KR20070014567A - 페이스트 도포기 및 그 제어방법 - Google Patents

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KR20070014567A
KR20070014567A KR1020050069330A KR20050069330A KR20070014567A KR 20070014567 A KR20070014567 A KR 20070014567A KR 1020050069330 A KR1020050069330 A KR 1020050069330A KR 20050069330 A KR20050069330 A KR 20050069330A KR 20070014567 A KR20070014567 A KR 20070014567A
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface

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Abstract

본 발명은 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하여 단선된 페이스트 패턴을 수정할 수 있는 페이스트 도포기 및 그 제어방법에 관한 것이다.
본 발명은 소정의 페이스트 패턴이 형성되는 기판, 상기 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 상기 기판상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되는 헤드유닛, 상기 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 제2측정센서, 그리고 상기 제2 측정센서의 측정결과에 따라 도포된 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 페이스트를 다시 도포하도록 하는 제어부로 구성되는 페이스트 도포기 및 그 제어방법을 제공한다.
본 발명에 의하면, 한 대의 페이스트 도포기로 페이스트 패턴을 도포하고, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하여 단선된 페이스트 패턴을 수정함으로써 제품의 불량 발생율을 최소화할 수 있다.
페이스트 도포기, 노즐, 기판, 스테이지, 단선, 수정

Description

페이스트 도포기 및 그 제어방법{Paste Dispenser and Controlling method for the same}
도 1은 본 발명에 따른 페이스트 도포기에 관한 일 실시예의 구성을 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 도1의 페이스트 도포기를 제어하기 위한 구성을 나타내는 블럭도.
도 3은 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위한 구성을 나타내는 모식도.
도 4는 본 발명에 따른 페이스트 도포기를 제어하는 방법을 나타내는 흐름도.
도 5은 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 방법을 나타내는 흐름도.
도 6은 단선된 페이스트 패턴을 수정하는 상태를 나타내는 도면.
도 7은 본 발명에 따른 페이스트 도포기에 관한 다른 실시예의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도.
도 8은 도7의 헤드유닛을 나타내는 정면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
3 : 모터 컨트롤러 10 : 프레임(frame)
12 : 기판 20 : 지지대
30 : 스테이지 Y축 이동장치 40 : 스테이지(stage)
50 : 헤드유닛 51 : 노즐
53 : 페이스트 수납통 55 : 제1측정센서
60 : 얼라인 커메라 70 : 제어부
80 : 입출력수단 90 : 계측수단
100 : 메인 컴퓨터 200 : 제2 측정센서
본 발명은 페이스트 도포기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 페이스트 패턴을 형성한 후 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하여 단선된 패턴을 수정할 수 있는 페이스트 도포기 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 페이스트 도포기는 기판의 접착 또는 실링을 위하여 각종 페이스트를 기판에 소정 형상으로 도포하는 장치이다.
페이스트 도포기는 기판이 흡착되는 스테이지와, 상기 기판에 페이스트를 토출하는 노즐을 가지는 헤드 유닛으로 구성된다. 그리고, 헤드 유닛에는 페이스트를 담는 페이스트 수납통이 설치되고, 상기 페이스트 수납통은 상기 노즐과 연결되어 있다.
페이스트 도포기는 기판과 노즐의 상대위치 관계를 변화시켜 가면서 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다. 기판이 탑재되는 스테이지는 스테이지 구동장치에 의하여 이동된다. 노즐은 헤드유닛에 장착되고, 상기 헤드유닛은 지지대에 장착되어 이동된다.
상기 페이스트 패턴을 형성하는 동안 페이스트 수납통의 페이스트가 소진되면 페이스트 수납통 및 노즐이 교체된다.
페이스트 패턴의 형성이 완료되면, 페이스트 도포기는 소정의 페이스트 패턴이 형성 되었는지를 확인하기 위하여 도포된 페이스트 패턴의 선폭 및 단면적을 측정한다. 페이스트 패턴의 선폭 및 단면적의 측정이 완료되면, 페이스트 패턴을 형성하는 공정이 종료된다.
또한, 종래 기술에서는 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위하여 작업자가 별도의 단선 검사기를 사용하여 상기 페이스트 패턴에 단선(斷線)이 존재하는지를 검사한다. 그러나, 단선검사기를 사용하여 페이스트 패턴에 존재할 수 있는 단선을 확인하더라도 작업자는 단선검사기를 사용하여 단선된 페이스트 패턴을 정밀하게 수정할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 종래 기술에서는 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위하여 작업자가 일반 카메라를 사용하기도 한다. 일반 카메라를 사용하는 경우에는 대형크기의 기판에 형성된 패턴에 존재하는 단선을 확인하는데 많은 시간이 소요되며, 정확성이 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 일반 카메라를 사용하여 페이스트 패턴에 존재할 수 있는 단선을 확인하는 경우에는 단선이 발생된 지점의 정확한 좌표를 알지 못하기 때문에 단선된 페이스트 패턴을 수정하기 위해서는 페이스 트 패턴 전체를 다시 도포해야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하고, 단선이 존재하는 페이스트 패턴을 정밀하게 수정할 수 있는 페이스트 도포기 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 도포된 페이스트 패턴에 존재할 수 있는 단선을 빠르고 정확하게 측정하여 수정함으로써 공정시간을 단축시킬 수 있는 페이스트 도포기 및 그 제어방법을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 소정의 페이스트 패턴이 형성되는 기판, 상기 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 상기 기판상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되는 헤드유닛, 상기 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 제2측정센서, 그리고 상기 제2 측정센서의 측정결과에 따라 도포된 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 페이스트를 다시 도포하도록 하는 제어부로 구성되는 페이스트 도포기를 제공한다.
상기 페이스트 도포기는 상기 헤드유닛이 장착되는 제1지지대와 상기 제2측정센서가 장착되는 제2지지대를 갖는 지지대를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제2측정센서는 페이스트 패턴이 도포되는 기판의 상면과 대향하는 제2지지대의 하면에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제2지지대는 상기 페이스트 패턴이 도포되는 동안에는 정지상태에 있고, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정할 때는 Y축 방향으로 이동되는 것이 바람직하다.
물론, 상기 제2측정센서는 상기 헤드유닛에 설치될 수도 있다. 그리고, 상기 제2측정센서는 화상인식장치인 것이 바람직하다.
상기 제어부는 기판상에 페이스트 패턴을 도포하는 경우와 도포된 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 다시 페이스트를 도포하는 경우에 있어서 동일한 정밀도를 가지면서 페이스트가 도포되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 페이스트 도포기는 상기 기판에 실제로 도포된 페이스트 패턴의 선폭을 측정하는 제1측정센서를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시형태에 의하면, 본 발명은 소정 형상의 페이스트 패턴을 도포하기 위하여 기판을 반입하는 단계, 반입된 기판에 페이스트 패턴을 도포하는 단계, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 단계, 그리고 측정결과에 따라 상기 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 페이스트를 다시 도포하여 단선된 페이스트 패턴을 수정하는 단계를 포함하는 페이스트 도포기의 제어방법을 제공한다.
상기 단선이 존재하는지를 측정하는 단계는 도포된 페이스트 패턴에 대한 이미지 데이터를 획득하는 단계, 상기 이미지 데이터를 기반으로 단선된 지점의 위치를 파악하는 단계, 그리고 상기 이미지 데이터를 기반으로 페이스트 패턴의 수정여부를 결정하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 이미지 데이터를 획득하는 단계는 제2측정센서가 설치된 지지대를 Y축방향으로 이동시키면서 도포된 페이스트 패턴을 촬영하는 것이 바람직하다.
물론, 상기 이미지 데이터를 획득하는 단계는 제2측정센서가 설치된 헤드유닛을 도포된 페이스트 패턴의 좌표를 따라 이동시키면서 상기 페이스트 패턴을 촬영할 수도 있다.
그리고, 페이스트 패턴을 도포하는 단계와 페이스트 패턴을 수정하는 단계에서 페이스트를 도포할 때 페이스트 도포기는 동일한 정밀도를 가지고 제어되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 페이스트 도포기의 제어방법은 상기 기판에 실제로 도포된 페이스트 패턴의 선폭을 측정하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 상기의 목적을 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1을 참조하여, 본 발명에 따른 페이스트 도포기에 관한 일 실시예의 구성을 설명하면 다음과 같다.
