JPH10121042A - 封入シリカ微粒子 - Google Patents

封入シリカ微粒子

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JPH10121042A
JPH10121042A JP9269736A JP26973697A JPH10121042A JP H10121042 A JPH10121042 A JP H10121042A JP 9269736 A JP9269736 A JP 9269736A JP 26973697 A JP26973697 A JP 26973697A JP H10121042 A JPH10121042 A JP H10121042A
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silica
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JP9269736A
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Daniel Graiver
グレイバー ダニエル
Udo C Pernisz
シー パーニズ ウド
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コーティング・マトリックスに発光シリカ微
粒子を封入することである。 【解決手段】 硬化性シリコーンを使用して、三次元の
ウェブ状構造を有する多孔質発光シリカ微粒子を封入す
る。その封入はシリカ微粒子を保護し、それらの発光作
用を保存し、被膜として使用できる。その組成物を使用
して、ガラスやシリコン・ウェーハのような基板上にキ
ャストし、それを硬化することによって製品を調製す
る。微粒子をデポジットする前に基板上にマスクを使用
し、シリコーン・マトリックスを硬化することによって
特別な作用効果を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被覆マトリックスに発光
（ホトルミネセンス）シリカ微粒子を封入することに関
する。
【０００２】
【従来の技術】米国特許第５，５８０，６５５号に、三
次元ウェブ状微粒子の形態構造を有する新しい形態のシ
リカが記載されている。その材料は、紫外光で励起され
た時に強い可視発光を示す低密度粉末として製造され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、発光作
用の有用な用途に対して、シリカ微粒子の粉末形態が都
合がよくない。この問題を解決するために、我々は、こ
れらのシリカ微粒子が硬化性シリコーン組成物に封入で
きること、そしてシリカ微粒子構造物の発光特性を失う
ことなく、その混合物を基板（即ち、ガラスやシリコン
ウェーハ）上の被膜としてキャストできることを示し
た。かかる被膜は、軟質Ｘ−線を可視光に転化させる光
増幅器、又はビーム位置決め用ＵＶ光線の検出器に有用
である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、ホトルミネセ
ンス特性を失うことなくシリカ微小粒子の凝集構造体を
封入する硬化性シリコーン組成物に関する。それらのシ
リカ微粒子（ナノパ−ティクル）は５〜５０ナノメータ
（ｎｍ）の直径を有し、凝集構造物は３００〜４６０ｍ
2 ／ｇ（ブルナウアー‐エメット‐テーラー窒素吸着
法、即ちＢＥＴ法）以上の表面積を有し、そのホトルミ
ネセンスの発光スペクトルは３８０〜５４０ｎｍの間に
ピークを示す。
【０００５】また、本発明は、ガラスやシリコン・ウェ
ーハのような基板上にキャストして硬化させた上記組成
物である製品に関する。そのガラス基板およびシリコン
・ウェ−ハは、微粒子及び硬化性シリコーンをデポジッ
トさせる前にマスクすることもできる。さらに、その組
成物は鋳型にキャストし、硬化して取り出すこともでき
る。
【０００６】本発明のこれら及び他の特徴並びに目的は
詳細な説明から明白となるであろう。
【０００７】
【実施例】図１は、被封入シリカ微粒子構造体の合成に
使用する上向熱拡散霧箱の機能を示す略図である。
【０００８】硬化性シリコーン組成物は本発明によりシ
リカ微粒子の封入に使用される。そのシリコーン組成物
の一例は、（Ａ）１分子当たり少なくとも２個のＳｉ−
結合基（２〜８の炭素原子またはヒドロキシル基を含有
するオレフィン炭化水素基）を含有する線状オルガノポ
リシロキサン成分；（Ｂ）１分子当たり少なくとも２個
のＳｉ−結合水素原子を含有する線状オルガノポリシロ
キサン成分；（Ｃ）室温でＳｉ−結合オレフィン炭化水
素基及び／又はヒドロキシル基及びＳｉ−結合水素原間
の反応を促進させるのに十分な量の白金含有触媒；及び
任意に、（Ｄ）室温での反応を抑制するのに十分である
が高温での反応を防止するのに不充分な量の炭化水素オ
キシアルキルマレエートを混合することによって生成す
る熱硬化性液体シリコーン組成物である。かかるシリコ
ーン組成物米国特許第４，５６２，０９６号に記載され
ている。
【０００９】本発明によりシリカ微粒子の封入に使用で
きる硬化性シリコーン組成物の別の例は、熱硬化性シリ
コーン組成物である。ＣＨ３ＳｉＯ３／２単位、（ＣＨ
３）２ＳｉＯ２／２単位、Ｃ６Ｈ５ＳｉＯ３／２単位、
及び（Ｃ６Ｈ５）２ＳｉＯ２ ／２単位が２５：１９：３
７：１９のモル比から成り、０．５〜３．０重量％のヒ
ドロキシル含量を有するヒドロキシル官能オルガノシロ
キサン樹脂共重合体の溶媒溶液が最適である。
【００１０】使用できる特定の熱硬化性シリコーン樹脂
の一つは、ＣＨ３ＳｉＯ３／２単位、（ＣＨ３）２Ｓｉ
Ｏ２／２単位、Ｃ６Ｈ５ＳｉＯ３／２単位、及び（Ｃ６
Ｈ５）２ＳｉＯ２／２単位が２５：１９：３７：１９の
モル比から成り、０．５重量％のヒドロキシル含量を有
するヒドロキシル官能オルガノシロキサン樹脂共重合体
の５０重量％固体分を含有するキシレン：トルエンが
１：１の溶液である。
【００１１】使用できる別の特定の熱硬化性シリコーン
樹脂は、ＣＨ３ＳｉＯ３／２単位、（ＣＨ３）２ＳｉＯ
２／２単位、Ｃ６Ｈ５ＳｉＯ３／２単位、及び（Ｃ６Ｈ
５）２ＳｉＯ２／２単位が５：１９：３７：１９のモル
比から成り、３．０重量％のヒドロキシル含量を有する
ヒドロキシル官能オルガノシロキサン樹脂共重合体の６
０重量％固体分を含有するトルエン溶液である。
【００１２】使用できる第３の特定の熱硬化性シリコー
ン樹脂は、（ＣＨ３）２ＳｉＯ２／ ２単位、Ｃ６Ｈ５Ｓ
ｉＯ３／２単位、及び（Ｃ６Ｈ５）２ＳｉＯ２／２単
位、ＣＨ３ＳｉＯ３／２単位、（ＣＨ３）２ＳｉＯ
２／２単位、Ｃ６Ｈ５ＳｉＯ３／２単位、及び（Ｃ６Ｈ
５）２ＳｉＯ２／２単位のモル比が２５：１９：３７：
１９のヒドロキシル含量を有するヒドロキシル官能オル
ガノシロキサン樹脂共重合体の５０重量％固体分を含有
するキシレン溶液である。
【００１３】使用できる他の熱硬化性シリコーン樹脂
は、ＳｉＯ４／２単位、１以上のＲ３ＳｉＯ１／２単
位、Ｒ２ＳｉＯ２／２単位、及びＲＳｉＯ３／２単位を
樹脂共重合体の数平均分子量が１、２００〜１０，００
０ダルトンであるようなモル比で含有するオルガノシロ
キサン樹脂共重合体である。Ｒは炭素原子数が１〜６の
アルキル基；フェニル、トリル、およびキシリルのよう
なアリール基；ビニルおよびアリルのようなアルケニル
基；又はトリフルオロプロピル基にすることができる。
【００１４】次は、使用できるかかる共重合体の３つの
特定例である。
【００１５】１．トリオルガノシロキシ単位Ｒ３ＳｉＯ
１／２とＳｉＯ４／２単位のモル比が０．７の有機溶媒
可溶性（即ち、ベンゼンが望ましい）樹脂共重合体。Ｒ
は上記の意味を有する。この樹脂は、ケイ酸塩基準液を
使用してゲル浸透クロマトグラフィーに基づく数平均分
子量が５，０００ダルトンである。トリオルガノシロキ
シ単位は、トリメチルシロキシ単位およびジメチルビニ
ルシロキシ単位であり、その樹脂は１．４〜２．２重量
％のＳｉ−結合ビニル基を含む。
【００１６】２．（ｉ）Ｒ３ＳｉＯ１／２単位およびＳ
ｉＯ４／２単位を有するシラノール含有樹脂質共重合体
シロキサンと；式ＲｍＨｎＳｉＯ（４−ｍ−ｎ）／２を
有する有機水素ポリシロキサン（ｍおよびｎは正の整数
で４以下の和を有し、望ましくは１．９〜２．１）；お
よび有機溶液の酸性均質混合体を生成し、（ｉｉ）その
混合体を加熱して実質的に全ての有機溶媒を除去するこ
とによって調製した樹脂質共重合体。Ｒは上記定義の意
味を有する、Ｒはベータフェニルエチル及びベ−タフェ
ニルプロピルのようなアリールアルキル基；又はシクロ
ペンチル、シクロヘキシル及びシクロヘキセニルのよう
な脂環式基にすることもできる。
【００１７】３．Ｒ３ＳｉＯ１／２単位およびＳｉＯ
４／２単位を数平均分子量が１，２００〜１０，００ダ
ルトンであるようなモル比で含有するシロキサン樹脂共
重合体。そのモル比は０．７：１．０そして数平均分子
量は５、０００が望ましい。Ｒは前に定義されている。
その樹脂は２．５重量％のケイ素に結合したＯＨ基を含
有する。樹脂はＲ２ＳｉＯ２／２単位及びＲＳｉＯ
３／２単位を含有することもできる。
【００１８】かかる熱硬化性シリコーン樹脂は多数の特
許、例えば、米国特許第２，５０４，３８８号；２，６
７６，１８２号；２，７０６，１９０号；３，０７９，
２８１号；及び４，３２２，５１８号に詳細に記載され
ている。
【００１９】本発明によりシリカ微粒子の封入に使用で
きる硬化性シリコーン組成物の別の例は、熱硬化性シリ
コーンゴムである。かかる組成物は典型的に硬化剤の存
在下で加熱した時に硬化、即ち架橋するシリコーンゴム
から成る。硬化剤は、例えば、米国特許第３，３４４，
１０４号に記載されているような過酸化ベンゾイルや過
酸化２，４−ジクロロヘンゾイルのような有機過酸化
物；硫黄；又は尿素、シアノグアニジン、アルデヒド及
びケトンのような種々の有機化合物にすることができ
る。一般に、シリコーンゴムは、架橋によって高粘性状
態から高弾性状態に転化される高分子量線状ポリジオル
ガノシロキサンである。かかる熱硬化性シリコーンゴム
組成物は技術的に周知であって米国特許第３，３４４，
１０４号を含む種々の特許並びにシリコーン化学の標準
教科書（標題：Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙａｎｄ Ｔｅｃｈｎ
ｏｌｏｇｙ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎｅｓ． Ｗａｌｔｅ
ｒＮｏｌｌ，Ａｃａｄｅｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ，Ｉｎ
ｃ．，Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，（１９６８），Ｐａｇｅｓ
３８６−３９５）に記載されている。
【００２０】本発明によりシリカ微粒子の封入に使用で
きる硬化性シリコーン組成物の別の例は、室温熱硬化性
シリコーンエラストマーである。かかる組成物は典型的
にポリオルガノシロキサン、充てん剤、架橋剤及び硬化
用触媒を含有する。その組成物は水分にさらすことによ
って硬化する。そして練歯磨の粘性を有する。それはチ
キソトロピーで非垂れ性であって、硬化されるまでその
場所にとどまる。
【００２１】シリコーンエラストマーは、所定の重量及
び体積比の種々の配合剤を混合することによって作られ
る。室温熱硬化性シリコーンエラストマー（ＲＴＶ）用
のポリジオルガノシロキサンはシラノール又は他の適当
な加水分解性基で末端封鎖されている。これらのポリジ
オルガノシロキサンは、典型的に２５℃で測定して１，
０００ｃＳｔ（１０−３ｍ２／ｓ）以上、望ましくは
１，０００〜１００，０００ｃＳｔ（０．１ｍ２／ｓ）
の動粘性を有する。
【００２２】本発明に有用な充てん剤は小粒子のシリ
カ、即ちヒュームドシリカ及び一官能価のＭ単位Ｒ３Ｓ
ｉＯ１／２及び四官能価のＱ単位ＳｉＯ４／２を含有す
るシリコーン樹脂である。
【００２３】架橋剤は一般にシラン又はシランの部分加
水分解生成物である。これらのシランはアセトキシシラ
ン、アルコキシシラン、ケトキシモシラン、アミノシラ
ン及びアミドシランを含む。架橋用シランは１分子当た
り３〜４個の加水分解性基を有するが、部分加水分解生
成物は３個以上の加水分解性基を有する。
【００２４】架橋剤の外に、組成物は連鎖延長剤を含む
ことができる、それはシランであるが１分子当たり２個
だけの加水分解性基を有する。ポリジオルガノシロキサ
ン末端の加水分解性基はしばしばシラン架橋剤の基と同
一であるが、同一混合体に異なる種類の加水分解性基の
混合体が存在できる。
【００２５】混合物を硬化する触媒は架橋剤の種類に左
右され、金属カルボキシレート、アルキルオルトチタネ
ート、チタネート・キレート、ジルコニウムアルコキシ
ド及びキレートのような化合物を含む。
【００２６】かかる室温熱硬化性シリコーンエラストマ
ー組成物は技術的に周知であって、米国特許第２，８３
３，７４２号；２，８４３，５５５号；２，９０２，４
６７号；２，９３４，５１９号及び２，９９９，０７７
号を含む多数の特許、並びにシリコーン化学の標準教科
書（標題：Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏ
ｌｏｇｙ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎｅｓ， Ｗａｌｔｅｒ
Ｎｏｌｌ，Ａｃａｄｅｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ，Ｉｎ
ｃ．，Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，（１９６８），Ｐａｇｅｓ
３８６−３９５）に記載されている。
【００２７】シリカ微粒子は酸素含有雰囲気で元素ケイ
素ターゲットのレーザ融蝕によって得られる。その形態
は、高表面積で開口三次元網状構造に凝集した粒径が１
０〜２０ｎｍの凝集微粒子からなる。
【００２８】それらのシリカ微粒子は、紫外線照射で青
いホトルミネセンスを示す。それらの微粒子は表面積が
３８０〜４６０ｍ２／ｇで粒径が１０〜２０ｎｍ、そし
て４２２ｎｍ（２．９４ｅＶ）と４６７ｎｍ（２．６５
ｅＶ）にピークを示す発光スペクトルを有する。
【００２９】発光ウェブ状微粒子シリカは、改良した上
向き熱拡散霧箱内で元素ケイ素のレーザ気化と気相から
の凝集を組合わせることによって得られる。ケイ素蒸気
は、不活性キャリヤーガスと酸素のような反応体ガスの
共存下で元素ケイ素ターゲットのパルス・レーザ気化に
よって発生される。シリカ微粒子はその霧箱内の冷板上
に析出する。
【００３０】ウェブ状シリカ微粒子は、この方法に従っ
て室の下部に元素ケイ素を配置し、酸素含有不活性ガス
の共存下でそのケイ素をパルスレーザにかけることによ
って製造する。パルスレーザ融蝕の結果、その室内にケ
イ素蒸気が発生する。ケイ素原子とクラスターは室に存
在する酸素と反応して気相酸化ケイ素分子を生成する。
気相酸化ケイ素分子とクラスターはキャリヤーガスで冷
却されて、室の上部の冷板上に凝縮するケイ素微粒子を
形成する。
【００３１】これら微粒子の表面積は、その合成に用い
る実験パラメータ−に依存する。ＢＥＴ法によって３８
０〜４６０ｍ２／ｇの値が測定された。比表面積を決定
するこの標準法は多くの教科書（例えば、Ｊｏｕｒｎａ
ｌ ｏｆ ｔｈｅ Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｈｅｍｉｃａ
ｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ，Ｖｏｌｕｍｅ ６０，Ｐａｇｅ３
０９，（１９３８）に記載されている。商的ヒュームド
シリカの最大表面積は僅かに３００ｍ２／ｇ（ＢＥＴ
法）値と公称粒径７ｎｍを有する。
【００３２】次の実施例はこの発光シリカ微粒子製造法
を説明する。
【００３３】実施例１ シリカ微粒子の製造 シリカ微粒子の製造は上向き熱拡散霧箱を使用する。そ
の霧箱の操作原理、その設計及び構造は、文献（Ｔｈｅ
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ＣｈｅｍｉｃａｌＰｈｙｓｉ
ｃｓ，Ｖｏｌ．５２，Ｎｏ．９，Ｍａｙ １，１９７
０，ｐ．４７３３−４７４８）に詳細に記載されてい
る。
【００３４】その標準霧箱を改良してシリカ微粒子の合
成に適応させた、我々の改良霧箱を図１に示す。図１に
示すように、円形ガラスリングによって分離される２枚
の水平円形ステンレス鋼板によって真空室が形成され
る。ケイ素棒（図１参照）がタ−ゲットであって、それ
は下板近くに取り付ける。真空室は純粋なヘリウムやア
ルゴンのような不活性キャリヤーガスを充てんする。不
活性キャリヤーガスは反応体ガスとして既知濃度の酸素
を含有するが、窒化物生成用のＮ２又はＮＨ３及び炭化
物生成用のＣＨ４又はＣ２Ｈ４のような他の反応体ガス
も使用できる。
【００３５】ケイ素ターゲット及び下板は冷板より高い
温度に維持する。冷板は、冷却液入口及び出口管路を介
して液体窒素を循環させることによって−８０℃以下に
冷却する。下板と冷板間の温度勾配が、高圧条件（即
ち、１×１０３トール（１３３ｋＰａ））下でアルゴン
及びクリプトンを添加することによって促進される定常
対流を提供する。ケイ素蒸気は、イットリウム・ガーネ
ット−ネオジウム）Ｎｄ：ＹＡＧ）レーザ）（１５−３
０ｍＪ／パルス）の第二調波を使用するパルス・レーザ
で発生される。ミラーはＮｄ：ＹＡＧレーザをターゲッ
トのシリコン棒に反射させるために使用する。レーザの
気化によって１０１４ケイ素原子／パルス（２×１８
−８）以上が放出される。ケイ素原子及びクラスターは
酸素と反応して気相の酸化ケイ素分子とクラスターを生
成する。クラスターは不活性キャリヤーガスと衝突し、
衝突のエネルギー損失によって冷却をもたらす。８００
トール（１０６．４ｋｐａ）の全圧下でケイ素と酸化物
のクラスターは、気化ターゲットの数百ミクロン以内で
環境ガスの熱エネルギーに近づく。未反応ケイ素クラス
ター及び低揮発性酸化ケイ素は対流によって真空室の上
冷板の近くの核形成ゾーンに運ばれ、そこでシリカ微粒
子を形成する。ニクロム加熱線（即ち６０％ニッケル、
２４％鉄、１６％クロム及び０．１％炭素を含有する合
金）ガラスリングの回りに巻いて、水の凝縮を防止し冷
板と下板間の一定温度勾配を保つのに十分な熱を供給す
る。粒子は核形成ゾーンに形成して、１０Ｈｚで２−６
時間の間に冷板上に凝縮する。次に真空室を室温にし
て、それらの粒子を環境雰囲気下で収集する。典型的
に、冷板上以外の真空室には粒子は見られない。ガラス
スライド及び金属ウェーハを冷板に取り付けて、走査電
子顕微鏡写真（ＳＥＭ）、透過電子顕微鏡写真（ＴＥ
Ｍ）、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）、ＢＥＴお
よび発光（ＰＬ）スペクトル分析法によって蒸着シリカ
微粒子の形態を検査および分析するために使用する。
【００３６】この装置で製造したシリカ微粒子はその微
細構造が３次元的でウエブ状である。それは３００ｍ２
／ｇ以上、望ましくは３００〜４６０ｍ２／ｇ、最適に
は３８０〜４６０ｍ２／ｇのＢＥＴ表面積を有する。３
８０−５４０ｎｍ、望ましくは４００−４７０ｎｍ
（２．５ｅＶ−３．１ｅＶ間の光子エネルギー）にピー
クを示す発光スペクトルを有する。その粒径は５−５０
ｎｍ、望ましくは１０−２−ｎｍで有る。
【００３７】図１に示した装置、この装置の使用法およ
び得られたシリカ微粒子で実施する種々の分析は全て米
国特許第５，５８０，６５５号に記載されている。次の
実施例は実施例１に従って製造したシリカ微粒子の封入
を説明する。
【００３８】実施例２ フェニルメチルシリコーン樹脂に発光（ＰＬ）ウェブ状
シリカの分散 実施例１で記載したレーザ融蝕によって得られたシリカ
微粒子を熱硬化性シリコーン樹脂に分散させた。その樹
脂は、ＣＨ３ＳｉＯ３／２単位、（ＣＨ３）２ＳｉＯ
２／２単位、Ｃ６Ｈ５ＳｉＯ３／２単位、及び（Ｃ６Ｈ
５）２ＳｉＯ２／ ２単位が２５：１９：３７：１９のモ
ル比のヒドロキシル官能オルガノシロキサン樹脂共重合
体の固体分５０重量％含有するキシレン溶液の形態であ
った。シリコン樹脂に分散したシリカ微粒子の濃度は１
０ｍｌに０．１ｇであった。低剪断混合でも優れた分散
が得られた。シリカ微粒子の大きな凝集体は見られなか
った。その分散体をシリコンウェーハ上にキャストし、
そのキャストウェーハを１６０℃の硬化用炉に１０分間
入れた。これらの条件下で、フェニルメチルシリコ−ン
樹脂はシリコンウェーハの上に透明樹脂に硬化した。シ
リカ微粒子はシリコーン樹脂中に埋没され、シリカ微粒
子は肉眼でかろうじて見えるだけであった。シリコーン
樹脂に埋没されたシリカ微粒子は、充てんシリコーン樹
脂を３７７ｎｍの波長でパルスＮ２レーザから放射され
る紫外線下に置いた時に強い発光応答を示した。
【００３９】実施例３ シリコンウェーハとフェニルメチルシリコーン樹脂間に
ＰＬシリカ微粒子の取り込み 実施例１で記載した融蝕て得たシリカ微粒子０．１ｇを
シリコーンウェーハの上に広げて、実施例２で使用した
樹脂溶液で被覆した。そのウェーハを１６０℃の炉に入
れることによってその溶液を樹脂に硬化させた。シリカ
微粒子は、シリコンウェーハとフェニルメチルシリコー
ン樹脂間の層に取り込まれた。シリコーン樹脂に埋没さ
れたシリカ微粒子は、充てんシリコーン樹脂を３７７ｎ
ｍの波長をもったＵＶ光源でパルスＮ２レーザから放射
される紫外線下に置いた時に強い発光応答を示した。
【００４０】実施例４ 別のタイプの熱硬化性シリコーン組成物を使用して実施
例２と実施例３を反復した。この実施例に使用した熱硬
化性シリコーン組成物はジメチルシロキサンとメチルヘ
キセニルシロキサンの共集合体、白金触媒およびマレエ
ート抑制剤を含有した。前記のように、このタイプの硬
化性シリコーン組成物は米国特許第４，５６２，０９６
号に詳細に記載されている。実施例２と３に記載のよう
にこのシリコーンマトリックスにシリカ微粒子を埋没さ
せた、それらの微粒子は３７７ｎｍの波長をもったＵＶ
光を照射した時にそれらの発光性質を維持した。
【００４１】実施例５ 複雑な形状および形態の設計 文字ＤＣＣの形にマスクを作った。それらの文字は、ス
テンシルをシリコンウェーハ上に置いた時にそれらの文
字の形に露出表面を残したステンシルにカットした。ス
テンシルを付着したウェーハは、レーザ融蝕真空室内の
−８０〜１２０℃に維持した図１の冷板上に装着した。
ケイ素棒ターゲットからシリカ微粒子が生成してウェー
ハ／マスクのアセンブリ上に直接蒸着した。実施例１に
記載した条件に類似の条件、即ち３００ｍＪレーザで全
圧８００トール（２００トール酸素と６００トールアル
ゴンの雰囲気）を採用した。シリカ微粒子を生成させて
２時間蒸着させた。２時間の終わりにウェーハ／マスク
・アセンブリと共に冷板を徐々に室温にもってきて、マ
スクをウェーハから除去した。そのウェーハに実施例４
で使用した熱硬化性シリコーン組成物をコーティング
し、ウェーハの表面上に上着したシリカ微粒子を埋め込
んだ。共重合体を実施例２と３で実施したように硬質被
膜に硬化させた。ウェーハの表面のシリカ微粒子によっ
て被覆された領域は、３７７ｎｍの波長のＵＶ光で照射
された時マスクの形の発光を示した。
【００４２】実施例６ ＰＬシリカ微粒子封入の利点 シリカ微粒子をアセトンのような極性媒質に分散させた
時にシリカ微粒子からの発光全体が消光した。しかしな
がら、実施例２−５に記載したように分散媒質又は封入
マトリックスとしてシリコーン樹脂又は熱硬化性共重合
体を使用した場合には、消光は生じなかった。
【図面の簡単な説明】
【図１】被封入シリカ微粒子構造体の合成に使用する上
向熱拡散霧箱の機能を示す略図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０９Ｋ 11/08 Ｃ０９Ｋ 11/08 Ｈ // Ｃ０９Ｄ 183/07 Ｃ０９Ｄ 183/07

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 直径が５〜５０ｎｍ、ＢＥＴの表面積が
    ３００〜４６０ｍ2／ｇ、発光スペクトルのピークが３
    ８０〜５４０ｎｍである凝集シリカ微粒子の三次元のウ
    ェブ状構造を有する多孔質材料を封入する硬化性シリコ
    ーンから成ることを特徴とする組成物。
  2. 【請求項２】 多孔質材料を封入する硬化性シリコーン
    が、（Ａ）１分子当たり少なくとも２個のＳｉ−結合基
    を含有し２〜８の炭素原子またはヒドロキシル基を含有
    するオレフィン炭化水素基てある実質的に線状のオルガ
    ノポリシロキサン成分；（Ｂ）１分子当たり少なくとも
    ２個のＳｉ−結合水素原子を含有する線状オルガノポリ
    シロキサン成分；および（Ｃ）室温でＳｉ−結合オレフ
    ィン炭化水素基及び／又はヒドロキシル基とＳｉ−結合
    水素原子間の反応を促進させるのに十分な量の白金含有
    触媒を混合することによって生成される熱硬化性シリコ
    ーンであることを特徴とする請求項１記載の組成物。
  3. 【請求項３】 多孔質材料を封入する硬化性シリコーン
    が、熱硬化性シリコーン樹脂であることを特徴とする請
    求項２記載の組成物。
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