JPH10135412A - スルーホールチェーン抵抗の測定回路および方法 - Google Patents

スルーホールチェーン抵抗の測定回路および方法

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JPH10135412A
JPH10135412A JP28944696A JP28944696A JPH10135412A JP H10135412 A JPH10135412 A JP H10135412A JP 28944696 A JP28944696 A JP 28944696A JP 28944696 A JP28944696 A JP 28944696A JP H10135412 A JPH10135412 A JP H10135412A
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Shigeharu Ohira
茂晴 大平
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スルーホールチェーン抵抗内でオープン抵抗
となったスルーホール抵抗の箇所を特定できるスルーホ
ールチェーン抵抗の測定回路を提供する。 【解決手段】 2行×2列に配置された4つのスルーホ
ール抵抗1、2、3、4を連結してスルーホールチェー
ン抵抗が形成されている。定電流源6からスルーホール
チェーン抵抗に一定の直流電流を供給した状態で、行デ
コーダ31のビット線B1をオンにすると、行トランジ
スタ11、12、15、16の出力がそれぞれ行出力線
L1、行出力線L2、行出力線L3、行出力線L4に現
れる。列デコーダ32のワード線W1をオンにすると、
行出力線L1、L2の出力がそれぞれ列出力線R1、R
2に現れ、電圧計によりスルーホール抵抗1の端子間電
圧を測定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のスルーホー
ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗の測定回
路および方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は従来のスルーホールチェーン抵抗
の測定回路を示す図である。この測定回路は、4つのス
ルーホール抵抗a、b、c、dが連結されたスルーホー
ルチェーン抵抗に介装された電流源e、およびスルーホ
ールチェーン抵抗の所定の端子電圧V1、V2を測定す
るための電圧測定端子f、gから構成される。この測定
回路では、電流源eからスルーホールチェーン抵抗に一
定電流が供給され、電圧測定端子f、gで電位差V1−
V2を測定することによりスルーホールチェーン抵抗の
抵抗値が測定される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスルーホールチェーンの測定回路では、スルーホー
ルチェーン内に不良セル、つまりオープン抵抗となった
スルーホール抵抗があった場合、不良セルの箇所を特定
できないという問題があった。
【0004】そこで、本発明は、スルーホールチェーン
抵抗内でオープン抵抗となったスルーホール抵抗の箇所
を特定できるスルーホールチェーン抵抗の測定回路およ
び方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路は、行および列に位置する複数のスルーホー
ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を測定す
るスルーホールチェーン抵抗の測定回路において、前記
スルーホールチェーン抵抗に電流を供給する電流供給手
段と、前記各スルーホール抵抗に接続され、同一行の前
記スルーホール抵抗の端子間電圧を選択により同一の行
出力線に出力する行トランジスタと、同一列の前記行ト
ランジスタを同時に選択する行デコーダと、前記各行出
力線に接続され、該行出力線の電圧を選択により同一の
列出力線に出力する列トランジスタと、該列トランジス
タを選択する列デコーダと、前記列出力線の電圧を計測
する電圧計測手段とを備えたことを特徴とする。
【0006】請求項2に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路では、請求項1に係るスルーホールチェーン
抵抗の測定回路において前記行デコーダは、クロックを
計測する行カウンタを有し、該計測されたクロックの数
に応じて前記同一列の行トランジスタを同時に選択し、
