JP3344909B2 - 流体加熱装置 - Google Patents
流体加熱装置Info
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- JP3344909B2 JP3344909B2 JP29759496A JP29759496A JP3344909B2 JP 3344909 B2 JP3344909 B2 JP 3344909B2 JP 29759496 A JP29759496 A JP 29759496A JP 29759496 A JP29759496 A JP 29759496A JP 3344909 B2 JP3344909 B2 JP 3344909B2
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- Japan
- Prior art keywords
- tube
- fluid
- heating device
- fluid heating
- halogen lamp
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
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- Weting (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備等
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
の改良に関する。
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の流体加熱装置として、図
４〜図５に示す流体加熱装置が知られている。図４〜図
５において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この筒体
Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一方の
端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、他方
の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５とで形
成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する２本
の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６内
に、電極リード７ａ，７ｂをもつハロゲンランプ７をそ
れぞれ挿入配置して構成したものである。
４〜図５に示す流体加熱装置が知られている。図４〜図
５において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この筒体
Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一方の
端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、他方
の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５とで形
成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する２本
の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６内
に、電極リード７ａ，７ｂをもつハロゲンランプ７をそ
れぞれ挿入配置して構成したものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の流体加熱装
置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に
向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設してい
るので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に
加熱処理することができる。
置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に
向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設してい
るので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に
加熱処理することができる。
【０００４】しかし、前記ハロゲンランプを挿入配置す
るための石英ガラス製管体は両端が開いており、いずれ
の方向からも挿入可能であるが、その反面、ハロゲンラ
ンプの挿入位置を正確に定めにくく、かつ挿入後に位置
ズレを生じやすい。また、前記石英ガラス製管体内に挿
入されるハロゲンランプは、その両端に電極リードを有
するので、筒体の長手方向に対向する両端板面部側でそ
れぞれ電極リードの接続作業を行わなければならず、そ
のための作業スペースを必要とする。また、筒体に管体
を貫通させるための貫通口を２個所にわたって設ける必
要がある。
るための石英ガラス製管体は両端が開いており、いずれ
の方向からも挿入可能であるが、その反面、ハロゲンラ
ンプの挿入位置を正確に定めにくく、かつ挿入後に位置
ズレを生じやすい。また、前記石英ガラス製管体内に挿
入されるハロゲンランプは、その両端に電極リードを有
するので、筒体の長手方向に対向する両端板面部側でそ
れぞれ電極リードの接続作業を行わなければならず、そ
のための作業スペースを必要とする。また、筒体に管体
を貫通させるための貫通口を２個所にわたって設ける必
要がある。
【０００５】本発明は、上述した従来の流体加熱装置の
もつ欠点を解消するためになされたものであって、ハロ
ゲンランプを石英ガラス製の管体中の定められた位置に
正確に挿入させることができ、しかも、ハロゲンランプ
の電極リード接続作業を前記管体の片側で行うことがで
きる流体加熱装置を提供することを主たる目的としてい
る。
もつ欠点を解消するためになされたものであって、ハロ
ゲンランプを石英ガラス製の管体中の定められた位置に
正確に挿入させることができ、しかも、ハロゲンランプ
の電極リード接続作業を前記管体の片側で行うことがで
きる流体加熱装置を提供することを主たる目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、流体の流入口および流出口を設
けた石英ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体
を挿入配置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置
して成る流体加熱装置において、前記管体にハロゲンラ
ンプの挿入方向の先端管口を閉塞した管体が用いられ、
前記管体は筒体の長手方向に対向する一方の端面板部を
貫通し、管口の閉塞端部が筒体の他方の端面板部から離
隔するように配置され、筒体の外に出る管体の管口か
ら、その管口側のみに電極リードを有するハロゲンラン
プが挿入配置されていることを要旨としている。請求項
２の発明は、流体の流入口および流出口を設けた石英ガ
ラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配置
し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る流
体加熱装置において、前記管体に両管口を開いた管体が
用いられ、前記管体は筒体の長手方向に対向する一方の
端面板部を貫通し、その先端管口が管体の他方の端面板
部に接合するように配置され、筒体の外に出る管体の管
口から、その管口側のみに電極リードを有するハロゲン
ランプが挿入配置されていることを要旨としている。 請
求項３の発明は、請求項２において、前記管体の先端管
口は端面板部に溶接により接合されていることを要旨と
している。
め、請求項１の発明は、流体の流入口および流出口を設
けた石英ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体
を挿入配置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置
して成る流体加熱装置において、前記管体にハロゲンラ
ンプの挿入方向の先端管口を閉塞した管体が用いられ、
前記管体は筒体の長手方向に対向する一方の端面板部を
貫通し、管口の閉塞端部が筒体の他方の端面板部から離
隔するように配置され、筒体の外に出る管体の管口か
ら、その管口側のみに電極リードを有するハロゲンラン
プが挿入配置されていることを要旨としている。請求項
２の発明は、流体の流入口および流出口を設けた石英ガ
ラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配置
し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る流
体加熱装置において、前記管体に両管口を開いた管体が
用いられ、前記管体は筒体の長手方向に対向する一方の
端面板部を貫通し、その先端管口が管体の他方の端面板
部に接合するように配置され、筒体の外に出る管体の管
口から、その管口側のみに電極リードを有するハロゲン
ランプが挿入配置されていることを要旨としている。 請
求項３の発明は、請求項２において、前記管体の先端管
口は端面板部に溶接により接合されていることを要旨と
している。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１〜図２に、本発明の好ましい
実施の形態を示す。同図の流体加熱装置は、流体の流入
口１３および流出口１４を設けた石英ガラス製の筒体Ａ
1内に挿入配置する石英ガラス製の管体１５に、一方の
管口を端壁部１５ａで閉塞した管体を用い、その管体１
５を筒体の長手方向に対向する一方の端面板部１１を貫
通し、管口の閉塞端部が筒体の他方の端面板部１２から
離隔するように配置され、筒体の外に出る管体の管口か
ら、その管口側のみに電極リード１６ａ，１６ｂを有す
るハロゲンランプ１６を挿入配置して構成している。
実施の形態を示す。同図の流体加熱装置は、流体の流入
口１３および流出口１４を設けた石英ガラス製の筒体Ａ
1内に挿入配置する石英ガラス製の管体１５に、一方の
管口を端壁部１５ａで閉塞した管体を用い、その管体１
５を筒体の長手方向に対向する一方の端面板部１１を貫
通し、管口の閉塞端部が筒体の他方の端面板部１２から
離隔するように配置され、筒体の外に出る管体の管口か
ら、その管口側のみに電極リード１６ａ，１６ｂを有す
るハロゲンランプ１６を挿入配置して構成している。
【０００８】
【実施例】図１〜図２に、本発明の一実施例を示す。図
１〜図２において、Ａ１は石英ガラス製の筒体、１０は
筒体Ａを形成している円筒形筒部、１１，１２は筒部の
端面板部、１３は流体流入口、１４は流出口である。筒
体１０の内部に挿入配置された石英ガラス製の管体１５
には、一方の管口を端壁部１５ａで閉塞した管体が用い
られ、管体１５は筒体１０の一方の端面板部１１に貫通
支持され、その貫通する部分は流体が漏れないように溶
接によりシールされている。間体はその閉塞端部が筒体
の他方の端面板部１２から離隔するように配置されてい
る。筒体の外に出る管体１５の閉塞してない管口から、
その管口側のみに電極リード１６ａ，１６ｂを有するハ
ロゲンランプ１６が挿入配置されている。
１〜図２において、Ａ１は石英ガラス製の筒体、１０は
筒体Ａを形成している円筒形筒部、１１，１２は筒部の
端面板部、１３は流体流入口、１４は流出口である。筒
体１０の内部に挿入配置された石英ガラス製の管体１５
には、一方の管口を端壁部１５ａで閉塞した管体が用い
られ、管体１５は筒体１０の一方の端面板部１１に貫通
支持され、その貫通する部分は流体が漏れないように溶
接によりシールされている。間体はその閉塞端部が筒体
の他方の端面板部１２から離隔するように配置されてい
る。筒体の外に出る管体１５の閉塞してない管口から、
その管口側のみに電極リード１６ａ，１６ｂを有するハ
ロゲンランプ１６が挿入配置されている。
【０００９】上記構成による流体加熱装置にあっては、
図４〜図５に示した従来の装置と同様に、筒体Ａ１の流
入口１３から流入して流出口１４に向けて流れる流体は
ハロゲンランプ１６の輻射光により連続的に加熱処理さ
れる。加えて、上記のように管体１５に、ハロゲンラン
プの挿入方向の先端管口を端壁部１５ａで閉塞した管体
を用いた構成によれば、その閉塞部がハロゲンランプ挿
入時のストッパーおよび位置決めとして機能させること
ができ、ハロゲンランプを管体中の定められた位置に正
確に挿入することができ、しかも、挿入後の位置ズレ防
止効果も得られる。また、前記管体１５に挿入配置する
ハロゲンランプ１６は、挿入管口側のみに電極リード１
６ａ，１６ｂを有するものを使用しているので、電極リ
ードの接続作業を管体の片側で行える副次的効果も得ら
れる。また、光源であるハロゲンランプの交換も可能で
ある。
図４〜図５に示した従来の装置と同様に、筒体Ａ１の流
入口１３から流入して流出口１４に向けて流れる流体は
ハロゲンランプ１６の輻射光により連続的に加熱処理さ
れる。加えて、上記のように管体１５に、ハロゲンラン
プの挿入方向の先端管口を端壁部１５ａで閉塞した管体
を用いた構成によれば、その閉塞部がハロゲンランプ挿
入時のストッパーおよび位置決めとして機能させること
ができ、ハロゲンランプを管体中の定められた位置に正
確に挿入することができ、しかも、挿入後の位置ズレ防
止効果も得られる。また、前記管体１５に挿入配置する
ハロゲンランプ１６は、挿入管口側のみに電極リード１
６ａ，１６ｂを有するものを使用しているので、電極リ
ードの接続作業を管体の片側で行える副次的効果も得ら
れる。また、光源であるハロゲンランプの交換も可能で
ある。
【００１０】加えて、管体１５を筒体Ａ 1 の端面板部１
２に貫通させることなく、筒体内に引き込んで端面板部
から離隔させた構成によれば、流体による管体先端部の
冷却効果が得られるので、ハロゲンランプの耐久性向上
に役立つ。また、管体の挿入先端を筒体内に引き込んで
構成したものは、筒体を組み込む場合の設置スペースの
縮小化にも有利であり、管体の先端を誤って破損させる
ようなおそれもなくなる。
２に貫通させることなく、筒体内に引き込んで端面板部
から離隔させた構成によれば、流体による管体先端部の
冷却効果が得られるので、ハロゲンランプの耐久性向上
に役立つ。また、管体の挿入先端を筒体内に引き込んで
構成したものは、筒体を組み込む場合の設置スペースの
縮小化にも有利であり、管体の先端を誤って破損させる
ようなおそれもなくなる。
【００１１】図３に、さらに本発明の他の実施例を示
す。この実施例では、管体１５に両管 口を開いた管体が
用いられ、管体１５のハロゲンランプ挿入方向の先端管
口を筒体Ａ１の端面板部１２に溶接により接合して閉塞
したものである。この構成によれば、ハロゲンランプ挿
入時のストッパーおよび位置決め効果ならびに筒体を組
み込む場合の設置スペースの縮小効果が得られるばかり
でなく、筒体に管体の貫通口を設けるための手数が省け
る。
す。この実施例では、管体１５に両管 口を開いた管体が
用いられ、管体１５のハロゲンランプ挿入方向の先端管
口を筒体Ａ１の端面板部１２に溶接により接合して閉塞
したものである。この構成によれば、ハロゲンランプ挿
入時のストッパーおよび位置決め効果ならびに筒体を組
み込む場合の設置スペースの縮小効果が得られるばかり
でなく、筒体に管体の貫通口を設けるための手数が省け
る。
【００１２】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明の流体加熱
装置の構成によれば、下記の効果が得られる。 光源で
あるハロゲンランプを石英ガラス製管体中の定められた
位置に正確に挿入させることができる。しかも管体の位
置ズレ防止効果が得られる。 ハロゲンランプの電極リ
ード接続作業をハロゲンランプ挿入管の片側で行うこと
ができる。 流体による管体先端部の冷却効果が得ら
れ、ハロゲンランプの耐久性の向上に役立つ。 筒体を
組み込む場合の設置スペースの縮小化に有利であり、挿
入管体の先端の破損を防げる。 筒体に管体の貫通口を
設ける手数を軽減できる。
装置の構成によれば、下記の効果が得られる。 光源で
あるハロゲンランプを石英ガラス製管体中の定められた
位置に正確に挿入させることができる。しかも管体の位
置ズレ防止効果が得られる。 ハロゲンランプの電極リ
ード接続作業をハロゲンランプ挿入管の片側で行うこと
ができる。 流体による管体先端部の冷却効果が得ら
れ、ハロゲンランプの耐久性の向上に役立つ。 筒体を
組み込む場合の設置スペースの縮小化に有利であり、挿
入管体の先端の破損を防げる。 筒体に管体の貫通口を
設ける手数を軽減できる。
【図１】本発明の一実施例を示す流体加熱装置の断面図
である。
である。
【図２】流体加熱装置の正面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の断面
図である。
図である。
【図４】従来の流体加熱装置の断面図である。
【図５】前記流体加熱装置の正面図である。
Ａ 従来の流体加熱装置を構成している筒体 １ 筒体の円筒形筒部 ２，３ 筒体の両端板部 ４ 流体流入口 ５ 流体流出口 ６ 管体 ７ ハロゲンランプ ７ａ，７ｂ 電極リード Ａ１ 本発明の流体加熱装置を構成している筒体 １０ 筒体の円筒形筒部 １１，１２ 筒体の両端面板部 １３ 流体流入口 １４ 流体流出口 １５ 管体 １５ａ 管体の端壁部 １６ ハロゲンランプ １６ａ，１６ｂ 電極リード
Claims (3)
- 【請求項１】 流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る
流体加熱装置において、前記管体にハロゲンランプの挿
入方向の先端管口を閉塞した管体が用いられ、前記管体
は筒体の長手方向に対向する一方の端面板部を貫通し、
管口の閉塞端部が筒体の他方の端面板部から離隔するよ
うに配置され、筒体の外に出る管体の管口から、その管
口側のみに電極リードを有するハロゲンランプが挿入配
置されていることを特徴とする流体加熱装置。 - 【請求項２】 流体の流入口および流出口を設けた石英
ガラス製の筒体の内部に、石英ガラス製の管体を挿入配
置し、前記管体内にハロゲンランプを挿入配置して成る
流体加熱装置において、前記管体に両管口を開いた管体
が用いられ、前記管体は筒体の長手方向に対向する一方
の端面板部を貫通し、その先端管口が管体の他方の端面
板部に接合するように配置され、筒体の外に出る管体の
管口から、その管口側のみに電極リードを有するハロゲ
ンランプが挿入配置されていることを特徴とする流体加
熱装置。 - 【請求項３】 前記管体の先端管口は端面板部に溶接に
より接合されている請求項２に記載の流体加熱装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29759496A JP3344909B2 (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
| KR1019970046002A KR100445713B1 (ko) | 1996-09-09 | 1997-09-05 | 유체 가열 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29759496A JP3344909B2 (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10122656A JPH10122656A (ja) | 1998-05-15 |
| JP3344909B2 true JP3344909B2 (ja) | 2002-11-18 |
Family
ID=17848586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29759496A Expired - Fee Related JP3344909B2 (ja) | 1996-09-09 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3344909B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100406726B1 (ko) * | 2001-05-25 | 2003-11-20 | 이극용 | 히팅장치 |
| DE102007040076B4 (de) * | 2007-08-24 | 2009-08-20 | Tsai, Hua-Hsin, Linnei | Heizrohranordnung |
| JP2012256617A (ja) * | 2012-09-26 | 2012-12-27 | Nichias Corp | ランプ及び加熱装置 |
| JP2023160310A (ja) * | 2022-04-22 | 2023-11-02 | 日本特殊陶業株式会社 | 液体加熱装置 |
-
1996
- 1996-10-18 JP JP29759496A patent/JP3344909B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10122656A (ja) | 1998-05-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |