JPH10158865A - エッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スプレイパイプのスプレイノズルの揺動角度
範囲の調整操作が容易でかつ調整精度が高く、スプレイ
ノズルから金属薄板の主面へのエッチング液の吹付け量
をスプレイノズルの揺動方向にかかわらず同じにするこ
とが簡単にできる装置を提供する。 【解決手段】 スプレイパイプ３のスプレイノズル４の
揺動機構を、駆動軸が往復回動する揺動駆動手段１０
と、揺動駆動手段の駆動軸に一端部が固着されその一端
部を中心として揺動する駆動側揺動部材１２と、一端部
がスプレイパイプに固着されその軸心を中心として揺動
する揺動部材１４と、揺動部材の他端部と駆動側揺動部
材の他端部とを連結して駆動側揺動部材の揺動運動を揺
動部材に伝達するリンク部材１６とから構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばカラー受
像管用のシャドウマスク、トリニトロン（登録商標）管
用のアパーチャグリル、半導体素子用のリードフレーム
などのエッチング製品を、フォトエッチング法を用いて
製造する場合において、主面に所定のパターンを有する
レジスト膜が形成された長尺の金属薄板に対しエッチン
グ液を供給して、金属薄板の主面の金属露出面をエッチ
ングするエッチング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラー受像管用のシャドウマスクやアパ
ーチャグリル、半導体素子用のリードフレームなどのエ
ッチング製品は、フォトエッチング法を利用して低炭素
アルミキルド鋼やインバー材などの長尺の金属薄板を加
工することにより製造される。このエッチング製品の一
連の製造工程のうち、エッチング工程では、主面に所定
のパターンを有するレジスト膜が形成された長尺の金属
薄板を、水平に支持してその長手方向へ連続的に搬送し
ながら、スプレイパイプの複数個のスプレイノズルから
金属薄板の主面へエッチング液を吹き付け、金属薄板の
主面の金属露出面をエッチングするようにする。このよ
うなエッチング処理を行うエッチング装置においては、
複数個のスプレイノズルを有するスプレイパイプを長尺
の金属薄板の長手方向に沿って配設し、そのようなスプ
レイノズルを互いに平行に金属薄板の短手方向へ複数本
並列させるようにしている。そして、各スプレイパイプ
は、その軸心線を中心として回動自在にそれぞれ支持さ
れており、スプレイパイプが往復回動することにより、
スプレイパイプに設けられた各スプレイノズルが所定の
角度範囲内でそれぞれ揺動するような構成となってい
る。このような構成により、金属薄板の主面の全面にわ
たって均一にエッチング液が供給されるようにしてい
る。

【０００３】スプレイパイプのスプレイノズルを揺動さ
せる揺動機構としては、特開平４−１２８３９１号公報
に開示されたように、回転駆動モータの軸回転運動をス
プレイノズルの揺動運動に変換させるものが従来から使
用されている。この揺動機構は、一般に、図４に概略図
を示すように、回転駆動モータ１と、この回転駆動モー
タ１の回転軸に中心部が固着され、回転駆動モータ１に
よって一方向に回転させられる円形カム板２と、スプレ
イノズル４を有するスプレイパイプ３に一端部が固着さ
れ、スプレイパイプ３の軸心を中心としてスプレイパイ
プ３の長さ方向と直交する面内で揺動する揺動部材５
と、この揺動部材５の他端部と円形カム板２の板面上の
連接部６とを連結して、円形カム板２の回転運動を揺動
部材５に伝達するリンク機構とから構成されている。図
４に示したリンク機構は、最も簡単な構成の例であり、
一端部が円形カム板２の連接部６に回動自在に枢着され
他端部が揺動部材５の他端部に回動自在に枢着された１
本のリンク部材７で構成されているが、通常、リンク機
構は、２本もしくはそれ以上のリンク部材を順次連結し
て構成される。図４に示したような構成の揺動機構によ
ると、回転駆動モータ１によって回転駆動される円形カ
ム板２の回転運動が、リンク部材７および揺動部材５を
介してスプレイパイプ３に伝達され、スプレイパイプ３
が往復回動してスプレイノズル４が図４に実線および二
点鎖線で示すように揺動する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の揺動機構のよう
に、円形カム板２の回転運動をスプレイパイプ３のスプ
レイノズル４の揺動運動に変換する機構では、製造しよ
うとするシャドウマスクの種類などに応じてスプレイノ
ズル４の揺動角度範囲を変更しようとしたとき、円形カ
ム板２の板面上に対するリンク部材７の一端部の枢着位
置を変更し、リンク部材７を長さの異なるものに交換す
る必要があり、スプレイノズル４の揺動角度範囲を所望
通りに調整するのが面倒であり、また、その揺動角度範
囲の調整精度が出にくい、といった問題点がある。この
面倒さを低減するために、リンク部材７は交換せずにリ
ンク部材７の一端部の枢着位置を円形カム板２の半径方
向の異なる位置に変更して、スプレイノズル４の揺動角
度範囲を調整する方法が考えられるが、この方法では、
以下のような問題が発生する。