프레임(10)의 상부에는 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 테이블(30)이 설치되며, 상기 Y축 테이블(30)에는 θ축 방향으로 회전 가능한 θ축 이동장치(미도시)가 설치되고, 상기 Y축 테이블(30)의 상부에는 기판이 흡착되는 스테이지(40)가 설치된다. 물론, 상기 프레임(10)의 상부에는 X축 방향으로 이동 가능한 X축 테이블이 설치될 수도 있다.
또한, 상기 프레임(10)의 상부에는 Y축 방향으로 이동가능한 지지대(21,22) 가 설치된다. 상기 지지대는 헤드유닛(50)이 장착되는 제1 지지대(21)와 최소한 한 개 이상의 제2측정센서(200)가 설치되는 제2지지대(22)로 구성된다.
최소한 한 개 이상의 헤드유닛(50)은 상기 제1지지대에 장착된 상태에서 X축 방향으로 이동되며, 상기 헤드유닛에는 페이스트를 토출하는 노즐(51)이 설치된다.
또한, 상기 헤드유닛(50)에는 도포된 페이스트 패턴이 도포하고자 하는 선폭을 가지는지를 측정하는 제1측정센서(55)가 설치된다. 상기 제1측정센서로는 화상인식장치가 사용되며, 상기 제1측정센서(55)는 도포된 페이스트 패턴 중 임의의 지점을 인식하여 페이스트 패턴의 선폭을 측정한다.
물론, 상기 헤드유닛에는 도포된 페이스트 패턴이 도포하고자 하는 단면적을 가지는지를 측정하는 단면적 측정센서가 별도로 설치될 수도 있다.
상기 제2지지대(22)에는 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 확인하기 위한 제2측정센서(200)가 설치된다. 상기 제2측정센서(200)는 페이스트 패턴이 도포되는 기판의 상면과 대향하는 제2지지대(22)의 하면에 고정되어 설치된다. 물론, 상기 제2측정센서(200)는 상기 기판의 상면을 촬영할 수 있는 위치라면 상기 제2지지대 중의 어떤 위치에 설치되어도 무방하다. 예를 들면, 상기 제2측정센서는 제2지지대의 전면으로 돌출되어 설치될 수 있다.
상기 제2측정센서(200)로는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라와 같은 화상인식장치가 사용된다. CCD 카메라는 상기 CCD 카메라에 내장된 CCD 센서의 각 셀이 어떠한 어레이(array)로 배치되어 영상을 생성하느냐에 따라 에어리어(area) 스캔, 라인(line) 스캔 방식 등으로 나누어 진다. 본 실시예에서 사용되는 CCD 카메라는 라인 스캔이 사용되지만, 이에 한정되지는 않는다. 상기 라인 스캔 방식의 CCD카메라는 한 번에 한 라인씩 노출 및 전송하는 방식으로 매 라인을 임의의 속도로 받을 수 있다.
상기 CCD 카메라는 렌즈의 크기 등에 따라 촬영할 수 있는 일정한 각도를 가진다. 물론, 피사체와의 거리에 의하여 상기 CCD카메라의 촬영각도가 결정되기도 한다. 따라서, 기판에 도포된 페이스트 패턴을 촬영하기 위하여 설치되는 CCD카메라의 개수는 상기 카메라 렌즈의 크기 뿐만 아니라 기판과의 거리 등에 의해서 설정된다.
본 실시예에 따른 페이스트 도포기에 있어서, 상기 제2측정센서(200)는 상기 기판의 상면과의 거리 및 카메라의 촬영각도 등을 고려하여, 상기 기판의 X축 방향의 폭이 상기 제2측정센서의 촬영범위에 모두 포함되도록 설치된다.
따라서, 상기 기판이 정지된 상태에서 상기 제2지지대(22)를 Y축 방향으로 이동시키면, 상기 제2측정센서(200)는 기판 위에 도포된 모든 페이스트 패턴을 촬영하게 된다. 즉, 상기 제2 지지대(22)는 상기 페이스트 패턴이 도포되는 동안에는 정지상태에 있고, 상기 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정할 때는 Y축방향으로 이동한다.
물론, 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정할 때 상기 제2지지대가 정지되고, 기판이 이동될 수도 있다. 또한, 상기 제2지지대는 기판을 스테이지에 반입하거나 반출할 때 소정의 공간을 확보하기 위하여 Y축으로 이동되기도 한다.
상기 제1 및 제2 지지대(21,22)에는 스테이지에 흡착된 기판의 위치를 설정 할 때 사용되는 얼라인 카메라(60)가 설치된다. 또한, 상기 스테이지(40)의 앞, 뒤에는 교체된 노즐의 위치를 설정할 때 사용되는 계측수단(90)이 설치된다. 물론, 상기 계측수단(90)으로는 카메라와 같은 화상인식장치 등이 사용될 수 있다.
페이스트 도포기를 제어하는 제어부(70)는 상기 페이스트 도포기의 운전에 필요한 운전정보를 입출력하는 입출력수단(80)과 연결된다. 또한, 제어부(70)는 메인 컴퓨터(100)에서 작성된 페이스트 패턴에 관한 정보를 입출력수단(80)을 경유하여 전달 받을 수도 있다.
도 2는 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 전체 제어구성에 관한 블럭도이며, 도 3은 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위한 제어 구성을 개략적으로 나타내는 모식도이다.
도 2 및 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 페이스트 도포기를 제어하기 위한 구성을 설명한다.
중앙처리장치를 구비하는 제어부(70)는 모터 컨트롤러(3), 입출력수단(80) 그리고 메인 컴퓨터(100)와 각각 연결된다. 그리고, 상기 제어부(70)는 도포된 페이스트 패턴의 선폭을 측정하기 위한 제1측정센서(55)와 연결되고, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위한 제2측정센서(200)와 연결된다.
상기 모터 컨트롤러(3)에는 Y, θ축 테이블의 운동을 제어하는 Y축 드라이버(3a), θ축 드라이버(3b)가 연결된다. 그리고, 상기 모터 컨트롤러(3)에는 헤드유닛을 X축으로 이동시키기 위한 X축 드라이버(3c)가 연결된다. 물론, 복수개의 헤드유닛이 구비된 경우에는 상기 헤드유닛을 X축으로 이동시키기 위한 X축 드라이버가 각각 구비된다.
또한, 상기 모터 컨트롤러에는 노즐을 Y축, Z축, ZZ축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 드라이버(3d), Z축 드라이버(3e), ZZ축 드라이브(3f)가 각각 연결된다. 뿐만 아니라, 상기 모터 컨트롤러에는 지지대를 Y축으로 이동시키기 위한 Y축 드라이버(3g)가 연결된다. 여기서, 상기 ZZ축은 Z축과 실질적으로 동일한 방향을 나타내지만 노즐의 초기 위치를 설정하는 과정에 있어서 노즐을 미세하게 움직일 때 사용되는 축을 의미한다.
상기 모터 컨트롤러에는 노즐 자체를 X축 방향으로 이동시키기 위한 노즐용 X축 드라이버가 구비될 수도 있고, 스테이지를 X축 방향으로 이동시킬수 있는 스테이지용 X축 드라이버가 구비될 수도 있다.
도 3을 참조하면, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 제2측정센서(200)는 상기 제2측정센서에서 측정된 데이터를 처리하는 보조 컴퓨터(73)와 연결된다. 여기서, 상기 제2측정센서(200)는 기판에 대하여 이동함으로써 도포된 페이스트 패턴을 촬영하고, 상기 촬영된 페이스트 패턴에 대한 데이터는 보조 컴퓨터(73)로 전송되어 처리된다.
보조 컴퓨터(73)는 상기 보조 컴퓨터에서 처리된 데이터가 저장되는 메인 컴퓨터(100)와 연결된다. 상기 메인 컴퓨터(100)에는 상기 이미지 데이터에 대한 정보가 저장되는 메모리가 내장되어 있다.
도 4는 본 발명에 따른 페이스트 도포기를 제어하는 방법을 나타내는 흐름도이고, 도 5는 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위한 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 페이스트 도포기의 제어방법을 설명한다.
작업자는 먼저 도포하고자 하는 페이스트 패턴에 대한 패턴 데이터를 입력한다. 그리고, 작업자는 상기 페이스트 패턴에 적합한 도포조건을 설정한다. 상기 도포조건이 설정되면, 실제 기판이 반입되어 스테이지에 흡착된다(S10).
여기서, 패턴 데이터라 함은 상기 페이스트 패턴의 위치데이터를 의미한다. 그리고, 도포조건이라 함은 페이스트를 토출하기 위한 페이스트에 가해지는 압력, 페이스트가 토출될 때 기판에 대한 노즐의 상대이동속도, 노즐과 기판 사이의 높이 등을 포함한다. 상기 패턴 데이터 및 도포조건을 입력하는 과정은 상기 기판이 페이스트 도포기 내로 반입되기 전에 수행되어도 무방하다.
기판이 반입되고 나면, 페이스트 도포기는 얼라인 카메라를 사용하여 기판의 위치를 파악하고, 구동장치를 사용하여 상기 기판의 위치를 정위치로 설정한다. 그리고, 페이스트 도포기는 노즐과 기판을 이동시키면서 기판상에 페이스트 패턴을 도포한다. 이때 제1 및 제2 지지대는 고정되어 있으며, 스테이지는 Y축 방향으로 이동하고, 헤드유닛은 X축 방향으로 이동한다(S20).
페이스트 패턴이 형성되고 나면, 페이스트 도포기는 제1측정센서를 사용하여 도포된 페이스트 패턴의 선폭을 측정한다(S30). 물론, 페이스트 도포기는 단면측정센서를 사용하여 도포된 페이스트 패턴의 단면적을 측정할 수도 있다.
다음으로, 페이스트 도포기는 제2측정센서를 사용하여, 도포된 페이스트 패 턴에 단선이 존재하는지를 측정한다(S40). 이 때 페이스트 도포기는 제2지지대를 Y축방향으로 기판의 일측 끝에서 타측 끝까지 이동시킨다. 그러면, 상기 제2지지대에 설치된 제2측정센서는 기판상에 도포된 페이스트 패턴 전체를 촬영하게 된다(S42).
다음으로, 상기 제2측정센서에서 촬영된 이미지 데이터는 보조 컴퓨터로 전송된다(S43). 상기 보조 컴퓨터는 전송된 이미지 데이터를 기반으로 페이스트 패턴에 대한 정보, 즉 단선유무 또는 선폭의 변화정도 등이 발생된 위치의 좌표를 산출하게 된다. 일례로 도 6은 페이스트 패턴 중 단선이 발생된 페이스트 패턴의 일부를 도시하고 있다. 이 때 보조 컴퓨터는 단선된 지점 T1, T2점의 좌표를 파악하게 된다.
상기 보조 컴퓨터에서 파악된 단선된 지점의 좌표는 메인 컴퓨터에 저장되고(S45), 상기 메인 컴퓨터는 상기 단선된 페이스트 패턴을 도포할 것인지에 대한 여부를 판단하게 된다(S46).
이 후에, 페이스트 패턴의 수정이 필요하다고 판단되면, 페이스트 도포기는 노즐과 기판을 이동시키면서 메인 컴퓨터에 저장된 단선지점으로 노즐이 위치되도록 한다. 그리고, 페이스트 도포기는 단선된 부분에만 페이스트를 토출함으로써 단선된 페이스트 패턴을 수정하게 된다(S50). 이때 페이스트 도포기는 최초에 페이스트 패턴을 도포할 때와 동일한 정밀도를 가지면서 단선된 페이스트 패턴을 수정하는 것이 바람직하다.
도 6에 도시된 바와 같이, 도포라인의 단선지점이 T1, T2이면, 페이스트 도 포기의 제어부는 노즐을 상기 단선지점의 일측과 동일한 좌표를 갖는 위치로 이동시킨 후에 페이스트가 토출되도록 한다. 상기 노즐의 위치는 T1과 대응되는 R1이 도포시작점이 될 수도 있고, T2와 대응되는 R2가 도포시작점이 될 수도 있다. 또한, 도포 시작점은 R11, R22가 될 수도 있다.
상술한 과정을 거쳐 페이스트 패턴 중 단선된 부분이 수정되면, 상기 페이스트 패턴이 형성된 기판은 페이스트 도포기의 외부로 반출된다(S60). 물론, 상기 제2측정센서를 사용하여 상기 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정한 결과 단선이 존재하지 않으면 별도의 수정과정은 불필요하게 된다.
도 7은 본 발명에 따른 페이스트 도포기에 관한 다른 실시예를 나타낸 도면이고, 도 8은 도 7에 도시된 페이스트 도포기에 장착된 헤드유닛의 정면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 페이스트 도포기에서는 상술한 일 실시예와는 달리 제2 측정센서(200)가 헤드유닛(500)에 장착되어 있다. 상기 헤드유닛에는 페이스트를 담고 있는 페이스트 수납통(53)이 설치되고, 상기 페이스트 수납통의 일측 끝단에는 노즐(51)이 설치된다.
또한, 상기 헤드유닛에는 상기 노즐을 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 모터(57)가 설치되어 있다. 상기 노즐과 근접한 위치에는 거리센서(52)가 설치되며, 상기 노즐을 중심으로 좌측에는 페이스트 패턴의 선폭을 측정하는 제1측정센서(55)가 설치된다. 또한, 상기 노즐을 중심으로 우측에는 페이스트 패턴의 단선유무를 측정하는 제2측정센서(200)가 설치된다. 물론, 상기 헤드유닛의 일측에는 도포된 페이스트 패턴의 단면적을 측정하는 단면적 측정센서(미도시)가 설치될 수도 있다.
상기 제2측정센서로는 마찬가지로 CCD(Charge Coupled Device) 카메라가 사용되며, 상기 CCD카메라는 광량에 의한 각 셀 내의 자유전하량의 변화를 전기적 신호로 변환하는 구조를 가진다.
상기 CCD 카메라는 도 8에 도시된 바와 같이 빛을 받아들이는 렌즈(210), 상기 렌즈의 내부에 설치되는 글래스(220), 상기 빛을 전기적 신호로 변환시키는 CCD 센서(230), 상기 CCD센서를 동작시키기 위한 드라이버가 설치된 세라믹 기판(240) 등을 포함하여 구성된다.
상기 렌즈(210)로부터 들어온 빛의 세기는 먼저 CCD 카메라의 내부에 내장된 CCD센서(230)에 기록된다. 이 때 촬영된 영상의 빛은 CCD 센서에 붙어 있는 필터에 의해 각기 다른 색으로 분리되고, 분리된 색은 CCD 센서를 구성하는 수십 만 개의 광센서에서 전기적 신호로 바뀐다. 상기 CCD 센서(230)에서 나온 아날로그 신호는 0과 1의 디지털 신호로 변환되어 영상 신호가 만들어지고, 액정 화면을 통해 나타나게 된다.
페이스트 패턴이 도포된 후에 상기 제2측정센서(200)는 도포된 페이스트 패턴의 좌표를 따라 이동되면서 상기 페이스트 패턴의 이미지를 촬영하게 된다. 촬영된 이미지 데이터를 보조 컴퓨터로 전송되고, 전송된 이미지 데이터 중에서 단선이 발생된 지점의 좌표는 메인 컴퓨터에 저장된다. 그리고, 상기 데이터를 기반으로 페이스트 도포기는 도포된 페이스트 패턴 중 단선된 부분에만 페이스트를 토출함으로써 단선된 페이스트 패턴을 수정하게 된다. 이때에도 페이스트 도포기는 최초에 페이스트 패턴을 도포할 때와 동일한 정밀도를 가지면서 단선된 페이스트 패턴을 수정하는 것이 바람직하다.
물론, 상기 제2측정센서가 헤드유닛에 설치되더라도, 상기 헤드유닛이 장착된 지지대 자체를 Y축 방향으로 이동시킴으로써 도포된 페이스트 패턴을 한번에 촬영할 수도 있다.
또한, 상기 제2 측정센서는 상기 헤드유닛이 장착된 제1 지지대의 하면에도 설치될 수 있다. 즉, 상기 제2측정센서는 페이스트 패턴이 도포되는 기판의 상면과 대향하는 제1 지지대의 하면에도 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 페이스트 도포기는 단선이 존재하는 페이스트 패턴을 수정하기 위하여 별도의 패턴 수정용 노즐을 구비할 수도 있다. 상기 별도의 패턴 수정용 노즐은 기존의 헤드유닛에 부착되지 않고, 별도의 패턴 수정용 헤드 유닛에 설치될 수도 있다.
본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 정신을 벗어나지 않고 변형이 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.
상술한 본 발명에 따른 페이스트 도포기는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 본 발명에 의하면, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하기 위한 제2 측정센서를 설치함으로써 한 대의 페이스트 도포기로 페이스트 패턴을 도포하고, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하고, 단선된 페이스트 패턴을 수정할 수 있는 이점이 있다.
둘째, 한 대의 페이스트 도포기로 페이스트 패턴을 도포하고, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하여 단선된 페이스트 패턴을 수정함으로써 불량상태의 페이스트 패턴이 형성된 제품을 줄일 수 있는 이점이 있다.
셋째, 본 발명에 의하면, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 확인하는데 소요되는 시간이 단축되며, 단선이 발생된 지점을 정확하게 파악하여 개별적으로 수정함으로써 페이스트 패턴 전체를 다시 도포하지 않아도 되는 이점이 있다.

Claims (14)

  1. 소정의 페이스트 패턴이 형성되는 기판;
    상기 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 상기 기판상에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되는 헤드유닛;
    상기 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 제2측정센서; 그리고,
    상기 제2 측정센서의 측정결과에 따라 도포된 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 페이스트를 다시 도포하도록 하는 제어부로 구성되는 페이스트 도포기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 헤드유닛이 장착되는 제1지지대와 상기 제2측정센서가 장착되는 제2지지대를 갖는 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2측정센서는 상기 헤드유닛에 설치되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2측정센서는 페이스트 패턴이 도포되는 기판의 상면과 대향하는 제2 지지대의 하면에 설치되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2지지대는 상기 페이스트 패턴이 도포되는 동안에는 정지상태에 있고, 도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정할 때는 Y축 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2측정센서는 화상인식장치인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제어부는 기판상에 페이스트 패턴을 도포하는 경우와 도포된 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 다시 페이스트를 도포하는 경우에 있어서 동일한 정밀도를 가지면서 페이스트가 도포되도록 하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 기판에 실제로 도포된 페이스트 패턴의 선폭을 측정하는 제1측정센서를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기.
  9. 소정 형상의 페이스트 패턴을 도포하기 위하여 기판을 반입하는 단계;
    반입된 기판에 페이스트 패턴을 도포하는 단계;
    도포된 페이스트 패턴에 단선이 존재하는지를 측정하는 단계;그리고,
    측정결과에 따라 상기 페이스트 패턴 중 단선된 부분에 페이스트를 다시 도포하여 단선된 페이스트 패턴을 수정하는 단계를 포함하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 단선이 존재하는지를 측정하는 단계는 도포된 페이스트 패턴에 대한 이미지 데이터를 획득하는 단계, 상기 이미지 데이터를 기반으로 단선된 지점의 위치를 파악하는 단계, 그리고 상기 이미지 데이터를 기반으로 페이스트 패턴의 수정여부를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이미지 데이터를 획득하는 단계는 제2측정센서가 설치된 지지대를 Y축방향으로 이동시키면서 도포된 페이스트 패턴을 촬영하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 이미지 데이터를 획득하는 단계는 제2측정센서가 설치된 헤드유닛을 도포된 페이스트 패턴의 좌표를 따라 이동시키면서 상기 페이스트 패턴을 촬영하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
  13. 제9항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    페이스트 패턴을 도포하는 단계와 페이스트 패턴을 수정하는 단계에서 페이스트를 도포할 때 페이스트 도포기는 동일한 정밀도를 가지고 제어되는 것을 특징으로 페이스트 도포기의 제어방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 헤드유닛에 장착된 제1측정센서를 사용하여 기판에 실제로 도포된 페이스트 패턴의 선폭을 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포기의 제어방법.
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