JPH10122656A - 流体加熱装置 - Google Patents
流体加熱装置Info
- Publication number
- JPH10122656A JPH10122656A JP29759496A JP29759496A JPH10122656A JP H10122656 A JPH10122656 A JP H10122656A JP 29759496 A JP29759496 A JP 29759496A JP 29759496 A JP29759496 A JP 29759496A JP H10122656 A JPH10122656 A JP H10122656A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen lamp
- tube
- heating device
- fluid heating
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
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- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハロゲンランプを石英ガラス製管体中の定め
られた位置に正確に挿入させることができる流体加熱装
置を提供する。 【解決手段】 流体の流入口１３および流出口１４を設
けた石英ガラス製の筒体Ａ1内に挿入配置する石英ガラ
ス製の管体１５に、一方の管口を端壁部１５ａで閉塞し
た管体を用い、その管体を筒体の長手方向に対向する端
面板部１１，１２に貫通支持させ、管体内に他方の管口
側のみに電極リード１６ａ，１６ｂを有するハロゲンラ
ンプ１６を挿入配置する。 【効果】 前記管体の閉塞部がハロゲンランプ挿入時の
ストッパーおよび位置決めとして機能するので、ハロゲ
ンランプを定められた位置に正確に挿入配置させること
ができる。
られた位置に正確に挿入させることができる流体加熱装
置を提供する。 【解決手段】 流体の流入口１３および流出口１４を設
けた石英ガラス製の筒体Ａ1内に挿入配置する石英ガラ
ス製の管体１５に、一方の管口を端壁部１５ａで閉塞し
た管体を用い、その管体を筒体の長手方向に対向する端
面板部１１，１２に貫通支持させ、管体内に他方の管口
側のみに電極リード１６ａ，１６ｂを有するハロゲンラ
ンプ１６を挿入配置する。 【効果】 前記管体の閉塞部がハロゲンランプ挿入時の
ストッパーおよび位置決めとして機能するので、ハロゲ
ンランプを定められた位置に正確に挿入配置させること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備等
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
の改良に関する。
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の流体加熱装置として、図
５〜図６に示す流体加熱装置が知られている。図５〜図
６において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この筒体
Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一方の
端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、他方
の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５とで形
成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する２本
の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６内
に、電極リード７ａ，７ｂをもつハロゲンランプ７をそ
れぞれ挿入配置して構成したものである。
５〜図６に示す流体加熱装置が知られている。図５〜図
６において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この筒体
Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一方の
端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、他方
の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５とで形
成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する２本
の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６内
に、電極リード７ａ，７ｂをもつハロゲンランプ７をそ
れぞれ挿入配置して構成したものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の流体加熱装
置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に
