JPH10132380A - 流体加熱装置 - Google Patents
流体加熱装置Info
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- JPH10132380A JPH10132380A JP29759596A JP29759596A JPH10132380A JP H10132380 A JPH10132380 A JP H10132380A JP 29759596 A JP29759596 A JP 29759596A JP 29759596 A JP29759596 A JP 29759596A JP H10132380 A JPH10132380 A JP H10132380A
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- Japan
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- fluid
- heating device
- tubular body
- fluid heating
- outlet
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- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 省スペースで維持管理のしやすい流体加熱装
置を提供する。 【解決手段】 石英ガラス製の筒体Ａ1と、その筒体の
長手方向にあって筒室を分室ａ1，ａ2に区画すると共に
筒体の一方の端面側に両分室を連結する開口部１３を残
すように設けた仕切板部材１４と、両分室を形成する筒
体にあって仕切板部材の開口部と反対側に設けられた流
体の流入口１５、流出口１６と、その流入口・流出口側
に開口するように各分室内に挿入配置した石英ガラス製
の管体１７，１８と、各管体内に設けられ、前記流体流
入口・流出口側のみに電極リード１９ａ，２０ａを有す
るハロゲンランプ１９，２０とから構成する。 【効果】 筒体の片側に流体流入口・流出口があり、同
じ側でハロゲンランプの組み込みができるので、省スペ
ース化が可能となる。
置を提供する。 【解決手段】 石英ガラス製の筒体Ａ1と、その筒体の
長手方向にあって筒室を分室ａ1，ａ2に区画すると共に
筒体の一方の端面側に両分室を連結する開口部１３を残
すように設けた仕切板部材１４と、両分室を形成する筒
体にあって仕切板部材の開口部と反対側に設けられた流
体の流入口１５、流出口１６と、その流入口・流出口側
に開口するように各分室内に挿入配置した石英ガラス製
の管体１７，１８と、各管体内に設けられ、前記流体流
入口・流出口側のみに電極リード１９ａ，２０ａを有す
るハロゲンランプ１９，２０とから構成する。 【効果】 筒体の片側に流体流入口・流出口があり、同
じ側でハロゲンランプの組み込みができるので、省スペ
ース化が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備等
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
の改良に関する。
における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジス
トの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の流体加熱装置として、図
９〜図１０に示す流体加熱装置が知られている。図９〜
図１０において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この
筒体Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一
方の端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、
他方の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５と
で形成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する
２本の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６
内にハロゲンランプ７をそれぞれ挿入配置して構成した
ものである。
９〜図１０に示す流体加熱装置が知られている。図９〜
図１０において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この
筒体Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一
方の端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、
他方の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５と
で形成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する
２本の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６
内にハロゲンランプ７をそれぞれ挿入配置して構成した
ものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の流体加熱装
置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に
向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設してい
るので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に
加熱処理することができる。また、光源であるハロゲン
ランプの交換も可能である。
置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に
向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設してい
るので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に
加熱処理することができる。また、光源であるハロゲン
ランプの交換も可能である。
【０００４】しかし、上記構成の流体加熱装置には、下
記の問題点がある。 １）上記流体加熱装置を半導体製造設備に組み込む場
合、筒体の流体流入口と流出口は、例えば、設備の処理
槽にチューブ、継手等でそれぞれ接続する必要がある
が、流体流入口と流出口が筒体の対向する両端側に分か
れて配置されているので、流体加熱装置を設置する場
合、筒体の対向位置にある流入口と流出口とでチューブ
接続作業をする必要があることから、作業性が悪い。 ２）また、前記接続作業を行なうために加熱装置の両端
部に作業スペースを要し、省スペースという点から問題
がある。 ３）また、石英ガラス製管体内のハロゲンランプも、筒
体の対向する両端側で電極リードの接続作業を行なわな
ければならないので、それなりの作業スペースを必要と
する。 ４）流体の流入口と流出口が筒体の対角線上の両端部位
にあることから、流出口の反対部分（イ）に液溜り（液
体滞留部分）が発生する傾向があり、この滞留部分では
薬液の温度が上昇し、対流が発生し、リン酸等の石英ガ
ラスに対して腐食性の流体の場合には、石英ガラスの筒
体および管体の部分的な腐食が起こる。 ５）ハロゲンランプを挿入配置するための管体は両端が
開いており、いずれの方向からも挿入可能であるが、そ
の反面、ハロゲンランプの挿入位置を正確に定めにく
く、また挿入後に位置ズレを生じやすい。
記の問題点がある。 １）上記流体加熱装置を半導体製造設備に組み込む場
合、筒体の流体流入口と流出口は、例えば、設備の処理
槽にチューブ、継手等でそれぞれ接続する必要がある
が、流体流入口と流出口が筒体の対向する両端側に分か
れて配置されているので、流体加熱装置を設置する場
合、筒体の対向位置にある流入口と流出口とでチューブ
接続作業をする必要があることから、作業性が悪い。 ２）また、前記接続作業を行なうために加熱装置の両端
部に作業スペースを要し、省スペースという点から問題
がある。 ３）また、石英ガラス製管体内のハロゲンランプも、筒
体の対向する両端側で電極リードの接続作業を行なわな
ければならないので、それなりの作業スペースを必要と
する。 ４）流体の流入口と流出口が筒体の対角線上の両端部位
にあることから、流出口の反対部分（イ）に液溜り（液
体滞留部分）が発生する傾向があり、この滞留部分では
薬液の温度が上昇し、対流が発生し、リン酸等の石英ガ
ラスに対して腐食性の流体の場合には、石英ガラスの筒
体および管体の部分的な腐食が起こる。 ５）ハロゲンランプを挿入配置するための管体は両端が
開いており、いずれの方向からも挿入可能であるが、そ
の反面、ハロゲンランプの挿入位置を正確に定めにく
く、また挿入後に位置ズレを生じやすい。
【０００５】本発明は、上述した従来の流体加熱装置の
もつ欠点を解消するためになされたものであって、流体
流入口および流出口へのチューブ、継手等の接続作業が
容易にでき、しかも接続作業の省スペース化を可能と
し、かつ筒体の流体流路に滞留部分の発生がなく、流体
の円滑が流れを確保できる流体加熱装置を提供すること
を主たる目的としている。
もつ欠点を解消するためになされたものであって、流体
流入口および流出口へのチューブ、継手等の接続作業が
容易にでき、しかも接続作業の省スペース化を可能と
し、かつ筒体の流体流路に滞留部分の発生がなく、流体
の円滑が流れを確保できる流体加熱装置を提供すること
を主たる目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による流体加熱装置は、石英ガラス製の筒体
と、前記筒体の長手方向にあって筒室を２つの分室に区
画すると共に筒体の一方の端部側に両分室を連通する開
口部を残すように設けられた仕切板部材と、前記両分室
を形成する筒体にあって前記仕切板部材の開口部と反対
側に設けられた流体流入口および流体流出口と、前記流
体流入口・流出口と同じ側に開口するように各分室内に
それぞれ挿入配置された石英ガラス製の管体と、前記各
管体内に設けられ、前記流体流入口・流出口側のみに電
極リードを有するハロゲンランプとから成ることを要旨
としている。
め、本発明による流体加熱装置は、石英ガラス製の筒体
と、前記筒体の長手方向にあって筒室を２つの分室に区
画すると共に筒体の一方の端部側に両分室を連通する開
口部を残すように設けられた仕切板部材と、前記両分室
を形成する筒体にあって前記仕切板部材の開口部と反対
側に設けられた流体流入口および流体流出口と、前記流
体流入口・流出口と同じ側に開口するように各分室内に
それぞれ挿入配置された石英ガラス製の管体と、前記各
管体内に設けられ、前記流体流入口・流出口側のみに電
極リードを有するハロゲンランプとから成ることを要旨
としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１および図２に、本発明の好ま
しい実施の形態を示す。同図の流体加熱装置は、石英ガ
ラス製の筒体Ａ1と、その筒体の長手方向にあって筒室
を２つの分室ａ1，ａ2に区画すると共に筒体の一方の端
面側に両分室ａ1，ａ2を連結する開口部１３を残すよう
に設けた仕切板部材１４と、両分室ａ1，ａ2を形成する
筒体にあって仕切板部材の開口部と反対側に設けられた
流体流入口１５および流体流出口１６と、その流体流入
口・流体流出口側に開口するように各分室内に挿入配置
した石英ガラス製の管体１７，１８と、各管体内に設け
られ、前記流体流入口・流出口側のみに電極リードを有
するハロゲンランプ１９，２０とで構成している。
しい実施の形態を示す。同図の流体加熱装置は、石英ガ
ラス製の筒体Ａ1と、その筒体の長手方向にあって筒室
を２つの分室ａ1，ａ2に区画すると共に筒体の一方の端
面側に両分室ａ1，ａ2を連結する開口部１３を残すよう
に設けた仕切板部材１４と、両分室ａ1，ａ2を形成する
筒体にあって仕切板部材の開口部と反対側に設けられた
流体流入口１５および流体流出口１６と、その流体流入
口・流体流出口側に開口するように各分室内に挿入配置
した石英ガラス製の管体１７，１８と、各管体内に設け
られ、前記流体流入口・流出口側のみに電極リードを有
するハロゲンランプ１９，２０とで構成している。
【０００８】
【実施例】図１〜図２に、本発明の一実施例を示す。同
図において、Ａ1は石英ガラス製の筒体、１０は筒体を
形成している円筒形筒部、１１，１２は筒部の長手方向
の両端を閉成している端面板部である。筒体Ａ1内に
は、一方の端面板部１１から他方の端面板部１２に向け
て張り出して筒室を上下２つの分室ａ1，ａ2に区画する
と共に一方の端面板部１２との間に両分室ａ1，ａ2を連
通する開口部１３を残すようにした仕切板部材１４が設
けられている。
図において、Ａ1は石英ガラス製の筒体、１０は筒体を
形成している円筒形筒部、１１，１２は筒部の長手方向
の両端を閉成している端面板部である。筒体Ａ1内に
は、一方の端面板部１１から他方の端面板部１２に向け
て張り出して筒室を上下２つの分室ａ1，ａ2に区画する
と共に一方の端面板部１２との間に両分室ａ1，ａ2を連
通する開口部１３を残すようにした仕切板部材１４が設
けられている。
【０００９】前記分室ａ1，ａ2を形成している筒体Ａ1
には、仕切板部材１４の開口部１３のない端面板部１１
側で流体流入口１５、流体流出口１６がそれぞれ設けら
れている。前記各分室ａ1，ａ2には、流体の流入口・流
出口のある側の端面板部１１を貫通して他方の端面板部
１２に貫通するように挿入した石英ガラス製の管体１
７，１８がそれぞれ配設され、各管体内にハロゲンラン
プ１９，２０が挿入されている。１９ａ，２０ａはハロ
ゲンランプの前記流体流入口・流出口側のみに設けた電
極リードである。管体１７，１８が端面板部１１，１２
を貫通する部分は流体が漏れないように、溶着等による
シール手段が施されている。
には、仕切板部材１４の開口部１３のない端面板部１１
側で流体流入口１５、流体流出口１６がそれぞれ設けら
れている。前記各分室ａ1，ａ2には、流体の流入口・流
出口のある側の端面板部１１を貫通して他方の端面板部
１２に貫通するように挿入した石英ガラス製の管体１
７，１８がそれぞれ配設され、各管体内にハロゲンラン
プ１９，２０が挿入されている。１９ａ，２０ａはハロ
ゲンランプの前記流体流入口・流出口側のみに設けた電
極リードである。管体１７，１８が端面板部１１，１２
を貫通する部分は流体が漏れないように、溶着等による
シール手段が施されている。
【００１０】図３は、前記筒体Ａ1内の仕切板部材１４
を、流入口１５と流出口１６とを結ぶ線に対してほぼ４
５度の角度で交わるように配設し、それにより各分室に
設けられた管体１７，１８の管口部と前記流入口１５お
よび流出口１６との間隔を広めた構成例を示している。
を、流入口１５と流出口１６とを結ぶ線に対してほぼ４
５度の角度で交わるように配設し、それにより各分室に
設けられた管体１７，１８の管口部と前記流入口１５お
よび流出口１６との間隔を広めた構成例を示している。
【００１１】図４は、前記筒体Ａ1（図３に示したも
の）を外装箱体２１に組み込んだ状態を示している。そ
の場合には、筒体Ａ1の外周側に断熱材、過昇温センサ
ー、漏液センサー等を取り付け、外装箱体内に固定す
る。また外装箱体の板面には、流体流入口１５、流出口
１６、管体１７，１８の管口部をそれぞれ外部に露出さ
せるための貫通穴を設けるが、これに対向する側の板面
には、貫通穴の加工は不要である。
の）を外装箱体２１に組み込んだ状態を示している。そ
の場合には、筒体Ａ1の外周側に断熱材、過昇温センサ
ー、漏液センサー等を取り付け、外装箱体内に固定す
る。また外装箱体の板面には、流体流入口１５、流出口
１６、管体１７，１８の管口部をそれぞれ外部に露出さ
せるための貫通穴を設けるが、これに対向する側の板面
には、貫通穴の加工は不要である。
【００１２】図５は、前記外装箱体２１を半導体製造設
備に組み込んだ状態を示したもので、２２はポンプ、２
３はフィルター、２４は処理槽、２５，２６は接続用チ
ューブ（またはパイプ）である。
備に組み込んだ状態を示したもので、２２はポンプ、２
３はフィルター、２４は処理槽、２５，２６は接続用チ
ューブ（またはパイプ）である。
【００１３】上記構成の流体加熱装置にあっては、筒体
Ａ1に形成された下側の分室ａ1の流体流入口１５から送
り込まれた流体は、まず分室ａ1の長手方向に流れる間
にハロゲンランプ１９の輻射熱により加熱され、さらに
開口部１３から上側の分室ａ2に入り、Ｕターンして長
手方向に流れる間にハロゲンランプ２０の輻射熱により
再び加熱され、流出口１６より筒体の外に送り出され
る。
Ａ1に形成された下側の分室ａ1の流体流入口１５から送
り込まれた流体は、まず分室ａ1の長手方向に流れる間
にハロゲンランプ１９の輻射熱により加熱され、さらに
開口部１３から上側の分室ａ2に入り、Ｕターンして長
手方向に流れる間にハロゲンランプ２０の輻射熱により
再び加熱され、流出口１６より筒体の外に送り出され
る。
【００１４】上記流体加熱装置の使用によれば、下記す
る効果が得られる。 １）流体の流入口および流出口が筒体の一端側に集めら
れているので、チューブの接続作業を装置の片側で行な
えばよく、作業性が良い。 ２）ハロゲンランプの電極リードの接続作業も、流体の
流入口・流出口へのチューブ接続側で行なうことができ
る。 ３）図３に示すように、仕切板部材１４を傾けて管体１
７，１８と流体流入口１５および流出口１６との間隔を
広めた構成によれば、チューブ接続作業、ハロゲンラン
プの組み付け作業をより一層やりやすくすることができ
る。 ４）筒体の一端側でのチューブ接続作業および電極リー
ド接続作業のためのスペースは不要となるので、省スペ
ース化が図れる。また、図５に示すように、流体加熱装
置を例えば半導体製造設備に組み込む場合、流体の流入
口・流出口と反対側でのチューブ接続作業、ハロゲンラ
ンプ接続作業を行なうためのスペースを確保する必要が
なく、作業スペースは片側だけでよいから、その点で前
記流体加熱装置は設備への組み込みに有用である。 ５）例えば、流体加熱装置を、図４に示すように、外装
箱体に組み込む場合、筒体の流体の流入口・流出口の反
対側には、流体流入口・流出口、ハロゲンランプの電極
リード等がないので、平板状の外装材で閉密することが
できる。 ６）加えて前記流体加熱装置では、筒体の筒室を仕切板
部材で２つの分室に区画して流体の流路面積を小さく
し、流体の流速を速くする構成としているので、液溜り
が従来品に比較し少なくなり、筒体や管体を形成してい
る石英ガラスの侵食の発生が抑制される。
る効果が得られる。 １）流体の流入口および流出口が筒体の一端側に集めら
れているので、チューブの接続作業を装置の片側で行な
えばよく、作業性が良い。 ２）ハロゲンランプの電極リードの接続作業も、流体の
流入口・流出口へのチューブ接続側で行なうことができ
る。 ３）図３に示すように、仕切板部材１４を傾けて管体１
７，１８と流体流入口１５および流出口１６との間隔を
広めた構成によれば、チューブ接続作業、ハロゲンラン
プの組み付け作業をより一層やりやすくすることができ
る。 ４）筒体の一端側でのチューブ接続作業および電極リー
ド接続作業のためのスペースは不要となるので、省スペ
ース化が図れる。また、図５に示すように、流体加熱装
置を例えば半導体製造設備に組み込む場合、流体の流入
口・流出口と反対側でのチューブ接続作業、ハロゲンラ
ンプ接続作業を行なうためのスペースを確保する必要が
なく、作業スペースは片側だけでよいから、その点で前
記流体加熱装置は設備への組み込みに有用である。 ５）例えば、流体加熱装置を、図４に示すように、外装
箱体に組み込む場合、筒体の流体の流入口・流出口の反
対側には、流体流入口・流出口、ハロゲンランプの電極
リード等がないので、平板状の外装材で閉密することが
できる。 ６）加えて前記流体加熱装置では、筒体の筒室を仕切板
部材で２つの分室に区画して流体の流路面積を小さく
し、流体の流速を速くする構成としているので、液溜り
が従来品に比較し少なくなり、筒体や管体を形成してい
る石英ガラスの侵食の発生が抑制される。
【００１５】図６〜図８に、本発明の他の実施例を示
す。これらの実施例は、図１〜図２に示した流体加熱装
置において、石英ガラス製管体１７，１８のハロゲンラ
ンプの挿入方向の先端管口を閉塞し、その閉塞部をハロ
ゲンランプ挿入時のストッパーおよび位置決めとして機
能するように構成したものである。
す。これらの実施例は、図１〜図２に示した流体加熱装
置において、石英ガラス製管体１７，１８のハロゲンラ
ンプの挿入方向の先端管口を閉塞し、その閉塞部をハロ
ゲンランプ挿入時のストッパーおよび位置決めとして機
能するように構成したものである。
【００１６】図６の実施例には、管体１７，１８を筒体
Ａ1の端面板部１１，１２に貫通支持させた構成におい
て、前記管体１７，１８に、ハロゲンランプの挿入方向
の先端管口を端壁部１７ａ，１８ａで閉じた管体を用い
た例を示している。上記のように、管体１７，１８のハ
ロゲンランプの挿入方向の先端管口を閉塞させた構成に
よれば、その閉塞部がハロゲンランプ挿入時のストッパ
ーおよび位置決めとして機能するので、ハロゲンランプ
を管体中の定められた位置に正確に挿入させることがで
き、しかも挿入後の位置ズレ防止効果も得られる。
Ａ1の端面板部１１，１２に貫通支持させた構成におい
て、前記管体１７，１８に、ハロゲンランプの挿入方向
の先端管口を端壁部１７ａ，１８ａで閉じた管体を用い
た例を示している。上記のように、管体１７，１８のハ
ロゲンランプの挿入方向の先端管口を閉塞させた構成に
よれば、その閉塞部がハロゲンランプ挿入時のストッパ
ーおよび位置決めとして機能するので、ハロゲンランプ
を管体中の定められた位置に正確に挿入させることがで
き、しかも挿入後の位置ズレ防止効果も得られる。
【００１７】図７の実施例には、管口を閉じた前記管体
１７，１８を筒体Ａ1の端面板部１２に貫通させること
なく、筒体内に引き込んだものを示している。この構成
によれば、図６と同様な効果が得られるばかりでなく、
流体による管体先端部の冷却効果が得られるので、ハロ
ゲンランプの耐久性向上にも役立つ。また、管体先端を
筒体内に引き込んで構成したものは、筒体を組み込む場
合の設置スペースの縮小化にも有利であり、管体先端を
誤って破損させるようなおそれもなくなる。
１７，１８を筒体Ａ1の端面板部１２に貫通させること
なく、筒体内に引き込んだものを示している。この構成
によれば、図６と同様な効果が得られるばかりでなく、
流体による管体先端部の冷却効果が得られるので、ハロ
ゲンランプの耐久性向上にも役立つ。また、管体先端を
筒体内に引き込んで構成したものは、筒体を組み込む場
合の設置スペースの縮小化にも有利であり、管体先端を
誤って破損させるようなおそれもなくなる。
【００１８】図８の実施例には、前記管体１７，１８の
管口を筒体Ａ1の端面板部１２に、溶接より接合して閉
塞した例を示している。この構成によれば、ハロゲンラ
ンブ挿入時のストッパーおよび位置決め効果ならびに筒
体を組み込む場合の設置スペースの縮小効果が得られる
ばかりでなく、筒体に管体の貫通口を設けるための手数
を省くことができる。
管口を筒体Ａ1の端面板部１２に、溶接より接合して閉
塞した例を示している。この構成によれば、ハロゲンラ
ンブ挿入時のストッパーおよび位置決め効果ならびに筒
体を組み込む場合の設置スペースの縮小効果が得られる
ばかりでなく、筒体に管体の貫通口を設けるための手数
を省くことができる。
【００１９】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
チューブ、継手等の接続作業が容易にでき、しかもその
接続作業の省スペース化を可能とし、かつ流体流路に滞
留部分の発生がなく、流体の円滑な流れを確保できる流
体加熱装置が得られる。
チューブ、継手等の接続作業が容易にでき、しかもその
接続作業の省スペース化を可能とし、かつ流体流路に滞
留部分の発生がなく、流体の円滑な流れを確保できる流
体加熱装置が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す流体加熱装置の断面図
である。
である。
【図２】流体加熱装置の正面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の正面
図である。
図である。
【図４】流体加熱装置を外装箱体に組み込んだ状態の斜
視図である。
視図である。
【図５】流体加熱装置の半導体製造設備に組み込んだ状
態の平面図である。
態の平面図である。
【図６】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の断面
図である。
図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の断面
図である。
図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す流体加熱装置の断面
図である。
図である。
【図９】従来の流体加熱装置の断面図である。
【図１０】前記流体加熱装置の正面図である。
Ａ 従来の流体加熱装置を構成している筒体 １ 筒体の円筒形筒部 ２，３ 筒体の両端面板部 ４ 流体流入口 ５ 流体流出口 ６ 管体 ７ ハロゲンランプ Ａ1 本発明の流体加熱装置を構成している筒体 １０ 筒体の円筒形筒部 １１，１２ 筒体の両端面板部 ａ1，ａ2 分室 １３ 開口部 １４ 仕切板部材 １５ 流体流入口 １６ 流体流出口 １７，１８ 管体 １７ａ，１８ａ 管体の端壁部 １９，２０ ハロゲンランプ １９ａ，２０ａ 電極リード ２１ 外装箱体 ２２ ポンプ ２３ フィルター ２４ 処理槽 ２５，２６ 接続用チューブ
Claims (4)
- 【請求項１】 石英ガラス製の筒体と、前記筒体の長手
方向にあって筒室を２つの分室に区画すると共に筒体の
一方の端部側に両分室を連通する開口部を残すように設
けられた仕切板部材と、前記両分室を形成する筒体にあ
って前記仕切板部材の開口部と反対側に設けられた流体
流入口および流体流出口と、前記流体流入口・流出口と
同じ側に開口するように各分室内にそれぞれ挿入配置さ
れた石英ガラス製の管体と、前記各管体内に設けられ、
前記流体流入口・流出口側のみに電極リードを有するハ
ロゲンランプとから成ることを特徴とする流体加熱装
置。 - 【請求項２】 前記管体に、ハロゲンランプの挿入方向
の先端管口を閉塞した管体が用いられ、その管体が閉塞
端部側で前記筒体の長手方向に対向する一方の端面板部
に貫通支持されている請求項１に記載の流体加熱装置。 - 【請求項３】 前記管体に、ハロゲンランプの挿入方向
の先端管口を閉塞した管体が用いられ、その管体の閉塞
部側が前記筒体の長手方向に対向する一方の端面板部か
ら引き込まれている請求項１に記載の流体加熱装置。 - 【請求項４】 前記管体のハロゲンランプ挿入方向の管
口が前記筒体の長手方向に対向する端面板部によって閉
塞されている請求項１に記載の流体加熱装置。
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|---|---|---|---|
| JP29759596A JP3310559B2 (ja) | 1996-09-09 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
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Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26032296 | 1996-09-09 | ||
| JP8-260322 | 1996-09-09 | ||
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| JP3310559B2 JP3310559B2 (ja) | 2002-08-05 |
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ID=26544557
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP29759596A Expired - Fee Related JP3310559B2 (ja) | 1996-09-09 | 1996-10-18 | 流体加熱装置 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3310559B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013168735A1 (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-14 | サンデン株式会社 | 加熱装置 |
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-
1996
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
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| CN104303592B (zh) * | 2012-05-10 | 2016-08-24 | 三电控股株式会社 | 加热装置 |
| JP2016011794A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 住友電気工業株式会社 | 流体加熱器 |
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