JPH10141860A

JPH10141860A - 熱処理炉

Info

Publication number: JPH10141860A
Application number: JP31294196A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Mori; 健一森
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-11-07
Filing date: 1996-11-07
Publication date: 1998-05-29

Abstract

(57)【要約】【課題】炉本体の内部に設けられるマッフル１内の雰
囲気ガスの分布の偏りをなくして均一な熱処理を行うこ
とができる熱処理炉を提供する。【解決手段】マッフル１に対して回動自在に保持され
たガス投入管３を駆動機構（６〜８）により回動させ
て、ガス噴出孔の位置を変動させることにより、ガス噴
出方向を経時的に変化させながら熱処理空間Ａにガスを
供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック電子部
品の製造工程で外部電極を焼き付けたりする場合などに
用いられる熱処理炉に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミック電子部品の外部電極を
焼き付けるたりする場合に用いられる熱処理炉として
は、例えば図８及び図９に示すようなものが用いられて
いた。なお、図８の（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図で
あり、図９は、図８におけるガス投入管１００の断面図
である。図８において、マッフル１は炉本体（図示せ
ず）の中に設けられ、その内部に外気と遮断された熱処
理空間Ａを有している。マッフル１内に固定して取り付
けられたガス投入管１００は、マッフル１の管壁部でガ
ス導入管２と連通している。ガス投入管１００の外周部
には図９に示すようなガス噴出孔１００ａが管軸方向に
複数個設けられている。ガス導入管２から送られてきた
ガスは、ガス投入管１００のガス噴出孔１００ａから矢
印Ｂの方向に噴出し、熱処理空間Ａに向かって流れ、被
処理物（図示せず）に対する雰囲気ガスとなる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の熱処理炉においては、ガス噴出方向や噴出
起点位置が、ガス噴出孔１００ａが設けられている場所
によって決まるため、ガスの流路が常に一定である。従
って、マッフル１内の位置によってガスの供給量に差が
生じ、特に上下方向にはそのばらつきが大きかった。そ
の結果、例えば、上下方向に多段積みした被処理物を熱
処理するような場合には、熱処理の仕上がりにばらつき
が生じるという問題点があった。

【０００４】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、マッフル内の雰囲気ガスの分布の偏りをなくして均
一な熱処理を行うことができる熱処理炉を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明による熱処理炉
は、炉本体の内部に設けられ、被処理物を収容する熱処
理空間を内部に有するマッフルと、前記熱処理空間にガ
スを噴出させるためのガス噴出孔を有する管体であっ
て、前記マッフル内に挿入され、前記マッフルに対して
回動自在に保持されたガス投入管と、前記ガス投入管を
回動させる駆動機構とを備えたものである。このように
構成された熱処理炉は、駆動機構によってガス投入管を
回動させつつ、ガス噴出孔からガスを熱処理空間へ噴出
させることにより、ガス噴出方向を経時的に変化させな
がら熱処理空間にガスを供給することができる。従っ
て、熱処理空間内に偏りなくガス流が供給され、同時に
雰囲気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱処理空間に
おける雰囲気ガスの供給分布が均一化され、温度も均一
化されるので、熱処理空間内の位置による熱処理の仕上
がりのばらつきを排除することができる。

【０００６】また、上記の熱処理炉において、ガス投入
管を、その管軸を中心として所定の範囲内で往復回動さ
せることによりガス噴出孔の位置を上下方向に変動させ
る構成としても良い。これにより、ガス噴出孔の高さ方
向における位置が変化して、ガス噴出方向が上下方向に
連続して変化するので、熱処理空間内の高低差によるガ
スの偏りを排除することができる。従って、例えば、被
処理物が治具等により多段積みされている場合にも、上
段と下段との熱処理の仕上がりに差が生じない。

【０００７】また、本発明による熱処理炉は、炉本体の
内部に設けられ、被処理物を収容する熱処理空間を内部
に有するマッフルと、前記マッフル内に固定して設けら
れ、前記熱処理空間内にガスを放出する開口部を有する
内管と、前記内管の開口部から排出されたガスを前記熱
処理空間に噴出させるためのガス噴出孔を外周部に有
し、前記マッフル内に挿入されて前記内管を包囲すると
ともに、前記マッフルに対して回動自在に保持された外
管と、前記外管を回動させる駆動機構とを備えたもので
ある。このように構成された熱処理炉は、駆動機構によ
って外管を回動させつつ、ガス噴出孔からガスを熱処理
空間へ噴出させることにより、ガス噴出方向を経時的に
変化させながら熱処理空間にガスを供給することができ
る。従って、熱処理空間内に偏りなくガス流が供給さ
れ、同時に雰囲気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱
処理空間における雰囲気ガスの供給分布が均一化され、
温度も均一化されるので、熱処理空間内の位置による熱
処理の仕上がりのばらつきを排除することができる。

【０００８】また、上記熱処理炉において、外管を、そ
の管軸を中心として所定の範囲内で往復回動させること
によりガス噴出孔の位置を上下方向に変動させる構成と
しても良い。これにより、ガス噴出孔の高さ方向におけ
る位置が変化して、ガス噴出方向が上下方向に連続して
変化するので、熱処理空間内の高低差によるガスの偏り
を排除することができる。従って、例えば、被処理物が
治具等により多段積みされている場合にも、上段と下段
との熱処理の仕上がりの差が生じない。

【０００９】また、本発明による熱処理炉は、炉本体の
内部に設けられ、被処理物を収容する熱処理空間を内部
に有するマッフルと、前記マッフル内に固定して設けら
れた管体であって、前記熱処理空間内の一定方向にガス
を噴出させるためのガス噴出ノズルを有するガス投入管
と、前記ガス噴出ノズルの近傍を支点として回動自在に
保持され、コアンダ効果に基づき、回動位置に応じてそ
の表面に沿ったガス流を形成する案内羽根と、前記案内
羽根を回動させる駆動機構とを備えたものである。この
ように構成された熱処理炉は、駆動機構によって案内羽
根を回動させつつ、ガス噴出孔からガスを熱処理空間内
の一定方向へ噴出させることにより、コアンダ効果に基
づいて、案内羽根の表面に沿ったガス流を形成すること
ができる。従って、案内羽根の回動に応じてガス流の方
向を変化させながら熱処理空間にガスを供給することが
できるので、熱処理空間内に偏りなくガス流が供給さ
れ、同時に雰囲気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱
処理空間における雰囲気ガスの供給分布が均一化され、
温度も均一化されるので、熱処理空間内の位置による熱
処理の仕上がりのばらつきを排除することができる。

【００１０】また、上記熱処理炉において、案内羽根を
所定の範囲内で往復回動させることにより、当該案内羽
根の、ガス噴出方向に向かって前方側端部を上下に回動
させる構成としても良い。これにより、案内羽根の前方
側端部の高さ方向における位置が変化して、ガス流の方
向が上下方向に連続して変化するので、熱処理空間内の
高低差によるガスの偏りを排除することができる。従っ
て、例えば、被処理物が治具等により多段積みされてい
る場合にも、上段と下段との熱処理の仕上がりの差が生
じない。

【００１１】

【発明の実施の形態】

《実施形態１》図１〜図３は、本発明の第１の実施形態
による熱処理炉に関する図であり、図１の（ａ）及び
（ｂ）はそれぞれ平面図及び側面図、図２は一部断面を
含む平面図、図３はガス投入管３の断面図である。図１
において、マッフル１は炉本体（図示せず）の中に設け
られ、その内部に外気と遮断された熱処理空間Ａを有し
ている。ガス投入管３は、マッフル１の長手方向に直交
する略水平方向を軸方向として、マッフル１を貫通する
とともに、マッフル１に対して回転可能に保持されてい
る。ガス投入管３が貫通したマッフル１の外壁面部には
回転シール部４が設けられ、マッフル１の気密が維持さ
れている。マッフル１の外部に露出したガス投入管３の
端部３ａは、管結合シール部５において、マッフル１の
外部に設けられたガス導入管２と接続されている。ま
た、ガス投入管３の他の端部３ｂにはスプロケット６が
設けられ、このスプロケット６はベルト７を介してモー
タ８と接続されている。上記のガス投入管３は円筒状の
形状を有しており、図２に示すように熱処理空間Ａ側
に、ガス噴出孔３ｃが管軸方向に複数個形成されてい
る。

【００１２】上記のように構成された熱処理炉におい
て、モータ８は低速で所定時間ごとに正転・反転を繰り
返すように駆動され、これによりガス投入管３は一定の
角度範囲で往復回転運動（上下首振り運動）を行う。図
３の（ａ）は、ガス投入管３が上方に最も回動した状態
を示し、また、（ｂ）は下方に最も回動した状態を示し
ている。このように一定の角度αの範囲におけるガス投
入管３の往復回転運動により、ガス噴出孔３ｃの位置は
一定の角度αの範囲で上下に変化する。

【００１３】このようにガス投入管３が往復回転運動を
している状態においてガス導入管２からガスが供給され
ると、ガスは、ガス投入管３のガス噴出孔３ｃから矢印
Ｂの方向に噴出する。前述のようにガス投入管３は一定
の角度αの範囲で往復回転運動を行っているので、ガス
噴出方向は一定ではなく、時間とともに変動する。従っ
て、ガスの流れが時間とともに変化し続けて、角度αの
範囲内で偏りなくガス流が供給され、同時に雰囲気ガス
の攪拌も行われる。その結果、熱処理空間Ａにおける雰
囲気ガスの供給分布が均一化され、温度も均一化される
ので、熱処理空間Ａ内の位置による熱処理の仕上がりの
ばらつきを排除することができる。例えば、被処理物が
治具等により多段積みされている場合にも、上段と下段
との熱処理の仕上がりの差が生じない。

【００１４】《実施形態２》図４及び図５は、本発明の
第２の実施形態による熱処理炉に関する図であり、図４
は水平方向の断面図、図５はガス投入管１０の内管１１
及び外管１２の断面図である。図４において、マッフル
１は炉本体（図示せず）の中に設けられ、その内部に外
気と遮断された熱処理空間Ａを形成している。ガス投入
管１０は同軸配置された内管１１と外管１２とにより構
成され、端部が閉鎖された円筒形状の内管１１は、マッ
フル１の長手方向に直交する略水平方向を軸方向とし
て、マッフル１の内部に設けられ、マッフル１に固定さ
れている。内管１１は、マッフル１の外部に設けられた
ガス導入管２と接続され、ガス導入管２の先端部周囲が
マッフル１の外壁面に溶接されることにより、マッフル
１の気密が維持されている。従って、内管１１に関して
はシール構造を設ける必要がない。一方、ガス投入管１
０の外管１２は、内管１１を包囲する円筒形状であっ
て、マッフル１に対して回転可能に保持されている。外
管１２の端部１２ａの内面の、内管１１との接触部分に
は回転シール部１３が設けられ、内管１１に対する外管
１２の気密が保持されている。また、外管１２の他の端
部１２ｂにはスプロケット６が設けられ、このスプロケ
ット６はベルト７を介してモータ８と接続されている。

【００１５】上記の内管１１は、図４及び図５に示すよ
うに熱処理空間Ａ側に、ガスを管外に放出させるための
開口部すなわち、上下方向に長いスリット１１ｃが管軸
方向に複数個形成されている。スリット１１ｃは図５に
示すように一定の角度αの範囲に形成されている。一
方、外管１２の熱処理空間Ａ側には、ガス噴出孔１２ｃ
が管軸方向に複数個形成されている。図４に示すよう
に、内管１１のスリット１１ｃと、これに対応する外管
１２のガス噴出孔１２ｃとは、管軸方向の位置が互いに
同一であるように配置されている。

【００１６】上記のように構成された熱処理炉におい
て、モータ８は低速で所定時間ごとに正転・反転を繰り
返すように駆動され、これによりガス投入管１０の外管
１２は一定の角度範囲で往復回転運動（上下首振り運
動）を行う。そして、この一定の角度範囲とは、内管１
１のスリット１１ｃが形成されている角度αに等しい範
囲を意味する。すなわち、図５における外管１２のガス
噴出孔１２ｃの移動範囲は内管１１のスリット１１ｃの
形成範囲に等しい。

