JPH1012976A - レーザー発振装置 - Google Patents
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Abstract
ザー発振装置等に係わり、特に、低消費電力で動作させ
ることのできるレーザー発振装置等を提供することを目
的とする。 [構成] 本発明のペルチェドライブ部は、少なくとも
レーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備えた
レーザー発振装置に形成されたペルチェ素子を駆動する
ためのものであり、スイッチングレギュレータ部が、パ
ルス幅変調部(PWM)のデューティに応じた電圧を発
生させ、電流検出部が、ペルチェ素子に流れる電流を検
出し、Hブリッジ部が、ペルチェ素子に流れる電流の方
向を切り替える様になっており、Hブリッジ部は、Pチ
ャンネルFETとNチャンネルFETとから構成された
Hブリッジ部であって、PチャンネルFETに新たなN
チャンネルFETを並列に接続している。
Description
を使用したレーザー発振装置等に係わり、特に、低消費
電力で動作させることのできるレーザー発振装置等に関
するものである。
ザー発振装置が存在しており、多方面に応用されてい
た。
り、商用電源を使用するレーザー発振装置のみならず、
測量機等の様に、電池駆動により屋外で使用するレーザ
ー発振装置も多用されている。
0の具体例を図27に基づいて説明する。
ーザーヘッド1000と、レーザーダイオード(LD)
ドライブ部2000と、ペルチェドライブ部3000
と、非線形光学媒質(KTP)温度検出部4000と、
アナログ制御部5000とから構成されている。
ーダイオード1100と、レーザー結晶(YVO4)1
200と、非線形光学媒質1300と、出力ミラー(O
C)1400と、ペルチェ素子1500とから構成され
ている。
ーザー光を発生させるためのものであり、本従来例で
は、基本波を発生させるポンプ光発生装置として機能を
有する。
温度の媒質であり、光の増幅を行うためのものである。
このレーザー結晶(YVO4)1200には、発振線が
1064nmの(Nd:YVO4 )が採用されている。
VO4 )に限ることなく、Nd3+イオンをドープしたY
AG(イットリウム アルミニウム ガーネット)等が
採用することもできる。YAGは、946nm、106
4nm、1319nm等の発振線を有している。更に、
発振線が700〜900nmの(Ti:Sapphir
e)等を使用することもできる。
用レーザーダイオード1100側には、第1の誘電体反
射膜が形成されている。この第1の誘電体反射膜は、励
起用レーザーダイオード1100に対して高透過であ
り、且つ、レーザー結晶(YVO4)1200の発振波
長に対して高反射であると共に、SHG(SECOND
HARMONIC GENERATION)に対しても
高反射となっている。
電体反射膜が形成されたレーザー結晶(YVO4)12
00に対向する様に構成されており、出力ミラー(O
C)1400のレーザー結晶(YVO4)1200側
は、適宜の半径を有する凹面球面境の形状に加工されて
おり、第2の誘電体反射膜が形成されている。この第2
の誘電体反射膜は、レーザー結晶(YVO4)1200
の発振波長に対して高反射であり、SHG(SECON
D HARMONIC GENERATION)に対し
て高透過となっている。
200の第1の誘電体反射膜と、出力ミラー(OC)1
400とを組み合わせ、励起用レーザーダイオード11
00からの光束をレーザー結晶(YVO4)1200に
ポンピングすると、レーザー結晶(YVO4)1200
の第1の誘電体反射膜と、出力ミラー(OC)1400
との間で光が往復し、光を長時間閉じ込めることができ
るので、光を共振させて増幅させることができる。
O4)1200の第1の誘電体反射膜と、出力ミラー
(OC)1400とから構成された光共振器内に非線形
光学媒質1300が挿入されている。
る。
この電界が小さい場合には、分極は電界に比例するが、
レーザー光の様に強力なコヒーレント光の場合には、電
界と分極の間の比例関係が崩れ、電界の2乗、3乗に比
例する非線形的な分極成分が卓越してくる。
ては、光波によって発生する分極には、光波電界の2乗
に比例する成分が含まれており、この非線形分極によ
り、異なった周波数の光波間に結合が生じ、光周波数を
2倍にする高調波が発生する。この第2次高調波発生
(SHG)は、SECOND HARMONIC GE
NERATIONと呼ばれている。
を、レーザー結晶(YVO4)1200と出力ミラー
(OC)1400とから構成された光共振器内に挿入さ
れているので、内部型SHGと呼ばれており、変換出力
は、基本波光電力の2乗に比例するので、光共振器内の
大きな光強度を直接利用できると言う効果がある。
P(KTiOPO4 リン酸チタニル カリウム)やBB
O(βーBaB2O4 β型ホウ酸リチウム)、LBO
(LiB3O5 トリホウ酸リチウム)等が使用され、主
に、1064nmから532nmに変換される。
採用され、主に、946nmから473nmに変換され
る。
0000は、レーザーダイオード(LD)ドライブ部2
000が、励起用レーザーダイオード1100を直流定
電流駆動する。そして、非線形光学媒質(KTP)温度
検出部4000の検出信号に基づき、アナログ制御部5
000が、非線形光学媒質1300の温度が、レーザー
共振器を調整した時の所定の温度となる様に、ペルチェ
ドライブ部3000を制御する様に構成されている。ペ
ルチェドライブ部3000は、ペルチェ素子1500を
駆動して、非線形光学媒質1300の温度を、レーザー
共振器を調整した時の所定の温度に保持する様になって
いる。
は、単純なアナログ制御方法である。
D)ドライブ部2000は、図28に示す様に、トラン
ジスタ2100と、このトランジスタ2100のベース
(B)に接続された抵抗2200とから構成されてい
る。
ての機能を果たしており、アナログ制御部5000から
印加される入力電圧をコントロールすることにより、コ
レクタ(C)電流を制御し、電源部6000から励起用
レーザーダイオード1100に供給される電流をコント
ロールする様に構成されている。
は、図29に示す様に、NPNトランジスタ3100
と、PNPトランジスタ3200と、抵抗3300とか
ら構成されている。
の電源部6100、6200と、NPNトランジスタ3
100とPNPトランジスタ3200とを利用し、ペル
チェ素子1500に流れる電流の方向と大きさを制御す
ることができる。
励起用レーザーと異なる波長のレーザーを発振させるこ
とができるという特徴を有している。
来のレーザー発振装置では、機器に組込み電池駆動させ
る場合、消費電力が多く、使用時間が短く制限される傾
向があるという問題点があった。
とができ、消費電力を低下させて、連続使用時間等を飛
躍的に長期化させることのできるレーザー発振装置の出
現が強く望まれていた。
00では、レーザー共振器を調整した時の温度に保持す
る様に制御されるのみであり、周囲温度が調整時からず
れると、非線形光学媒質(KTP)の温度を、レーザー
共振器を調整した時の温度に保持させるために、ペルチ
ェドライブ部3000は、ペルチェ素子1500を駆動
する。
温度との温度差が大きくなるに従い、ベルチェ素子15
