대(14)가 형성된 표면을, 화상취득부(30)에서 촬상하여, 화상처리부(40)을 경유해서 전자화된 화상데이터를 컴퓨터(50)에 보내준다.

컴퓨터(50)에서는, 상기 화상데이터로부터 기록대(14)의 검사를 행하지만, 그 전에 위치맞춤을 행한다.

즉, 마스터 디스크(10)의 표면에 배치된 복수개소의 지표(16)를, 화상취득부(30)에서 촬상하고, 그 정보를 컴퓨터(50)에 보낸다. 컴퓨터(50)에서는,각 지표(16)의 위치로부터, 그 중심에 정보기록부, 즉 복수의 기록대(14)의 중심점이 존재하는 것을 판정한다. 또한, 원주방향에 있어서 정보기록부의 기준이 되는 특정한 기록대(14)의 위치 또는 정보기록부에 기록된 초기정보의 기록개시점, 즉 데이터 원점도 판명된다.

이렇게하여, 마스터 디스크(10)의 정보기록부에 관한 위치정보를 정확하게 얻은 후, 이 위치정보를 기준으로 하여 검사를 시작하는 특정한 기록대(14)의 위치, 또는, 특정한 기록대(14)의 중심단 또는 외주단의 검사개시위치에, 화상취득부(30)의 촬상렌즈(32)를 배치한다. 이 때에는, 검사스테이지(20)상의 마스터 디스크(10)를 선회 또는 반경방향으로 이동시켜도 좋고, 촬상렌즈(32) 또는 그 지지기구를 이동시키더라도 좋다.

각 기록대(14)의 검사는, 기록대(14)를 촬상한 화상데이터와, 미리 기억되어 있는 해당하는 기록대(14)의 양품 데이터를 비교하여, 해당 기록대(14)의 형상의 양부를 판단한다. 1개의 기록대(14)를 복수의 블록으로 분할하고, 각 블록마다 촬상하여, 그 화상데이터를 해당블록의 양품데이터와 비교하는 공정을 반복함으로써 1개의 기록대(14)의 전체를 검사할 수도 있다.

이러한 작업을, 복수개의 기록대(14)의 전체에 대해서 실행하면, 마스터 디스크(10)의 정보기록부의 전체에 대한 검사가 완료된다.

그 결과, 모든 기록대(14)의 형상이 정상이라면, 이 마스터 디스크(10)는 양품이라고 판정된다. 양품이라고 판정된 마스터 디스크(10)를 이용하여 자기기록 디스크로의 초기정보의 전사기록을 행한다. 불량품이라고 판정된 마스터 디스크(10)는 폐기되거나 재생공정으로 보내여진다.

(양품데이터)

상기 검사방법에 있어서, 양품데이터에는 양품이라고 판정된 마스터 디스크(10)의 실물을 실제로 촬상한 화상의 데이터를 이용할 수 있다.

그러나, 미리 특정한 마스터 디스크(10)가 양품이라고 판정하기 위해서는, 어떠한 검사수단이 필요하게 된다.

예컨대, 현미경화상을 눈으로 직접 검사하는 방법이 생각되지만, 막대한 작업시간이 걸림과 동시에, 작업자에 의해서 판단에 오차가 생기거나, 결함을 못보고 넘어갈 우려가 있다.

마스터 디스크(10)를 사용하여 자기기록 디스크로의 초기정보의 전사기록을 행하고, 또한 자기기록 디스크로의 정보의 판독 및 기입을 행하여, 불량이 발생하지 않는 경우에, 마스터 디스크(10)가 양품이었다고 판정하는 방법도 생각된다. 그러나, 이러한 방법은, 자기기록 디스크로의 정보의 판독 및 기입을 행하지 않으면, 마스터 디스크(10)의 양부를 판정할 수 없기 때문에, 신속한 검사를 행할 수 없다. 자기기록 디스크로의 정보의 판독 및 기입을, 한번 또는 소수회 행하였을 때에는 발현할 수 없는 결함이 마스터 디스크(10)에 존재하는 경우에는, 상기 방법으로서는 발견하기 어렵다.

어떤 방법도, 어느 정도의 수의 마스터 디스크(10)를 제조하여, 그 중으로부터 양품을 선택할 필요가 있기 때문에, 양품이 선택될 때까지 시간과 손이 많이 간다.

이러한 문제를 해소하는 방법으로서, 마스터 디스크(10)를 제조할 때에, 정보기록부, 즉 각 기록대(14)의 설계에 이용한 데이터, 소위 CAD 데이터를 이용하는 방법이 있다.

(설계데이터)

마스터 디스크(10)에 각 기록대(14)를 구성하는 세선형상의 강자성 박막층(15)을 제작하기 위해서는, 미리 CAD 데이터 등의 전자데이터로서 작성된 설계데이터를 기준으로 하여, 사진제판용의 마스터 패턴이나 레지스트패턴, 레이저 주사패턴 등을 만들어낸다. 이 설계데이터에는, 각 기록대(14)의 형상에 관한 완전한 정보가 포함되어 있다.

따라서, 설계데이터 특히 취급이 용이하고 범용성이 높은 CAD 데이터를 이용하여 양품데이터를 얻는다.

컴퓨터(50)에 CAD데이터를 입력하면, 그 정보를 기준으로 하여, 각 기록대(14)의 화상데이터를 작성할 수가 있다. 화상데이터는, 강자성 박막층(15)의 윤곽을 그리는 선화나, 강자성 박막층(15)의 존재와 비존재를 2진데이터로 구별하는 수치군으로 나타낼 수 있다.

이와 같이 하여 작성된 화상데이터를, 마스터 디스크(10)의 검사에 있어서의 양품데이터로서 이용할 수 있다.

상기 설계데이터는, 이론적으로 최정인 기록대(14)의 형상을 나타내고 있다. 양품데이터의 작성시에, 작업자의 숙련도의 차이나 간과 등의 인간적 요소가 들어가는 우려는 전혀없다. 마스터 디스크(10)의 제조전에, 설계데이터에 기초하는 양품데이터를 준비할 수 있기 때문에, 제조개시 직후의 마스터 디스크(10)에 대하여도 검사를 행할 수 있다.

(촬상화상과 CAD 데이터화상의 차이)

상기 CAD 데이터로부터 얻어지는 양품데이터는, 이상적인 기록대(14) 또는 강자성 박막층(15)의 형상을 나타내고 있다. 그러나, 실제로 제조된 마스터 디스크(10)의 기록대(14) 및 강자성 박막층(15)의 형상과, CAD데이터로 보여지는 설계형상 사이에는, 피하기 어려운 차이가 발생긴다. 이런 차이의해서, 검사의 정밀도에 영향이 발생기는 경우가 있다.

상기 차이가 발생하는 원인의 하나에 대해서 설명한다.

도 3에 나타내는 마스터 디스크(10)의 단면구조를, 더욱 확대하여 상세하게 하면, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 실리콘으로 이루어지는 기판(12)에 에칭 등으로 파여진 홈(17)에, 코발트로 이루어지는 강자성 박막층(15)이 설치된 구조로 되어 있다. 홈(17)의 제작상의 제약, 또는, 홈(17)의 내부에 강자성 박막층(15)을 확실히 설치하기 위한 기술상의 제약으로부터, 홈(17)의 단면형상은, 내측면이 상방으로 향하여 경사진 테퍼면으로 있는 것이 많다. 테퍼 각도는, 약 30°정도의 것이 있다.

이러한 역사다리꼴 단면을 보유하는 홈(17)에, 단면이 직사각인 형상의 강자성 박막층(15)이 설치된다, 강자성 박막층(15)의 양측면과 홈(17)의 내측면 사이에는 얼마간의 간극이 발생한다.

홈(17)의 단면형상을 직사각형상에 가깝게 하였다고 해도, 다른 재료로 이루어지는 강자성 박막층(15)의 사이에는 극히 미세한 간극이 발생한다.

도 5의 (a)에 나타내는 평면형상은, 이러한 구조의 강자성 박막층(15)을 상방으로부터 촬상하였을 때의 상태를 나타내고 있다. 촬상수단의 해상정밀도에 의해서도 다르지만, 통상은 강자성 박막층(15)과 홈(17) 사이의 간극은 명료하게는 얻어지지 않고, 강자성 박막층(15)의 표면과, 그 양측의 기판(12)의 표면 사이에, 조금 희미해진 중간영역으로서 나타난다. 강자성 박막층(15)의 폭(W0)에 대해서, 그 양측에 폭(W1)으로 중간영역이 존재하고 있다.

이것에 대하여, 상기 CAD 데이터로부터 얻어지는 강자성 박막층(15)의 화상은, 강자성 박막층(15)의 설계대로, 양변이 명확한 직선으로 나타난 폭(W0)의 띠가 된다.

CAD데이터로 나타나는 화상을 양품데이터로 하여, 도 5의 (a)의 마스터 디스크(10)제품의 화상을 검사하면, 상기 폭(W1)의 중간영역이, 오물이나 이물 등의 결함으로서 인식되어 버린다. 결함이 인식되면, 해당 마스터 디스크(10) 제품은 불량품이라고 판정되어 버린다. 마스터 디스크(10)의 양품은 존재하지 않게 된다.

이러한 문제를 해소하기 위해서는, 검사의 감도 또는 화상의 해석정밀도를 낮게 하여, CAD 데이터에 의한 양품데이터와 마스터 디스크(10) 제품 화상의 차이가, 상기 중간영역의 폭(W1) 정도인 경우에는 결함으로서 인식되지 않도록 하는 것이 고려된다.

그러나, 이와 같이 검사감도 또는 정밀도를 저하시키면, 상기 폭(W1) 보다도 작거나 가는 것 같은 이물이나 결함의 존재를 검출할 수 없고, 불량품을 발견하지못할 가능성이 증가한다.

(CAD 데이터의 보정)

검사의 감도를 저하시키지 않고서, CAD데이터로부터 얻어진 양품데이터와 마스터 디스크(10) 제품과의 형상의 차이을 해소하기 위해서, 이하의 방법이 채용된다.

도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, CAD 데이터로부터 작성된 세선형상인 강자성 박막층의 화상(L)은, 외주형상이 명확한 윤곽을 보유하고 있다.

도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 상기 화상(L)에 대하여 전자적인 처리를 행하고, 화상(L)의 외주에, 일정한 폭을 보유하는 불감대(b)의 화상을 부가하는 보정을 행한다.

또한, 도 6의 (a), (b)에서는, 시각적으로 판별하기 쉽도록 표현하기 위해서, CAD데이터로부터 화상(L)이나 불감대(b)의 화상을 제작하고 있도록 설명했지만, 실제로의 검사에 사용하는 양품데이터는, 화상이거나 화상 그 자체를 보정하거나 할 필요는 없고, CAD 데이터에 수치적으로 보정연산을 하는 것만으로 충분하다.

구체적인 보정의 예를 설명하면, CAD 데이터로부터 얻어지는 양품데이터로서, 강자성 박막층(15)의 존재위치는[1], 비존재위치는[O]으로 표현한다. 강자성 박막층(15)의 1라인분의 데이터로서 [0001111000000]와 같이 표현할 수 있다. 불감대(b)를 [2]로 표현하면, 불감대(b)를 추가하는 보정을 행한 데이터는, [O021111200000]으로 표현된다.

이렇게 하여 CAD 데이터로부터 보정된 데이터를 양품데이터로서 이용한다.