【０００５】スプレイノズル４の揺動角度と揺動速度と
は、正弦波特性を有するような関係となり、スプレイノ
ズル４からのエッチング液の吹出し方向が金属薄板８の
主面に対し直交する方向となる時（スプレイノズル４が
図４に実線で示した位置になる時）に、スプレイノズル
４の揺動速度が最大となり、スプレイノズル４の振れ角
が最も大きくなった時（スプレイノズル４が図４にそれ
ぞれ二点鎖線で示した位置になった時）に、スプレイノ
ズル４の揺動速度は最小（０）となる。このように、ス
プレイノズル４から吹き出されたエッチング液が金属薄
板８の主面まで到達する距離が小さいときにスプレイノ
ズル４が速く移動し、スプレイノズル４から吹き出され
たエッチング液が金属薄板８の主面まで到達する距離が
大きいときにスプレイノズル４が緩やかな速度で移動す
るため、スプレイノズル４から金属薄板８の主面へのエ
ッチング液の吹付け量がスプレイノズル４の揺動角度位
置にかかわらずほぼ均等になる。ところが、スプレイノ
ズル４の揺動速度は、その揺動方向によって異なり、こ
の結果、スプレイノズル４から金属薄板８の主面へのエ
ッチング液の吹付け量がスプレイノズル４の揺動方向に
よって異なる、といった問題点がある。この点に関し、
図５および図６に基づいてさらに詳しく説明する。

【０００６】円形カム板２が時計回りに回転する場合に
おいて、円形カム板２上の連接部６が図５のＡ位置にあ
る時、揺動部材５はＥ位置となり、連接部６がＢ位置に
ある時に揺動部材５はＦ位置となり、連接部６がＣ位置
にある時に揺動部材５はＧ位置となり、連接部６がＤ位
置にある時に揺動部材５は再びＦ位置となって、連接部
６および揺動部材５はそれぞれ元の位置に戻る。そし
て、揺動部材５がＥ位置およびＧ位置となった時が、ス
プレイパイプ３のスプレイノズル４の振れ角が最も大き
くなる時に対応し、揺動部材５がＦ位置となった時が、
スプレイノズル４からのエッチング液の吹出し方向が金
属薄板８の主面に対し直交する方向となる時に対応す
る。また、円形カム板２上の連接部６がＡ位置にある時
の円形カム板の回転角度を０°として、連接部６がＡ位
置から回転移動したときの回転角度をａ°とし、連接部
６がＡ位置にある時の揺動部材５の揺動角度を０°とし
て、連接部６がＡ位置から回転移動することによって揺
動部材５が揺動したときの揺動角度をｂ°としたとき、
円形カム板２の回転角度ａ°と揺動部材５（従ってスプ
レイパイプ３のスプレイノズル４）の揺動角度ｂ°との
関係は、図６に示したようになる。図６に示すように、
円形カム板２上連接部６がＣ位置へ回転移動して揺動部
材５がＧ位置となる時の円形カム板２の回転角度ａは、
１８０°ではなくて、１８０°より大きい回転角度とな
る。この場合、円形カム板２は一定の角速度で回転して
いるので、円形カム板２上の連接部６がＡ位置からＢ位
置を経てＣ位置へ回転移動する時間、従って揺動部材５
がＥ位置からＧ位置へ移動する時間より、連接部６がＣ
位置からＤ位置を経てＡ位置へ回転移動する時間、従っ
て揺動部材５がＧ位置からＥ位置へ戻る時間の方が短い
ことになる。このため、揺動部材５の揺動速度は、Ｅ位
置からＧ位置へ移動する期間に比べてＧ位置からＥ位置
へ戻る期間の方が速くなり、この結果、スプレイパイプ
３のスプレイノズル４から金属薄板８の主面へのエッチ
ング液の吹付け量がスプレイノズル４の揺動方向によっ
て異なる、といった問題を生じることになるのである。

【０００７】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、スプレイパイプのスプレイノズルの
揺動角度範囲の調整操作が容易でかつ調整精度が高く、
また、スプレイノズルから金属薄板の主面へのエッチン
グ液の吹付け量をスプレイノズルの揺動方向にかかわら
ず同じにすることが簡単にでき、もって、スプレイパイ
プのスプレイノズルを正確に揺動させて、金属薄板の主
面の被エッチング面を均一にエッチングすることができ
るエッチング装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
主面に所定のパターンを有するレジスト膜が形成された
長尺の金属薄板を、水平に支持しながらその長手方向へ
搬送する搬送手段と、金属薄板の長手方向に沿って配設
され、金属薄板の主面へエッチング液を吹き付けるスプ
レイノズルを有し、そのスプレイノズルが金属薄板の長
手方向と直交する方向に沿って揺動するように回動自在
に支持されたスプレイパイプと、このスプレイノズルを
往復回動させて前記スプレイノズルを揺動させる揺動機
構とを備えたエッチング装置において、前記揺動機構を
次のように構成したことを特徴とする。すなわち、一端
部が前記スプレイパイプに固着され、スプレイパイプの
軸心を中心としてスプレイパイプの長さ方向と直交する
面内で揺動する揺動部材と、前記スプレイパイプの長さ
方向と直交するように配設され、スプレイパイプの長さ
方向と直交する面内で揺動自在に支持された駆動側揺動
部材と、この駆動側揺動部材の一端部が固着され、駆動
側揺動部材を、その一端部を中心として往復回動させて
揺動させる揺動駆動手段と、前記揺動部材の他端部と前
記駆動側揺動部材の他端部とを連結して、駆動側揺動部
材の揺動運動を揺動部材に伝達して揺動部材を揺動させ
るリンク機構とから上記揺動機構を構成したことを特徴
とする。

【０００９】請求項２に係る発明は、請求項１記載のエ
ッチング装置において、スプレイパイプのスプレイノズ
ルの揺動角度と揺動速度との関係が正弦波特性を有し、
かつ、スプレイノズルから金属薄板の主面に対し直交す
る方向に向けてエッチング液が吹き付けられる時にスプ
レイパイプの揺動速度の絶対値が最大となるように、揺
動駆動手段を制御する制御手段を設けたことを特徴とす
る。

【００１０】請求項１に係る発明のエッチング装置で
は、揺動駆動手段により駆動側揺動部材が駆動され、駆
動側揺動部材が、一端部を中心としてスプレイノズルの
長さ方向と直交する面内で往復回動して揺動させられ
る。この駆動側揺動部材の揺動運動は、リンク機構を介
して揺動部材に伝達され、揺動部材が、スプレイパイプ
の軸心を中心としてスプレイノズルの長さ方向と直交す
る面内で揺動する。揺動部材がスプレイパイプの軸心を
中心として揺動することにより、スプレイパイプが軸心
線を中心として往復回動し、スプレイパイプに設けられ
たスプレイノズルが、スプレイパイプの長さ方向と直交
する方向すなわち金属薄板の長手方向と直交する方向に
沿って揺動する。そして、搬送手段により支平に支持さ
れて長手方向へ搬送される長尺の金属薄板の主面へ向
け、金属薄板の長手方向と直交する方向に沿って揺動す
るスプレイノズルからエッチング液が吹き付けられ、金
属薄板の主面の被エッチング面がエッチングされる。

【００１１】このエッチング装置の揺動機構では、揺動
駆動手段により駆動側揺動部材を揺動させ、その揺動運
動をリンク機構により揺動部材に伝達して、揺動部材を
揺動させ、スプレイパイプを往復回動させてスプレイノ
ズルを揺動させるようにしている。このように、駆動側
揺動部材の揺動運動を、そのまま揺動運動として揺動部
材に伝達し、スプレイパイプのスプレイノズルを揺動さ
せるので、スプレイノズルの揺動角度範囲を変更しよう
とするときは、駆動側揺動部材の揺動角度範囲を変える
だけでよく、その調整操作が容易であり、また、その調
整を精度良く行うことができる。また、一方向への回転
運動を往復運動に変換したりしないで、揺動運動をその
まま揺動運動として伝達するだけであるので、スプレイ
パイプのスプレイノズルの揺動速度をその揺動方向にか
かわらず同じにして、スプレイノズルから金属薄板の主
面へのエッチング液の吹付け量をスプレイノズルの揺動
方向にかかわらず同じにすることが簡単にできる。

【００１２】請求２に係る発明のエッチング装置では、
スプレイパイプのスプレイノズルからのエッチング液の
吹出し方向が金属薄板の主面に対し直交する方向となる
時に、スプレイノズルの揺動速度が最大となり、スプレ
イノズルの振れ角が最も大きくなった時に、スプレイノ
ズルの揺動速度が最小（０）となって、その中間の期間
では、スプレイノズルの揺動速度がその揺動角度に対し
正弦波特性を有する関係となるので、スプレイノズルか
ら吹き出されたエッチング液が金属薄板の主面まで到達
する距離が小さいときにスプレイノズルが速く移動し、
スプレイノズルから吹き出されたエッチング液が金属薄
板の主面まで到達する距離が大きいときにスプレイノズ
ルが緩やかな速度で移動することになる。このため、ス
プレイノズルから金属薄板の主面へのエッチング液の吹
付け量がスプレイノズルの揺動角度位置にかかわらずほ
ぼ均等になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１ないし図３を参照しながら説明する。

【００１４】図１は、この発明の１実施形態を示し、エ
ッチング装置のスプレイパイプのスプレイノズルを揺動
させる揺動機構の概略構成を示す模式図である。この揺
動機構は、駆動軸が正・逆方向に往復回動するサーボモ
ータ１０と、このサーボモータ１０の駆動軸に一端部が
固着され、長尺の金属薄板８の長手方向に沿って配設さ
れたスプレイパイプ３の長さ方向と直交するように配設
されて、サーボモータ１０の駆動軸に固着された一端部
を中心としてスプレイパイプ３の長さ方向と直交する面
内で揺動するように支持された駆動側揺動部材１２と、
一端部がスプレイパイプ３に固着され、スプレイパイプ
３の長さ方向と直交するように配設されて、スプレイパ
イプ３の軸心を中心としてスプレイパイプ３の長さ方向
と直交する面内で揺動するように支持された揺動部材１
４と、この揺動部材１４の他端部と駆動側揺動部材１２
の他端部とを連結して、駆動側揺動部材１２の揺動運動
をそのまま揺動運動として揺動部材１４に伝達するリン
ク機構と、サーボモータ１０の駆動を制御するコントロ
ーラ１８とから構成されている。図１に示した揺動機構
では、リンク機構が、一端部が駆動側揺動部材１２の他
端部に回動自在に枢着され他端部が揺動部材１４の他端
部に回動自在に枢着された１本のリンク部材１６で構成
されている。図１に示したリンク機構は最も簡単な構成
例であるが、リンク機構は、後述するように２本もしく
はそれ以上のリンク部材を順次連結して構成される（図
３参照）。

【００１５】図１に示した構成の揺動機構によると、サ
ーボモータ１０の駆動軸が正・逆方向に往復回動するこ
とにより、駆動側揺動部材１２が、図１に実線と二点鎖
線とで示すように、サーボモータ１０の駆動軸に固着さ
れた一端部を中心として揺動させられ、その揺動運動が
リンク部材１６を介して揺動部材１４に伝達され、揺動
部材１４が、図１に実線で示した位置からその上下両側
へ、スプレイパイプ３の軸心を中心として、二点鎖線で
示すように振れ角θで揺動させられる。そして、揺動部
材１４がスプレイパイプ３の軸心を中心として振れ角θ
で揺動することにより、スプレイパイプ３がその軸心線
を中心として往復回動し、スプレイパイプ３に設けられ
たスプレイノズル４が、図１に実線と二点鎖線とで示す
ように、スプレイパイプ３の軸心を中心として振れ角θ
で揺動することになる。

【００１６】上記したように、サーボモータ１０を駆動
させてスプレイパイプ３のスプレイノズル４を揺動させ
る場合において、図１に実線で示したようにスプレイノ
ズル４からのエッチング液の吹出し方向が金属薄板８の
主面に対し直交する方向となる時（スプレイノズル４の
揺動角度が０°になる時）に、スプレイノズル４の揺動
速度が最大となり、図１に二点鎖線でそれぞれ示したよ
うにスプレイノズル４の振れ角が最も大きくなった時
（スプレイノズル４の揺動角度がθになった時）に、ス
プレイノズル４の揺動速度が最小（０）となって、その
中間の期間では、スプレイノズル４の揺動速度が、その
揺動角度に対して図２に示すような正弦波特性を有する
関係となるように、コントローラ１８によってサーボモ
ータ１０の駆動を制御するようにする。このような制御
を行うことにより、スプレイノズル４は、スプレイノズ
ル４から吹き出されたエッチング液が金属薄板８の主面
まで到達する距離に応じて、その距離が小さいときに速
く移動し、その距離が大きいときに緩やかな速度で移動
することになる。この結果、スプレイノズル４から金属
薄板８の主面へ吹き付けられるエッチング液量が、スプ
レイノズル４の揺動角度位置に関係無くほぼ均等化され
る。

