JPH10137660A - ペースト塗布装置 - Google Patents
ペースト塗布装置Info
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- JPH10137660A JPH10137660A JP32222796A JP32222796A JPH10137660A JP H10137660 A JPH10137660 A JP H10137660A JP 32222796 A JP32222796 A JP 32222796A JP 32222796 A JP32222796 A JP 32222796A JP H10137660 A JPH10137660 A JP H10137660A
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- coating apparatus
- coating
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1241—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＺＴエッジの端面電極と基板電極の接続を
２ライン同時に行う。 【解決手段】 ２本目のシリンジ１８を新たに追加を
し、従来のシリンジ８と逆の向きに設置する。１つのＰ
ＺＴアクチュエータ１７の両側の端面電極と基板電極を
接続させる銀ペースト塗布が可能となる構成とする。２
本のシリンジを精密に駆動できるようにするために、Ｚ
軸ステージ７に支持されているシリンジ固定ブラケット
６上にシリンジ用Ｙ軸ステージ１９を設置し、新たな専
用のシリンジホルダー２０でシリンジと斜めニードル固
定用ブラケット９を固定してある。追加シリンジ１８も
同様にシリンジ用Ｙ軸ステージ２１とシリンジホルダー
２２で固定される。
２ライン同時に行う。 【解決手段】 ２本目のシリンジ１８を新たに追加を
し、従来のシリンジ８と逆の向きに設置する。１つのＰ
ＺＴアクチュエータ１７の両側の端面電極と基板電極を
接続させる銀ペースト塗布が可能となる構成とする。２
本のシリンジを精密に駆動できるようにするために、Ｚ
軸ステージ７に支持されているシリンジ固定ブラケット
６上にシリンジ用Ｙ軸ステージ１９を設置し、新たな専
用のシリンジホルダー２０でシリンジと斜めニードル固
定用ブラケット９を固定してある。追加シリンジ１８も
同様にシリンジ用Ｙ軸ステージ２１とシリンジホルダー
２２で固定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペースト塗布装
置、より詳細には、ディスペンサー（流体や液体などの
被吐出材料の吐出を行う吐出装置）を用いたペースト塗
布装置における電極形成や電極導通などに用いる銀ペー
ストの精密塗布に関するものであるが、銀ペースト以外
の液体や流体、例えば、接着剤やクリーム半田などの精
密塗布を行う場合の、特に、線引き塗布を精密に行う塗
布装置としても応用可能なものである。
置、より詳細には、ディスペンサー（流体や液体などの
被吐出材料の吐出を行う吐出装置）を用いたペースト塗
布装置における電極形成や電極導通などに用いる銀ペー
ストの精密塗布に関するものであるが、銀ペースト以外
の液体や流体、例えば、接着剤やクリーム半田などの精
密塗布を行う場合の、特に、線引き塗布を精密に行う塗
布装置としても応用可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】流体や液体などの被吐出材料の吐出を行
うディスペンサー（吐出装置）を用いる塗布装置は種々
存在するが、例えば、特開平６−４２９号公報（ディス
ペンサー装置）では、液晶ディスプレイパネルガラス基
板状上に銀ペーストを塗布する際、銀ペースト中に気泡
が混入しても、シリンジに一定範囲のスリットが切り込
まれており、気泡がこのスリットから放出されて正常に
塗布するようになっている。
うディスペンサー（吐出装置）を用いる塗布装置は種々
存在するが、例えば、特開平６−４２９号公報（ディス
ペンサー装置）では、液晶ディスプレイパネルガラス基
板状上に銀ペーストを塗布する際、銀ペースト中に気泡
が混入しても、シリンジに一定範囲のスリットが切り込
まれており、気泡がこのスリットから放出されて正常に
塗布するようになっている。
【０００３】しかし、現存するディスペンサーを用いる
塗布装置では、微小な部品の電極接続、電極形成などを
行える精密塗布装置は存在しない。特に、ＰＺＴ方式の
インクジェットプリンターヘッドの電極形成に用いるこ
とが可能な精度（±２５μｍの位置決め精度）を持つ塗
布装置は存在しない。現状では、人手による塗布が行わ
れており、塗布安定性、タクトタイム長大、歩留まり低
下などの点で問題がある。
塗布装置では、微小な部品の電極接続、電極形成などを
行える精密塗布装置は存在しない。特に、ＰＺＴ方式の
インクジェットプリンターヘッドの電極形成に用いるこ
とが可能な精度（±２５μｍの位置決め精度）を持つ塗