【００１７】このように外管１２が往復回転運動をして
いる状態においてガス導入管２からガスが導入される
と、ガスは、内管１１のスリット１１ｃから矢印Ｃの方
向に放出される。放出されたガスは、さらに、外管１２
のガス噴出孔１２ｃから熱処理空間Ａへ噴出する。前述
のように外管１２は一定の角度範囲αで往復回転運動を
行っているので、ガス噴出方向は一定ではなく、時間と
ともに変動する。従って、ガスの流れが時間とともに変
化し続けて、角度αの範囲内で偏りなくガス流が供給さ
れ、同時に雰囲気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱
処理空間Ａにおける雰囲気ガスの供給分布が均一化さ
れ、温度も均一化されるので、熱処理空間Ａ内の位置に
よる熱処理の仕上がりのばらつきを排除することができ
る。例えば、被処理物が治具等により多段積みされてい
る場合にも、上段と下段との熱処理の仕上がりの差が生
じない。

【００１８】なお、上記第２の実施形態においては、図
４に示すように、外管１２がマッフル１に固定されてい
ないため、外管１２の取り外しが容易である。従って、
ガス噴出孔１２ｃの位置が異なる他の外管への取り替え
を容易に行うことができる。これにより、被処理物の種
類や段積み構造に応じて適切な外管への交換を迅速に行
うことができるようになる。

【００１９】《実施形態３》図６及び図７は、本発明の
第３の実施形態による熱処理炉に関する図であり、図６
の（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ平面図及び側面図、図７
はガス投入管１５及び案内羽根１６等の断面図である。
図６において、マッフル１は炉本体（図示せず）の中に
設けられ、その内部に外気と遮断された熱処理空間Ａを
形成している。ガス投入管１５は、マッフル１の長手方
向に直交する略水平方向を軸方向として、マッフル１の
内部に設けられ、マッフル１に固定されている。ガス投
入管１５は、マッフル１の外部に設けられたガス導入管
２と接続され、ガス導入管２の先端部周囲がマッフル１
の外壁面に溶接されることにより、マッフル１の気密が
維持されている。従って、ガス投入管１５にシール構造
を設ける必要がない。

【００２０】ガス投入管１５は一端が閉鎖された円筒形
の本体部分に、図７に示すように、ガスを一定方向に噴
出させるためのガス噴出ノズル１５ａを設けたものであ
る。ガス噴出ノズル１５ａは、ガス投入管１５の管軸に
平行に、かつ、熱処理空間Ａに向けて略水平に形成され
たスリット１５ｃを有している。回動軸１７はマッフル
１の内部に、マッフル１に対して回動可能に設けられ、
その一端１７ａは図６の（ａ）に示すようにマッフル１
外に突出していて、スプロケット６が取り付けられてい
る。このスプロケット６はベルト７を介してモータ８と
接続されている。案内羽根１６は平板状の形状を有し、
ガス噴出ノズル１５ａの近傍の一端において回動軸１７
に固着され、回動軸１７と一体に回動可能である。

【００２１】上記のように構成された熱処理炉におい
て、モータ８は低速で所定時間ごとに正転・反転を繰り
返すように駆動され、これにより案内羽根１６は一定の
角度αの範囲で往復回転運動（扇ぐような運動）を行
う。このように案内羽根１６が往復回転運動をしている
状態においてガス導入管２からガスが導入されると、ガ
スは、ガス投入管１５のスリット１５ｃから熱処理空間
Ａに向けて一定の方向（略水平方向）に噴出する。とこ
ろが、スリット１５ｃの前方に案内羽根１６が設けられ
ていることにより、コアンダ（Coanda）効果に基づい
て、噴出したガスは案内羽根１６の表面に沿ってガス流
を形成する。前述のように案内羽根１６は一定の角度範
囲で往復回転運動を行っているので、ガス流は案内羽根
１６の回動に追従してその流れ方向が、時間とともに変
動する。従って、ガスの流れが時間とともに変化し続け
て、角度αの範囲内で偏りなくガス流が供給され、同時
に雰囲気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱処理空間
Ａにおける雰囲気ガスの供給分布が均一化され、温度も
均一化されるので、熱処理空間Ａ内の位置による熱処理
の仕上がりのばらつきを排除することができる。例え
ば、被処理物が治具等により多段積みされている場合に
も、上段と下段との熱処理の仕上がりの差が生じない。

【００２２】なお、上記第３の実施形態においては、ガ
ス投入管１５には可動部がないので回転シール構造を必
要としないこと、並びに、ガス投入管１５及び案内羽根
１６の構造が簡素であることにより、製造が容易であ
る。

【００２３】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。

【００２４】本発明による熱処理炉は、マッフルに対し
て回動自在に保持されたガス投入管を駆動機構により回
動させる構成としたので、ガス投入管に設けられたガス
噴出孔の位置及びガス噴出方向を経時的に変化させなが
ら熱処理空間にガスを供給することができる。従って、
熱処理空間内に偏りなくガス流が供給され、同時に雰囲
気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱処理空間におけ
る雰囲気ガスの供給分布が均一化され、温度も均一化さ
れるので、熱処理空間内の位置による熱処理の仕上がり
のばらつきを排除することができる。

【００２５】また、上記の熱処理炉において、ガス投入
管を、その管軸を中心として所定の範囲内で往復回動さ
せることによりガス噴出孔の位置を上下方向に変動させ
る構成とした場合は、ガス噴出孔の高さ方向における位
置が変化して、ガス噴出方向が上下方向に連続して変化
するので、熱処理空間内の高低差によるガスの偏りを排
除することができる。従って、例えば、被処理物が治具
等により多段積みされている場合にも、上段と下段との
熱処理の仕上がりの差が生じない。その結果、多段積み
での熱処理が良好に行えるので、熱処理の能率が向上す
る。

【００２６】また、本発明による熱処理炉は、ガス投入
管を内管と外管とにより構成し、内管は熱処理空間内に
ガスを放出する開口部を有してマッフルに固定され、内
管の開口部から排出されたガスを熱処理空間に噴出させ
るためのガス噴出孔を外周部に有する外管は、駆動機構
によって回動させる構成としたので、外管を回動させつ
つ、ガス噴出孔からガスを熱処理空間へ噴出させること
により、ガス噴出方向を経時的に変化させながら熱処理
空間にガスを供給することができる。従って、熱処理空
間内に偏りなくガス流が供給され、同時に雰囲気ガスの
攪拌も行われる。その結果、熱処理空間における雰囲気
ガスの供給分布が均一化され、温度も均一化されるの
で、熱処理空間内の位置による熱処理の仕上がりのばら
つきを排除することができる。また、マッフルに固定さ
れた内管は可動部を有していないことにより、内管自体
には回転シール構造が不要であるので、内管の構造が簡
素なものとなる。また、ガス投入管を内管と外管とに分
けて構成したことにより、マッフルに固定されていない
外管のみを取り替えることが可能になる。従って、ガス
噴出孔の位置が異なる他の外管への取り替えを行うこと
ができる。これにより、被処理物の種類や段積み構造に
応じて適切な外管への交換を行うことが容易にできるよ
うになる。

【００２７】また、上記熱処理炉において、外管を、そ
の管軸を中心として所定の範囲内で往復回動させること
によりガス噴出孔の位置を上下方向に変動させる構成と
した場合は、ガス噴出孔の高さ方向における位置が変化
して、ガス噴出方向が上下方向に連続して変化するの
で、熱処理空間内の高低差によるガスの偏りを排除する
ことができる。従って、例えば、被処理物が治具等によ
り多段積みされている場合にも、上段と下段との熱処理
の仕上がりの差が生じない。その結果、多段積みでの熱
処理が良好に行えるので、熱処理の能率が向上する。

【００２８】また、本発明による熱処理炉は、熱処理空
間内の一定方向にガスを噴出させるためのガス噴出ノズ
ルを有するガス投入管をマッフルに固定して設け、ガス
噴出ノズルの近傍を支点として回動自在に保持された案
内羽根を設けたので、駆動機構によって案内羽根を回動
させつつ、ガス噴出孔からガスを熱処理空間内の一定方
向へ噴出させることにより、コアンダ効果に基づいて、
案内羽根の表面に沿ったガス流を形成することができ
る。従って、案内羽根の回動に応じてガス流の方向を変
化させながら熱処理空間にガスを供給することができる
ので、熱処理空間内に偏りなくガス流が供給され、同時
に雰囲気ガスの攪拌も行われる。その結果、熱処理空間
における雰囲気ガスの供給分布が均一化され、温度も均
一化されるので、熱処理空間内の位置による熱処理の仕
上がりのばらつきを排除することができる。また、ガス
投入管には可動部分がないことにより、回転シール構造
が必要とされないので、構造が簡単であり、製造が容易
である。