【００１７】また、図１に示した構成の揺動機構におい
て、製造しようとするシャドウマスクの種類などに応じ
てスプレイパイプ３のスプレイノズル４の揺動角度範囲
を変更する必要があるときには、サーボモータ１０の駆
動軸の回動範囲の設定を変更して、駆動側揺動部材１２
の揺動角度範囲を変えるだけでよく、駆動側揺動部材１
２とリンク部材１６との連接位置を変更したりすること
などは不要である。従って、その調整操作は、容易かつ
精度良く行うことができる。

【００１８】図３は、スプレイパイプのスプレイノズル
の揺動機構のより具体的な構成例を示す図であって、長
尺の金属薄板８の搬送方向の手前側から見た図である。
複数個のスプレイノズル（図示せず）を有するスプレイ
パイプ２０は、金属薄板８の両主面にそれぞれ対向する
ように、金属薄板８の長手方向に沿って配設されてお
り、それぞれ複数本のスプレイパイプ２０が互いに平行
に金属薄板８の短手方向に並列している。スプレイパイ
プ２０には、矩形状の揺動板２２の一端部が固着されて
おり、揺動板２２は、スプレイパイプ２０の軸心を中心
として揺動自在に支持されている。この揺動板２２が、
図１に示した揺動機構の揺動部材１４に対応する。エッ
チングチャンバ２４の天板上にはサーボモータ２６が固
設されており、サーボモータ２６の駆動軸２８に駆動側
揺動板３０の一端部が固着されている。サーボモータ２
６は、その駆動軸２８が正・逆方向に往復回動し、駆動
側揺動板３０は、サーボモータ２６の駆動軸２８を中心
として揺動するようになっている。この駆動側揺動板３
０が、図１に示した揺動機構の駆動側揺動部材１２に対
応する。

【００１９】金属薄板８の短手方向に並列した複数本の
スプレイパイプ２０にそれぞれ一端部が固着された複数
の揺動板２２は、それぞれの他端部が、スプレイパイプ
２０の長さ方向と直交する方向に沿って水平に支持され
た１つの水平リンク板３２に回動自在に枢着されてお
り、水平リンク板３２の一端部は、一端部が固定支軸３
４に回動自在に軸着され揺動板２２と平行に配設されて
固定支軸３４を中心として揺動する第１揺動リンク板３
６の他端部に回動自在に枢着されている。また、固定支
軸３４には、固定支軸３４を中心として揺動するように
第２揺動リンク板３８の一端部が回動自在に軸着されて
いる。一方、サーボモータ２６の駆動軸２８に一端部が
固着された駆動側揺動板３０は、その他端部に鉛直リン
ク板４０の一端部が回動自在に枢着されており、鉛直リ
ンク板４０の他端部は、固定支軸４２に回動自在に枢着
され駆動側揺動板３０と平行に配設されて固定支軸４２
を中心として回動する回動リンク板４４の一端部に回動
自在に枢着されている。そして、回動リンク板４４の他
端部に１つの共通鉛直リンク板４６の上端部が回動自在
に枢着されており、共通鉛直リンク板４６の上部及び下
端部に、上・下一対の第２揺動リンク板３８の他端部が
それぞれ回動自在に枢着されている。

【００２０】この図３に示した揺動機構では、以上の水
平リンク板３２、固定支軸３４、第１揺動リンク板３
６、第２揺動リンク板３８、鉛直リンク板４０、固定支
軸４２、回動リンク板４４及び共通鉛直リンク板４６に
よってリンク機構が構成されている。そして、サーボモ
ータ２６が駆動されると、駆動側揺動板３０が、図３に
二点鎖線で示すように揺動させられ、その揺動運動が上
記リンク機構によって上・下のそれぞれ複数の揺動板２
２に伝達されて、複数の揺動板２２が同時に揺動し、各
揺動板２２の一端部がそれぞれ固着された複数本のスプ
レイパイプ２０が同時に往復回動して、スプレイパイプ
２０に設けられた複数個のスプレイノズルが揺動するこ
とになる。

【００２１】なお、上記したような揺動機構を採用する
ことにより、従来の揺動機構のように回転運動を揺動運
動に変換するものに比べ、長尺の金属薄板の長手方向に
沿って配設された複数列のスプレイパイプ同士間での振
り位相の同期をとることが容易になり、また、数個のエ
ッチングチャンバ間におけるスプレイパイプの振り位相
の同期をとるこことが容易になるため、長尺の金属薄板
の搬送時におけるエッチング液が吹き付けられることに
よる蛇行を効果的に抑制することが可能になる。

【００２２】

【発明の効果】請求項１に係る発明のエッチング装置を
使用したときは、水平に支持されて長手方向へ搬送され
る長尺の金属薄板の主面へ揺動しながらエッチング液を
吹き付けるスプレイノズルの揺動角度範囲を、製造しよ
うとするシャドウマスクの種類などに応じて変更する必
要がある場合に、その調整操作が容易であり、その調整
を精度良く行うことができ、また、スプレイノズルから
金属薄板の主面へ吹き付けられるエッチング液の量をス
プレイノズルの揺動方向にかかわらず同じにすることが
簡単にできるため、スプレイノズルを所望通り正確に揺
動させて、金属薄板の主面の被エッチング面を均一にエ
ッチングし、エッチング品質を向上させることができ
る。

【００２３】請求項２に係る発明のエッチング装置で
は、スプレイノズルから金属薄板の主面へのエッチング
液の吹付け量がスプレイノズルの揺動角度位置にかかわ
らずほぼ均等になるので、均一なエッチングを行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の１実施形態を示し、エッチング装置
のスプレイパイプのスプレイノズルを揺動させる揺動機
構の概略構成を示す模式図である。

【図２】図１に示した揺動機構における制御方法を説明
するための図であって、スプレイノズルの揺動角度と揺
動速度との関係の１例を示す図である。

【図３】スプレイパイプのスプレイノズルの揺動機構の
より具体的な構成例を示す正面図である。

【図４】従来の、スプレイパイプのスプレイノズルの揺
動機構の概略構成の１例を示す模式図である。

【図５】従来の揺動機構における問題点を説明するため
の図であって、揺動機構の概略図である。

【図６】同じく、従来の揺動機構における円形カム板の
回転角度とスプレイパイプのスプレイノズルの揺動角度
との関係を示す図である。

【符号の説明】

３、２０ スプレイパイプ ４ スプレイノズル ８ 長尺の金属薄板 １０、２６ サーボモータ １２ 駆動側揺動部材 １４ 揺動部材 １６ リンク部材 １８ コントローラ ２２ 揺動板 ３０ 駆動側揺動板 ３２〜４６ リンク機構

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主面に所定のパターンを有するレジスト
   膜が形成された長尺の金属薄板を、水平に支持しながら
   その長手方向へ搬送する搬送手段と、 金属薄板の長手方向に沿って配設され、金属薄板の主面
   へエッチング液を吹き付けるスプレイノズルを有し、そ
   のスプレイノズルが金属薄板の長手方向と直交する方向
   に沿って揺動するように回動自在に支持されたスプレイ
   パイプと、 このスプレイノズルを往復回動させて前記スプレイノズ
   ルを揺動させる揺動機構とを備えたエッチング装置にお
   いて、 前記揺動機構を、 一端部が前記スプレイパイプに固着され、スプレイパイ
   プの軸心を中心としてスプレイパイプの長さ方向と直交
   する面内で揺動する揺動部材と、 前記スプレイパイプの長さ方向と直交するように配設さ
   れ、スプレイパイプの長さ方向と直交する面内で揺動自
   在に支持された駆動側揺動部材と、 この駆動側揺動部材の一端部が固着され、駆動側揺動部
   材を、その一端部を中心として往復回動させて揺動させ
   る揺動駆動手段と、 前記揺動部材の他端部と前記駆動側揺動部材の他端部と
   を連結して、駆動側揺動部材の揺動運動を揺動部材に伝
   達して揺動部材を揺動させるリンク機構とから構成した
   ことを特徴とするエッチング装置。
2. 【請求項２】 スプレイパイプのスプレイノズルの揺動
   角度と揺動速度との関係が正弦波特性を有し、かつ、ス
   プレイノズルから金属薄板の主面に対し直交する方向に
   向けてエッチング液が吹き付けられる時にスプレイパイ
   プの揺動速度の絶対値が最大となるように、揺動駆動手
   段を制御する制御手段が設けられた請求項１記載のエッ
   チング装置。