向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設してい
るので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に
加熱処理することができる。
置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に
向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設してい
るので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に
加熱処理することができる。
【０００４】しかし、前記ハロゲンランプを挿入配置す
るための石英ガラス製管体は両端が開いており、いずれ
の方向からも挿入可能であるが、その反面、ハロゲンラ
ンプの挿入位置を正確に定めにくく、かつ挿入後に位置
ズレを生じやすい。また、前記石英ガラス製管体内に挿
入されるハロゲンランプは、その両端に電極リードを有
するので、筒体の長手方向に対向する両端板面部側でそ
れぞれ電極リードの接続作業を行わなければならず、そ
のための作業スペースを必要とする。
るための石英ガラス製管体は両端が開いており、いずれ
の方向からも挿入可能であるが、その反面、ハロゲンラ
ンプの挿入位置を正確に定めにくく、かつ挿入後に位置
ズレを生じやすい。また、前記石英ガラス製管体内に挿
入されるハロゲンランプは、その両端に電極リードを有
するので、筒体の長手方向に対向する両端板面部側でそ
れぞれ電極リードの接続作業を行わなければならず、そ
のための作業スペースを必要とする。
【０００５】本発明は、上述した従来の流体加熱装置の
もつ欠点を解消するためになされたものであって、ハロ
ゲンランプを石英ガラス製の管体中の定められた位置に
正確に挿入させることができ、しかも、ハロゲンランプ
の電極リード接続作業を前記管体の片側で行うことがで
きる流体加熱装置を提供することを主たる目的としてい
る。
もつ欠点を解消するためになされたものであって、ハロ
ゲンランプを石英ガラス製の管体中の定められた位置に
正確に挿入させることができ、しかも、ハロゲンランプ
の電極リード接続作業を前記管体の片側で行うことがで
きる流体加熱装置を提供することを主たる目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る
流体加熱装置において、前記管体の一方の管口を閉塞
し、その管体内に他方の管口側のみに電極リードを有す
るハロゲンランプを挿入配置して構成したことを要旨と
している。
め、本発明は、流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る
流体加熱装置において、前記管体の一方の管口を閉塞
し、その管体内に他方の管口側のみに電極リードを有す
るハロゲンランプを挿入配置して構成したことを要旨と
している。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１〜図２に、本発明の好ましい
実施の形態を示す。同図の流体加熱装置は、流体の流入
口１３および流出口１４を設けた石英ガラス製の筒体Ａ
1内に挿入配置する石英ガラス製の管体１５に、一方の
管口を端壁部１５ａで閉塞した管体を用い、その管体を
筒体の長手方向に対向する端面板部１１，１２に貫通支
持させ、管体内に他方の管口側のみに電極リード１６
ａ，１６ｂを有するハロゲンランプ１６を挿入配置して
構成している。
実施の形態を示す。同図の流体加熱装置は、流体の流入
口１３および流出口１４を設けた石英ガラス製の筒体Ａ
1内に挿入配置する石英ガラス製の管体１５に、一方の
管口を端壁部１５ａで閉塞した管体を用い、その管体を
筒体の長手方向に対向する端面板部１１，１２に貫通支
持させ、管体内に他方の管口側のみに電極リード１６
ａ，１６ｂを有するハロゲンランプ１６を挿入配置して
構成している。
【０００８】
【実施例】図１〜図２に、本発明の一実施例を示す。図
１〜図２おいて、Ａ1は石英ガラス製の筒体、１０は筒
体Ａを形成している円筒形筒部、１１，１２は筒部の端
面板部、１３は流体流入口、１４は流出口である。筒体
１０の内部に挿入配置された石英ガラス製の管体１５に
は、一方の管口を端壁部１５ａで閉塞した管体が用いら
れ、前記端面板部１１，１２に貫通支持されている。管
体１５が端面板部１１，１２に貫通する部分は、流体が
漏れないように、溶接によりシールされている。管体１
５には、閉塞してない管口側のみに電極リード１６ａ，
１６ｂを有するハロゲンランプ１６が挿入配置されてい
る。
１〜図２おいて、Ａ1は石英ガラス製の筒体、１０は筒
体Ａを形成している円筒形筒部、１１，１２は筒部の端
面板部、１３は流体流入口、１４は流出口である。筒体
１０の内部に挿入配置された石英ガラス製の管体１５に
は、一方の管口を端壁部１５ａで閉塞した管体が用いら
れ、前記端面板部１１，１２に貫通支持されている。管
体１５が端面板部１１，１２に貫通する部分は、流体が
漏れないように、溶接によりシールされている。管体１
５には、閉塞してない管口側のみに電極リード１６ａ，
１６ｂを有するハロゲンランプ１６が挿入配置されてい
る。
【０００９】上記構成による流体加熱装置にあっては、
図５〜図６に示した従来の装置と同様に、筒体Ａ1の流
入口１３から流入して流出口１４に向けて流れる流体は
ハロゲンランプ１６の輻射光により連続的に加熱処理さ
れる。加えて、上記のように管体１５に、ハロゲンラン
プの挿入方向の先端管口を端壁部１５ａで閉塞した管体
を用いた構成によれば、その閉塞部がハロゲンランプ挿
入時のストッパーおよび位置決めとして機能するので、
ハロゲンランプを管体中の定められた位置に正確に挿入
することができ、しかも、挿入後の位置ズレ防止効果も
得られる。また、前記管体１５に挿入配置するハロゲン
ランプ１６は、挿入管口側のみに電極リード１６ａ，１
６ｂを有するものを使用しているので、電極リードの接
続作業を管体の片側で行える副次的効果も得られる。ま
た、光源であるハロゲンランプの交換も可能である。
図５〜図６に示した従来の装置と同様に、筒体Ａ1の流
入口１３から流入して流出口１４に向けて流れる流体は
ハロゲンランプ１６の輻射光により連続的に加熱処理さ
れる。加えて、上記のように管体１５に、ハロゲンラン
プの挿入方向の先端管口を端壁部１５ａで閉塞した管体
を用いた構成によれば、その閉塞部がハロゲンランプ挿
入時のストッパーおよび位置決めとして機能するので、
ハロゲンランプを管体中の定められた位置に正確に挿入
することができ、しかも、挿入後の位置ズレ防止効果も
得られる。また、前記管体１５に挿入配置するハロゲン
ランプ１６は、挿入管口側のみに電極リード１６ａ，１
６ｂを有するものを使用しているので、電極リードの接
続作業を管体の片側で行える副次的効果も得られる。ま
た、光源であるハロゲンランプの交換も可能である。
【００１０】図３に、本発明の他の実施例を示す。この
実施例は、図１〜図２の管体１５を用い、この管体１５
を筒体Ａ1の端面板部１２に貫通させることなく、筒体
内に引き込んで構成したものである。この構成によれ
ば、図１〜図２と同様な効果が得られるばかりでなく、
流体による管体先端部の冷却効果が得られるので、ハロ
ゲンランプの耐久性向上に役立つ。また、管体先端を筒
体内に引き込んで構成したものは、筒体を組み込む場合
の設置スペースの縮小化にも有利であり、管体の先端を
誤って破損させるようなおそれもなくなる。
実施例は、図１〜図２の管体１５を用い、この管体１５
を筒体Ａ1の端面板部１２に貫通させることなく、筒体
内に引き込んで構成したものである。この構成によれ
ば、図１〜図２と同様な効果が得られるばかりでなく、
流体による管体先端部の冷却効果が得られるので、ハロ
ゲンランプの耐久性向上に役立つ。また、管体先端を筒
体内に引き込んで構成したものは、筒体を組み込む場合
の設置スペースの縮小化にも有利であり、管体の先端を
誤って破損させるようなおそれもなくなる。
【００１１】図４に、さらに本発明の他の実施例を示
す。この実施例は、管体１５のハロゲンランプ挿入方向
の先端管口を筒体Ａ1の端面板部１２に溶接により接合
して閉塞したものである。この構成によれば、ハロゲン
ランプ挿入時のストッパーおよび位置決め効果ならびに
筒体を組み込む場合の設置スペースの縮小効果が得られ
るばかりでなく、筒体に管体の貫通口を設けるための手
数が省ける。
す。この実施例は、管体１５のハロゲンランプ挿入方向
の先端管口を筒体Ａ1の端面板部１２に溶接により接合
して閉塞したものである。この構成によれば、ハロゲン
ランプ挿入時のストッパーおよび位置決め効果ならびに
筒体を組み込む場合の設置スペースの縮小効果が得られ
るばかりでなく、筒体に管体の貫通口を設けるための手
数が省ける。
【００１２】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
光源であるハロゲンランプを石英ガラス製管体中の定め
られた位置に正確に挿入させることができ、しかもハロ
ゲンランプの電極リード接続作業を管体の片側で行うこ
とができる実用性に優れた流体加熱装置が得られる。
光源であるハロゲンランプを石英ガラス製管体中の定め
られた位置に正確に挿入させることができ、しかもハロ
ゲンランプの電極リード接続作業を管体の片側で行うこ
とができる実用性に優れた流体加熱装置が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す流体加熱装置の断面図
である。
である。
【図２】流体加熱装置の正面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の断面
図である。
図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の断面
図である。
図である。
【図５】従来の流体加熱装置の断面図である。
【図６】前記流体加熱装置の正面図である。
Ａ 従来の流体加熱装置を構成している筒体 １ 筒体の円筒形筒部 ２，３ 筒体の両端板部 ４ 流体流入口 ５ 流体流出口 ６ 管体 ７ ハロゲンランプ ７ａ，７ｂ 電極リード Ａ1 本発明の流体加熱装置を構成している筒体 １０ 筒体の円筒形筒部 １１，１２ 筒体の両端面板部 １３ 流体流入口 １４ 流体流出口 １５ 管体 １５ａ 管体の端壁部 １６ ハロゲンランプ １６ａ，１６ｂ 電極リード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｇ 3/00 Ｈ０５Ｋ 3/26 Ａ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５７２Ｂ 3/26 21/306 Ｊ