00に流れる電流も増大するという問題点があった。
要とする環境下では、バッテリー駆動が困難となるとい
う致命的な問題点があった。特に、測量機やレーザー機
器等の携帯型機器に対して、従来のレーザー発振装置1
0000を採用することは事実上、極めて困難であると
いう問題点があった。
変化し、初期調整時の温度とは異なる温度で効率よくグ
リーンレーザー光を発光する場合があり、この様な場合
には、上述のレーザー発振装置10000では対応する
ことができず、高効率なグリーンレーザー光を発生させ
ることができないという問題点があった。
用したレーザーダイオード(LD)ドライブ部2000
は、動作電流をあまり必要としない時、トランジスタ2
100が不飽和状態で動作しているため、トランジスタ
2100のコレクタ(C)、エミッタ(E)間の電圧を
VCE とし、コレクタ(C)電流をIC とすれば、
から発熱し、無駄な消費電力となるという問題点があっ
た。
も、レーザーダイオード(LD)ドライブ部2000と
同様に、トランジスタ3100又はトランジスタ320
0を不飽和状態で動作させているため、トランジスタ3
100又はトランジスタ3200のコレクタ(C)、エ
ミッタ(E)間の電圧をVCE とし、コレクタ(C)電
流をIC とすれば、
及びトランジスタ3200から発熱し、無駄な消費電力
となるという問題点があった。
却、発熱用の2つの電源部6100、6200を必要と
し、部品点数が増加してコスト高となる上、小型化がで
きないという問題点があった。
ブ部は、上記課題に鑑み案出されたもので、少なくとも
レーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備えた
レーザー発振装置に形成されたペルチェ素子を駆動する
ためのペルチェドライブ部であって、パルス幅変調部
(PWM)と、このパルス幅変調部(PWM)のデュー
ティに応じた電圧を発生させるためのスイッチングレギ
ュレータ部と、前記ペルチェ素子に流れる電流を検出す
るための電流検出部と、ペルチェ素子に流れる電流の方
向を切り替えるためのHブリッジ部とから構成されてい
る。
ともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備
えたレーザー発振装置であって、このレーザー発振装置
に形成されたペルチェ素子を駆動するためのペルチェド
ライブ部を備えており、このペルチェドライブ部は、上
記のペルチェドライブ部とすることができる。
ネルFETとNチャンネルFETとから構成されたHブ
リッジ部において、PチャンネルFETに新たなNチャ
ンネルFETを並列に接続している。
Hブリッジ部を使用することもできる。
ともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備
えたレーザー発振装置であって、このレーザー発振装置
に形成されたペルチェ素子を駆動するためのペルチェド
ライブ部を備えており、このペルチェドライブ部のHブ
リッジ部は、上記のHブリッジ部にすることもできる。
段は、少なくともレーザー結晶と出力ミラーとからなる
光共振器を備えたレーザー発振装置に形成された励起用
レーザーダイオードを駆動するためのレーザーダイオー
ド駆動手段であって、パルス幅変調部(PWM)と、こ
のパルス幅変調部(PWM)のデューティに応じた電圧
を発生させるためのスイッチングレギュレータ部と、前
記励起用レーザーダイオードに流れる電流を検出するた
めの電流検出部とから構成されている。
ともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備
えたレーザー発振装置であって、このレーザー発振装置
に形成された励起用レーザーダイオードを駆動するため
のレーザーダイオード駆動手段を備えており、このレー
ザーダイオード駆動手段は、上記のレーザーダイオード
駆動手段とすることもできる。
スドライブ部が、レーザーヘッドに一体化されて封入さ
れている。
レーザーダイオードと、LDパルスドライブ部と、レー
ザー結晶と、非線形光学媒質と、出力ミラーと、ペルチ
ェ素子とが封入されていてもよい。
ともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備
えており、この光共振器に挿入され、第2次高調波を発
生させるための非線形光学媒質と、前記光共振器に対し
てポンピングするための励起用レーザーダイオードとを
備えたレーザー発振装置であって、このレーザー発振装
置は、発振されたレーザー光を導くためのファイバーが
接続されており、このファイバー端には、光量検出手段
が形成されており、制御部が、前記光量検出手段の検出
信号に基づき、励起用レーザーダイオードの発光を制御
する様に構成されている。
ともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備
えており、この光共振器に挿入され、第2次高調波を発
生させるための非線形光学媒質と、前記光共振器に対し
てポンピングするための励起用レーザーダイオードとを
備えたレーザー発振装置であって、このレーザー発振装
置は、発振されたレーザー光を導くためのファイバーが
接続されており、このファイバー端には、光量検出手段
が形成されており、前記光共振器内には、内部光量検出
手段が設けられており、制御部が、前記光量検出手段及
び前記内部光量検出手段の検出信号に基づき、励起用レ
ーザーダイオードの発光を制御する構成になっている。
ルチェドライブ部は、少なくともレーザー結晶と出力ミ
ラーとからなる光共振器を備えたレーザー発振装置に形
成されたペルチェ素子を駆動するためのものであり、ス
イッチングレギュレータ部が、パルス幅変調部(PW
M)のデューティに応じた電圧を発生させ、電流検出部
が、ペルチェ素子に流れる電流を検出し、Hブリッジ部
が、ペルチェ素子に流れる電流の方向を切り替える様に
なっている。
ドライブ部は、上記のペルチェドライブ部とすることが
できる。
ネルFETとNチャンネルFETとから構成されたHブ
リッジ部であって、PチャンネルFETに新たなNチャ
ンネルFETを並列に接続している。
Hブリッジ部を使用することもできる。
ェ素子を駆動するためのペルチェドライブ部を備えてお
り、このペルチェドライブ部のHブリッジ部は、上記の
Hブリッジ部にすることもできる。
段は、スイッチングレギュレータ部が、パルス幅変調部
(PWM)のデューティに応じた電圧を発生させ、電流
検出部が、励起用レーザーダイオードに流れる電流を検
出する様になっている。
ーザーダイオードを駆動するためのレーザーダイオード
駆動手段を備えており、このレーザーダイオード駆動手
段は、上記のレーザーダイオード駆動手段とすることも
できる。
スドライブ部が、レーザーヘッドに一体化されて封入さ
れている。
レーザーダイオードと、LDパルスドライブ部と、レー
ザー結晶と、非線形光学媒質と、出力ミラーと、ペルチ
ェ素子とが封入されていてもよい。
器に挿入された非線形光学媒質が、、第2次高調波を発
生させ、励起用レーザーダイオードが、光共振器に対し
てポンピングし、接続されたファイバーが、発振された
レーザー光を導き、ファイバー端に光量検出手段を形成
し、制御部が、光量検出手段の検出信号に基づき、励起
用レーザーダイオードの発光を制御することもできる。
器内には、内部光量検出手段が設けられており、制御部