前記列デコーダは、クロックを計測する列カウンタを有
し、該計測されたクロックの数に応じて前記列トランジ
スタを選択することを特徴とする。
【0007】請求項3に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路は、行および列に位置する複数のスルーホー
ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を測定す
るスルーホールチェーン抵抗の測定回路において、前記
スルーホールチェーン抵抗に電流を供給する電流供給手
段と、前記各スルーホール抵抗の両端に接続され、該ス
ルーホール抵抗の端子間電圧を測定するための電圧測定
端子とを備えたことを特徴とする。
【0008】請求項4に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路は、複数のスルーホール抵抗が連結されたス
ルーホールチェーン抵抗を測定するスルーホールチェー
ン抵抗の測定回路において、所定のスルーホール抵抗を
選択する選択回路と、該選択されたスルーホール抵抗の
端子間電圧を測定する測定回路とを備えたことを特徴と
する。
【0009】請求項5に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定方法は、行および列に位置する複数のスルーホー
ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を測定す
るスルーホールチェーン抵抗の測定方法において、前記
スルーホールチェーン抵抗に電流を供給し、前記各スル
ーホール抵抗に接続された行トランジスタを選択するこ
とにより同一行の前記スルーホール抵抗の端子間電圧を
同一の行出力線に出力る際、同一列の前記行トランジス
タを行デコーダにより同時に選択し、前記各行出力線に
接続された列トランジスタを選択することにより該行出
力線の電圧を同一の列出力線に出力する際、該列トラン
ジスタを列デコーダにより選択し、前記列出力線の電圧
を計測することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明のスルーホールチェーン抵
抗の測定回路の実施の形態について説明する。 [第1の実施の形態]
【0011】図1はスルーホールチェーン抵抗の測定回
路の構成を示す図である。2行×2列に配置された4つ
のスルーホール抵抗1、2、3、4を連結してスルーホ
ールチェーン抵抗が形成されている。スルーホールチェ
ーン抵抗には、定電流電源6が介装されている。また、
スルーホール抵抗1、3には、スルーホールチェーン抵
抗全体の電位差V1−V2を測定するための電圧測定端
子8、9が設けられており、電圧測定端子8、9に接続
された電圧計(図示せず)により電位差V1−V2が測
定される。
【0012】また、スルーホール抵抗1の両端には行ト
ランジスタ11、12、スルーホール抵抗2の両端には
行トランジスタ13、14が設けられており、行トラン
ジスタ11、13の出力は同一の行出力線L1に接続さ
れ、行トランジスタ12、14の出力は同一の行出力線
L2に接続されている。
【0013】同様に、スルーホール抵抗3の両端には行
トランジスタ15、16、スルーホール抵抗4の両端に
は行トランジスタ17、18が設けられており、行トラ
ンジスタ15、17の出力は同一の行出力線L3に接続
され、行トランジスタ16、18の出力は同一の行出力
線L4に接続されている。
【0014】行トランジスタ11、12、15、16の
ゲートは、行デコーダ31のビット線B1に共通に接続
されている。行トランジスタ13、14、17、18の
ゲートは、行デコーダ31のビット線B2に共通に接続
されている。
【0015】また、行出力線L1は列デコーダ32のワ
ード線W1にゲートが接続された列トランジスタ19に
接続され、行出力線L2はワード線W1にゲートが接続
された列トランジスタ20に接続されている。
【0016】同様に、行出力線L3は列デコーダ32の
ワード線W2にゲートが接続された列トランジスタ21
に接続され、行出力線L4はワード線W2にゲートが接
続された列トランジスタ22に接続されている。
【0017】列トランジスタ19、21の出力は列出力
線R1に接続され、列トランジスタ20、22の出力は
列出力線R2に接続され、列出力線R1、R2の端部に
設けられた電圧測定端子34、35に接続された電圧計
(図示せず)により選択されたスルーホール抵抗の電位
差V3−V4が測定される。
【0018】上記構成を有するスルーホールチェーン抵
抗の測定回路では、定電流源6からスルーホールチェー
ン抵抗に一定の直流電流が供給されると、スルーホール
チェーン抵抗全体の電位差V1−V2が電圧測定端子
8、9に接続された電圧計により測定される。電圧測定
端子8、9で測定された電位差V1−V2が所定電圧以
上である場合、つまりスルーホールチェーン抵抗内にオ
ープン抵抗があった場合、各スルーホール抵抗の端子間
電圧の測定が行われる。
【0019】行デコーダ31の入力端子31aに値0を
入力してビット線B1をオンにすると、行トランジスタ
11、12、15、16が同時にオンになり、それぞれ
の出力が行出力線L1、行出力線L2、行出力線L3、
行出力線L4に現れる。
【0020】つづいて、列デコーダ32の入力端子32
aに値0を入力してワード線W1をオンにすると、列ト
ランジスタ19、20がオンになり、行出力線L1、L
2の出力がそれぞれ列出力線R1、R2に現れる。した
がって、電圧計により電圧測定端子34、35間の電位
差V3−V4を測定することによりスルーホール抵抗1
の端子間電圧を測定することができる。
【0021】このように、行デコーダ31、列デコーダ
32によりビット線B1、B2、ワード線W1、W2の
組合せを変更することにより任意のスルーホール抵抗の
端子間電圧を測定することが可能である。したがって、
スルーホールチェーン抵抗にオープン抵抗があった場
合、そのスルーホール抵抗の箇所を特定することができ
る。
【0022】尚、上記実施の形態では、行デコーダ31
の入力端子31a、列デコーダ32の入力端子32aに
値0を入力することによりビット線B1、ワード線W1
をオンにし、値1を入力することによりビット線B2、
ワード線W2をオンにしていたが、値0、1を入力する
代わりにカウンタにクロックを入力することによりビッ
ト線、ワード線を選択するようにしてもよい。
【0023】図2は行デコーダ、列デコーダの入力端子
にカウンタが設けられたスルーホールチェーン抵抗の測
定回路を示す図である。この測定回路はカウンタ41、
42を有しており、その他の構成は前述の図1と同じで
ある。
【0024】入力端子41aにクロックが入力してカウ
ンタ41が値1を計数したとき、行デコーダ31の入力
端子31aに値0が入力されてビット線B1がオンにな
る。カウンタ41が値2を計数したとき、行デコーダ3
1の入力端子31aに値1が入力されてビット線B2が
オンになる。
【0025】同様に、入力端子42aにクロックが入力
してカウンタ42が値1を計数したとき、列デコーダ3
2の入力端子32aに値0が入力されてワード線W1が
オンになる。カウンタ42が値2を計数したとき、列デ
コーダ32の入力端子に値1が入力されワード線W2が
オンになる。
【0026】このように、カウンタ41、42の計数動
作を利用することにより任意のビット線、ワード線をオ
ンにすることができ、任意のスルーホール抵抗の端子間
電圧を測定することができる。したがって、スルーホー
ルチェーン抵抗内でオープン抵抗があった場合、その箇
所を特定できる。
【0027】また、上記実施の形態では、説明を簡単に
するために、2行×2列のスルーホールチェーン抵抗の
場合を示したが、より大規模なスルーホールチェーン抵
抗に適用できることはいうまでもない。一般に、2n
×2n 列のスルーホールチェーン抵抗でビット線、ワー
ド線を行デコーダ、列デコーダにより選択する場合、各
デコーダの入力端子はn個必要である。例えば、128
行×128行にスルーホール抵抗が配置されたスルーホ
ールチェーン抵抗の場合、各デコーダの入力端子は7個
必要となる。
【0028】上記のように、行デコーダ、列デコーダに
それぞれカウンタが設けられた場合、スルーホールチェ
ーン抵抗の規模に拘らず、入力端子の数はクロックが入
力されるカウンタの入力端子の数だけで済ますことがで
きる。[第2の実施の形態]
【0029】図3は第2の実施の形態におけるスルーホ
ールチェーン抵抗の測定回路の構成を示す図である。こ
の測定回路では、各スルーホール抵抗51、52、5
3、54の両端にそれぞれ電圧測定端子61、62、6
3、64、65、66、67、68が設けられている。
スルーホールチェーン抵抗に介装された定電流源76に
より一定の直流電流が供給されると、電圧測定端子6
1、65でスルーホールチェーン抵抗全体の電位差V1
−V5を測定する。測定された電位差V1−V5が所定
電圧以上である場合、つまりオープン抵抗がある場合、
各スルーホール抵抗51、52、53、54の両端の電
圧を電圧測定端子61、62、63、64、65、6
6、67、68で測定することにより、オープン抵抗と
なった箇所を特定することが可能である。
【0030】尚、上記実施の形態では、スルーホールチ
ェーン抵抗内でオープン抵抗となったスルーホール抵抗
を特定する場合を示したが、スルーホールチェーン抵抗
の代わりに、Nチャンネルトランジスタアレイ、Pチャ
ンネルトランジスタアレイ、CMOSトランジスタアレ
イなどで各セルを選択的に評価することも可能である。
【0031】
【発明の効果】本発明の請求項1に係るスルーホールチ
ェーン抵抗の測定回路によれば、行および列に位置する
複数のスルーホール抵抗が連結されたスルーホールチェ
ーン抵抗を測定する場合、電流供給手段により前記スル
ーホールチェーン抵抗に電流を供給し、前記各スルーホ
ール抵抗に接続された行トランジスタにより同一行の前
記スルーホール抵抗の端子間電圧を選択により同一の行
出力線に出力する際、行デコーダにより同一列の前記行
トランジスタを同時に選択し、前記各行出力線に接続さ
れた列トランジスタにより該行出力線の電圧を選択によ
り同一の列出力線に出力する際、列デコーダにより該列
トランジスタを選択し、電圧計測手段により前記列出力
線の電圧を計測するので、スルーホール抵抗の端子間電
圧を順番に測定することによりスルーホールチェーン抵
抗内でオープン抵抗となったスルーホール抵抗の箇所を
特定できる。しかも、行デコーダおよび列デコーダによ
りスルーホール抵抗の選択を簡単に行うことができる。
【0032】請求項2に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路によれば、前記行デコーダは、クロックを計
測する行カウンタを有し、該計測されたクロックの数に
応じて前記同一列の行トランジスタを同時に選択し、前
記列デコーダは、クロックを計測する列カウンタを有
し、該計測されたクロックの数に応じて前記列トランジ
スタを選択するので、スルーホールチェーン抵抗の規模
が大きくなってもスルーホール抵抗を選択するための入
力端子数の増加を防ぐことができる。
【0033】請求項3に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路によれば、行および列に位置する複数のスル
ーホール抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を
測定するスルーホールチェーン抵抗の測定回路におい
て、前記スルーホールチェーン抵抗に電流を供給する電
流供給手段と、前記各スルーホール抵抗の両端に接続さ
れ、該スルーホール抵抗の端子間電圧を測定するための
電圧測定端子とを備えたので、任意の電圧測定端子を選
択して端子間電圧を測定することによりオープン抵抗と
なったスルーホール抵抗の箇所を特定できる。
【0034】請求項4に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定回路によれば、複数のスルーホール抵抗が連結さ
れたスルーホールチェーン抵抗を測定するスルーホール
チェーン抵抗の測定回路において、所定のスルーホール
抵抗を選択する選択回路と、該選択されたスルーホール
抵抗の端子間電圧を測定する測定回路とを備えたので、
オープン抵抗となったスルーホール抵抗の箇所を特定で
きる。
【0035】請求項5に係るスルーホールチェーン抵抗
の測定方法によれば、行および列に位置する複数のスル
ーホール抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を
測定するスルーホールチェーン抵抗の測定方法におい
て、前記スルーホールチェーン抵抗に電流を供給し、前
記各スルーホール抵抗に接続された行トランジスタを選
択することにより同一行の前記スルーホール抵抗の端子
間電圧を同一の行出力線に出力する際、同一列の前記行
トランジスタを行デコーダにより同時に選択し、前記各
行出力線に接続された列トランジスタを選択することに
より該行出力線の電圧を同一の列出力線に出力する際、
該列トランジスタを列デコーダにより選択し、前記列出
力線の電圧を計測するので、スルーホール抵抗の端子間
電圧を順番に測定することによりスルーホールチェーン
抵抗内でオープン抵抗となったスルーホール抵抗の箇所
を特定できる。しかも、行デコーダおよび列デコーダに
よりスルーホール抵抗の選択を簡単に行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】スルーホールチェーン抵抗の測定回路の構成を
示す図である。
【図2】行デコーダ、列デコーダの入力端子にカウンタ
が設けられたスルーホールチェーン抵抗の測定回路を示
す図である。
【図3】第2の実施の形態におけるスルーホールチェー
ン抵抗の測定回路の構成を示す図である。
【図4】従来のスルーホールチェーン抵抗の測定回路を
示す図である。
【符号の説明】
1,2,3,4 スルーホール抵抗 6 定電流電源 11,12,13,14,15,16,17,18 行
トランジスタ 19,20,21,22 列トランジスタ 31 行デコーダ 32 列デコーダ 34,35,61,62,63,64,65,66,6
7,68 電圧測定端子 41,42 カウンタ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行および列に位置する複数のスルーホー
    ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を測定す
    るスルーホールチェーン抵抗の測定回路において、 前記スルーホールチェーン抵抗に電流を供給する電流供
    給手段と、 前記各スルーホール抵抗に接続され、同一行の前記スル
    ーホール抵抗の端子間電圧を選択により同一の行出力線
    に出力する行トランジスタと、 同一列の前記行トランジスタを同時に選択する行デコー
    ダと、 前記各行出力線に接続され、該行出力線の電圧を選択に
    より同一の列出力線に出力する列トランジスタと、 該列トランジスタを選択する列デコーダと、 前記列出力線の電圧を計測する電圧計測手段とを備えた
    ことを特徴とするスルーホールチェーン抵抗の測定回
    路。
  2. 【請求項2】 前記行デコーダは、クロックを計測する
    行カウンタを有し、該計測されたクロックの数に応じて
    前記同一列の行トランジスタを同時に選択し、 前記列デコーダは、クロックを計測する列カウンタを有
    し、該計測されたクロックの数に応じて前記列トランジ
    スタを選択することを特徴とする請求項1記載のスルー
    ホールチェーン抵抗の測定回路。
  3. 【請求項3】 行および列に位置する複数のスルーホー
    ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を測定す
    るスルーホールチェーン抵抗の測定回路において、 前記スルーホールチェーン抵抗に電流を供給する電流供
    給手段と、 前記各スルーホール抵抗の両端に接続され、該スルーホ
    ール抵抗の端子間電圧を測定するための電圧測定端子と
    を備えたことを特徴とするスルーホールチェーン抵抗の
    測定回路。
  4. 【請求項4】 複数のスルーホール抵抗が連結されたス
    ルーホールチェーン抵抗を測定するスルーホールチェー
    ン抵抗の測定回路において、 所定のスルーホール抵抗を選択する選択回路と、 該選択されたスルーホール抵抗の端子間電圧を測定する
    測定回路とを備えたことを特徴とするスルーホールチェ
    ーン抵抗の測定回路。
  5. 【請求項5】 行および列に位置する複数のスルーホー
    ル抵抗が連結されたスルーホールチェーン抵抗を測定す
    るスルーホールチェーン抵抗の測定方法において、 前記スルーホールチェーン抵抗に電流を供給し、 前記各スルーホール抵抗に接続された行トランジスタを
    選択することにより同一行の前記スルーホール抵抗の端
    子間電圧を同一の行出力線に出力する際、同一列の前記
    行トランジスタを行デコーダにより同時に選択し、 前記各行出力線に接続された列トランジスタを選択する
    ことにより該行出力線の電圧を同一の列出力線に出力す
    る際、該列トランジスタを列デコーダにより選択し、 前記列出力線の電圧を計測することを特徴とするスルー
    ホールチェーン抵抗の測定方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1251357A1 (de) * 2001-04-19 2002-10-23 Acam-messelectronic GmbH Widerstandsmessung
WO2003012857A1 (en) * 2001-07-31 2003-02-13 Xilinx, Inc. Testing vias and contacts in integrated circuit fabrication

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