JPH1012708A - 移動テーブル装置 - Google Patents
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- JPH1012708A JPH1012708A JP8178689A JP17868996A JPH1012708A JP H1012708 A JPH1012708 A JP H1012708A JP 8178689 A JP8178689 A JP 8178689A JP 17868996 A JP17868996 A JP 17868996A JP H1012708 A JPH1012708 A JP H1012708A
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- Wire Bonding (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動テーブルを安価で且つ高精度に位置決め
できるようにすること。 【解決手段】 装置本体２１に対しＸ方向ガイドを介し
てＸ方向に移動可能に設けられたＸ方向移動テーブル３
７と、Ｘ方向移動テーブルに螺合されたＸ方向送りねじ
を回転させて、Ｘ方向移動テーブルをＸ方向ガイドに沿
って移動させるＸ方向送りねじ機構と、Ｘ方向送りねじ
機構の回転を制御する制御装置３５と、を有するＸ方向
移動テーブル装置２２において、Ｘ方向移動テーブルの
変位とＸ方向送りねじの回転数との関係がＸ方向移動テ
ーブル変位特性として予め測定され、上記制御装置は、
Ｘ方向移動テーブル変位特性に基づき、Ｘ方向送りねじ
を所定回転数回転させてＸ方向移動テーブルを所望位置
に位置決めするものである。
できるようにすること。 【解決手段】 装置本体２１に対しＸ方向ガイドを介し
てＸ方向に移動可能に設けられたＸ方向移動テーブル３
７と、Ｘ方向移動テーブルに螺合されたＸ方向送りねじ
を回転させて、Ｘ方向移動テーブルをＸ方向ガイドに沿
って移動させるＸ方向送りねじ機構と、Ｘ方向送りねじ
機構の回転を制御する制御装置３５と、を有するＸ方向
移動テーブル装置２２において、Ｘ方向移動テーブルの
変位とＸ方向送りねじの回転数との関係がＸ方向移動テ
ーブル変位特性として予め測定され、上記制御装置は、
Ｘ方向移動テーブル変位特性に基づき、Ｘ方向送りねじ
を所定回転数回転させてＸ方向移動テーブルを所望位置
に位置決めするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は移動テーブル装置に
係り、特に、移動テーブルの位置決めを良好に実施する
移動テーブル装置に関する。
係り、特に、移動テーブルの位置決めを良好に実施する
移動テーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路等を製造するペレットボ
ンディング装置やワイヤボンディング装置等の半導体製
造装置では、ボンディングヘッドがＸ・Ｙテーブル装置
に載置されて水平方向に移動可能とされている。
ンディング装置やワイヤボンディング装置等の半導体製
造装置では、ボンディングヘッドがＸ・Ｙテーブル装置
に載置されて水平方向に移動可能とされている。
【０００３】上記Ｘ・Ｙテーブル装置は、ボンディング
ヘッドをＸ方向に移動させるＸ方向移動テーブル装置
と、ボンディングヘッドをＹ方向（Ｘ方向と直角方向）
に移動させるＹ方向移動テーブル装置とが重ね合わせて
構成されたものである。
ヘッドをＸ方向に移動させるＸ方向移動テーブル装置
と、ボンディングヘッドをＹ方向（Ｘ方向と直角方向）
に移動させるＹ方向移動テーブル装置とが重ね合わせて
構成されたものである。
【０００４】これらのＸ方向移動テーブル装置及びＹ方
向移動テーブル装置は、それぞれ、本体に対しガイドを
介して一方向に移動可能な移動テーブルと、移動テーブ
ルに螺合された送りねじを回転させて、移動テーブルを
ガイドに沿って移動させる送りねじ機構と、送りねじ機
構の送りねじの回転を制御する制御装置と、を有して構
成される。
向移動テーブル装置は、それぞれ、本体に対しガイドを
介して一方向に移動可能な移動テーブルと、移動テーブ