Claims (4)
- 【請求項１】 流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る
流体加熱装置において、前記管体の一方の管口を閉塞
し、その管体内に他方の管口側のみに電極リードを有す
るハロゲンランプを挿入配置して構成したことを特徴と
する流体加熱装置。 - 【請求項２】 前記管体に、ハロゲンランプの挿入方向
の先端管口を閉塞した管体が用いられ、その管体が閉塞
端側で筒体の長手方向に対向する端面板部に貫通支持さ
れている請求項１に記載の流体加熱装置。 - 【請求項３】 前記管体に、ハロゲンランプの挿入方向
の先端管口を閉塞した管体が用いられ、その管体の閉塞
端部が筒体の長手方向に対向する一方の端面板部から引
き込まれている請求項１に記載の流体加熱装置。 - 【請求項４】 前記管体のハロゲンランプ挿入方向の先
端管口が前記筒体の長手方向に対向する一方の端面板部
によって閉塞されている請求項１に記載の流体加熱装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29759496A JP3344909B2 (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
| KR1019970046002A KR100445713B1 (ko) | 1996-09-09 | 1997-09-05 | 유체 가열 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29759496A JP3344909B2 (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10122656A true JPH10122656A (ja) | 1998-05-15 |
| JP3344909B2 JP3344909B2 (ja) | 2002-11-18 |
Family
ID=17848586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29759496A Expired - Fee Related JP3344909B2 (ja) | 1996-09-09 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3344909B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406726B1 (ko) * | 2001-05-25 | 2003-11-20 | 이극용 | 히팅장치 |
| DE102007040076A1 (de) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Tsai, Hua-Hsin, Linnei | Heizrohranordnung |
| JP2012256617A (ja) * | 2012-09-26 | 2012-12-27 | Nichias Corp | ランプ及び加熱装置 |
| WO2023203794A1 (ja) * | 2022-04-22 | 2023-10-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 液体加熱装置 |
-
1996
- 1996-10-18 JP JP29759496A patent/JP3344909B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406726B1 (ko) * | 2001-05-25 | 2003-11-20 | 이극용 | 히팅장치 |
| DE102007040076A1 (de) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Tsai, Hua-Hsin, Linnei | Heizrohranordnung |
| DE102007040076B4 (de) * | 2007-08-24 | 2009-08-20 | Tsai, Hua-Hsin, Linnei | Heizrohranordnung |
| JP2012256617A (ja) * | 2012-09-26 | 2012-12-27 | Nichias Corp | ランプ及び加熱装置 |
| WO2023203794A1 (ja) * | 2022-04-22 | 2023-10-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 液体加熱装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3344909B2 (ja) | 2002-11-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |