JPH07183606A - レーザ光発生装置 - Google Patents
レーザ光発生装置Info
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- JPH07183606A JPH07183606A JP5346099A JP34609993A JPH07183606A JP H07183606 A JPH07183606 A JP H07183606A JP 5346099 A JP5346099 A JP 5346099A JP 34609993 A JP34609993 A JP 34609993A JP H07183606 A JPH07183606 A JP H07183606A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、レーザ光発生装置において、簡易な
構成でレーザ出力の平均効率を上げる。 【構成】駆動手段から供給される駆動電流を変調手段に
よつて変調変調し、駆動電流の尖頭出力を高くかつ平均
電流値を小さくし得る。かくして簡易な手段によつて波
長変換効率を向上しかつ消費電力を低くし得る。
構成でレーザ出力の平均効率を上げる。 【構成】駆動手段から供給される駆動電流を変調手段に
よつて変調変調し、駆動電流の尖頭出力を高くかつ平均
電流値を小さくし得る。かくして簡易な手段によつて波
長変換効率を向上しかつ消費電力を低くし得る。
Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図６〜図８） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１） 作用（図２〜図５） 実施例（図１〜図５） 発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光発生装置に関
し、特に半導体レーザ装置による波長変換の光源レーザ
装置に適用し得る。
し、特に半導体レーザ装置による波長変換の光源レーザ
装置に適用し得る。
【０００３】
【従来の技術】従来、波長変換によるレーザ装置として
ＳＨＧ(second harmonic generation)効果を得る非線形
光学素子を用い波長 780〜830 〔nm〕の近赤外光より波
長475〜560 〔nm〕の緑色のレーザ光を得るＳＨＧレー
ザ装置がある。ＳＨＧレーザ装置は、例えば固体レーザ
を半導体レーザ装置により励起し、出射光をＳＨＧ非線
形光学素子を用いて波長変換する。
ＳＨＧ(second harmonic generation)効果を得る非線形
光学素子を用い波長 780〜830 〔nm〕の近赤外光より波
長475〜560 〔nm〕の緑色のレーザ光を得るＳＨＧレー
ザ装置がある。ＳＨＧレーザ装置は、例えば固体レーザ
を半導体レーザ装置により励起し、出射光をＳＨＧ非線
形光学素子を用いて波長変換する。
【０００４】ここで半導体レーザ装置を駆動する場合、
駆動電流Ｉに対する出射光の出力特性は図６に示すよう
になる。半導体レーザ装置は駆動電流が閾値電流Ｉthを
越えるとレーザ発振を開始し、以降出射レーザ光強度Ｐ
L は略駆動電流Ｉに比例して増大する。半導体レーザ装
置の出力強度ＰL は半導体レーザ装置の駆動電流Ｉと比
例定数ｋを用いて次式
駆動電流Ｉに対する出射光の出力特性は図６に示すよう
になる。半導体レーザ装置は駆動電流が閾値電流Ｉthを
越えるとレーザ発振を開始し、以降出射レーザ光強度Ｐ
L は略駆動電流Ｉに比例して増大する。半導体レーザ装
置の出力強度ＰL は半導体レーザ装置の駆動電流Ｉと比
例定数ｋを用いて次式
【数１】 を演算することにより得られる。
【０００５】これに対して、半導体レーザ装置の出射光
により励起される固体レーザの出力強度ＰC は半導体レ
ーザ装置の出射光の出力強度ＰL 、固体レーザの励起閾
強度Ｐthと定数ｓとを用いて次式
により励起される固体レーザの出力強度ＰC は半導体レ
ーザ装置の出射光の出力強度ＰL 、固体レーザの励起閾
強度Ｐthと定数ｓとを用いて次式
【数２】 により求められる。このとき非線形光学素子により波長
変換され出射されるＳＨＧレーザ装置の出射光強度Ｐは
次式
変換され出射されるＳＨＧレーザ装置の出射光強度Ｐは
次式
【数３】 により表され、この（３）式に（１）式及び（２）式を
代入することにより次式
代入することにより次式
【数４】 を得る。
【０００６】さらにこの（４）式において次式
【数５】
【数６】 の関係を用いて次式
【数７】 に代入し、ＳＨＧレーザ装置の出射強度Ｐを得る。ここ
で図７に示すように、半導体レーザ装置の駆動電力を定
電流ＩO とすると、半導体レーザ装置の出射強度ＰO は
次式
で図７に示すように、半導体レーザ装置の駆動電力を定
電流ＩO とすると、半導体レーザ装置の出射強度ＰO は
次式
【数８】 により求められる。
【０００７】ところでＳＨＧ波長変換素子に、例えばＫ
ＴＰ（チタノリン酸カリウム）等の非線形光学素子を用
いた場合、図８に示すように波長変換された出射光の出
力強度は入射されるレーザ光強度の二乗に比例して増大
する。従つてＫＴＰに入射させる励起用レーザ光強度の
ピークレベルが高い程、波長変換には有利となる。そこ
で、レーザ光出力強度のピークレベルを上げるのに、例
えば固体レーザ共振器内に過飽和吸収体、変換素子等を
配置してＱスイツチ又はモードロツクをかける等の手法
が用いられている。
ＴＰ（チタノリン酸カリウム）等の非線形光学素子を用
いた場合、図８に示すように波長変換された出射光の出
力強度は入射されるレーザ光強度の二乗に比例して増大
する。従つてＫＴＰに入射させる励起用レーザ光強度の
ピークレベルが高い程、波長変換には有利となる。そこ
で、レーザ光出力強度のピークレベルを上げるのに、例
えば固体レーザ共振器内に過飽和吸収体、変換素子等を
配置してＱスイツチ又はモードロツクをかける等の手法
が用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが非線形光学素
子等を用いてＱスイツチ及びモードロツクをするには変
換素子及び高圧電源等の外部部品を取り付けなくてはな
らず、装置全体を小型化するのが困難になる。さらに駆
動回路に高周波対応及び高電圧対応の処置を必要とする
ため、駆動回路の構築に手間がかかる等の問題があつ
た。さらに半導体レーザ装置を連続波電流で駆動した場
合、バツテリの消耗が激しいという問題があつた。
子等を用いてＱスイツチ及びモードロツクをするには変
換素子及び高圧電源等の外部部品を取り付けなくてはな
らず、装置全体を小型化するのが困難になる。さらに駆
動回路に高周波対応及び高電圧対応の処置を必要とする
ため、駆動回路の構築に手間がかかる等の問題があつ
た。さらに半導体レーザ装置を連続波電流で駆動した場
合、バツテリの消耗が激しいという問題があつた。
【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、簡易な構成でレーザ出力の平均効率を上げ得るレー
ザ光発生装置を提案しようとするものである。
で、簡易な構成でレーザ出力の平均効率を上げ得るレー
ザ光発生装置を提案しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、駆動電流を供給する駆動手段６
と、駆動電流に変調変換を加える変調手段５と、駆動電
流により駆動されレーザ光を出射するレーザ装置７と、
レーザ装置７からの出射光を非線形光学現象により波長
変換する波長変換手段４とを備える。
め本発明においては、駆動電流を供給する駆動手段６
と、駆動電流に変調変換を加える変調手段５と、駆動電
流により駆動されレーザ光を出射するレーザ装置７と、
レーザ装置７からの出射光を非線形光学現象により波長
変換する波長変換手段４とを備える。
【００１１】
【作用】駆動手段６から供給される駆動電流を変調手段
５によつて変調変換し、駆動電流の尖頭出力を高く、か
つ平均駆動電流値を小さくし得る。かくして簡易な手段
によつて波長変換効率を向上し得、かつ消費電力を低く
し得る。
５によつて変調変換し、駆動電流の尖頭出力を高く、か
つ平均駆動電流値を小さくし得る。かくして簡易な手段
によつて波長変換効率を向上し得、かつ消費電力を低く
し得る。
【００１２】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１３】図１において、１は全体としてＳＨＧレー
ザ装置を示し、駆動電源部２より半導体レーザ部３に駆
動電流を供給し半導体レーザ装置を駆動する。半導体レ
ーザ装置から出射される波長 810〔nm〕の近赤外励起光
は波長変換部４に入射され、固体レーザ共振器内の固体
レーザ媒質を励起する。さらに固体レーザからの出射光
を非線形光学素子により波長 532〔nm〕の緑色のレーザ
光に波長変換して出射するようになされている。
ザ装置を示し、駆動電源部２より半導体レーザ部３に駆
動電流を供給し半導体レーザ装置を駆動する。半導体レ
ーザ装置から出射される波長 810〔nm〕の近赤外励起光
は波長変換部４に入射され、固体レーザ共振器内の固体
レーザ媒質を励起する。さらに固体レーザからの出射光
を非線形光学素子により波長 532〔nm〕の緑色のレーザ
光に波長変換して出射するようになされている。
【００１４】駆動電源部２ではパルス駆動回路５がＡＣ
Ｃ(automatic current control) 駆動回路６をパルス駆
動して半導体レーザ部３にパルス電流ＩP を供給するよ
うになされている。半導体レーザ部３は半導体レーザ装
置７と集光レンズ８とからなり、パルス電流により半導
体レーザ装置７を駆動する。半導体レーザ装置７の出射
光は集光レンズ８により集光され、波長変換部４へ出射
される。
Ｃ(automatic current control) 駆動回路６をパルス駆
動して半導体レーザ部３にパルス電流ＩP を供給するよ
うになされている。半導体レーザ部３は半導体レーザ装
置７と集光レンズ８とからなり、パルス電流により半導
体レーザ装置７を駆動する。半導体レーザ装置７の出射
光は集光レンズ８により集光され、波長変換部４へ出射
される。
【００１５】半導体レーザ装置７を駆動するパルス電流
ＩP は、図２に示すように、平均電流値ＩO 、周波数１
〔 kHz〕、周期Ｔ、幅τ（ここでＴ＞τ）の矩形波パル
スでなる。このときパルス電流値ＩP は次式
ＩP は、図２に示すように、平均電流値ＩO 、周波数１
〔 kHz〕、周期Ｔ、幅τ（ここでＴ＞τ）の矩形波パル
スでなる。このときパルス電流値ＩP は次式
【数９】 により表される。
【００１６】波長変換部４では半導体レーザ部３からの
出射光が、レーザ発振を安定させるための 1/4波長板９
を介して、Ｎd:ＹＡＧ(neodymium yttrium alminum gar
net)レーザ媒質１０とＫＴＰ１１により構成される固体
レーザ共振器１２に入射される。半導体レーザ装置７か
ら入射される励起光によつてＮd:ＹＡＧレーザ媒質１０
は励起され、波長1.06〔μm 〕のレーザ光を発振する。
このＮd:ＹＡＧレーザ媒質１０からの出射レーザ光はＫ
ＴＰ１１により波長 532〔nm〕の緑色の可視光に波長変
換され、固体レーザ共振器１２内で増幅され出射され
る。
出射光が、レーザ発振を安定させるための 1/4波長板９
を介して、Ｎd:ＹＡＧ(neodymium yttrium alminum gar
net)レーザ媒質１０とＫＴＰ１１により構成される固体
レーザ共振器１２に入射される。半導体レーザ装置７か
ら入射される励起光によつてＮd:ＹＡＧレーザ媒質１０
は励起され、波長1.06〔μm 〕のレーザ光を発振する。
このＮd:ＹＡＧレーザ媒質１０からの出射レーザ光はＫ
ＴＰ１１により波長 532〔nm〕の緑色の可視光に波長変
換され、固体レーザ共振器１２内で増幅され出射され
る。
【００１７】以上の構成において、駆動電流供給部２か
ら励起用の半導体レーザ部３に平均電流値ＩO 、周波数
１〔 kHz〕、周期Ｔ、幅τの矩形波パルスの駆動電流Ｉ
が注入される。ここでパルス電流出力がオンのときＳＨ
Ｇレーザ装置１の出射強度Ｐは（７）式の駆動電流Ｉに
（９）式のパルス電流値ＩP を代入して次式
ら励起用の半導体レーザ部３に平均電流値ＩO 、周波数
１〔 kHz〕、周期Ｔ、幅τの矩形波パルスの駆動電流Ｉ
が注入される。ここでパルス電流出力がオンのときＳＨ
Ｇレーザ装置１の出射強度Ｐは（７）式の駆動電流Ｉに
（９）式のパルス電流値ＩP を代入して次式
【数１０】 により求められる。また出力がオフの場合、ＳＨＧレー
ザ装置１の出射強度Ｐはゼロなので、パルス１周期では
ＳＨＧレーザ装置１の平均出射強度ＰO ´は次式
ザ装置１の出射強度Ｐはゼロなので、パルス１周期では
ＳＨＧレーザ装置１の平均出射強度ＰO ´は次式
【数１１】 により求められ、さらに（１１）式を次式
【数１２】 のように変形できる。
【００１８】ここで（８）式と（１２）式とを比較する
と、半導体レーザ装置の見かけの電流閾値Ｉt がτ／Ｔ
倍に小さくなる。この結果、駆動電流ＩO からＳＨＧレ
ーザ装置の出射出力に変換される割合が増加し、駆動電
流に対する変換効率が向上することになる。さらにＳＨ
Ｇレーザ装置１を定電流駆動したときの平均出射強度Ｐ
O に対して平均出射強度がＴ／τ倍に大きくなつてい
る。これにより半導体レーザ装置７を駆動する平均電流
ＩO を連続波駆動する場合に比して低く設定しても駆動
パルス電流のピークレベルを半導体レーザ閾電流Ｉth以
上に設定すれば、ＳＨＧレーザ装置１を駆動することが
できる。かくして、半導体レーザ装置７をパルス駆動し
た場合、連続波駆動したときに比較して消費電力を低減
し得る。
と、半導体レーザ装置の見かけの電流閾値Ｉt がτ／Ｔ
倍に小さくなる。この結果、駆動電流ＩO からＳＨＧレ
ーザ装置の出射出力に変換される割合が増加し、駆動電
流に対する変換効率が向上することになる。さらにＳＨ
Ｇレーザ装置１を定電流駆動したときの平均出射強度Ｐ
O に対して平均出射強度がＴ／τ倍に大きくなつてい
る。これにより半導体レーザ装置７を駆動する平均電流
ＩO を連続波駆動する場合に比して低く設定しても駆動
パルス電流のピークレベルを半導体レーザ閾電流Ｉth以
上に設定すれば、ＳＨＧレーザ装置１を駆動することが
できる。かくして、半導体レーザ装置７をパルス駆動し
た場合、連続波駆動したときに比較して消費電力を低減
し得る。
【００１９】以上の構成によれば、半導体レーザ装置の
駆動パルス電流のピークレベルを固体レーザの励起閾強
度Ｐthを十分越える値に設定してパルス駆動することに
より、半導体レーザ発振閾電流Ｉth以下の平均電流Ｉ又
は半導体レーザ発振閾電流Ｉth以上かつ固体レーザの励
起閾強度Ｐth以下の出射光強度となるような平均電流Ｉ
で半導体レーザ装置７を駆動することができ、これによ
り連続波電流により駆動した場合と比較して平均電流値
を低く設定し得る分、半導体レーザ装置７を駆動するた
めの消費電力を低減し得る。
駆動パルス電流のピークレベルを固体レーザの励起閾強
度Ｐthを十分越える値に設定してパルス駆動することに
より、半導体レーザ発振閾電流Ｉth以下の平均電流Ｉ又
は半導体レーザ発振閾電流Ｉth以上かつ固体レーザの励
起閾強度Ｐth以下の出射光強度となるような平均電流Ｉ
で半導体レーザ装置７を駆動することができ、これによ
り連続波電流により駆動した場合と比較して平均電流値
を低く設定し得る分、半導体レーザ装置７を駆動するた
めの消費電力を低減し得る。
【００２０】また図３（Ａ）に示すように、半導体レー
ザ装置７の駆動電流Ｉをパルス駆動する際の波形として
矩形波を用いた場合、矩形波の立上がり及び立下がりエ
ツジの部分に含まれる高周波成分中に含まれる緩和発振
周波数ｆr によつて固体レーザ媒質の応答に緩和発振に
よるリンギングを生じるさせることができる。これによ
り出射出力のピークレベルを上げ、さらに図３（Ｂ）に
示すように、変換効率を増すことができる。
ザ装置７の駆動電流Ｉをパルス駆動する際の波形として
矩形波を用いた場合、矩形波の立上がり及び立下がりエ
ツジの部分に含まれる高周波成分中に含まれる緩和発振
周波数ｆr によつて固体レーザ媒質の応答に緩和発振に
よるリンギングを生じるさせることができる。これによ
り出射出力のピークレベルを上げ、さらに図３（Ｂ）に
示すように、変換効率を増すことができる。
【００２１】ここで緩和発振周波数ｆr は、図４に示す
ような励起光の周波数に対する固体レーザの応答特性に
おいて、共振器光子寿命τc 、固体レーザ媒質の蛍光寿
命τf 及び固体レーザの発振閾値に対する励起強度の割
合を示す指数ｒを用いて次式
ような励起光の周波数に対する固体レーザの応答特性に
おいて、共振器光子寿命τc 、固体レーザ媒質の蛍光寿
命τf 及び固体レーザの発振閾値に対する励起強度の割
合を示す指数ｒを用いて次式
【数１３】 より求められる。ここで励起半導体レーザ装置７を緩和
周波数ｆr で変調すると、励起される固体レーザ媒質の
応答振幅が最大となり、これにより固体レーザ媒質を最
も高い変換効率で励起することができる。
周波数ｆr で変調すると、励起される固体レーザ媒質の
応答振幅が最大となり、これにより固体レーザ媒質を最
も高い変換効率で励起することができる。
【００２２】また１〔ＫHz〕程度の比較的低周波で駆動
電流をパルス変調することにより、Ｑスイツチ等の方法
による場合のような部品点数を必要とせず、また回路に
高周波対応及び高電圧対応等の処置をしなくとも変換効
率を向上させ、かつ低消費電力を実現し得る。
電流をパルス変調することにより、Ｑスイツチ等の方法
による場合のような部品点数を必要とせず、また回路に
高周波対応及び高電圧対応等の処置をしなくとも変換効
率を向上させ、かつ低消費電力を実現し得る。
【００２３】なお上述の実施例においては、半導体レー
ザ装置を駆動する駆動電流にパルス電流を用いた場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、励起用の半導
体レーザ装置を緩和発振周波数ｆr で変調するようにし
ても良い。これにより励起される固体レーザ媒質の応答
振幅が最大となり固体レーザ媒質を最も高い変換効率で
励起することができる。
ザ装置を駆動する駆動電流にパルス電流を用いた場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、励起用の半導
体レーザ装置を緩和発振周波数ｆr で変調するようにし
ても良い。これにより励起される固体レーザ媒質の応答
振幅が最大となり固体レーザ媒質を最も高い変換効率で
励起することができる。
【００２４】また上述の実施例においては、駆動電源部
において励起用の半導体レーザ装置をパルス電流又は変
調変換された電流で駆動し、波長変換効率を向上させる
場合について述べたが、これに加えて、モード競合ノイ
ズの発生を利用した方法も考えられる。すなわち固体レ
ーザ共振器内に例えばタイプ２の非線形光学素子を配置
してマルチモードが発生するようにレーザ共振器を設定
する。これにより、図５に示すような和周波混合を介し
たモード競合ノイズを故意に発生させ、出射光の出力ピ
ーク強度を上昇させることができる。これによりＫＴＰ
による波長変換効率をさらに上昇させることができる。
またモード競合ノイズを発生させるだけでも波長変換効
率を向上し得る。
において励起用の半導体レーザ装置をパルス電流又は変
調変換された電流で駆動し、波長変換効率を向上させる
場合について述べたが、これに加えて、モード競合ノイ
ズの発生を利用した方法も考えられる。すなわち固体レ
ーザ共振器内に例えばタイプ２の非線形光学素子を配置
してマルチモードが発生するようにレーザ共振器を設定
する。これにより、図５に示すような和周波混合を介し
たモード競合ノイズを故意に発生させ、出射光の出力ピ
ーク強度を上昇させることができる。これによりＫＴＰ
による波長変換効率をさらに上昇させることができる。
またモード競合ノイズを発生させるだけでも波長変換効
率を向上し得る。
【００２５】また上述の実施例においては、ＳＨＧ変換
するための非線形光学素子として、ＫＴＰを用いた例に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、リチウムナヨ
ベ (Ｌi Ｎb Ｏ3)等の非線形光学結晶、さらに人工的に
合成された疑似位相整合材料又は導波路等を用いても良
い。さらにＮd:ＹＡＧ等のレーザ媒質を介さず、半導体
レーザ装置からの出射光を直接非線形光学素子により波
長変換するようにしても良い。
するための非線形光学素子として、ＫＴＰを用いた例に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、リチウムナヨ
ベ (Ｌi Ｎb Ｏ3)等の非線形光学結晶、さらに人工的に
合成された疑似位相整合材料又は導波路等を用いても良
い。さらにＮd:ＹＡＧ等のレーザ媒質を介さず、半導体
レーザ装置からの出射光を直接非線形光学素子により波
長変換するようにしても良い。
【００２６】また上述の実施例においては、半導体レー
ザ装置の出射光を波長変換する方法としてＳＨＧ非線形
光学素子を用いた場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、例えば和周波混合、パラメトリツク発振又は
差周波発生等の非線形光学現象を用いて半導体レーザ装
置の出射光を波長変換するようにしても良い。
ザ装置の出射光を波長変換する方法としてＳＨＧ非線形
光学素子を用いた場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、例えば和周波混合、パラメトリツク発振又は
差周波発生等の非線形光学現象を用いて半導体レーザ装
置の出射光を波長変換するようにしても良い。
【００２７】また上述の実施例においては、半導体レー
ザ装置をパルス電流又は変調された駆動電流により駆動
し、出射光のピークレベルを上げ波長変換効率を向上さ
せた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、レ
ーザ発振に所定閾値を有するレーザ装置をパルス電源等
により駆動して出射光のピークレベルを上げ、波長変換
効率を上げるようにしても良い。
ザ装置をパルス電流又は変調された駆動電流により駆動
し、出射光のピークレベルを上げ波長変換効率を向上さ
せた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、レ
ーザ発振に所定閾値を有するレーザ装置をパルス電源等
により駆動して出射光のピークレベルを上げ、波長変換
効率を上げるようにしても良い。
【００２８】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、駆動手段
に変調手段を加え駆動電流を変調変換したことにより、
レーザ装置に供給される駆動電流の平均電流値を低く抑
え、かつ尖頭出力がレーザ発振の閾値を越える駆動電流
を得ることができる。これにより非線形光学現象による
波長変換効率を向上し得、かつバツテリ消費の少ない低
消費電力のレーザ光発生装置を実現し得る。
に変調手段を加え駆動電流を変調変換したことにより、
レーザ装置に供給される駆動電流の平均電流値を低く抑
え、かつ尖頭出力がレーザ発振の閾値を越える駆動電流
を得ることができる。これにより非線形光学現象による
波長変換効率を向上し得、かつバツテリ消費の少ない低
消費電力のレーザ光発生装置を実現し得る。
【図１】本発明によるレーザ光発生装置の一実施例の構
成を示すブロツク図である。
成を示すブロツク図である。
【図２】半導体レーザ装置のパルス電流駆動を示す波形
図である。
図である。
【図３】半導体レーザの矩形波電流に対する出射光の応
答を示す特性図である。
答を示す特性図である。
【図４】固体レーザの応答特性の説明に供する特性曲線
図である。
図である。
【図５】モード競合ノイズ発生時の出射光の強度変動を
示す特性図である。
示す特性図である。
【図６】半導体レーザ装置の注入電流と出力特性を示す
特性図である。
特性図である。
【図７】半導体レーザ装置の定電流駆動を示す特性図で
ある。
ある。
【図８】半導体レーザ強度に対するＳＨＧ出射強度を示
す特性曲線図である。
す特性曲線図である。
１……ＳＨＧレーザ装置、２……駆動電源部、３……半
導体レーザ部、４……発振変換部、５……パルス駆動回
路、６……ＡＣＣ駆動回路、７……半導体レーザ装置、
８……集光レンズ、９…… 1/4波長板、１０……Ｎd:Ｙ
ＡＧレーザ媒質、１１……ＫＴＰ、１２……固体レーザ
共振器。
導体レーザ部、４……発振変換部、５……パルス駆動回
路、６……ＡＣＣ駆動回路、７……半導体レーザ装置、
８……集光レンズ、９…… 1/4波長板、１０……Ｎd:Ｙ
ＡＧレーザ媒質、１１……ＫＴＰ、１２……固体レーザ
共振器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/108
Claims (4)
- 【請求項１】駆動電流を供給する駆動手段と、 上記駆動電流に変調変換を加える変調手段と、 上記駆動電流により駆動されレーザ光を出射するレーザ
装置と、 上記レーザ装置からの出射光を非線形光学現象により波
長変換する波長変換手段とを具えることを特徴とするレ
ーザ光発生装置。 - 【請求項２】上記レーザ装置は半導体レーザであること
を特徴とする請求項１に記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項３】上記波長変換手段はＮd:ＹＡＧレーザ媒質
とＫＴＰ非線形光学素子とで構成される固体レーザ共振
器であることを特徴とする請求項１に記載のレーザ光発
生装置。 - 【請求項４】上記変調変換はパルス変調であることを特
徴とする請求項１に記載のレーザ光発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5346099A JPH07183606A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | レーザ光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5346099A JPH07183606A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | レーザ光発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07183606A true JPH07183606A (ja) | 1995-07-21 |
Family
ID=18381131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5346099A Pending JPH07183606A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | レーザ光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07183606A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003518440A (ja) * | 1999-12-28 | 2003-06-10 | ジーエスアイ ルモニクス インコーポレイテッド | 標的材を処理するエネルギー効率に優れたレーザーベースの方法およびシステム |
| JP2013021247A (ja) * | 2011-07-14 | 2013-01-31 | Furukawa Fitel (Thailand) Co Ltd | レーザモジュール製造方法 |
-
1993
- 1993-12-21 JP JP5346099A patent/JPH07183606A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003518440A (ja) * | 1999-12-28 | 2003-06-10 | ジーエスアイ ルモニクス インコーポレイテッド | 標的材を処理するエネルギー効率に優れたレーザーベースの方法およびシステム |
| JP2013021247A (ja) * | 2011-07-14 | 2013-01-31 | Furukawa Fitel (Thailand) Co Ltd | レーザモジュール製造方法 |
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Legal Events
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