【００２９】また、上記熱処理炉において、案内羽根を
所定の範囲内で往復回動させることにより、当該案内羽
根の、ガス噴出方向に向かって前方側端部を上下に回動
させる構成とした場合は、案内羽根の前方側端部の高さ
方向における位置が変化して、ガス噴出方向が上下方向
に連続して変化するので、熱処理空間内の高低差による
ガスの偏りを排除することができる。従って、例えば、
被処理物が治具等により多段積みされている場合にも、
上段と下段との熱処理の仕上がりの差が生じない。その
結果、多段積みでの熱処理が良好に行えるので、熱処理
の能率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態による熱処理炉を示す
図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。

【図２】同熱処理炉の水平方向における部分断面図であ
る。

【図３】同熱処理炉のガス投入管の断面図である。

【図４】本発明の第２の実施形態による熱処理炉の、水
平方向における部分断面図である。

【図５】図４に示す熱処理炉のガス投入管の断面図であ
る。

【図６】本発明の第３の実施形態による熱処理炉を示す
図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。

【図７】図６に示す熱処理炉におけるガス投入管及び案
内羽根等を示す断面図である。

【図８】従来の熱処理炉を示す図であり、（ａ）は平面
図、（ｂ）は側面図である。

【図９】図８に示す熱処理炉におけるガス投入管の断面
図である。

【符号の説明】

１マッフル２ガス導入管３，１０，１５ガス投入管３ｃ，１２ｃガス噴出孔４，１３回転シール部５管結合シール部６スプロケット７ベルト８モータ１１内管１１ｃ，１５ｃスリット１２外管１２ａ，１２ｂ端部１５ａガス噴出ノズル１６案内羽根１７回動軸

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】炉本体の内部に設けられ、被処理物を収容
する熱処理空間を内部に有するマッフルと、前記熱処理空間にガスを噴出させるためのガス噴出孔を
有する管体であって、前記マッフル内に挿入され、前記
マッフルに対して回動自在に保持されたガス投入管と、前記ガス投入管を回動させる駆動機構とを備えた熱処理
炉。
【請求項２】前記駆動機構は、前記ガス投入管を、その
管軸を中心として所定の範囲内で往復回動させることに
より前記ガス噴出孔の位置を上下方向に変動させること
を特徴とする請求項１記載の熱処理炉。
【請求項３】炉本体の内部に設けられ、被処理物を収容
する熱処理空間を内部に有するマッフルと、前記マッフル内に固定して設けられ、前記熱処理空間内
にガスを放出する開口部を有する内管と、前記内管の開口部から排出されたガスを前記熱処理空間
に噴出させるためのガス噴出孔を外周部に有し、前記マ
ッフル内に挿入されて前記内管を包囲するとともに、前
記マッフルに対して回動自在に保持された外管と、前記外管を回動させる駆動機構とを備えた熱処理炉。
【請求項４】前記駆動機構は、前記外管を、その管軸を
中心として所定の範囲内で往復回動させることにより前
記ガス噴出孔の位置を上下方向に変動させることを特徴
とする請求項３記載の熱処理炉。
【請求項５】炉本体の内部に設けられ、被処理物を収容
する熱処理空間を内部に有するマッフルと、前記マッフル内に固定して設けられた管体であって、前
記熱処理空間内の一定方向にガスを噴出させるためのガ
ス噴出ノズルを有するガス投入管と、前記ガス噴出ノズルの近傍を支点として回動自在に保持
され、コアンダ効果に基づき、回動位置に応じてその表
面に沿ったガス流を形成する案内羽根と、前記案内羽根を回動させる駆動機構とを備えた熱処理
炉。
【請求項６】前記駆動機構は、前記案内羽根を所定の範
囲内で往復回動させることにより、当該案内羽根の、ガ
ス噴出方向に向かって前方側端部を上下に回動させるこ
とを特徴とする請求項５記載の熱処理炉。