검사시에는, 컴퓨터(50)에 있어서, 불감대(b)의 영역에서는, 양품데이터와 마스터 디스크(10)의 화상데이터의 비교를 행하지 않고, 그 이외의 영역만에서 비교검사를 한다. 상기 CAD 데이터로부터 얻어지는 양품데이터와 마스터 디스크(10)의 화상데이터의 차이은 불감대(b)에 발생하기 때문에, 불감대(b)에서의 비교를 행하지 않으면, 양품을 불량품이라고 판정하여 버리는 문제는 일어나지 않는다.

불감대(b) 이외의 영역에서는, 검사감도를 충분하게 높일 수 있기 때문에, 각종 결함을 못보고 넘기는 일은 없다.

(CAD 데이터의 분할변환)

1장의 마스터 디스크(10)의 표면 전체에 대해서, 기록대(14)의 각각의 강자성 박막층(15)의 형상을 표현하는 화상의 데이터량은 막대한 것으로 된다. 검사에 이용하는 양품데이터의 데이터량도 마찬가지로 막대해진다.

따라서, 컴퓨터(50)내에, 1장의 마스터 디스크(10)의 검사에 필요한 양품데이터의 모두를 유지해 두기 위해서는, 기억장치의 용량을 증가시켜야 한다.

특히, 상기 CAD데이터로부터 생성하는 양품 데이터에 보정을 가하는 경우, 보정전의 데이터와 보정후의 데이터 양쪽을 유지해 두기 위해서는, 또한 기억장치의 필요용량이 증가하지 않으면 안되고, 실용적으로는 지극히 곤란하게 된다.

따라서, 검사를 행하는 컴퓨터(50)의 기억 용량을 늘리지 않고, 신속하고 확실하게 검사를 행하는 방법을, 이하에 설명한다.

통상의 CAD 데이터는 도형의 외형선을 벡터로 표현하기 때문에, 도형 전체를 비트맵 등의 화상으로 표현하는데 비교하면, 훨씬 작은 데이터량이 된다. 따라서,CAD 데이터 그 자체는 통상의 PC같은 컴퓨터(50)에서도 여유를 가지고 기억시켜 놓을 수 있다.

마스터 디스크(10)의 검사를 행하는 때는, 촬상렌즈(32)에서 촬상할 수 있는 1화면분 또는 1화면을 더욱 복수의 구획으로 분할한 1구획분의 화상에 대응하는 부분만으로, CAD 데이터로부터 기록대(14)또는 강자성 박막층(15)의 양품데이터를 제작한다. 상기 불감대(d)의 추가보정도 필요에 따라 행한다.

구체적으로는, 도7에 모식적으로 나타내는 바와 같이, CAD 데이터로부터 얻어지는 1개의 기록대(14)를 나타내는 화상데이터(D0)를, 복수의 작은 블록(B1,B2…)로 분할 한다. 화상데이터(D0)는, 상기 도 6(a)에 있어서의 세선형상의 강자성 박막층의 화상(L)의 집합체이다.

1블록분의 데이터(B1)에, 상기 불감대(b)를 추가하는 보정처리를 행하면, 보정블록(Bx)가 얻어진다. 보정블록(Bx)의 데이터로 표현되는 강자성 박막층으로 이루어지는 기록대의 화상(Dx)는, 도시하지 않았지만, 각각의 강자성 박막층(15)의 윤곽을 나타내는 화상(L)에 불감대(b)가 포함되어 있다. 이 보정블록(Bx)이 양품 데이터이다.

이렇게 하여, 1블록분의 양품데이터가 작성되면, 양품데이터와 대응하는 제품의 화상데이터를 비교하여 검사를 행한다. 제품화상에 대해서도, 상기 동일한 1블록분의 화상을 취득하여 두면 좋다. 양품 데이터 및 제품화상 데이터 중 어느하나가 비교적 작은 데이터량이기 때문에, 신속하게 검사를 행할 수 있다.

1블록분의 검사가 종료되면, 먼저 생성한 보정블록(Bx)의 데이터는 폐기되고, 다음 데이터블록(B2)(CAD 데이터로부터 생성)을 취출하고 보정처리를 행하여, 새로운 보정블록(Bx)를 얻는다. 이 보정블록(Bx)를 양품데이터로 하여, 제품화상 데이터의 검사를 한다. 이러한 공정을 순차 반복함으로써 1개분의 기록대(14)에 대한 검사가 완료된다.

상기 방법에서는, 검사에 이용하는 양품 데이터로서는, 1블록분의 보정블록(Bx) 만을 취급하면 좋기 때문에, 컴퓨터(50)에 있어서의 데이터의 기억량 및 연산처리량이 작기때문에, 신속한 검사처리가 가능하게 된다.

(마스터 패턴의 검사)

상기 마스터 디스크는, 이하의 공정을 거쳐서 제조할 수가 있다.

[1] 마스터 디스크로 되는 실리콘 기판상에 레지스트층을 형성한다.

[2] 레지스트 층의 위에 마스터 패턴을 배치하고, 포토리스그래피법에 의해서, 마스터 패턴에 대응하는 패턴형상에 레지스트층을 제거한다.

[3]레지스트층의 위로부터 에칭을 행하고, 레지스트층의 패턴에 따라서 실리콘기판을 삽입한다. 실리콘기판에 패턴장의 오목부가 형성된다.

[4] Co를 스패터링한다. Co 층이,실리콘기판의 오목부 및 레지스트층의 표면에 형성된다.

[5] 레지스트층을 그 위의 Co 층과 동시에 리프트오프한다.

상기 공정의 결과, 실리콘기판의 오목부에 Co로 이루어지는 강자성 박막층이 설치된 마스터 디스크가 얻어진다.

상기 공정의 설명으로부터 알 수 있듯이, 마스터 패턴은, 강자성 박막층의형상패턴은 대응하는 형상을 보유하고 있다. 또한, 마스터 패턴에 불량이 있으면, 그 불량은 강자성 박막층의 형상불량으로서 나타난다.

따라서, 마스터 패턴에 대해서도, 상기 마스터 디스크의 검사와 동일한 장치 및 공정을 거쳐서 형상의 검사를 할 수 있다.

마스터 패턴에는 강자성 박막층과 동일한 지표가 형성되어 있다.

양품정보로서, 상기 강자성 박막층의 CAD 데이터가 사용할 수 있다. 단지, 상기 도 5(a)에 나타낸, 마스터 디스크(10)의 강자성 박막층(15)의 외형이 희미해진 중간영역(W1)은 마스터 패턴에는 존재하지 않는다. 따라서, 상기 중간영역(W1)의 존재에 의거하는 불감대(b)의 추가보정이 불필요하다. 단지, 마스터 패턴과 마스터 패턴에 따라서 제거되는 레지스트층의 형상 또는 실리콘 기판에 가공되는 오목부의 형상 사이에 일정한 차이나 오차가 생기는 경우에는, 이들의 차이나 오차를, CAD 데이터로부터 작성된 마스터 패턴에 추가보정하여 양품정보를 얻을 수 있다.

마스터 패턴의 촬상이나 촬상된 화상과 양품정보와의 비교 등의 공정은, 상기 마스터 디스크의 경우와 동일하게 행하여진다.

마스터 패턴이 양품이라고 인정을 되면, 이 마스터 패턴을 이용하여 마스터 디스크의 제조를 한다. 마스터 패턴에 불량이 인정을 받으면, 이 마스터 패턴은 폐기되거나, 형상수정의 처리가 행하여지게 된다.

마스터 디스크의 제조를 행하기 전에, 마스터 패턴의 형상이 적절한지 아닌지를 검사해 두면, 마스터 디스크에 불량품이 발생하는 원인을 보다 적게 할 수 있다.

본 발명에 이러한 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법은, 마스터 디스크에 위치맞춤용 지표를 형성해 두고, 이 지표를 기준으로 하여, 검사를 하는 마스터 디스크의 정보기록부의 화상과, 미리 작성된 양품정보를 정확하게 위치맞춤한 뒤에, 양자의 각 부분의 정보를 비교하여, 마스터 디스크의 정보기록부에 결함이 존재하는지 아닌지를 검사할 수가 있다.

마스터 디스크의 정보기록부에, 원주방향 또는 지름방향의 위치에 의해서 각각 다른 정보가 기록되어 있더라도, 정보기록부의 화상과 양품정보의 위치맞춤이 정확하게 행하여지고 있으면, 각각의 위치에 있어서 정보기록부의 화상과 양품정보를 정확하게 비교하여 그 이동을 엄밀히 검사할 수가 있다.

Claims (7)

1. 자기기록매체에 초기정보를 전사기록하는 마스터 디스크에 형성된 강자성 박막층으로 이루어지는 정보기록부의 형상패턴을 검사하는 방법으로서,

   상기 마스터 디스크에 대한 정보기록부의 형성과 동시에, 정보기록부와 동심의 원주상에서 복수개소에 위치맞춤용의 지표를 형성해 두는 공정(a);

   상기 정보기록부의 양품의 형상패턴을 나타내는 양품정보를 준비해 두는 공정(b);

   상기 마스터 디스크의 정보기록부 및 지표의 화상을 취득하는 공정(c); 및

   상기 지표의 화상을 기준으로 하여 정보기록부의 화상과 양품정보를 위치맞춤한 후, 정보기록부의 화상과 양품정보를 비교하여 정보기록부의 형상패턴을 검사하는 공정(d)을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 공정(b)이, 이미 제조된 마스터 디스크 중 양품으로 인정을 받은 마스터 디스크의 정보기록부를 촬상한 화상을 양품정보로 하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 공정(b)이, 정보기록부의 설계데이터로부터 양품정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법.
4. 제 3항에 있어서, 상기 공정(b)이, 정보기록부의 설계데이터에, 설계데이터와 제품형상의 차이에 따르는 보정을 행하여 양품정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법.
5. 제 4항에 있어서, 상기 공정(b)이, 상기 정보기록부의 설계데이터 중, 정보기록부의 형상패턴의 외주 가장자리에 불감대를 추가하는 보정을 행하여 양품정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법.
6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 공정(d)이, 상기 지표의 화상을 기준으로 하여 정보기록부의 화상과 양품정보를 위치맞춤한 후,

   정보기록부의 화상을 분할하여 분할화상을 취득하는 공정(d-1);

   상기 분할화상을 취득할 때마다 대응부분의 양품정보를 생성하는 공정(d-2); 및

   상기 분할화상과 대응부분의 양품정보를 비교하여 정보기록부의 분할화상의 형상패턴을 검사하는 공정(d-3)을 반복하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크의 검사방법.
7. 자기기록매체에 초기정보를 전사기록하는 마스터 디스크에 강자성 박막층으로 이루어지는 정보기록부를 형성할 때에 사용하는 마스터 패턴을 검사하는 방법으로서,

   상기 마스터 패턴에 정보기록부로 되는 형상패턴을 형성하는 것과 동시에, 정보기록부와 동심의 원주상에서 복수개소에 위치맞춤용의 지표를 형성해 두는 공정(a);

   상기 정보기록부의 양품의 형상패턴을 나타내는 양품정보를 준비해 두는 공정(b);

   상기 마스터 패턴의 정보기록부 및 지표의 화상을 취득하는 공정(C); 및

   상기 지표의 화상을 기준으로 하여 정보기록부의 화상과 양품정보를 위치맞춤한 후, 정보기록부의 화상과 양품정보를 비교해서 정보기록부의 형상패턴을 검사하는 공정(d)을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체용 마스터 디스크제조용 마스터 패턴의 검사방법.