布装置は存在しない。現状では、人手による塗布が行わ
れており、塗布安定性、タクトタイム長大、歩留まり低
下などの点で問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、ＰＺＴの端面電
極と基板電極の接続は、１ラインづつ、計４ラインの塗
布を行っており、タクトタイムが長くなる問題があっ
た。請求項１の発明は、吐出用ニードル付帯シリンジ２
本を設置し、シリンジ支持部（保持部）にＹ軸駆動機構
２軸を設置し、その２軸を独立に駆動制御できる構造を
もつことにより、ＰＺＴエッジの端面電極と基板電極の
接続塗布を２ライン同時に行うことを目的としてなされ
たものである。
極と基板電極の接続は、１ラインづつ、計４ラインの塗
布を行っており、タクトタイムが長くなる問題があっ
た。請求項１の発明は、吐出用ニードル付帯シリンジ２
本を設置し、シリンジ支持部（保持部）にＹ軸駆動機構
２軸を設置し、その２軸を独立に駆動制御できる構造を
もつことにより、ＰＺＴエッジの端面電極と基板電極の
接続塗布を２ライン同時に行うことを目的としてなされ
たものである。
【０００５】また、従来では、銀ペーストを充填する際
の気泡混入が原因となるクレータ状などの欠陥の検査は
目視により行っており、作業者の負担増や、歩留まりの
低下などの問題があった。請求項２の発明は、塗布形状
の測定、もしくは検査を行う機能を装置に具備すること
により、目視による上記の問題点を解決し、ワークの良
否を判定し、欠陥ワークを見つけることを目的としてな
されたものである。
の気泡混入が原因となるクレータ状などの欠陥の検査は
目視により行っており、作業者の負担増や、歩留まりの
低下などの問題があった。請求項２の発明は、塗布形状
の測定、もしくは検査を行う機能を装置に具備すること
により、目視による上記の問題点を解決し、ワークの良
否を判定し、欠陥ワークを見つけることを目的としてな
されたものである。
【０００６】また、従来の位置検出方式では、塗布を行
ったはみ出し幅は計測できても、塗布形状、特に、高さ
方向の計測は困難であった。請求項３の発明は、塗布形
状の測定にレーザ測長器を用いることにより、深さ方向
の測定を可能とし、銀ペースト上の微小なクレータを高
分解能に形状測定すること、及び、装置に組み込みで、
自動で測定を行うことを目的としてなされたものであ
る。
ったはみ出し幅は計測できても、塗布形状、特に、高さ
方向の計測は困難であった。請求項３の発明は、塗布形
状の測定にレーザ測長器を用いることにより、深さ方向
の測定を可能とし、銀ペースト上の微小なクレータを高
分解能に形状測定すること、及び、装置に組み込みで、
自動で測定を行うことを目的としてなされたものであ
る。
【０００７】また、請求項４の発明は、請求項３の問題
と同じ問題を解決するため、塗布形状の測定もしくは検
査に、ＣＣＤカメラを装置に組み込み、その撮像された
画像を処理することによって、自動で塗布形状の計測を
行うことを目的としてなされたものである。
と同じ問題を解決するため、塗布形状の測定もしくは検
査に、ＣＣＤカメラを装置に組み込み、その撮像された
画像を処理することによって、自動で塗布形状の計測を
行うことを目的としてなされたものである。
【０００８】また、塗布形状の良否が判明した際、従来
では人手による手塗り作業で塗布形状の補正がなされて
いたが、請求項２〜請求項４の発明により、自動で不良
ワークの発見が可能となった。請求項５の発明は、その
結果を利用し、塗布形状の補正も自動で行い、人手によ
る補正作業をなくすことを目的としてなされたものであ
る。
では人手による手塗り作業で塗布形状の補正がなされて
いたが、請求項２〜請求項４の発明により、自動で不良
ワークの発見が可能となった。請求項５の発明は、その
結果を利用し、塗布形状の補正も自動で行い、人手によ
る補正作業をなくすことを目的としてなされたものであ
る。
【０００９】更に従来の検出方法では、ＣＣＤカメラに
よるクレータ状の欠陥などの塗布形状検査は困難であっ
たが、請求項６の発明では、４方向からフラッシュ照明
を配置することにより、それぞれの角度からの照明によ
ってクレータ状の欠陥を検出することを目的としてなさ
れたものである。
よるクレータ状の欠陥などの塗布形状検査は困難であっ
たが、請求項６の発明では、４方向からフラッシュ照明
を配置することにより、それぞれの角度からの照明によ
ってクレータ状の欠陥を検出することを目的としてなさ
れたものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、高精
度位置決め駆動が可能なステージで構成されたワーク支
持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由
に設置できるブラケットで支持されたニードル付帯シリ
ンジ（流体や液体などの被吐出材料の吐出を行う吐出装
置（ディスペンサー））とからなり、ワーク位置検出機
構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いた、ＰＺＴ方式
インクジェットヘッドの電極導通及び電極形成に必要な
精密塗布を可能にしたペースト塗布装置において、前記
ワーク支持機構が精密位置決め可能な塗布送り用Ｘ軸ス
テージと原点復帰用の粗動Ｙ軸ステージの２軸で構成さ
れ、前記ニードル付帯シリンジを２本支持できる構造を
もつＺ軸駆動機構に各シリンジを精密に駆動できるニー
ドル付帯シリンジ位置決め駆動用Ｙ軸ステージを２軸構
成し、かつ、２軸独立制御が可能な構造をもつことを特
徴とし、もって、ニードル付帯シリンジを２本支持し、
該２本のシリンジを駆動する駆動機構を２軸用意し、独
立に該２軸を制御できる構造をとることにより、ＰＺＴ
エッジの端面電極と基板電極の接続を２ライン同時に行
うことを可能とし、タクトタイムの短縮回り、かつ回転
ステージを不要としたものである。
度位置決め駆動が可能なステージで構成されたワーク支
持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由
に設置できるブラケットで支持されたニードル付帯シリ
ンジ（流体や液体などの被吐出材料の吐出を行う吐出装
置（ディスペンサー））とからなり、ワーク位置検出機
構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いた、ＰＺＴ方式
インクジェットヘッドの電極導通及び電極形成に必要な
精密塗布を可能にしたペースト塗布装置において、前記
ワーク支持機構が精密位置決め可能な塗布送り用Ｘ軸ス
テージと原点復帰用の粗動Ｙ軸ステージの２軸で構成さ
れ、前記ニードル付帯シリンジを２本支持できる構造を
もつＺ軸駆動機構に各シリンジを精密に駆動できるニー
ドル付帯シリンジ位置決め駆動用Ｙ軸ステージを２軸構
成し、かつ、２軸独立制御が可能な構造をもつことを特
徴とし、もって、ニードル付帯シリンジを２本支持し、
該２本のシリンジを駆動する駆動機構を２軸用意し、独
立に該２軸を制御できる構造をとることにより、ＰＺＴ
エッジの端面電極と基板電極の接続を２ライン同時に行
うことを可能とし、タクトタイムの短縮回り、かつ回転
ステージを不要としたものである。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、ＰＺＴ端面電極と基板電極を接続する線引き塗布を
行った後、もしくは塗布と同時に、その塗布形状（塗布
表面形状）を測定もしくは検査する機能を具備したこと
を特徴とし、もって、塗布形状の測定もしくは検査を行
う機能を装置に具備することにより、目視検査を不要と
し、作業者の負担を減少し、工程短縮などを可能とした
ものである。
て、ＰＺＴ端面電極と基板電極を接続する線引き塗布を
行った後、もしくは塗布と同時に、その塗布形状（塗布
表面形状）を測定もしくは検査する機能を具備したこと
を特徴とし、もって、塗布形状の測定もしくは検査を行
う機能を装置に具備することにより、目視検査を不要と
し、作業者の負担を減少し、工程短縮などを可能とした
ものである。
【００１２】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、塗布形状の測定もしくは検査にレーザ測長器を用い
たことを特徴とし、もって、微小な塗布クレータを高分
解能で形状測定できるようにし、欠陥ワークの検出を自
動で行うようにしたものである。
て、塗布形状の測定もしくは検査にレーザ測長器を用い
たことを特徴とし、もって、微小な塗布クレータを高分
解能で形状測定できるようにし、欠陥ワークの検出を自
動で行うようにしたものである。
【００１３】請求項４の発明は、請求項２の発明におい
て、塗布形状の測定もしくは検査にＣＣＤカメラによる
画像処理を用いたことを特徴とし、もって、ＣＣＤカメ
ラによる画像処理を用いた塗布形状計測を行うことによ
り、欠陥ワークの検出を自動で行う効果がある。
て、塗布形状の測定もしくは検査にＣＣＤカメラによる
画像処理を用いたことを特徴とし、もって、ＣＣＤカメ
ラによる画像処理を用いた塗布形状計測を行うことによ
り、欠陥ワークの検出を自動で行う効果がある。
【００１４】請求項５の発明は、請求項２の発明におい
て、塗布形状の良否判定結果をもとに不良ワークの補正
を自動で行うことを特徴とし、もって、自動で不良ワー
クの検出を行い、検出された不良ワークを自動で補正を
行うことにより、人手による補正作業を不要とし、工程
短縮を図ったものである。
て、塗布形状の良否判定結果をもとに不良ワークの補正
を自動で行うことを特徴とし、もって、自動で不良ワー
クの検出を行い、検出された不良ワークを自動で補正を
行うことにより、人手による補正作業を不要とし、工程
短縮を図ったものである。
【００１５】請求項６の発明は、請求項２の発明におい
て、ＣＣＤカメラ撮像用にＸ軸方向２方向、Ｙ軸方向２
方向の計４方向にフラッシュ照明を配置し、かつ照明と
カメラの同期をとることを特徴とし、もって、４方向か
らのフラッシュ照明を配置し、照明とカメラのトリガー
の同期をとることにより、ＣＣＤカメラでクレータ状の
欠陥を検出できるようにしたものである。
て、ＣＣＤカメラ撮像用にＸ軸方向２方向、Ｙ軸方向２
方向の計４方向にフラッシュ照明を配置し、かつ照明と
カメラの同期をとることを特徴とし、もって、４方向か
らのフラッシュ照明を配置し、照明とカメラのトリガー
の同期をとることにより、ＣＣＤカメラでクレータ状の
欠陥を検出できるようにしたものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明が適用される銀ペ
ースト塗布装置の基本構成を示す側面図（図１（Ｂ）は
図１（Ａ）をＢ−Ｂ線方向から見た側面図）で、図中、
１はＣＣＤカメラ、２は該ＣＣＤカメラ１を固定するた
めのＣＣＤカメラ固定用ブラケット、３はディスペンサ
に接続されている垂直シリンジで、該垂直シリンジ３は
シリンジ固定用ブラケット６により装置に固定されてお
り、垂直ニードル５は該シリンジ３に取り付けられてお
り、ニードル先端は垂直ニードル固定用ブラケット４に
より固定されている。また、シリンジ固定用ブラケット
６には斜めシリンジ８を配置できる構成になっており、
その角度θは２０，３０，４０度の３種類に設定でき
る。斜めニードル１０はＣＣＤカメラ１の撮像視野に収
まるように、斜めニードル固定用ブラケット９により固
定されている。
ースト塗布装置の基本構成を示す側面図（図１（Ｂ）は
図１（Ａ）をＢ−Ｂ線方向から見た側面図）で、図中、
１はＣＣＤカメラ、２は該ＣＣＤカメラ１を固定するた
めのＣＣＤカメラ固定用ブラケット、３はディスペンサ
に接続されている垂直シリンジで、該垂直シリンジ３は
シリンジ固定用ブラケット６により装置に固定されてお
り、垂直ニードル５は該シリンジ３に取り付けられてお
り、ニードル先端は垂直ニードル固定用ブラケット４に
より固定されている。また、シリンジ固定用ブラケット
６には斜めシリンジ８を配置できる構成になっており、
その角度θは２０，３０，４０度の３種類に設定でき
る。斜めニードル１０はＣＣＤカメラ１の撮像視野に収
まるように、斜めニードル固定用ブラケット９により固
定されている。
【００１７】ニードル５，１０の上昇、下降の駆動には
Ｚ軸ステージ７を用いている。このＺ軸ステージ７の分
解能は６［μｍ］、位置決め精度は±６［μｍ］であ
る。ＣＣＤカメラ１はＣＣＤカメラ固定用ブラケット２
によって装置に固定されており、カメラ用の照明１６は
照明用ブラケット１５により固定されており、画像処理
を行うにあたり必要十分な輝度を得られるように角度、
位置が調整されている。
Ｚ軸ステージ７を用いている。このＺ軸ステージ７の分
解能は６［μｍ］、位置決め精度は±６［μｍ］であ
る。ＣＣＤカメラ１はＣＣＤカメラ固定用ブラケット２
によって装置に固定されており、カメラ用の照明１６は
照明用ブラケット１５により固定されており、画像処理
を行うにあたり必要十分な輝度を得られるように角度、
位置が調整されている。
【００１８】塗布対象ワーク（ＰＺＴ方式インクジェッ
トプリンターヘッド）１７はθ軸ステージ１１上に真空
吸着により固定されている。θ軸ステージ１１の下に
は、Ｙ軸ステージ１２が配置され、その下にＸ軸ステー
ジ１３が配置されてベース１４に固定されており、Ｘ，
Ｙ，θの方向に駆動できる構成になっている。各軸のス
テージは高分解能、高精度位置決め可能で、分解能、位
置決め精度は、それぞれθ＝３.６［sec］、±５［se
c］、Ｘ＝０.５［μｍ］、±０.５［μｍ］、Ｙ＝０.２
５［μｍ］、±１［μｍ］である。以上のステージでワ
ークの移動を精密に行う。
トプリンターヘッド）１７はθ軸ステージ１１上に真空
吸着により固定されている。θ軸ステージ１１の下に
は、Ｙ軸ステージ１２が配置され、その下にＸ軸ステー
ジ１３が配置されてベース１４に固定されており、Ｘ，
Ｙ，θの方向に駆動できる構成になっている。各軸のス
テージは高分解能、高精度位置決め可能で、分解能、位
置決め精度は、それぞれθ＝３.６［sec］、±５［se
c］、Ｘ＝０.５［μｍ］、±０.５［μｍ］、Ｙ＝０.２
５［μｍ］、±１［μｍ］である。以上のステージでワ
ークの移動を精密に行う。
【００１９】以上の基本構成を持つ銀ペースト塗布装置
を基に、以下、本発明について実施例を示し、詳細に説
明する。 （請求項１の発明）図２は、請求項１記載の２本のシリ
ンジを駆動するステージ構成を示す図で、この発明は、
２本目のシリンジ１８を新たに追加をし、従来のシリン
ジ８と逆の向きに設置し、１つのＰＺＴアクチュエータ
の両側の端面電極と基板電極を接続させる銀ペースト塗
布が可能となる構成とする。２本のシリンジを精密に駆
動できるようにするために、Ｚ軸ステージ７に支持され
ているシリンジ固定ブラケット６上に、シリンジ８用Ｙ
軸ステージ１９を設置し、新たな専用のシリンジホルダ
ー２０でシリンジと斜めニードル固定用ブラケット９を
固定してある。
を基に、以下、本発明について実施例を示し、詳細に説
明する。 （請求項１の発明）図２は、請求項１記載の２本のシリ
ンジを駆動するステージ構成を示す図で、この発明は、
２本目のシリンジ１８を新たに追加をし、従来のシリン
ジ８と逆の向きに設置し、１つのＰＺＴアクチュエータ
の両側の端面電極と基板電極を接続させる銀ペースト塗
布が可能となる構成とする。２本のシリンジを精密に駆
動できるようにするために、Ｚ軸ステージ７に支持され
ているシリンジ固定ブラケット６上に、シリンジ８用Ｙ
軸ステージ１９を設置し、新たな専用のシリンジホルダ
ー２０でシリンジと斜めニードル固定用ブラケット９を
固定してある。
【００２０】また、追加シリンジ１８も同様にシリンジ
１８用Ｙ軸ステージ２１とシリンジホルダー２２で固定
される。このシリンジ用Ｙ軸ステージがシリンジ側に設
置されたことにより、ワーク支持機構のステージ構成が
従来の銀ペースト塗布装置の基本構成とは異なる。回転
ステージが必要でなくなり、支持軸Ｙ軸ステージもワー
ク取り付け位置までの駆動だけで良いので、精密ステー
ジが不要になり粗動のステージで構成され、コスト低減
につながる。
１８用Ｙ軸ステージ２１とシリンジホルダー２２で固定
される。このシリンジ用Ｙ軸ステージがシリンジ側に設
置されたことにより、ワーク支持機構のステージ構成が
従来の銀ペースト塗布装置の基本構成とは異なる。回転
ステージが必要でなくなり、支持軸Ｙ軸ステージもワー
ク取り付け位置までの駆動だけで良いので、精密ステー
ジが不要になり粗動のステージで構成され、コスト低減
につながる。
【００２１】塗布の動きとしては、角度誤差から求まる
Ｙ軸成分をそれぞれのエッジ（ＰＺＴの両端面エッジ）
の画像処理結果から演算を行い、その演算結果からシリ
ンジ用Ｙ軸ステージ１９とシリンジ用Ｙ軸ステージ２１
の駆動速度が求まる。塗布送り側であるＸ軸ステージの
駆動に連動させ、シリンジ用Ｙ軸ステージ１９とシリン
ジ用Ｙ軸ステージ２１を等速駆動する。結果として、ニ
ードルをＰＺＴエッジに対して位置決めでき、線引き塗
布ができる。位置検出は照明２３、照明２４を順次照ら
すことにより、ＰＺＴエッジの片エッジづつ画像取り込
みを行い、エッジ角度、位置を検出する。
Ｙ軸成分をそれぞれのエッジ（ＰＺＴの両端面エッジ）
の画像処理結果から演算を行い、その演算結果からシリ
ンジ用Ｙ軸ステージ１９とシリンジ用Ｙ軸ステージ２１
の駆動速度が求まる。塗布送り側であるＸ軸ステージの
駆動に連動させ、シリンジ用Ｙ軸ステージ１９とシリン
ジ用Ｙ軸ステージ２１を等速駆動する。結果として、ニ
ードルをＰＺＴエッジに対して位置決めでき、線引き塗
布ができる。位置検出は照明２３、照明２４を順次照ら
すことにより、ＰＺＴエッジの片エッジづつ画像取り込
みを行い、エッジ角度、位置を検出する。
【００２２】（請求項２〜４の発明）塗布表面形状測定
に関して、銀ペーストを塗布する際に気泡の混入がある
と次のような問題がある。銀ペーストに気泡が混入して
いる状態で電極接続の塗布を行うと、塗布表面にクレー
タ状の欠陥が現れる。このような欠陥があるとその部分
で充分な接続抵抗を得られず、ＰＺＴアクチュエータの
駆動に影響がでる。そこで、塗布表面形状の計測もしく
は検査が望まれるのだが、硬化前の銀ペーストは触れら
れないので、非接触で検出しなければならない。
に関して、銀ペーストを塗布する際に気泡の混入がある
と次のような問題がある。銀ペーストに気泡が混入して
いる状態で電極接続の塗布を行うと、塗布表面にクレー
タ状の欠陥が現れる。このような欠陥があるとその部分
で充分な接続抵抗を得られず、ＰＺＴアクチュエータの
駆動に影響がでる。そこで、塗布表面形状の計測もしく
は検査が望まれるのだが、硬化前の銀ペーストは触れら
れないので、非接触で検出しなければならない。
【００２３】そこで、図３に示すように、Ｚ軸ステージ
に取り付けられたブラケット６にレーザ測長器のレーザ
ヘッド２５を取り付けることにより塗布表面の形状を測
定する。また、図４に示すように、新たに検査用ＣＣＤ
カメラ２６を取り付け、塗布後の表面形状を計測する。
ＣＣＤカメラにより高さ方向の検出方法として、３つの
角度から赤、緑、青の３色の照明をあて、それをカラー
カメラで撮像する。それぞれの角度に対応するように、
クレータ角度にそってＲＧＢが検出され、その結果、ク
レータを検出できる、という方法や、照明を塗布位置を
中心とした円周方向に移動させ、照明位置と取り込み画
像の輝度分布の変化から塗布形状を計測する、などの方
法がある。
に取り付けられたブラケット６にレーザ測長器のレーザ
ヘッド２５を取り付けることにより塗布表面の形状を測
定する。また、図４に示すように、新たに検査用ＣＣＤ
カメラ２６を取り付け、塗布後の表面形状を計測する。
ＣＣＤカメラにより高さ方向の検出方法として、３つの
角度から赤、緑、青の３色の照明をあて、それをカラー
カメラで撮像する。それぞれの角度に対応するように、
クレータ角度にそってＲＧＢが検出され、その結果、ク
レータを検出できる、という方法や、照明を塗布位置を
中心とした円周方向に移動させ、照明位置と取り込み画
像の輝度分布の変化から塗布形状を計測する、などの方
法がある。
【００２４】（請求項５の発明）請求項５記載の補正機
能においては、塗布表面形状の測定結果をもとにＰＺＴ
端面に塗られた銀ペーストのクレータ状の欠陥に対し
て、２度塗りを行う。すると、気泡により不足した銀ペ
ーストを補い、接続抵抗値も充分な値が得られる。ま
た、欠陥部分付近を塗布動作を行うようにニードルを駆
動させ、平らにならし、クレータ状の欠陥を補正する方
法もある。
能においては、塗布表面形状の測定結果をもとにＰＺＴ
端面に塗られた銀ペーストのクレータ状の欠陥に対し
て、２度塗りを行う。すると、気泡により不足した銀ペ
ーストを補い、接続抵抗値も充分な値が得られる。ま
た、欠陥部分付近を塗布動作を行うようにニードルを駆
動させ、平らにならし、クレータ状の欠陥を補正する方
法もある。
【００２５】（請求項６の発明）請求項６のフラッシュ
照明を利用したＣＣＤカメラによるクレータ欠陥検出に
おいては、図５に示すように、４方向から照らせるよう
にフラッシュ照明２７を設置する。それぞれのフラッシ
ュ照明とカメラ取り込みトリガーの同期をとり、ＣＣＤ
カメラで取り込めるように設定する。ある走査速度で銀
ペースト塗布後のワークを移動させ、フラッシュ照明で
次々に４方向から照射させ、画像を取り込む構成をと
る。欠陥があると、図６に示すような画像となる。上か
らＰＺＴ２８、塗布された銀ペースト２９、基板３０の
順となっている。クレータ状の欠陥３は銀ペースト上に
図６のように現れる。欠陥があるときのフラッシュ照明
を用いた撮像の結果は図７（Ａ）〜（Ｄ）のようにな
り、フラッシュ照明の位置に対応した影がクレータの中
にできる。それぞれの影のエッジからクレータの外形が
推測でき、また、４つの影の重心からクレータの重心が
わかり、クレータ欠陥の位置検出も行える。
照明を利用したＣＣＤカメラによるクレータ欠陥検出に
おいては、図５に示すように、４方向から照らせるよう
にフラッシュ照明２７を設置する。それぞれのフラッシ
ュ照明とカメラ取り込みトリガーの同期をとり、ＣＣＤ
カメラで取り込めるように設定する。ある走査速度で銀
ペースト塗布後のワークを移動させ、フラッシュ照明で
次々に４方向から照射させ、画像を取り込む構成をと
る。欠陥があると、図６に示すような画像となる。上か
らＰＺＴ２８、塗布された銀ペースト２９、基板３０の
順となっている。クレータ状の欠陥３は銀ペースト上に
図６のように現れる。欠陥があるときのフラッシュ照明
を用いた撮像の結果は図７（Ａ）〜（Ｄ）のようにな
り、フラッシュ照明の位置に対応した影がクレータの中
にできる。それぞれの影のエッジからクレータの外形が
推測でき、また、４つの影の重心からクレータの重心が
わかり、クレータ欠陥の位置検出も行える。
【００２６】
【発明の効果】請求項１の発明によると、高精度位置決
め駆動が可能なステージで構成されたワーク支持機構
と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設置
できるブラケットで支持されたニードル付帯シリンジ、
すなわち、流体や液体などの被吐出材料の吐出を行う吐
出装置（ディスペンサー）とからなり、ワーク位置検出
機構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いた、ＰＺＴ方
式インクジェットヘッドの電極導通及び電極形成に必要
な精密塗布を可能にしたペースト塗布装置において、前
記ワーク支持機構が精密位置決め可能な塗布送り用Ｘ軸
ステージと原点復帰用の粗動Ｙ軸ステージの２軸で構成
され、前記ニードル付帯シリンジを２本支持できる構造
をもつＺ軸駆動機構に各シリンジを精密に駆動できるニ
ードル付帯シリンジ位置決め駆動用Ｙ軸ステージを２軸
構成し、かつ、２軸独立制御が可能な構造としたもの
で、ニードル付帯シリンジを２本支持し、２本のシリン
ジを駆動する駆動機構を２軸用意し、独立に２軸制御が
できる構造をとることにより、ＰＺＴエッジの端面電極
と基板電極の接続を２ライン同時に行うことが可能にな
り、タクトタイムの短縮と回転ステージが不要になる。
め駆動が可能なステージで構成されたワーク支持機構
と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設置
できるブラケットで支持されたニードル付帯シリンジ、
すなわち、流体や液体などの被吐出材料の吐出を行う吐
出装置（ディスペンサー）とからなり、ワーク位置検出
機構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いた、ＰＺＴ方
式インクジェットヘッドの電極導通及び電極形成に必要
な精密塗布を可能にしたペースト塗布装置において、前
記ワーク支持機構が精密位置決め可能な塗布送り用Ｘ軸
ステージと原点復帰用の粗動Ｙ軸ステージの２軸で構成
され、前記ニードル付帯シリンジを２本支持できる構造
をもつＺ軸駆動機構に各シリンジを精密に駆動できるニ
ードル付帯シリンジ位置決め駆動用Ｙ軸ステージを２軸
構成し、かつ、２軸独立制御が可能な構造としたもの
で、ニードル付帯シリンジを２本支持し、２本のシリン
ジを駆動する駆動機構を２軸用意し、独立に２軸制御が
できる構造をとることにより、ＰＺＴエッジの端面電極
と基板電極の接続を２ライン同時に行うことが可能にな
り、タクトタイムの短縮と回転ステージが不要になる。
【００２７】請求項２の発明によると、請求項１の発明
において、ＰＺＴ端面電極と基板電極を接続する線引き
塗布を行った後、もしくは塗布と同時に、その塗布形
状、すなわち塗布表面形状を測定もしくは検査する機能
を具備しているので、目視検査が不要になり、作業者の
負担が減少し、工程短縮などの効果がある。
において、ＰＺＴ端面電極と基板電極を接続する線引き
塗布を行った後、もしくは塗布と同時に、その塗布形
状、すなわち塗布表面形状を測定もしくは検査する機能
を具備しているので、目視検査が不要になり、作業者の
負担が減少し、工程短縮などの効果がある。
【００２８】請求項３の発明によると、請求項２の発明
において、塗布形状の測定もしくは検査にレーザ測長器
を用いたので、微小な塗布クレータを高分解能で形状測
定できることにより、欠陥ワークの検出を自動で行う効
果がある。
において、塗布形状の測定もしくは検査にレーザ測長器
を用いたので、微小な塗布クレータを高分解能で形状測
定できることにより、欠陥ワークの検出を自動で行う効
果がある。
【００２９】請求項４の発明によると、請求項２の発明
において、塗布形状の測定もしくは検査にＣＣＤカメラ
による画像処理を用いたので、ＣＣＤカメラによる画像
処理を用いた塗布形状計測を行うことにより、欠陥ワー
クの検出を自動で行うことができる。
において、塗布形状の測定もしくは検査にＣＣＤカメラ
による画像処理を用いたので、ＣＣＤカメラによる画像
処理を用いた塗布形状計測を行うことにより、欠陥ワー
クの検出を自動で行うことができる。
【００３０】請求項５の発明によると、請求項２の発明
において、塗布形状の良否判定結果をもとに不良ワーク
の補正を自動で行うようにしたので、自動で不良ワーク
の検出を行い、検出された不良ワークを自動で補正を行
うことにより、人手による補正作業が不要になり、工程
短縮の効果がある。
において、塗布形状の良否判定結果をもとに不良ワーク
の補正を自動で行うようにしたので、自動で不良ワーク
の検出を行い、検出された不良ワークを自動で補正を行
うことにより、人手による補正作業が不要になり、工程
短縮の効果がある。
【００３１】請求項６の発明によると、請求項２の発明
において、ＣＣＤカメラ撮像用にＸ軸方向２方向、Ｙ軸
方向２方向の計４方向からフラッシュ照明を配置し、照
明とカメラの同期をとるようにしたので、ＣＣＤカメラ
でクレータ状の欠陥を検出できる。
において、ＣＣＤカメラ撮像用にＸ軸方向２方向、Ｙ軸
方向２方向の計４方向からフラッシュ照明を配置し、照
明とカメラの同期をとるようにしたので、ＣＣＤカメラ
でクレータ状の欠陥を検出できる。
【図１】 本発明による銀ペースト塗布装置構成図であ
る。
る。
【図２】 請求項１記載のペースト塗布装置（側面図）
である。
である。
【図３】 レーザヘッドを取り付けた塗布装置である。
【図４】 計測用ＣＣＤカメラを取り付けた塗布装置で
ある。
ある。
【図５】 フラッシュ照明配置図である。
【図６】 クレータ状欠陥図である。
【図７】 クレータの撮像図である。
１…ＣＣＤカメラ、２…ＣＣＤカメラ固定用ブラケッ
ト、３…垂直シリンジ、４…垂直シリンジ固定用ブラケ
ット、５…垂直ニードル、６…シリンジ固定用ブラケッ
ト、７…Ｚ軸ステージ、８…斜めシリンジ、９…斜めシ
リンジ固定用ブラケット、１０…斜めニードル、１１…
θ軸ステージ、１２…Ｙ軸ステージ、１３…Ｘ軸ステー
ジ、１４…ベース、１５…照明、１６…照明固定用ブラ
ケット、１７…ワーク（ＰＺＴ方式インクジェットヘッ
ド）、１８…シリンジ、１９…ブラケットＹ軸ステー
ジ、２０…シリンジホルダー、２１…ブラケットＹ軸ス
テージ、２２…シリンジホルダー、２３，２４…照明、
２５…レーザ測長器ヘッド、２６…検査用ＣＣＤカメ
ラ、２７…フラッシュ照明、２８…ＰＺＴ、２９…銀ペ
ースト、３０…基板、３１…クレータ状欠陥。
ト、３…垂直シリンジ、４…垂直シリンジ固定用ブラケ
ット、５…垂直ニードル、６…シリンジ固定用ブラケッ
ト、７…Ｚ軸ステージ、８…斜めシリンジ、９…斜めシ
リンジ固定用ブラケット、１０…斜めニードル、１１…
θ軸ステージ、１２…Ｙ軸ステージ、１３…Ｘ軸ステー
ジ、１４…ベース、１５…照明、１６…照明固定用ブラ
ケット、１７…ワーク（ＰＺＴ方式インクジェットヘッ
ド）、１８…シリンジ、１９…ブラケットＹ軸ステー
ジ、２０…シリンジホルダー、２１…ブラケットＹ軸ス
テージ、２２…シリンジホルダー、２３，２４…照明、
２５…レーザ測長器ヘッド、２６…検査用ＣＣＤカメ
ラ、２７…フラッシュ照明、２８…ＰＺＴ、２９…銀ペ
ースト、３０…基板、３１…クレータ状欠陥。
Claims (6)
- 【請求項１】 高精度位置決め駆動が可能なステージで
構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持さ
れ、かつ、角度を自由に設置できるブラケットで支持さ
れたニードル付帯シリンジ（ディスペンサー）とからな
り、ワーク位置検出機構にＣＣＤカメラによる画像処理
を用いた、ＰＺＴ方式インクジェットヘッドの電極導通
及び電極形成に必要な精密塗布を可能にしたペースト塗
布装置において、前記ワーク支持機構が精密位置決め可
能な塗布送り用Ｘ軸ステージと原点復帰用の粗動Ｙ軸ス
テージの２軸で構成され、前記ニードル付帯シリンジを
２本支持できる構造をもつＺ軸駆動機構に各シリンジを
精密に駆動できるニードル付帯シリンジ位置決め駆動用
Ｙ軸ステージを２軸構成し、かつ、２軸独立制御が可能
な構造をもつことを特徴とするペースト塗布装置。 - 【請求項２】 請求項１のペースト塗布装置において、
ＰＺＴ端面電極と基板電極を接続する線引き塗布を行っ
た後（もしくは塗布と同時に）、その塗布形状を測定も
しくは検査する機能を具備したことを特徴とするペース
ト塗布装置。 - 【請求項３】 請求項２のペースト塗布装置において、
塗布形状の測定もしくは検査にレーザ測長器を用いたこ
とを特徴とするペースト塗布装置。 - 【請求項４】 請求項２のペースト塗布装置において、
塗布形状の測定もしくは検査にＣＣＤカメラによる画像
処理を用いたことを特徴とするペースト塗布装置。 - 【請求項５】 請求項２のペースト塗布装置において、
塗布形状の良否判定結果をもとに不良ワークの補正を自
動で行うことを特徴とするペースト塗布装置。 - 【請求項６】 請求項２のペースト塗布装置において、
ＣＣＤカメラ撮像用にＸ軸方向２方向、Ｙ軸方向２方向
の計４方向にフラッシュ照明を配置し、照明とカメラの
同期をとることを特徴とするペースト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32222796A JPH10137660A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | ペースト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32222796A JPH10137660A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | ペースト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10137660A true JPH10137660A (ja) | 1998-05-26 |
Family
ID=18141360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32222796A Pending JPH10137660A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | ペースト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10137660A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012104828A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Asm Assembly Automation Ltd | デュアルヘッドディスペンサを組み込んだダイボンダ |
| CN106111464A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-16 | 无锡溥汇机械科技有限公司 | 一种甩涂机支撑架 |
-
1996
- 1996-11-18 JP JP32222796A patent/JPH10137660A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012104828A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Asm Assembly Automation Ltd | デュアルヘッドディスペンサを組み込んだダイボンダ |
| TWI458024B (zh) * | 2010-11-08 | 2014-10-21 | Asm Assembly Automation Ltd | 包含有雙頭滴塗器的晶粒鍵合機 |
| EP2450947A3 (en) * | 2010-11-08 | 2017-05-10 | ASM Assembly Automation Ltd. | Die bonder incorporating dual-head dispenser |
| CN106111464A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-16 | 无锡溥汇机械科技有限公司 | 一种甩涂机支撑架 |
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