が、光量検出手段及び内部光量検出手段の検出信号に基
づき、励起用レーザーダイオードの発光を制御すること
もできる。
る。
000を示すもので、レーザー発振装置20000は、
レーザーヘッド100と、レーザーダイオード(LD)
電源部200と、ペルチェドライブ部300と、非線形
光学媒質(KTP)温度検出部400と、レーザーヘッ
ド内光量検出部500と、ファイバー端光量検出部60
0と、周囲温度検出部700と、制御部800とから構
成されている。
ダイオード110と、LDパルスドライブ部111と、
レーザー結晶(YVO4)120と、非線形光学媒質1
30と、出力ミラー(OC)140と、ペルチェ素子1
50と、第1のサーミスタ160と、第1のハーフミラ
ー170と、集光レンズ180と、第1のフォトダイオ
ード190とから構成されている。なお、LDパルスド
ライブ部111は、レーザーヘッド100と一体化され
ている。
ーザーダイオード110をパルス発光させると、レーザ
ー結晶(YVO4)120をポンピングすることができ
る。
ラー(OC)140とが、レーザー共振器を構成してお
り、光が、レーザー結晶(YVO4)120と出力ミラ
ー(OC)140との間を往復し、レーザー光が発生す
る。更に、レーザー結晶(YVO4)120と出力ミラ
ー(OC)140との間には、非線形光学媒質(KT
P)130が挿入されているので、第2次高調波を発生
させ、グリーンレーザー光を発生させることができる。
のハーフミラー170で分割され、第1のハーフミラー
170を透過した光は、集光レンズ180により、外部
のファイバー900に集光される。
トダイオード190を除き、その他の構成、及び作用等
は、前述の従来技術と同様であるから説明を省略する。
は、レーザーヘッド100内に装備されたLDパルスド
ライブ部111に電力を供給するためのものである。
ッド100内のペルチェ素子150を制御駆動するため
のものである。
0は、レーザーヘッド100内の第1のサーミスタ16
0の検出信号に基づき、非線形光学媒質(KTP)温度
を検出するためのものである。
ーザーヘッド100内の第1のハーフミラー170で反
射されたグリーンレーザー光を受光するための第1のフ
ォトダイオード190の検出信号に基づき、レーザーヘ
ッド100内で発生したグリーンレーザー光の光量を検
出するためのものである。即ち、レーザーヘッド内光量
検出部500は、第1のフォトダイオード190の検出
信号を増幅等した後、A/D変換を施し、制御部800
に送出する様に構成されており、レーザーヘッド100
内の発光状態を監視することができる。なお、第1のフ
ォトダイオード190は、内部光量検出手段に該当する
ものである。
ーヘッド100から外部に引き出されたファイバー90
0に接続された第2のハーフミラー910で反射された
グリーンレーザー光を受光するための第2のフォトダイ
オード920の検出信号に基づき、ファイバー900内
出射端のグリーンレーザー光の光量を検出するためのも
のである。即ち、ファイバー端光量検出部600は、第
2のフォトダイオード920の検出信号を増幅等した
後、A/D変換を施し、制御部800に送出する様に構
成されており、レーザー発振装置20000の出力を監
視することができる。なお、第2のフォトダイオード9
20は、光量検出手段に該当するものである。
たグリーンレーザー光は、レーザー発振装置20000
の外部に出力される。
するための第2のサーミスタ930の検出信号に基づ
き、周囲温度を検出するためのものである。即ち、周囲
温度検出部700は、第2のサーミスタ930の検出信
号を増幅等した後、A/D変換を施し、制御部800に
送出する様に構成されている。
段から構成されており、ファイバー端光量検出部600
からの検出データに基づき、グリーンレーザー光の光量
が一定になる様に、レーザーダイオード(LD)電源部
200を介してLDパルスドライブ部111を制御駆動
し、励起用レーザーダイオード110に流れる電流をコ
ントロールするものである。
(KTP)温度検出部400からの検出データに基づ
き、ペルチェドライブ部300を制御することにより、
ペルチェ素子150のペルチェ電流をコントロールし、
非線形光学媒質(KTP)130の温度を制御すること
ができる。
の温度変化による屈折率変化に起因するレーザー光出力
の変動を防止することができる。
0からの検出データに基づき、その周囲温度付近で、所
定のグリーンレーザー光の光量が得られる様に、フィー
ドバック制御を行い、総合的な消費電力が最も少なくな
る様に、非線形光学媒質(KTP)130の温度を制御
することができる。
共に、レーザー発振装置20000の全体の制御も司っ
ている。
イバー900端のグリーンレーザー光量を検出し、ファ
イバー900端出力に所望の出力が得られる様にフィー
ドバック制御を行う様になっている。このため、第2の
フォトダイオード920の故障や、ケーブル等の断線等
の異常が発生すると、ファイバー900端出力が増加す
る。
レーザー光を消灯する必要があるが、第2のフォトダイ
オード920のみでグリーンレーザー光を検出している
場合には、レーザーヘッド100が故障しているのか、
第2のフォトダイオード920が故障しているか、判断
する事はできない。
部500の第1のフォトダイオード190が存在してい
るので、レーザーヘッド100内の発光状況を監視する
ことができる上、第2のフォトダイオード920の故障
を判断することができる。
力があり、第2のフォトダイオード920に出力がない
場合には、フリーンレーザー光の消灯し、安全性の向上
を図ることができる。
基づいて詳細に説明する。
調部(PWM)310と、スイッチングレギュレータ部
320と、電流検出部330と、Hブリッジ部340と
から構成されている。
部800と電流検出部330とからの信号に基づき、0
〜100%の任意のデューティ(DUTY)の繰り返し
パルスを発生させ、スイッチングレギュレータ部320
に出力するものである。
(PWM)310を詳細に説明する。パルス幅変調部
(PWM)310は、D/A変換器311と、増幅器3
12と、三角波発生器313と、比較器314と、抵抗
315と、コンデンサ316とから構成されている。
換器311でDA変換され、電圧に変換される。この電
圧と電流検出部330で検出された電流値は、増幅器3
12と抵抗315とコンデンサ316とから構成された
積分回路に入力される。
力電圧と、電流検出部330で検出された電流値が電圧
に変換された値との差を積分し、出力された電圧は、三
角波発生器313からの三角波と比較してパルス幅変調
信号(PWM)となり、スイッチングレギュレータ部3
20に出力される様に構成されている。
A変換器311の出力電圧より小さい場合には、積分回
路の出力は上昇する様に動作し、比較器314の出力デ
ューティ(DUTY)が上昇し、スイッチングレギュレ
ータ部320の出力電圧も上昇して、ペルチェ素子15
0のペルチェ電流も増加する。なお、積分回路の出力電
圧は、D/A変換器311の出力電圧と、電流検出部3
30からの出力電圧とが等しくなるまで上昇する様にな
っている。
レータ部320を詳細に説明する。
チャンネルFET321と、ダイオード322と、コイ
ル323と、コンデンサ324とから構成されている。
ルス幅変調部(PWM)310からの繰り返しパルスの
デューティ(DUTY)に応じた電圧を出力するための
ものである。
力は、PチャンネルFET321のゲート端子に入力さ
れ、PチャンネルFET321をONにする。電源部か
ら供給された電流は、PチャンネルFET321とコイ
ル323とを流れ、コンデンサ324に充電される。
は、コイル323に蓄えられたエネルギーが、ダイオー
ド322を流れてコイル323に蓄えられる。
り返しパルスのデューティ(DUTY)により、コイル
323に蓄えられる電圧を制御することができ、この電
圧が、ペルチェ素子150を駆動する2次的な電源とな
る。
の出力電圧は、ペルチェ素子150に流す電流の方向を
切り替える機能を有するHブリッジ部340を介して、
ペルチェ素子150に供給される。
電流検出部330により検出され、パルス幅変調部(P
WM)310にフィードバックされる。なお、制御部8
00にもAD変換された後、送出される様に構成されて
いる。
スイッチングレギュレータ部320と電流検出部330
とHブリッジ部340とは、ペルチェ素子150に対す
る定電流ループの負帰還を構成しており、制御部800
が、その電流値を制御する様になっている。
のスイッチ素子に限定することなく採用することができ
る。
の制御信号により、ペルチェ素子150に流す電流の方
向を切り替え、非線形光学媒質(KTP)130に対し
て、単一電源で加熱・冷却動作を行うことができる。
て説明する。
ルFET7100と、第2のPチャンネルFET720
0と、第1のNチャンネルFET7300と、第2のN
チャンネルFET7400とから構成されている。
6の対角上に配置されたFETがONとなり、ペルチェ
素子150に電流を供給する様に構成されている。
動作させるには、Hブリッジの電源には、制御電圧がL
OWの場合に、PチャンネルFETを充分にONできる
ゲート・ソース電圧が得られるだけの電圧を必要とする
という問題点があった。
には、PチャンネルFETのゲートソース電圧が小さく
なり、PチャンネルFETがONになりきらず、ON抵
抗が大きい状態となってしまう。このため、Pチャンネ
ルFETでは熱損失が発生し、効率の悪いHブリッジと
なるという問題点があった。
部340を詳細に説明する。
示す様に、第1のNチャンネルFET341と、第1の
PチャンネルFET342と、第2のPチャンネルFE
T343と、第2のNチャンネルFET344と、第3
のNチャンネルFET345と、第4のNチャンネルF
ET346と、インバータ347とから構成されてい
る。
には、第1のNチャンネルFET341と、第1のPチ
ャンネルFET342と、第4のNチャンネルFET3
46とが、ONとなり、ペルチェ素子150に流れる電
流はaの方向となり、冷却動作となる。
は、第2のPチャンネルFET343と、第2のNチャ
ンネルFET344と、第3のNチャンネルFET34
5とがONとなり、ペルチェ素子150に流れる電流は
bの方向となり、加熱動作となる。
場合には、Hブリッジ部340の電源電圧は小さくな
り、PチャンネルFETのON抵抗は大きくなるが、こ
の時、PチャンネルFETに並列に接続されているNチ
ャンネルFETがONとなり、並列抵抗値を下げること
ができる。
は、NチャンネルFET側に流れることになり、Pチャ
ンネルFETの熱損失が発生しないという効果がある。
大きい場合には、ペルチェ素子150で発生する電圧が
大きくなり、PチャンネルFETに並列に接続されてい
るNチャンネルFETのON抵抗が上昇してONになり
きらない場合があるが、この時には、Hブリッジ部34
0の電源電圧も大きくなっており、PチャンネルFET
のON抵抗値も小さくなって充分ONとなり、Pチャン
ネルFETの熱損失が発生しないという効果がある。
なく、通常のトランジスタ等のスイッチ素子を採用する
ことができる。
ジ部340は、入力電圧の大小に係わりなく、効率のよ
いHブリッジを構成することができる。
ライブ部300は、スイッチングレギュレータ部320
やHブリッジ部340が、飽和領域或いは、遮断領域を
使用するために、制御素子の発熱が殆どなく、発熱によ
る無駄な電力を消費しないという効果がある。
子150に加えることができ、消費電力を減少させるこ
とができる。
タ部320は、降圧型であるが、降圧型に限ることな
く、昇圧型を採用することもできる。
(LD)電源部200について詳細に説明する。なお、
レーザーダイオード(LD)電源部200とLDパルス
ドライブ部111とが、レーザーダイオード駆動手段に
該当するものである。
は、パルス幅変調部(PWM)210と、スイッチング
レギュレータ部220と、電流検出部230とから構成
されている。
部800と電流検出部230とからの信号に基づき、0
〜100%の任意のデューティ(DUTY)の繰り返し
パルスを発生させ、スイッチングレギュレータ部220
に出力するものである。
(PWM)210を詳細に説明する。パルス幅変調部
(PWM)210は、D/A変換器211と、増幅器2
12と、三角波発生器213と、比較器214と、抵抗
215と、アナログスイッチ216と、コンデンサ21
7と、ロジック回路218とから構成されている。
換器211でDA変換され、電圧に変換される。この電
圧と電流検出部230で検出された電流値は、増幅器2
12と抵抗315とコンデンサ317とから構成された
積分回路に入力される。
力電圧と、電流検出部230で検出された電流値が電圧
に変換された値との差を積分し、出力された電圧は、三
角波発生器213からの三角波と比較してパルス幅変調
信号(PWM)となり、スイッチングレギュレータ部2
20に出力される様に構成されている。
A変換器211の出力電圧より小さい場合には、積分回
路の出力は上昇する様に動作し、比較器214の出力デ
ューティ(DUTY)が上昇し、スイッチングレギュレ
ータ部220の出力電圧も上昇して、励起用レーザーダ
イオード110の電流も増加する。なお、積分回路の出
力電圧は、D/A変換器211の出力電圧と、電流検出
部230からの出力電圧とが等しくなるまで上昇する様
になっている。
18は、グリーンレーザー光を点滅する時に、回路をホ
ールド状態にするためのものであり、制御部800から
制御される。
レータ部220を詳細に説明する。
チャンネルFET221と、ダイオード222と、コイ
ル223と、コンデンサ224とから構成されている。
ルス幅変調部(PWM)210からの繰り返しパルスの
デューティ(DUTY)に応じた電圧を出力するための
ものである。
の構成及び動作は、ペルチェドライブ部300のスイッ
チングレギュレータ部320と同様であるから、説明を
省略する。
電圧は、レーザーヘッド100内に装備されたLDパル
スドライブ部111に供給する。LDパルスドライブ部
111は、タイミング発生部240からのLDパルスド
ライブタイミング信号により、励起用レーザーダイオー
ド110をパルスドライブする。
オード110に流れる電流を検出し、パルス幅変調部
(PWM)210へ出力してフィードバック制御を実行
すると共に、制御部800にも出力される。
スイッチングレギュレータ部220と電流検出部230
と励起用レーザーダイオード110とが、定電流ループ
の負帰還を構成しており、制御部800が、その電流値
を制御する様になっている。
イブ部111を詳細に説明する。
サ111aと、バッファー111bと、FET111c
と、抵抗111dとから構成されている。
何れのスイッチ素子を採用することができる。
ュレータ部220からの電圧で充電されており、励起用
レーザーダイオード110へパルス電流を供給する2次
電源の機能を有する。
ッファー111bを介してFET111cのゲート端子
に入力され、励起用レーザーダイオード110へパルス
電流を供給する様になっている。
ーザーヘッド100内に配置されているので、コンデン
サ111aとバッファー111bとFET111cと抵
抗111dとを流れるパルス電流の回路配線長Cを短く
することができる。このため、回路のインダクタンス成
分を小さくすることができ、励起用レーザーダイオード
110を高速でパルス変調することができるという効果
がある。
て、ノイズ発生を抑えることができるという効果があ
る。
(LD)電源部200は、スイッチングレギュレータ部
220等の電流を制御する部分が、飽和領域或いは、遮
断領域を使用するために、制御素子の発熱が殆どなく、
発熱による無駄な電力を消費しないという効果がある。
ザーダイオード110に加えることができ、消費電力を
減少させることができる。
タ部220は、降圧型であるが、降圧型に限ることな
く、昇圧型を採用することもできる。
00等の電気的構成の内、ペルチェドライブ部300の
構成と同一の部分の構成及び動作は同様であるから、説
明を省略する。
び図12に基づいて詳細に説明する。図11はファイバ
ー端光量検出部600の電気的構成を説明したもので、
ファイバー端光量検出部600は、コイル610と、第
1のアナログスイッチ620と、第2のアナログスイッ
チ630と、第1のコンデンサ640と、第2のコンデ
ンサ650と、差動増幅器660と、インバータ670
とから構成されている。
ブされると、光共振器よりパルス状のグリーンレーザー
光がファイバー900の端部より出力される。
第2のハーフミラー910で一部反射され、第2のフォ
トダイオード920に入力される。第2のフォトダイオ
ード920は、レーザー発振装置20000の外部への
出力位置にあるため、ファイバーからのグリーンレーザ
ー光以外の太陽光等の外光が入射される。
らの出力電流は、コイル610に流される。コイル61
0は、パルス状のグリーンレーザー光に対しては、イン
ピーダンスが大きくなり、大きな電圧が発生するが、太
陽光等のDC光に対しては、インピーダンスが小さくな
り、小さな電圧しか発生しない。従って、外光による影
響は、コイル610を第2のフォトダイオード920の
負荷にすることにより除去することができる。
のタイミング発生部240から、図12(c)に示す様
な励起用パルス信号が発生すると、図12(d)及び図
12(e)に示す励起用パルス信号に同期したデューテ
ィ(DUTY)50%の信号が、第1のアナログスイッ
チ620と第2のアナログスイッチ630とに供給され
る。従って、グリーンレーザー光の発光タイミングに同
期して、第1のアナログスイッチ620と第2のアナロ
グスイッチ630とが、交互にON、OFFされること
になる。
常にグリーンレーザー光が発光している時にONとな
り、第2のアナログスイッチ630は、常にグリーンレ
ーザー光が発光していない時にONとなる様になってお
り、第1のアナログスイッチ620に接続されている第
1のコンデンサ640には、図12(f)に示す様に、
外光とグリーンレーザー光による第2のフォトダイオー
ド920の電流が充電されることになる。
続されている第2のコンデンサ650には、図12
(g)に示す様に、外光のみによる第2のフォトダイオ
ード920の電流が充電されることになる。
ナログスイッチ630のONの時間は、共に、デューテ
ィ(DUTY)50%の信号であり、外光の入力量は等
しくなっているので、差動増幅器660で増幅すること
により、外光を除去し、図12(h)に示す様に、グリ
ーンレーザー光のみを増幅抽出することができる。
0に送出され、制御部800は、差動増幅器660の出
力信号が一定となる様に、LDパルスドライブ部111
を制御する。
出部600は、ファイバー900の端部の出力光量を計
測して制御するので、太陽光等の外光に影響されること
なく、安定したレーザー出力を得ることができる。
する。
TP)130は、温度変化により屈折率が変化する。従
って、レーザー発振装置20000の出力光量も変化す
ることになる。
0の消費電流を一定とした場合の、温度変化とレーザー
出力との関係を示したものである。横軸が非線形光学媒
質(KTP)130の温度を表し、0℃から35℃まで
の範囲を示している。縦軸は、レーザー発振装置200
00の出力を示している。
と、レーザー発振装置20000の出力とは、線形等の
関係は存在せず、複数のピークを有する変化を伴ってい
る。
00の出力を一定とした場合の、温度変化と励起用レー
ザーダイオード110の消費電力との関係を示したもの
である。横軸が非線形光学媒質(KTP)130の温度
を表し、縦軸は、励起用レーザーダイオード110の消
費電力を示している。
と、励起用レーザーダイオード110の消費電力とは、
線形等の関係は存在せず、複数のピークを有する変化を
伴っている。
イブ部300を利用した温度制御手段の消費電力との関
係を示すものである。横軸が非線形光学媒質(KTP)
130の温度を表し、縦軸は、ペルチェドライブ部30
0を利用した温度制御手段の消費電力を示している。
制御手段は、最も消費電力が低い温度が存在し、この温
度から外れた状態となると消費電力が増大して行くこと
が判る。なお、図15は周囲温度をa度とし、励起用レ
ーザーダイオード110の発熱による非線形光学媒質
(KTP)130の温度上昇を△T℃として描いてい
る。周囲温度が変化すれば、図15のグラフは横方向に
シフトする。
ダイオード110の消費電力と、図15のペルチェドラ
イブ部300を利用した温度制御手段の消費電力とを加
え、合計した消費電力を示した図である。
ード110の消費電力と、図15のペルチェドライブ部
300を利用した温度制御手段の消費電力とを加えたも
のであるから、この図を観察すると、図14の励起用レ
ーザーダイオード110の消費電力が少ない温度でも、
図15のペルチェドライブ部300を利用した温度制御
手段の消費電力が多くなると、必ずしも最小の消費電力
とは言えず、これらの消費電力を加算した値が最も少な
い温度で作動させることが望ましいこととなる。
17に基づいて説明する。
で、本実施例のレーザー装置20000の電源を投入
し、スタートさせる。S1では、レーザーダイオード
(LD)電源部200が、LDパルスドライブ部111
を制御して励起用レーザーダイオード110を発光さ
せ、レーザー発振装置20000に対してポンピングす
る様になっている。この結果、光共振器であるレーザー
発振装置20000から、グリーンレーザー光が射出さ
れる。
検出部700からの周囲温度データを入力する。
た周囲温度から、励起ダイオ−ドの発熱による非線形光
学媒質(KTP)130の温度上昇△T℃を加味し加
熱、冷却する温度差(±S)を設定する。本実施例で
は、±Sを±7℃に設定されており、周囲温度が16℃
の場合には、△T=4℃とすれば非線形光学媒質(KT
P)130を20℃±7℃である13℃から27℃ま
で、加熱又は冷却する様に構成されている。
0をオートパワーコントロールを掛けながら駆動する。
即ち、制御部800が、ファイバー端光量検出部600
の検出信号に基づいて、レーザーダイオード(LD)電
源部200が、LDパルスドライブ部111を制御して
励起用レーザーダイオード110を駆動し、レーザー発
振装置20000から、一定の光強度でグリーンレーザ
ー光が射出される様に制御する。
レーザー光が射出される状態を維持しながら、ペルチェ
ドライブ部300が、ペルチェ素子150を制御駆動し
て、非線形光学媒質(KTP)130の温度を±S℃の
範囲で変化させる様になっている。更に、制御部800
は、レーザーダイオード(LD)電源部200から励起
用レーザーダイオード110の消費電力及び、ペルチェ
ドライブ部300からペルチェ素子150の消費電力を
計測する様になっている。
消費電力と、ペルチェ素子150の消費電力とを計測
し、非線形光学媒質(KTP)130の温度と、励起用
レーザーダイオード110の消費電力と、ペルチェ素子
150の消費電力との関係を測定する。
W1 とし、温度制御部700の消費電力をW2 とする。
置20000の最小消費電力を検索する。
なる非線形光学媒質(KTP)130の温度を決定す
る。ここで、Wの最も小さくなる非線形光学媒質(KT
P)130の温度をX℃とする。
冷却する温度差(±T)を設定する。本実施例では、±
Tを±2℃に設定されており、X℃が19℃の場合に
は、非線形光学媒質400を19℃±2℃である17℃
から21℃まで、加熱又は冷却する様になっている。
0をオートパワーコントロールを掛けながら続行して駆
動し、S9では、一定の光強度でグリーンレーザー光が
射出される状態を維持しながら、制御部800が、ペル
チェドライブ部300を制御駆動して、非線形光学媒質
(KTP)130の温度を±T℃の範囲で変化させる様
になっている。更に、制御部800は、レーザーダイオ
ード(LD)電源部200から励起用レーザーダイオー
ド110の消費電力及び、ペルチェドライブ部300か
らペルチェ素子150の消費電力を計測する様になって
いる。
消費電力と、ペルチェ素子150の消費電力とを計測
し、非線形光学媒質(KTP)130の温度と、励起用
レーザーダイオード110の消費電力と、ペルチェ素子
150の消費電力との関係を測定する。
W1 とし、温度制御部700の消費電力をW2 とする。
20000の最小消費電力を検索する。
なる非線形光学媒質(KTP)130の温度を決定す
る。ここで、Wの最も小さくなる非線形光学媒質(KT
P)130の温度をY℃とする。
ー装置20000の最小消費電力の温度が時間的な経過
と共に変動しても、最小な消費電力となる非線形光学媒
質(KTP)130の温度を追跡して決定することがで
きる。
線形光学媒質(KTP)130をY℃となる様に、ペル
チェドライブ部300がペルチェ素子150を制御すれ
ば、レーザー装置20000の消費電力を最小値となる
様に維持することができる。
ることができる。そして、本実施例は、温度検索範囲を
絞りこんで行くので、検索時間を最小にすることができ
る。即ち、±S℃の範囲では、高速に大まかな測定を行
い、次に、±T℃の範囲で、低速に細かな検索を行う様
に構成されている。また、広い温度範囲を高速に測定し
ようとしても、非線形光学媒質(KTP)130の温度
が均一にならないので、精密な測定が行えない点に注意
する必要がある。更に、±S℃、及び±T℃の2段階に
限ることなく、複数回の段階で処理してもよい。
光方法について説明する。
共振器について説明する。図18(a)、図18
(b)、図18(c)は、ゲインスイッチを示す模式図
であり、図18(a)は、時間と励起強度の関係を示す
図であり、図18(b)は、時間と光強度の関係を示す
図であり、図18(c)は時間と反転分布の関係を示す
ものである。
の後、最大の光強度が生じることが理解される。
分離して表示したものが、図19である。励起用レーザ
ーダイオード110に対して、連続波の駆動電力を供給
すれば、ファーストパルスに対応して最大の光強度が生
じ、その後、光強度が低下し、一定の光強度に収束する
から、光の取り出しが最も効率的である。従って、ファ
ーストパルスのみ使用することにする。
励起用レーザーダイオード110に対して、連続パルス
の駆動電力を供給した場合を説明する。
ド110に対する供給連続パルスの周期Tが、τFL<T
ーτの関係の場合である。ここでτFLは蛍光寿命であ
り、τはパルス幅である。
ーザーダイオード110に対する供給連続パルスの周期
Tが、τFL>Tーτの関係の場合である。
の間に、次のパルスを半導体レーザーに印加することに
より、残留した反転分布に新たな反転分布を加え、効果
的に最大の光強度を有する光のみを連続して発生させる
ことができる事が理解される。
づいて、励起用レーザーダイオード110の出力と、非
線形光学媒質(KTP)130を挿入した場合の出力と
の関係を説明する。
ド110の消費電流と、励起用レーザーダイオード11
0の出力との関係を示すものであり、オフセット電流以
降は、リニアな関係を有している。
ド110の出力と、光共振器内の基本波の出力との関係
を示すものであり、オフセット以降は、リニアな関係を
有している。
場合の、光共振器内の基本波の出力と、第2高調波(S
HG)出力との関係を示すものであり、第2高調波(S
HG)出力は、光共振器内の基本波の出力の2乗に比例
することが理解される。
高調波(SHG)出力との関係は、図21(d)に示さ
れる様に、2乗に比例することになる。
入し、LDパルスドライブ部111が、励起用レーザー
ダイオード110の半導体レーザーを、τFL(蛍光寿
命)内に、次の駆動パルスが印加される様に駆動すれ
ば、図22に示す様に高能率にレーザーを発振させるこ
とができる。
電流IP 、パルス周期Tにより、励起用レーザーダイオ
ード110を駆動すれば、光パルス幅τ’光パルスピー
ク出力PP SH のレーザー光が生じることになる。
動を直流電流で実施した場合(但し、平均パルス出力P
av SH と同じ連続出力Pcw SH を生じる場合)には、駆動
電流をICW とすれば、励起用レーザーダイオード11
0の消費電流と第2高調波(SHG )出力との関係
は、2乗に比例するので、光パルスピーク出力PP SH よ
り小さい出力である連続光出力PCW SH のレーザー光し
か生じない。
的であるから、平均値で連続動作と比較することにす
る。パルス駆動の場合の平均パルス電流はIav とな
り、連続動作電流をICW より小さくなる。
な消費電力が少なくすむと共に、励起用レーザーダイオ
ード110による発熱も少なくなり、ペルチェ素子15
0に流れる電流も少なくなるという効果がある。
ーダイオード110のパルス駆動は、ファーストパルス
が充分発光した時点で駆動を中断し、τFL(蛍光寿命)
内に次のパルス駆動を行う様に、レーザーダイオード
(LD)電源部200内のタイミング発生部240を設
定している。
ている。
る。
は、制御部800よりアナログスイッチ216がOFF
され、ロジック回路218により比較器214の出力信
号が禁止状態となり、更に、タイミング発生部240の
タイミング信号が禁止される。そして、励起用レーザー
ダイオード110の電流ループがホールド状態となる。
励起用レーザーダイオード110が消灯状態のため、ス
イッチングレギュレータ部220のコンデンサ224へ
の電荷の消費がなくなるが、同時に比較器214の出直
信号が禁止状態となり、スイッチングレギュレータ部2
20のコンデンサ224への電荷の充電も行われなくな
り、励起用レーザーダイオード110を消灯している間
も、励起用レーザーダイオード110を点灯している場
合と同じ状態を保持できる様になっている。制御部80
0は、この間、グリーンレーザー光のフィードバックを
中断する。
灯時には、制御部800によりアナログスイッチ216
がONされ、ロジック回路218により比較器214の
出力信号の禁止状態が解除され、励起用レーザーダイオ
ード110の電流ループが定電流ループを再開し、制御
部800はグリーンレーザ−光のフィードバックを再開
する。
10内のホールド機能により点滅動作をしていても、消
灯時間の大小に係わりなく、安定したグリーンレーザー
光のフィードバックを掛けることができ、安定したグリ
ーンレーザー光を出力することができる。
説明する。
の繰り返し周波数で、デューティ(DUTY)30%で
点滅動作を行ったものである。
と感じられ、明るさは点滅動作を行わない時の約30%
の明るさに感じられる。
には、励起用レーザーダイオード110の消費電流に対
して、第2高調波であるグリーンレーザー光の光出力
が、励起用レーザーダイオード110の消費電流の2乗
に比例する事から、励起用レーザーダイオード110の
駆動電流のピーク電流値を下げるよりも少ない電流で済
み、低消費電力化することができるという効果がある。
度に限るものではなく、人間の眼の応答時間よりも早い
繰り返し周波数であれば、何れの周波数でもよい。
変する事により、任意に減光することができることは言
うまでもない。
いて説明する。
返し周波数で、デューティ(DUTY)30%で点滅動
作を行ったものである。
後、50〜120msec付近で感度のピークが生じ、
その後、次第に感度が減少し、一定値に漸近することが
知られている。
に光が入射してから明るさの感じかたが最高となる時間
と略一致させる様に構成し、消灯時間を、人間の眼に光
が入射して明るさを感じた後、眼の感度が最大感度に復
帰する時間程度に構成することにより、人間の眼に効果
的に刺激を与えることができる。
作の組み合わせで、最も認識できる点滅は6Hz〜15
Hzであることが得られている。なお、ちらつき光の周
波数が10Hz程度の場合にピークの明るさが強調され
て感じられる現象をバートレー効果と呼んでおり、ブリ
ュッケ・バートレー(BruckeーBartley)
効果とも呼んでいる。
比が1:1の時に、最大の効果が得られることが知られ
ており、点灯時間50msecの間に人間の眼の視感度
が最高値に達し、消灯時間50msecの間に視感度が
最大感度に復帰する事を意味する。消灯時間を50ms
ec以上に設定する事により、次回の光パルスによる刺
激を人間の眼に効果的に与えることができる。
消灯時間を設定したものである。励起用レーザーダイオ
ード110の消費電力は、数100KHzの連続パルス
駆動の時の30%程度の消費電力で、数100KHzの
連続パルス駆動の時の2倍程度の視刺激を与えることが
できるという卓越した効果がある。
イバー端の光量検出に関する変形例を図25に基づいて
説明する。
部500と第1のハーフミラー170と第1のフォトダ
イオード190とにより、レーザーヘッド100内で発
生したグリーンレーザー光の光量を検出している。
部600と第2のハーフミラー910と第2のフォトダ
イオード920とにより、ファイバー900端の光量を
検出している。
に代えて、偏光ミラー915を使用したものである。
に代えて、定偏波ファイバー901が使用されている。
通常のファイバー900は、所定の偏光方向の偏光を入
射させると、射出される光は偏光でなくなっているが、
本変形例の定偏波ファイバー901では、偏光方向を保
存したまま送光することができる。
付近には、偏光ミラー915が配置されており、この偏
光ミラー915の背面側には、ミラー916が順次配置
され、このミラー916に対向して偏光板917と第2
のフォトダイオード920とが配置されている。
から射出されたグリーンレーザ光の内、偏光ミラー91
5を透過した透過光は、ミラー916で反射され、偏光
板917を透過したグリーンレーザー光は、第2のフォ
トダイオード920に入射する様になっている。
出された直線偏光のグリーンレーザー光は、定偏波ファ
イバー901で偏光方向を保存され、偏光ミラー915
に向けて射出される。
の殆どを反射するが、数%の光線は透過する。また、定
偏波ファイバー901の後端部901bから射出される
グリーンレーザー光は、S偏光であるが、いくらかのP
偏光も含んでいる。偏光ミラー915では、数%のS偏
光と共に、P偏光も透過する様になっている。
構成されており、第2のフォトダイオード920には、
S偏光のみが入射される様になっている。
ー端光量検出部600とにより、上述の本実施例と同様
に、ファイバー端の光量を検出することができる。
量検出部500とファイバー端光量検出部600とに
は、比較器950が接続されている。比較器950は、
レーザーヘッド内光量検出部500とファイバー端光量
検出部600との検出信号を比較し、比較値が所定の範
囲を越える場合には、制御信号を演算部800に送出す
る様に構成されている。
イバー端光量検出部600との検出信号を比較し、比較
値が所定の範囲内である場合には、ファイバー端光量検
出部600からの検出信号を演算部800に送出し、演
算部800は、この検出信号に基づき、レーザーダイオ
ード(LD)電源部200を制御駆動し、励起用レーザ
ーダイオード110の発光をコントロールする様に構成
されている。
イバー端光量検出部600との検出信号を比較し、比較
値が所定の範囲を越えた場合には、集光レンズ180或
いは定偏波ファイバー901の前端部901aの位置ず
れ、定偏波ファイバー901の破損、その他の原因によ
るファイバー結合効率の変動に起因したグリーンレーザ
光出力の低下、又は増大が考えられる。この場合には、
演算部800は、比較器950からの制御信号に基づ
き、レーザーダイオード(LD)電源部200の駆動停
止、或いは異常表示等を行うことができる。
は、図26に示すパイプレーザー装置30000に応用
することができる。
レーザー発振装置20000を装備しており、水平方向
及び鉛直方向にガイド光を射出させることができる。
バッテリーボックス31000内に電源を挿入し、端部
には、操作パネル32000と、移動用の取手3300
0とが形成されている。
ーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備えたレ
ーザー発振装置に形成されたペルチェ素子を駆動するた
めのペルチェドライブ部であって、パルス幅変調部(P
WM)と、このパルス幅変調部(PWM)のデューティ
に応じた電圧を発生させるためのスイッチングレギュレ
ータ部と、前記ペルチェ素子に流れる電流を検出するた
めの電流検出部と、ペルチェ素子に流れる電流の方向を
切り替えるためのHブリッジ部とから構成されているの
で、省電力化を図り、電池駆動を実現できるという卓越
した効果がある。
は、少なくともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光
共振器を備えたレーザー発振装置に形成された励起用レ
ーザーダイオードを駆動するためのレーザーダイオード
駆動手段であって、パルス幅変調部(PWM)と、この
パルス幅変調部(PWM)のデューティに応じた電圧を
発生させるためのスイッチングレギュレータ部と、前記
励起用レーザーダイオードに流れる電流を検出するため
の電流検出部とから構成されているので、電流の制御部
分が全て飽和領域が遮断領域を使用するスイッチング動
作となり、省電力化を図ることができるという効果があ
る。
ネルFETとNチャンネルFETとから構成されたHブ
リッジ部において、PチャンネルFETに新たなNチャ
ンネルFETを並列に接続しているので、省電力化を図
ると共に、電源を単一化することができ、コストダウン
を図ることができるという効果がある。
スドライブ部が、レーザーヘッドに一体化されて封入さ
れているで、インダクタンスを低下させ、ノイズに対し
て強くなるという卓越した効果がある。
ともレーザー結晶と出力ミラーとからなる光共振器を備
えており、この光共振器に挿入され、第2次高調波を発
生させるための非線形光学媒質と、前記光共振器に対し
てポンピングするための励起用レーザーダイオードとを
備えたレーザー発振装置であって、このレーザー発振装
置は、発振されたレーザー光を導くためのファイバーが
接続されており、このファイバー端には、光量検出手段
が形成されており、前記光共振器内には、内部光量検出
手段が設けられており、制御部が、前記光量検出手段及
び前記内部光量検出手段の検出信号に基づき、励起用レ
ーザーダイオードの発光を制御する構成となっているの
で、集光レンズ、ファイバー等の位置ずれ、ファイバー
の破損、前記光量検出手段の故障等を検出することがで
きるという卓越した効果がある。
の構成を説明する図である。
構成を説明する図である。
(PWM)310の電気的構成を説明する図である。
ュレータ部320の電気的構成を説明する図である。
0の電気的構成を説明する図である。
である。
気的構成を説明する図である。
ルス幅変調部(PWM)210の電気的構成を説明する
図である。
イッチングレギュレータ部220の電気的構成を説明す
る図である。
説明する図である。
を説明する図である。
する図である。
を一定とした場合の、温度変化とレーザー出力との関係
を示したものである。
した場合の、温度変化と励起用レーザーダイオード11
0の消費電力との関係を示したものである。
用した温度制御の消費電力との関係を示すものである。
と、ペルチェドライブ部300を利用した温度制御の消
費電力とを加え、合計した消費電力を示した図である。
説明する図である。
時間と励起強度の関係を示すものである。
時間と光強度の関係を示すものである。
時間と反転分布の関係を示すものである。
する供給連続パルスの周期Tが、τFL<Tーτの関係の
場合を説明する図である。
する供給連続パルスの周期Tが、τFL>Tーτの関係の
場合を説明する図である。
費電流と、励起用レーザーダイオード110の出力との
関係を示す図である。
力と、光共振器内の光基本波の出力との関係を示す図で
ある。
の、光共振器内の光基本波の出力と、第2高調波(SH
G)出力との関係を示す図である。
費電流と第2高調波(SHG)出力との関係を示す図で
ある。
た場合と、本発明のパルス駆動した場合とを比較した図
である。
である。
の光量検出に関する変形例を説明する図である。
レーザー装置30000に応用した場合を説明する図で
ある。
Claims (11)
- 【請求項1】 少なくともレーザー結晶と出力ミラーと
からなる光共振器を備えたレーザー発振装置に形成され
たペルチェ素子を駆動するためのペルチェドライブ部で
あって、パルス幅変調部(PWM)と、このパルス幅変
調部(PWM)のデューティに応じた電圧を発生させる
ためのスイッチングレギュレータ部と、前記ペルチェ素
子に流れる電流を検出するための電流検出部と、ペルチ
ェ素子に流れる電流の方向を切り替えるためのHブリッ
ジ部とからなるペルチェドライブ部。 - 【請求項2】 少なくともレーザー結晶と出力ミラーと
からなる光共振器を備えたレーザー発振装置であって、
このレーザー発振装置に形成されたペルチェ素子を駆動
するためのペルチェドライブ部を備えており、このペル
チェドライブ部は、請求項1記載のペルチェドライブ部
であるレーザー発振装置。 - 【請求項3】 PチャンネルFETとNチャンネルFE
Tとから構成されたHブリッジ部において、Pチャンネ
ルFETに新たなNチャンネルFETを並列に接続した
ことを特徴とするHブリッジ部。 - 【請求項4】 請求項3のHブリッジ部を使用した請求
項1記載のペルチェドライブ部。 - 【請求項5】 少なくともレーザー結晶と出力ミラーと
からなる光共振器を備えたレーザー発振装置であって、
このレーザー発振装置に形成されたペルチェ素子を駆動
するためのペルチェドライブ部を備えており、このペル
チェドライブ部のHブリッジ部は、請求項3〜4のHブ
リッジ部であるレーザー発振装置。 - 【請求項6】 少なくともレーザー結晶と出力ミラーと
からなる光共振器を備えたレーザー発振装置に形成され
た励起用レーザーダイオードを駆動するためのレーザー
ダイオード駆動手段であって、パルス幅変調部(PW
M)と、このパルス幅変調部(PWM)のデューティに
応じた電圧を発生させるためのスイッチングレギュレー
タ部と、前記励起用レーザーダイオードに流れる電流を
検出するための電流検出部とからなるレーザーダイオー
ド駆動手段。 - 【請求項7】 少なくともレーザー結晶と出力ミラーと
からなる光共振器を備えたレーザー発振装置であって、
このレーザー発振装置に形成された励起用レーザーダイ
オードを駆動するためのレーザーダイオード駆動手段を
備えており、このレーザーダイオード駆動手段は、請求
項6記載のレーザーダイオード駆動手段であるレーザー
発振装置。 - 【請求項8】 LDパルスドライブ部が、レーザーヘッ
ドに一体化されて封入されているレーザーヘッド。 - 【請求項9】 レーザーヘッドには、励起用レーザーダ
イオードと、LDパルスドライブ部と、レーザー結晶
と、非線形光学媒質と、出力ミラーと、ペルチェ素子と
が封入されている請求項8記載のレーザーヘッド。 - 【請求項10】 少なくともレーザー結晶と出力ミラー
とからなる光共振器を備えており、この光共振器に挿入
され、第2次高調波を発生させるための非線形光学媒質
と、前記光共振器に対してポンピングするための励起用
レーザーダイオードとを備えたレーザー発振装置であっ
て、このレーザー発振装置は、発振されたレーザー光を
導くためのファイバーが接続されており、このファイバ
ー端には、光量検出手段が形成されており、制御部が、
前記光量検出手段の検出信号に基づき、励起用レーザー
ダイオードの発光を制御するレーザー発振装置。 - 【請求項11】 少なくともレーザー結晶と出力ミラー
とからなる光共振器を備えており、この光共振器に挿入
され、第2次高調波を発生させるための非線形光学媒質
と、前記光共振器に対してポンピングするための励起用
レーザーダイオードとを備えたレーザー発振装置であっ
て、このレーザー発振装置は、発振されたレーザー光を
導くためのファイバーが接続されており、このファイバ
ー端には、光量検出手段が形成されており、前記光共振
器内には、内部光量検出手段が設けられており、制御部
が、前記光量検出手段及び前記内部光量検出手段の検出
信号に基づき、励起用レーザーダイオードの発光を制御
するレーザー発振装置。
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