ルに螺合された送りねじを回転させて、移動テーブルを
ガイドに沿って移動させる送りねじ機構と、送りねじ機
構の送りねじの回転を制御する制御装置と、を有して構
成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のＸ方向移動テー
ブル装置及びＹ方向移動テーブル装置における移動テー
ブルの位置決め精度は、送りねじ機構の送りねじの加工
精度や、ガイドの加工・組立精度に依存し、特に、送り
ねじのピッチの加工精度以上の精度を得ることができな
い。
ブル装置及びＹ方向移動テーブル装置における移動テー
ブルの位置決め精度は、送りねじ機構の送りねじの加工
精度や、ガイドの加工・組立精度に依存し、特に、送り
ねじのピッチの加工精度以上の精度を得ることができな
い。
【０００６】つまり、送りねじの加工精度は、主に移動
テーブルの移動（送り）方向の位置決め精度に影響を及
ぼし、ガイドの加工・組立精度は、主に移動テーブルの
移動（送り）方向と直角の方向の位置決め精度に影響を
与える。
テーブルの移動（送り）方向の位置決め精度に影響を及
ぼし、ガイドの加工・組立精度は、主に移動テーブルの
移動（送り）方向と直角の方向の位置決め精度に影響を
与える。
【０００７】そこで、位置決め精度を向上させるため
に、送りねじの加工精度及びガイドの加工・組立精度を
高精度に設定することが考えられるが、特に、送りねじ
の加工精度を高精度にすることは送りねじ機構を高価な
ものとし、ひいてはＸ方向移動テーブル装置及びＹ方向
移動テーブル装置のコストを上昇させてしまう。
に、送りねじの加工精度及びガイドの加工・組立精度を
高精度に設定することが考えられるが、特に、送りねじ
の加工精度を高精度にすることは送りねじ機構を高価な
ものとし、ひいてはＸ方向移動テーブル装置及びＹ方向
移動テーブル装置のコストを上昇させてしまう。
【０００８】本発明の課題は、上述の事情を考慮してな
されたものであり、移動テーブルを安価で且つ高精度に
位置決めできる移動テーブル装置を提供することにあ
る。
されたものであり、移動テーブルを安価で且つ高精度に
位置決めできる移動テーブル装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、本体に対しガイドを介して一方向に移動可能に設け
られた移動テーブルと、移動テーブルに螺合された送り
ねじを回転させて、上記移動テーブルを上記ガイドに沿
って移動させる送りねじ機構と、上記送りねじ機構の回
転を制御する制御装置と、を有する移動テーブル装置に
おいて、上記移動テーブルの変位と上記送りねじ機構の
上記送りねじの回転数との関係が移動テーブル変位特性
として予め測定され、上記制御装置は、上記移動テーブ
ル変位特性に基づき、上記送りねじを所定回転数回転さ
せて、上記移動テーブルを所望位置に位置決めするよう
にしたものである。
は、本体に対しガイドを介して一方向に移動可能に設け
られた移動テーブルと、移動テーブルに螺合された送り
ねじを回転させて、上記移動テーブルを上記ガイドに沿
って移動させる送りねじ機構と、上記送りねじ機構の回
転を制御する制御装置と、を有する移動テーブル装置に
おいて、上記移動テーブルの変位と上記送りねじ機構の
上記送りねじの回転数との関係が移動テーブル変位特性
として予め測定され、上記制御装置は、上記移動テーブ
ル変位特性に基づき、上記送りねじを所定回転数回転さ
せて、上記移動テーブルを所望位置に位置決めするよう
にしたものである。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、上記移動テーブルが、半導体製造装置
のボンディングヘッドを載置するものであるようにした
ものである。
の発明において、上記移動テーブルが、半導体製造装置
のボンディングヘッドを載置するものであるようにした
ものである。
【００１１】請求項１又は２に記載の発明には、次の作
用がある。送りねじ機構の送りねじの加工精度やガイド
の加工・組立精度が高精度でなく、移動テーブルの変位
と送りねじの回転数との間に比例関係が成立していなく
ても、制御装置が、予め測定された、移動テーブルの変
位と送りねじの回転数との関係である移動テーブル変位
特性に基づき、上記送りねじを所定回転数回転させて移
動テーブルを所望位置に位置決めすることから、移動テ
ーブルを高精度に位置決めできる。
用がある。送りねじ機構の送りねじの加工精度やガイド
の加工・組立精度が高精度でなく、移動テーブルの変位
と送りねじの回転数との間に比例関係が成立していなく
ても、制御装置が、予め測定された、移動テーブルの変
位と送りねじの回転数との関係である移動テーブル変位
特性に基づき、上記送りねじを所定回転数回転させて移
動テーブルを所望位置に位置決めすることから、移動テ
ーブルを高精度に位置決めできる。
【００１２】また、移動テーブルの位置決め精度を高精
度とするために、送りねじの加工精度やガイドの加工・
組立精度を高精度とする必要がないので、特に送りねじ
機構を低コスト化でき、装置を安価に提供できる。
度とするために、送りねじの加工精度やガイドの加工・
組立精度を高精度とする必要がないので、特に送りねじ
機構を低コスト化でき、装置を安価に提供できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明に係る移動テーブ
ル装置の一つ実施の形態が適用されたワイヤボンディン
グ装置の一部を示す斜視図である。図２は、図１のＸ方
向移動テーブル装置におけるＸ方向移動テーブル変位特
性の例を示すグラフである。
に基づいて説明する。図１は、本発明に係る移動テーブ
ル装置の一つ実施の形態が適用されたワイヤボンディン
グ装置の一部を示す斜視図である。図２は、図１のＸ方
向移動テーブル装置におけるＸ方向移動テーブル変位特
性の例を示すグラフである。
【００１４】図１に示すように、ワイヤボンディング装
置２０は、装置本体２１にＸ方向移動テーブル装置２２
及びＹ方向移動テーブル装置２３を介してボンディング
ヘッド２４が設置され、このボンディングヘッド２４に
隣接して、装置本体２１に図示しないリードフレームフ
ィーダが設置されたものである。
置２０は、装置本体２１にＸ方向移動テーブル装置２２
及びＹ方向移動テーブル装置２３を介してボンディング
ヘッド２４が設置され、このボンディングヘッド２４に
隣接して、装置本体２１に図示しないリードフレームフ
ィーダが設置されたものである。
【００１５】リードフレームフィーダは、半導体ペレッ
トがマウントされたリードフレームをワイヤボンディン
グ位置に間欠的に搬送する。また、Ｘ方向移動テーブル
装置２２は、Ｘ方向移動用モータ２５によってボンディ
ングヘッド２４をＸ方向に移動させる。また、Ｙ方向移
動テーブル装置２３は、Ｙ方向移動用モータ２６によっ
て、ボンディングヘッド２４を上記Ｘ方向と直交するＹ
方向に移動させる。
トがマウントされたリードフレームをワイヤボンディン
グ位置に間欠的に搬送する。また、Ｘ方向移動テーブル
装置２２は、Ｘ方向移動用モータ２５によってボンディ
ングヘッド２４をＸ方向に移動させる。また、Ｙ方向移
動テーブル装置２３は、Ｙ方向移動用モータ２６によっ
て、ボンディングヘッド２４を上記Ｘ方向と直交するＹ
方向に移動させる。
【００１６】ボンディングヘッド２４には、ボンディン
グアーム２７が鉛直方向に揺動可能に支持され、このボ
ンディングアーム２７は、アーム駆動モータ２８により
駆動される。このボンディングアーム２７の先端に、ワ
イヤ２９を挿通するキャピラリ３０が固着される。この
ワイヤ２９によって、上記半導体ペレットの電極と上記
リードフレームの所定位置とが、ワイヤボンディング装
置２０により接続される。
グアーム２７が鉛直方向に揺動可能に支持され、このボ
ンディングアーム２７は、アーム駆動モータ２８により
駆動される。このボンディングアーム２７の先端に、ワ
イヤ２９を挿通するキャピラリ３０が固着される。この
ワイヤ２９によって、上記半導体ペレットの電極と上記
リードフレームの所定位置とが、ワイヤボンディング装
置２０により接続される。
【００１７】ボンディングヘッド２４には、上記ワイヤ
２９を巻き付けたスプール３１が設置される。ワイヤ２
９は、このスプール３１からワイヤ案内板（図示せず）
に案内され、図示しないクランパ間を通ってキャピラリ
３０へ導かれる。このクランパは例えばボンディングア
ーム２７と一体化され、ワイヤ２９にて半導体ペレット
の電極とリードフレームの所定位置とを接続した後、ボ
ンディングアーム２７の上昇時にワイヤ２９を把持し
て、このワイヤ２９を引張り切断する。
２９を巻き付けたスプール３１が設置される。ワイヤ２
９は、このスプール３１からワイヤ案内板（図示せず）
に案内され、図示しないクランパ間を通ってキャピラリ
３０へ導かれる。このクランパは例えばボンディングア
ーム２７と一体化され、ワイヤ２９にて半導体ペレット
の電極とリードフレームの所定位置とを接続した後、ボ
ンディングアーム２７の上昇時にワイヤ２９を把持し
て、このワイヤ２９を引張り切断する。
【００１８】更に、ボンディングヘッド２４にはトーチ
ホルダ３２が固着され、このトーチホルダ３２にトーチ
ロッド３３が配設される。このトーチロッド３３は、ト
ーチホルダ３２に対し水平方向に揺動自在に設けられ、
先端部にトーチ電極３４を有する。このトーチ電極３４
が、トーチロッド３３の揺動により、キャピラリ３０の
直下、或いは側方に設置可能とされる。尚、トーチロッ
ド３３が固定式であっても良い。
ホルダ３２が固着され、このトーチホルダ３２にトーチ
ロッド３３が配設される。このトーチロッド３３は、ト
ーチホルダ３２に対し水平方向に揺動自在に設けられ、
先端部にトーチ電極３４を有する。このトーチ電極３４
が、トーチロッド３３の揺動により、キャピラリ３０の
直下、或いは側方に設置可能とされる。尚、トーチロッ
ド３３が固定式であっても良い。
【００１９】Ｘ方向移動テーブル装置２２のＸ方向移動
用モータ２５、及びＹ方向移動テーブル装置２３のＹ方
向移動用モータ２６、並びにアーム駆動モータ２８は、
その駆動が制御装置３５により制御される。更に、この
制御装置３５は、キャピラリ３０に挿通されたワイヤ２
９の先端とトーチ電極３４との間の高電圧の印加も制御
する。
用モータ２５、及びＹ方向移動テーブル装置２３のＹ方
向移動用モータ２６、並びにアーム駆動モータ２８は、
その駆動が制御装置３５により制御される。更に、この
制御装置３５は、キャピラリ３０に挿通されたワイヤ２
９の先端とトーチ電極３４との間の高電圧の印加も制御
する。
【００２０】つまり、リードフレームフィーダによっ
て、半導体ペレットがマウントされたリードフレームが
ワイヤボンディング位置に設置されると、制御装置３５
は、ワイヤ２９の先端とトーチ電極３４との間に高電圧
を印加して放電を発生させ、ワイヤ２９の先端に溶融ボ
ールを形成する。
て、半導体ペレットがマウントされたリードフレームが
ワイヤボンディング位置に設置されると、制御装置３５
は、ワイヤ２９の先端とトーチ電極３４との間に高電圧
を印加して放電を発生させ、ワイヤ２９の先端に溶融ボ
ールを形成する。
【００２１】その後、制御装置３５は、アーム駆動モー
タ２８を制御してボンディングアーム２７を介しキャピ
ラリ３０を下降させ、ワイヤ２９の先端の溶融ボールを
半導体ペレットの電極に押し付けてボンディングさせ
る。次に、制御装置３５は、キャピラリ３０を上昇させ
た後、Ｘ方向移動用モータ２５及びＹ方向移動用モータ
２６を制御してボンディングヘッド２４を移動させ、再
びボンディングアーム２７を介してキャピラリ３０を下
降させ、ワイヤ２９をリードフレームの所定位置にボン
ディングさせる。
タ２８を制御してボンディングアーム２７を介しキャピ
ラリ３０を下降させ、ワイヤ２９の先端の溶融ボールを
半導体ペレットの電極に押し付けてボンディングさせ
る。次に、制御装置３５は、キャピラリ３０を上昇させ
た後、Ｘ方向移動用モータ２５及びＹ方向移動用モータ
２６を制御してボンディングヘッド２４を移動させ、再
びボンディングアーム２７を介してキャピラリ３０を下
降させ、ワイヤ２９をリードフレームの所定位置にボン
ディングさせる。
【００２２】その後、制御装置３５は、クランパにてワ
イヤ２９を把持させた後ボンディングアーム２７を上昇
させ、ワイヤ２９を引張って、リードフレームとの接合
部近傍でこのワイヤ２９を切断して、１ワイヤのボンデ
ィング動作を終了する。
イヤ２９を把持させた後ボンディングアーム２７を上昇
させ、ワイヤ２９を引張って、リードフレームとの接合
部近傍でこのワイヤ２９を切断して、１ワイヤのボンデ
ィング動作を終了する。
【００２３】さて、上記Ｘ方向移動テーブル装置２２及
びＹ方向移動テーブル装置２３は、重ね合わされた状態
でＸ・Ｙテーブル装置３６を構成する。Ｘ方向移動テー
ブル装置２２は、Ｘ方向移動テーブル３７、Ｘ方向送り
ねじ機構（図示せず）、上記Ｘ方向移動用モータ２５及
び上記制御装置３５を有して構成される。また、Ｙ方向
移動テーブル装置２３は、Ｙ方向移動テーブル３８、Ｙ
方向送りねじ機構（図示せず）、上記Ｙ方向移動用モー
タ２６及び上記制御装置３５を有して構成される。
びＹ方向移動テーブル装置２３は、重ね合わされた状態
でＸ・Ｙテーブル装置３６を構成する。Ｘ方向移動テー
ブル装置２２は、Ｘ方向移動テーブル３７、Ｘ方向送り
ねじ機構（図示せず）、上記Ｘ方向移動用モータ２５及
び上記制御装置３５を有して構成される。また、Ｙ方向
移動テーブル装置２３は、Ｙ方向移動テーブル３８、Ｙ
方向送りねじ機構（図示せず）、上記Ｙ方向移動用モー
タ２６及び上記制御装置３５を有して構成される。
【００２４】Ｘ方向移動テーブル３７は、装置本体２１
に対し、図示しないＸ方向ガイドを介してＸ方向に移動
可能に設けられる。また、Ｙ方向移動テーブル３８は、
装置本体２１に対し、図示しないＹ方向ガイドを介して
Ｙ方向に移動可能に設けられる。上記Ｘ方向送りねじ機
構は、図示しないＸ方向送りねじがＸ方向移動テーブル
３７に螺合されると共にＸ方向移動用モータ２５に連結
され、Ｘ方向移動用モータ２５の作動によりＸ方向送り
ねじを回転して、Ｘ方向移動テーブル３７をＸ方向ガイ
ドに沿ってＸ方向に移動させるものである。また、Ｙ方
向送りねじ機構は、図示しないＹ方向送りねじがＹ方向
移動テーブル３８に螺合されると共にＹ方向移動用モー
タ２６に連結され、このＹ方向移動用モータ２６の作動
によりＹ方向送りねじを回転して、Ｙ方向移動テーブル
３８をＹ方向ガイドに沿ってＹ方向に移動させるもので
ある。
に対し、図示しないＸ方向ガイドを介してＸ方向に移動
可能に設けられる。また、Ｙ方向移動テーブル３８は、
装置本体２１に対し、図示しないＹ方向ガイドを介して
Ｙ方向に移動可能に設けられる。上記Ｘ方向送りねじ機
構は、図示しないＸ方向送りねじがＸ方向移動テーブル
３７に螺合されると共にＸ方向移動用モータ２５に連結
され、Ｘ方向移動用モータ２５の作動によりＸ方向送り
ねじを回転して、Ｘ方向移動テーブル３７をＸ方向ガイ
ドに沿ってＸ方向に移動させるものである。また、Ｙ方
向送りねじ機構は、図示しないＹ方向送りねじがＹ方向
移動テーブル３８に螺合されると共にＹ方向移動用モー
タ２６に連結され、このＹ方向移動用モータ２６の作動
によりＹ方向送りねじを回転して、Ｙ方向移動テーブル
３８をＹ方向ガイドに沿ってＹ方向に移動させるもので
ある。
【００２５】上記制御装置３５は、前述の如く、Ｘ方向
移動用モータ２５、Ｙ方向移動用モータ２６及びアーム
駆動モータ２８を制御するが、特に、Ｘ方向移動テーブ
ル変位特性に基づいてＸ方向移動用モータ２５、つまり
Ｘ方向送りねじの回転数を制御し、また、Ｙ方向移動テ
ーブル変位特性に基づいてＹ方向移動用モータ２６、つ
まりＹ方向送りねじの回転数を制御する。
移動用モータ２５、Ｙ方向移動用モータ２６及びアーム
駆動モータ２８を制御するが、特に、Ｘ方向移動テーブ
ル変位特性に基づいてＸ方向移動用モータ２５、つまり
Ｘ方向送りねじの回転数を制御し、また、Ｙ方向移動テ
ーブル変位特性に基づいてＹ方向移動用モータ２６、つ
まりＹ方向送りねじの回転数を制御する。
【００２６】Ｘ方向移動テーブル変位特性は、図２に示
すように、Ｘ方向移動テーブル３７の変位とＸ方向送り
ねじの回転数との関係で表わすことができる。ここに示
すＸ方向移動テーブル変位特性はその一例で、Ｘ方向送
りねじの加工精度及びＸ方向ガイドの加工・組立精度の
影響を受けて、Ｘ方向移動テーブル３７の変位がＸ方向
送りねじの回転数に対し図２の破線Ｐに示すような比例
関係とならず、実線Ｑに示すような曲線となっている。
このため、Ｘ方向送りねじを同一回転数ｒだけ回転して
も、Ｘ方向移動テーブル３７の位置によっては変位が異
なる。例えば、Ｘ方向移動テーブル３７は位置Ａ1 にお
いて、Ｘ方向送りねじが回転数ｒだけ回転されると、変
位Ｌ1 だけ移動して位置Ａ2 に至るが、この位置Ａ2 に
おいては、Ｘ方向送りねじが同じ回転数ｒだけ回転され
ると、変位Ｌ2 （Ｌ2 ＞Ｌ1 ）だけ移動して位置Ａ3 と
なる。
すように、Ｘ方向移動テーブル３７の変位とＸ方向送り
ねじの回転数との関係で表わすことができる。ここに示
すＸ方向移動テーブル変位特性はその一例で、Ｘ方向送
りねじの加工精度及びＸ方向ガイドの加工・組立精度の
影響を受けて、Ｘ方向移動テーブル３７の変位がＸ方向
送りねじの回転数に対し図２の破線Ｐに示すような比例
関係とならず、実線Ｑに示すような曲線となっている。
このため、Ｘ方向送りねじを同一回転数ｒだけ回転して
も、Ｘ方向移動テーブル３７の位置によっては変位が異
なる。例えば、Ｘ方向移動テーブル３７は位置Ａ1 にお
いて、Ｘ方向送りねじが回転数ｒだけ回転されると、変
位Ｌ1 だけ移動して位置Ａ2 に至るが、この位置Ａ2 に
おいては、Ｘ方向送りねじが同じ回転数ｒだけ回転され
ると、変位Ｌ2 （Ｌ2 ＞Ｌ1 ）だけ移動して位置Ａ3 と
なる。
【００２７】そこで、制御装置３５に、Ｘ方向送りねじ
の回転数に対するレーザ干渉計又はマグネスケール等を
用いて予め測定された上述のＸ方向移動テーブル３７の
変位特性が格納され、この制御装置３５は、Ｘ方向移動
テーブル３７を現位置から所望位置へ移動させるために
Ｘ方向送りねじを何回転させる必要があるかを、上記Ｘ
方向移動テーブル変位特性に基づいて演算することによ
り、Ｘ方向移動テーブル３７を所望位置に位置決めす
る。
の回転数に対するレーザ干渉計又はマグネスケール等を
用いて予め測定された上述のＸ方向移動テーブル３７の
変位特性が格納され、この制御装置３５は、Ｘ方向移動
テーブル３７を現位置から所望位置へ移動させるために
Ｘ方向送りねじを何回転させる必要があるかを、上記Ｘ
方向移動テーブル変位特性に基づいて演算することによ
り、Ｘ方向移動テーブル３７を所望位置に位置決めす
る。
【００２８】また、Ｙ方向移動テーブル変位特性は、Ｙ
方向移動テーブル３８の変位とＹ方向送りねじの回転数
との関係で表わすことができ、Ｘ方向移動テーブル変位
特性と同様に、Ｙ方向移動テーブル３８の変位がＹ方向
送りねじの回転数に対し比例関係となっていないのが通
常である。従って、このＹ方向移動テーブル変位特性
も、レーザ干渉計等を用いて予め測定されて制御装置３
５内に格納され、この制御装置３５は、Ｙ方向移動テー
ブル変位特性に基づき、Ｙ方向移動テーブル３８を現位
置から所望位置に移動させるためのＹ方向送りねじの回
転数を決定する。
方向移動テーブル３８の変位とＹ方向送りねじの回転数
との関係で表わすことができ、Ｘ方向移動テーブル変位
特性と同様に、Ｙ方向移動テーブル３８の変位がＹ方向
送りねじの回転数に対し比例関係となっていないのが通
常である。従って、このＹ方向移動テーブル変位特性
も、レーザ干渉計等を用いて予め測定されて制御装置３
５内に格納され、この制御装置３５は、Ｙ方向移動テー
ブル変位特性に基づき、Ｙ方向移動テーブル３８を現位
置から所望位置に移動させるためのＹ方向送りねじの回
転数を決定する。
【００２９】従って、上記実施の形態によれば、次の効
果を奏する。 Ｘ方向送りねじ機構のＸ方向送りねじ、Ｙ方向送りね
じ機構のＹ方向送りねじの加工精度や、Ｘ方向ガイド、
Ｙ方向ガイドの加工・組立精度が高精度でなく、Ｘ方向
移動テーブル３７の変位とＸ方向送りねじの回転数との
間、Ｙ方向移動テーブル３８の変位とＹ方向送りねじの
回転数との間にそれぞれ比例関係が成立していなくて
も、制御装置３５が、予め測定された、Ｘ方向移動テー
ブル３７の変位とＸ方向送りねじの回転数との関係であ
るＸ方向移動テーブル変位特性に基づき、上記Ｘ方向送
りねじを所定回転数回転させてＸ方向移動テーブル３７
を所望位置に位置決めし、また、予め測定された、Ｙ方
向移動テーブル３８の変位とＹ方向送りねじの回転数と
の関係であるＹ方向移動テーブル変位特性に基づき、Ｙ
方向送りねじを所定回転数回転させてＹ方向移動テーブ
ル３８を所望位置に位置決めすることから、Ｘ方向移動
テーブル３７、Ｙ方向移動テーブル３８を高精度に位置
決めできる。
果を奏する。 Ｘ方向送りねじ機構のＸ方向送りねじ、Ｙ方向送りね
じ機構のＹ方向送りねじの加工精度や、Ｘ方向ガイド、
Ｙ方向ガイドの加工・組立精度が高精度でなく、Ｘ方向
移動テーブル３７の変位とＸ方向送りねじの回転数との
間、Ｙ方向移動テーブル３８の変位とＹ方向送りねじの
回転数との間にそれぞれ比例関係が成立していなくて
も、制御装置３５が、予め測定された、Ｘ方向移動テー
ブル３７の変位とＸ方向送りねじの回転数との関係であ
るＸ方向移動テーブル変位特性に基づき、上記Ｘ方向送
りねじを所定回転数回転させてＸ方向移動テーブル３７
を所望位置に位置決めし、また、予め測定された、Ｙ方
向移動テーブル３８の変位とＹ方向送りねじの回転数と
の関係であるＹ方向移動テーブル変位特性に基づき、Ｙ
方向送りねじを所定回転数回転させてＹ方向移動テーブ
ル３８を所望位置に位置決めすることから、Ｘ方向移動
テーブル３７、Ｙ方向移動テーブル３８を高精度に位置
決めできる。
【００３０】また、Ｘ方向移動テーブル３７、Ｙ方向
移動テーブル３８の位置決め精度を高精度とするため
に、Ｘ方向送りねじ、Ｙ方向送りねじの加工精度やＸ方
向ガイド、Ｙ方向ガイドの加工・組立精度を高精度とす
る必要がないので、特に、Ｘ方向送りねじ機構、Ｙ方向
送りねじ機構を低コスト化でき、Ｘ方向移動テーブル装
置２２、Ｙ方向移動テーブル装置２３を安価に構成でき
る。
移動テーブル３８の位置決め精度を高精度とするため
に、Ｘ方向送りねじ、Ｙ方向送りねじの加工精度やＸ方
向ガイド、Ｙ方向ガイドの加工・組立精度を高精度とす
る必要がないので、特に、Ｘ方向送りねじ機構、Ｙ方向
送りねじ機構を低コスト化でき、Ｘ方向移動テーブル装
置２２、Ｙ方向移動テーブル装置２３を安価に構成でき
る。
【００３１】尚、例えばＸ方向送りねじ機構のＸ方向送
りねじが、バックラッシュの関係で送り方向の往行程と
復行程との間でＸ方向移動テーブル変位特性を異ならせ
るものである場合には、往行程におけるＸ方向移動テー
ブル変位特性と復行程におけるＸ方向移動テーブル変位
特性とをそれぞれ予め測定し、制御装置３５は、テーブ
ルの移動方向に応じて変位特性を使い分け、これらの両
特性に基づいてＸ方向送りねじを回転させＸ方向移動テ
ーブル３７を所望位置に位置決めするように制御するも
のであっても良い。また、Ｙ方向送りねじ機構のＹ方向
送りねじが同様に、往行程と復行程とでＹ方向移動テー
ブル変位特性を異ならせる場合にも、制御装置３５は、
往行程におけるＹ方向移動テーブル変位特性と復行程に
おけるＹ方向移動テーブル変位特性とをそれぞれ予め測
定し、これらの両特性に基づいてＹ方向移動テーブル３
８を位置決めするように制御するものであっても良い。
りねじが、バックラッシュの関係で送り方向の往行程と
復行程との間でＸ方向移動テーブル変位特性を異ならせ
るものである場合には、往行程におけるＸ方向移動テー
ブル変位特性と復行程におけるＸ方向移動テーブル変位
特性とをそれぞれ予め測定し、制御装置３５は、テーブ
ルの移動方向に応じて変位特性を使い分け、これらの両
特性に基づいてＸ方向送りねじを回転させＸ方向移動テ
ーブル３７を所望位置に位置決めするように制御するも
のであっても良い。また、Ｙ方向送りねじ機構のＹ方向
送りねじが同様に、往行程と復行程とでＹ方向移動テー
ブル変位特性を異ならせる場合にも、制御装置３５は、
往行程におけるＹ方向移動テーブル変位特性と復行程に
おけるＹ方向移動テーブル変位特性とをそれぞれ予め測
定し、これらの両特性に基づいてＹ方向移動テーブル３
８を位置決めするように制御するものであっても良い。
【００３２】また、上記実施の形態では、Ｘ・Ｙテーブ
ル装置３６が、ワイヤボンディング装置２０におけるも
のを述べたが、ペレットボンディング装置におけるＸ・
Ｙテーブル装置に本発明を適用しても良い。その他、半
導体製造装置以外の移動テーブル装置に本発明を適用し
ても良い。
ル装置３６が、ワイヤボンディング装置２０におけるも
のを述べたが、ペレットボンディング装置におけるＸ・
Ｙテーブル装置に本発明を適用しても良い。その他、半
導体製造装置以外の移動テーブル装置に本発明を適用し
ても良い。
【００３３】また移動テーブルとして、２方向に移動す
るＸ、Ｙテーブル装置３６を述べたが、一方向のみに移
動するテーブル、或いは回転テーブルと一体のウォーム
歯車にモータで回されるウォームネジを螺合させたθテ
ーブルなどへも適用できる。
るＸ、Ｙテーブル装置３６を述べたが、一方向のみに移
動するテーブル、或いは回転テーブルと一体のウォーム
歯車にモータで回されるウォームネジを螺合させたθテ
ーブルなどへも適用できる。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る移動テーブ
ル装置によれば、移動テーブルを安価で且つ高精度に位
置決めすることができる。
ル装置によれば、移動テーブルを安価で且つ高精度に位
置決めすることができる。
【図１】図１は、本発明に係る移動テーブル装置の一つ
実施の形態が適用されたワイヤボンディング装置の一部
を示す斜視図である。
実施の形態が適用されたワイヤボンディング装置の一部
を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のＸ方向移動テーブル装置におけ
るＸ方向移動テーブル変位特性の例を示すグラフであ
る。
るＸ方向移動テーブル変位特性の例を示すグラフであ
る。
【符号の説明】 ２０ ワイヤボンディング装置 ２１ 装置本体 ２２ Ｘ方向移動テーブル装置 ２３ Ｙ方向移動テーブル装置 ２４ ボンディングヘッド ２５ Ｘ方向移動用モータ ２６ Ｙ方向移動用モータ ３５ 制御装置 ３７ Ｘ方向移動テーブル ３８ Ｙ方向移動テーブル
Claims (2)
- 【請求項１】 本体に対しガイドを介して一方向に移動
可能に設けられた移動テーブルと、 移動テーブルに螺合された送りねじを回転させて、上記
移動テーブルを上記ガイドに沿って移動させる送りねじ
機構と、 上記送りねじ機構の回転を制御する制御装置と、を有す
る移動テーブル装置において、 上記移動テーブルの変位と上記送りねじ機構の上記送り
ねじの回転数との関係が移動テーブル変位特性として予
め測定され、 上記制御装置は、上記移動テーブル変位特性に基づき、
上記送りねじを所定回転数回転させて、上記移動テーブ
ルを所望位置に位置決めすることを特徴とする移動テー
ブル装置。 - 【請求項２】 上記移動テーブルが、半導体製造装置の
ボンディングヘッドを載置するものである請求項１に記
載の移動テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8178689A JPH1012708A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 移動テーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8178689A JPH1012708A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 移動テーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1012708A true JPH1012708A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=16052835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8178689A Withdrawn JPH1012708A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 移動テーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1012708A (ja) |
-
1996
- 1996-06-20 JP JP8178689A patent/JPH1012708A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |